JP2001330644A - スクリーニング方法、スクリーニング装置及び記録媒体 - Google Patents

スクリーニング方法、スクリーニング装置及び記録媒体

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JP2001330644A JP2000148304A JP2000148304A JP2001330644A JP 2001330644 A JP2001330644 A JP 2001330644A JP 2000148304 A JP2000148304 A JP 2000148304A JP 2000148304 A JP2000148304 A JP 2000148304A JP 2001330644 A JP2001330644 A JP 2001330644A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 故障が顕在化する前に集積回路装置の故障を
検出可能にすると共に、初期不良を短時間で除去するこ
とができる集積回路装置のスクリーニング方法及び装置
を提供する。 【解決手段】 集積回路装置の初期不良品をスクリーニ
ングするためのスクリーニング方法及び装置であって、
集積回路装置に所定の電源電圧を供給すると共に、所定
の周期から成るテスト信号を生成して集積回路装置に印
加し、集積回路装置に流れる電源電流を観測し、集積回
路装置に印加されるテスト信号に対応した電源電流のパ
ワースペクトルデータを算出し、初期不良品を含む複数
の集積回路装置の電源電流のパワースペクトルデータの
分布率を求め、パワースペクトルデータが所定の判定基
準値よりも大きい集積回路装置を初期不良品と判定す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は集積回路装置の初期
不良品をスクリーニングするためのスクリーニング方
法、スクリーニング装置及び記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、集積回路装置の初期不良品を除去
する手法として、バーンインテストが知られている。バ
ーンインテストは、例えば、Eugene R. Hnatek著、Inte
gratedCircuit Quality and Reliabilityの７１９ペー
ジから７２０ページに記載されるように、高温環境下で
電気的なストレスを被集積回路装置に印加することで温
度依存性のある故障を比較的短時間で顕在化させる手法
であり、故障が顕在化した初期不良品を除去して製品全
体の信頼性を向上させるために実施される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、バー
ンインテストは故障を比較的短時間で顕在化させること
ができる加速試験であるが、除去すべき故障モードや要
求される信頼性によっては、例えば、数百時間〜数千時
間の長時間の試験時間を要することがある。したがっ
て、初期不良品をより短時間でスクリーニングすること
が可能な手法が望まれている。
【０００４】また、バーンインテストでは、印加される
ストレスによって故障の度合が序々に進行するが、故障
が完全に顕在化しないと外部から故障として認識するこ
とができないため、集積回路装置に欠陥があってもそれ
を見出すことができないおそれがあった。
【０００５】本発明は上記したような従来の技術が有す
る問題点を解決するためになされたものであり、故障が
顕在化する前に集積回路装置の故障を検出可能にすると
共に、初期不良を短時間で除去することができる集積回
路装置のスクリーニング方法及び装置を提供することを
目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための装置】上記目的を達成するため
本発明のスクリーニング方法は、集積回路装置の初期不
良品をスクリーニングするためのスクリーニング方法で
あって、前記集積回路装置に所定の電源電圧を供給する
と共に、所定の周期から成るテスト信号を生成して前記
集積回路装置に印加し、前記集積回路装置に流れる電源
電流を観測し、前記集積回路装置に印加されるテスト信
号に対応した電源電流のパワースペクトルデータを算出
し、前記初期不良品を含む複数の集積回路装置の電源電
流のパワースペクトルデータの分布率を求め、前記パワ
ースペクトルデータが所定の判定基準値よりも大きい集
積回路装置を前記初期不良品と判定する方法である。
【０００７】ここで、前記集積回路装置には、予め短時
間バーンインを実施しておいてもよい。
【０００８】または、集積回路装置の初期不良品をスク
リーニングするためのスクリーニング方法であって、前
記集積回路装置に対するバーンイン前、バーンイン中、
及びバーンイン後に、それぞれ前記集積回路装置に所定
の電源電圧を供給すると共に、所定の周期から成るテス
ト信号を生成して前記集積回路装置に印加し、前記集積
回路装置に流れる電源電流を観測し、前記集積回路装置
に印加されるテスト信号に対応した電源電流のパワース
ペクトルデータを算出し、前記集積回路装置に対するバ
ーンイン前、バーンイン中、バーンイン後における電源
電流のパワースペクトルデータの変化率を求め、該変化
率が所定の判定基準値よりも大きい集積回路装置を初期
不良品と判定する方法である。
【０００９】一方、本発明のスクリーニング装置は、集
積回路装置の初期不良品をスクリーニングするスクリー
ニング装置であって、所定の周期から成るテスト信号を
生成し、前記集積回路装置に印加するテスト信号生成装
置と、前記集積回路装置に所定の電源電圧を供給するテ
スト電源と、前記テスト電源から前記集積回路装置に流
れる電源電流を観測し、前記集積回路装置に印加される
テスト信号に対応した電源電流のパワースペクトルデー
タを算出するスペクトル解析装置と、前記スペクトル解
析装置で算出されたパワースペクトルデータを保存する
観測データ記憶装置と、前記観測データ記憶装置に保存
されたパワースペクトルデータを読み出し、前記初期不
良品を含む複数の集積回路装置の電源電流のパワースペ
クトルデータの分布率を求め、前記パワースペクトルデ
ータが所定の判定基準値よりも大きい集積回路装置を前
記初期不良品と判定する判定装置と、を有する構成であ
る。
【００１０】このとき、前記集積回路装置は、予め短時
間バーンインが実施されたものであることが望ましく、
前記判定装置は、前記集積回路装置に対するバーンイン
前、バーンイン中、バーンイン後における電源電流のパ
ワースペクトルデータの変化率を求め、該変化率が所定
の判定基準値よりも大きい集積回路装置を初期不良品と
判定してもよい。
【００１１】上記のようなスクリーニング方法及び装置
では、集積回路装置に初期不良を起すような何らかの欠
陥がある場合には良品と異なる異常な電源電流が流れ
る。したがって、集積回路装置に印加されるテスト信号
に対応した電源電流のパワースペクトルデータを解析す
ることで、パワースペクトルデータのばらつきが正規分
布を示す良品と、良品と異なるパワースペクトルデータ
のばらつきの分布を示す初期不良品とを分別することが
できる。
【００１２】また、上記処理を集積回路装置に対するバ
ーンイン前、バーンイン中、バーンイン後でそれぞれ行
うことで、集積回路装置に欠陥があった場合に、その欠
陥がバーンインによって進行する様子が電源電流のパワ
ースペクトルデータの変化として観測することができ
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】次に本発明について図面を参照し
て説明する。
【００１４】（第１の実施の形態）本実施形態のスクリ
ーニング方法及び装置は、ＤＵＴ（被試験集積回路装
置）にバーンインによるストレスを印加することなく初
期不良品をスクリーニングすることが可能な方法及び装
置である。
【００１５】図１は本発明のスクリーニング装置の第１
の実施の形態の構成を示すブロック図である。
【００１６】図１に示すように、本実施形態のスクリー
ニング装置は、所定のテスト信号を生成してＤＵＴ４に
印加するテスト信号生成装置１と、ＤＵＴ４に所定の電
源電圧を供給するテスト電源２と、テスト電源２からＤ
ＵＴ４に流れる電源電流を観測し、ＤＵＴ４に印加され
るテスト信号に対応した電源電流のパワースペクトルデ
ータを算出するスペクトル解析装置３と、スペクトル解
析装置３で算出されたパワースペクトルデータを保存す
る観測データ記憶装置５と、観測データ記憶装置５に保
存されたパワースペクトルデータを解析し、ＤＵＴ４の
初期不良の有無を判定する判定装置６と、テスト信号生
成装置１、テスト電源２、スペクトル解析装置３、及び
判定装置６の動作をそれぞれ制御する主制御装置７とを
有する構成である。なお、主制御装置７は、テスト信号
生成装置１、テスト電源２、スペクトル解析装置３、及
び判定装置６をそれぞれ制御し、初期不良品をスクリー
ニングするためのスクリーニング処理を自動で実施する
ための装置である。したがって、例えば、検査員がテス
ト信号生成装置１、テスト電源２、スペクトル解析装置
３、観測データ記憶装置５及び判定装置６をそれぞれ操
作して初期不良品をスクリーニングする場合は無くても
よい。
【００１７】次に、本発明のスクリーニング方法の原理
について図２及び図３を用いて説明する。
【００１８】図２はＤＵＴに流れる電源電流のパワース
ペクトルの一例を示すグラフであり、図３は良品及び初
期不良品のパワースペクトルデータのばらつきの一例を
示すグラフである。なお、図２は、周期Ｔ＝１３．３ｍ
ｓｅｃのテスト信号をＤＵＴ４に印加したときの電源電
流のパワースペクトルの様子を示している。
【００１９】図１に示したテスト電源２からＤＵＴ４に
流れる電源電流には、負荷であるＤＵＴ４の内部状態を
反映する多くの情報が含まれている。すなわち、初期不
良を起すような欠陥、例えば、配線の接続不良やトラン
ジスタの損傷など、何らかの欠陥がある場合には良品と
異なる異常な電源電流が流れる。
【００２０】したがって、ＤＵＴ４に流れる電源電流を
解析し、良品と異なる電源電流が流れるＤＵＴ４を見い
出すことで初期不良品を検出することができる。本発明
では、電源電流を解析する手法として電源電流のパワー
スペクトルデータを用いる。
【００２１】ＤＵＴ４に所定時間Ｔのテストパターンか
ら成るテスト信号を周期的に印加するとＤＵＴ４に流れ
る電源電流も周期Ｔとなる。したがって、電源電流のパ
ワースペクトルは、例えば、図２に示すように基本周波
数１／Ｔ（１／１３．３ｍｓｅｃ＝７５Ｈｚ）とその整
数倍の高調波を有する波形となる。
【００２２】ところで、ＤＵＴ４に流れる異常な電源電
流のパワースペクトルを検出するためには、良／不良を
判定するための判定基準として良品の電源電流のパワー
スペクトルデータが必要である。しかしながら、初期不
良品を含む複数のＤＵＴ４が与えられたときに、試験す
ることなくそれらの中から良品を選定することは困難で
ある。本発明では複数のＤＵＴ４に初期不良品の占める
割合が少ないことに着目する。すなわち、ＤＵＴ４の多
くは良品であり、スクリーニングすべき初期不良品は少
数であることを利用して初期不良品を検出する。
【００２３】図３に示すように、一般に、良品の電源電
流のパワースペクトルデータのばらつき（図２に示した
ような基本周波数とその高調波のパワーのばらつき）
は、集積回路装置の特性の差によって平均値を中心とす
る正規分布となる。一方、初期不良品の電源電流のパワ
ースペクトルデータのばらつきは異常な電源電流のため
に良品とは異なった分布になる。したがって、初期不良
品を含む複数のＤＵＴ４の電源電流のパワースペクトル
のばらつきを求めると、初期不良品は正規分布から大き
く外れた値を示す。本発明は、初期不良品を含む複数の
ＤＵＴ４の電源電流のパワースペクトルデータの分布率
を求め、所定の判定基準値よりも大きいＤＵＴ４を初期
不良品と判定する。
【００２４】次に、本実施形態のスクリーニング方法の
処理手順について図面を参照して説明する。
【００２５】図４は本発明のスクリーニング方法の第１
の実施の形態の処理手順を示すフローチャートであり、
図５は図１に示したテスト信号生成装置が生成するテス
ト信号の様子を示す模式図である。
【００２６】図４において、まず、テスト信号生成装置
１は、主制御装置７の制御により、所定のテストパター
ン（テスト信号）を生成し、ＤＵＴ４の所定の入力端子
にそれぞれ印加する（ステップＳ１）。
【００２７】テスト信号生成装置１で生成するテスト信
号には、図５（ａ）に示すように所定時間Ｔのテストパ
ターンを１度だけ印加する信号、図５（ｂ）に示すよう
に所定時間Ｔのテストパターンを連続して複数回印加す
る信号、あるいは図５（ｃ）に示すように所定時間Ｔの
テストパターンを休止期間Ｔ０を挟んで複数回印加する
信号等がある。
【００２８】また、テスト電源２は、主制御装置７の制
御により、ＤＵＴ４の電源端子にスペクトル解析装置３
を介して所定の電源電圧を供給する（ステップＳ２）。
【００２９】テスト電源２からＤＵＴ４に供給する電源
電圧には、所定の一定電圧、時間変化する電源電圧、あ
るいはテスト信号に同期して時間変化する電源電圧等が
ある。
【００３０】次に、スペクトル解析装置３は、主制御装
置７の制御により、テスト電源２からＤＵＴ４に流れる
電源電流を観測し（ステップＳ３）、ＤＵＴ４に流れる
電源電流のパワースペクトルデータを算出する（ステッ
プＳ４）。
【００３１】スペクトル解析装置３は、予め定められた
サンプリングタイミング毎にＤＵＴ４の電源電流の値
（サンプリングデータ）を取り込み、サンプリングデー
タから電源電流のパワースペクトルを算出する。具体的
には、離散フーリエ変換(Discrete Fourier Transform:
DFT)、あるいは高速フーリエ変換(Fast Fourier Trans
form: FFT)を行う。
【００３２】なお、ＤＵＴ４に印加されるテスト信号が
図５（ａ）に示すように所定時間Ｔのテストパターンが
１回だけ印加される信号の場合、ＤＵＴ４に流れる電源
電流は周期性を持たない。しかしながら、テスト信号の
印加されている期間Ｔ、あるいはテスト信号印加後の一
定期間Ｔ１を含むＴ＋Ｔ１を１周期と見なして電源電流
のパワースペクトルが算出される。その場合、電源電流
のパワースペクトルデータは、基本周波数１／Ｔ、ある
いは１／（Ｔ＋Ｔ１）と、その整数倍の高調波を含むデ
ータとなる。
【００３３】また、ＤＵＴ４に印加されるテスト信号が
図５（ｂ）に示すように所定時間Ｔのテストパターンが
周期的に印加される信号の場合、ＤＵＴ４の電源電流も
周期Ｔで流れる。したがって、電源電流のパワースペク
トルデータは、基本周波数１／Ｔと、その整数倍の高調
波を含むデータとなる。
【００３４】さらに、ＤＵＴ４に印加されるテスト信号
が図５（ｃ）に示すように休止期間(Ｔ０)を挟んで所定
時間Ｔのテストパターンが周期的に印加される信号の場
合、テスト信号の印加周期はＴ＋Ｔ０となり、ＤＵＴ４
の電源電流もＴ＋Ｔ０の周期で流れる。この場合、電源
電流のパワースペクトルデータは、基本周波数１／（Ｔ
＋Ｔ０）と、その整数倍の高調波を含むデータとなる。
【００３５】スペクトル解析装置３で算出されたパワー
スペクトルデータは、各ＤＵＴ４毎に観測データ記憶装
置５に保存される（ステップＳ５）。
【００３６】次に、判定装置６は、主制御装置７の制御
により、観測データ記憶装置５に保存された各ＤＵＴ４
のパワースペクトルデータを読み出し、ＤＵＴ４の初期
不良の有無を判定する（ステップＳ６）。
【００３７】以下に判定装置６で実行する判定処理につ
いて具体的に説明する。
【００３８】図６は図１に示したスクリーニング装置の
パワースペクトルデータの測定結果の一例を示すテーブ
ル図である。
【００３９】例えば、図６に示すように、スペクトル解
析装置３によってｓａｍｐ１からｓａｍｐ３３までの３
３個のＤＵＴ４のパワースペクトルデータが算出された
とする。なお、図６には、パワースペクトルの基本周波
数、及びその１０次高調波までの値をそれぞれ示してい
る。また、基準周波数及び各高調波における電源電流の
パワースペクトルデータの平均値と標準偏差も示してい
る。
【００４０】ここで、パワースペクトルデータの標準偏
差をσとし、初期不良品の判定基準をパワースペクトル
データの平均値から５σ以上離れた値とすると、枠で囲
んだｓａｍｐ２２の１、２、３、５、７、１０次の各高
調波のパワーがその平均値から５σ以上離れている。し
たがって、この場合は、ｓａｍｐ２２を初期不良品であ
ると判定する。なお、初期不良品であるか否かの判定基
準は、平均値から５σ以上に限定する必要はなく、パワ
ースペクトルデータの測定値に応じて適宜設定すればよ
い。
【００４１】以上説明したように、本実施形態のスクリ
ーニング方法によれば、ＤＵＴ４にバーンインを実施す
ることなく初期不良を検出することができるため、バー
ンイン時間が不要になり、短時間で初期不良品を除去す
ることができる。
【００４２】（第２の実施の形態）次に本発明のスクリ
ーニング方法の第２の実施の形態について説明する。
【００４３】本実施形態のスクリーニング方法は、ＤＵ
Ｔに短時間バーンインを行った後、第１の実施の形態と
同様の装置及び方法を用いて初期不良を判定する方法で
ある。スクリーニング装置の構成及びその処理手順は第
１の実施の構成と同様であるため、その説明は省略す
る。
【００４４】本実施形態のスクリーニング方法によれ
ば、ＤＵＴに初期不良が存在する場合に、ＤＵＴに対し
て短時間バーンインを実施することで、その初期不良の
原因である欠陥が進行するため、第１の実施の形態より
も初期不良を確実に検出することができる。
【００４５】（第３の実施の形態）次に本発明のスクリ
ーニング方法の第３の実施の形態について図面を用いて
説明する。
【００４６】本実施形態のスクリーニング方法は、ＤＵ
Ｔに対するバーンイン前、バーンイン中、及びバーンイ
ン後の電源電流をそれぞれ観測し、電源電流のパワース
ペクトルデータをそれぞれ算出して初期不良の有無を判
定する方法である。
【００４７】したがって、本実施形態では図５のフロー
チャートで示した第１の実施形態と同様の処理手順をバ
ーンイン前、バーンイン中、及びバーンイン後において
実施し、各々のパワースペクトルデータを観測データ記
憶装置に保存する。そして、判定装置は、各ＤＵＴの電
源電流のパワースペクトルデータの、バーンイン前、バ
ーンイン中、及びバーンイン後における時間変化率を算
出し、予め定められた判定基準値以上の時間変化率を示
すＤＵＴを初期不良品として判定する。スクリーニング
装置のその他の構成及び処理手順は第１の実施の構成と
同様であるため、その説明は省略する。
【００４８】図７はバーンイン実施によるＤＵＴの電源
電流のパワースペクトルデータの変化の一例を示すグラ
フである。
【００４９】図７に示すように、良品は、初期不良とな
るような欠陥がないため、バーンインを実施しても劣化
がほとんどない。また、電源電流のパワースペクトルデ
ータも変化しないか、あるいは変化してもごくわずかで
ある。
【００５０】一方、初期不良品は、欠陥が存在するため
に、その欠陥がバーンインによって進行していく。その
ため電源電流のパワースペクトルデータも大きく変化し
て時間変化率が大きくなる。すなわち、欠陥の存在する
ＤＵＴの電源電流のパワースペクトルデータはバーンイ
ンの実施によって大きく変化するため、バーンイン実施
による電源電流のパワースペクトルの時間変化率によっ
て初期不良品を検出することができる。
【００５１】本実施形態のスクリーニング方法によれ
ば、ＤＵＴに欠陥があった場合に、その欠陥がバーンイ
ンによって進行する様子が電源電流のパワースペクトル
データの変化として観測することができる。したがっ
て、初期不良品の劣化の進行具合が分かるため、初期不
良品のスクリーニングをより正確に行うことができる。
【００５２】（第４の実施の形態）次に本発明のスクリ
ーニング方法の第４の実施の形態について図面を用いて
説明する。
【００５３】図８は本発明のスクリーニング装置の第４
の実施の形態の構成を示すブロック図であり、図９は図
８に示したコンピュータの一構成例を示すブロック図で
ある。
【００５４】図８に示すように、本実施形態のスクリー
ニング装置は、図１に示した観測データ記憶装置、判定
装置、及び主制御装置をコンピュータ８に置き換えた構
成である。その他の構成は第１の実施の形態と同様であ
るため、その説明は省略する。
【００５５】図９に示すように、コンピュータ８は、プ
ログラムにしたがって所定の処理を実行する処理装置１
０と、処理装置１０に対してコマンドや情報等を入力す
るための入力装置２０と、処理装置１０の処理結果をモ
ニタするための出力装置３０とを有する構成である。
【００５６】処理装置１０は、ＣＰＵ１１と、ＣＰＵ１
１の処理に必要な情報を一時的に記憶する主記憶装置１
２と、ＣＰＵ１１に、テスト信号生成装置、テスト電
源、及びスペクトル解析装置を制御させるための制御プ
ログラムが記録された記録媒体１３と、スペクトル解析
装置が算出したＤＵＴに流れる電源電流のパワースペク
トルデータを保存する観測データ記憶装置１４と、主記
憶装置１２、記録媒体１３及び観測データ記憶装置１４
とのデータ転送を制御するメモリ制御インタフェース部
１５と、入力装置２０及び出力装置３０とのインタフェ
ース装置であるＩ／Ｏインタフェース部１６と、テスト
信号生成装置、テスト電源、及びスペクトル解析装置と
データの送受信を行うための通信制御装置１７とを備
え、それらがバス１８を介して接続された構成である。
【００５７】処理装置１０は、記録媒体１３に記録され
た制御プログラムにしたがって、第１の実施の形態〜第
３の実施の形態と同様に、テスト信号生成装置、テスト
電源、及びスペクトル解析装置の動作をそれぞれ制御す
ると共に、観測データ記憶装置、及び判定装置の処理を
実行する。なお、記録媒体１３は、磁気ディスク、半導
体メモリ、光ディスクあるいはその他の記録媒体であっ
てもよい。
【００５８】本実施形態のような構成であっても、第１
の実施の形態〜第３の実施の形態と同様の効果を得るこ
とができる。
【００５９】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載する効果を奏する。
【００６０】集積回路装置に所定の電源電圧を供給する
と共に、所定の周期から成るテスト信号を生成して集積
回路装置に印加し、集積回路装置に流れる電源電流を観
測し、集積回路装置に印加されるテスト信号に対応した
電源電流のパワースペクトルデータを算出し、初期不良
品を含む複数の集積回路装置の電源電流のパワースペク
トルデータの分布率を求め、パワースペクトルデータが
所定の判定基準値よりも大きい集積回路装置を初期不良
品と判定することで、集積回路装置にバーンインを実施
することなく初期不良を検出することができるため、バ
ーンイン時間が不要になり、短時間で初期不良品を除去
することができる。
【００６１】また、集積回路装置に予め短時間バーンイ
ンを実施しておくことで、その初期不良の原因である欠
陥が進行するため、初期不良を確実に検出することがで
きる。
【００６２】さらに、集積回路装置に対するバーンイン
前、バーンイン中、バーンイン後における電源電流のパ
ワースペクトルデータの変化率を求めることで、集積回
路装置に欠陥があった場合に、その欠陥がバーンインに
よって進行する様子が電源電流のパワースペクトルデー
タの変化として観測することができる。したがって、初
期不良品の劣化の進行具合が分かるため、該変化率が所
定の判定基準値よりも大きい集積回路装置を初期不良品
と判定することで、初期不良品のスクリーニングをより
正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のスクリーニング装置の第１の実施の形
態の構成を示すブロック図である。
【図２】ＤＵＴに流れる電源電流のパワースペクトルの
一例を示すグラフである。
【図３】良品及び初期不良品の特性のパワースペクトル
データのばらつきの一例を示すグラフである。
【図４】本発明のスクリーニング方法の第１の実施の形
態の処理手順を示すフローチャートである。
【図５】図１に示したテスト信号生成装置が生成するテ
スト信号の様子を示す模式図である。
【図６】図１に示したスクリーニング装置のパワースペ
クトルデータの測定結果の一例を示すテーブル図であ
る。
【図７】バーンイン実施によるＤＵＴの電源電流のパワ
ースペクトルデータの変化の一例を示すグラフである。
【図８】本発明のスクリーニング装置の第４の実施の形
態の構成を示すブロック図である。
【図９】図８に示したコンピュータの一構成例を示すブ
ロック図である。
【符号の説明】
１ テスト信号生成装置 ２ テスト電源 ３ スペクトル解析装置 ４ ＤＵＴ ５、１４ 観測データ記憶装置 ６ 判定手段 ７ 主制御装置 ８ コンピュータ １０ 処理装置 １１ ＣＰＵ １２ 主記憶装置 １３ 記録媒体 １５ メモリ制御インタフェース部 １６ Ｉ／Ｏインタフェース部 １７ 通信制御装置 １８ バス ２０ 入力装置 ３０ 出力装置

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 集積回路装置の初期不良品をスクリーニ
    ングするためのスクリーニング方法であって、 前記集積回路装置に所定の電源電圧を供給すると共に、
    所定の周期から成るテスト信号を生成して前記集積回路
    装置に印加し、 前記集積回路装置に流れる電源電流を観測し、前記集積
    回路装置に印加されるテスト信号に対応した電源電流の
    パワースペクトルデータを算出し、 前記初期不良品を含む複数の集積回路装置の電源電流の
    パワースペクトルデータの分布率を求め、前記パワース
    ペクトルデータが所定の判定基準値よりも大きい集積回
    路装置を前記初期不良品と判定するスクリーニング方
    法。
  2. 【請求項２】 前記集積回路装置に、 予め短時間バーンインを実施しておく請求項１記載のス
    クリーニング方法。
  3. 【請求項３】 集積回路装置の初期不良品をスクリーニ
    ングするためのスクリーニング方法であって、 前記集積回路装置に対するバーンイン前、バーンイン
    中、及びバーンイン後に、それぞれ前記集積回路装置に
    所定の電源電圧を供給すると共に、所定の周期から成る
    テスト信号を生成して前記集積回路装置に印加し、 前記集積回路装置に流れる電源電流を観測し、前記集積
    回路装置に印加されるテスト信号に対応した電源電流の
    パワースペクトルデータを算出し、 前記集積回路装置に対するバーンイン前、バーンイン
    中、バーンイン後における電源電流のパワースペクトル
    データの変化率を求め、該変化率が所定の判定基準値よ
    りも大きい集積回路装置を初期不良品と判定するスクリ
    ーニング方法。
  4. 【請求項４】 集積回路装置の初期不良品をスクリーニ
    ングするスクリーニング装置であって、 所定の周期から成るテスト信号を生成し、前記集積回路
    装置に印加するテスト信号生成装置と、 前記集積回路装置に所定の電源電圧を供給するテスト電
    源と、 前記テスト電源から前記集積回路装置に流れる電源電流
    を観測し、前記集積回路装置に印加されるテスト信号に
    対応した電源電流のパワースペクトルデータを算出する
    スペクトル解析装置と、 前記スペクトル解析装置で算出されたパワースペクトル
    データを保存する観測データ記憶装置と、 前記観測データ記憶装置に保存されたパワースペクトル
    データを読み出し、前記初期不良品を含む複数の集積回
    路装置の電源電流のパワースペクトルデータの分布率を
    求め、前記パワースペクトルデータが所定の判定基準値
    よりも大きい集積回路装置を前記初期不良品と判定する
    判定装置と、を有するスクリーニング装置。
  5. 【請求項５】 前記集積回路装置は、 予め短時間バーンインが実施された請求項４記載のスク
    リーニング装置。
  6. 【請求項６】 前記判定装置は、 前記集積回路装置に対するバーンイン前、バーンイン
    中、バーンイン後における電源電流のパワースペクトル
    データの変化率を求め、該変化率が所定の判定基準値よ
    りも大きい集積回路装置を初期不良品と判定する請求項
    ４記載のスクリーニング装置。
  7. 【請求項７】 所定の周期から成るテスト信号を生成す
    るテスト信号生成装置と、 所定の電源電圧を出力するテスト電源と、 電源電流を観測可能に集積回路装置へ接続される、該電
    源電流のパワースペクトルデータを算出するスペクトル
    解析装置と、 を備え、前記集積回路装置の初期不良品をスクリーニン
    グするためのスクリーニング処理をコンピュータで実行
    するためのプログラムが記録された記録媒体であって、 前記テスト電源に所定の電源電圧を前記集積回路装置へ
    供給させると共に、前記テスト信号生成装置に所定の周
    期から成るテスト信号を前記集積回路装置に印加させ、 前記スペクトル解析装置に、前記集積回路装置に印加さ
    れるテスト信号に対応した電源電流のパワースペクトル
    データを算出させ、 前記初期不良品を含む複数の集積回路装置の電源電流の
    パワースペクトルデータの分布率を求め、前記パワース
    ペクトルデータが所定の判定基準値よりも大きい集積回
    路装置を前記初期不良品と判定するためのプログラムが
    記録された記録媒体。
  8. 【請求項８】 所定の周期から成るテスト信号を生成す
    るテスト信号生成装置と、 所定の電源電圧を出力するテスト電源と、 電源電流を観測可能に集積回路装置へ接続される、該電
    源電流のパワースペクトルデータを算出するスペクトル
    解析装置と、 を備え、前記集積回路装置の初期不良品をスクリーニン
    グするためのスクリーニング処理をコンピュータで実行
    するためのプログラムが記録された記録媒体であって、 前記集積回路装置に対するバーンイン前、バーンイン
    中、及びバーンイン後に、それぞれ前記テスト電源に所
    定の電源電圧を前記集積回路装置へ供給させると共に、
    前記テスト信号生成装置に所定の周期から成るテスト信
    号を前記集積回路装置に印加させ、 前記スペクトル解析装置に、前記集積回路装置に印加さ
    れるテスト信号に対応した電源電流のパワースペクトル
    データを算出させ、 前記集積回路装置に対するバーンイン前、バーンイン
    中、及びバーンイン後における電源電流のパワースペク
    トルデータの変化率を求め、該変化率が所定の判定基準
    値よりも大きい集積回路装置を初期不良品と判定するた
    めのプログラムが記録された記録媒体。
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