JP2001324491A - オクタフルオロシクロペンテン測定装置 - Google Patents
オクタフルオロシクロペンテン測定装置Info
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- JP2001324491A JP2001324491A JP2000144713A JP2000144713A JP2001324491A JP 2001324491 A JP2001324491 A JP 2001324491A JP 2000144713 A JP2000144713 A JP 2000144713A JP 2000144713 A JP2000144713 A JP 2000144713A JP 2001324491 A JP2001324491 A JP 2001324491A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フッ素系溶媒ガスの存在に関わりなく、管理
濃度程度のＣ5Ｆ8を高い信頼性で測定すること。 【解決手段】 サンプリングガス中に存在するオクタフ
ルオロシクロペンテンを熱分解して酸性ガスを発生させ
る熱分解炉１と、炉１から排出されたガスを取り込み、
測定領域の光学濃度を検出する光学手段を備えた測定ヘ
ッド１４と、酸性ガスと反応して光学的濃度を変化する
テープ状に加工された検知紙１１を一定時間毎に搬送す
るテープ搬送手段１５とを備え、検出領域を更新しなが
ら測定する。
濃度程度のＣ5Ｆ8を高い信頼性で測定すること。 【解決手段】 サンプリングガス中に存在するオクタフ
ルオロシクロペンテンを熱分解して酸性ガスを発生させ
る熱分解炉１と、炉１から排出されたガスを取り込み、
測定領域の光学濃度を検出する光学手段を備えた測定ヘ
ッド１４と、酸性ガスと反応して光学的濃度を変化する
テープ状に加工された検知紙１１を一定時間毎に搬送す
るテープ搬送手段１５とを備え、検出領域を更新しなが
ら測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、管理濃度程度のオ
クタフルオロシクロペンテンを検出する測定装置に関す
る。
クタフルオロシクロペンテンを検出する測定装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】オクタフルオロシクロペンテンは、本来
のドライエッチング特性が極めて勝れていて、オゾン破
壊係数が零で、かつ地球温暖化効果係数、大気寿命がＣ
Ｆ4、Ｃ4Ｆ8に比較して極めて小さく、シリコンウエフ
ァのドライエッチングの作用ガスとして今後大量に使用
される可能性があるが、他のパーフロロカーボンが毒性
を有しないのに対して、毒性が強く、環境での管理基準
濃度が２ｐｐｍと極めて低く抑えられいる。このため、
オクタフルオロシクロペンテンは、通常、触媒を内蔵し
た反応管により数百度以上の温度で熱分解し、この時に
生じるフッ化水素等の酸性ガスを電気化学式センサーに
より検出して、環境中での濃度が管理されている。
のドライエッチング特性が極めて勝れていて、オゾン破
壊係数が零で、かつ地球温暖化効果係数、大気寿命がＣ
Ｆ4、Ｃ4Ｆ8に比較して極めて小さく、シリコンウエフ
ァのドライエッチングの作用ガスとして今後大量に使用
される可能性があるが、他のパーフロロカーボンが毒性
を有しないのに対して、毒性が強く、環境での管理基準
濃度が２ｐｐｍと極めて低く抑えられいる。このため、
オクタフルオロシクロペンテンは、通常、触媒を内蔵し
た反応管により数百度以上の温度で熱分解し、この時に
生じるフッ化水素等の酸性ガスを電気化学式センサーに
より検出して、環境中での濃度が管理されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、オクタフル
オロシクロペンテンが使用されるシリコンウエファのド
ライエッチングの現場では、器機の洗浄等のためにガル
デン（商品名）やフロリナート（商品名）のフッ素系が
使用されていて、環境中に比較的高い濃度で存在する。
一方、電気化学式センサーは、気体が透過可能な膜に白
金等の電極を形成した隔膜に電解液を接液させて、被検
ガスによる酸化、還元電流を測定する関係上、ガルデン
やフロリナートがその極めて低い表面張力による高い浸
透性により、隔膜に吸着されたり、また電解液に容易に
溶解して検出感度が変化させるばかりでなく、電気化学
式センサーに取り込まれたこれら溶媒は、元の検出特性
を発揮させる濃度に揮散するには長時間を要する。この
ため、管理基準濃度程度のオクタフルオロシクロペンテ
ンの熱分解により生成された低い濃度の酸性ガスを電気
化学式ガスセンサーにより高い信頼性で検出することが
困難であるという問題がある。本発明はこのような問題
に鑑みてなされたものであって、その目的とするところ
は一時的なフッ素系溶媒ガスの存在に関わりなく、管理
濃度程度のオクタフルオロシクロペンテンを高い信頼性
で検出することができる測定装置を提供することであ
る。
オロシクロペンテンが使用されるシリコンウエファのド
ライエッチングの現場では、器機の洗浄等のためにガル
デン（商品名）やフロリナート（商品名）のフッ素系が
使用されていて、環境中に比較的高い濃度で存在する。
一方、電気化学式センサーは、気体が透過可能な膜に白
金等の電極を形成した隔膜に電解液を接液させて、被検
ガスによる酸化、還元電流を測定する関係上、ガルデン
やフロリナートがその極めて低い表面張力による高い浸
透性により、隔膜に吸着されたり、また電解液に容易に
溶解して検出感度が変化させるばかりでなく、電気化学
式センサーに取り込まれたこれら溶媒は、元の検出特性
を発揮させる濃度に揮散するには長時間を要する。この
ため、管理基準濃度程度のオクタフルオロシクロペンテ
ンの熱分解により生成された低い濃度の酸性ガスを電気
化学式ガスセンサーにより高い信頼性で検出することが
困難であるという問題がある。本発明はこのような問題
に鑑みてなされたものであって、その目的とするところ
は一時的なフッ素系溶媒ガスの存在に関わりなく、管理
濃度程度のオクタフルオロシクロペンテンを高い信頼性
で検出することができる測定装置を提供することであ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、サンプリングガス中に存在
するオクタフルオロシクロペンテンを熱分解して酸性ガ
スを発生させる熱分解手段と、前記熱分解手段から排出
されたガスを取り込み、測定領域の光学濃度を検出する
光学手段を備えた測定ヘッドと、酸性ガスと反応して光
学的濃度を変化するテープ状に加工された検知紙を一定
時間毎に搬送するテープ搬送手段とを備えるようにし
た。
るために本発明においては、サンプリングガス中に存在
するオクタフルオロシクロペンテンを熱分解して酸性ガ
スを発生させる熱分解手段と、前記熱分解手段から排出
されたガスを取り込み、測定領域の光学濃度を検出する
光学手段を備えた測定ヘッドと、酸性ガスと反応して光
学的濃度を変化するテープ状に加工された検知紙を一定
時間毎に搬送するテープ搬送手段とを備えるようにし
た。
【０００５】
【作用】所定時間毎に更新された新しい検知領域が被検
ガスに晒されるため、電気化学式センサーのように溶媒
の揮散を待つ必要がなく、たとえ溶媒ガスが一時的に存
在した場合にでも、オクタフルオロシクロペンテンの濃
度を適時に知ることができる。
ガスに晒されるため、電気化学式センサーのように溶媒
の揮散を待つ必要がなく、たとえ溶媒ガスが一時的に存
在した場合にでも、オクタフルオロシクロペンテンの濃
度を適時に知ることができる。
【０００６】
【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図１は、本発明のオク
タフルオロシクロペンテン測定装置の一実施例を示すも
のであって、熱分解炉１は、オクタフルオロシクロペン
テンに対して高い熱分解促進性を有する物質、たとえば
金、白金等の酸化性触媒からなり、ガス透過性を阻害し
ないように網状態や粒状体に加工された充填物２を収容
した耐化学耐熱性材料、例えば石英管３にヒータ４を巻
回して構成され、流入口３ａがサンプリング領域に接続
され、また排出口３ｂが検知紙式ガス検出装置１０に接
続されている。
した実施例に基づいて説明する。図１は、本発明のオク
タフルオロシクロペンテン測定装置の一実施例を示すも
のであって、熱分解炉１は、オクタフルオロシクロペン
テンに対して高い熱分解促進性を有する物質、たとえば
金、白金等の酸化性触媒からなり、ガス透過性を阻害し
ないように網状態や粒状体に加工された充填物２を収容
した耐化学耐熱性材料、例えば石英管３にヒータ４を巻
回して構成され、流入口３ａがサンプリング領域に接続
され、また排出口３ｂが検知紙式ガス検出装置１０に接
続されている。
【０００７】検知紙式ガス検出装置１０は、テープ状に
加工された検知紙１１を、発光素子１２と受光素子１３
とを備えた測定ヘッド１４に一定時間毎に搬送するテー
プ搬送機構１５と、サンプリングポンプ１６からの負圧
を受けて、測定ヘッド１４と共同して検知紙１１に被検
ガスを接触させる吸引ヘッド１７とから構成されてい
る。
加工された検知紙１１を、発光素子１２と受光素子１３
とを備えた測定ヘッド１４に一定時間毎に搬送するテー
プ搬送機構１５と、サンプリングポンプ１６からの負圧
を受けて、測定ヘッド１４と共同して検知紙１１に被検
ガスを接触させる吸引ヘッド１７とから構成されてい
る。
【０００８】なお、検知紙１４は、ＨＦ等の酸性ガスと
反応して呈色するものであればよく、例えばメチルレッ
ド０．０２ｗｔ％、バッファ溶液１７．５ミリリット
ル、及び保湿剤、例えばグリセリンやエチレングリコー
ル等の多価アルコール１５ｍｌを、全量が１００ｍｌと
なるように易蒸発性有機溶媒に溶解した発色液に、セル
ロースを素材とするろ紙に含浸させ有機溶媒を揮散させ
て製造することができる。
反応して呈色するものであればよく、例えばメチルレッ
ド０．０２ｗｔ％、バッファ溶液１７．５ミリリット
ル、及び保湿剤、例えばグリセリンやエチレングリコー
ル等の多価アルコール１５ｍｌを、全量が１００ｍｌと
なるように易蒸発性有機溶媒に溶解した発色液に、セル
ロースを素材とするろ紙に含浸させ有機溶媒を揮散させ
て製造することができる。
【０００９】この実施例において、熱分解炉１の加熱温
度を温度制御手段１８によりオクタフルオロシクロペン
テンを熱分解できる程度の温度に調整してサンプリング
ポンプ１６を作動させと、オクタフルオロシクロペンテ
ンを含んだ被検ガスが熱分解炉１に流入して酸性ガスで
あるＨＦに熱分解される。
度を温度制御手段１８によりオクタフルオロシクロペン
テンを熱分解できる程度の温度に調整してサンプリング
ポンプ１６を作動させと、オクタフルオロシクロペンテ
ンを含んだ被検ガスが熱分解炉１に流入して酸性ガスで
あるＨＦに熱分解される。
【００１０】酸性ガスは、検知紙式ガス検出装置１０の
検知紙１１の試薬と反応し、酸性ガスの濃度に応じた光
学的濃度の反応痕を生じさせる。この反応は、オクタフ
ルオロシクロペンテンのサンプリング時間にほぼ正比例
して進行し、反応度合が光学的濃度として検知紙の表面
に発現される。また、サンプリング時間を調整すること
により、検出感度を任意に設定することができる。
検知紙１１の試薬と反応し、酸性ガスの濃度に応じた光
学的濃度の反応痕を生じさせる。この反応は、オクタフ
ルオロシクロペンテンのサンプリング時間にほぼ正比例
して進行し、反応度合が光学的濃度として検知紙の表面
に発現される。また、サンプリング時間を調整すること
により、検出感度を任意に設定することができる。
【００１１】一定時間が経過すると、検知紙１１のサン
プリングガスに晒されていない新しい領域が測定ヘッド
１４に送り込まれ、つぎの測定サイクルが開始される。
これにより、以前に洗浄作業等により測定環境に検知紙
１１の測定感度を低下させる等の妨害性ガスが存在して
も、妨害性ガスと接触していない検知紙１１の新しい領
域により測定を実行することができ、この時点でオクタ
フルオロシクロペンテンが環境中に管理濃度程度に漏洩
した場合にでも確実に検出することができる。
プリングガスに晒されていない新しい領域が測定ヘッド
１４に送り込まれ、つぎの測定サイクルが開始される。
これにより、以前に洗浄作業等により測定環境に検知紙
１１の測定感度を低下させる等の妨害性ガスが存在して
も、妨害性ガスと接触していない検知紙１１の新しい領
域により測定を実行することができ、この時点でオクタ
フルオロシクロペンテンが環境中に管理濃度程度に漏洩
した場合にでも確実に検出することができる。
【００１２】
【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、サンプリングガス中に存在するオクタフルオロシク
ロペンテンを熱分解して酸性ガスを発生させる熱分解手
段と、熱分解手段から排出されたガスを取り込み、測定
領域の光学濃度を検出する光学手段を備えた測定ヘッド
と、酸性ガスと反応して光学的濃度を変化するテープ状
に加工された検知紙を一定時間毎に搬送するテープ搬送
手段とを備えたので、以前に洗浄作業等により測定環境
にフッ素系溶媒ガスが存在しても、妨害性ガスと接触し
ていない検知紙の新しい領域により測定を実行すること
ができ、管理濃度程度のオクタフルオロシクロペンテン
を高い信頼性で検出することができる。
は、サンプリングガス中に存在するオクタフルオロシク
ロペンテンを熱分解して酸性ガスを発生させる熱分解手
段と、熱分解手段から排出されたガスを取り込み、測定
領域の光学濃度を検出する光学手段を備えた測定ヘッド
と、酸性ガスと反応して光学的濃度を変化するテープ状
に加工された検知紙を一定時間毎に搬送するテープ搬送
手段とを備えたので、以前に洗浄作業等により測定環境
にフッ素系溶媒ガスが存在しても、妨害性ガスと接触し
ていない検知紙の新しい領域により測定を実行すること
ができ、管理濃度程度のオクタフルオロシクロペンテン
を高い信頼性で検出することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
１ 熱分解炉 ２ 充填物 ３ 石英管 ４ ヒータ １０ 検知紙式ガス検出装置 １１ 検知紙 １２ 発光素子 １３ 受光素子 １４ 測定ヘッド １５ テープ搬送機構 １６ サンプリングポンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G042 AA01 BD02 CA01 CB01 DA05 DA08 FA11 FB07 FC01 HA07 2G054 AA01 AB07 BB13 BB20 CA30 CB03 CE02 EA06 FA34 GB01 GB04 GB05 GE02 GE06
Claims (1)
- 【請求項１】 サンプリングガス中に存在するオクタフ
ルオロシクロペンテンを熱分解して酸性ガスを発生させ
る熱分解手段と、前記熱分解手段から排出されたガスを
取り込み、測定領域の光学濃度を検出する光学手段を備
えた測定ヘッドと、酸性ガスと反応して光学的濃度を変
化するテープ状に加工された検知紙を一定時間毎に搬送
するテープ搬送手段とからなるオクタフルオロシクロペ
ンテン測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000144713A JP2001324491A (ja) | 2000-05-17 | 2000-05-17 | オクタフルオロシクロペンテン測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000144713A JP2001324491A (ja) | 2000-05-17 | 2000-05-17 | オクタフルオロシクロペンテン測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001324491A true JP2001324491A (ja) | 2001-11-22 |
Family
ID=18651328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000144713A Pending JP2001324491A (ja) | 2000-05-17 | 2000-05-17 | オクタフルオロシクロペンテン測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001324491A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003075342A (ja) * | 2001-08-30 | 2003-03-12 | Riken Keiki Co Ltd | オクタフルオロシクロペンテン測定装置 |
| JP2005062136A (ja) * | 2003-08-20 | 2005-03-10 | Riken Keiki Co Ltd | マスタード検出装置 |
| WO2012002239A1 (ja) * | 2010-06-29 | 2012-01-05 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | ハロゲン化物の検出剤、並びにそれを検出する方法及び検出センサー |
| JP2012112846A (ja) * | 2010-11-25 | 2012-06-14 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 検出方法及び検出センサー |
| JP2012207980A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | フッ素化不飽和炭化水素の検出方法及び検出センサー |
| JP2012207978A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | フッ素化炭化水素の検出方法及び検出センサー |
| JP2012207979A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | フッ素化炭化水素化合物の検出方法及び検出センサー |
| JP2015042987A (ja) * | 2014-10-14 | 2015-03-05 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 検出方法及び検出センサー |
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-
2000
- 2000-05-17 JP JP2000144713A patent/JP2001324491A/ja active Pending
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Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| JPN6009045392, 中野信夫、長島珍男, "テープ光電光度法を用いる大気中のＣ５Ｆ８モニターの開発", 月刊エコインダストリー, 20000425, Ｖｏｌ．５，Ｎｏ．５, Ｐ．２０−２６ * |
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| WO2012002239A1 (ja) * | 2010-06-29 | 2012-01-05 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | ハロゲン化物の検出剤、並びにそれを検出する方法及び検出センサー |
| JP5867730B2 (ja) * | 2010-06-29 | 2016-02-24 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | ハロゲン化物の検出剤、並びにそれを検出する方法及び検出センサー |
| JP2012112846A (ja) * | 2010-11-25 | 2012-06-14 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 検出方法及び検出センサー |
| JP2012207980A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | フッ素化不飽和炭化水素の検出方法及び検出センサー |
| JP2012207978A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | フッ素化炭化水素の検出方法及び検出センサー |
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| JP2015042987A (ja) * | 2014-10-14 | 2015-03-05 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 検出方法及び検出センサー |
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