JP2003075342A - オクタフルオロシクロペンテン測定装置 - Google Patents
オクタフルオロシクロペンテン測定装置Info
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- JP2003075342A JP2003075342A JP2001262002A JP2001262002A JP2003075342A JP 2003075342 A JP2003075342 A JP 2003075342A JP 2001262002 A JP2001262002 A JP 2001262002A JP 2001262002 A JP2001262002 A JP 2001262002A JP 2003075342 A JP2003075342 A JP 2003075342A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フッ素系溶媒ガスの存在に関わりなく、管理
濃度程度のオクタフルオロシクロペンテンを高い選択性
で測定すること。 【解決手段】 熱分解促進性を有し、オクタフルオロシ
クロペンテンから酸性ガスを発生させる酸化触媒２が充
填された第１の熱分解炉１と、フッ素系洗浄剤のガスを
熱分解して酸性ガスを発生させる第２の熱分解炉１１
と、第１、第２の熱分解炉１、１１との酸性ガスの濃度
の差分を検出する酸性ガス検出装置９、１９とを備え、
第１と第２の熱分解炉１、１１から酸性ガスの濃度差を
検出する。
濃度程度のオクタフルオロシクロペンテンを高い選択性
で測定すること。 【解決手段】 熱分解促進性を有し、オクタフルオロシ
クロペンテンから酸性ガスを発生させる酸化触媒２が充
填された第１の熱分解炉１と、フッ素系洗浄剤のガスを
熱分解して酸性ガスを発生させる第２の熱分解炉１１
と、第１、第２の熱分解炉１、１１との酸性ガスの濃度
の差分を検出する酸性ガス検出装置９、１９とを備え、
第１と第２の熱分解炉１、１１から酸性ガスの濃度差を
検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、管理濃度程度のオ
クタフルオロシクロペンテンを検出する測定装置に関す
る。
クタフルオロシクロペンテンを検出する測定装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】オクタフルオロシクロペンテン（Ｃ５Ｆ
８）は、本来のドライエッチング特性が極めて勝れてい
て、オゾン破壊係数が零で、かつ地球温暖化効果係数、
大気寿命がＣＦ4、Ｃ4Ｆ8に比較して極めて小さく、シ
リコンウエファのドライエッチングの作用ガスとして今
後大量に使用される可能性があるが、他のパーフロロカ
ーボンが毒性を有しないのに対して、オクタフルオロシ
クロペンテンは毒性が強く、環境での管理基準濃度が２
ｐｐｍと極めて低く抑えられいる。このため、オクタフ
ルオロシクロペンテンは、通常、触媒を内蔵した反応管
により数百度以上の温度で熱分解し、この時に生じるフ
ッ化水素等の酸性ガスを電気化学式センサーや呈色反応
試薬を担持した検出材により検出して、環境中での濃度
が管理されている。
８）は、本来のドライエッチング特性が極めて勝れてい
て、オゾン破壊係数が零で、かつ地球温暖化効果係数、
大気寿命がＣＦ4、Ｃ4Ｆ8に比較して極めて小さく、シ
リコンウエファのドライエッチングの作用ガスとして今
後大量に使用される可能性があるが、他のパーフロロカ
ーボンが毒性を有しないのに対して、オクタフルオロシ
クロペンテンは毒性が強く、環境での管理基準濃度が２
ｐｐｍと極めて低く抑えられいる。このため、オクタフ
ルオロシクロペンテンは、通常、触媒を内蔵した反応管
により数百度以上の温度で熱分解し、この時に生じるフ
ッ化水素等の酸性ガスを電気化学式センサーや呈色反応
試薬を担持した検出材により検出して、環境中での濃度
が管理されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、オクタフル
オロシクロペンテンが使用されるシリコンウエファのド
ライエッチングの現場では、器機の洗浄等のためにガル
デン（商品名）のフッ素系洗浄剤が使用されていて、こ
れらガルデンが測定環境中に比較的高い濃度で存在す
る。これら、ガルデン類もやはり熱分解されてフッ化水
素の化合物を生成するため、オクタフルオロシクロペン
テンの検出精度が低下したり、また検出ミスを起こすと
いう問題がある。本発明はこのような問題に鑑みてなさ
れたものであって、その目的とするところはフッ素系溶
媒ガスの存在に関わりなく、管理濃度程度のオクタフル
オロシクロペンテンを高い信頼性で検出することができ
る測定装置を提供することである。
オロシクロペンテンが使用されるシリコンウエファのド
ライエッチングの現場では、器機の洗浄等のためにガル
デン（商品名）のフッ素系洗浄剤が使用されていて、こ
れらガルデンが測定環境中に比較的高い濃度で存在す
る。これら、ガルデン類もやはり熱分解されてフッ化水
素の化合物を生成するため、オクタフルオロシクロペン
テンの検出精度が低下したり、また検出ミスを起こすと
いう問題がある。本発明はこのような問題に鑑みてなさ
れたものであって、その目的とするところはフッ素系溶
媒ガスの存在に関わりなく、管理濃度程度のオクタフル
オロシクロペンテンを高い信頼性で検出することができ
る測定装置を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、熱分解促進性を有し、オク
タフルオロシクロペンテンから酸性ガスを発生させる酸
化触媒が充填された第１の熱分解手段と、フッ素系洗浄
剤のガスを熱分解して酸性ガスを発生させる第２の熱分
解手段と、第１の熱分解手段と第２の熱分解手段との酸
性ガスの濃度の差分を検出する酸性ガス検出手段とを備
えるようにした。
るために本発明においては、熱分解促進性を有し、オク
タフルオロシクロペンテンから酸性ガスを発生させる酸
化触媒が充填された第１の熱分解手段と、フッ素系洗浄
剤のガスを熱分解して酸性ガスを発生させる第２の熱分
解手段と、第１の熱分解手段と第２の熱分解手段との酸
性ガスの濃度の差分を検出する酸性ガス検出手段とを備
えるようにした。
【０００５】
【作用】第１の熱分解手段からオクタフルオロシクロペ
ンテンを熱分解して酸性ガスを発生させる酸化触媒によ
りフッ素系洗浄剤のガスから酸性ガスが発生しても、第
２の熱分解炉によりフッ素系洗浄剤による酸性ガスの濃
度が判明するから、オクタフルオロシクロペンテンの濃
度を確実に検出できる。
ンテンを熱分解して酸性ガスを発生させる酸化触媒によ
りフッ素系洗浄剤のガスから酸性ガスが発生しても、第
２の熱分解炉によりフッ素系洗浄剤による酸性ガスの濃
度が判明するから、オクタフルオロシクロペンテンの濃
度を確実に検出できる。
【０００６】
【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図１は、本発明のオク
タフルオロシクロペンテン測定装置の一実施例を示すも
のであって、熱分解炉１は、オクタフルオロシクロペン
テンに対して高い熱分解促進性を有する物質、たとえば
金、白金、またはこれらを主成分とする酸化性触媒から
なり、ガスの透過を阻害しないように網状態や粒状体に
加工された充填物２を収容した耐化学耐熱性材料、例え
ば石英管３にヒータ４を巻回して構成され、流入口３ａ
がサンプリング領域に接続され、また排出口３ｂが第１
の酸性ガス検出装置９に接続されている。
した実施例に基づいて説明する。図１は、本発明のオク
タフルオロシクロペンテン測定装置の一実施例を示すも
のであって、熱分解炉１は、オクタフルオロシクロペン
テンに対して高い熱分解促進性を有する物質、たとえば
金、白金、またはこれらを主成分とする酸化性触媒から
なり、ガスの透過を阻害しないように網状態や粒状体に
加工された充填物２を収容した耐化学耐熱性材料、例え
ば石英管３にヒータ４を巻回して構成され、流入口３ａ
がサンプリング領域に接続され、また排出口３ｂが第１
の酸性ガス検出装置９に接続されている。
【０００７】第２の熱分解炉１１は、石英管１３にヒー
タ１４を巻回して構成され、流入口１３ａがサンプリン
グ領域に接続され、また排出口１３ｂが第２の酸性ガス
検出装置１９に接続され、石英管の温度がガルデン類を
熱分解できる温度に設定されている。なお、この実施例
では、ガスの加熱効率を高めるため、シリコン等の不活
性粒子１２が、石英管１３に充填されている。
タ１４を巻回して構成され、流入口１３ａがサンプリン
グ領域に接続され、また排出口１３ｂが第２の酸性ガス
検出装置１９に接続され、石英管の温度がガルデン類を
熱分解できる温度に設定されている。なお、この実施例
では、ガスの加熱効率を高めるため、シリコン等の不活
性粒子１２が、石英管１３に充填されている。
【０００８】これら第１、第２の酸性ガス検出装置９、
１９は同様のものが使用されていて、第１の酸性ガス検
出装置９に例を採って説明する。酸性ガス検出装置９
は、テープ状に加工された検知紙２１を、発光素子２２
と受光素子２３とを備えた測定ヘッド２４に一定時間毎
に搬送するテープ搬送機構２５と、サンプリングポンプ
２６からの負圧を受けて、測定ヘッド２４と共同して検
知紙２１に被検ガスを接触させる吸引ヘッド２７とから
構成されている。
１９は同様のものが使用されていて、第１の酸性ガス検
出装置９に例を採って説明する。酸性ガス検出装置９
は、テープ状に加工された検知紙２１を、発光素子２２
と受光素子２３とを備えた測定ヘッド２４に一定時間毎
に搬送するテープ搬送機構２５と、サンプリングポンプ
２６からの負圧を受けて、測定ヘッド２４と共同して検
知紙２１に被検ガスを接触させる吸引ヘッド２７とから
構成されている。
【０００９】なお、検知紙２１は、ＨＦ等の酸性ガスと
反応して呈色するものであればよく、例えばメチルレッ
ド０．０２ｗｔ％、バッファ溶液１７．５ミリリット
ル、及び保湿剤、例えばグリセリンやエチレングリコー
ル等の多価アルコール１５ｍｌを、全量が１００ｍｌと
なるように易蒸発性有機溶媒に溶解した発色液に、セル
ロースを素材とするろ紙に含浸させ有機溶媒を揮散させ
て製造することができる。
反応して呈色するものであればよく、例えばメチルレッ
ド０．０２ｗｔ％、バッファ溶液１７．５ミリリット
ル、及び保湿剤、例えばグリセリンやエチレングリコー
ル等の多価アルコール１５ｍｌを、全量が１００ｍｌと
なるように易蒸発性有機溶媒に溶解した発色液に、セル
ロースを素材とするろ紙に含浸させ有機溶媒を揮散させ
て製造することができる。
【００１０】この実施例において、温度制御手段２０に
より第１の熱分解炉１の加熱温度をオクタフルオロシク
ロペンテンを熱分解できる４８０乃至６００°Ｃ、例え
ば５００°Ｃに、また第２の熱分解炉１１の加熱温度を
ガルデン類を熱分解できる７５０乃至８００°Ｃの範
囲、例えば８００°Ｃに調整してそれぞれのガス検出装
置９、１９のサンプリングポンプ２６を作動させると、
オクタフルオロシクロペンテン、及びガルデン類を含ん
だ被検ガスが第１の熱分解炉１に流入し、図２に示した
ようにこれらガスがともに酸性ガスであるＨＦ（符号Ａ
はオクタフルオロシクロペンテンによるものを、また符
号Ｂ、Ｂ’はガルデン類によるものを表わす）に熱分解
される。
より第１の熱分解炉１の加熱温度をオクタフルオロシク
ロペンテンを熱分解できる４８０乃至６００°Ｃ、例え
ば５００°Ｃに、また第２の熱分解炉１１の加熱温度を
ガルデン類を熱分解できる７５０乃至８００°Ｃの範
囲、例えば８００°Ｃに調整してそれぞれのガス検出装
置９、１９のサンプリングポンプ２６を作動させると、
オクタフルオロシクロペンテン、及びガルデン類を含ん
だ被検ガスが第１の熱分解炉１に流入し、図２に示した
ようにこれらガスがともに酸性ガスであるＨＦ（符号Ａ
はオクタフルオロシクロペンテンによるものを、また符
号Ｂ、Ｂ’はガルデン類によるものを表わす）に熱分解
される。
【００１１】一方、第２の熱分解炉１１に流入した被測
定ガスのうち、図３に示したようにガルデン類は、酸性
ガスであるＨＦ（符号Ｂ、Ｂ’）に熱分解されるが、オ
クタフルオロシクロペンテンは、触媒が存在しないた
め、熱分解を受けることがない。なお、温度が８００°
Ｃを超えると、環境中に存在するイソプロピールアルコ
ールが分解されて酸性ガスを生じる（符号Ｃ）。
定ガスのうち、図３に示したようにガルデン類は、酸性
ガスであるＨＦ（符号Ｂ、Ｂ’）に熱分解されるが、オ
クタフルオロシクロペンテンは、触媒が存在しないた
め、熱分解を受けることがない。なお、温度が８００°
Ｃを超えると、環境中に存在するイソプロピールアルコ
ールが分解されて酸性ガスを生じる（符号Ｃ）。
【００１２】これら第１の熱分解炉１から流出した酸性
ガス、及び第２の熱分解炉１１から流出した酸性ガス
は、それぞれ酸性ガス検出装置９、１９の検知紙１１の
試薬と反応し、第１の検出装置９の検知紙１１は、オク
タフルオロシクロペンテン、ガルデン、及びフロリナー
トの熱分解により生じた酸性ガスの濃度に応じた光学的
濃度の反応痕を生じる。一方、第２の酸性ガス検出装置
１９の検知紙１１は、ガルデン類の熱分解により生じた
酸性ガスの濃度に応じた光学的濃度の反応痕を生じる。
ガス、及び第２の熱分解炉１１から流出した酸性ガス
は、それぞれ酸性ガス検出装置９、１９の検知紙１１の
試薬と反応し、第１の検出装置９の検知紙１１は、オク
タフルオロシクロペンテン、ガルデン、及びフロリナー
トの熱分解により生じた酸性ガスの濃度に応じた光学的
濃度の反応痕を生じる。一方、第２の酸性ガス検出装置
１９の検知紙１１は、ガルデン類の熱分解により生じた
酸性ガスの濃度に応じた光学的濃度の反応痕を生じる。
【００１３】したがって、第１の酸性ガス検出装置９と
第２の酸性ガス検出装置１９とのガス濃度信号の差分
が、オクタフルオロシクロペンテンの濃度を示すことに
なる。
第２の酸性ガス検出装置１９とのガス濃度信号の差分
が、オクタフルオロシクロペンテンの濃度を示すことに
なる。
【００１４】なお、上述の実施例においては、２台の酸
性ガス検出装置を使用しているが、同一の検知紙に対し
て２つの測定ヘッド、吸引ヘッドを配置することによ
り、１台の検出装置により検出することができる。
性ガス検出装置を使用しているが、同一の検知紙に対し
て２つの測定ヘッド、吸引ヘッドを配置することによ
り、１台の検出装置により検出することができる。
【００１５】また、上述の実施例においては、酸性ガス
を呈色反応により検出するようにしているが、他の形式
の酸性ガス検出手段、たとば気体が透過可能な膜に白金
等の電極を形成した隔膜に電解液を接液させて、被検ガ
スによる酸化、還元電流を測定する電気化学式センサー
により検出することもできる。
を呈色反応により検出するようにしているが、他の形式
の酸性ガス検出手段、たとば気体が透過可能な膜に白金
等の電極を形成した隔膜に電解液を接液させて、被検ガ
スによる酸化、還元電流を測定する電気化学式センサー
により検出することもできる。
【００１６】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
第１の熱分解手段からオクタフルオロシクロペンテンを
熱分解して酸性ガスを発生させる酸化触媒によりフッ素
系洗浄剤のガスから酸性ガスが発生しても、第２の熱分
解炉によりフッ素系洗浄剤による酸性ガスの濃度が判明
するから、フッ素系洗浄剤のガスが存在してもオクタフ
ルオロシクロペンテンの濃度を確実かつ高い精度で測定
することができる。
第１の熱分解手段からオクタフルオロシクロペンテンを
熱分解して酸性ガスを発生させる酸化触媒によりフッ素
系洗浄剤のガスから酸性ガスが発生しても、第２の熱分
解炉によりフッ素系洗浄剤による酸性ガスの濃度が判明
するから、フッ素系洗浄剤のガスが存在してもオクタフ
ルオロシクロペンテンの濃度を確実かつ高い精度で測定
することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】同上装置の第１熱分解炉で発生する酸性ガスの
濃度と温度との関係を示す線図である。
濃度と温度との関係を示す線図である。
【図３】同上装置の第２熱分解炉で発生する酸性ガスの
濃度と温度との関係を示す線図である。
濃度と温度との関係を示す線図である。
１、１１ 第１、第２熱分解炉
２ 熱分解促進用触媒
３、１３ 石英管
４、１４ ヒータ
９、１９ 第１、第２ガス検出装置
２６ サンプリングポンプ
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2G042 AA01 BD02 CA01 CB01 DA05
DA07 DA08 FA08 FA11 FB04
FB07 FC01 GA01 HA07
2G059 AA01 BB01 CC20 DD02 DD03
DD12 DD16 EE02 FF12 HH02
KK01 NN01
Claims (3)
- 【請求項１】 熱分解促進性を有し、オクタフルオロシ
クロペンテンから酸性ガスを発生させる酸化触媒が充填
された第１の熱分解手段と、フッ素系洗浄剤のガスを熱
分解して酸性ガスを発生させる第２の熱分解手段と、第
１の熱分解手段と第２の熱分解手段との酸性ガスの濃度
の差分を検出する酸性ガス検出手段とからなるオクタフ
ルオロシクロペンテン測定装置。 - 【請求項２】 前記酸性ガス検出手段が、測定領域の光
学濃度を検出する光学手段を備えた測定ヘッドと、酸性
ガスと反応して光学的濃度を変化する検知紙を一定時間
毎に搬送する搬送手段とにより構成されている請求項１
に記載のオクタフルオロシクロペンテン測定装置。 - 【請求項３】 第１の熱分解手段の酸化触媒が温度４８
０乃至６００°Ｃに維持されており、また第２の熱分解
手段の流路にオクタフルオロシクロペンテンに対して不
活性な充填材が充填され、温度が７５０乃至８００°Ｃ
に維持されている請求項１に記載のオクタフルオロシク
ロペンテン測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001262002A JP4605574B2 (ja) | 2001-08-30 | 2001-08-30 | オクタフルオロシクロペンテン測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001262002A JP4605574B2 (ja) | 2001-08-30 | 2001-08-30 | オクタフルオロシクロペンテン測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003075342A true JP2003075342A (ja) | 2003-03-12 |
| JP4605574B2 JP4605574B2 (ja) | 2011-01-05 |
Family
ID=19088962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001262002A Expired - Fee Related JP4605574B2 (ja) | 2001-08-30 | 2001-08-30 | オクタフルオロシクロペンテン測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4605574B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012002239A1 (ja) * | 2010-06-29 | 2012-01-05 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | ハロゲン化物の検出剤、並びにそれを検出する方法及び検出センサー |
| JP2018080949A (ja) * | 2016-11-14 | 2018-05-24 | 新コスモス電機株式会社 | 触媒転化式センサ |
| US10928339B2 (en) | 2015-11-13 | 2021-02-23 | New Cosmos Electric Co., Ltd. | Catalytic-conversion-type sensor |
| JP2021076610A (ja) * | 2021-01-13 | 2021-05-20 | 新コスモス電機株式会社 | 触媒転化式センサ |
| WO2023017823A1 (ja) * | 2021-08-11 | 2023-02-16 | 公立大学法人北九州市立大学 | 光学式検知チップ及び光学式検知システム |
| WO2023042660A1 (ja) * | 2021-09-17 | 2023-03-23 | 株式会社トクヤマ | 無機固体の表面炭素量測定方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10332668A (ja) * | 1997-05-28 | 1998-12-18 | Shimadzu Corp | アンモニア測定装置用プローブ |
| JP2000249695A (ja) * | 1999-02-26 | 2000-09-14 | Riken Keiki Co Ltd | オクタ・フロロ・シクロ・ペンテン検出装置 |
| JP2000283973A (ja) * | 1999-01-27 | 2000-10-13 | Central Glass Co Ltd | フッ素含有化合物ガスの検出方法 |
| JP2001041863A (ja) * | 1999-08-04 | 2001-02-16 | Riken Keiki Co Ltd | パーフロロカーボン類測定装置 |
| JP2001091508A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-06 | Riken Keiki Co Ltd | パーフロロカーボン類測定装置 |
| JP2001324491A (ja) * | 2000-05-17 | 2001-11-22 | Riken Keiki Co Ltd | オクタフルオロシクロペンテン測定装置 |
-
2001
- 2001-08-30 JP JP2001262002A patent/JP4605574B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10332668A (ja) * | 1997-05-28 | 1998-12-18 | Shimadzu Corp | アンモニア測定装置用プローブ |
| JP2000283973A (ja) * | 1999-01-27 | 2000-10-13 | Central Glass Co Ltd | フッ素含有化合物ガスの検出方法 |
| JP2000249695A (ja) * | 1999-02-26 | 2000-09-14 | Riken Keiki Co Ltd | オクタ・フロロ・シクロ・ペンテン検出装置 |
| JP2001041863A (ja) * | 1999-08-04 | 2001-02-16 | Riken Keiki Co Ltd | パーフロロカーボン類測定装置 |
| JP2001091508A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-06 | Riken Keiki Co Ltd | パーフロロカーボン類測定装置 |
| JP2001324491A (ja) * | 2000-05-17 | 2001-11-22 | Riken Keiki Co Ltd | オクタフルオロシクロペンテン測定装置 |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012002239A1 (ja) * | 2010-06-29 | 2012-01-05 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | ハロゲン化物の検出剤、並びにそれを検出する方法及び検出センサー |
| JP5867730B2 (ja) * | 2010-06-29 | 2016-02-24 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | ハロゲン化物の検出剤、並びにそれを検出する方法及び検出センサー |
| US10928339B2 (en) | 2015-11-13 | 2021-02-23 | New Cosmos Electric Co., Ltd. | Catalytic-conversion-type sensor |
| JP2018080949A (ja) * | 2016-11-14 | 2018-05-24 | 新コスモス電機株式会社 | 触媒転化式センサ |
| JP2021076610A (ja) * | 2021-01-13 | 2021-05-20 | 新コスモス電機株式会社 | 触媒転化式センサ |
| JP7090756B2 (ja) | 2021-01-13 | 2022-06-24 | 新コスモス電機株式会社 | 触媒転化式センサ |
| WO2023017823A1 (ja) * | 2021-08-11 | 2023-02-16 | 公立大学法人北九州市立大学 | 光学式検知チップ及び光学式検知システム |
| JP2023153800A (ja) * | 2021-08-11 | 2023-10-18 | 公立大学法人北九州市立大学 | 光学式検知チップ及び光学式検知システム |
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