JP3660559B2 - イオン性物質の監視方法及びその方法を実施するための検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム(クリーンブース、クリーンベンチ等の清浄化された空間を含む。)内のガス中に含まれる微量のイオン性物質の変化を高感度で且つ簡易に監視するための新規な監視方法及びその方法を実施するための検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
クリーンルームは、その中に存在する空気等のガス中に浮遊する微粒子が極めて微量に制御され、また、必要に応じて、温度、湿度、圧力、風速、気流形状などの環境条件も管理され、一般の環境に比べて極めて清浄化された領域であり、半導体装置等の製造工程において不可欠の生産空間である。
【0003】
近年、半導体装置の微細化が進むに伴い、クリーンルームに供給する空気或いはその空間内に含まれる各種のイオン性物質が半導体装置の製造プロセスに与える様々な悪影響が解明されてきている。
例えば、半導体製造工程で用いられる酸性ガスやアルカリ性ガスの漏洩、施設の壁面を構成する仕上げ材等の建設材料から揮発するイオン性物質の拡散などが問題とされている。特に、リソグラフィ工程ではアミン、アンモニア等が雰囲気中に存在するとレジストの解像度が低下するため、パターン形成不良が発生することが知られている。
そのため、クリーンルーム雰囲気中の清浄化についての要求がますます厳しくなり、クリーンルーム内のガス中に存在するイオン性物質の検出や制御は必須である。
【0004】
従来から上記クリーンルーム内に存在するガス中のイオン性物質の測定方法として、インピンジャーに純水又は既知濃度の希酸を入れ、これにクリーンルーム内の空気をバブリングして空気中に含まれるアンモニアやアミンを吸収させ、得られた吸収液をイオンクロマトグラフィ法で分析して検出する方法、拡散スクラバでクリーンルーム内のガス中に存在するアンモニア等のイオン性物質を吸収させ、イオンクロマトグラフィ法で分析することによりイオン性物質を検出する方法、スルファミン酸、アスコルビン酸またはスルファミン酸アンモニウムの錯化剤で上記ガス中のアミンを選択的に捕集し、次いで、質量分析法、ガスクロマトグラフィ法または選択的熱分解法で分析し、アミンを検出する方法等が知られている。
【0005】
ところが、上記方法は、イオンクロマトグラフ、ガスクロマトグラフ等の複雑な分析手段を必要とし、イオン性物質の検出までの過程が複雑であったり、装置が高価であったりするため、クリーンルームにおいて簡易に使用できず、日常監視用のモニターとしては現実的ではない。
【0006】
一方、クリーンルーム内のガス中のアンモニア量を簡易に監視する方法として、アンモニアと接触することにより発色する薬剤を含浸せしめた試験紙を使用し、これに被検ガスであるクリーンルーム内のガスを吹き付ける方法が提案されている。
ところが、上記試験紙を使用する方法は、検出されるイオン性物質がアンモニアに限定され、しかも、検出感度についても改良の余地があった。
【0007】
また、一般に市販されているガス検知器として、電気化学的センサ、半導体センサや熱伝導度センサなどがあるが、これらのガス検知器では、被検空間中のガス量をppmオーダーで検出するのが限界であった。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明の目的は、クリーンルーム等の被検空間のガス(被検ガス)中に含まれる微量のイオン性物質を簡易に且つ高感度で検出し、監視することができる監視方法を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、上記監視方法を実施するために好適な検出装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、特定の溶媒系に被検ガスをバブリング等の操作によって接触せしめ、含有されるイオン性物質による溶媒の電気抵抗の変化を電気的に検出することにより、高感度で被検ガス中のイオン性物質量の増加を検出し得ることを見い出し、本発明を完成するに至った。
即ち、本発明は、被検空間に存在するガスと、高純度非塩基性極性有機溶媒とを経時的に接触せしめ、該高純度非塩基性極性有機溶媒の電気抵抗に基づく電気信号を検出し、該電気信号の変化に現れる該ガス中に存在するイオン性物質の量の変化を経時的に監視することを特徴とする被検空間に存在するガス中のイオン性物質の監視方法である。
【0010】
【発明の実態の形態】
本発明において、被検空間に存在するガス(以下、被検ガスともいう)と接触せしめる溶媒として、高純度非塩基性極性有機溶媒(以下、HIBP溶媒ともいう)を使用することが極めて重要である。
即ち、本発明の検出方法は、上記被検ガス中のイオン性物質を溶媒に溶解させ、その際、溶媒の電気抵抗の変化を電気的に検出するものである。被検ガスは空気である場合が多く、比較的多くの炭酸ガスを含有する。そのため、超純水を使用した場合、炭酸ガスが溶解し、その電気抵抗が大きく低下する。そのため、目的とするイオン性物質の検出感度を低下させ、本発明の目的を達成することができなくなる。これに対して、HIBP溶媒を使用することにより、炭酸ガスの溶解による影響を殆ど無視でき、目的とするイオン性物質を極めて選択的に高感度で検出することが可能である。
【0011】
本発明の監視方法の対象とするイオン性物質は、半導体装置の製造等において問題とされるイオン性物質であり、炭酸ガスを除き、水等の極性溶媒中においてイオンに解離するものが含まれる。具体的には、塩酸、硫酸、リン酸、硝酸、亜硝酸、フッ酸等の酸性物質、TMAH(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド)、アミン、アンモニア、アルカリ金属、アルカリ土類金属等のアルカリ性物質、その他ボロン、有機ガス等の中性物質などが挙げられる。
【0012】
本発明において、非塩基性極性有機溶媒は、水に溶解した際に塩基性を示さない極性有機溶媒、即ち、実質的に炭酸ガスと反応せず且つ炭酸ガスを吸収しない極性有機溶媒である。かかる非塩基性極性有機溶媒としては、公知のものが特に制限なく使用される。イオン性物質を高感度で検出するために好適なものを例示すれば、イソプロピルアルコール、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、エチレングリコール、グリセリン等のアルコール類、アセトン、メチルエチルケトン、ジエチルケトン等のケトン類などが挙げられる。そのうち、イソプロピルアルコールが最も好適である。
【0013】
上記HIBP溶媒によって微量のイオン性物質の増加を検出するためには、可及的に高純度のものを使用することが好ましく、比抵抗が5GΩ・cm以上、好ましくは10GΩ・cm以上の電気抵抗を有するものが好ましい。比抵抗の上限は工業的に精製可能な範囲で決定することが好ましく、一般に50GΩ・cm程度である。
【0014】
また、HIBP溶媒中の水分量も上記比抵抗を低下させるため、該水分量は可及的に少ないことが好ましく、3重量%以下、好ましくは1重量%以下となるように調整することが好ましい。
【0015】
後記するように、検出時にHIBP溶媒を循環使用する態様において、該HIBP溶媒中のイオン量或いは水分量の増大により比抵抗が上記範囲を外れた場合は、液を全量或いは一部更新し、比抵抗を上記範囲内に調整して使用することが好ましい。
【0016】
本発明において、HIBP溶媒と被検ガスとの接触方法は、特に制限されるものではないが、HIBP溶媒が存在する容器中に被検ガスをバブリングさせる方法が最も好ましい。この場合、バブルの径は0.01〜5mm程度が好適である。
上記接触により被検ガス中のイオン性物質はHIBP溶媒中に溶け込み、その電気抵抗を変化させる。
【0017】
本発明において、HIBP溶媒の電気抵抗の検出方法は、電気抵抗の変化を電気的に検出できる手段が特に制限なく採用される。例えば、HIBP溶媒の比抵抗を測定する方法、定電圧をかけた一対の電極間の電流量を測定する方法等が挙げられる。中でも、比抵抗を測定する方法が最も好ましい。
被検ガスとの接触によるHIBP溶媒の電気抵抗の変化を検出する方法は、電気抵抗に基づく電気信号を連続的に測定して変化を検出する態様、電気信号を断続的に測定し、前後の測定値と対比することにより、変化を検出する態様などが特に制限なく実施できる。
また、上記何れの態様においても、HIBP溶媒の電気抵抗は、被検ガスとの接触時間の経過と共に徐々に低下するため、電気抵抗が前記の最適測定範囲値内となるように、連続的に或いは断続的にHIBP溶媒の一部又は全量を更新することが望ましい。
【0018】
なお、本発明の検出方法による検出対象は、後述するクリーンルームのケミカルフィルター等の破化による急激なイオン性物質の増大である。このような場合にはHIBP溶媒の電気抵抗は急激に低下し、これは上記のような電気抵抗の
徐々の低下とは明確に区別可能である。
【0019】
本発明の検出方法は、被検ガス中に微量のイオン性物質が存在する雰囲気の監視に好適に使用される。最も好適な適用態様は、クリーンルーム内のガス中に存在するイオン性物質の急激な増加を監視する態様であり、より具体的には、イオン性物質を除去するためのケミカルフィルターを備えたクリーンルーム内において、ケミカルフィルターが破化し始めることによるイオン性物質の増大を監視し、ケミカルフィルターの交換時期を管理する態様である。
【0020】
本発明の検出方法を実施するための装置は、前記手段を実行し得るものであれば特に制限されるものではないが、図1及び図2に代表される検出装置が好適に使用される。
即ち、本発明は、(a)HIBP溶媒2を内蔵する容器1、被検空間に存在するガス3を該容器内の液相部に導入するガス供給手段4及び該容器内の気相部よりガス7を排出する排気配管6とを有する吸収器、
(b)少なくとも一対の電極を設けた電極部9と該電極部からの電気的信号を検出する検出部11とよりなる検出器、
及び、
(c)該検出器の電極部9に吸収器内でガスと接触した後の該HIBP溶媒を供給する供給手段、
より構成されたことを特徴とする被検空間に存在するガス中のイオン性物質の検出装置を提供する。
【0021】
上記装置の代表的な態様を示す図1は、HIBP溶媒をバッチ操作により更新する態様にかかるものである。即ち、ガス分散体5より供給される被検ガス3と接触後のHIBP溶媒は、容器1より測定液供給配管8を経て電極部9に供給され、測定液循環配管10より取り出されて容器1に循環するようにして、上記(c)の供給手段が構成される。
そして、吸収装置において容器1内のHIBP溶媒は、被検ガス中にイオン性物質が殆ど無い状態では、該HIBP溶媒の電気抵抗が極めて緩やかに低下し、これに基づき電気信号が微細な変動で推移するが、何らかの原因によりイオン性物質が増加した場合、電気信号は大きく変化し、これにより該被検ガスの異常を監視することが可能である。
尚、上記態様においては、イオン性物質により一旦降下した電気抵抗は、一部又は全部のHIBP溶媒を更新することによって復元することができる。
【0022】
上記検出装置において、HIBP溶媒と接触する内壁の材質、例えば、容器内壁、配管内壁、ガス分散体5の表層等は、イオン性物質が溶出し難いものを選択して使用することが望ましい。例えば、HIBP溶媒として前記イソプロピルアルコールを使用する場合、上記内壁の材質は純度99.99重量%以上のニッケル又はその酸化物を選択するのが良い。
【0023】
また、上記吸収器において、ガス供給手段は、被検空間からガスを取り込むためにポンプが一般に設けられる(図示せず)。そして、容器内のHIBP溶媒中に含まれるイオン性物質を効率よく吸収せしめるためにガス分散体5をその先端に設けることが好ましい。このガス分散体5は、ガス供給配管より供給される被検ガスを分散せしめて前記の大きさの気泡を発生し得る孔を多数有するものが好適に使用される。
【0024】
上記検出器において、検出部11は、電極部9において電極間でHIBP溶媒の電気抵抗に起因して得られる電気信号を任意の出力で検出するものであり、例えば、比抵抗計、電流計、電圧計等によって検出することができる。
【0025】
上記装置の代表的な態様を示す図2は、HIBP溶媒を連続的に更新する態様にかかるものである。即ち、高い電気抵抗を示すHIBP溶媒12が容器1の上方のノズル14から供給され、ガス分散体5より供給される被検ガス3と接触し、接触後のHIBP溶媒は、測定液供給配管8を経て電極部9に供給され、測定液排出配管13より取り出されるように成すことによって上記(c)の供給手段が構成される。
【0026】
そして、吸収装置において容器1内のHIBP溶媒の電気抵抗は、被検ガス中にイオン性物質が殆ど無い状態では殆ど変化が無く、何らかの原因によりイオン性物質が増加した場合に大きく変化し、これにより該被検ガスの異常を監視することが可能である。
【0027】
また、上記態様によれば、イオン性物質の検量線を予め作成しておくことにより、ppbレベルの定量を行うことも可能である。
尚、上記態様においては、イオン性物質により一旦降下した電気抵抗は、HIBP溶媒が連続して供給されているため、自動的に復元される。
【0028】
【実施例】
本発明を更に具体的に説明するため、以下に実施例および比較例を示すが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるものではない。
【0029】
実施例1
ケミカルフィルターを設けたクラス1000のクリーンルーム(温度:24℃±1℃、湿度:50%±10%)にアンモニアガスを2.0×10−10g/分の量で拡散させながら供給した。
一方、該クリーンルームのケミカルフィルター近傍に図2に示す検出装置を設置し、かかる空間におけるガス中のイオン性物質の量の変化を検出した。
尚、ノズル14から供給されるHIBP溶媒12としては、水分量100ppb以下、比抵抗23GΩ・cmのイソプロピルアルコールを使用し、被検ガス3は上記空間よりポンプによって一定量で連続的に採取し、平均孔径10μmの細孔を多数有するセラミック製ボールよりなるガス分散体5からバブル状に上記イソプロピルアルコール中に供給した。
上記被検ガスと接触後のイソプロピルアルコールは、測定液供給配管8を経て電極部9に定量的に供給し、測定液排出配管13より取り出した。
また、上記電極部9における電気信号は、検出部11として比抵抗計(商品名:TOR-1000、トクヤマ社製)を使用して比抵抗として検出し、10秒間隔で連続的に記録した。
前記ケミカルフィルターが、供給したアンモニアガスによって破化した時間(約1520分)の前後付近における比抵抗の測定値の変化を表1に示す。
【0030】
【表1】
ケミカルフィルターが破化した後のクリーンルーム内のガスについて、イオン性物質の量を高感度分析法によって分析した結果、102pptであり、本発明の検出方法によれば、極めて高感度でクリーンルーム内のイオン性物質の量の変化を監視できることが判明した。
【0031】
実施例2
実施例1において、クリーンルーム内に供給するガスを、アンモニアガスに代えて塩化水素ガスとした以外は同様にして実験を行った。ケミカルフィルターが、供給した塩化水素ガスによって破化した時間(約1550分)の前後付近における比抵抗の測定値の変化を表2に示す。
【0032】
【表2】
【0033】
実施例3
実施例1において、吸収器に供給するHIBP溶媒として、比抵抗が6.5GΩ・cmのイソプロピルアルコールを使用し、アンモニアガスを2.0×10−9g/分の量で拡散させながら供給した以外は同様にして試験を行った。ケミカルフィルターが、供給したアンモニアガスによって破化した時間(約1550分)の前後付近における比抵抗の測定値の変化を表3に示す。
【0034】
【表3】
【0035】
比較例1
実施例1において、イソプロピルアルコールに代えて超純水(比抵抗18.2MΩ・cm)を使用した以外は、実施例1と同様にして実験を行った。ケミカルフィルターが、供給したアンモニアガスによって破化した時間(約1520分)の前後付近における比抵抗の測定値を表4に示す。
【0036】
【表4】
上記のように、超純水を使用した場合、測定開始直後から被検ガス中の炭酸ガスの吸収により比抵抗が急激に低下し、イオン性物質による比抵抗の変動が殆ど検出できず、クリーンルーム内のイオン性物質量の変化を監視することができなかった。
【0037】
【発明の効果】
以上の説明より理解されるように、本発明によれば、クリーンルームのような被検空間内のガス中に含まれる微量のイオン性物質の経時的な変化を簡易に且つ高感度で検出することが可能である。
従って、本発明は、かかるクリーンルーム内のイオン性物質の異常な増加を監視する監視手段として極めて有用であり、その工業的価値は極めて高いといえる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の検出装置の代表的な態様を示す概念図
【図2】本発明の検出装置の他の代表的な態様を示す概念図
【符号の説明】
1 容器
2 HIBP溶媒
3 被検ガス
4 ガス供給手段
5 ガス分散体
6 ガス排気配管
7 排気ガス
8 測定液供給配管
9 電極部
10 測定液循環配管
11 検出部
12 HIBP溶媒
13 測定液排出配管
14 ノズル
Claims (4)
- 被検空間に存在するガスと、高純度非塩基性極性有機溶媒とを経時的に接触せしめ、該高純度非塩基性極性有機溶媒の電気抵抗に基づく電気信号を検出し、該電気信号の変化に現れる該ガス中に存在するイオン性物質の量の変化を経時的に監視することを特徴とする被検空間に存在するガス中のイオン性物質の監視方法。
- 被検空間がクリーンルームである請求項1記載の監視方法。
- 高純度非塩基性極性有機溶媒が比抵抗5GΩ・cm以上である請求項1記載の監視方法。
- (a)高純度非塩基性極性有機溶媒を内蔵する容器、被検空間に存在するガスを該容器内の液相部に導入するガス供給手段及び該容器内の気相部よりガスを排出する排気配管とを有する吸収器、
(b)少なくとも一対の電極を設けた電極部と該電極部からの電気的信号を検出する検出部とよりなる検出器、
及び、
(c)該検出器の電極部に吸収器内でガスと接触した後の該高純度非塩基性極性有機溶媒を供給する供給手段、
より構成されたことを特徴とする被検空間に存在するガス中のイオン性物質の検出装置。
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