JP2001312056A - 感光性樹脂組成物およびそれを用いてなる感光性フィルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】感光性樹脂組成物層表面を平滑に形成し、均一
な膜厚に形成することのできる感光性樹脂組成物を提供
する。 【解決手段】バインダー成分（Ａ）、モノマー成分
（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）を含有する感光性樹脂
組成物であって、さらにエチルアクリレートと２−エチ
ルヘキシルアクリレートからなる重合体（Ｄ）を含有し
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板、
リードフレーム、半導体パッケージ等のパターン形成に
用いられる感光性樹脂組成物およびそれを用いてなる感
光性フィルムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、プリント配線板やリードフレ
ーム等の製造において、微細な回路パターンや形状パタ
ーンを形成する際には、感光性樹脂組成物を層形成して
なる感光性フィルムが用いられている。

【０００３】上記感光性フィルムとしては、通常、感光
性樹脂組成物層の片面に光透過性の支持体フィルムが、
また感光性樹脂組成物層の他面に保護フィルムが積層さ
れた多層構造のフィルムが用いられている。

【０００４】上記感光性フィルムを用いた回路パターン
の形成は、例えば、つぎのようにして行われる。すなわ
ち、基板上に銅箔を積層した回路基板用基材を準備し、
保護フィルム（カバーフィルム）層を剥がしながら、上
記基板面に感光性樹脂組成物層を貼着させる。その上に
パターンマスクを載置して、露光工程、現像工程、エッ
チング工程を経由させることにより回路パターンを形成
する。

【０００５】ところで、近年では、回路パターンのファ
インピッチ化に伴い、解像度の向上が要求されるように
なってきており、そのため感光性フィルムの薄膜化が要
望されている。しかしながら、このような要望に相反
し、感光性フィルムを均一な厚みの薄膜とすること、特
に感光性樹脂組成物層を均一な膜厚とすることは容易で
はない。したがって、上記感光性樹脂組成物層の膜厚が
均一に形成されなかった場合、上記工程のラミネート時
に気泡がかみ込んだり、ラミネート時の皺の発生要因と
なり、結果、回路パターン形成に悪影響を及ぼすことと
なる。また、感光性フィルムをラミネートし、その上に
パターンマスクを直接載置し真空に引いたのち露光を行
う真空密着露光方式での回路パターン形成では、膜厚が
均一でないと、感光性フィルムとパターンマスク間に空
気がかみ込み、露光かぶり現象が発生するという問題が
生じ、やはり回路パターン形成に悪影響を及ぼすことと
なる。

【０００６】一方、支持体フィルムに感光性樹脂組成物
層形成材料を塗工して感光性樹脂組成物層を形成する際
に、最近では生産性効率の向上という観点から、増速生
産が提案され実施されている。しかしながら、このよう
な増速生産では、感光性樹脂組成物層を薄膜に形成する
と不均一な膜厚に形成されるという傾向がみられる。

【０００７】さらに、上記感光性フィルムは、通常、上
記のように三層構造であるが、これを巻回してロール状
態で保存される。したがって、感光性フィルム面の状態
が均一でないと、スリット時（巻き取り時）の効率低下
や、スリット後のロールの外観品位の低下、またロール
状に巻回する際に巻きズレが発生する等の問題が生じ
る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】このような種々の問題
を解決するため、例えば、感光性樹脂組成物層形成材料
を塗工する際に、高沸点溶剤を用いて希釈し塗工す
る、塗工速度を遅くする、溶剤の使用量を多くして
低粘度とする、感光性樹脂組成物の構成材料を検討す
る等様々な解決方法が提案されている。しかしながら、
上記高沸点溶剤を用いた場合、感光性フィルムの生産
効率が低下したり、溶剤が残存するという問題が生じ
る。また、上記塗工速度を遅くすると、当然ながら生
産性が低下し近年での増速生産傾向と逆行することとな
る。また、上記溶剤の使用量の増加による低粘度化で
は、逆に塗工むらが発生したり、溶剤が残存する、乾燥
温度が高くなってしまうという問題が生じる。さらに、
上記感光性樹脂組成物の構成材料を検討し各種構成物
質を用いても、現在のところ、感光性フィルムとしての
必要な物性を確保することが困難になるといった問題が
生じる。このように、薄膜化に際して均一な膜厚の感光
性樹脂組成物層が積層形成された感光性フィルムは未だ
得られていないのが実情である。

【０００９】本発明は、このような事情に鑑みなされた
もので、感光性樹脂組成物層表面を平滑に形成し、均一
な膜厚に形成することのできる感光性樹脂組成物および
それを用いてなる感光性フィルムの提供をその目的とす
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、バインダー成分（Ａ）、モノマー成分
（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）を含有する感光性樹脂
組成物であって、さらにエチルアクリレートと２−エチ
ルヘキシルアクリレートからなる重合体（Ｄ）を含有す
る感光性樹脂組成物を第１の要旨とする。

【００１１】また、本発明は、感光性樹脂組成物層の片
面に支持体フィルムが積層され、上記感光性樹脂組成物
層の他面に保護フィルムが積層されてなる感光性フィル
ムであって、上記感光性樹脂組成物層が、上記感光性樹
脂組成物を用いて形成されたものである感光性フィルム
を第２の要旨とする。

【００１２】すなわち、本発明者らは、高解像度で、薄
膜であっても表面平滑性に優れた感光性樹脂組成物層を
備えた感光性フィルムを得るべく、上記層形成材料とな
る感光性樹脂組成物を中心に鋭意研究を重ねた。その結
果、感光性樹脂組成物を構成するバインダー成分
（Ａ）、モノマー成分（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）
とともに、上記特定の添加剤となる、エチルアクリレー
トと２−エチルヘキシルアクリレートからなる重合体
（Ｄ）を用いることにより、所期の目的が達成できるこ
とを見出し、本発明に到達した。

【００１３】そして、上記エチルアクリレートと２−エ
チルヘキシルアクリレートからなる重合体（Ｄ）が特定
の範囲に設定されていると、より一層優れた表面平滑性
が得られる。

【００１４】さらに、上記光重合開始剤（Ｃ）が、ロフ
ィン二量体を含有すると、高解像で耐薬品性の良好なレ
ジストパターンを形成することができるようになる。

【００１５】

【発明の実施の形態】つぎに、本発明の実施の形態を詳
しく説明する。

【００１６】本発明の感光性樹脂組成物は、バインダー
成分（Ａ）と、モノマー成分（Ｂ）と、光重合開始剤
（Ｃ）とともに、特定の添加剤である、エチルアクリレ
ートと２−エチルヘキシルアクリレートからなる重合体
（Ｄ）を用いて得ることができる。

【００１７】上記バインダー成分（Ａ）としては、例え
ば、（メタ）アクリル酸を主成分とし、これにエチレン
性不飽和カルボン酸およびその他の共重合可能なモノマ
ーを共重合させてなるアクリル系重合体を用いることが
好ましい。

【００１８】上記（メタ）アクリル酸としては、例え
ば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アク
リレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メ
タ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、２
−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシ
ル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレー
ト、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ヒド
ロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピ
ル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレ
ート等があげられる。

【００１９】上記エチレン性不飽和カルボン酸として
は、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸等
のモノカルボン酸が好適に用いられ、マレイン酸、フマ
ール酸、イタコン酸等のジカルボン酸や、それらの無水
物やハーフエステルを用いることもできる。これらのな
かでも、アクリル酸、メタクリル酸が特に好ましい。

【００２０】上記その他の共重合可能なモノマーとして
は、例えば、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリ
ルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチル
エステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチルエ
ステル、メタクリル酸グリシジルエステル、２，２，２
−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、（メタ）
アクリルアミド、２，２，３，３−テトラフルオロプロ
ピル（メタ）アクリレートアクリルアミド、ジアセトン
アクリルアミド、ビニルトルエン、酢酸ビニル、アルキ
ルビニルエーテル、（メタ）アクリロニトリル等があげ
られる。

【００２１】上記バインダー成分（Ａ）とともに用いら
れるモノマー成分（Ｂ）としては、エチレン性不飽和化
合物が用いられる。例えば、エチレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）ア
クリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アク
リレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレ
ート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、
ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ブ
チレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチ
ルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサ
ングリコールジ（メタ）アクリレート、グリセリンジ
（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メ
タ）アクリレート、エチレングリコールジグリシジルエ
ーテルジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコール
ジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、フタル
酸ジグリシジルエステルジ（メタ）アクリレート、ヒド
ロキシヒバリン酸変性ネオペンチルグリコールジ（メ
タ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）
アクリレート、１，６−ヘキサメチルジグリシジルエー
テルジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパン
トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ
（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ
（メタ）アクリレート、グリセリンポリグリシジルエー
テルポリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトール
テトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトール
ヘキサ（メタ）アクリレート、２，２′−ビス（４−
（メタ）アクリロキシジエトキシフェニル）プロパン、
２，２′−ビス（４−（メタ）アクリロキシペンタエト
キシフェニル）プロパン、２，２′−ビス（４−（メ
タ）アクリロキシポリエトキシフェニル）プロパン、２
−ヒドロキシ−３−（メタ）アクリロイルオキシプロピ
ルアクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジ
ルエーテルトリ（メタ）アクリレート等の多官能モノマ
ーがあげられる。また、上記多官能モノマーとともに単
官能モノマーを適当量併用することもでき、このような
単官能モノマーとしては、例えば、２−ヒドロキシエチ
ル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メ
タ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アク
リレート、２−フェノキシ−２−ヒドロキシプロピル
（メタ）アクリレート、２−（メタ）アクリロイルオキ
シ−２−ヒドロキシプロピルフタレート、３−クロロ−
２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、グリセ
リンモノ（メタ）アクリレート、２−（メタ）アクリロ
イルオキシエチルアシッドホスフェート、フタル酸誘導
体のハーフ（メタ）アクリレート、Ｎ−メチロール（メ
タ）アクリルアミド等があげられる。

【００２２】上記モノマー成分（Ｂ）の配合割合は、上
記バインダー成分（Ａ）と上記モノマー成分（Ｂ）の総
重量中、５〜９０重量％となるように設定することが好
ましく、より好ましくは２０〜８０重量％、特に好まし
くは４０〜６０重量％である。すなわち、モノマー成分
（Ｂ）の重量割合が５重量％未満のように少なくなる
と、硬化不良、可塑性の低下、現像速度の遅延を招く傾
向がみられ、逆にモノマー成分（Ｂ）の重量割合が９０
重量％を超え多くなると、粘着性の増大、コールドフロ
ー、硬化レジストの剥離速度の低下を招く傾向がみられ
好ましくない。

【００２３】上記バインダー成分（Ａ）およびモノマー
成分（Ｂ）とともに用いられる光重合開始剤（Ｃ）とし
ては、特に限定するものではなく従来公知のものが用い
られるが、具体的には、ロフィン二量体、ケトン類等が
あげられる。

【００２４】上記ロフィン二量体は、ロフィン（２，
４，５−トリフェニルイミダゾール）の二量体であれば
特に限定はないが、例えば、２，２′−ビス（ｏ−クロ
ロフェニル）−４，５，４′，５′−テトラフェニル−
１，２′−ビイミダゾール、２，２′−ビス（ｏ−クロ
ロフェニル）−４，５，４′，５′−テトラフェニル−
１，１′−ビイミダゾール、２，２′−ビス（ｏ−フル
オロフェニル）−４，５，４′，５′−テトラフェニル
−１，１′−ビイミダゾール、２，２′−ビス（ｏ−メ
トキシフェニル）−４，５，４′，５′−テトラフェニ
ル−１，１′−ビイミダゾール、２，２′−ビス（ｐ−
メトキシフェニル）−４，５，４′，５′−テトラフェ
ニル−１，１′−ビイミダゾール、２，４，２′，４′
−ビス〔ビ（ｐ−メトキシフェニル）〕−５，５′−ジ
フェニル−１，１′−ビイミダゾール、２，２′−ビス
（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５，４′，５′
−ジフェニル−１，１′−ビイミダゾール、２，２′−
ビス（ｐ−メチルチオフェニル）−４，５，４′，５′
−ジフェニル−１，１′−ビイミダゾール、ビス（２，
４，５−トリフェニル）−１，１′−ビイミダゾール等
が好ましい。これらのなかでも、２，２′−ビス（ｏ−
クロロフェニル）−４，５，４′，５′−テトラフェニ
ル−１，２′−ビイミダゾールが好ましい。

【００２５】上記ロフィン二量体の含有量は、上記バイ
ンダー成分（Ａ）とモノマー成分（Ｂ）の合計量１００
重量部（以下「部」と略す）に対して、０．５〜６．０
部の範囲が好ましく、より好ましくは０．５〜５．０
部、特に好ましくは２．０〜５．０部である。すなわ
ち、０．５部未満であると、レジストの硬化不足や感度
の低下を招く傾向がみられ、逆に６．０部を超えると、
現像において固形スカム（アルカリ現像液に対する未溶
解物）の多発や保存安定性が低下する傾向がみられ好ま
しくない。

【００２６】上記ケトン類としては、例えば、ｐ−アミ
ノフェニルケトン類があげられ、具体的には、Ｎ，Ｎ′
−テトラアルキル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン
（ミヒラーケトン）、ベンゾイン、ベンゾインメチルエ
ーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプ
ロピルエーテル、ベンゾインｎ−ブチルエーテル、ベン
ゾインイソブチルエーテル、ベンゾインイソフェニルエ
ーテル、ベンジルジフェニルジスルフィド、ベンジルジ
メチルケタール、ジアセチル、アントラキノン、ナフト
キノン、３，３′−ジメチル−４−メトキシベンゾフェ
ノン、ベンゾフェノン、４，４′−ビス（ジメチルアミ
ノ）ベンゾフェノン、４，４′−ビス（ジエチルアミ
ノ）ベンゾフェノン等があげられる。なかでも、４，
４′−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好まし
い。

【００２７】上記ケトン類の含有量は、上記バインダー
成分（Ａ）とモノマー成分（Ｂ）の合計量１００部に対
して、０．０１〜０．５部の範囲が好ましく、より好ま
しくは０．０１〜０．３部、特に好ましくは０．０５〜
０．３部である。すなわち、０．０１部未満であると、
感度が低下し、逆に０．５部を超えると、密着力が低下
するおそれがあるからである。

【００２８】さらに、上記ロフィン二量体、ケトン類以
外に光重合開始剤として各種化合物が用いられる。上記
光重合開始剤として、例えば、ベンゾイン、ベンゾイン
メチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾイ
ンイソプロピルエーテル、ベンゾイン−ｎ−ブチルエー
テル、ベンゾインフェニルエーテル、ジベンジル、ジア
セチル、アントラキノン、２−エチルアントラキノン、
２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、アクタメチルア
ントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン、２，３
−ベンズアントラキノン、２−フェニルアントラキノ
ン、２，３−ジフェニルアントラキノン、１−クロロア
ントラキノン、２−クロロアントラキノン、２−メチル
アントラキノン、１，４−ジメチルアントラキノン、
２，３−ジメチルアントラキノン、３−クロロ−２−メ
チルアントラキノン、９，１０−フェナントラキノン、
２−クロロチオキサントン、２−メチルチオキサント
ン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，２−ジエト
キシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニ
ルアセトフェノン、２，２−ジクロロ−４−フェノキシ
アセトフェノン、フェニルグリオキシレート、α−ヒド
ロキシイソブチルフェノン、ジベゾスパロン、１−（４
−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチ
ル−１−プロパノン、２−メチル−〔４−（メチルチ
オ）フェニル〕−２−モルフォリノ−１−プロパノン、
トリブロモフェニルスルホン、トリブロモメチルフェニ
ルスルホン、ベンジルジメチルケタール等があげられ
る。これらは単独でまたは２種以上併せて用いられる。

【００２９】そして、本発明の感光性樹脂組成物には、
上記バインダー成分（Ａ）、モノマー成分（Ｂ）および
光重合開始剤（Ｃ）に加えて、特定の添加剤となる、エ
チルアクリレートと２−エチルヘキシルアクリレートか
らなる重合体（Ｄ）が用いられる。すなわち、本発明で
は、上記エチルアクリレートと２−エチルヘキシルアク
リレートからなる重合体（Ｄ）を用いることが最大の特
徴であり、これにより均一かつその表面が平滑な感光性
樹脂組成物層を形成することができるのである。

【００３０】上記エチルアクリレートと２−エチルヘキ
シルアクリレートからなる重合体（Ｄ）の含有量は、感
光性樹脂組成物全体中０．０１〜５重量％の範囲に設定
することが好ましい。より好ましくは０．０２〜１．０
重量％に、特に好ましくは０．０５〜０．５重量％の範
囲である。すなわち、上記重合体の含有量が０．０１重
量％未満のように少ないと、平滑かつ均一な膜厚の感光
性樹脂組成物層が得られ難く、逆に５重量％を超えて多
いと、回路パターン形成における現像工程での密着性
（細線部分）が低下する傾向がみられるからである。

【００３１】なお、本発明の感光性樹脂組成物には、上
記バインダー成分（Ａ）、モノマー成分（Ｂ）、光重合
開始剤（Ｃ）および特定の添加剤であるエチルアクリレ
ートと２−エチルヘキシルアクリレートからなる重合体
（Ｄ）に加えて、染料（色素、変色剤）、熱重合禁止
剤、可塑剤、密着付与剤、酸化防止剤、溶剤、表面張力
改質剤、安定剤、連鎖移動剤、消泡剤、難燃剤等を配合
しても差し支えない。

【００３２】上記色素としては、例えば、ロイコクリス
タルバイオレット、マラカイトグリーン等があげられ
る。

【００３３】本発明の感光性樹脂組成物は、上記バイン
ダー成分（Ａ）、モノマー成分（Ｂ）、光重合開始剤
（Ｃ）および特定の添加剤であるエチルアクリレートと
２−エチルヘキシルアクリレートからなる重合体（Ｄ）
を必須成分とし、これに必要に応じて色素等の他の成分
を配合し、混合することにより調製することができる。

【００３４】本発明の感光性樹脂組成物を用いた感光性
フィルムとしては、本発明の感光性樹脂組成物を用いて
なる感光性樹脂組成物層の片面に支持体フィルム（キャ
リアフィルム）が積層形成されているとともに、感光性
樹脂組成物層の他面には保護フィルム（カバーフィル
ム）が積層形成された３層構造の感光性フィルムが代表
的なものとしてあげられる。

【００３５】上記支持体フィルムとしては特に限定はな
く、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フ
ィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレン（Ｐ
Ｅ）フィルム等があげられ、好ましくはＰＥＴフィルム
である。

【００３６】上記保護フィルムは、感光性フィルムをロ
ール状にして用いる場合に、粘着性を有する感光性樹脂
組成物層が支持体フィルムに転着したり、感光性樹脂組
成物層に壁等が付着するのを防止する目的で使用される
ものであり、例えば、ＰＥフィルム、ＰＥＴフィルム、
ポリプロピレンフィルム、ポリビニルアルコールフィル
ム、ポリ四フッ化エチレン（ＰＴＦＥ）フィルム等があ
げられ、好ましくはＰＥフィルムである。

【００３７】本発明の感光性フィルムは、例えば、つぎ
のようにして作製することができる。すなわち、上記支
持体フィルムの片面に、本発明の感光性樹脂組成物の溶
液を均一に塗布し、９０℃のオーブンで５分間乾燥して
感光性樹脂組成物層を形成する。ついで、上記感光性樹
脂組成物層の他面に保護フィルムを加圧積層することに
より、感光性樹脂組成物層の片面に支持体フィルムが、
また感光性樹脂組成物層の他面に保護フィルムがそれぞ
れ積層されてなる３層構造の感光性フィルムを作製する
ことができる。

【００３８】本発明の感光性フィルムにおいて、感光性
樹脂組成物層の厚みは、４０μｍ以下が好ましく、特に
好ましくは５〜３０μｍである。すなわち、感光性樹脂
組成物層の厚みが４０μｍを超えると、充分な解像度を
得ることが困難となるからである。また、上記支持体フ
ィルムの厚みは、通常、５〜２５μｍであり、好ましく
は１２〜２０μｍである。すなわち、５μｍ未満では、
フィルムが柔軟すぎて取り扱いに不便であり、逆に２５
μｍを超えると、解像度が低下したり、コストアップと
なり好ましくないからである。上記保護フィルムの厚み
は、通常、１０〜５０μｍであり、好ましくは１０〜３
０μｍである。

【００３９】本発明の感光性フィルムは、例えば、プリ
ント配線板，リードフレーム等の製造や、金属の精密加
工等に用いられる。本発明の感光性フィルムを用いたプ
リント配線板の製法について、以下に説明する。

【００４０】〔露光工程〕感光性フィルムによって画像
を形成させるには、感光性樹脂組成物層の表面から保護
フィルムを剥離した後、その感光性樹脂組成物層の表面
を、銅張基板や４２アロイ、ＳＵＳ等の金属面に貼り付
ける。ついで、上記感光性樹脂組成物層の反対側面の支
持体フィルム上にパターンマスクを密着させて露光す
る。上記露光は、通常、紫外線照射により行い、その際
の光源としては、高圧水銀灯、カーボンアーク灯、キセ
ノン灯、メタルハライドランプ、ケミカルランプ等が用
いられる。なお、必要に応じて、紫外線照射後に加熱を
行い、硬化の完全を図ることも可能である。

【００４１】〔現像工程〕露光後は、上記感光性樹脂組
成物層上の支持体フィルムを剥離除去してから現像を行
う。上記感光性樹脂組成物が稀アルカリ現像型である場
合、露光後の現像は、炭酸ソーダ、炭酸カリウム等の
０．３〜２重量％程度のアルカリ水溶液を用いて行う。
なお、上記アルカリ水溶液中には、界面活性剤，消泡剤
や、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入さ
せてもよい。

【００４２】〔エッチング・めっき工程〕エッチング
は、通常、塩化第二銅−塩酸水溶液や、塩化第二鉄−塩
酸水溶液等の酸性エッチング液を用いて、常法に従って
行う。場合によりアンモニア系のアルカリエッチング液
も用いられる。めっき法は、脱脂剤、ソフトエッチング
剤等のめっき前処理剤を用いて前処理を行った後、めっ
き液を用いてめっきを行う。

【００４３】〔硬化レジストの剥離除去工程〕エッチン
グまたはめっき工程後、残っている硬化レジストの剥離
を行う。硬化レジストの剥離除去は、水酸化ナトリウ
ム、水酸化カリウム等の０．５〜５重量％程度の濃度の
アルカリ水溶液あるいはエタノールアミン類等を含有す
る水溶液からなるアルカリ剥離液を用いて行う。

【００４４】つぎに、実施例について比較例と併せて説
明する。

【００４５】まず、実施例および比較例に先立ち、下記
に示す材料を準備した。

【００４６】〔バインダー成分（Ａ）〕メタクリル酸
メチル／アクリル酸ｎ−ブチル／スチレン／メタクリル
酸＝５７／５／１５／２３（重量比）（Ｍｗ＝６０，０
００、酸価１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ、ガラス転移温度１０
４℃）の４０重量％〔メチルエチルケトン／イソプロパ
ノールアミン＝９／１（重量比）〕溶液

【００４７】〔バインダー成分（Ａ）〕メタクリル酸
メチルとスチレンとメタクリル酸を２０／５０／３０
（重量比）の割合で重合させて得られた共重合体（Ｍｗ
＝２５，０００、酸価１９５ｍｇＫＯＨ／ｇ、ガラス転
移温度１３２℃）の５０重量％〔メチルエチルケトン／
イソプロパノールアミン＝９／１（重量比）〕溶液

【００４８】〔モノマー成分（Ｂ）〕トリメチロール
プロパントリアクリレート

【００４９】〔モノマー成分（Ｂ）〕２，２′−ビス
〔４−メタクリロキシポリエトキシ）フェニル〕プロパ
ン（新中村化学社製、ＢＰＥ）〔ＥＯ≒１０〕

【００５０】〔ロフィン二量体（Ｃ）〕２，２′−ビ
ス（ｏ−クロロフェニル）−４，５，４′，５′−テト
ラフェニル−１，２′−ビイミダゾール

【００５１】〔ケトン類（Ｃ）〕４，４′−ビス（ジ
エチルアミノ）ベンゾフェノン

【００５２】〔添加剤（Ｄ）〕エチルアクリレートと２
−エチルヘキシルアクリレートからなる重合体（ソルー
シア社製、Modaflow2100）

【００５３】〔色素（１）〕ロイコクリスタルバイオレ
ット

【００５４】〔色素（２）〕マラカイトグリーン

【００５５】

【実施例１〜９、比較例１〜３】下記の表１および表２
に示す各成分を同表に示す割合で配合し混合して、感光
性樹脂組成物を調製した。ついで、この感光性樹脂組成
物を希釈溶媒〔メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、あるい
はＭＥＫとトルエンの混合溶媒〕にて希釈し、乾燥ゾー
ン（１室当たりの長さが５ｍ）を５室備えたトンネル型
乾燥機（乾燥温度：１室３０℃→２室５０℃→３室７０
℃→４室８０℃→５室８０℃）を有するナイフコーター
を用いて、厚み１９μｍのＰＥＴフィルム（支持体フィ
ルム）上に均一に塗布し、所定の塗工乾燥速度（１０ｍ
／ｍｉｎ、３０ｍ／ｍｉｎ、６０ｍ／ｍｉｎ）により、
所定の目標乾燥膜厚となるよう感光性樹脂組成物層を形
成した（実施例１〜４，８，９および比較例１〜３は目
標乾燥膜厚１５μｍ、実施例５〜７は目標乾燥膜厚１０
μｍ）。さらに、この感光性樹脂組成物層の他面に、厚
み２５μｍのＰＥフィルム（保護フィルム）を積層し、
これを１日放置して、感光性フィルムを得た。一方、厚
み３５μｍの銅箔を貼り合わせてなる銅張基板（厚み
１．６ｍｍ、大きさ２５０ｍｍ×２００ｍｍ）を準備
し、銅箔表面をスコッチブライトＳＦ（住友スリーＭ社
製）を用いてバフロール研磨し、水洗した後、空気流で
乾燥させ、整面し、これをオーブンで６０℃に予熱し
た。そして、この銅箔表面に、上記感光性フィルムのＰ
Ｅフィルム（保護フィルム）を剥離しながら、ＰＥＴフ
ィルム（支持体フィルム）と感光性樹脂組成物層からな
るフィルムをオートカットラミネーター（伯東社製、Ｍ
ＡＣＨ６１０ｉ）を用いてラミネートした（ラミネート
条件：ホットロール温度１００℃、ロール圧約０．３Ｍ
Ｐａ、ラミネート速度１．５ｍ／ｍｉｎ）。

【００５６】

【表１】

【００５７】

【表２】

【００５８】このようにして得られた実施例品および比
較例品を用いて、下記の基準に従い、各特性の評価を行
った。これらの結果を、後記の表３および表４に併せて
示した。

【００５９】〔平滑性〕上記各塗工乾燥速度（１０ｍ／
ｍｉｎ、３０ｍ／ｍｉｎ、６０ｍ／ｍｉｎ）による、塗
膜の横方向の膜厚の差を膜厚測定機〔フィルムシックネ
ステスタＫＧ６０１Ａ、アンリツ（Ａｎｒｉｔｓｕ）社
製〕で測定した。そして、目標とする膜厚（目標乾燥膜
厚：１５μｍ）との差を示した。

【００６０】〔外観〕塗膜の外観を目視により観察し評
価した。その結果、外観的に良好なものを○、若干塗工
によるスジやムラが確認されたものを△、塗膜全面に塗
工によるスジやムラが確認されたものを×として表示し
た。

【００６１】〔残溶剤量〕乾燥後の感光性フィルムの感
光性樹脂組成物層中に残存する溶剤量をガスクロマトグ
ラフ（ＧＣ）法（島津製作所社製、ＧＣ−７Ａ）を用い
て測定し感光性樹脂組成物層中の溶剤の割合（重量％）
を表した。なお、適正な残溶剤量は０．８重量％以下で
ある。

【００６２】〔密着性〕上記銅張基板上にラミネートし
た感光性樹脂組成物層の表面に、ライン幅（１０μｍ，
１５μｍ，２０μｍ，２５μｍ，３０μｍ，３５μｍ，
４０μｍ，４５μｍ，５０μｍ）の独立細線の各々のパ
ターンマスク（ガラスクロム乾板製）を真空密着させ、
オーク製作所社製の露光機（ＥＸＭ−１１７１−Ａ０
０）を用いて、２ｋＷ超高圧水銀ショートアーク灯（平
行光）で露光した。ついで、３０℃の１重量％炭酸ナト
リウム水溶液を０．１５ＭＰａとなるよう吹き付け、最
小現像時間の２倍の時間でスプレー現像した。現像後、
密着性良好な独立細線部の最小ライン幅を調べた。

【００６３】

【表３】

【００６４】

【表４】

【００６５】上記表３および表４の結果から、実施例は
塗膜外観も問題なく、優れた平滑性を示している。そし
て、残溶剤量も適正量以下であり、密着性にも優れたも
のであることがわかる。

【００６６】これに対して、比較例は、エチルアクリレ
ートと２−エチルヘキシルアクリレートからなる重合体
を含有していないため、外観に問題があり平滑性に劣っ
ている。特に塗工乾燥速度が上がるにつれてこのような
傾向が顕著となっている。しかも残溶剤量も多く、密着
性にも劣っていることは明らかである。

【００６７】

【発明の効果】以上のように、本発明の感光性フィルム
は、バインダー成分（Ａ）、モノマー成分（Ｂ）および
光重合開始剤（Ｃ）とともに、エチルアクリレートと２
−エチルヘキシルアクリレートからなる重合体（Ｄ）を
含有してなる特殊な感光性樹脂組成物を用いて形成され
た感光性樹脂組成物層を備えているため、均一な膜厚で
かつ表面が平滑な感光性樹脂組成物層が形成され、薄膜
化に際しても問題のない優れた感光性フィルムが得られ
る。

【００６８】そして、上記エチルアクリレートと２−エ
チルヘキシルアクリレートからなる重合体（Ｄ）が特定
の範囲に設定されていると、より一層優れた表面平滑性
が得られるとともに、現像時の密着性が一層向上する。

【００６９】さらに、上記光重合開始剤（Ｃ）が、ロフ
ィン二量体を含有すると、高解像で耐薬品性の良好なラ
インを形成することができるようになる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ０８Ｋ 5/101 Ｃ０８Ｋ 5/101 5/3447 5/3447 Ｃ０８Ｌ 33/06 Ｃ０８Ｌ 33/06 Ｇ０３Ｆ 7/027 ５０１ Ｇ０３Ｆ 7/027 ５０１ 7/028 7/028 7/031 7/031 7/033 7/033 Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ Ｆターム(参考） 2H025 AA00 AA02 AA14 AB11 AB15 AB16 AB17 AC01 AD01 BC31 BC51 CA01 CA14 CA28 CB13 CB14 CC20 FA03 FA17 4J002 BC021 BG011 BG021 BG042 EE027 EE057 EH076 EU117 FD147 FD206 GF00 GP03 4J011 AA05 AA07 BA02 BA04 DA02 FA05 FB01 PA69 PB40 PC02 PC08 QA06 QA08 QA13 QA15 QA17 QA18 QA22 QA23 QA26 QB16 RA03 SA21 SA25 SA31 SA41 SA51 SA63 SA78 SA83 UA01 WA01 4J026 AA17 AA43 AA45 AC09 BA27 BA28 DB05 DB11 GA07 GA08 5E339 BC02 BD03 BD06 BD11 BE13 CC01 CC02 CD01 CE11 CE12 CE16 CF15 CG04 DD02 DD04 FF10 GG10

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 バインダー成分（Ａ）、モノマー成分
   （Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）を含有する感光性樹脂
   組成物であって、さらにエチルアクリレートと２−エチ
   ルヘキシルアクリレートからなる重合体（Ｄ）を含有す
   ることを特徴とする感光性樹脂組成物。
2. 【請求項２】 上記エチルアクリレートと２−エチルヘ
   キシルアクリレートからなる重合体（Ｄ）の含有量が、
   感光性樹脂組成物全体中０．０１〜５重量％の範囲に設
   定されている請求項１記載の感光性樹脂組成物。
3. 【請求項３】 上記光重合開始剤（Ｃ）が、ロフィン二
   量体を含有する請求項１または２記載の感光性樹脂組成
   物。
4. 【請求項４】 感光性樹脂組成物層の片面に支持体フィ
   ルムが積層され、上記感光性樹脂組成物層の他面に保護
   フィルムが積層されてなる感光性フィルムであって、上
   記感光性樹脂組成物層が、請求項１〜３のいずれか一項
   に記載の感光性樹脂組成物を用いて形成されたものであ
   ることを特徴とする感光性フィルム。