JP2001310094A

JP2001310094A - 超音波洗浄装置

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Publication number: JP2001310094A
Application number: JP2000129587A
Authority: JP
Inventors: Noriyuki Kitaori; 典之北折; Takahisa Yamashiro; 高久山城; Kiyoteru Osawa; 清輝大沢; Masayasu Sato; 雅安佐藤; Takeshi Miyamura; 猛史宮村
Original assignee: Kao Corp
Current assignee: Kao Corp
Priority date: 2000-04-28
Filing date: 2000-04-28
Publication date: 2001-11-06

Abstract

(57)【要約】【課題】超音波振動の効果を十分発揮し、汚れた衣類
などを一般の家庭で容易に洗浄することのできる小型且
つ低消費電力の超音波洗浄装置を提供する。【解決手段】圧電体１４，１５を用いた超音波振動子
１６に後部超音波ホーン１７と前部超音波ホーン１８と
が連設されてなる超音波振動部３を備え、超音波振動子
１６の消費電力が８Ｗ以下に設定されると共に、超音波
ホーンの先端面が平面であり、その先端面積が０．０７
〜１ｃｍ^２に設定されている構成とした。このような構
成により、超音波振動の効果を十分発揮し、汚れた衣類
などを一般の家庭で容易に洗浄することのできる小型且
つ低消費電力の超音波洗浄装置を実現した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は超音波洗浄装置に関
し、さらに詳しくは、例えば織物や繊維製品などを洗浄
する家庭用の超音波洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、超音波振動を用いて繊維製品など
を洗浄する技術としては、特開昭６３−６６３７２号公
報及び特開平１０−３２８４７２号公報のそれぞれに開
示されたものが知られている。これらの公報に開示され
た洗浄技術は、洗浄液中に被洗浄物（繊維製品など）を
浸漬させた状態で、振動子も洗浄液中に入れて、超音波
発振器で発生させた超音波振動を被洗浄物に伝搬させる
ことにより、被洗浄物に付着した汚れなどを除去しよう
とするものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た特開昭６３−６６３７２号公報及び特開平１０−３２
８４７２号公報に開示された超音波を用いる洗浄装置
は、取り扱いが難しいことから、一般の家庭での実用化
が困難であった。すなわち、このような超音波洗浄装置
では、大きな洗浄力を得ようとすると高電力を必要と
し、そのため超音波振動子が大きなものが必要であっ
た。このため、電源や超音波振動部がかなりの重量とな
り、実際には取り扱いが不便であった。

【０００４】そこで、本発明の目的は、超音波洗浄の効
果を十分発揮し、小型且つ軽量で消費電力の低い超音波
洗浄装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、圧電体を用い
た超音波振動子に超音波ホーンが連設されてなる超音波
振動部を備え、超音波ホーンの先端部に被洗浄物を接触
させて被洗浄物の洗浄を行う超音波洗浄装置であって、
超音波振動子の消費電力が８Ｗ以下（具体的には８Ｗ〜
１Ｗ）に設定されると共に、超音波ホーンの先端面が平
面であり、その先端面積を０．０７〜１ｃｍ^２に設定し
た。このような構成の本発明では、超音波ホーンの先端
面を平面とし、その先端面積を所定範囲に設定したこと
により、低消費電力での駆動が可能になる。また、本発
明は、超音波ホーンの先端の被洗浄物に接触する面積Ｓ
１と、前記超音波ホーンの先端側から見た前記圧電体の
面積Ｓ２との比が、Ｓ２／Ｓ１≧３であることが好まし
い。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る超音波洗浄装
置の詳細を図面に示す各実施形態に基づいて説明する。

【０００７】（実施形態）図１は本発明に係る超音波洗
浄装置の実施形態を示す断面図である。本実施形態の超
音波洗浄装置１は、装置本体２と、装置本体２に設けら
れた超音波振動部３と、超音波振動部３を取り囲む被洗
浄物案内カバー４とから大略構成されている。

【０００８】装置本体２は、図１に示すように、合成樹
脂でなる略円筒形状のケーシング５に、電池収納部６
と、駆動回路部７と、スイッチ部８と、駆動確認灯とし
ての発光ダイオード９とが内蔵されている。また、ケー
シング５の後端部には、電池収納部６を閉塞する裏蓋１
０が装着されている。一方、ケーシング５の前端部には
超音波振動部３が支持されている。また、ケーシング５
の前端部は円筒形状に形成されており、その外周面には
被洗浄物案内カバー４と螺合する雄ネジ部１２が形成さ
れている。

【０００９】超音波振動部３は、ケーシング５の前端開
口部１１にフランジ部材１３を介して支持されている。
超音波振動部３は、圧電体１４，１５を接合させてなる
超音波振動子１６と、この超音波振動子１６の後端面に
接合された後部超音波ホーン１７と、超音波振動子１６
の前端面に接合された所定長さ寸法の前部超音波ホーン
１８とからなる。これら後部超音波ホーン１７及び前部
超音波ホーン１８は、超音波振動子１６の前後に分割さ
れているが、両方を備えることにより超音波ホーンが構
成されている（なお、前部超音波ホーン１８の先端側に
更に追加超音波ホーンを備える場合にはこれも含めて超
音波ホーンが構成されるものである）。後部超音波ホー
ン１７及び前部超音波ホーン１８は超音波振動子１６の
振動を特定の周波数に変えたり、振動を強くするために
振動を伝え易い金属で形成されている。また、前部超音
波ホーン１８は、ケーシング５の前端部から前方へ突出
するように設定されている。

【００１０】なお、圧電体１４，１５には、図示しない
電極が接続されており、電源から電力が供給され得るよ
うになっている。この圧電体の数は、１枚以上なら何枚
使用しても良いが、好ましくは２枚又は４枚が良い。ま
た、本実施形態においては、超音波振動部３におけるフ
ランジ部材１３を取り付ける位置は、振動の節が存在す
る位置であり、具体的には圧電体１５の前側に設定され
ている。

【００１１】本実施形態では、このように超音波ホーン
の振動の節に当たる位置を支持することにより、超音波
振動の減衰量の少ない保持構造を得ることができる。

【００１２】ここで、超音波振動部３の構成をさらに詳
細に説明する。

【００１３】本実施形態の超音波振動部３は、圧電体１
４，１５として、ＰｂＺｒＯ_３とＰｂＴｉＯ_３との固溶
体であるＰＺＴを主成分とする円柱状圧電体（直径１５
ｍｍで厚さ４ｍｍ）に厚さ方向に分極処理をしたものを
用い、アルミニウム製の後部超音波ホーン１７及び前部
超音波ホーン１８で、締め付けトルクを５０ｋｇ・ｃｍ
にして挟み込んでなるランジュバン超音波振動子（超音
波振動部３）を用意した。なお、前部超音波ホーン１８
の長さ寸法は３２．８ｍｍ、後部超音波ホーン１７の長
さ寸法は１４．３ｍｍに設定した。また、後部超音波ホ
ーン１７の直径は、圧電体１４，１５と同様に１５ｍｍ
に設定した。そして、共振周波数は５０ｋＨｚとした。
前部超音波ホーン１８の先端は平面（平ら）であり、そ
の平面度を表す平面度公差は、０．００５ｍｍに設定し
た（本実施形態の平面はこれに限定されるものではない
が、平面度公差によって目安として表すことができる。
即ち、本実施形態でいう「平面」とは、被洗浄物に接触
する部分が一つの平面であり、その平面度公差が０．２
ｍｍ以下であるものをいう）。また、前部超音波ホーン
１８の先端面の面積Ｓ１を０．３ｃｍ^２に設定し、圧電
体面積Ｓ２を１．７７ｃｍ^２に設定した。

【００１４】ここで、Ｓ１は前部超音波ホーン１８の先
端部の面積、即ち、洗浄処理面である。前部超音波ホー
ンが図４（ａ），（ｂ）に示すような先端のときは、先
端面積Ｓ１は斜線で示す部分のみをいう。また、Ｓ２は
ホーンと接合する圧電体の接合面積のことをいう。但
し、圧電体の中心部に図５に示す五円玉のような丸孔が
空いている場合には、丸孔がないものとみなした面積を
いう。即ち、孔があろうがなかろうが面積は同じある。
単純に、圧電体の直径から面積を求めればよい。さら
に、平面度公差の測定は、先端面の全てを測定する。即
ち、先端面全体の理想面（理論的平面）からずれを測定
する訳である。

【００１５】被洗浄物案内カバー４は、図１に示すよう
に、合成樹脂でなる略円筒形状である。この被洗浄物案
内カバー４の後部４Ａは、ケーシング５の前端部を螺挿
可能にする内径寸法を有し、内周面にケーシング５の前
端部に形成された雄ネジ部１２に螺合する雌ネジ部１９
が形成されている。

【００１６】また、被洗浄物案内カバー４の後部４Ａよ
り前側には、ケーシング５から突出する前部超音波ホー
ン１８を取り囲むように形成されたカバー部２０と、カ
バー部２０を取り囲むように形成された把持部２１とが
設けられている。カバー部２０外径寸法は、前方に向け
て漸次短くなるように設定されている。カバー部２０の
先端の開口縁２０Ａには、断面形状が略円形の被洗浄物
案内リング部２２が周回するように形成されている。そ
して、被洗浄物案内カバー４の後部４Ａをケーシング５
の前端部に螺合することにより、ケーシング５の前端開
口部１１の端面と被洗浄物案内カバー４とで、フランジ
部材１３を挟持して超音波振動部３を保持するようにな
っている。なお、図３に示すように、前部超音波ホーン
１８は、これを取り囲む被洗浄物案内リング部２２やカ
バー部２０とは非接触であり、前部超音波ホーン１８の
超音波振動が減衰されにくい構造となっている。

【００１７】本実施形態では、図１及び図２に示すよう
に、前部超音波ホーン１８の先端面１８Ａは、被洗浄物
案内リング部２２の先端面と略面一に設定されている
が、被洗浄物案内リング部２２の先端面より後側に位置
するように設定してもよい。

【００１８】このような構成の本実施形態では、被洗浄
物案内リング部２２の外側面が湾曲しているため、例え
ば、衣類などの被洗浄物を案内する曲面を有している。
このため、被洗浄物案内リング部２２の湾曲面が被洗浄
物の上を円滑に滑ることができ、被洗浄物を前部超音波
ホーン１８の先端面１８Ａに確実に接触もしくは対向さ
せることが可能となる。このため、被洗浄物と前部超音
波ホーン１８の先端面１８Ａとの間に例えば洗浄液など
の液体が介在されることにより、被洗浄物の汚れを確実
に除去することが可能となる。

【００１９】以上、本実施形態の超音波洗浄装置１の構
成について説明したが、次にこの超音波洗浄装置１の操
作方法及び作用・動作について説明する。

【００２０】本実施形態の超音波洗浄装置１を用いて例
えば衣類の洗浄を行う場合、超音波洗浄装置１の装置本
体２を手で持ち、スイッチ部８をオンにすることによ
り、超音波振動部３を駆動することができる。洗浄液に
浸して洗浄液を含ませた衣類を用意し、被洗浄物案内リ
ング部２２を衣類の布面に当て、この被洗浄物案内リン
グ部２２を布面上で滑らせることにより、前部超音波ホ
ーン１８の先端面１８Ａに確実且つ適切に接触させるこ
とができる。前部超音波ホーン１８の先端面１８Ａでの
超音波振動は、洗浄液を介して布面に伝搬して汚れを除
去することが可能となる。

【００２１】本実施形態の超音波洗浄装置１では、前部
超音波ホーン１８を被洗浄物案内カバー４のカバー部２
０が取り囲んでいるため、使用者が前部超音波ホーン１
８に直接接触するのを防止する作用がある。また、本実
施形態では、被洗浄物案内リング部２２が衣類の布面上
を滑って、結果的に前部超音波ホーン１８の先端面１８
Ａを布面の所定の箇所へ案内することができる。

【００２２】なお、本実施形態においては、電源として
電池収納部６に収納される電池の他に、図１に示すよう
な電源ジャック部２４に外部電源を接続しても用いるこ
とが可能である。

【００２３】次に、本実施形態（実施例１）を含む各種
設定の超音波洗浄装置１を用いて行った洗浄効果の測定
結果を説明する。なお、この測定実験では、実施形態と
同様に圧電体１４，１５として、ＰｂＺｒＯ_３とＰｂＴ
ｉＯ_３との固溶体であるＰＺＴを主成分とする円柱状圧
電体（直径１５ｍｍで厚さ４ｍｍ）に厚さ方向に分極処
理をしたものを用い、アルミニウム製の後部超音波ホー
ン１７及び前部超音波ホーン１８で、締め付けトルクを
５０ｋｇ・ｃｍにして挟み込んでなるランジュバン超音
波振動子（超音波振動部３）を用意した。なお、前部超
音波ホーン１８の長さ寸法は３２．８ｍｍ、後部超音波
ホーン１７の長さ寸法は１４．３ｍｍに設定した。ま
た、後部超音波ホーン１７の直径は、１５ｍｍに設定し
た。そして、共振周波数は、５０ｋＨｚであった。

【００２４】（実施例１）上記した実施形態と同様の構
成とした。上記したように、平面度公差は０．００５ｍ
ｍに設定した。

【００２５】（実施例２）実施例１における前部超音波
ホーン１８の先端面１８Ａを研磨して、平面度公差が
０．２ｍｍになるように設定した。

【００２６】（実施例３）実施例１における前部超音波
ホーン１８の先端面１８Ａの面積を０．５９ｃｍ ^２、ホ
ーン先端面積Ｓ１と圧電体面積Ｓ２との比、Ｓ２／Ｓ１
を３．０になるように設定した。ただし、共振周波数
は、ホーンの長さ寸法を調整して、実施例１と同様に５
０ｋＨｚになるように設定した。

【００２７】（比較例１）実施例１における前部超音波
ホーン１８の先端面１８Ａの面積を１．７５ｃｍ ^２に設
定し、Ｓ２／Ｓ１を１．０に設定し、平面度公差を０．
００５ｍｍに設定した。

【００２８】（比較例２）比較例１において、前部超音
波ホーン１８の先端面１８Ａを研磨して、平面度公差
１．０ｍｍに設定した。

【００２９】（比較例３）実施例３において、Ｓ１を
０．７１ｃｍ^２とした。Ｓ２／Ｓ１は２．５０となっ
た。共振周波数は、ホーンの長さ寸法を調整して５０ｋ
Ｈｚとなるようにした。

【００３０】（洗浄度の測定）洗浄度は白色の木綿の布
を泥で汚したサンプル片を用いて、洗浄後の光反射率を
測定した。このサンプル片に、一辺が４ｃｍの正方形の
枠を当て、その正方形の内側の泥汚れを超音波洗浄装置
にて洗浄した。洗浄は、１分間水をかけながら行った。
洗浄後、５分間の水洗いを施した後、乾燥させてアイロ
ンをかけた。その後、光反射率をミノルタ製ＣＭ−３５
００ｄ反射率計を用いて測定した。光反射率の測定範囲
は直径３ｃｍの円内とした。この測定では光反射率が高
い方が洗浄力が高いことを示している。また、圧電体１
４，１５でなる超音波振動子１６には、２Ｗ，４Ｗ，８
Ｗ，１５Ｗの出力を印加した。なお、比較例１及び比較
例２では、５０Ｗの出力印加も試みている。以下、測定
結果を表１に示す。

【００３１】

【表１】上記表１に示す測定結果から判るように、出力が１５Ｗ
以下、特に８Ｗ以下ではホーン先端面積が比較例１及び
比較例２のように１．７５ｃｍ^２程度になると洗浄力
（反射率）が６０％以下になってしまい十分な洗浄力が
得られない。洗浄力として満足度の高い反射率８０％近
傍を得るには、ホーン先端面積が０．６ｃｍ^２程度を要
することが判る。ところで、出力８Ｗ以下でホーン先端
面積を小さくした場合、０．０７程度まで満足度の高い
洗浄力を発揮することが判った。また、出力８Ｗの低出
力で満足度の高い洗浄力を得るには、ホーン先端面積Ｓ
１と圧電体面積Ｓ２との比、Ｓ２／Ｓ１が３以上である
ことが判る。この結果、８Ｗ以下の低出力で満足度の高
い洗浄を行うには、前部超音波ホーン１８の先端面積
が、０．０７〜１．０ｃｍ^２の範囲が適当であることが
判る。また、Ｓ２／Ｓ１が３以上であることが好まし
い。

【００３２】本実施形態では、上記した範囲で前部超音
波ホーン１８の先端面積と、Ｓ２／Ｓ１の値とを設定し
ているため、低出力で高い洗浄効果を得ることができ
る。このため、低消費電力で小型の超音波洗浄装置１を
実現することができる。

【００３３】加えて、より本実施形態を効果的にするも
のとして、表１から判るとおり、前部超音波ホーン１８
の先端面が平面であり、その平面度を示す平面度公差が
０．１ｍｍ以下のものが特に良いことが判る。

【００３４】（変形例１）図６は、実施形態の超音波洗
浄装置の変形例１を示している。なお、本変形例１の構
成は、上記した実施形態における前部超音波ホーン１８
の先端部分の形状のみを変えたものであり、他の部分の
構成は実施形態と同様である。

【００３５】本変形例１における前部超音波ホーン１８
の先端面１８Ａの中央には、凹部１８Ｂが形成されてい
る。なお、この凹部１８Ｂを除く先端面１８Ａの面積
は、０．０７〜１．０ｃｍ^２の範囲に設定され、圧電体
１４，１５の面積Ｓ１に対するホーン先端面積Ｓ１の
比、Ｓ２／Ｓ１が３以上になるように設定されている。

【００３６】この変形例１においても、上記した実施形
態と同様に８Ｗ程度の低消費電力で良好な洗浄力を得る
ことができる。また、変形例１では、前部超音波ホーン
１８の先端に至るまでの径寸法を長くできるため、超音
波伝搬性を確保することができる。

【００３７】（変形例２）図７は、実施形態の超音波洗
浄装置の変形例２を示している。この変形例２では、前
部超音波ホーン１８の先端部分の周縁に凹部１８Ｃが形
成され、先端面１８Ａの面積が０．０７〜１．０ｃｍ^２
の範囲に設定され、圧電体１４，１５の面積Ｓ１に対す
るホーン先端面積Ｓ１の比、Ｓ２／Ｓ１が３以上になる
ように設定されている。

【００３８】この変形例２においても、上記した実施形
態と同様に８Ｗ程度の低消費電力で良好な洗浄力を得る
ことができる。また、変形例２では、前部超音波ホーン
１８の先端に至るまでの径寸法を長くできるため、超音
波伝搬性を確保することができる。

【００３９】（変形例３）図８は、実施形態の超音波洗
浄装置の変形例３を示している。この変形例３において
は、前部超音波ホーン１８の先端部分の内部に例えば一
対の空洞１８Ｄ，１８Ｄを形成した。

【００４０】（変形例４）図９は、実施形態の超音波洗
浄装置の変形例４を示している。この変形例４において
は、前部超音波ホーン１８の先端部分を傾斜面１８Ｅと
したものであり、先端の超音波振動が伝搬される実効面
積を小さくしている。このため、先端実効面積を、０．
０７〜１．０ｃｍ^２の範囲となるように設定することが
できる。

【００４１】（変形例５）図１０は、実施形態の超音波
洗浄装置の変形例５を示している。この変形例５におい
ては、前部超音波ホーン１８の先端面１８Ａの周縁にＲ
面としての曲面１８Ｆが形成されている。このように曲
面１８Ｆを形成したことにより、前部超音波ホーン１８
の先端面１８Ａの面積を前部超音波ホーン１８の断面積
よりも小さく設定することができる。このため、圧電体
１４，１５と同程度の面積で、前部超音波ホーン１８を
これら圧電体１４，１５に接合させることができ、超音
波伝搬性を良好に保つと共に、先端面積Ｓ１を０．０７
〜１．０ｃｍ^２の範囲に設定し易くしている。また、前
部超音波ホーン１８の先端周縁に曲面１８Ｆを形成した
ことにより、被洗浄物の引っ掛かりを防止することがで
き、円滑に被洗浄物上を滑らせることができる。

【００４２】以上、実施形態及びその変形例について説
明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、
構成の要旨に付随する各種の変更が可能である。

【００４３】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１記載の発明によれば、超音波ホーンの先端面が平面で
あり、その先端面積を０．０７〜１．０ｃｍ^２の範囲に
設定したことにより、８Ｗ以下の低消費電力での駆動を
可能にする効果がある。このため、請求項１記載の発明
によれば、小型で超音波洗浄の効果を十分発揮する超音
波洗浄装置を実現することができる。

【００４４】請求項２記載の発明によれば、圧電体の断
面積に対する超音波ホーンの先端面積の比を３以上とす
ることにより、超音波伝搬性を確保しつつ先端面での超
音波振動利用効率を向上することができる。このため、
請求項２記載の発明によれば、洗浄効率が高く、低消費
電力な超音波洗浄装置を実現することができる。

【００４５】請求項３記載の発明は、超音波ホーンの先
端面の平面度公差を０．２ｍｍ以下としたので、低消費
電力且つ小型の超音波洗浄装置でも超音波洗浄の効果を
十分発揮することができる。

【００４６】請求項４記載の発明は、請求項１及び請求
項２に記載された発明の効果に加えて、被洗浄物上を円
滑に移動することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る超音波洗浄装置の実施形態を示す
断面図である。

【図２】実施形態の超音波洗浄装置におけるカバー部及
び前部超音波ホーンの断面図である。

【図３】実施形態の超音波洗浄装置におけるカバー部分
及び前部超音波ホーンの正面図である。

【図４】（ａ），（ｂ）は実施形態の超音波洗浄装置の
前部超音波ホーンの先端部の面積の説明図である。

【図５】実施形態の超音波洗浄装置の圧電体の接合面積
の説明図である。

【図６】実施形態の変形例１を示す要部の断面図であ
る。

【図７】実施形態の変形例２を示す要部の断面図であ
る。

【図８】実施形態の変形例３を示す要部の断面図であ
る。

【図９】実施形態の変形例４を示す要部の断面図であ
る。

【図１０】実施形態の変形例５を示す要部の断面図であ
る。

【符号の説明】

１超音波洗浄装置３超音波振動部１４，１５圧電体１６超音波振動子１７後部超音波ホーン１８前部超音波ホーン１８Ａ先端面１８Ｂ，１８Ｃ凹部１８Ｄ空洞部１８Ｅ傾斜面１８Ｆ曲面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０１Ｌ 41/187 Ｈ０１Ｌ 41/08 Ｊ 41/18 １０１Ｄ (72)発明者大沢清輝栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会社研究所内 (72)発明者佐藤雅安栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会社研究所内 (72)発明者宮村猛史栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会社研究所内Ｆターム(参考） 3B155 AA02 BB08 BB18 CA11 CB18 3B201 AA46 AB52 BA01 BA22 BB09 BB84 BB85 BB86 BB94 CC21 5D107 AA03 AA13 BB11 CC04 CD05 FF03

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電体を用いた超音波振動子に超音波ホ
ーンが連設されてなる超音波振動部を備え、前記超音波
ホーンの先端部に被洗浄物を接触させて被洗浄物の洗浄
を行う超音波洗浄装置であって、前記超音波振動子の消費電力が８Ｗ以下に設定されると
共に、前記超音波ホーンの先端面が平面で先端面積が
０．０７〜１ｃｍ^２に設定されていることを特徴とする
超音波洗浄装置。
【請求項２】圧電体を用いた超音波振動子に超音波ホ
ーンが連設されてなる超音波振動部を備え、前記超音波
ホーンの先端部に被洗浄物を接触させて被洗浄物の洗浄
を行う超音波洗浄装置であって、前記超音波ホーンの先端の被洗浄物に接触する面積Ｓ１
と、前記超音波ホーンの先端側から見た前記圧電体の面
積Ｓ２との比が、Ｓ２／Ｓ１≧３であることを特徴とす
る超音波洗浄装置。
【請求項３】前記超音波ホーンの先端面の平面度公差
が０．２ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１に記
載の超音波洗浄装置。
【請求項４】前記超音波ホーンの先端面の周囲に曲面
を形成したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記
載の超音波洗浄装置。