JP2001298975A

JP2001298975A - 弾性体の製造方法および弾性体、およびこの弾性体を用いた振動波駆動装置

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Publication number: JP2001298975A
Application number: JP2000113996A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Seki; 裕之関
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2000-04-14
Filing date: 2000-04-14
Publication date: 2001-10-26

Abstract

(57)【要約】【課題】鳴きの発生を防止できる構造の弾性体を焼結
合金で形成できる振動波駆動装置に用いられる弾性体の
製造方法を提供する。【解決手段】振動波駆動装置の振動体に用いられる、所
定波長の駆動振動を生じる弾性体を焼結成型後サイジン
グ処理を施すことで残留熱応力による変形を除去する
際、弾性体１の一方の面に形成された複数のスリットの
底面を加圧すると共に、前記複数のスリットのうち、前
記所定波長に略対応したスリットを所定の量だけ深く若
しくは浅く形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、振動波モータ等の
振動波駆動装置、振動波駆動装置の振動体に用いられる
弾性体およびその製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より開発されている振動波駆動装置
の一つである超音波あるいは振動波モータ等と称せられ
ているモータは、金属製の弾性体の他方の面に電気−機
械エネルギー変換素子としての圧電素子を接着して構成
した振動体を有し、前記圧電素子に駆動信号としての交
流電圧を印加し、これにより該弾性体に発生した高周波
の駆動振動で、該弾性体の一方の面（駆動面）に摩擦接
触させた接触体としてのロータを回転駆動するようにな
っている。このモータの駆動原理については、以前より
多くの提案がなされ、そこで説明されているので、ここ
では周知のものとして説明を省略する。

【０００３】このモータの中で、最もポピュラーなもの
は進行波タイプのモータであり、現在製品化されている
ものの殆どがこのタイプである。

【０００４】図８はこのタイプのモータを構成する振動
体の斜視図を示す。振動体は金属製の弾性体１と電気−
機械エネルギー変換素子としての圧電素子２で構成され
ている。

【０００５】弾性体１はさらに、一方の面（駆動面）に
略等間隔のスリットが複数施され、これによって複数の
突起部1ａが櫛歯状に形成されている。この突起部1ａ
は、該弾性体１に面外曲げ振動が励振されたとき、突起
部１ａの上面（表面）１ｂに接触する不図示のロータを
効率よく駆動するためのもので、前記振動体のロータ送
り方向における振動成分を増幅するために極めて重要な
部分である。この突起部1ａは、モータ効率をよくする
ためにある程度以上数を多くする必要があり、また、ロ
ータ送り方向の振動振幅を大きくするため、スリットを
ある程度深くする必要がある。また、ロータとの接触面
である接触面１ｂや、圧電素子接合面１ｃは平面度を数
μｍ程度に仕上げる必要があり、非常に高精度な加工が
要求される。このような理由から、従来はこの弾性体を
機械加工により製作していた。

【０００６】しかし、図８に示すように、複雑な形状の
弾性体を機械加工のみで製作すると、加工工数が多くな
り加工時間も多くなるため、コストが高くなってしまう
という問題がある。

【０００７】また、リング状の形状を棒材から削り出す
という方法は、材料の無駄も多く、資源の有効活用、産
業廃棄物の削減といった環境問題の観点からも好ましく
ない。

【０００８】そこで、弾性体の加工工数を大幅に低減す
るとともに、後加工によるごみを極力少なくできる加工
法として、焼結金属による成型法が特開平５−344766号
公報などで提案されている。これらの提案では、弾性体
のスリット部分まで型成形して焼結するため、略全形状
が出来上がった状態で成形される。ただ、焼結による熱
変形で、突起部1ａの表面１ｂや圧電素子接着面１ｃの
面精度が悪くなった部分に関しては、突起部1ａの表面
１ｂと圧電素子接着面１ｃをサイジング処理して矯正し
ている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記サ
イジング工程および機械加工による後加工を施しただけ
の弾性体で振動体を構成した場合、モータとして駆動す
ると異音（鳴き）が発生しやすいという問題がある。

【００１０】これは、焼結体によって形成される弾性体
は、前記サイジングや後加工によって摺動面の平面度が
かなり改善されるが、その反面リング状基部の厚みムラ
を招いたり、突起部の長さのムラを招くことで、該弾性
体の振動振幅ムラや突起部の剛性ムラを引き起こし、結
果として鳴きが発生しやすい状態を作ってしまうことに
なっていた。

【００１１】例えば、弾性体が図９の様に反っていた場
合、弾性体１は旋盤加工等の後加工によって、その両面
側を直線Ｌ、Ｍで切除されたような形状に加工される。
この加工によって、ロータとの摺動面１ｂと圧電素子接
合面１ｃの平面度は精度良く加工されるが、一方で、リ
ング状基部は厚みが薄い部分と厚い部分の差が後加工前
の反り分だけ出てしまうことになる。

【００１２】この結果、リング状基部の厚みが薄い部分
Ｐ１では曲げ振動の波長が伸びて振動振幅が大きくな
り、逆に厚い部分Ｐ２では波長が短くなって振動振幅も
小さくなるため、この弾性体に進行波を励振した時、進
行波ムラを発生することになる。

【００１３】また、上記リング状基部の厚みが薄い部分
Ｐ１では突起部１ａ１の長さは長くなるので（Ｔ２）、
この突起部１ａ１のロータ送り方向の振動振幅は大きく
なるが、リング状基部の厚い部分Ｐ２の突起部１ａ２が
短くなるので（Ｔ１）、同送り方向成分は小さくなる。

【００１４】この様なことから、前記ロータと弾性体１
との間に局部的な滑りが発生し、不要な振動モードの進
行波が励振されるので、鳴きを発生しやすくなるという
問題を持っていた。

【００１５】本発明は、鳴きの発生を防止できる構造の
弾性体を焼結合金で形成できる振動波駆動装置に用いら
れる弾性体及びその製造方法、この弾性体を用いた振動
波駆動装置を提供しようとするものである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】第１の発明は、駆動振動
を生じる焼結合金からなる弾性体を有する振動体と、前
記弾性体に接触させた接触体と、を相対移動させる振動
波駆動装置における前記弾性体を製造する弾性体の製造
方法において、焼結成型された前記弾性体は一方の面に
複数のスリットが形成されていて、焼結後の前記弾性体
に対してサイジング処理を施すサイジング工程を有し、
前記サイジング処理の際に、前記複数のスリットの底面
を加圧すると共に、前記複数のスリットのうち、特定の
スリットを所定の量だけ深く若しくは浅く形成すること
を特徴とする弾性体の製造方法である。

【００１７】第２の発明は、駆動振動を生じる焼結合金
からなる弾性体を有する振動体と、前記弾性体に接触さ
せた接触体と、を相対移動させる振動波駆動装置におけ
る前記弾性体を製造する弾性体の製造方法において、焼
結成型された前記弾性体は一方の面に複数のスリットが
形成されていると共に、前記複数のスリットのうち、特
定のスリットがあらかじめ所定の量だけ深く若しくは浅
く形成されていて、焼結後の前記弾性体に対してサイジ
ング処理を施すサイジング工程を有し、前記サイジング
処理の際に、前記複数のスリットの底面を加圧して、特
定のスリットの深さが所定量となるように矯正すること
を特徴とする弾性体の製造方法である。

【００１８】第３の発明は、駆動振動を生じる焼結合金
からなる弾性体を有する振動体と、前記弾性体に接触さ
せた接触体と、を相対移動させる振動波駆動装置におけ
る前記弾性体を製造する弾性体の製造方法において、焼
結成型された前記弾性体は一方の面に複数のスリットが
形成されていて、焼結後の前記弾性体に対してサイジン
グ処理を施すサイジング工程を有し、前記サイジング処
理の際に、前記複数のスリットの底面を加圧すると共
に、前記複数のスリットのうち、特定のスリットの底面
に対する加圧力を他のスリットと異ならせ、前記特定の
スリットの基部の密度を他のスリットの基部の密度と異
ならせたことを特徴とする弾性体の製造方法である。

【００１９】第４の発明は、上記第３の発明で、前記特
定のスリット底面に対する加圧力を高めて前記特定のス
リットの基部の密度を他のスリットの基部の密度よりも
大きくしたことを特徴とする弾性体の製造方法である。

【００２０】第５の発明は、上記いずれかの発明で、前
記弾性体は、リング形状に形成されていることを特徴と
する弾性体の製造方法である。

【００２１】第６の発明は、上記第１から第４のいずれ
かの発明で、前記弾性体は、リング形状に形成された駆
動振動の発生部の内周又は外周にフランジ部を設けた円
盤形状に形成されていることを特徴とする弾性体の製造
方法である。

【００２２】第７の発明は、振動波駆動装置に用いられ
る駆動振動を生じる焼結合金からなる弾性体において、
前記弾性体は、リング形状に形成された駆動振動の発生
部に径方向に複数のスリットが形成され、前記複数のス
リットのうち、特定のスリットを所定の量だけ深く若し
くは浅く形成したことを特徴とする弾性体である。

【００２３】第８の発明は、振動波駆動装置に用いられ
る駆動振動を生じる焼結合金からなる弾性体において、
前記弾性体は、リング形状に形成された駆動振動の発生
部に径方向に複数のスリットが形成され、前記複数のス
リットのうち、特定のスリットの基部の密度と他のスリ
ットの基部の密度とが異なることを特徴とする弾性体で
ある。

【００２４】第９の発明は、上記第８の発明で、前記特
定のスリットの基部の密度を他のスリットの基部の密度
よりも大きくしたことを特徴とする弾性体である。

【００２５】第１０の発明は、上記第７から第９のいず
れかの発明で、前記弾性体は、リング形状に形成された
駆動振動の発生部の内周又は外周にフランジ部を設けた
円盤形状に形成されていることを特徴とする弾性体であ
る。

【００２６】第１１の発明は、上記第７、８、９または
１０の発明における弾性体の駆動振動発生部と異なる面
に電気−機械エネルギー変換素子を接合し、前記電気−
機械エネルギー変換素子に交番信号を印加することによ
り前記弾性体に駆動振動が形成される振動体と、前記弾
性体に加圧接触する接触体とを有し、前記振動体と前記
接触体とを前記駆動振動により摩擦駆動することを特徴
とする振動波駆動装置である。

【００２７】上記した弾性体の製造方法では、振動波駆
動装置に使用する弾性体に対する鳴き対策を焼結合金に
より簡単に得ることができ、特に鳴き対策のための機械
加工を不要とすることが可能となる。

【００２８】ここで、前記鳴き対策の概要を以下に述べ
る。

【００２９】前記弾性体により形成された振動体に駆動
用振動モードが励振された時は、位置的位相差の異なる
２つの振動モードに対して、例えばスリットの深さを異
ならせることにより形成されるいわゆる剛性不均一部が
等価に作用するが、これ以外の振動が励起された時は、
前記剛性不均一部が位相の異なる２つのモードに対して
等価に作用しない。このため、駆動モード以外の振動が
励振されても進行波を構成する２つの振動モードの共振
周波数が一致せず、この振動は進行波とはならないの
で、鳴きを引き起こすことがない。

【００３０】また、前記弾性体のリング状基部の所定部
分の密度を例えば大きくすることにより、該リングに剛
性不均一部を形成し、上記の場合と同様に駆動モード以
外の振動を進行波に成長させないように作用している。

【００３１】

【発明の実施の形態】（第１の実施の形態）図１〜図３
は第１の実施の形態を示す。

【００３２】図１はサイジング処理後の焼結金属製の弾
性体を示し、（ａ）は上面図、（ｂ）はそのＡ部の拡大
側面図、（ｃ）は（ａ）の側面図を示す。図２は、焼結
後の弾性体をサイジング処理するサイジング型の構成の
概念図を示す。

【００３３】図１、図２および図３は第１の実施の形態
を示す。

【００３４】本実施の形態において、振動波駆動装置の
振動体を構成する弾性体は、図１の（ａ）に示すよう
に、リング形状に形成されたもので、焼結工程により得
られた弾性体の残留熱応力による変形を図２のサイジン
グ型により除去される。

【００３５】サイジング型は、弾性体１が挿入される円
筒形状の外型１２と、この外型１２に挿入された弾性体
１の内径部に挿入される棒状あるいは筒状の不図示の内
型とを有し、前記内型と外型１２により弾性体１の内周
および外周が拘束されるように配置される。

【００３６】さらに前記内型と外型１２との間の空間に
配置されたサイジング処理前の弾性体１の一方の面（複
数の突起部１ａの形成側）に対向して、図中上方に位置
する筒形状の上パンチ１４が配置され、弾性体１の他方
の面である圧電素子接着面側に対向して、図中下方に筒
形状の下パンチ１３が配置されている。

【００３７】本実施の形態において、上パンチ１４は、
サイジング処理前の弾性体１の突起部１ａの間のスリッ
トに差し込まれる押圧突起部１４ａを有し、下パンチ１
３は弾性体１の圧電素子接着面に当接する。

【００３８】サイジング処理前の弾性体１は、複数の突
起部１ａの間にスリットを形成した櫛歯側を図の上側、
圧電素子接着面側を図の下側に向けて配置されており、
前記不図示の内型と外型１２の間のリング状の空間部分
に対して、図の上方には弾性体１の櫛歯側に向けて上パ
ンチ１４が位置し、また図の下方からは弾性体１の圧電
素子接着面に当接する下パンチ１３が位置している。

【００３９】上パンチ１４は、弾性体１の複数の突起部
1ａ間のスリットに入り込んで該スリット底面１ｄを加
圧する加圧突起部１４ｅを有すると共に、弾性体１の突
起部１ａの上面１ｂを該底面１ｄと同時に加圧する加圧
突起部１４ａ間のスリット底面を有し、下パンチ１３
は、弾性体１の圧電素子接着面に当接するフラットな当
たり面を有している。

【００４０】そして、上パンチ１４と当たり面がフラッ
トな下パンチ１３とが該弾性体を上下から挟み込むよう
に加圧し、反りを効率よく矯正するよう設定されてい
る。この時、上パンチ１４は加圧突起部１４ａのフラッ
トな先端部で弾性体１の突起部１ａ間のスリット底面１
ｄを加圧すると共に、加圧突起部１４ａの間のスリット
底面で突起部１ａの上面１ｂとを同時に加圧し、櫛歯側
の全面を加圧するように設定されている。

【００４１】上パンチ１４の加圧突起部１ａは、図２
（ｂ）に示すように、周方向の所定の位置、例えば複数
の加圧突起部１４ｅのうち、符号１４ｅ１６で示す加圧
突起部の突起部長さを所定量（Ｌ）だけ長く設定してい
る。

【００４２】このため、図２（ａ）のようにスリット深
さのそろったサイジング処理前の弾性体１を上下からパ
ンチ１３，１４で加圧すると、長さが他の加圧突起部よ
りも所定長さＬだけ長い特定の加圧突起部１４ｅ１６に
対応する弾性体１のスリット（深溝）１ｄ１６は、前記
長さＬ分だけ深く押し込まれるため、図１の（ｂ）に示
すようにスリットに段差ができる。

【００４３】本実施の形態においては、内径φ６７ｍ
ｍ、外径φ７７ｍｍ、全高５．３ｍｍ（リング状基部厚
さ３ｍｍ、突起部高さ２．３ｍｍ）、スリット数９０の
弾性体１において、上記のように所定長さＬだけ長い特
定の加圧突起部１４ｅ１６によるサイジング処理時の加
圧で、３０本の深溝１ｄ１６（Ｌ＝０．２ｍｍ）がｘ、
ｙ軸に対して軸対称に配置されるように形成されてい
る。

【００４４】これらの深溝１ｄ１６は、このようなリン
グ状弾性体１に曲げ振動を励振した場合、これらの深溝
１ｄ１６の位置が振動の腹に近いほど共振周波数を下げ
る効果が大きくなるように作用する。

【００４５】ここで、この弾性体に８波の電極パターン
を有する圧電素子を接合し、ＳＩＮモード、ＣＯＳモー
ドの定在波振動を励振すると、上記３０本の深溝はこの
２つの振動モードに対しては等価に作用するので、前記
２モードの共振周波数は略一致する。なお、８波とは、
リング状弾性体に同時に形成される定在波の波数を示
し、定在波の波長をλとすると、リング状弾性体に対し
て周方向に８λの定在波が形成されることを示す。そし
て、弾性体に対し、例えば１λの長さの半分づつ（λ／
２）を同時に周方向に伸縮させることにより１λの定在
波が形成され、これを同時に８箇所で実行することで８
波の定在波が形成されることになる。

【００４６】弾性体に対するこの伸縮を上記圧電素子に
より与えることになるが、圧電素子は、例えば同極性の
電圧を印加すると厚み方向に縮む領域と伸びる領域とを
λ／２の長さを有したものを１組として８組設け、これ
と同じものをλ／４の奇数倍の間隔を有して配置し、一
方の組をＳＩＮモード、他方の組をＣＯＳモードとして
定在波を形成させ、その合成として８波の進行波が形成
される。

【００４７】しかし、駆動モード以外の振動成分が入力
されると、前記深溝はこれらの波に対してはＳＩＮ、Ｃ
ＯＳ両モードに対して等価に作用しないため、互いの共
振周波数がずれることになる。

【００４８】例えば図３に示すように、８波の振動モー
ドでは、ＳＩＮモード、ＣＯＳモードともに深溝（１ｄ
１５、１ｄ１６、１ｄ１７）のある位置（Ｓ１，Ｓ２，
Ｓ３）はそれぞれ振動の節、または腹の位置と一致して
おり、弾性体全周に渡ってこれら２つのモードに対し等
価な位置に深溝（１ｄ１〜１ｄ３０）が存在するように
設定されている。

【００４９】そのため、これら深溝（１ｄ１〜１ｄ３
０）の影響によって前記２つのモードの共振周波数は、
深溝を設けなかった時と比べ同じ量だけ下がるので、結
果としてこれら２つの振動モードの共振周波数は一致す
ることになる。

【００５０】一方、７波の振動モードに対して該モード
と該深溝との位置関係をみると、ＳＩＮモードに対して
はＳ１の位置が振動の腹と一致し、Ｓ２，Ｓ３は振動の
節よりも少しずれた位置になるが、ＣＯＳモードに対し
てはＳ１は振動の節と一致し、Ｓ２，Ｓ３は振動の腹か
ら少しずれた位置になるので、これらの深溝はＳＩＮモ
ード、ＣＯＳモードに対して等価に作用しない。

【００５１】その結果、該深溝の影響で共振周波数が下
がる量はＳＩＮモードとＣＯＳモードで異なることにな
り、２つのモードに共振周波数差が生じ、この７波のモ
ードは進行波に成長しずらくなる。

【００５２】このような理由により、モータを駆動した
時に摺動面から駆動波以外の振動成分が振動体に入力さ
れても、これらの振動は進行波にならないため、鳴きを
発生しずらいモータを供給することができる。

【００５３】（第２の実施の形態）図４、図５、図６は
第２の実施の形態を示す。

【００５４】本実施の形態は、型成形時に所定の位置の
スリット部を深くまたは浅く設定した形状で焼結し、そ
の後サイジング工程でそのスリット底部をプレスするこ
とにより、スリット深さの精度をさらに上げるようにし
たものである。

【００５５】図４（ａ）、（ｂ）は焼結上がりの弾性体
の斜視図及び断面図を示し、図５には所定位置のスリッ
ト部のみを拡大して示している。本図で示しているよう
に、弾性体１には図１と同様に、所定の位置のスリット
が他のスリットよりも深くまたは浅く形成されている。

【００５６】しかし、焼結時の熱による変形で該スリッ
トの深さの精度は悪くなってしまうため、図５に示すよ
うに、スリットの上部及び底部を同時にプレスする総型
サイジングを施し、型の精度でサイジング後のスリット
深さを矯正するようにしている。

【００５７】その結果、図６に示すように、焼結成形時
に形成されたスリット１ｇ１（深溝）と１ｇ２（その他
のスリット）は、サイジングにより矯正されて１ｇ１１
と１ｇ２１となり、それらの段差の精度はサイジング前
に比べ格段に向上している。

【００５８】（第３の実施の形態）図７は第３の実施の
形態を示す。

【００５９】本実施の形態では、所定の位置の弾性体基
部の密度を上げる事によって、該基部に剛性不均一部を
設けている。弾性体形状は第１の実施の形態と同じ形状
をしているので全体図は省略し、図７には剛性不均一部
を形成するための原理の概念図を示した。

【００６０】図７（ａ）はサイジング前の弾性体側面を
示している。基部の密度を上げようとする部分のスリッ
ト底部は、図中スリット底部１ｆ１〜１ｆ３のように、
他のスリットよりも浅く構成し、その後サイジング工程
時に他のスリットと同じ深さまでサイジングを施すと、
前記スリット底部１ｆ１〜１ｆ３に対応する部分は図７
（ｂ）の斜線で示す部分１ｇ１〜１ｇ３のように密度が
上がり、ヤング率も高くなる。

【００６１】この様に曲げ振動が励振される弾性体基部
に、部分的にヤング率が高い部分が存在すると、第１の
実施の形態と同様に一対の振動モードの共振周波数を一
致させない効果がある。

【００６２】（第４の実施の形態）図１０は第４の実施
の形態を示す。

【００６３】上記の各実施の形態における弾性体は、リ
ング状に形成したものを用いているが、高周波の駆動振
動が形成されるリング状の振動発生部の内周または外周
にフランジ部を設けた円盤形状のものとし、このフラン
ジ部を介して弾性体を取り付け部材等に固定するように
しても良く、図１０はこの円盤状の弾性体に圧電素子２
を接着して得られた振動体を有する振動波駆動装置とし
ての振動波モータの断面図を示す。

【００６４】ベース部材５とケース２０とによりモータ
ハウジングを構成し、ベース部材５には、弾性体１の支
持部１ｇがねじ６により固定され、また内外部にベアリ
ング７と８が装着されていて、このベアリング７，８に
よりモータ軸９を回転自在に支持している。弾性体１は
突起部１ａの上面に摩擦材としてのスライダ材３が貼り
合わされている。また、表面硬化処理を施された接触体
としてのロータ１０は、防振ゴム１１を介して板ばね１
２に連結され、板ばね１２の内径部がディスクフランジ
１３に回転不能に固定されている。ディスクフランジ１
３は、モータ軸９に対して締まり嵌合により、軸方向ズ
レ、回転方向ズレがないように固定されている。そし
て、ロータ１０は弾性体１のスライダ材３に板ばね１２
のばね力により加圧接触する。

【００６５】また、ベース部材５の内端にはエンコーダ
ベース１４が固定され、投・受光素子で構成されている
一対のフォトカプラ１５（モータ軸に対して軸対称に配
置されている）や回路素子等が実装されたフレキシブル
プリント基板１６を介してエンコーダベース１４に取り
付けられている。

【００６６】一方、モータ軸９の一端部に歯付止め輪１
９を介して固定されたハブ１８には、フォトカプラ１５
に対向して、反射率の大きい鏡面に複数のスリットを形
成したエンコーダコードホイール１７が接着剤あるいは
両面テープにより固定され、フォトカプラ１５の投光素
子からエンコーダコードホイール１７で反射した反射光
を受光素子で受光し、パルスを出力するようになってお
り、２つのフォトカプラ１５を軸対称に配置しているの
は、モータ軸９の偏芯をエンコーダ信号上でキャンセル
させ、制御時に回転ムラを低減させるためである。

【００６７】そして、ケース２０とベース部材５で構成
されるハウジングによりモータ部、エンコーダ部を内包
し、その際ベース部材５とケース２０およびベース部材
５とモータ軸９の間にそれぞれ設けたシール２１，２２
により水密性等が保持され、また内部に乾燥剤２３が封
入されて乾燥状態が保たれている。

【００６８】なお、圧電素子２への駆動信号、及びフォ
トカプラ１５への駆動及びエンコーダ信号はフレキシブ
ル基板４、１６及びコネクタ２４を介してモータ外部の
不図示のドライバに接続されている。

【００６９】電気−機械エネルギー変換素子としての圧
電素子２に位相の異なる交流電圧などの交番信号を印加
することにより、弾性体１に曲げ振動により形成された
位相の異なる定在波の合成により進行波が形成され、弾
性体１に加圧接触するロータ１０が回転駆動されてモー
タ軸９が回転し、このモータ軸９により例えば複写機の
感光ドラム等の被駆動体が駆動される。その際、フォト
カプラ１５からの信号に基づいてモータ速度が所定の速
度になるように制御される。

【００７０】

【発明の効果】以上述べてきたように、本発明によれ
ば、鳴き対策を施した振動波駆動装置の振動体に用いら
れる弾性体を焼結合金で簡単に得ることが可能となり、
特に焼結成形した弾性体をサイジングにより形状の変形
を矯正する際に、鳴き対策のための加工を同時に行え、
鳴き対策のための加工工程を特別に行う必要がない。

【００７１】また、振動波駆動装置の振動体には、焼結
合金により鳴き対策を施した弾性体を用いることができ
るので、コストダウンを図ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の弾性体を示し、
（ａ）は上面図、（ｂ）はそのＡ部拡大側面図、（ｃ）
は（ａ）のｙ軸に沿った断面図

【図２】本発明を有効に実施できる総型サイジングの型
構成の第１の実施の形態を示し、（ａ）は中央分割断面
図、（ｂ）は上パンチの展開図。

【図３】第１の実施の形態における効果を説明する波形
図。

【図４】本発明の第２の実施の形態の弾性体を示し、
（ａ）は斜視図、（ｂ）はその断面図。

【図５】第２の実施の形態のサイジング処理時の上パン
チと弾性体との関係を示す断面図。

【図６】（ａ）（ｂ）は第２の実施の形態によるサイジ
ング処理の前後の弾性体を示す図。

【図７】（ａ）（ｂ）は本発明の第３の実施の形態によ
るサイジング処理の前後の弾性体を示す図。

【図８】振動体の斜視図。

【図９】従来の弾性体の機械加工による切削方法を示す
図。

【図１０】第４の実施の形態を示す振動波駆動装置の断
面図を示す。

【符号の説明図】

１弾性体１ａ弾性体突起部１ｂ弾性体突起上面１ｃ弾性体圧電素子接合面２圧電素子１１内型（コア部）１２外型１３下パンチ１４上パンチ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】駆動振動を生じる焼結合金からなる弾性
体を有する振動体と、前記弾性体に接触させた接触体
と、を相対移動させる振動波駆動装置における前記弾性
体を製造する弾性体の製造方法において、焼結成型された前記弾性体は一方の面に複数のスリット
が形成されていて、焼結後の前記弾性体に対してサイジ
ング処理を施すサイジング工程を有し、前記サイジング
処理の際に、前記複数のスリットの底面を加圧すると共
に、前記複数のスリットのうち、特定のスリットを所定
の量だけ深く若しくは浅く形成することを特徴とする弾
性体の製造方法。
【請求項２】駆動振動を生じる焼結合金からなる弾性
体を有する振動体と、前記弾性体に接触させた接触体
と、を相対移動させる振動波駆動装置における前記弾性
体を製造する弾性体の製造方法において、焼結成型された前記弾性体は一方の面に複数のスリット
が形成されていると共に、前記複数のスリットのうち、
前記特定のスリットがあらかじめ所定の量だけ深く若し
くは浅く形成されていて、焼結後の前記弾性体に対して
サイジング処理を施すサイジング工程を有し、前記サイ
ジング処理の際に、前記複数のスリットの底面を加圧し
て、前記特定のスリットの深さが所定量となるように矯
正することを特徴とする弾性体の製造方法。
【請求項３】駆動振動を生じる焼結合金からなる弾性
体を有する振動体と、前記弾性体に接触させた接触体
と、を相対移動させる振動波駆動装置における前記弾性
体を製造する弾性体の製造方法において、焼結成型された前記弾性体は一方の面に複数のスリット
が形成されていて、焼結後の前記弾性体に対してサイジ
ング処理を施すサイジング工程を有し、前記サイジング
処理の際に、前記複数のスリットの底面を加圧すると共
に、前記複数のスリットのうち、前記特定のスリットの
底面に対する加圧力を他のスリットと異ならせ、前記特
定スリットの基部の密度を他のスリットの基部の密度と
異ならせたことを特徴とする弾性体の製造方法。
【請求項４】前記特定のスリットの底面に対する加圧
力を高めて前記特定スリットの基部の密度を他のスリッ
トｎ基部の密度よりも大きくしたことを特徴とする請求
項３に記載の弾性体の製造方法。
【請求項５】前記弾性体は、リング形状に形成されて
いることを特徴とする請求項１、２、３または４に記載
の弾性体の製造方法。
【請求項６】前記弾性体は、リング形状に形成された
駆動振動の発生部の内周又は外周にフランジ部を設けた
円盤形状に形成されていることを特徴とする請求項１、
２、３または４に記載の弾性体の製造方法。
【請求項７】振動波駆動装置に用いられるものであっ
て駆動振動を生じる焼結合金からなる弾性体において、前記弾性体は、リング形状に形成された駆動振動の発生
部に径方向に複数のスリットが形成され、前記複数のス
リットのうち、特定のスリットを所定の量だけ深く若し
くは浅く形成したことを特徴とする弾性体。
【請求項８】振動波駆動装置に用いられるものであっ
て駆動振動を生じる焼結合金からなる弾性体において、前記弾性体は、リング形状に形成された駆動振動の発生
部に径方向に複数のスリットが形成され、前記複数のス
リットのうち、特定のスリットの基部の密度と他のスリ
ットの基部の密度とを異ならせたことを特徴とする弾性
体。
【請求項９】前記特定のスリットの基部の密度を他の
スリットの基部の密度よりも大きくしたことを特徴とす
る請求項８に記載の弾性体。
【請求項１０】前記弾性体は、リング形状に形成され
た駆動振動の発生部の内周又は外周にフランジ部を設け
た円盤形状に形成されていることを特徴とする請求項
７、８または９に記載の弾性体。
【請求項１１】請求項７、８、９または１０に記載の
弾性体の駆動振動発生部と異なる面に電気−機械エネル
ギー変換素子を接合し、前記電気−機械エネルギー変換
素子に交番信号を印加することにより前記弾性体に駆動
振動が形成される振動体と、前記弾性体に加圧接触する
接触体とを有し、前記振動体と前記接触体とを前記駆動
振動により摩擦駆動することを特徴とする振動波駆動装
置。