JP2001291264A - 光ヘッド - Google Patents
光ヘッドInfo
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Abstract
とする光ヘッドを提供する。 【解決手段】 半導体レーザ2から出射されたレーザビ
ーム2aは、透明集光用媒体6の被集光面6bに集光し
て光スポット9が形成される。被集光面6bに形成され
た光検出素子7の微小開口7aから近接場光10が染み
出し、光ディスク8の記録層8aへの記録がなされる。
再生時には、記録層8aからの反射光の大部分が光検出
素子7に吸収されて、再生信号処理がなされる。
Description
特に、小型で、高速・高密度の光記録・再生を可能とす
る光ヘッドに関する。
はコンパクトディスク(CD)からディジタルビデオデ
ィスク(DVD)へと高密度・大容量化が進められてい
るが、コンピュータの高性能化やディスプレイ装置の高
精細化に伴い、ますます大容量化が求められている。ま
た、磁気ディスクにおいては、年率60%といった急速
な高密度化が図られているが、熱ゆらぎによる記録密度
の限界(40Gbit/inch2)が見えてきて、さ
らに高密度化に向けて、高保磁力の磁気媒体に記録可能
な光アシスト磁気記録が注目を集めている。
の記録密度は、基本的には記録媒体上に形成される光ス
ポットの径で抑えられる。近年、微小な光スポットの形
成を可能とする方式として、ソリッドイマージョンレン
ズ(SIL)を用いる方式が提案され(B.D.Terris,et
al.:Appl.Phys. Lett.65(1994)P.388.)、光
記録にも有望視されてきた。この方式は、屈折率の高い
透明媒体の表面に透明媒体内部から集光することによ
り、その集光スポットの径が透明媒体の屈折率に反比例
して微細化されることを利用して、微小スポットを得る
ものである。しかし、透明媒体の屈折率は、重フリント
ガラスを用いても2程度であり、集光スポットの径は、
大気中でのそれと比べてせいぜい1/2程度に縮小され
るのみである。
得る従来の光ヘッドとして、例えば、USP5,88
3,872号公報および特開平11−176007号公
報に示されるものがある。
ッド1は、レーザ2からの出力光を対物レンズ5により
SIL6の被集光面6bに集光し、SIL6の被集光面
6bに設けた金属からなる遮光体17の微小開口17a
から染み出す近接場光10を利用して、光ディスク8の
基板8b上に設けられた記録層8aに記録するものであ
る。この微小開口17aは、遮光体17をSIL6の被
集光面6bの表面全体に被着した後、収束イオンビーム
(Focused Ion Beam)法を用いてミリングすることによ
り形成される。開口17aのサイズは、集光スポット
径、従ってレーザの波長よりも十分小さいので、この開
口17aからは、伝播光は殆ど放出されず、被集光面6
bの開口17a表面には、近接場光10が漏れ出すのみ
となる。この近接場光10に光ディスク8の記録層8a
を浸すと、この近接場光10は伝播光となって記録層8
aに伝播し、記録が行われる。 近接場光10のサイズ
は、開口17aのサイズで決まるので、遮光体17に微
細加工を施すことにより、上記のSIL6のみの場合に
比べて数分の一以下といった微小なサイズの近接場光1
0が得られ、これを記録に使用することにより、記録密
度を上げることが可能となる。再生時には、記録時より
も弱く、記録層8aに影響を与えない程度の強度の近接
場光10を光ディスク8の記録層8aに照射し、得られ
た反射光を開口17aに通して再生光学系に戻し、ビー
ムスプリッタ14により入射レーザ光と分離した後、光
検出器15により検出し、信号再生を行う。
ドによると、記録密度は近接場光10のサイズで決まる
ため、記録密度を増大するためには、開口17aのサイ
ズを小さくする必要があるが、この場合、光ディスク1
0の記録層8aからの信号再生光を微小な開口17aを
通して検出しているため、信号再生光が再生光学系に導
かれる割合は著しく低下し、CNR(Carrier to Noise
Ratio)の十分高い再生を行えず、高転送レート化が図
れないという問題がある。また、再生光学系を介して信
号再生光を検出しているため、入射光と信号再生光を分
離するための分離光学系が必要となり、光ヘッドが大型
化するという問題がある。
高密度の光記録・再生を可能とする光ヘッドを提供する
ことにある。
成するため、入射されるレーザ光を被集光面に集光して
光スポットを形成する透明集光用媒体と、前記被集光面
の前記光スポットの形成位置の周囲に設けられた光検出
素子とを備えたことを特徴とする光ヘッドを提供する。
上記構成によれば、信号再生光を透明集光用媒体の被集
光面に設けられた光検出素子によって検出することによ
り、信号再生光の検出光量が増大し、入射光と信号再生
光を分離するための分離光学系が不要となる。透明集光
用媒体を高屈折率の材料から形成することにより、光ス
ポットを微小化でき、記録密度の向上が図れる。また、
上記光検出素子は、光スポットの形成位置に光スポット
の直径よりも小なる開口を有するものでもよい。これに
より、光スポットからの近接場光を微小化でき、記録密
度の向上がより図れる。
されるレーザ光を被集光面に集光して光スポットを形成
する透明集光用媒体と、前記被集光面に設けられ、前記
被集光面の前記光スポットの形成位置に前記光スポット
の直径よりも小なる開口を有する光検出素子と、前記開
口のほぼ中央に前記開口よりも小なるサイズの微小金属
体とを備えたことを特徴とする光ヘッドを提供する。上
記構成によれば、光検出素子および微小金属体の厚さを
透明集光用媒体中のレーザ光の波長の1/2程度あるい
はそれ以上の厚さとすることにより、開口から高強度の
伝播光が放射され、この伝播光によって記録がなされ
る。一方、微小金属体の厚さを光検出素子より薄くする
ことにより、微小金属体でプラズモンが励起され、高強
度の近接場光が得られる。この近接場光は、微小金属体
のサイズと同程度に微小化される。
されるレーザ光を被集光面に集光して光スポットを形成
する透明集光用媒体と、前記被集光面の前記光スポット
の形成位置の周囲に設けられた光検出素子と、前記光検
出素子の周囲に設けられた磁気コイルと、前記光検出素
子の記録媒体に対向する面とほぼ同一面上に検出部を有
する磁気抵抗センサとを備えたことを特徴とする光ヘッ
ドを提供する。上記構成によれば、磁気抵抗センサの検
出信号を記録信号の再生に用い、光検出素子の検出信号
を制御信号の形成に用いることが可能になる。この結
果、再生信号の強度を増すことができ、高速・高密度の
光アシスト磁気記録が可能となる。
態に係る光ヘッド1の主要部を示す。この光ヘッド1
は、レーザビーム2aを出射する半導体レーザ2と、半
導体レーザ2からのレーザビーム2aを平行ビーム2b
に整形するコリメータレンズ3と、コリメータレンズ3
からの平行ビーム2bを垂直方向に反射するミラー4
と、ミラー4で反射した平行ビーム2bを収束させる対
物レンズ5と、対物レンズ5により収束された光2cが
入射し、被集光面6bに光スポット9を形成する透明集
光用媒体6と、透明集光用媒体6の被集光面6bの表面
に、光スポット9よりも小さいサイズの微小開口7aを
有し、かつ、光ディスク8の基板8b上に設けられた記
録層8aからの反射光を検出する光検出素子7と、上記
半導体レーザ2、コリメータレンズ3、ミラー4、対物
レンズ5、透明集光用媒体6および光検出素子7を保持
して光ディスク8上を浮上走行する図示しない浮上スラ
イダとを有する。
0nm)を使用したが、青色発光レーザ(400nm)
のレーザを使用してもよく、それによってより微小な光
スポット9が形成でき、微小開口7aを照射するレーザ
光の割合を増すことができる。また、本実施の形態で
は、レーザ用半導体のヘキ開面を光共振器に使用し、活
性層に平行に発振する、所謂、端面発光型半導体レーザ
を使用したが、活性層に平行に形成した共振器により、
活性層の垂直方向に発振する、所謂、面発光型半導体レ
ーザを使用してもよい。端面発光型半導体レーザを使用
した場合、ビーム広がり角が大きいため、コリメータレ
ンズ3との距離を狭めることができ、光ヘッド1の小型
化が可能となる。また、面発光型レーザを使用した場合
は、出力ビームが円形であるため、コリメータレンズ3
でのけられを少なくして集光することができ、光利用効
率を上げることができる。
(屈折率=1.91)や硫化カドミウムCdS(屈折率
2.5),閃亜鉛鉱ZnS(屈折率2.37)等の結晶
性材料を用いることができ、また、屈折率は1より大き
れば上限はなく、さらに高い屈折率の材料を用いること
もできる。本実施の形態では、屈折率1.91の重フリ
ントガラスを用いた。結晶性材料を用いることにより、
光スポット径を重フリントガラスより2割以上縮小でき
る。また、透明集光用媒体6は、半球面状の入射面6a
に入射した対物レンズ5からの収束光2cを底面の被集
光面6bに形成された光検出素子7の開口部7aに集光
されるように半球状(SIL構造)を有している。
検出素子7は、Al系合金からなる陰電極7bと、ポリ
シリコンのp−i−n三層からなる光検出層7cと、I
TO膜からなる陽電極7dと、陰電極7bおよび陽電極
7dからそれぞれ延在して外部回路に接続されるリード
線7e,7fとを備え、中心付近に一辺約50nmの正
方形の微小開口7aを有する。陰電極7bおよび陽電極
7dの厚さは、それぞれ20〜30nm程度であり、光
検出層7cのポリシリコンのp、i、n層の厚さは、そ
れぞれ約10、50、10nmであり、光検出素子7全
体の厚さは、約120nmである。この光検出素子7
は、例えば、透明集光用媒体6の底面をエッチングして
テーパー状の凹部を形成した後、光検出素子7を構成す
るそれぞれの層7b,7c,7dをスパッタリングによ
り、形成することができる。光検出層7cは、アモルフ
ァスシリコンを被着した後、レーザアニ−リングを施す
ことにより形成する。なお、光検出素子7の形成には、
収束イオンビームを用いてもよい。これにより、フォト
リソグラフィ工程が不要にでき、プロセスが簡素化され
る。開口7aの側面は、陰電極7bで覆ってもよく、光
検出層7cのポリシリコンの層等と電極7b,7dで覆
ってもよい。また、光検出層7cの材質は、ポリシリコ
ンに限ることなく、単結晶シリコンやGaN系の材料を
使用することもできる。
ド1の動作を説明する。半導体レーザ2からレーザビー
ム2aを出射すると、そのレーザビー2aはコリメータ
レンズ3によって平行ビーム2bに整形され、ミラー4
で反射された後、対物レンズ5によって収束され、透明
集光用媒体6の入射面6aに入射する。入射面6aに入
射した収束光2cは被集光面6bに集光し、被集光面6
bに光スポット9が形成される。この光スポット9の被
集光面6bに形成された光検出素子7の微小開口7aか
ら近接場光10が染み出す。この近接場光10は、光デ
ィスク8の記録層8a中に伝播光となって入射し、この
光によって記録層8aへの記録がなされる。再生時に
は、記録層8aからの反射光の大部分が光検出素子7に
吸収されて、再生信号処理がなされる。
7aによって近接場光10を微小化しているので、記録
密度の向上が図れる。また、再生時には、開口7aから
染み出した近接場光10は、記録層8aで反射した後、
開口7a周囲の光検出素子7に入射・吸収されて、信号
処理がなされるので、大半の反射光が信号再生に供せら
れるため、高速・高記録密度で、かつ、誤り率の少ない
記録再生が可能になる。さらに、ビームスプリッタのよ
うな分離光学系が不要となるので、小型化が図れる。ま
た、光検出素子7の記録層8aに対向する面は、透明集
光用媒体6の被集光面6bとほぼ同一面をなすように構
成されているので、記録層8aとのギャップを小さくで
き、光利用効率を上げることができる。
光ヘッドの光検出素子を示す。この光検出素子7は、図
1に示す光検出素子7を一対の検出素子71,72を有す
る2分割型としたものであり、共通の陰電極7bと、一
対の光検出層と、一対の陽電極7d1,7d2と、陰電極
7bおよび陽電極7d1,7d2からそれぞれ延在して外
部回路に接続されるリード線7e,7f1,7f2とを備
え、中心付近に一辺約50nmの正方形の微小開口7a
を有する。
子7の分割方向を光ディスク8の記録トラックに平行な
方向とすることにより、記録トラックの左右からの信号
を別々の検出素子71,72で検出することができ、両者
の強度信号の差信号を形成することにより、トラック位
置誤差信号を形成できる。また、開口7aの形状は、矩
形としているので、記録トラック(図示せず)と記録マ
ークとの隙間が少なくなり、高密度化に好適となる。な
お、開口7aの形状は、長方形でもよく、円形や楕円形
としてもよい。円形や楕円形とすることにより、作製が
容易となる。
光ヘッドの光検出素子を示す。この光検出素子7は、開
口7aの中心に開口7aよりも小なるサイズの微小金属
体11を同軸的に設けたものであり、これにより、微小
開口7aはレーザ光に対して同軸ケーブルと同様にカッ
トオフを有しなくなり、開口7aから伝播光12が放射
され、この伝播光12によって記録がなされる。光検出
素子7および微小金属体11の厚さを共に約120nm
とすると、光検出素子7および微小金属体11の厚さ
が、透明集光用媒体6内でのレーザ光波長の1/2程度
となるため、レーザ光のモードが十分に伝播モードに変
換され、伝播光12の放射効率を大幅に上げることがで
きるので、記録・再生の高速化、再生時の誤差信号の低
減などが可能となる。なお、微小金属体11の形状は、
開口7aの形状と相似形であることが望ましく、それに
合わせて矩形、円形や楕円形等とする。
体11の程度の微小で、かつ、強力な伝播光12を形成
でき、記録層8a上に形成される伝播光12のスポット
の微小化と光利用効率の向上が図れる。また、再生時に
は、開口7aから染み出した伝播光12は、記録層8a
で反射した後、開口7a周囲の光検出素子7に入射・吸
収されて、信号処理がなされるため、大半の反射光が信
号再生に供せられるため、高速・高記録密度で、かつ、
誤り率の少ない記録再生が可能になる。さらに、光検出
素子7および微小金属体11の記録層8aに対向する面
は、透明集光用媒体6の被集光面6bとほぼ同一面をな
すように構成されているので、開口7aでのレーザ波長
が大気中に比べて短いため、開口7aを透過し易く、ま
た、記録層8aとのギャップを小さくでき、光利用効率
を上げることができる。なお、微小金属体11は、収束
イオンビーム法を用いて形成してもよく、これによりプ
ロセスを大幅に簡素化できる。
光ヘッドの光検出素子を示す。この光検出素子7は、開
口7aの中心に開口7aよりも小なるサイズの光検出素
子7よりも厚さの薄い微小金属体11を設けたものであ
る。透明集光用媒体6の被集光面6bに全反射するよう
にレーザ光を入射することにより、近接場光10を散乱
し、あるいは微小金属体11でプラズモンを励起させる
ことが可能となり、この方法によっても近接場光10の
強度を大幅に上げることが可能となる。また、この近接
場光10のサイズは、微小金属体11と同程度となるた
め、さらに微小な近接場光10が得られる。なお、微小
金属体11の形状は、開口7aの形状と相似形であるこ
とが望ましく、それに合わせて矩形、円形や楕円形等と
する。
体11の程度の微小で、かつ、強力な近接場光10を形
成でき、記録層8a上に形成される近接場光10のスポ
ットの微小化と光利用効率の向上が図れる。また、再生
時には、開口7aから染み出した近接場光10は、記録
層8aで反射した後、開口7a周囲の光検出素子7に入
射・吸収されて、信号処理がなされるため、大半の反射
光が信号再生に供せられるため、高速・高記録密度で、
かつ、誤り率の少ない記録再生が可能になる。さらに、
光検出素子7および微小金属体11の記録層8aに対向
する面は、透明集光用媒体6の被集光面6bとほぼ同一
面をなすように構成されているので、第3の実施の形態
と同様に、レーザ光が開口7a内に入り易く、記録層8
aとのギャップを小さくでき、光利用効率を上げること
ができる。なお、微小金属体11は、第3の実施の形態
と同様に、収束イオンビーム法を用いて形成してもよ
く、これによりプロセスを大幅に簡素化できる。
態に係る光ヘッドを示す。この光ヘッド1は、第1の実
施の形態において、透明集光用媒体6として半回転放物
面状のものを用い、ミラー4および対物レンズ5を省略
したものであり、他は第1の実施の形態に係る光ヘッド
と同様に構成されている。すなわち、この光ヘッド1
は、レーザビーム2aを出射する半導体レーザ2と、半
導体レーザ2からのレーザビーム2aを平行ビーム2b
に整形するコリメータレンズ3と、コリメータレンズ3
からの平行ビーム2bを集光し、被集光面6bに光スポ
ット9を形成する半回転放物面状の反射面6cを有する
透明集光用媒体6と、透明集光用媒体6の反射面6cの
表面に被着形成された反射膜13と、透明集光用媒体6
の被集光面6bの表面に被着形成された第1の実施の形
態と同様の光検出素子7とを有する。
よれば、第1の実施の形態に比べて集光系の開口数を1
割以上大きくでき、開口7aから滲み出す近接場10の
光量すなわち光利用効率は第1の実施の形態に比べて約
20%程度増加することができる。また、対物レンズや
折り返しミラーが不要なため、光ヘッドの高さを磁気ヘ
ッドと同程度まで低くすることができる。さらに、半回
転放物面を用いて透明集光用媒体6の内部で集光してい
るので、原理的に無収差の集光が可能となる(光学:久
保田広、岩波書店、P.283)。また、本実施の形態
の光学系は、いわゆる無限系、すなわちコリメータレン
ズ3と透明集光用媒体6の入射面6aとの間のレーザビ
ーム2bは平行となっているため、温度変動に対する焦
点位置ずれが小さい。なお、反射面6cは、半回転楕円
面状であってもよい。
れずに種々に変形実施可能である。例えば、この光ヘッ
ド1に、光検出素子7の周囲に磁気コイルを設け、光検
出素子7の記録層8aに対向する面とほぼ同一面上に検
出部を有するGMRセンサ(図示せず)を搭載して、再
生信号はこのGMRセンサで行ってもよい。この場合、
光検出素子7は、制御信号の形成のみに使用すればよい
ので、信号強度を増すことができ、高精細・高速のトラ
ッキング制御が可能となる。これによって磁気記録層
(図示せず)の高速・高密度の光アシスト磁気記録が可
能となる。また、陽電極7dと光ディスク8の記録層8
aの間に静電圧を印加し、その間の静電容量を検出する
ことにより、両者の距離を測定することも可能である。
光ヘッド1走査用のスイングアーム(図示せず)に光ヘ
ッド1に上下方向に圧力を印加するように圧電素子を設
け、その測定結果をその圧電素子にフィードバックする
ことにより、両者の距離を調節することが可能となる。
これにより、微小開口7aと記録層8aの距離が精密に
調整でき、より安定した記録・再生が可能となる。ま
た、対物レンズ5の代わりに透過型ホログラムや分布屈
折率型集光媒体(図示せず)を使用してもよい。この場
合には、ホログラムや分布屈折率型集光媒体と透明集光
用媒体とは一体化でき、光ヘッド1の高さを下げること
ができる。ホログラムや分布屈折率型集光媒体の場合に
は、色収差を有し、光スポット9の径がレーザの波長に
より変動する。しかし、近接場光10のサイズは開口7
aで決るため、開口7aとの併用により、直径の変動が
記録特性に影響を与えるのを防ぐことができる。また、
記録層8aで反射した反射光を光検出素子7で検出する
とともに、開口7aを通った反射光を分離光学系を介し
て検出してもよい。これにより、反射光の光利用効率を
さらに上げることができる。
によれば、透明集光用媒体によって集光された光スポッ
トからの光を用いて記録を行い、分離光学系を用いるこ
となく再生信号光を検出できるので、微小開口を通して
再生光学系に導く従来の方式に比べて数十倍光利用効率
を上げることができ、小型で、高速・高密度の光記録・
再生が可能となる。
ッドの主要部を示す図、(b)は光検出素子の断面図、
(c)は光検出素子の底面図
検出素子を示す底面図
検出素子を示す断面図である。
検出素子を示す断面図である。
ッドの主要部を示す図、(b)はその底面図
Claims (12)
- 【請求項1】入射されるレーザ光を被集光面に集光して
光スポットを形成する透明集光用媒体と、 前記被集光面の前記光スポットの形成位置の周囲に設け
られた光検出素子とを備えたことを特徴とする光ヘッ
ド。 - 【請求項2】前記光検出素子は、前記光スポットの形成
位置に前記光スポットの直径よりも小なる開口を有する
構成の請求項1記載の光ヘッド。 - 【請求項3】前記開口は、矩形状を有する構成の請求項
1記載の光ヘッド。 - 【請求項4】前記光検出素子は、前記被集光面に形成さ
れた凹部に設けられた構成の請求項1記載の光ヘッド。 - 【請求項5】前記光検出素子は、記録媒体の記録トラッ
クに平行な方向に2分割された構成の請求項1記載の光
ヘッド。 - 【請求項6】前記透明集光用媒体は、前記レーザ光が入
射する半球状の入射面を有する構成の請求項1記載の光
ヘッド。 - 【請求項7】前記透明集光用媒体は、入射される前記レ
ーザ光を反射するとともに、前記被集光面に集光して前
記光スポットを形成する半回転放物面状あるいは半回転
楕円面状の反射面を備えた構成の請求項1記載の光ヘッ
ド。 - 【請求項8】入射されるレーザ光を被集光面に集光して
光スポットを形成する透明集光用媒体と、 前記被集光面に設けられ、前記被集光面の前記光スポッ
トの形成位置に前記光スポットの直径よりも小なる開口
を有する光検出素子と、 前記開口のほぼ中央に前記開口よりも小なるサイズの微
小金属体とを備えたことを特徴とする光ヘッド。 - 【請求項9】前記光検出素子は、前記被集光面に形成さ
れた凹部に設けられ、 前記光検出素子および前記微小金属体の記録媒体に対向
する面は、前記透明集光用媒体の前記被集光面とほぼ同
一面をなすように構成された請求項8記載の光ヘッド。 - 【請求項10】前記光検出素子および前記微小金属体
は、前記透明集光用媒体中の前記レーザ光の波長の1/
2程度あるいはそれ以上の厚さを有する構成の請求項8
記載の光ヘッド。 - 【請求項11】前記開口は、円形、矩形、楕円形等の形
状を有し、 前記微小金属体は、前記開口の形状に対応した円形、矩
形、楕円形等の外形を有する構成の請求項8記載の光ヘ
ッド。 - 【請求項12】入射されるレーザ光を被集光面に集光し
て光スポットを形成する透明集光用媒体と、 前記被集光面の前記光スポットの形成位置の周囲に設け
られた光検出素子と、 前記光検出素子の周囲に設けられた磁気コイルと、 前記光検出素子の記録媒体に対向する面とほぼ同一面上
に検出部を有する磁気抵抗センサとを備えたことを特徴
とする光ヘッド。
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Cited By (4)
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