JP2001290038A - アレイ導波路型回折格子 - Google Patents
アレイ導波路型回折格子Info
- Publication number
- JP2001290038A JP2001290038A JP2000219205A JP2000219205A JP2001290038A JP 2001290038 A JP2001290038 A JP 2001290038A JP 2000219205 A JP2000219205 A JP 2000219205A JP 2000219205 A JP2000219205 A JP 2000219205A JP 2001290038 A JP2001290038 A JP 2001290038A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- diffraction grating
- slab waveguide
- type diffraction
- separated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/12007—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer
- G02B6/12009—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides
- G02B6/12014—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides characterised by the wavefront splitting or combining section, e.g. grooves or optical elements in a slab waveguide
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/12007—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer
- G02B6/12009—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides
- G02B6/12026—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides characterised by means for reducing the temperature dependence
- G02B6/1203—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides characterised by means for reducing the temperature dependence using mounting means, e.g. by using a combination of materials having different thermal expansion coefficients
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Communication System (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光透過中心波長が使用環境温度に依存しない
アレイ導波路型回折格子を提供する。 【解決手段】 光入力導波路２と、第１のスラブ導波路
３と、互いに異なる長さの複数の並設したアレイ導波路
４と、第２のスラブ導波路５と、複数の並設した光出力
導波路６とを順に接続してなる導波路形成部１０を基板
１上に形成する。第１のスラブ導波路３を通る光の経路
と交わる分離面８で第１のスラブ導波路３を分離し、分
離スラブ導波路３ｂ側の導波路形成部１０ｂはベース９
に固定し、分離スラブ導波路３ａ側は高熱膨張係数部材
７を介してベース９にスライド移動自在に固定する。使
用環境温度変化に応じて高熱膨張係数部材７がベース９
よりも大きく膨張収縮することにより、分離スラブ導波
路３ａ側を前記分離面８に沿って矢印Ａ，Ｂ方向に温度
に依存してスライド移動させ、アレイ導波路型回折格子
の各光透過中心波長の温度依存変動を低減する。
アレイ導波路型回折格子を提供する。 【解決手段】 光入力導波路２と、第１のスラブ導波路
３と、互いに異なる長さの複数の並設したアレイ導波路
４と、第２のスラブ導波路５と、複数の並設した光出力
導波路６とを順に接続してなる導波路形成部１０を基板
１上に形成する。第１のスラブ導波路３を通る光の経路
と交わる分離面８で第１のスラブ導波路３を分離し、分
離スラブ導波路３ｂ側の導波路形成部１０ｂはベース９
に固定し、分離スラブ導波路３ａ側は高熱膨張係数部材
７を介してベース９にスライド移動自在に固定する。使
用環境温度変化に応じて高熱膨張係数部材７がベース９
よりも大きく膨張収縮することにより、分離スラブ導波
路３ａ側を前記分離面８に沿って矢印Ａ，Ｂ方向に温度
に依存してスライド移動させ、アレイ導波路型回折格子
の各光透過中心波長の温度依存変動を低減する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば波長多重光
通信において光合分波器として用いられるアレイ導波路
型回折格子に関するものである。
通信において光合分波器として用いられるアレイ導波路
型回折格子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、光通信においては、その伝送容量
を飛躍的に増加させる方法として、光波長多重通信の研
究開発が盛んに行なわれ、実用化が進みつつある。光波
長多重通信は、例えば互いに異なる波長を有する複数の
光を多重して伝送させるものであり、このような光波長
多重通信のシステムにおいては、伝送される多重光か
ら、光受信側で波長ごとの光を取り出すために、予め定
められた波長の光のみを透過する光透過デバイス等を、
システム内に設けることが不可欠である。
を飛躍的に増加させる方法として、光波長多重通信の研
究開発が盛んに行なわれ、実用化が進みつつある。光波
長多重通信は、例えば互いに異なる波長を有する複数の
光を多重して伝送させるものであり、このような光波長
多重通信のシステムにおいては、伝送される多重光か
ら、光受信側で波長ごとの光を取り出すために、予め定
められた波長の光のみを透過する光透過デバイス等を、
システム内に設けることが不可欠である。
【０００３】光透過デバイスの一例として、図４に示す
ような平板光導波路回路（ＰＬＣ；Ｐｌａｎａｒ Ｌｉ
ｇｈｔｗａｖｅ Ｃｉｒｃｕｉｔ）のアレイ導波路型回
折格子（ＡＷＧ；Ａｒｒａｙｅｄ Ｗａｖｅｇｕｉｄｅ
Ｇｒａｔｉｎｇ）がある。アレイ導波路型回折格子
は、シリコンなどの基板１上に、同図に示すような導波
路構成を石英系ガラス等のコアにより形成したものであ
る。
ような平板光導波路回路（ＰＬＣ；Ｐｌａｎａｒ Ｌｉ
ｇｈｔｗａｖｅ Ｃｉｒｃｕｉｔ）のアレイ導波路型回
折格子（ＡＷＧ；Ａｒｒａｙｅｄ Ｗａｖｅｇｕｉｄｅ
Ｇｒａｔｉｎｇ）がある。アレイ導波路型回折格子
は、シリコンなどの基板１上に、同図に示すような導波
路構成を石英系ガラス等のコアにより形成したものであ
る。
【０００４】アレイ導波路型回折格子の導波路構成は、
１本以上の並設された光入力導波路２の出射側に、第１
のスラブ導波路３が接続され、第１のスラブ導波路３の
出射側には複数の並設されたアレイ導波路４が接続さ
れ、アレイ導波路４の出射側には第２のスラブ導波路５
が接続され、第２のスラブ導波路５の出射側には複数の
並設された光出力導波路６が接続されて形成されてい
る。
１本以上の並設された光入力導波路２の出射側に、第１
のスラブ導波路３が接続され、第１のスラブ導波路３の
出射側には複数の並設されたアレイ導波路４が接続さ
れ、アレイ導波路４の出射側には第２のスラブ導波路５
が接続され、第２のスラブ導波路５の出射側には複数の
並設された光出力導波路６が接続されて形成されてい
る。
【０００５】前記アレイ導波路４は、第１のスラブ導波
路３から導出された光を伝搬するものであり、互いに異
なる長さに形成され、隣り合うアレイ導波路４の長さは
互いにΔＬ異なっている。なお、光入力導波路２や光出
力導波路６は、例えばアレイ導波路型回折格子によって
分波あるいは合波される互いに異なる波長の信号光の数
に対応させて設けられるものであり、アレイ導波路４
は、通常、例えば１００本といったように多数設けられ
るが、同図においては、図の簡略化のために、これらの
光入力導波路２、アレイ導波路４、光出力導波路６の各
々の本数を簡略的に示してある。
路３から導出された光を伝搬するものであり、互いに異
なる長さに形成され、隣り合うアレイ導波路４の長さは
互いにΔＬ異なっている。なお、光入力導波路２や光出
力導波路６は、例えばアレイ導波路型回折格子によって
分波あるいは合波される互いに異なる波長の信号光の数
に対応させて設けられるものであり、アレイ導波路４
は、通常、例えば１００本といったように多数設けられ
るが、同図においては、図の簡略化のために、これらの
光入力導波路２、アレイ導波路４、光出力導波路６の各
々の本数を簡略的に示してある。
【０００６】光入力導波路２には、例えば送信側の光フ
ァイバ（図示せず）が接続されて、波長多重光が導入さ
れるようになっており、光入力導波路２を通って第１の
スラブ導波路３に導入された光は、その回折効果によっ
て広がって各アレイ導波路４に入射し、アレイ導波路４
を伝搬する。
ァイバ（図示せず）が接続されて、波長多重光が導入さ
れるようになっており、光入力導波路２を通って第１の
スラブ導波路３に導入された光は、その回折効果によっ
て広がって各アレイ導波路４に入射し、アレイ導波路４
を伝搬する。
【０００７】このアレイ導波路４を伝搬した光は、第２
のスラブ導波路５に達し、さらに、光出力導波路６に集
光されて出力されるが、全てのアレイ導波路４の長さが
互いに異なることから、アレイ導波路４を伝搬した後に
個々の光の位相にずれが生じ、このずれ量に応じて集束
光の波面が傾き、この傾き角度により集光する位置が決
まる。
のスラブ導波路５に達し、さらに、光出力導波路６に集
光されて出力されるが、全てのアレイ導波路４の長さが
互いに異なることから、アレイ導波路４を伝搬した後に
個々の光の位相にずれが生じ、このずれ量に応じて集束
光の波面が傾き、この傾き角度により集光する位置が決
まる。
【０００８】そのため、波長の異なった光の集光位置は
互いに異なることになり、その位置に光出力導波路６を
形成することによって、波長の異なった光（分波光）を
各波長ごとに異なる光出力導波路６から出力できる。
互いに異なることになり、その位置に光出力導波路６を
形成することによって、波長の異なった光（分波光）を
各波長ごとに異なる光出力導波路６から出力できる。
【０００９】すなわち、アレイ導波路型回折格子は、光
入力導波路２から入力される互いに異なる複数の波長を
もった多重光から１つ以上の波長の光を分波して各光出
力導波路６から出力する光分波機能を有しており、分波
される光の中心波長は、アレイ導波路４の長さの差（Δ
Ｌ）及び光導波路４の実効屈折率ｎｃに比例する。
入力導波路２から入力される互いに異なる複数の波長を
もった多重光から１つ以上の波長の光を分波して各光出
力導波路６から出力する光分波機能を有しており、分波
される光の中心波長は、アレイ導波路４の長さの差（Δ
Ｌ）及び光導波路４の実効屈折率ｎｃに比例する。
【００１０】アレイ導波路型回折格子は、上記のような
特性を有するために、アレイ導波路型回折格子を波長多
重伝送用の波長多重分波器として用いることができ、例
えば図４に示すように、１本の光入力導波路２から波長
λ１，λ２，λ３，・・・λｎ（ｎは２以上の整数）の
波長多重光を入力させると、これらの各波長の光は、第
１のスラブ導波路３で広げられ、アレイ導波路４に到達
し、第２のスラブ導波路５を通って、前記の如く、波長
によって異なる位置に集光され、互いに異なる光出力導
波路６に入射し、それぞれの光出力導波路６を通って、
光出力導波路６の出射端から出力される。
特性を有するために、アレイ導波路型回折格子を波長多
重伝送用の波長多重分波器として用いることができ、例
えば図４に示すように、１本の光入力導波路２から波長
λ１，λ２，λ３，・・・λｎ（ｎは２以上の整数）の
波長多重光を入力させると、これらの各波長の光は、第
１のスラブ導波路３で広げられ、アレイ導波路４に到達
し、第２のスラブ導波路５を通って、前記の如く、波長
によって異なる位置に集光され、互いに異なる光出力導
波路６に入射し、それぞれの光出力導波路６を通って、
光出力導波路６の出射端から出力される。
【００１１】そして、各光出力導波路６の出射端に光出
力用の光ファイバ（図示せず）を接続することにより、
この光ファイバを介して、前記各波長の光が取り出され
る。なお、各光出力導波路６や前述の光入力導波路２に
光ファイバを接続するときには、例えば光ファイバの接
続端面を１次元アレイ状に配列固定した光ファイバアレ
イを用意し、この光ファイバアレイを光出力導波路６や
光入力導波路２の接続端面側に固定して光ファイバと光
出力導波路６及び光入力導波路２を接続する。
力用の光ファイバ（図示せず）を接続することにより、
この光ファイバを介して、前記各波長の光が取り出され
る。なお、各光出力導波路６や前述の光入力導波路２に
光ファイバを接続するときには、例えば光ファイバの接
続端面を１次元アレイ状に配列固定した光ファイバアレ
イを用意し、この光ファイバアレイを光出力導波路６や
光入力導波路２の接続端面側に固定して光ファイバと光
出力導波路６及び光入力導波路２を接続する。
【００１２】上記アレイ導波路型回折格子において、各
光出力導波路６から出力される光の光透過特性（アレイ
導波路型回折格子の透過光強度の波長特性）は、例えば
図５に示すようになり、各光透過中心波長（例えばλ
１，λ２，λ３，・・・λｎ）を中心とし、それぞれの
対応する光透過中心波長から波長がずれるにしたがって
光透過率が小さくなる光透過特性を示す。なお、前記光
透過特性は、必ずしも１つの極大値を有するとは限ら
ず、２つ以上の極大値を有するものである場合もある。
光出力導波路６から出力される光の光透過特性（アレイ
導波路型回折格子の透過光強度の波長特性）は、例えば
図５に示すようになり、各光透過中心波長（例えばλ
１，λ２，λ３，・・・λｎ）を中心とし、それぞれの
対応する光透過中心波長から波長がずれるにしたがって
光透過率が小さくなる光透過特性を示す。なお、前記光
透過特性は、必ずしも１つの極大値を有するとは限ら
ず、２つ以上の極大値を有するものである場合もある。
【００１３】また、アレイ導波路型回折格子は、光の相
反性（可逆性）の原理を利用しているため、光分波器と
しての機能と共に、光合波器としての機能も有してい
る。すなわち、図４とは逆に、互いに異なる複数の波長
の光をそれぞれの波長ごとにそれぞれの光出力導波路６
から入射させると、これらの光は、上記と逆の伝搬経路
を通り、アレイ導波路４によって合波され、１本の光入
力導波路２から出射される。
反性（可逆性）の原理を利用しているため、光分波器と
しての機能と共に、光合波器としての機能も有してい
る。すなわち、図４とは逆に、互いに異なる複数の波長
の光をそれぞれの波長ごとにそれぞれの光出力導波路６
から入射させると、これらの光は、上記と逆の伝搬経路
を通り、アレイ導波路４によって合波され、１本の光入
力導波路２から出射される。
【００１４】このようなアレイ導波路型回折格子におい
ては、前記の如く、回折格子の波長分解能が回折格子を
構成するアレイ導波路４の長さの差（ΔＬ）に比例する
ために、ΔＬを大きく設計することにより、従来の回折
格子では実現できなかった波長間隔の狭い波長多重光の
光合分波が可能となり、高密度の光波長多重通信の実現
に必要とされている、複数の信号光の光合分波機能、す
なわち、波長間隔が１ｎｍ以下の複数の光信号を分波ま
たは合波する機能を果たすことができる。
ては、前記の如く、回折格子の波長分解能が回折格子を
構成するアレイ導波路４の長さの差（ΔＬ）に比例する
ために、ΔＬを大きく設計することにより、従来の回折
格子では実現できなかった波長間隔の狭い波長多重光の
光合分波が可能となり、高密度の光波長多重通信の実現
に必要とされている、複数の信号光の光合分波機能、す
なわち、波長間隔が１ｎｍ以下の複数の光信号を分波ま
たは合波する機能を果たすことができる。
【００１５】上記のようなアレイ導波路型回折格子を作
製するときには、例えば、まず、火炎加水分解堆積法を
用いて、シリコン基板上にアンダークラッド膜、コア膜
を順に形成し、その後、焼結しガラス化する。その後、
アレイ導波路回折格子の導波路構成が描かれたフォトマ
スクを介してフォトリソグラフィーを行い、反応性イオ
ンエッチング法を用いて、コア膜にアレイ導波路回折格
子パターンを転写する。その後、再度、火炎加水分解堆
積法を用いてオーバークラッド膜を形成することによ
り、アレイ導波路回折格子が作製される。
製するときには、例えば、まず、火炎加水分解堆積法を
用いて、シリコン基板上にアンダークラッド膜、コア膜
を順に形成し、その後、焼結しガラス化する。その後、
アレイ導波路回折格子の導波路構成が描かれたフォトマ
スクを介してフォトリソグラフィーを行い、反応性イオ
ンエッチング法を用いて、コア膜にアレイ導波路回折格
子パターンを転写する。その後、再度、火炎加水分解堆
積法を用いてオーバークラッド膜を形成することによ
り、アレイ導波路回折格子が作製される。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のアレ
イ導波路型回折格子は、元来、石英系ガラス材料を主と
するために、この石英系ガラス材料の温度依存性に起因
してアレイ導波路型回折格子の前記光透過中心波長が温
度に依存してシフトする。この温度依存性は、１つの光
出力導波路６からそれぞれ出力される光の透過中心波長
をλ、前記アレイ導波路４を形成するコアの等価屈折率
をｎc、基板（例えばシリコン基板）１の熱膨張係数を
αs、アレイ導波路型回折格子の温度変化量をＴとした
ときに、（数１）により示されるものである。
イ導波路型回折格子は、元来、石英系ガラス材料を主と
するために、この石英系ガラス材料の温度依存性に起因
してアレイ導波路型回折格子の前記光透過中心波長が温
度に依存してシフトする。この温度依存性は、１つの光
出力導波路６からそれぞれ出力される光の透過中心波長
をλ、前記アレイ導波路４を形成するコアの等価屈折率
をｎc、基板（例えばシリコン基板）１の熱膨張係数を
αs、アレイ導波路型回折格子の温度変化量をＴとした
ときに、（数１）により示されるものである。
【００１７】
【数１】
【００１８】ここで、従来の一般的なアレイ導波路型回
折格子において、（数１）から前記光透過中心波長の温
度依存性を求めてみる。従来の一般的なアレイ導波路型
回折格子においては、ｄｎｃ／ｄＴ＝１×１０−５（℃
−１）、αｓ＝３．０×１０ −６（℃−１）、ｎｃ＝
１．４５１（波長１．５５μｍにおける値）であるか
ら、これらの値を（数１）に代入する。
折格子において、（数１）から前記光透過中心波長の温
度依存性を求めてみる。従来の一般的なアレイ導波路型
回折格子においては、ｄｎｃ／ｄＴ＝１×１０−５（℃
−１）、αｓ＝３．０×１０ −６（℃−１）、ｎｃ＝
１．４５１（波長１．５５μｍにおける値）であるか
ら、これらの値を（数１）に代入する。
【００１９】また、波長λは、各光出力導波路６につい
てそれぞれ異なるが、各波長λの温度依存性は等しい。
そして、現在用いられているアレイ導波路型回折格子
は、波長１５５０ｎｍを中心とする波長帯の波長多重光
を分波したり合波したりするために用いられることが多
いので、ここでは、λ＝１５５０ｎｍを（数１）に代入
する。そうすると、従来の一般的なアレイ導波路型回折
格子の前記光透過中心波長の温度依存性は、（数２）に
示す値となる。
てそれぞれ異なるが、各波長λの温度依存性は等しい。
そして、現在用いられているアレイ導波路型回折格子
は、波長１５５０ｎｍを中心とする波長帯の波長多重光
を分波したり合波したりするために用いられることが多
いので、ここでは、λ＝１５５０ｎｍを（数１）に代入
する。そうすると、従来の一般的なアレイ導波路型回折
格子の前記光透過中心波長の温度依存性は、（数２）に
示す値となる。
【００２０】
【数２】
【００２１】なお、ｄλ／ｄＴの単位は、ｎｍ／℃であ
る。例えばアレイ導波路型回折格子の使用環境温度が２
０℃変化したとすると、各光出力導波路６から出力され
る光透過中心波長は０．３０ｎｍにシフトするものであ
り、前記使用環境温度変化が７０℃以上になると、前記
光透過中心波長のシフト量が１ｎｍ以上になってしま
う。
る。例えばアレイ導波路型回折格子の使用環境温度が２
０℃変化したとすると、各光出力導波路６から出力され
る光透過中心波長は０．３０ｎｍにシフトするものであ
り、前記使用環境温度変化が７０℃以上になると、前記
光透過中心波長のシフト量が１ｎｍ以上になってしま
う。
【００２２】アレイ導波路型回折格子は１ｎｍ以下の非
常に狭い間隔で波長を分波または合波できることが特徴
であり、この特長を生かして波長多重光通信用に適用さ
れるものであるため、上記のように、使用環境温度変化
によって光透過中心波長が上記シフト量だけ変化するこ
とは致命的である。
常に狭い間隔で波長を分波または合波できることが特徴
であり、この特長を生かして波長多重光通信用に適用さ
れるものであるため、上記のように、使用環境温度変化
によって光透過中心波長が上記シフト量だけ変化するこ
とは致命的である。
【００２３】そこで、従来から温度により光透過中心波
長が変化しないように、アレイ導波路型回折格子の温度
を一定に保つための温度調節手段を設けたアレイ導波路
型回折格子が提案されている。この温度調節手段は、例
えば、ペルチェ素子やヒータなどを設けて構成されるも
のであり、いずれも、アレイ導波路型回折格子を予め定
めた設定温度（室温以上）に保つ制御を行なうものであ
る。
長が変化しないように、アレイ導波路型回折格子の温度
を一定に保つための温度調節手段を設けたアレイ導波路
型回折格子が提案されている。この温度調節手段は、例
えば、ペルチェ素子やヒータなどを設けて構成されるも
のであり、いずれも、アレイ導波路型回折格子を予め定
めた設定温度（室温以上）に保つ制御を行なうものであ
る。
【００２４】図４に示したアレイ導波路型回折格子にお
いては、ペルチェ素子３０がアレイ導波路型回折格子の
基板１側に設けられており、サーミスタ３１の検出温度
に基づいてアレイ導波路型回折格子の温度を一定に保つ
ように調節する。また、ペルチェ素子の代わりにヒータ
を設けた構成のものは、ヒータで高温保持し、アレイ導
波路型回折格子の温度を一定に保つようにしている。
いては、ペルチェ素子３０がアレイ導波路型回折格子の
基板１側に設けられており、サーミスタ３１の検出温度
に基づいてアレイ導波路型回折格子の温度を一定に保つ
ように調節する。また、ペルチェ素子の代わりにヒータ
を設けた構成のものは、ヒータで高温保持し、アレイ導
波路型回折格子の温度を一定に保つようにしている。
【００２５】このように、アレイ導波路型回折格子の温
度を一定に保つと、温度に起因して基板１の膨張収縮や
前記コアの等価屈折率変化などが生じないため、上記光
透過中心波長の温度依存性の問題を解消することができ
る。
度を一定に保つと、温度に起因して基板１の膨張収縮や
前記コアの等価屈折率変化などが生じないため、上記光
透過中心波長の温度依存性の問題を解消することができ
る。
【００２６】しかしながら、ペルチェ素子やヒータのよ
うな温度調節手段を用いてアレイ導波路型回折格子の温
度を一定に保つものは、温度調節のために、ペルチェ素
子やヒータに例えば１Ｗといった通電を常時行なわなけ
ればならず、コストがかかるといった問題があった。
うな温度調節手段を用いてアレイ導波路型回折格子の温
度を一定に保つものは、温度調節のために、ペルチェ素
子やヒータに例えば１Ｗといった通電を常時行なわなけ
ればならず、コストがかかるといった問題があった。
【００２７】また、ペルチェ素子やヒータのような電気
部品を使用するためには、当然、コントローラーや制御
用サーミスター、熱電対等が必要となり、これらの部品
の組立ずれ等に起因して、光透過中心波長シフトを正確
に抑制できないことがあった。
部品を使用するためには、当然、コントローラーや制御
用サーミスター、熱電対等が必要となり、これらの部品
の組立ずれ等に起因して、光透過中心波長シフトを正確
に抑制できないことがあった。
【００２８】さらに、アレイ導波路型回折格子と光ファ
イバアレイとの接続は、一般に接着剤を用いて行なわれ
ており、ペルチェ素子やヒータによってアレイ導波路型
回折格子の温度を室温以上の温度に制御すると、アレイ
導波路回折格子と光ファイバーの接続面に介設された接
着剤が室温以上の温度によって例えば膨張したり、軟化
したりする。したがって、ペルチェ素子などを用いてア
レイ導波路型回折格子の温度を一定に保つ構成とした場
合に、前記接着剤の膨張や軟化によって、アレイ導波路
型回折格子の光入力導波路２や光出力導波路６と光ファ
イバとの接続損失が増加し、アレイ導波路型回折格子と
光ファイバとの接続の信頼性を損ねるといった問題があ
った。
イバアレイとの接続は、一般に接着剤を用いて行なわれ
ており、ペルチェ素子やヒータによってアレイ導波路型
回折格子の温度を室温以上の温度に制御すると、アレイ
導波路回折格子と光ファイバーの接続面に介設された接
着剤が室温以上の温度によって例えば膨張したり、軟化
したりする。したがって、ペルチェ素子などを用いてア
レイ導波路型回折格子の温度を一定に保つ構成とした場
合に、前記接着剤の膨張や軟化によって、アレイ導波路
型回折格子の光入力導波路２や光出力導波路６と光ファ
イバとの接続損失が増加し、アレイ導波路型回折格子と
光ファイバとの接続の信頼性を損ねるといった問題があ
った。
【００２９】なお、このような従来のアレイ導波路型回
折格子は、その製造時に非常に精密さが要求されること
から、前記使用時の光透過中心波長の温度依存性とは別
に、製造時の誤差（製造ばらつき等）により光透過中心
波長が設計波長からずれてしまうといった問題があり、
これを解決するための方法が提案されている。
折格子は、その製造時に非常に精密さが要求されること
から、前記使用時の光透過中心波長の温度依存性とは別
に、製造時の誤差（製造ばらつき等）により光透過中心
波長が設計波長からずれてしまうといった問題があり、
これを解決するための方法が提案されている。
【００３０】この提案は、特開平１１―２１８６３９号
公報の「整相アレイデバイスすなわちフェーザならびに
このようなデバイスの製造方法」（優先権主張番号（優
先権主張番号：９７ １３４４０、優先日：１９９７年
１０月２７日、優先権主張国：フランス（ＦＲ））に記
載されているものである。この提案において、整相アレ
イデバイス（アレイ導波路型回折格子と同一）は、以下
に述べる第１ピースと第２ピースを有して組み立てられ
ている。
公報の「整相アレイデバイスすなわちフェーザならびに
このようなデバイスの製造方法」（優先権主張番号（優
先権主張番号：９７ １３４４０、優先日：１９９７年
１０月２７日、優先権主張国：フランス（ＦＲ））に記
載されているものである。この提案において、整相アレ
イデバイス（アレイ導波路型回折格子と同一）は、以下
に述べる第１ピースと第２ピースを有して組み立てられ
ている。
【００３１】上記第１ピースは、例えば第１のスラブ導
波路のうちの一部分と入力導波路とを備え、上記第２ピ
ースは、例えば第１のスラブ導波路のうちの他の部分と
デバイスの他の構成要件とを備えており、第１ピースお
よび第２ピースは、完成品のデバイスを形成するように
形成されている。また、第１ピースおよび第２ピースの
相対位置の調整により、デバイスの波長を調整し得るよ
うにして、整相アレイデバイス（アレイ導波路型回折格
子と同一）が組み立てられている。
波路のうちの一部分と入力導波路とを備え、上記第２ピ
ースは、例えば第１のスラブ導波路のうちの他の部分と
デバイスの他の構成要件とを備えており、第１ピースお
よび第２ピースは、完成品のデバイスを形成するように
形成されている。また、第１ピースおよび第２ピースの
相対位置の調整により、デバイスの波長を調整し得るよ
うにして、整相アレイデバイス（アレイ導波路型回折格
子と同一）が組み立てられている。
【００３２】しかしながら、この提案の整相アレイデバ
イスの波長調整は、整相アレイデバイスの製造ばらつき
等による透過中心波長の初期ずれに対して波長調整を行
うもので、複数ピースが調整され終わった後に、複数の
各ピースを支持体に接着剤等により接着固定するもので
ある。そして、この提案には、前述のような従来のアレ
イ導波路型回折格子の欠点である温度依存性を解消する
ことについては何等解決されていない。
イスの波長調整は、整相アレイデバイスの製造ばらつき
等による透過中心波長の初期ずれに対して波長調整を行
うもので、複数ピースが調整され終わった後に、複数の
各ピースを支持体に接着剤等により接着固定するもので
ある。そして、この提案には、前述のような従来のアレ
イ導波路型回折格子の欠点である温度依存性を解消する
ことについては何等解決されていない。
【００３３】すなわち、この提案においては、前記整相
アレイデバイスの透過中心波長の初期ずれに対する波長
調整後に、温度に依存した透過中心波長のズレを各ピー
スの移動調整により補償するといったことは全く想定し
ていないために、この温度に依存した透過中心波長のズ
レを抑制するための技術の記載は全くなく、前記初期ず
れに対する波長調整後に各ピースの位置を調整可能に固
定するとの記載すらない。したがって、この提案を用い
てアレイ導波路型回折格子の温度に依存する透過中心波
長のズレの問題を解決することはできない。
アレイデバイスの透過中心波長の初期ずれに対する波長
調整後に、温度に依存した透過中心波長のズレを各ピー
スの移動調整により補償するといったことは全く想定し
ていないために、この温度に依存した透過中心波長のズ
レを抑制するための技術の記載は全くなく、前記初期ず
れに対する波長調整後に各ピースの位置を調整可能に固
定するとの記載すらない。したがって、この提案を用い
てアレイ導波路型回折格子の温度に依存する透過中心波
長のズレの問題を解決することはできない。
【００３４】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、その目的は、光透過中心波長の温度依
存性を正確に抑制することができる安価なアレイ導波路
型回折格子を提供することにある。つまり、本発明の目
的は、光透過中心波長の温度依存性を解消することがで
き、また、それとは逆にその温度依存性を助長または加
速することもできるアレイ導波路型回折格子を提供する
ことにあり、本発明は、その技術課題とそれを解決する
手段を前記特開平１１−２１８６３９に記載の整相アレ
イデバイスとは全く異にする別思想のものである。
れたものであり、その目的は、光透過中心波長の温度依
存性を正確に抑制することができる安価なアレイ導波路
型回折格子を提供することにある。つまり、本発明の目
的は、光透過中心波長の温度依存性を解消することがで
き、また、それとは逆にその温度依存性を助長または加
速することもできるアレイ導波路型回折格子を提供する
ことにあり、本発明は、その技術課題とそれを解決する
手段を前記特開平１１−２１８６３９に記載の整相アレ
イデバイスとは全く異にする別思想のものである。
【００３５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は次のような構成をもって課題を解決するた
めの手段としている。すなわち、本第１の発明は、１本
以上の並設された光入力導波路の出射側に第１のスラブ
導波路が接続され、該第１のスラブ導波路の出射側には
該第１のスラブ導波路から導出された光を伝搬する互い
に異なる長さの複数の並設されたアレイ導波路が接続さ
れ、該複数のアレイ導波路の出射側には第２のスラブ導
波路が接続され、該第２のスラブ導波路の出射側には複
数の並設された光出力導波路が接続されて成る導波路構
成を有するアレイ導波路回折格子において、前記第１の
スラブ導波路と第２のスラブ導波路の少なくとも一方が
スラブ導波路を通る光の経路と交わる面で分離されてお
り、この分離された分離スラブ導波路の少なくとも一方
側を前記分離面に沿って温度に依存してスライド移動さ
せることにより課題を解決する手段としている。
に、本発明は次のような構成をもって課題を解決するた
めの手段としている。すなわち、本第１の発明は、１本
以上の並設された光入力導波路の出射側に第１のスラブ
導波路が接続され、該第１のスラブ導波路の出射側には
該第１のスラブ導波路から導出された光を伝搬する互い
に異なる長さの複数の並設されたアレイ導波路が接続さ
れ、該複数のアレイ導波路の出射側には第２のスラブ導
波路が接続され、該第２のスラブ導波路の出射側には複
数の並設された光出力導波路が接続されて成る導波路構
成を有するアレイ導波路回折格子において、前記第１の
スラブ導波路と第２のスラブ導波路の少なくとも一方が
スラブ導波路を通る光の経路と交わる面で分離されてお
り、この分離された分離スラブ導波路の少なくとも一方
側を前記分離面に沿って温度に依存してスライド移動さ
せることにより課題を解決する手段としている。
【００３６】また、本第２の発明は、上記本第１の発明
の構成に加え、前記分離スラブ導波路の少なくとも一方
側を分離面に沿って移動させるスライド移動機構が設け
られて該スライド移動機構が光透過中心波長をシフトさ
せる機構と成しており、該スライド移動機構は各光透過
中心波長の温度依存変動を低減する方向に分離スラブ導
波路をスライド移動させる構成をもって課題を解決する
手段としている。
の構成に加え、前記分離スラブ導波路の少なくとも一方
側を分離面に沿って移動させるスライド移動機構が設け
られて該スライド移動機構が光透過中心波長をシフトさ
せる機構と成しており、該スライド移動機構は各光透過
中心波長の温度依存変動を低減する方向に分離スラブ導
波路をスライド移動させる構成をもって課題を解決する
手段としている。
【００３７】さらに、本第３の発明は、上記第１の発明
の構成に加え、分離スラブ導波路の少なくとも一方側を
分離面に沿って移動させるスライド移動機構が設けられ
て該スライド移動機構が光透過中心波長をシフトさせる
機構と成しており、該スライド移動機構は各光透過中心
波長の温度依存変動を増大する方向に分離スラブ導波路
をスライド移動させる構成をもって課題を解決する手段
としている。
の構成に加え、分離スラブ導波路の少なくとも一方側を
分離面に沿って移動させるスライド移動機構が設けられ
て該スライド移動機構が光透過中心波長をシフトさせる
機構と成しており、該スライド移動機構は各光透過中心
波長の温度依存変動を増大する方向に分離スラブ導波路
をスライド移動させる構成をもって課題を解決する手段
としている。
【００３８】さらに、本第４の発明は、上記第２の発明
の構成に加え、スライド移動機構は、光透過中心波長の
シフトに応じた分離スラブ導波路移動量に対応する熱膨
張係数による伸縮が生じる物質を有している構成をもっ
て課題を解決する手段としている。
の構成に加え、スライド移動機構は、光透過中心波長の
シフトに応じた分離スラブ導波路移動量に対応する熱膨
張係数による伸縮が生じる物質を有している構成をもっ
て課題を解決する手段としている。
【００３９】さらに、本第５の発明は、上記第２又は第
３の発明の構成に加え、前記スライド移動機構は、分離
スラブ導波路を移動させる機械的移動手段と電気的移動
手段の少なくとも一方の移動手段を有している構成をも
って課題を解決する手段としている。
３の発明の構成に加え、前記スライド移動機構は、分離
スラブ導波路を移動させる機械的移動手段と電気的移動
手段の少なくとも一方の移動手段を有している構成をも
って課題を解決する手段としている。
【００４０】本発明者は、アレイ導波路型回折格子の温
度依存性を抑制するために、アレイ導波路型回折格子の
線分散特性に着目した。アレイ導波路型回折格子におい
て光入力導波路から入射された光は、第１のスラブ導波
路（入力側スラブ導波路）で回折し、アレイ導波路を励
振する。なお、前記の如く、隣接するアレイ導波路の長
さは互いにΔＬずつ異なっている。そこで、アレイ導波
路を伝搬した光は、（数３）を満たし、第２のスラブ導
波路（出力側スラブ導波路）の出力端に集光される。
度依存性を抑制するために、アレイ導波路型回折格子の
線分散特性に着目した。アレイ導波路型回折格子におい
て光入力導波路から入射された光は、第１のスラブ導波
路（入力側スラブ導波路）で回折し、アレイ導波路を励
振する。なお、前記の如く、隣接するアレイ導波路の長
さは互いにΔＬずつ異なっている。そこで、アレイ導波
路を伝搬した光は、（数３）を満たし、第２のスラブ導
波路（出力側スラブ導波路）の出力端に集光される。
【００４１】
【数３】
【００４２】（数３）において、ｎsは第１のスラブ導
波路および第２のスラブ導波路の等価屈折率、ｎcはア
レイ導波路の等価屈折率、φは回折角、ｍは回折次数、
ｄは隣り合うアレイ導波路同士の間隔であり、λは、前
記の如く、各光出力導波路から出力される光の透過中心
波長である。
波路および第２のスラブ導波路の等価屈折率、ｎcはア
レイ導波路の等価屈折率、φは回折角、ｍは回折次数、
ｄは隣り合うアレイ導波路同士の間隔であり、λは、前
記の如く、各光出力導波路から出力される光の透過中心
波長である。
【００４３】ここで、回折角φ=０となるところの光透
過中心波長をλ０とすると、λ０は（数４）で表され
る。なお、波長λ０は、一般に、アレイ導波路型回折格
子の中心波長と呼ばれる。
過中心波長をλ０とすると、λ０は（数４）で表され
る。なお、波長λ０は、一般に、アレイ導波路型回折格
子の中心波長と呼ばれる。
【００４４】
【数４】
【００４５】ところで、図３において、回折角φ=０と
なるアレイ導波路型回折格子の集光位置を点Ｏとする
と、回折角φ＝φpを有する光の集光位置（第２のスラ
ブ導波路の出力端における位置）は、例えば点Ｐの位置
（点ＯからＸ方向にずれた位置）となる。ここで、Ｏ−
Ｐ間のＸ方向の距離をｘとすると波長λとの間に（数
５）が成立する。
なるアレイ導波路型回折格子の集光位置を点Ｏとする
と、回折角φ＝φpを有する光の集光位置（第２のスラ
ブ導波路の出力端における位置）は、例えば点Ｐの位置
（点ＯからＸ方向にずれた位置）となる。ここで、Ｏ−
Ｐ間のＸ方向の距離をｘとすると波長λとの間に（数
５）が成立する。
【００４６】
【数５】
【００４７】（数５）において、Ｌfは第２のスラブ導
波路の焦点距離であり、ｎgはアレイ導波路の群屈折率
である。なお、アレイ導波路の群屈折率ｎgは、アレイ
導波路の等価屈折率ｎcにより、（数６）で与えられ
る。
波路の焦点距離であり、ｎgはアレイ導波路の群屈折率
である。なお、アレイ導波路の群屈折率ｎgは、アレイ
導波路の等価屈折率ｎcにより、（数６）で与えられ
る。
【００４８】
【数６】
【００４９】前記（数５）は、第２のスラブ導波路の焦
点ＯからＸ方向の距離ｄｘ離れた位置に光出力導波路の
入力端を配置形成することにより、ｄλだけ波長の異な
った光を取り出すことが可能であることを意味する。
点ＯからＸ方向の距離ｄｘ離れた位置に光出力導波路の
入力端を配置形成することにより、ｄλだけ波長の異な
った光を取り出すことが可能であることを意味する。
【００５０】また、（数５）の関係は、第１のスラブ導
波路３に関しても同様に成立する。すなわち、例えば第
１のスラブ導波路３の焦点中心を点Ｏ’とし、この点
Ｏ’からＸ方向に距離ｄｘ’ずれた位置にある点を点
Ｐ’とすると、この点Ｐ’に光を入射した場合に、出力
の波長がｄλ’ずれることになる。この関係を式により
表わすと、（数７）のようになる。
波路３に関しても同様に成立する。すなわち、例えば第
１のスラブ導波路３の焦点中心を点Ｏ’とし、この点
Ｏ’からＸ方向に距離ｄｘ’ずれた位置にある点を点
Ｐ’とすると、この点Ｐ’に光を入射した場合に、出力
の波長がｄλ’ずれることになる。この関係を式により
表わすと、（数７）のようになる。
【００５１】
【数７】
【００５２】なお、（数７）において、Ｌｆ’は第１の
スラブ導波路の焦点距離である。この（数７）は、第１
のスラブ導波路の焦点Ｏ’とＸ方向の距離ｄｘ’離れた
位置に光入力導波路の出力端を配置形成することによ
り、前記焦点Ｏに形成した光出力導波路においてｄλ’
だけ波長の異なった光を取り出すことが可能であること
を意味する。
スラブ導波路の焦点距離である。この（数７）は、第１
のスラブ導波路の焦点Ｏ’とＸ方向の距離ｄｘ’離れた
位置に光入力導波路の出力端を配置形成することによ
り、前記焦点Ｏに形成した光出力導波路においてｄλ’
だけ波長の異なった光を取り出すことが可能であること
を意味する。
【００５３】したがって、アレイ導波路型回折格子の使
用環境温度変動によってアレイ導波路型回折格子の光出
力導波路から出力される光透過中心波長がΔλずれたと
きに、ｄλ’＝Δλとなるように、光入力導波路の出力
端位置を前記Ｘ方向に距離ｄｘ’だけずらせば、例えば
焦点Ｏに形成した光出力導波路において、波長ずれのな
い光を取り出すことができ、他の光出力導波路に関して
も同様の作用が生じるため、前記光透過中心波長ずれΔ
λを補正（解消）できることになる。
用環境温度変動によってアレイ導波路型回折格子の光出
力導波路から出力される光透過中心波長がΔλずれたと
きに、ｄλ’＝Δλとなるように、光入力導波路の出力
端位置を前記Ｘ方向に距離ｄｘ’だけずらせば、例えば
焦点Ｏに形成した光出力導波路において、波長ずれのな
い光を取り出すことができ、他の光出力導波路に関して
も同様の作用が生じるため、前記光透過中心波長ずれΔ
λを補正（解消）できることになる。
【００５４】上記構成の本発明においては、第１のスラ
ブ導波路と第２のスラブ導波路の少なくとも一方がスラ
ブ導波路を通る光の経路と交わる面で分離されているの
で、第１のスラブ導波路が分離されていると仮定して議
論すると、この分離された第１のスラブ導波路のうち、
例えば光入力導波路に接続されている分離スラブ導波路
側（光入力導波路も含む）を、スライド移動機構によっ
て前記分離面に沿ってスライド移動させれば、前記各光
透過中心波長をシフトさせることが可能となる。
ブ導波路と第２のスラブ導波路の少なくとも一方がスラ
ブ導波路を通る光の経路と交わる面で分離されているの
で、第１のスラブ導波路が分離されていると仮定して議
論すると、この分離された第１のスラブ導波路のうち、
例えば光入力導波路に接続されている分離スラブ導波路
側（光入力導波路も含む）を、スライド移動機構によっ
て前記分離面に沿ってスライド移動させれば、前記各光
透過中心波長をシフトさせることが可能となる。
【００５５】また、前記スライド移動機構によって、前
記各光透過中心波長の温度依存変動（波長ずれ）Δλが
ｄλと等しくなるようにして、前記各光透過中心波長の
温度依存変動を低減する方向に分離スラブ導波路及び光
入力導波路を前記分離面に沿って移動させれば、前記光
透過中心波長ずれを解消することが可能となる。
記各光透過中心波長の温度依存変動（波長ずれ）Δλが
ｄλと等しくなるようにして、前記各光透過中心波長の
温度依存変動を低減する方向に分離スラブ導波路及び光
入力導波路を前記分離面に沿って移動させれば、前記光
透過中心波長ずれを解消することが可能となる。
【００５６】なお、厳密に言えば、光入力導波路の出力
端の位置を変えることによって、光入力導波路の出力端
からアレイ導波路の入力端まで、第１のスラブ導波路内
を伝搬する光の焦点距離Ｌｆ’が若干変化するが、現在
用いられているアレイ導波路型回折格子における第１の
スラブ導波路の焦点距離は数ｍｍのオーダーであり、一
方、アレイ導波路型回折格子の光透過中心波長補正のた
めに移動する光入力導波路の出力端位置の移動量は数μ
ｍ〜数１０μｍのオーダーであり、第１のスラブ導波路
の焦点距離に比べて非常に小さい。
端の位置を変えることによって、光入力導波路の出力端
からアレイ導波路の入力端まで、第１のスラブ導波路内
を伝搬する光の焦点距離Ｌｆ’が若干変化するが、現在
用いられているアレイ導波路型回折格子における第１の
スラブ導波路の焦点距離は数ｍｍのオーダーであり、一
方、アレイ導波路型回折格子の光透過中心波長補正のた
めに移動する光入力導波路の出力端位置の移動量は数μ
ｍ〜数１０μｍのオーダーであり、第１のスラブ導波路
の焦点距離に比べて非常に小さい。
【００５７】そのため、実質的には上記焦点距離の変化
は無視してしまっても何も差し支えないと考えられる。
このことから、前記の如く、アレイ導波路型回折格子に
おける各光透過中心波長の温度依存変動を低減する方向
に分離スラブ導波路及び光入力導波路を前記分離面に沿
って移動させれば、前記光透過中心波長ずれを解消する
ことが可能となる。
は無視してしまっても何も差し支えないと考えられる。
このことから、前記の如く、アレイ導波路型回折格子に
おける各光透過中心波長の温度依存変動を低減する方向
に分離スラブ導波路及び光入力導波路を前記分離面に沿
って移動させれば、前記光透過中心波長ずれを解消する
ことが可能となる。
【００５８】ここで、温度変化量と光入力導波路の位置
補正量の関係を導いておく。前記光透過中心波長の温度
依存性（温度による光透過中心波長のずれ量）は、前記
（数２）で表されるので、温度変化量Ｔを用いて光透過
中心波長ずれ量Δλを（数８）により表わすことができ
る。
補正量の関係を導いておく。前記光透過中心波長の温度
依存性（温度による光透過中心波長のずれ量）は、前記
（数２）で表されるので、温度変化量Ｔを用いて光透過
中心波長ずれ量Δλを（数８）により表わすことができ
る。
【００５９】
【数８】
【００６０】（数７）、（数８）から、温度変化量Ｔと
光入力導波路の位置補正量ｄｘ’を求めると、（数９）
が導かれる。
光入力導波路の位置補正量ｄｘ’を求めると、（数９）
が導かれる。
【００６１】
【数９】
【００６２】したがって、本発明において、（数９）に
より示される位置補正量ｄｘ’だけ、前記スライド移動
機構によって前記分離面に沿って第１のスラブ導波路の
分離スラブ導波路及び光入力導波路をスライド移動させ
ることにより、前記光透過中心波長ずれを解消すること
が可能となる。
より示される位置補正量ｄｘ’だけ、前記スライド移動
機構によって前記分離面に沿って第１のスラブ導波路の
分離スラブ導波路及び光入力導波路をスライド移動させ
ることにより、前記光透過中心波長ずれを解消すること
が可能となる。
【００６３】また、前記の如く、アレイ導波路型回折格
子は光の相反性を利用して形成されているものであり、
第２のスラブ導波路側を分離して、分離された分離スラ
ブ導波路の少なくとも一方側を、スライド移動機構によ
って前記分離面に沿って前記各光透過中心波長の温度依
存変動を低減する方向にスライド移動させれば、同様の
効果が得られ、前記各光透過中心波長の温度依存変動を
解消することが可能となる。
子は光の相反性を利用して形成されているものであり、
第２のスラブ導波路側を分離して、分離された分離スラ
ブ導波路の少なくとも一方側を、スライド移動機構によ
って前記分離面に沿って前記各光透過中心波長の温度依
存変動を低減する方向にスライド移動させれば、同様の
効果が得られ、前記各光透過中心波長の温度依存変動を
解消することが可能となる。
【００６４】さらに、本発明においては、上記の原理に
基づきペルチェ素子やヒータを用いなくてもアレイ導波
路型回折格子の使用環境温度による光透過中心波長ずれ
を抑制し、光透過中心波長の温度無依存化を行うことが
できるために、ペルチェ素子やヒータを含む温度調節手
段を設ける場合のように、常時通電を必要とせず、部品
の組立誤差による温度補正誤差が生じることもなく、室
温以上の温度でアレイ導波路型回折格子を保つことによ
るアレイ導波路型回折格子と光ファイバとの接続損失増
加の虞もない。
基づきペルチェ素子やヒータを用いなくてもアレイ導波
路型回折格子の使用環境温度による光透過中心波長ずれ
を抑制し、光透過中心波長の温度無依存化を行うことが
できるために、ペルチェ素子やヒータを含む温度調節手
段を設ける場合のように、常時通電を必要とせず、部品
の組立誤差による温度補正誤差が生じることもなく、室
温以上の温度でアレイ導波路型回折格子を保つことによ
るアレイ導波路型回折格子と光ファイバとの接続損失増
加の虞もない。
【００６５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。なお、本実施形態例の説明におい
て、従来例と同一名称部分には同一符号を付し、その重
複説明は省略する。図１には、本発明に係るアレイ導波
路型回折格子の一実施形態例の概略図が平面図によって
模式的に示されている。
に基づいて説明する。なお、本実施形態例の説明におい
て、従来例と同一名称部分には同一符号を付し、その重
複説明は省略する。図１には、本発明に係るアレイ導波
路型回折格子の一実施形態例の概略図が平面図によって
模式的に示されている。
【００６６】同図に示すように、本実施形態例のアレイ
導波路型回折格子も従来例のアレイ導波路型回折格子と
同様に、基板１上にコアの導波路構成を形成しており、
図１では、基板１上の導波路構成の形成部（形成領域）
を導波路形成部１０（１０ａ、１０ｂ）として示してい
る。
導波路型回折格子も従来例のアレイ導波路型回折格子と
同様に、基板１上にコアの導波路構成を形成しており、
図１では、基板１上の導波路構成の形成部（形成領域）
を導波路形成部１０（１０ａ、１０ｂ）として示してい
る。
【００６７】本実施形態例のアレイ導波路型回折格子
は、従来例と同様に、１本の光入力導波路２、第１のス
ラブ導波路３、複数のアレイ導波路４、第２のスラブ導
波路５、複数の光出力導波路６を有しており、前記アレ
イ導波路４、光出力導波路６は、それぞれ予め定められ
た導波路間隔を介して並設されているが、本実施形態例
のアレイ導波路型回折格子においては、第１のスラブ導
波路３が、第１のスラブ導波路３を通る光の経路と交わ
る面（分離面）８で分離されている。
は、従来例と同様に、１本の光入力導波路２、第１のス
ラブ導波路３、複数のアレイ導波路４、第２のスラブ導
波路５、複数の光出力導波路６を有しており、前記アレ
イ導波路４、光出力導波路６は、それぞれ予め定められ
た導波路間隔を介して並設されているが、本実施形態例
のアレイ導波路型回折格子においては、第１のスラブ導
波路３が、第１のスラブ導波路３を通る光の経路と交わ
る面（分離面）８で分離されている。
【００６８】また、上記第１のスラブ導波路３の分離面
８での分離に伴い、基板１および導波路形成部（導波路
形成領域）１０もそれぞれ２つに分離されており、分離
スラブ導波路３ｂとアレイ導波路４と第２のスラブ導波
路５と光出力導波路６が形成されている側の導波路形成
部１０ｂおよびその下の基板１は、石英ガラスやＩｎｖ
ａｒロットなどの低熱膨張率の材料により形成されたベ
ース９に固定されている。
８での分離に伴い、基板１および導波路形成部（導波路
形成領域）１０もそれぞれ２つに分離されており、分離
スラブ導波路３ｂとアレイ導波路４と第２のスラブ導波
路５と光出力導波路６が形成されている側の導波路形成
部１０ｂおよびその下の基板１は、石英ガラスやＩｎｖ
ａｒロットなどの低熱膨張率の材料により形成されたベ
ース９に固定されている。
【００６９】一方、分離スラブ導波路３ａが形成されて
いる側の導波路形成部１０ａおよびその下の基板１は、
ベース９の表面に沿って図の矢印Ａ方向および矢印Ｂ方
向にスライド移動自在に配置されている。導波路形成部
１０ａの一端側は接着剤１３を介して高熱膨張係数部材
７に固定されており、他端側は係止部材１４に係止され
ている。
いる側の導波路形成部１０ａおよびその下の基板１は、
ベース９の表面に沿って図の矢印Ａ方向および矢印Ｂ方
向にスライド移動自在に配置されている。導波路形成部
１０ａの一端側は接着剤１３を介して高熱膨張係数部材
７に固定されており、他端側は係止部材１４に係止され
ている。
【００７０】本実施形態例の特徴的なことは、前記の如
く、第１のスラブ導波路３が第１のスラブ導波路３を通
る光の経路と交わる分離面８で分離スラブ導波路３ａ，
３ｂに分離されており、この分離された分離スラブ導波
路３ａ側を前記分離面８に沿ってスライド移動させるこ
とにより前記光透過中心波長をシフトさせることであ
り、このスライド移動はスライド移動機構により行われ
る。
く、第１のスラブ導波路３が第１のスラブ導波路３を通
る光の経路と交わる分離面８で分離スラブ導波路３ａ，
３ｂに分離されており、この分離された分離スラブ導波
路３ａ側を前記分離面８に沿ってスライド移動させるこ
とにより前記光透過中心波長をシフトさせることであ
り、このスライド移動はスライド移動機構により行われ
る。
【００７１】このスライド移動機構は、アレイ導波路型
回折格子の各光透過中心波長の温度依存変動を低減する
方向に、分離スラブ導波路３ａ側を分離面８に沿ってス
ライド移動させる機構であり、本実施形態例では、上記
高熱膨張係数部材７、ベース９、係止部材１４を設けて
上記スライド移動機構を構成している。
回折格子の各光透過中心波長の温度依存変動を低減する
方向に、分離スラブ導波路３ａ側を分離面８に沿ってス
ライド移動させる機構であり、本実施形態例では、上記
高熱膨張係数部材７、ベース９、係止部材１４を設けて
上記スライド移動機構を構成している。
【００７２】前記高熱膨張係数部材７は、導波路形成部
１０ａの上面に沿って設けられた上板部７ａと導波路形
成部１０ａの側面に沿って設けられた側板部（図示され
ていない）とを有するＬ字形状の部材であり、側板部が
固定部１１でベース９に固定されている。高熱膨張係数
部材７は、アレイ導波路型回折格子の光透過中心波長の
シフトに応じた分離スラブ導波路３ａの移動量に対応す
る熱膨張係数による収縮が生じる物質であり、例えば熱
膨張係数が２．５×１０−５（１／Ｋ）のＡｌ（アルミ
ニウム）により形成されている。
１０ａの上面に沿って設けられた上板部７ａと導波路形
成部１０ａの側面に沿って設けられた側板部（図示され
ていない）とを有するＬ字形状の部材であり、側板部が
固定部１１でベース９に固定されている。高熱膨張係数
部材７は、アレイ導波路型回折格子の光透過中心波長の
シフトに応じた分離スラブ導波路３ａの移動量に対応す
る熱膨張係数による収縮が生じる物質であり、例えば熱
膨張係数が２．５×１０−５（１／Ｋ）のＡｌ（アルミ
ニウム）により形成されている。
【００７３】前記係止部材１４は、導波路形成部１０ａ
の上面に沿って設けられた上板部１４ａと導波路形成部
１０ａの側面に沿って設けられた側板部（図示されてい
ない）とを有するＬ字形状の部材であり、側板部が固定
部１２でベース９に固定されている。係止部材１４の上
板部の内壁と導波路形成部１０ａの上面とは当接してお
り、導波路形成部１０ａのスライド移動時に、導波路形
成部１０ａがベース９に対して上方側（ＸＹ平面に垂直
なＺ軸方向）に変位しないようになっている。また、側
板部の内壁と導波路形成部１０ａの側面とは間隔を介し
ており、導波路形成部１０ａのスライド移動が支障なく
行なえるようになっている。
の上面に沿って設けられた上板部１４ａと導波路形成部
１０ａの側面に沿って設けられた側板部（図示されてい
ない）とを有するＬ字形状の部材であり、側板部が固定
部１２でベース９に固定されている。係止部材１４の上
板部の内壁と導波路形成部１０ａの上面とは当接してお
り、導波路形成部１０ａのスライド移動時に、導波路形
成部１０ａがベース９に対して上方側（ＸＹ平面に垂直
なＺ軸方向）に変位しないようになっている。また、側
板部の内壁と導波路形成部１０ａの側面とは間隔を介し
ており、導波路形成部１０ａのスライド移動が支障なく
行なえるようになっている。
【００７４】なお、本実施形態例において、前記導波路
構成における各パラメータは、以下のように構成されて
いる。すなわち、第１のスラブ導波路３の焦点距離
Ｌｆ’と第２のスラブ導波路５の焦点距離Ｌfは等し
く、その値は９ｍｍ（９０００μｍ）であり、また、２
５℃において、第１のスラブ導波路３の等価屈折率およ
び第２のスラブ導波路５の等価屈折率は共にｎｓで、そ
の値は、波長１．５５μｍの光に対して１．４５３であ
る。さらに、アレイ導波路４の光路長差ΔＬは６５．２
μｍ、隣り合うアレイ導波路４同士の間隔は１５μｍ、
回折次数ｍは６１、アレイ導波路４の等価屈折率ｎｃは
波長１．５５μｍの光に対して１．４５１、アレイ導波
路の群屈折率ｎｇは波長１．５５μｍの光に対して１．
４７５である。
構成における各パラメータは、以下のように構成されて
いる。すなわち、第１のスラブ導波路３の焦点距離
Ｌｆ’と第２のスラブ導波路５の焦点距離Ｌfは等し
く、その値は９ｍｍ（９０００μｍ）であり、また、２
５℃において、第１のスラブ導波路３の等価屈折率およ
び第２のスラブ導波路５の等価屈折率は共にｎｓで、そ
の値は、波長１．５５μｍの光に対して１．４５３であ
る。さらに、アレイ導波路４の光路長差ΔＬは６５．２
μｍ、隣り合うアレイ導波路４同士の間隔は１５μｍ、
回折次数ｍは６１、アレイ導波路４の等価屈折率ｎｃは
波長１．５５μｍの光に対して１．４５１、アレイ導波
路の群屈折率ｎｇは波長１．５５μｍの光に対して１．
４７５である。
【００７５】したがって、本実施形態例のアレイ導波路
型回折格子において、回折角φ＝０となるところの光透
過中心波長λ0は、前記（数４）から明らかなように、
λ0=１５５０．９ｎｍである。
型回折格子において、回折角φ＝０となるところの光透
過中心波長λ0は、前記（数４）から明らかなように、
λ0=１５５０．９ｎｍである。
【００７６】ところで、本発明者は、アレイ導波路型回
折格子の温度依存性を抑制するために、アレイ導波路型
回折格子の線分散特性に着目し、前記（数１）〜（数
９）を用いた説明の通り、アレイ導波路型回折格子の使
用環境温度変化量Ｔと光入力導波路の位置補正量ｄｘ’
との関係を求めた。そして、この関係は前記（数９）に
より表わされることを確認した。
折格子の温度依存性を抑制するために、アレイ導波路型
回折格子の線分散特性に着目し、前記（数１）〜（数
９）を用いた説明の通り、アレイ導波路型回折格子の使
用環境温度変化量Ｔと光入力導波路の位置補正量ｄｘ’
との関係を求めた。そして、この関係は前記（数９）に
より表わされることを確認した。
【００７７】そこで、本実施形態例について、アレイ導
波路型回折格子の導波路構成の各パラメータと（数９）
に基づき、アレイ導波路型回折格子の使用環境温度の変
化量Ｔと光入力導波路２の位置補正量ｄｘ’の関係を求
めると、（数１０）に示す関係となっていることが分か
った。
波路型回折格子の導波路構成の各パラメータと（数９）
に基づき、アレイ導波路型回折格子の使用環境温度の変
化量Ｔと光入力導波路２の位置補正量ｄｘ’の関係を求
めると、（数１０）に示す関係となっていることが分か
った。
【００７８】
【数１０】
【００７９】したがって、本実施形態例においては、ア
レイ導波路型回折格子の使用環境温度が１０℃変化した
際、光入力導波路２の出力端の位置をＸ方向に約３．８
３μｍ補正（移動）すれば、温度による中心波長すれが
補正できる計算になる。
レイ導波路型回折格子の使用環境温度が１０℃変化した
際、光入力導波路２の出力端の位置をＸ方向に約３．８
３μｍ補正（移動）すれば、温度による中心波長すれが
補正できる計算になる。
【００８０】そこで、本実施形態例では、アレイ導波路
型回折格子の使用環境温度が１０℃上昇したときに、光
入力導波路２の出力端２０の位置が約３．８３μｍだ
け、矢印Ａ方向に移動し、その逆に、アレイ導波路型回
折格子の使用環境温度が１０℃下降したときに、光入力
導波路２の出力端２０の位置が約３．８３μｍだけ、矢
印Ｂ方向に移動するように、分離スラブ導波路３ａ側の
移動量を定めた。そして、この移動量が得られるように
高熱膨張係数部材７の大きさ等を形成し、前記スライド
移動機構によって、各光透過中心波長の温度依存変動を
低減する方向にスライド移動させるようにしている。
型回折格子の使用環境温度が１０℃上昇したときに、光
入力導波路２の出力端２０の位置が約３．８３μｍだ
け、矢印Ａ方向に移動し、その逆に、アレイ導波路型回
折格子の使用環境温度が１０℃下降したときに、光入力
導波路２の出力端２０の位置が約３．８３μｍだけ、矢
印Ｂ方向に移動するように、分離スラブ導波路３ａ側の
移動量を定めた。そして、この移動量が得られるように
高熱膨張係数部材７の大きさ等を形成し、前記スライド
移動機構によって、各光透過中心波長の温度依存変動を
低減する方向にスライド移動させるようにしている。
【００８１】なお、本実施形態例のアレイ導波路型回折
格子の作製に際し、本発明者は、ファイバグレーティン
グの温度補償パッケージを応用し、モジュールを組み立
てた。すなわち、ダイシングソーを用いて第１のスラブ
導波路３を切断分離し、分離面８における反射を防ぐた
めに、石英系ガラスと屈折率の整合したマッチンググリ
ースを分離面８に塗布した。また、高熱膨張係数部材７
と導波路形成部１０ａとの接着に用いた接着剤１３は、
熱硬化接着剤とし、１００℃で硬化させた。
格子の作製に際し、本発明者は、ファイバグレーティン
グの温度補償パッケージを応用し、モジュールを組み立
てた。すなわち、ダイシングソーを用いて第１のスラブ
導波路３を切断分離し、分離面８における反射を防ぐた
めに、石英系ガラスと屈折率の整合したマッチンググリ
ースを分離面８に塗布した。また、高熱膨張係数部材７
と導波路形成部１０ａとの接着に用いた接着剤１３は、
熱硬化接着剤とし、１００℃で硬化させた。
【００８２】本実施形態例は以上のように構成されてお
り、第１のスラブ導波路３を通る光の経路と交わる分離
面８で、第１のスラブ導波路３が分離スラブ導波路３
ａ，３ｂに分離されており、アレイ導波路型回折格子の
使用環境温度が変化すると、前記スライド移動機構によ
って、分離スラブ導波路３ａ側がアレイ導波路型回折格
子の各光透過中心波長の温度依存変動を低減する方向
（図１の矢印Ａ方向または矢印Ｂ方向）に、分離面８に
沿ってスライド移動させられる。
り、第１のスラブ導波路３を通る光の経路と交わる分離
面８で、第１のスラブ導波路３が分離スラブ導波路３
ａ，３ｂに分離されており、アレイ導波路型回折格子の
使用環境温度が変化すると、前記スライド移動機構によ
って、分離スラブ導波路３ａ側がアレイ導波路型回折格
子の各光透過中心波長の温度依存変動を低減する方向
（図１の矢印Ａ方向または矢印Ｂ方向）に、分離面８に
沿ってスライド移動させられる。
【００８３】また、上記スライド移動量は、前記（数１
０）により求められる位置補正量ｄｘ’であり、上記ス
ライド移動によって、分離スラブ導波路３ａ及び光入力
導波路２がスライド移動する。
０）により求められる位置補正量ｄｘ’であり、上記ス
ライド移動によって、分離スラブ導波路３ａ及び光入力
導波路２がスライド移動する。
【００８４】したがって、本実施形態例によれば、たと
えアレイ導波路型回折格子の使用環境温度が変化して
も、この温度変化に伴う光透過中心波長ずれを解消する
ことができ、使用環境温度に依存しない、いわゆる温度
無依存型のアレイ導波路型回折格子とすることができ
る。
えアレイ導波路型回折格子の使用環境温度が変化して
も、この温度変化に伴う光透過中心波長ずれを解消する
ことができ、使用環境温度に依存しない、いわゆる温度
無依存型のアレイ導波路型回折格子とすることができ
る。
【００８５】本発明者が、実際に、０℃〜８０℃の環境
温度において、光透過中心波長の温度変化を測定したと
ころ、図２の特性線ａに示す結果が得られ、光透過中心
波長のずれ（シフト）量は約０．０１ｎｍ以下となり、
使用環境温度が０℃〜８０℃の範囲内で変化しても、光
透過中心波長は殆どずれないことが確認できた。
温度において、光透過中心波長の温度変化を測定したと
ころ、図２の特性線ａに示す結果が得られ、光透過中心
波長のずれ（シフト）量は約０．０１ｎｍ以下となり、
使用環境温度が０℃〜８０℃の範囲内で変化しても、光
透過中心波長は殆どずれないことが確認できた。
【００８６】なお、図２には、アレイ導波路型回折格子
における導波路構成の各パラメータを本実施形態例と同
様に形成し、第１のスラブ導波路３を分離していない従
来のアレイ導波路型回折格子において、０℃〜８０℃の
環境温度における光透過中心波長の温度変化を測定した
結果も示されている（図２の特性線ｂ）。特性線ａと特
性線ｂとを比較すると明らかなように、本実施形態例の
アレイ導波路型回折格子は、従来のアレイ導波路型回折
格子において問題であった光透過中心波長の温度依存性
を解消することができ、光波長多重通信用などの実用に
適した優れたアレイ導波路型回折格子であることが分か
る。
における導波路構成の各パラメータを本実施形態例と同
様に形成し、第１のスラブ導波路３を分離していない従
来のアレイ導波路型回折格子において、０℃〜８０℃の
環境温度における光透過中心波長の温度変化を測定した
結果も示されている（図２の特性線ｂ）。特性線ａと特
性線ｂとを比較すると明らかなように、本実施形態例の
アレイ導波路型回折格子は、従来のアレイ導波路型回折
格子において問題であった光透過中心波長の温度依存性
を解消することができ、光波長多重通信用などの実用に
適した優れたアレイ導波路型回折格子であることが分か
る。
【００８７】また、本実施形態例によれば、前記スライ
ド移動機構は、高熱膨張係数部材７、ベース９、係止部
材１４を有して構成されており、ベース９に配置した導
波路形成部１０ａおよびその下の基板１の一端側を、高
熱膨張係数部材７を介してベース９に固定し、他端側を
係止部材１４により係止するといった簡単な構成であ
り、アレイ導波路型回折格子の構成の複雑化を避けるこ
とができる。
ド移動機構は、高熱膨張係数部材７、ベース９、係止部
材１４を有して構成されており、ベース９に配置した導
波路形成部１０ａおよびその下の基板１の一端側を、高
熱膨張係数部材７を介してベース９に固定し、他端側を
係止部材１４により係止するといった簡単な構成であ
り、アレイ導波路型回折格子の構成の複雑化を避けるこ
とができる。
【００８８】さらに、本実施形態例によれば、上記のよ
うに導波路形成部１０ａおよびその下の基板１をベース
９にスライド移動自在に固定し、導波路形成部１０およ
びその下の基板をベース９に固定したものであるため、
容易に作製することができる。
うに導波路形成部１０ａおよびその下の基板１をベース
９にスライド移動自在に固定し、導波路形成部１０およ
びその下の基板をベース９に固定したものであるため、
容易に作製することができる。
【００８９】さらに、本実施形態例によれば、ペルチェ
素子やヒータを用いる必要がないために、ペルチェ素子
やヒータを含む温度調節手段を設ける場合のように、常
時通電を必要とせず、部品の組立誤差による温度補正誤
差が生じることもなく、室温以上の温度でアレイ導波路
型回折格子を保つことによるアレイ導波路型回折格子と
光ファイバとの接続損失増加の虞もない。
素子やヒータを用いる必要がないために、ペルチェ素子
やヒータを含む温度調節手段を設ける場合のように、常
時通電を必要とせず、部品の組立誤差による温度補正誤
差が生じることもなく、室温以上の温度でアレイ導波路
型回折格子を保つことによるアレイ導波路型回折格子と
光ファイバとの接続損失増加の虞もない。
【００９０】したがって、本実施形態例のアレイ導波路
型回折格子は、確実に、光透過中心波長の温度依存性を
解消でき、しかも、接続相手側の光ファイバとの接続信
頼性が高く、コストが安い優れたアレイ導波路型回折格
子とすることができる。
型回折格子は、確実に、光透過中心波長の温度依存性を
解消でき、しかも、接続相手側の光ファイバとの接続信
頼性が高く、コストが安い優れたアレイ導波路型回折格
子とすることができる。
【００９１】なお、本発明は上記実施形態例に限定され
ることはなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば、
上記実施形態例では、高熱膨張係数部材７としてＡｌの
板を用いたが、高熱膨張係数部材７は必ずしもＡｌとす
るとは限らず、Ａｌ以外の材料により形成してもよい。
ることはなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば、
上記実施形態例では、高熱膨張係数部材７としてＡｌの
板を用いたが、高熱膨張係数部材７は必ずしもＡｌとす
るとは限らず、Ａｌ以外の材料により形成してもよい。
【００９２】また、上記実施形態例では、第１のスラブ
導波路３を分離したが、アレイ導波路型回折格子は光の
相反性を利用して形成されているものであり、第２のス
ラブ導波路５側を分離して、分離された分離スラブ導波
路の少なくとも一方側を、スライド移動機構によって前
記面に沿って前記各光透過中心波長の温度依存変動を低
減する方向にスライド移動させても、上記実施形態例と
同様の効果が得られ、前記各光透過中心波長の温度依存
変動を解消することができる。
導波路３を分離したが、アレイ導波路型回折格子は光の
相反性を利用して形成されているものであり、第２のス
ラブ導波路５側を分離して、分離された分離スラブ導波
路の少なくとも一方側を、スライド移動機構によって前
記面に沿って前記各光透過中心波長の温度依存変動を低
減する方向にスライド移動させても、上記実施形態例と
同様の効果が得られ、前記各光透過中心波長の温度依存
変動を解消することができる。
【００９３】さらに、第１のスラブ導波路３や第２のス
ラブ導波路５の分離面８は上記実施形態例のようにＸ軸
とほぼ平行な面とするとは限らず、Ｘ軸に対して斜めの
面としてもよく、分離するスラブ導波路を通る光の経路
と交わる面で分離すればよい。
ラブ導波路５の分離面８は上記実施形態例のようにＸ軸
とほぼ平行な面とするとは限らず、Ｘ軸に対して斜めの
面としてもよく、分離するスラブ導波路を通る光の経路
と交わる面で分離すればよい。
【００９４】さらに、上記実施形態例では、分離スラブ
導波路３ａ側を分離面８に沿ってスライド移動させるス
ライド移動機構を、高熱膨張係数部材７を設けて形成し
たが、スライド移動機構の構成は特に限定されるもので
はなく、適宜設定されるものである。すなわち、上記ス
ライド移動機構は、第１のスラブ導波路３と第２のスラ
ブ導波路５の少なくとも一方を面で分離して形成した分
離スラブ導波路の少なくとも一方側を、前記分離面８に
沿って温度に依存してスライド移動させることにより、
アレイ導波路型回折格子の光透過中心波長をシフトでき
る機能を有していればよい。
導波路３ａ側を分離面８に沿ってスライド移動させるス
ライド移動機構を、高熱膨張係数部材７を設けて形成し
たが、スライド移動機構の構成は特に限定されるもので
はなく、適宜設定されるものである。すなわち、上記ス
ライド移動機構は、第１のスラブ導波路３と第２のスラ
ブ導波路５の少なくとも一方を面で分離して形成した分
離スラブ導波路の少なくとも一方側を、前記分離面８に
沿って温度に依存してスライド移動させることにより、
アレイ導波路型回折格子の光透過中心波長をシフトでき
る機能を有していればよい。
【００９５】例えば、スライド移動機構は、上記のよう
な熱による伸縮を利用して前記分離スラブ導波路を移動
するのではなく、前記分離スラブ導波路を移動する機械
的移動手段と電気的移動手段の少なくとも一方の移動手
段を設けて構成してもよい。
な熱による伸縮を利用して前記分離スラブ導波路を移動
するのではなく、前記分離スラブ導波路を移動する機械
的移動手段と電気的移動手段の少なくとも一方の移動手
段を設けて構成してもよい。
【００９６】なお、上記スライド移動機構は、上記実施
形態例のように、アレイ導波路型回折格子の各光透過中
心波長の温度依存変動を低減する方向にスライド移動さ
せる機能を有していれば望ましく、スライド移動機構を
このように構成することにより、上記実施形態例のよう
に、従来のアレイ導波路型回折格子において問題であっ
た光透過中心波長の温度依存性を解消することができ、
光波長多重通信用などの実用に適した優れたアレイ導波
路型回折格子とすることができる。
形態例のように、アレイ導波路型回折格子の各光透過中
心波長の温度依存変動を低減する方向にスライド移動さ
せる機能を有していれば望ましく、スライド移動機構を
このように構成することにより、上記実施形態例のよう
に、従来のアレイ導波路型回折格子において問題であっ
た光透過中心波長の温度依存性を解消することができ、
光波長多重通信用などの実用に適した優れたアレイ導波
路型回折格子とすることができる。
【００９７】さらに、本発明のアレイ導波路型回折格子
を構成する各導波路２，３，４，５，６の等価屈折率や
本数、大きさなどの詳細な値は特に限定されるものでは
なく、適宜設定されるものである。
を構成する各導波路２，３，４，５，６の等価屈折率や
本数、大きさなどの詳細な値は特に限定されるものでは
なく、適宜設定されるものである。
【００９８】また、以上の説明は、光透過中心波長の温
度依存性を解消できるアレイ導波路型回折格子を提供
し、それにより、アレイ導波路型回折格子を光波長多重
通信用に適用する例を述べたが、これとは逆に、特殊な
用途に適用するために、上記光透過中心波長の温度依存
性を助長または加速するように上記スライド移動機構を
構成し、このスライド移動機構を備えたアレイ導波路型
回折格子を構成することができる。
度依存性を解消できるアレイ導波路型回折格子を提供
し、それにより、アレイ導波路型回折格子を光波長多重
通信用に適用する例を述べたが、これとは逆に、特殊な
用途に適用するために、上記光透過中心波長の温度依存
性を助長または加速するように上記スライド移動機構を
構成し、このスライド移動機構を備えたアレイ導波路型
回折格子を構成することができる。
【００９９】
【発明の効果】本第１の発明によれば、第１のスラブ導
波路と第２のスラブ導波路の少なくとも一方を、スラブ
導波路を通る光の経路と交わる面で分離し、この分離し
たスラブ導波路の少なくとも一方を前記分離面に沿って
温度に依存してスライド移動させることにより、アレイ
導波路型回折格子の各光透過中心波長をシフトさせるこ
とができる。
波路と第２のスラブ導波路の少なくとも一方を、スラブ
導波路を通る光の経路と交わる面で分離し、この分離し
たスラブ導波路の少なくとも一方を前記分離面に沿って
温度に依存してスライド移動させることにより、アレイ
導波路型回折格子の各光透過中心波長をシフトさせるこ
とができる。
【０１００】また、本第２の発明によれば、本第１の発
明に加えて、前記光透過中心波長をシフトさせるスライ
ド移動機構を設け、スライド移動機構による面に沿って
の移動により、前記各光透過中心波長の温度依存変動を
低減する方向にスライド移動させるものであるから、前
記スライド移動量を適切な値とすることによって前記各
光透過中心波長の温度依存変動（波長ずれ）を解消する
ことができる。
明に加えて、前記光透過中心波長をシフトさせるスライ
ド移動機構を設け、スライド移動機構による面に沿って
の移動により、前記各光透過中心波長の温度依存変動を
低減する方向にスライド移動させるものであるから、前
記スライド移動量を適切な値とすることによって前記各
光透過中心波長の温度依存変動（波長ずれ）を解消する
ことができる。
【０１０１】さらに、本第２の発明によれば、ペルチェ
素子やヒータを用いなくてもアレイ導波路型回折格子の
使用環境温度による光透過中心波長ずれを抑制し、光透
過中心波長の温度無依存化を行うことができるために、
ペルチェ素子やヒータを含む温度調節手段を設ける場合
のように、常時通電を必要とすることもないし、部品の
組立誤差による温度補正誤差が生じることもなく、さら
に、室温以上の温度でアレイ導波路型回折格子を保つこ
とによるアレイ導波路型回折格子と光ファイバとの接続
損失増加の虞もない。
素子やヒータを用いなくてもアレイ導波路型回折格子の
使用環境温度による光透過中心波長ずれを抑制し、光透
過中心波長の温度無依存化を行うことができるために、
ペルチェ素子やヒータを含む温度調節手段を設ける場合
のように、常時通電を必要とすることもないし、部品の
組立誤差による温度補正誤差が生じることもなく、さら
に、室温以上の温度でアレイ導波路型回折格子を保つこ
とによるアレイ導波路型回折格子と光ファイバとの接続
損失増加の虞もない。
【０１０２】したがって、本第２の発明のアレイ導波路
型回折格子は、接続相手側の光ファイバとの接続信頼性
が高く、確実に光透過中心波長の温度依存性を解消で
き、コストが安い優れたアレイ導波路型回折格子とする
ことができる。
型回折格子は、接続相手側の光ファイバとの接続信頼性
が高く、確実に光透過中心波長の温度依存性を解消で
き、コストが安い優れたアレイ導波路型回折格子とする
ことができる。
【０１０３】さらに、本第３の発明によれば、本第１の
発明に加えて、前記光透過中心波長をシフトさせるスラ
イド移動機構を設け、スライド移動機構による面に沿っ
ての移動により、各光透過中心波長の温度依存変動を増
大する方向に分離スラブ導波路をスライド移動させる構
成としたものであるから、各光透過中心波長の温度依存
変動を増大することを要求される特殊な用途に適用する
ことができる。
発明に加えて、前記光透過中心波長をシフトさせるスラ
イド移動機構を設け、スライド移動機構による面に沿っ
ての移動により、各光透過中心波長の温度依存変動を増
大する方向に分離スラブ導波路をスライド移動させる構
成としたものであるから、各光透過中心波長の温度依存
変動を増大することを要求される特殊な用途に適用する
ことができる。
【０１０４】さらに、本第４の発明によれば、光透過中
心波長のシフトに応じた分離スラブ導波路移動量に対応
する熱膨張係数による伸縮が生じる物質を設けてスライ
ド移動機構を構成することにより、上記本第２又は本第
３の発明の効果を奏するアレイ導波路型回折格子を簡単
な構成で実現することができる。
心波長のシフトに応じた分離スラブ導波路移動量に対応
する熱膨張係数による伸縮が生じる物質を設けてスライ
ド移動機構を構成することにより、上記本第２又は本第
３の発明の効果を奏するアレイ導波路型回折格子を簡単
な構成で実現することができる。
【０１０５】さらに、本第５の発明によれば、分離スラ
ブ導波路を移動する機械的移動手段と電気的移動手段の
少なくとも一方の移動手段を設けてスライド移動機構を
構成することにより、上記本第２又は本第３の発明の効
果を奏するアレイ導波路型回折格子を簡単な構成で実現
することができる。
ブ導波路を移動する機械的移動手段と電気的移動手段の
少なくとも一方の移動手段を設けてスライド移動機構を
構成することにより、上記本第２又は本第３の発明の効
果を奏するアレイ導波路型回折格子を簡単な構成で実現
することができる。
【図１】本発明に係るアレイ導波路型回折格子の一実施
形態例を平面図により示す要部構成図である。
形態例を平面図により示す要部構成図である。
【図２】上記実施形態例のアレイ導波路型回折格子にお
ける光透過中心波長の温度依存性を従来のアレイ導波路
型回折格子における光透過中心波長の温度依存性と比較
して示すグラフである。
ける光透過中心波長の温度依存性を従来のアレイ導波路
型回折格子における光透過中心波長の温度依存性と比較
して示すグラフである。
【図３】アレイ導波路型回折格子における光透過中心波
長シフトと光入力導波路および光出力導波路の位置との
関係を示す説明図である。
長シフトと光入力導波路および光出力導波路の位置との
関係を示す説明図である。
【図４】ペルチェ素子を設けて構成した従来のアレイ導
波路型回折格子を示す説明図である。
波路型回折格子を示す説明図である。
【図５】アレイ導波路型回折格子の１つの光出力導波路
から出力される光の光透過特性を示すグラフである。
から出力される光の光透過特性を示すグラフである。
１ 基板 ２ 光入力導波路 ３ 第１のスラブ導波路 ３ａ，３ｂ 分離スラブ導波路 ４ アレイ導波路 ５ 第２のスラブ導波路 ６ 光出力導波路 ７ 高熱膨張係数部材 ８ 分離面 ９ ベース １０，１０ａ，１０ｂ 導波路形成部 １４ 係止部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斎藤 恒聡 東京都千代田区丸の内２丁目６番１号 古 河電気工業株式会社内 (72)発明者 柏原 一久 東京都千代田区丸の内２丁目６番１号 古 河電気工業株式会社内 Ｆターム(参考） 2H047 KA12 LA19 MA05 QA04 RA08 TA11 TA42 5K002 BA02 BA05 DA02 FA01
Claims (5)
- 【請求項１】 １本以上の並設された光入力導波路の出
射側に第１のスラブ導波路が接続され、該第１のスラブ
導波路の出射側には該第１のスラブ導波路から導出され
た光を伝搬する互いに異なる長さの複数の並設されたア
レイ導波路が接続され、該複数のアレイ導波路の出射側
には第２のスラブ導波路が接続され、該第２のスラブ導
波路の出射側には複数の並設された光出力導波路が接続
されて成る導波路構成を有するアレイ導波路回折格子に
おいて、前記第１のスラブ導波路と第２のスラブ導波路
の少なくとも一方がスラブ導波路を通る光の経路と交わ
る面で分離されており、この分離された分離スラブ導波
路の少なくとも一方側を前記分離面に沿って温度に依存
してスライド移動させることにより前記光透過中心波長
をシフトさせることを特徴とするアレイ導波路型回折格
子。 - 【請求項２】 分離スラブ導波路の少なくとも一方側を
分離面に沿って移動させるスライド移動機構が設けられ
て該スライド移動機構が光透過中心波長をシフトさせる
機構と成しており、該スライド移動機構は各光透過中心
波長の温度依存変動を低減する方向に分離スラブ導波路
をスライド移動させる構成としたことを特徴とする請求
項１記載のアレイ導波路型回折格子。 - 【請求項３】 分離スラブ導波路の少なくとも一方側を
分離面に沿って移動させるスライド移動機構が設けられ
て該スライド移動機構が光透過中心波長をシフトさせる
機構と成しており、該スライド移動機構は各光透過中心
波長の温度依存変動を増大する方向に分離スラブ導波路
をスライド移動させる構成としたことを特徴とする請求
項１記載のアレイ導波路型回折格子。 - 【請求項４】 スライド移動機構は、光透過中心波長の
シフトに応じた分離スラブ導波路移動量に対応する熱膨
張係数による伸縮が生じる物質を有していることを特徴
とする請求項２又は請求項３記載のアレイ導波路型回折
格子。 - 【請求項５】 スライド移動機構は、分離スラブ導波路
を移動させる機械的移動手段と電気的移動手段の少なく
とも一方の移動手段を有していることを特徴とする請求
項２又は請求項３記載のアレイ導波路型回折格子。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000219205A JP3434489B2 (ja) | 1999-09-24 | 2000-07-19 | アレイ導波路型回折格子 |
| CA002320538A CA2320538C (en) | 1999-09-24 | 2000-09-22 | Arrayed waveguide grating and method for compensating optical transmitting center wavelength of light travelling through the same |
| US09/667,563 US6490395B1 (en) | 1999-09-24 | 2000-09-22 | Arrayed waveguide grating and method for compensating optical transmitting center wavelength of light traveling through the same |
| EP00308410A EP1087246A1 (en) | 1999-09-24 | 2000-09-25 | Arrayed waveguide grating and temperature compensation |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27020199 | 1999-09-24 | ||
| JP11-270201 | 1999-09-24 | ||
| JP2000-21533 | 2000-01-31 | ||
| JP2000021533 | 2000-01-31 | ||
| JP2000219205A JP3434489B2 (ja) | 1999-09-24 | 2000-07-19 | アレイ導波路型回折格子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001290038A true JP2001290038A (ja) | 2001-10-19 |
| JP3434489B2 JP3434489B2 (ja) | 2003-08-11 |
Family
ID=27335780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000219205A Expired - Lifetime JP3434489B2 (ja) | 1999-09-24 | 2000-07-19 | アレイ導波路型回折格子 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6490395B1 (ja) |
| EP (1) | EP1087246A1 (ja) |
| JP (1) | JP3434489B2 (ja) |
| CA (1) | CA2320538C (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6826332B2 (en) | 2000-10-13 | 2004-11-30 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Arrayed waveguide grating and its method for correcting center wavelength |
| JP2005531787A (ja) * | 2001-10-24 | 2005-10-20 | ライトウェイブ マイクロシステムズ コーポレーション | 光集積回路用の機械的なビーム操縦 |
| JP2006284632A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Furukawa Electric Co Ltd:The | アレイ導波路回折格子型光合分波器 |
Families Citing this family (33)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002071994A (ja) * | 1999-12-27 | 2002-03-12 | Furukawa Electric Co Ltd:The | アレイ導波路回折格子型光合分波器およびその製造方法 |
| JP3566940B2 (ja) * | 2000-04-18 | 2004-09-15 | 古河電気工業株式会社 | アレイ導波路回折格子型光合分波器 |
| JP3448551B2 (ja) * | 2000-06-14 | 2003-09-22 | 古河電気工業株式会社 | アレイ導波路型回折格子 |
| JP3630085B2 (ja) * | 2000-09-14 | 2005-03-16 | 日本電気株式会社 | アレイ導波路回折格子素子の製造方法およびアレイ導波路回折格子素子 |
| JP4143257B2 (ja) * | 2000-12-06 | 2008-09-03 | 日本電気株式会社 | アレイ導波路格子およびアレイ導波路格子モジュール |
| JP3764105B2 (ja) * | 2001-03-13 | 2006-04-05 | 古河電気工業株式会社 | アレイ導波路回折格子型光合分波器 |
| ATE438615T1 (de) | 2001-04-06 | 2009-08-15 | Biocryst Pharm Inc | Biarylverbindungen als serinproteaseinhibitoren |
| GB2375391A (en) * | 2001-05-09 | 2002-11-13 | Bookham Technology Plc | Measuring grid error in an optical device |
| JP3832274B2 (ja) * | 2001-05-14 | 2006-10-11 | 日本電気株式会社 | 波長補正方法、波長補正装置、波長検査方法、波長検査装置、アレイ導波路回折格子およびインタリーバ |
| US20030118308A1 (en) * | 2001-12-21 | 2003-06-26 | Terry Bricheno | Thermal compensation and alignment for optical devices |
| EP1326107A3 (en) * | 2002-01-04 | 2004-03-10 | JDS Uniphase Corporation | Athermal optical coupler |
| JP3884341B2 (ja) * | 2002-01-21 | 2007-02-21 | 古河電気工業株式会社 | 可変分散補償器およびその可変分散補償器を用いた可変分散補償デバイス |
| JP2003227948A (ja) * | 2002-02-04 | 2003-08-15 | Ntt Electornics Corp | 光合分波器及びその製造方法 |
| US7006719B2 (en) * | 2002-03-08 | 2006-02-28 | Infinera Corporation | In-wafer testing of integrated optical components in photonic integrated circuits (PICs) |
| US6738545B1 (en) * | 2002-03-18 | 2004-05-18 | Lightwave Microsystems Corporation | Athermal AWG and AWG with low power consumption using groove of changeable width |
| US6975793B2 (en) * | 2002-03-18 | 2005-12-13 | Lightwave Microsystems Corporation | Method and apparatus facilitating mechanical beam steering for optical integrated circuits |
| US7305162B2 (en) * | 2002-05-30 | 2007-12-04 | Intel Corporation | Reducing the temperature sensitivity of optical waveguide interference filters |
| US6954566B2 (en) * | 2002-07-25 | 2005-10-11 | Intel Corporation | Apparatus for thermal compensation of an arrayed waveguide grating |
| JP4603816B2 (ja) * | 2003-05-16 | 2010-12-22 | オプティスキャン ピーティーワイ リミテッド | 光コネクタ |
| US6956993B2 (en) * | 2003-06-27 | 2005-10-18 | Lucent Technologies Inc. | Arrayed waveguide gratings with improved transmission efficiency |
| JP2007065562A (ja) * | 2005-09-02 | 2007-03-15 | Furukawa Electric Co Ltd:The | アレイ導波路回折格子 |
| KR100841223B1 (ko) * | 2006-02-28 | 2008-06-26 | (주)포인테크 | 광특성 보상을 위한 온도무의존 광도파로열 격자회로 소자및 그 제작 방법 |
| JP4748524B2 (ja) * | 2006-08-31 | 2011-08-17 | 古河電気工業株式会社 | アレイ導波路格子型合分波器 |
| CN100501468C (zh) * | 2006-12-26 | 2009-06-17 | 武汉光迅科技股份有限公司 | 无热阵列波导光栅的应力补偿方法及其光栅 |
| JP5100175B2 (ja) * | 2007-03-28 | 2012-12-19 | 古河電気工業株式会社 | アレイ導波路格子型の合分波装置 |
| CN102388329A (zh) * | 2009-02-26 | 2012-03-21 | 艾迪株式会社 | 在输入和输出平板区域中具有不同半径的阵列波导光栅(awg) |
| US20110085761A1 (en) * | 2009-05-26 | 2011-04-14 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Arrayed waveguide grating and method of manufacturing arrayed waveguide grating |
| JP2010276639A (ja) * | 2009-05-26 | 2010-12-09 | Furukawa Electric Co Ltd:The | アレイ導波路格子 |
| CN102087381B (zh) * | 2010-12-02 | 2012-10-24 | 武汉光迅科技股份有限公司 | 双awg的无热补偿方法 |
| CN106199854A (zh) * | 2015-05-25 | 2016-12-07 | 源杰科技股份有限公司 | 光学连接模块 |
| WO2017015578A1 (en) | 2015-07-22 | 2017-01-26 | Miroslaw Florjanczyk | Compound semiconductor photonic integrated circuit with dielectric waveguide |
| KR20190014834A (ko) * | 2017-08-04 | 2019-02-13 | 삼성전자주식회사 | 도파관 커넥터 및 이를 포함하는 디스플레이 장치 |
| CN113446962B (zh) * | 2021-07-13 | 2022-12-06 | 西南交通大学 | 一种基于强耦合多芯光纤的温度不敏感曲率传感器、曲率测量装置和方法 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5617234A (en) * | 1994-09-26 | 1997-04-01 | Nippon Telegraph & Telephone Corporation | Multiwavelength simultaneous monitoring circuit employing arrayed-waveguide grating |
| TW355752B (en) * | 1996-09-27 | 1999-04-11 | Siemens Ag | Optical coupling-device to couple the light between two waveguide-end-face |
| DE69839387T2 (de) * | 1997-02-14 | 2009-05-07 | Nippon Telegraph And Telephone Corp. | Optischer wellenleiterschaltkreis und ein diesen enthaltendes optisches wellenleitermodul |
| US6137939A (en) * | 1997-10-01 | 2000-10-24 | Lucent Technologies Inc. | Method and apparatus for reducing temperature-related spectrum shifts in optical devices |
| FR2770307B1 (fr) * | 1997-10-27 | 1999-11-26 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif a reseau de phase ou phasar et procede de fabrication de celui-ci |
| US5905824A (en) * | 1997-12-09 | 1999-05-18 | Delisle; Vincent | Temperature compensated insensitive optical multiplexor/demultiplexor |
| GB2334343A (en) * | 1998-02-13 | 1999-08-18 | Northern Telecom Ltd | Optical waveguide multiplexer/demultiplexer with diffraction gratings embracing one another |
| DE19815404A1 (de) * | 1998-04-06 | 1999-10-14 | Siemens Ag | Anordnung zur räumlichen Trennung und/oder Zusammenführung optischer Wellenlängenkanäle |
| JP2000292632A (ja) | 1999-04-01 | 2000-10-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 温度無依存導波路 |
| KR100293954B1 (ko) * | 1999-05-11 | 2001-06-15 | 윤종용 | 평탄한 주파수 응답을 가진 저손실 광파장 분할기 |
| US6289147B1 (en) * | 1999-11-01 | 2001-09-11 | Bbv Design Bv | Passband flattening of a phasar |
-
2000
- 2000-07-19 JP JP2000219205A patent/JP3434489B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2000-09-22 CA CA002320538A patent/CA2320538C/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-09-22 US US09/667,563 patent/US6490395B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-09-25 EP EP00308410A patent/EP1087246A1/en not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6826332B2 (en) | 2000-10-13 | 2004-11-30 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Arrayed waveguide grating and its method for correcting center wavelength |
| JP2005531787A (ja) * | 2001-10-24 | 2005-10-20 | ライトウェイブ マイクロシステムズ コーポレーション | 光集積回路用の機械的なビーム操縦 |
| JP4719417B2 (ja) * | 2001-10-24 | 2011-07-06 | ネオフォトニクス・コーポレイション | 光集積回路用の機械的なビーム操縦 |
| JP2006284632A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Furukawa Electric Co Ltd:The | アレイ導波路回折格子型光合分波器 |
| JP4667927B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2011-04-13 | 古河電気工業株式会社 | アレイ導波路回折格子型光合分波器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3434489B2 (ja) | 2003-08-11 |
| US6490395B1 (en) | 2002-12-03 |
| EP1087246A1 (en) | 2001-03-28 |
| CA2320538A1 (en) | 2001-03-24 |
| EP1087246A8 (en) | 2005-04-27 |
| CA2320538C (en) | 2006-06-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3434489B2 (ja) | アレイ導波路型回折格子 | |
| JP4460031B2 (ja) | アレイ導波路型回折格子 | |
| US6954566B2 (en) | Apparatus for thermal compensation of an arrayed waveguide grating | |
| US20120195553A1 (en) | Arrayed waveguide grating type optical multiplexer and demultiplexer | |
| JP2002071994A (ja) | アレイ導波路回折格子型光合分波器およびその製造方法 | |
| JP3448551B2 (ja) | アレイ導波路型回折格子 | |
| JP2000206348A (ja) | 光導波路回路の光透過波長の補償方法 | |
| WO2000003461A1 (en) | External cavity laser | |
| JPWO2002033462A1 (ja) | アレイ導波路型回折格子およびその光透過中心波長補正方法 | |
| JP4667927B2 (ja) | アレイ導波路回折格子型光合分波器 | |
| US20020181857A1 (en) | Optical wavelength multiplexer/demultiplexer | |
| JP5351522B2 (ja) | 光特性補償のための温度無依存のアレイ導波路回折格子合分波器及びその製作方法 | |
| JP3764105B2 (ja) | アレイ導波路回折格子型光合分波器 | |
| US6735364B2 (en) | Arrayed waveguide grating optical multiplexer/demultiplexer and method for manufacturing the same | |
| US20120195552A1 (en) | Arrayed waveguide grating type optical multiplexer and demultiplexer | |
| JP4762422B2 (ja) | アレイ導波路型回折格子 | |
| JP2001305361A (ja) | アレイ導波路型回折格子およびその作製方法 | |
| KR101885497B1 (ko) | Uv 경화조립 공정이 용이한 온도 보상 모듈을 구비한 어레이도파로 회절격자 및 그 제작 방법 | |
| JP4316088B2 (ja) | アレイ導波路型回折格子 | |
| JP2001330739A (ja) | アレイ導波路型回折格子 | |
| JP2010204696A (ja) | アレイ導波路回折格子の作製方法 | |
| JP3331180B2 (ja) | 温度無依存平面型光デバイス | |
| JP2001337233A (ja) | アレイ導波路型回折格子モジュールおよびそれを用いた光モジュール | |
| JP2004020737A (ja) | アレイ導波路回折格子およびその製造方法 | |
| JP3941613B2 (ja) | 光導波回路および光導波回路モジュール |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 3434489 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090530 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100530 Year of fee payment: 7 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110530 Year of fee payment: 8 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110530 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120530 Year of fee payment: 9 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120530 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130530 Year of fee payment: 10 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140530 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |