JP2001283692A - Ｓｆ６ガス分離回収装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 広範囲のＳＦ６ガス含有濃度をカバーでき、
しかもＳＦ６ガス含有濃度の変動を抑えつつ、効率良く
ＳＦ６ガスを回収可能なＳＦ６ガス分離回収装置を提供
する。 【解決手段】 ３系統の分離装置Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３が設
けられている。各分離装置Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３には自然ガ
スを吸着する吸着筒４１，４２，４３が接続されてい
る。吸着筒４１，４２，４３にはガスバルブ３１ａ，３
２ａ，３３ａを介してバッファタンク５１，５２，５３
がそれぞれ接続されている。また、液化装置であるコン
プレッサ２および熱交換器６は分離装置Ｓ１に接続さ
れ、放気装置１４は分離装置Ｓ３に接続されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、絶縁性ガスとして
自然ガスとＳＦ６ガスとの混合ガスを用いた環境対応型
のガス絶縁機器に適用されるもので、混合ガスからＳＦ
６ガスを分離回収するＳＦ６ガス分離回収装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ガス絶縁機器の試験後や現地で
の内部点検時には、機器内部に封入されたＳＦ６ガスを
外部に排出しないように回収している。現在は、ガスの
まま別のタンクに回収して保管するか、加圧装置で加圧
液化して液体としてタンクに回収、保管するのが普通で
ある。ここで、ガス絶縁機器に連結したガス回収装置の
従来例を図５を用いて説明する。

【０００３】ガス絶縁機器１には連動バルブ１２ａ，１
２ｂが接続されている。連動バルブ１２ａは減圧バルブ
１１を介してバッファタンク５に接続され、一方、連動
バルブ１２ｂは真空ポンプ９を介して同じくバッファタ
ンク５に接続される。バッファタンク５はガス圧が比較
的低く保たれている。バッファタンク５にはフィルタ１
０を通してコンプレッサ２および熱交換器６が接続され
ている。これらコンプレッサ２および熱交換器６からＳ
Ｆ６の液化装置が構成される。さらに、熱交換器６には
液化したＳＦ６を溜めるＳＦ６タンク７が接続されてい
る。ＳＦ６タンク７にはガスバルブ３が設置されてい
る。

【０００４】このような構成を有する従来例の作用は次
の通りである。すなわち、ガス絶縁機器１のガス圧が高
い時には連動バルブ１２ａを開とし、連動バルブ１２ｂ
を閉とすることでガス絶縁機器１内からバッファタンク
５にＳＦ６ガスが自動的に流入する。このとき、バッフ
ァタンク５のガス圧が高くなり過ぎないように減圧バル
ブ１１により流入ガス量を調節している。

【０００５】一方、ある程度ＳＦ６ガスの回収が進み、
ガス絶縁機器１のガス圧が低くなった時点で、連動バル
ブ１２ａを閉とすると同時に連動バルブ１２ｂを開と
し、真空ポンプ９を作動させる。これによりガス絶縁機
器１内のＳＦ６ガスを完全にバッファタンク５に移動さ
せる。フィルタ１０はバッファタンク５内のＳＦ６ガス
から異物や塵を除去し、コンプレッサ２が加圧したのち
熱交換器６が冷却することでＳＦ６ガスを液化し、その
体積を極めて小さくした状態でＳＦ６タンク７に貯蔵す
る。このとき、ＳＦ６タンク７には気相も存在するが、
この気相の殆どがガス状のＳＦ６であって、これにわず
かに不純物としてのガスが加わるのみである。再びＳＦ
６ガスを使用する場合は、ガスバルブ３を利用して使用
したい装置に接続し、ガスバルブ３を開とすることでＳ
Ｆ６ガスを充気する。

【０００６】ところで、長期にわたる地球環境を考えた
場合、今後更にＳＦ６ガスの排出量を削減していかなく
てはならない。そのためには排出の要因にもなるＳＦ６
ガス使用量自体を削減することが有効である。この対策
の一環として高純度のＳＦ６ガスに代えて自然ガスとＳ
Ｆ６ガスとの混合ガスを使用することが注目されてい
る。

【０００７】混合ガスをガス絶縁機器から回収する場
合、混合ガスを自然ガスとＳＦ６ガスとに分離した上で
ＳＦ６ガスだけを回収し、液化されない自然ガスは大気
に放出するのが最も経済的である。混合ガスの分離回収
技術に関しては、空気から様々な成分の単体ガス（例え
ば酸素ガス）を分離する目的で、すでに開発され実使用
されている。

【０００８】図６は空気から酸素を分離回収する酸素分
離回収装置の構成図である。図に示すように、コンプレ
ッサ２ａにはガスバルブ３ａを介して吸着筒４が接続さ
れている。この吸着筒４には特定のガス分子、ここでは
窒素分子を吸着しやすい吸着剤が装填されている。ま
た、吸着筒４にはガスバルブ３ｂ、コンプレッサ２ｂを
ガスタンク１７が接続されている。さらに、吸着筒４に
はガスバルブ３ｃ、真空ポンプ９を介して放気装置１４
が接続されている。

【０００９】以上のような酸素分離回収装置では、コン
プレッサ２ａで空気を圧縮し、ガスバルブ３ａを開いて
これを吸着筒４に送り込む。すると吸着筒４内の吸着剤
が空気中の窒素を吸着する。一方、空気中の酸素は吸着
剤に吸着されにくいためにガスバルブ３ｂを開くことで
吸着筒４を通過する。この吸着筒４を通過するガスは殆
どが酸素ガスとなる。吸着筒４を通過した酸素ガスをコ
ンプレッサ２ｂで再び圧縮し、ガスタンク１７に貯蔵す
る。

【００１０】この過程を十分な時間継続すると、吸着筒
４はもはや窒素ガスを吸着しきれない状態となる。この
ような状態となる前にガスバルブ３ａ，３ｂを閉じてコ
ンプレッサ２ａ，２ｂを停止し、ガスバルブ３ｃを開い
て真空ポンプ９により吸着筒４内のガス圧を下げると、
吸着筒４は吸着していた窒素ガスを脱着して再び窒素ガ
スを吸着できる状態に戻る。このガスは放気装置１４か
ら大気中に放出する。このようにして吸着筒４は、吸着
と脱着（再生）を交互に繰返すことにより半永久的に使
用が可能である。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかし、先に述べた空
気から酸素ガスを分離回収する装置では、材料である空
気は無尽蔵に存在し、空気中の酸素濃度は常に一定であ
るという前提条件がある。これに対して、混合ガスから
ＳＦ６ガスを分離回収する装置では、絶縁ガス機器に封
入された混合ガス量は有限であり、混合比の異なる混合
ガス同士が混ざってＳＦ６ガス含有濃度は変動する可能
性が高い。例えば従来では、分離処理されないで残留し
たＳＦ６ガスは再び、処理すべき混合ガスに混ぜて処理
している。このとき、ＳＦ６ガス含有濃度の異なる混合
ガスが混ざりＳＦ６ガス含有濃度の変動が生じる。ま
た、ガス絶縁機器の種類に応じて使用される混合ガスの
ＳＦ６ガス含有濃度が異なることもある。

【００１２】ＳＦ６ガス含有濃度の変動が大きいと、混
合比が大きく異なるガスが混ざり合うことになり、エン
トロピーが増大してエネルギーロスにつながる。そこで
ＳＦ６ガス分離回収装置においては、広範囲のＳＦ６ガ
ス含有濃度をカバーすることと、ＳＦ６ガス含有濃度の
変動を小さく抑えることが求められている。

【００１３】ところで、前記酸素ガス分離回収装置で
は、酸素ガスを回収しきれずこれを多く含んだ状態で大
気中に放出しても環境的に何ら問題がない。したがって
酸素ガスの回収率はそれ程問題にされることがない。こ
の点で酸素ガスの回収装置とＳＦ６ガスの回収装置とは
大きく事情が異なっている。すなわち、環境保護の観点
からＳＦ６ガス回収後に空気中に放出するガス中に含ま
れるＳＦ６ガス量は殆ど零とすべきであり、ＳＦ６ガス
の回収率は極めて重要な問題である。しかも、ＳＦ６ガ
スの回収率を高めるために多量の電気エネルギーを消費
するようでは逆に多量のＣＯ２ガスを排出することにな
り本末転倒である。つまり、経済的側面のみならず環境
的側面からも検討した上で、ＳＦ６ガスの回収効率の向
上を図らなくてはならない。

【００１４】本発明は以上の課題を解決するために提案
されたものであり、その目的は、広範囲のＳＦ６ガス含
有濃度をカバーでき、しかもＳＦ６ガス含有濃度の変動
を抑えつつ、効率良くＳＦ６ガスを回収可能なＳＦ６ガ
ス分離回収装置を提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、自然ガスとＳＦ６ガスとの混合ガスをＳＦ６ガスと
自然ガスとに分離する分離装置と、前記ＳＦ６ガスを液
化する液化装置と、液化されたＳＦ６を保管するＳＦ６
タンクと、前記自然ガスを大気に放出する放気装置とが
設けられたＳＦ６ガス分離回収装置において、次のよう
な技術的な特徴を有している。

【００１６】請求項１の発明は、前記分離装置は複数系
統設けられ、各分離装置にはＳＦ６ガスを吸着しにくく
自然ガスを吸着する吸着筒が接続され、前記液化装置
と、前記放気装置とは、別系統の前記分離装置に接続さ
れたことを特徴とするものである。

【００１７】このような請求項１の発明によれば、複数
系統の分離装置を有するため、装置全体として処理でき
る混合ガス中のＳＦ６ガス含有濃度に幅を持たせること
ができる。また、別系統である液化装置側の分離装置と
放気装置側の分離装置とは、それぞれ独立した動作シー
ケンスをとることができる。したがって、効率良くＳＦ
６ガスを回収することができる。

【００１８】ところで、混合ガスの分離装置に、自然ガ
スを吸着する吸着筒だけではなく、ＳＦ６ガスを吸着す
る吸着筒を接続することも考えられる。しかし、このよ
うな吸着筒を採用した場合、ＳＦ６ガスが吸着筒に極め
て強く結びついてしまい、強力な真空ポンプを使用した
り、吸着筒を加熱しなければＳＦ６ガスを十分に回収す
ることができないことが発明者らに実験によって明らか
となった。このような操作は余計な電力を必要とするば
かりか、処理に要する時間が長くなる。請求項１の発明
では、自然ガスを吸着する吸着筒だけを利用しているた
め、このような不具合が生じる心配がないという効果も
ある。

【００１９】請求項２の発明は、請求項１記載のＳＦ６
ガス分離回収装置において、前記各分離装置は、取り扱
う混合ガス中の最適ＳＦ６ガス含有濃度もしくはその範
囲が定められたことを特徴としている。

【００２０】このような請求項２の発明によれば、混合
ガスのＳＦ６ガス含有濃度に応じて分離装置を選択し、
そこに混合ガスを流すことができる。そのため、系統単
位ではＳＦ６ガス含有濃度の変動は小さくなり、混合ガ
スの分離効率およびＳＦ６ガスの回収率が向上する。

【００２１】請求項３の発明は、請求項２記載のＳＦ６
ガス分離回収装置において、前記分離装置にて処理しき
れなかった残留ガスまたは前記ＳＦ６タンク内に残った
残留ガスは、その残留ガス中のＳＦ６ガス含有濃度に対
応する最適ＳＦ６ガス含有濃度もしくはその範囲を持つ
分離装置に導かれるように構成されたことを特徴とす
る。

【００２２】このような請求項３の発明によれば、処理
しきれなかった残留した混合ガスを再び元に戻して処理
するとき、戻す先を、残留ガスのＳＦ６ガス含有濃度に
対応した処理濃度範囲を指定された分離装置としてい
る。そのため、ＳＦ６ガス含有濃度が大きく異なる混合
ガス同士が混ざり合うことがなく、混合ガス中のＳＦ６
ガス含有濃度の変動が大幅に低減する。したがって、前
記請求項２記載の発明と同様、混合ガスの分離効率およ
びＳＦ６ガスの回収率が向上する。

【００２３】請求項４の発明は、請求項１、２または３
記載のＳＦ６ガス分離回収装置において、前記液化装置
に接続された前記分離装置には各系統の中でＳＦ６ガス
含有濃度の最も高い混合ガスが導かれ、前記放気装置に
接続された前記分離装置には各系統の中でＳＦ６ガス含
有濃度の最も低い混合ガスが導かれるように構成された
ことを特徴としている。

【００２４】このような請求項４の発明によれば、液化
装置側の分離装置にＳＦ６ガス含有濃度の最も高い混合
ガスを導いてＳＦ６ガスの回収率を高めると同時に、放
気装置側の分離装置にＳＦ６ガス含有濃度の最も低い混
合ガスＳＦ６を導いて大気に放出するＳＦ６ガス量を低
く抑えることができる。

【００２５】請求項５の発明は、請求項１、２、３また
は４記載のＳＦ６ガス分離回収装置において、前記各分
離装置には、最適ＳＦ６ガス含有濃度もしくはその範囲
を表示する表示部が設けられ、この表示部の近傍にガス
配管接続端子が設置されたことを特徴とする。

【００２６】このような請求項５の発明によれば、分離
装置にそれぞれの系統で処理する最適なＳＦ６ガス含有
濃度もしくはその範囲を表示し、この表示場所の近くに
ガス配管接続端子を設置しておくことで、使用者はガス
配管の接続作業を行う際、必ずこの表示を目にして分離
装置の最適ＳＦ６ガス含有濃度範囲を認識することにな
る。これにより、範囲外の濃度を有する混合ガスを分離
装置に流して多量のＳＦ６ガスを大気に放出する危険性
を無くすことができ、環境に適したＳＦ６ガス処理が可
能となる。

【００２７】請求項６の発明は、請求項１、２、３、４
または５記載のＳＦ６ガス分離回収装置において、自然
ガスからなるパージガスを充填したパージガスタンクが
設けられ、前記放気装置が自然ガスの放出過程に入る直
前に前記パージガスタンクから前記吸着筒に前記パージ
ガスを入れてこの吸着筒に残留するＳＦ６ガスを追い出
すように構成されたことを特徴とする。

【００２８】このような請求項６の発明によれば、吸着
された自然ガスを大気に放出する前に、パージガスタン
クからパージガスを吸着筒に吹き込むことによって吸着
筒に残留しているＳＦ６ガスを追い出し、この後で吸着
されたガスを大気に放出することによって、大気に放出
する自然ガス中に残留するＳＦ６ガス量を減らして環境
に適したＳＦ６ガス処理を可能としている。

【００２９】請求項７の発明は、請求項６記載のＳＦ６
ガス分離回収装置において、前記放気装置が自然ガスの
放出過程に入る直前にこの自然ガスの一部を圧縮して前
記パージガスタンクに収納、保存するように構成された
ことを特徴とする。

【００３０】このような請求項７の発明によれば、混合
ガス中の自然ガスをパージガスとすることができ、特別
なガスを用意する必要はない。したがって、ガス処理中
にパージガスが空になるようなことはなく、常に安定し
た動作を確保することができる。

【００３１】請求項８の発明は、請求項６または７記載
のＳＦ６ガス分離回収装置において、前記放気装置には
２本の吸着筒が接続され、一方の吸着筒が自然ガスの吸
着過程にある時、他方の吸着筒は自然ガスの放出過程と
なり、一方の吸着筒が自然ガスの吸着過程を終了し放出
過程に入る直前に、この吸着過程を終了した吸着筒内に
前記パージガスを入れて該吸着筒内からガスを追い出し
他方の吸着筒に移すように構成されたことを特徴とす
る。

【００３２】このような請求項８の発明によれば、パー
ジガスにより吸着筒から追い出されたガスと、追い出さ
れたガスが流入した先の吸着筒に送り込まれるガスと
は、共にＳＦ６含有濃度が低く、両ガスが混ざり合って
もＳＦ６含有濃度は変動することがない。しかも、パー
ジガスが注入された方の吸着筒が吸着過程の終了直前で
あるということは、追い出されたガスが流入した先の吸
着筒は放出過程の終了直前であり、その内部が真空に近
い状態になっている。そのため、各過程の繰返し毎に同
一の条件にてパージガスを吸着筒に確実に注入すること
ができる。

【００３３】

【発明の実施の形態】（１）第１の実施の形態…請求項
１〜４対応／図１参照 ［構成］第１の実施の形態は請求項１〜４に対応するも
のであり、図１は第１の実施の形態の構成図である。こ
こでは、図５および図６に示した従来例と同一構成要素
については同一記号を付して説明を省略する。

【００３４】第１の実施の形態の特徴は、３系統の分離
装置Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３が設けられ、各分離装置Ｓ１，Ｓ
２，Ｓ３に自然ガスを吸着する吸着筒４１，４２，４３
が接続された点にある。また、液化装置であるコンプレ
ッサ２および熱交換器６は分離装置Ｓ１に接続され、放
気装置１４は分離装置Ｓ３に接続されている。

【００３５】各吸着筒４１，４２，４３には、回収しよ
うとしているＳＦ６ガスを吸着せず、混合ガス中の自然
ガスだけを吸着する吸着剤、例えば細孔の大きさが５オ
ングストローム型の合成ゼオライトが充填されている。
合成ゼオライトとは、含水アルミノケイ酸塩鉱物群の総
称で、一般式ＭｅＯ・Ａｌ_２Ｏ_３・ｍＳｉＯ_２・ｎＨ _２
０で示される。結晶構造中に金属陽イオンを包蔵し、こ
れが極性基を静電気的に引き付けたり、分極性分子を分
極して引き付ける作用を示して吸着するもので、中性分
子の吸着に有利である。また、分極による吸着の他に合
成ゼオライトはその表面に均一な細孔を有しており、こ
の細孔よりも小さい分子のみが孔路を通って、空洞の内
部に吸着することができるため、優れた選択吸着性（分
子篩効果）を持っている。

【００３６】吸着筒４１，４２，４３には、ガスバルブ
３１ａ，３２ａ，３３ａを介してバッファタンク５１，
５２，５３がそれぞれ接続されている。一方、吸着筒４
１，４２，４３の他端部には、おのおのガスバルブ３１
ｂ，３２ｂ，３３ｂがガス配管にて接続され、また、吸
着筒４１，４２，４３とガスバルブ３１ａ，３２ａ，３
３ａを結ぶガス配管には分岐部が設けられ、別のガスバ
ルブ３１ｃ，３２ｃ，３３ｃが接続されている。このよ
うに、吸着筒４１を中心としてバッファタンク５１とガ
スバルブ３１ａ，３１ｂ，３１ｃとから分離装置Ｓ１が
構成される。また、吸着筒４２を中心としてバッファタ
ンク５２とガスバルブ３２ａ，３２ｂ，３２ｃとから分
離装置Ｓ２が構成される。さらに吸着筒４３を中心とし
てバッファタンク５３とガスバルブ３３ａ，３３ｂ，３
３ｃとから分離装置Ｓ３が構成される。

【００３７】バッファタンク５１，５２，５３にはそれ
ぞれガス配管接続端子６１，６２，６３が接続されてい
る。また、フィルタ１０にはガス配管接続端子６０が接
続されている。そして、ガス配管接続端子６０と前述の
ガス配管接続端子６１，６２，６３のどれか一個とがフ
レクシブルガス配管７０により接続される。この接続に
よりガス絶縁機器１からの処理すべき混合ガスはガス配
管７０を通って３系統の中のどれか一個の分離装置Ｓ
１，Ｓ２，Ｓ３を構成するバッファタンク５１，５２，
５３に移される。

【００３８】分離装置Ｓ１において、ガスバルブ３１ｂ
はコンプレッサ２に接続されている。また、熱交換器６
とＳＦ６タンク７を接続するガス配管には分岐部が設け
られ、ガスバルブ３１ｄが設けられている。このガスバ
ルブ３１ｄはバッファタンク５１に接続されている。ま
た、ガスバルブ３１ｃは真空ポンプ９１を介してバッフ
ァタンク５２に接続される。

【００３９】分離装置Ｓ２において、ガスバルブ３２ｂ
はバッファタンク５１に接続される。また、ガスバルブ
３２ｃは真空ポンプ９２を介してバッファタンク５３に
接続される。分離装置Ｓ３において、ガスバルブ３３ｂ
はバッファタンク５２に接続される。また、ガスバルブ
３３ｃは真空ポンプ９３を介して放気装置１４に接続さ
れている。

【００４０】［作用］以上説明した第１の実施の形態の
作用を、装置内のガスの流れを追って説明する。装置全
体としては、吸着された自然ガスは放気装置１４から大
気に放出され、吸着されなかったＳＦ６ガスは圧縮され
液化されてＳＦ６タンク７に保存されることになる。

【００４１】今後は、フレクシブルガス配管７０によっ
てガス配管接続端子６０と６３が結ばれたものとして説
明する。ガス絶縁圧機器１の処理しようとしている混合
ガスは、圧力が高いときは減圧バルブ１１を通して、ま
た、回収が進み圧力が低くなったときは真空ポンプ９も
しくは図１には図示されていないコンプレッサによっ
て、フレクシブルガス配管７０を通ってバッファタンク
５３に移される。

【００４２】吸着筒４３の吸着過程では、ガスバルブ３
３ａを開とし、ガスバルブ３３ｂ，３３ｃは閉として、
所定のガス圧まで、処理すべきガスはバッファタンク５
３から吸着筒４３に移される。吸着筒４３では吸着剤の
働きにより自然ガスを吸着する。吸着筒４３内のガス圧
が所定の値に達したところで、ガスバルブ３３ａを閉じ
ガスバルブ３３ｂを開くことで分離されたＳＦ６ガスを
回収する過程に入る。回収されたＳＦ６ガスはバッファ
タンク５２に移される。回収過程の結果、圧力が下が
り、この圧力がある値となったときにガスバルブ３３ｂ
を閉じ、これで吸着筒４３における吸着／回収過程は終
了する。

【００４３】その後、真空ポンプ９３を動作させガスバ
ルブ３３ｃを開とすることで、吸着筒４３にて吸着され
た自然ガスを大気に放出する過程に入る。吸着筒４３に
て吸着された自然ガスは、ガスバルブ３３ｃ、真空ポン
プ９３および放気装置１４を通って大気に放出される。
このとき。吸着筒４３に充填されている吸着剤の立場か
ら見れば、吸着していた分子を脱着し再び吸着できるよ
うにする再生過程といえる。そこでこの過程を脱着／再
生過程と呼ぶことにする。吸着筒４３にて吸着した自然
ガスを十分に脱着した後、ガスバルブ３３ｃを閉じガス
バルブ３３ａを開くことで再び吸着／回収過程に入る。
このような吸着／回収過程と脱着／再生過程とを周期的
に繰り返す。

【００４４】吸着筒４３が繰り返す各過程のシーケンス
については、他の吸着筒４１，４２のシーケンスに比べ
て、１回の吸着過程でバッファタンク５３から吸着筒４
３に注入するガス量を多くする、もしくはＳＦ６ガスを
回収する過程のガス量を多くする、もしくはこの両者を
同時に実施するシーケンスを組む。このシーケンスは、
バッファタンク５３から吸着筒４３へのガスの送り込み
を停止するガス圧を高くすることや、分離されたＳＦ６
ガスを回収する過程を終了するガス圧（吸着／回収過程
を終了するガス圧）を低くすること、または、これらの
過程を複数回繰り返すことによって達成される。

【００４５】吸着筒４３から回収されバッファタンク５
２に移されたガスは、吸着筒４２により処理される。た
だし、吸着筒４２にて吸着されなかったガスは、ガスバ
ルブ３２ｂを通してバッファタンク５１に移される。一
方、吸着筒４２にて吸着された自然ガスは真空ポンプ９
２もしくは図１には図示されていないコンプレッサによ
ってバッファタンク５３に移される。

【００４６】吸着筒４２から回収されバッファタンク５
１に移されたガスは、吸着筒４１により処理される。た
だし、吸着筒４１にて吸着されなかったガスは、ガスバ
ルブ３１ｂを通してコンプレッサ２に入りここで加圧さ
れ、熱交換器６で冷却され液化された後、ＳＦ６タンク
７に移される。このＳＦ６タンク７の上部には液化され
なかったガスが残留するが、ＳＦ６タンク７のガス圧が
一定値以上となったとき、ガスバルブ３１ｄは開となり
残留ガスはバッファタンク５１に移される。一方、吸着
筒４１にて吸着された自然ガスはガスバルブ３１ｃおよ
び真空ポンプ９２もしくは図１には図示されていないコ
ンプレッサによってバッファタンク５２に移される。

【００４７】吸着筒４１が繰り返す各過程のシークエン
スについては、他の吸着筒４２，４３のシークエンスに
比べて、１回の吸着過程で吸着筒４１に注入するガス量
を少なくする、もしくはＳＦ６ガスを回収する過程のガ
ス量を少なくする、もしくはこの両者を同時に実施する
シーケンスを組む。このシーケンスは、バッファタンク
５１から吸着筒４１へのガスの送り込みを停止するガス
圧を低くすることや、分離されたＳＦ６ガスを回収する
過程を終了するガス圧（吸着／回収過程を終了するガス
圧）を高くすることによって達成される。

【００４８】つぎに、各バッファタンク５１，５２，５
３に送り込まれる混合ガスについてＳＦ６ガス含有濃度
に注目して説明する。バッファタンク５１へは、吸着筒
４２で吸着されなかったガスと、ＳＦ６タンク７の残留
ガスが送り込まれる。両混合ガスはともに高いＳＦ６ガ
ス含有濃度を有している。したがって、吸着筒４１で吸
着されなかったガスは極めて高いＳＦ６含有濃度とな
る。また、吸着筒４１で吸着された自然ガスは再びバッ
ファタンク５２に移された後、吸着筒４２にて処理され
るため、この自然ガス中に残留するＳＦ６ガス量はそれ
ほど注目する必要はない。

【００４９】つまり、吸着筒４１を含む分離装置Ｓ１の
動作は、吸着筒４１にて吸着されなかったガスのＳＦ６
ガス含有濃度を高くすることのみに主眼を置いたシーケ
ンスとすることができる。すなわち、１回の吸着過程で
バッファタンク５１から吸着筒４１に注入するガス量を
少なくする、もしくは／かつ、回収するガス量を少なく
するシーケンスが適している。このシーケンスの採用に
より、ＳＦ６ガス含有濃度を高めることができる。

【００５０】バッファタンク５２へは、吸着筒４２で吸
着された自然ガスと吸着筒４３で吸着されなかった回収
ガスが送り込まれることになる。前者はバッファタンク
５１内のガスよりＳＦ６ガス含有濃度が低いことは明ら
かである。一方、吸着筒４３の動作は、吸着された自然
ガス中のＳＦ６ガス残留量を低くすることに主眼を置い
たシーケンス、すなわち、１回の吸着過程で注入するガ
ス量を多くする、もしくは／かつ、回収するガス量を多
くするシーケンスとしていることから、吸着されなかっ
たガス中のＳＦ６ガス含有濃度も低くなり、後者につい
てもバッファタンク５１のガスよりＳＦ６ガス含有濃度
が低いガスとなる。したがって、バッファタンク５２に
送り込まれる２種類の混合ガスについても、ＳＦ６ガス
含有濃度は同程度の値であることが分かる。

【００５１】一方、バッファタンク５３に送り込まれる
ガスは、吸着筒４２で吸着された自然ガスであることか
ら、バッファタンク５２のガスよりＳＦ６ガス含有濃度
の低いガスであることは明らかである。今、ガス絶縁機
器１から回収しようとしている混合ガスをバッファタン
ク５３に送り込むことを仮定していることは、この混合
ガス中のＳＦ６含有濃度が吸着筒４２で吸着された後、
バッファタンク５３に送り込まれるガスのＳＦ６含有濃
度と同程度であることを仮定していることに他ならな
い。

【００５２】このように、バッファタンク５３に送り込
まれるガスはバッファタンク５１，５２，５３へのガス
としては最も低いＳＦ６含有濃度のガスであると同時
に、この混合ガスを分離する吸着筒４３のシーケンスが
ＳＦ６含有濃度を低くする方向にシフトさせたものであ
る。このことから、真空ポンプ９３および放気装置１４
により大気に放出される自然ガス中のＳＦ６ガス残留量
は極めて低くなる。

【００５３】［効果］通常、処理すべき混合ガスのガス
送出手段、具体的には真空ポンプ９，９１，９２や図１
には図示されていないコンプレッサ類の発生圧力は数気
圧程度のガス圧で十分である。これに対し、ＳＦ６ガス
を液化するためのコンプレッサ２は純粋なＳＦ６ガスと
いえども常温で２０気圧以上の圧力が必要となる。しか
も、窒素ガス量が増えてＳＦ６ガスの純度が低下する
と、コンプレッサ２に要求される圧力は上昇する。した
がって、コンプレッサ２が必要とする電力は、前記ガス
送出手段よりも各段に大きいものとなる。ここで、必要
圧力が上昇すると、圧縮に必要な電力は圧力の上昇分以
上の増加となる。すなわち、ガス送出手段の動作効率を
ある程度犠牲にしてもコンプレッサ２の動作効率を高め
る方が、全体としての電力の消費を少なくできる。この
ことは、液化装置に流入するガスのＳＦ６ガス含有濃度
を極力高める方が得策であることを意味している。

【００５４】一方、大気に放出する自然ガス中に含まれ
るＳＦ６ガスは地球環境の観点から極力少なくする必要
がある。ＳＦ６ガスの地球温暖化指数は二酸化炭素ガス
の２４０００倍といわれていることから、大気に放出す
るガスにＳＦ６ガスが含まれている時の等価的な電力消
費は、他の機器に必要な電力とは比べものにならないほ
ど大きいといえる。このようなことから、大気に放出す
る自然ガス中のＳＦ６残留量を低くすることを第一と
し、液化装置に取り込まれるガスのＳＦ６ガス含有濃度
を高くすることを第二とし、ガス送出手段の動作効率を
第三とするのが最も得策といえる。

【００５５】第１の実施の形態においては、ＳＦ６ガス
含有濃度の最も低い混合ガスを処理する分離装置Ｓ３に
放気装置１４を接続し、しかもこの分離装置Ｓ３の動作
シーケンスは吸着された自然ガス中のＳＦ６ガス量を低
くすることのみに主眼を置いたので、大気に放出する自
然ガス中のＳＦ６ガス量を大幅に減らして、環境保全に
寄与することができる。

【００５６】また、ＳＦ６ガス含有濃度の最も高い混合
ガスを処理する分離装置Ｓ１にＳＦ６ガスの液化装置を
接続し、しかもこの分離装置Ｓ１の動作シーケンスは分
離回収されたガス中のＳＦ６ガス含有濃度を高くするこ
とのみに主眼を置いたので、液化装置に送り込むガス中
のＳＦ６ガス含有濃度を極めて高くでき、効率的な液化
が可能となる。

【００５７】以上の説明では、ガス絶縁機器１の処理す
べき混合ガスのＳＦ６ガス含有濃度が極めて低いことを
想定してきたが、これよりＳＦ６ガス含有濃度が高い場
合は、フレクシブルガス配管７０によってガス配管接続
端子６０と、ガス配管接続端子６１あるいは６２を結ぶ
ことにより、ガス配管接続端子６１，６２を通して、バ
ッファタンク５１，５２に送り込むこともできる。その
ため、広い範囲のＳＦ６含有濃度の混合ガスに対処でき
る。

【００５８】すなわち、３系統の独立したシーケンスを
有する吸着筒４１〜４３がそれぞれ処理する混合ガス中
の最適ＳＦ６含有濃度を持ち、これら３系統それぞれが
カバーする最適ＳＦ６含有濃度の範囲を合成することで
広い範囲をカバーすることができる。そのため、連動バ
ルブ１２ａ，１２ｂ、減圧バルブ１１、真空ポンプ９、
フィルタ１０から構成される混合ガス取入装置を複数台
用意すれば、例えばガス遮断器と母線など他のガス絶縁
機器では使用する混合ガスのＳＦ６ガス含有濃度が異な
るような場合であっても、両者の混合ガスを一台のＳＦ
６ガス分離回収装置で同時に処理することが可能とな
り、処理に要する時間の短縮化を図ることができる。

【００５９】また、熱力学が教える所によれば、高温の
気体と低温の気体を何の作用も得ないで混ぜ合わせる
と、それだけでエントロピーが増大しエネルギーのロス
となる。このことと同様に、例えばＳＦ６ガス含有率を
せっかく低下させたガスにＳＦ６含有率の高いガスを混
合した場合も、大きなエントロピーの増大が現れ、エネ
ルギーロスにつながる。したがって、ループを循環して
元の出発点に戻る混合ガスの混合比は、出発点の混合比
に極力近いことが望ましい。

【００６０】先にも述べたように第１の実施の形態で
は、閉ループの循環を終えて出発点に戻るガスの混合比
は出発点の混合比に近い、つまりＳＦ６ガス含有濃度の
変動が小さい。したがって、極めて効率的なＳＦ６ガス
の回収が可能となる。また、ガスが閉ループを循環する
回数が増えても、ＳＦ６ガス含有濃度の変動が小さいこ
とは、この系がいつも同じような動作ができることを意
味しており、この点でも有利となる。

【００６１】特に、大気に放出する自然ガス中のＳＦ６
ガス量については、混合ガスのＳＦ６ガス含有濃度のわ
ずかな変化で大きく変動することが発明者らの研究で明
らかとなった。このＳＦ６ガス量の変動は、ＳＦ６ガス
含有濃度が高くなる方向に変化したときに大きくなると
の実験結果を得ている。より具体的には、一系統の吸着
筒のみからなるＳＦ６ガス分離回収装置において、ＳＦ
６ガス含有濃度が高いＳＦ６タンク７内の残留ガスをわ
ずかに吸着筒に戻しただけで、大気に放出する自然ガス
中のＳＦ６ガス量が急に大きくことが分かった。第１の
実施の形態によれば、バッファタンク５３に戻される混
合ガスは、常に同一のＳＦ６含有濃度を有する混合ガス
であることから、このような吸着筒に送られる混合ガス
のＳＦ６含有濃度が変動するといった状況とはならず、
大気に放出する自然ガス中のＳＦ６ガス量が増大するお
それがない。

【００６２】さらには、液化装置を取付けた分離装置Ｓ
１と放気装置１４を取付けた分離装置Ｓ１は独立に動作
できるため、ＳＦ６含有濃度が大きく異なるこれら２装
置が違いに干渉することなく、安定で高効率、しかも環
境にとって有利な動作が可能となる。なお、吸着筒４１
〜４３はいずれも自然ガスを吸着するものであるため、
ＳＦ６ガスが吸着筒４１〜４３に強く結びつく心配がな
く、ＳＦ６ガスを確実且つ容易に回収することができ
る。

【００６３】（２）第２の実施の形態…請求項５対応／
図２参照 ［構成］第２の実施の形態は請求項５に対応するもの
で、図２は第２の実施の形態の側面図である。第２の実
施の形態の基本的な構造は第１の実施の形態と同一であ
るものとして説明を進める。

【００６４】図２に示すように、装置本体２０の側面に
は分離装置Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３のそれぞれが取り扱う混合
ガス中の最適ＳＦ６ガス含有濃度の範囲を表示した表示
部８１，８２，８３が設けられている。表示部８１にて
示すように分離装置Ｓ１の最適ＳＦ６ガス含有濃度の範
囲は２５〜５０％、表示部８２にて示すように分離装置
Ｓ２の最適ＳＦ６ガス含有濃度の範囲は８〜２５％、表
示部８３にて示すように分離装置Ｓ３の最適ＳＦ６ガス
含有濃度の範囲は３〜８％である。これら表示部８１，
８２，８３の下側にガス配管接続端子６１，６２，６３
が設置されている。すでに説明したように、ガス配管接
続端子６１，６２，６３はフレクシブルガス配管７０に
よりガス絶縁機器１からの処理すべき混合ガスを送るガ
ス配管接続端子６０と接続されるものである。

【００６５】［作用］以上の第２の実施の形態において
は、表示部８１，８２，８３により本発明のＳＦ６ガス
分離回収装置がどのようなＳＦ６含有濃度の混合ガスの
処理が可能であるか一見して分かるようにしている。ま
た、ガス絶縁機器１から混合ガスを回収しようとすると
き、作業者にとっては、ガス配管接続端子６０とガス配
管接続端子６１，６２，６３の中のどれかとをフレクシ
ブルガス配管７０で接続するというある程度重い作業を
余儀なくされる。この重い作業を実施する時、作業者は
作業遂行と同時に最適ＳＦ６含有濃度範囲の表示部８
１，８２，８３を目にすることになり、処理すべき混合
ガスのＳＦ６含有濃度を考えるようになる。このように
して、作業者が確実に処理すべき混合ガスのＳＦ６含有
濃度を把握することができ、所定の接続を確実に実行す
ることができる。

【００６６】［効果］一般に、ＳＦ６ガス分離回収装置
に対して処理可能範囲を外れたＳＦ６ガス含有濃度の混
合ガスを送り込んでも、何ら支障を来たさず処理する。
特に、処理可能範囲を超えたＳＦ６含有濃度の高い混合
ガスを処理する場合、ＳＦ６ガスの液化は逆に効率的に
行われるため、これによって装置に異常を来すどころ
か、装置にとっては更に好条件となり、これらの状態は
作業者には感じることができない。ただし、作業者の気
付かないうちに、大気に放出する自然ガス中のＳＦ６ガ
ス残留量が増える可能性がある。

【００６７】ＳＦ６ガス分離回収装置の分離装置Ｓ１〜
Ｓ３を選んでガス絶縁機器１側とつなぐ場合、例えば、
パネルスイッチを操作するだけの極めて単純な作業でこ
れを実施することもできる。しかし、ＳＦ６ガス分離回
収装置とガス絶縁機器１との接続作業があまりに簡単だ
と、作業者にとって確認作業の方が重荷になるため、十
分な確認をしないままスイッチを操作してしまう確率が
高くなり、ＳＦ６ガスが大気に漏れる確率が高くなると
いえる。

【００６８】そこで、第２の実施の形態では、ガス配管
接続端子６０と６１，６２，６３の中のどれかをフレク
シブル配管７０で接続するという、ある程度時間を要す
る作業を実施している。これにより、作業者が確実に処
理すべき混合ガスのＳＦ６ガス含有濃度を把握し、処理
可能範囲外の混合ガスを誤って処理することを回避で
き、ＳＦ６ガスが大気に漏れる確率を最少にすることが
できる。

【００６９】（３）第３の実施の形態…請求項６対応／
図３参照 ［構成］第３の実施の形態は請求項６に対応するもので
あり、図３は第３の実施の形態の構成図である。第３の
実施の形態では、第１の実施の形態とは異なり、分離装
置Ｓ１，Ｓ３の２系統としている。各ＳＦ６分離装置Ｓ
１，Ｓ３にはそれぞれ２個の同一規模の吸着筒４１Ａ，
４１Ｂおよび４３Ａ，４３Ｂが設置されている。

【００７０】また、バッファタンク５３と吸着筒４３
Ａ，４３Ｂを接続しているガス配管には減圧バルブ１１
ｄを介して窒素ガスボンベ１８が接続されている。この
窒素ガスボンベ１８は請求項６でいうところのパージガ
スタンクであり、窒素ガスがパージガスとなる。さら
に、前記ガス配管には、３個のガスバルブ３３ａＡ，３
３ａＢ，３３ｅが設置される。

【００７１】第３の実施の形態では放気装置１４が自然
ガスの放出過程に入る直前に、窒素ガスボンベ１８から
吸着筒４３Ａ，４３Ｂのいずれかにパージガスとして窒
素ガスを入れ、吸着筒４３Ａ，４３Ｂに残留するＳＦ６
ガスを追い出すようになっている。第３の実施の形態は
以上説明した点を特徴としており、他の構成は第１の実
施の形態と同一である。

【００７２】［作用］吸着筒４１Ａ，４１Ｂおよび４３
Ａ，４３Ｂはいずれも吸着／回収過程と脱着／再生過程
を交互に繰返している。したがって、各分離装置におい
て同一規模の吸着筒４１Ａ，４１Ｂおよび４３Ａ，４３
Ｂを２個有する第３の実施の形態では、一方を吸着／回
収過程として動作させ、他方を脱着／再生過程として動
作させることにより、系全体としては定常的な運転が可
能となる。

【００７３】いま、ガスバルブ３３ｅ，３３ａＡを開と
し、吸着筒４３Ａを吸着過程にあるものとすれば、ガス
バルブ３３ｂＡ，３３ｃＡを閉じて、バッファタンク５
３から吸着筒４３Ａに処理すべき混合ガスを送り込む。
この時、吸着筒４３Ｂは脱着／再生過程にあり、ガスバ
ルブ３３ａＢ，３３ｂＢを閉じ、ガスバルブ３３ｃＢを
開として真空ポンプ９３、放気装置１４を通して吸着さ
れた自然ガスが大気に放出される。吸着筒４３Ａの吸着
が十分進行した後、ガスバルブ３３ａＡを閉じガスバル
ブ３３ｂＡを開くことで、吸着されなかったガスを回収
する過程に入り、このガスはバッファタンク５１に移さ
れる。

【００７４】回収過程が終了する直前に、減圧バルブ１
１ｄを開いて窒素ガスボンベ１８からの窒素ガス、つま
りパージガスを吸着筒４３Ａに送り込み、吸着されない
で吸着筒４３Ａ内に残留しているガスをバッファタンク
５１に押し出す。その後、ガスバルブ３３ｂＡおよび減
圧バルブ１１ｄを閉じ、吸着／回収過程を終了する。こ
れと同時にガスバルブ３３ｃＢを閉じて吸着筒４３Ｂの
脱着／再生過程を終了し、吸着筒４３Ａと吸着筒４３Ｂ
の役割を入れ替える。このようにして、２個１組の吸着
筒４３Ａ，４３Ｂを用意し、吸着／回収過程と脱着／再
生過程を交互に入れ替えることで、例えば真空ポンプ９
３を動作させたまま各過程を繰り返すことができるよう
になる。

【００７５】なお、吸着筒４１Ａ，４１Ｂが構成する系
統では、先に述べたような窒素ガスボンベ１８のパージ
ガスによる、吸着されないで残留しているガスの追い出
しは実施しない。また、吸着筒４１Ａもしくは４１Ｂで
吸着されないガスは、コンプレッサ２、熱交換器６等か
ら構成される液化装置に送り込まれる。これ以外は今ま
で述べた吸着筒４３Ａ，４３Ｂが構成する系統の動作と
同じである。

【００７６】第３の実施の形態も、前記第１の実施の形
態と同様に吸着筒４１Ａ，４１Ｂの動作のシーケンスは
吸着されないガス中のＳＦ６含有濃度を高くするため、
１回の吸着過程でバッファタンク５１から吸着筒４１Ａ
もしくは４１Ｂに注入するガス量を少なくする、もしく
は／かつ、回収するガス量を少なくしている。一方、吸
着筒４３Ａ，４３Ｂの動作シーケンスは脱着／再生過程
で大気に放出するガス中のＳＦ６含有濃度を低くするた
め、１回の吸着過程でバッファタンク５３から吸着筒４
３Ａもしくは４３Ｂに注入するガス量を多くする、もし
くは／かつ、回収するガス量を多くしている。

【００７７】次に、各バッファタンク５１，５３に送り
込まれる混合ガスのＳＦ６ガス含有濃度に注目する。バ
ッファタンク５１へは、吸着筒４３Ａもしくは４３Ｂで
吸着されなかったガスと、ＳＦ６タンク７の残留ガスが
送り込まれる。これら２種類のガスのＳＦ６ガス含有濃
度は高く、しかも同様な値となる。一方、バッファタン
ク５３へは吸着筒４１Ａもしくは４１Ｂの脱着／再生過
程で回収される吸着されたガスが送り込まれるため、Ｓ
Ｆ６ガス含有濃度が低い。ガス絶縁機器１の処理すべき
混合ガスのＳＦ６ガス含有濃度によって、この混合ガス
をバッファタンク５１に送るか、バッファタンク５３に
送るかを選ぶことになるのは第１の実施の形態と同一で
ある。

【００７８】［効果］以上のように、２個１組の吸着筒
を用意し吸着／回収過程と脱着／再生過程を交互に繰返
すことにより、系全体としては定常的な運転が可能とな
る。一般的に、真空ポンプやコンプレッサを始動する時
には大きな電力を必要とするが、本実施例によればこれ
らの機器は停止することなく常に定常的な運転が可能で
あり、電力の節約およびＳＦ６ガス回収の効率が向上す
る。

【００７９】また、第３の実施の形態によれば、窒素ガ
スボンベ１８のパージガスによって吸着筒４３Ａもしく
は４３Ｂ内に吸着されないで充満しているＳＦ６ガスを
効率よく置換えることができ、大気に放出する自然ガス
中のＳＦ６ガス量を極めて低くすることが可能となる。
さらに、第１の実施の形態と同じく、各バッファタンク
５１，５３に送り込まれる混合ガスは同様なＳＦ６ガス
含有濃度を持つ混合ガスであることから、これらのガス
の混合によるエントロピーの増大がなく、効率的な動作
が実現できる。と同時に、各吸着筒４１Ａ，４１Ｂ，４
３Ａ，４３Ｂが処理すべき混合ガスのＳＦ６含有濃度の
変動が少なく、動作の安定化を図ることができる。

【００８０】（４）第４の実施の形態…請求項７，８対
応／図４参照 第４の実施の形態は請求項７，８に対応しており、図４
は第４の実施の形態の構成図である。第４の実施の形態
においてすでに述べた第１及び第３の実施の形態と同一
部分については同一記号を付し説明は省略する。

【００８１】第４の実施の形態では第３の実施の形態の
窒素ガスボンベ１８に代えてパージガスタンク８が設置
されている。すなわち、バッファタンク５３と吸着筒４
３Ａ，４３Ｂを接続しているガス配管にガスバルブ３３
ｄを介してパージガスタンク８が接続されている。

【００８２】パージガスタンク８にはガスバルブ３３ｆ
およびコンプレッサ２４が接続されている。これらガス
バルブ３３ｆおよびコンプレッサ２４は吸着筒４３Ａ，
４３Ｂと真空ポンプ９３を接続するガス配管に接続され
ている。そして、放気装置１４が自然ガスの放出過程に
入る直前にこの自然ガスの一部を圧縮してパージガスタ
ンク８に収納、保存するように構成されている。さら
に、吸着筒４３Ａ，４３Ｂで吸着されないガスをバッフ
ァタンク５１へ送り出す２本のガス配管は定圧ガスバル
ブ３４により結ばれている。

【００８３】また、２本の吸着筒４３Ａ，４３Ｂは次の
ように構成されている。すなわち、一方の吸着筒４３
Ａ，４３Ｂが自然ガスの吸着過程にある時、他方の吸着
筒４３Ａ，４３Ｂは自然ガスの放出過程となり、一方の
吸着筒４３Ａ，４３Ｂが自然ガスの吸着過程を終了し放
出過程に入る直前に、この吸着過程を終了した吸着筒４
３Ａ，４３Ｂ内に前記パージガスタンク８からパージガ
スを入れて該吸着筒４３Ａ，４３Ｂ内からガスを追い出
し他方の吸着筒４３Ａ，４３Ｂに移すようになってい
る。

【００８４】［作用］以上の構成を有する第４の実施の
形態では、吸着筒４３Ｂが脱着／再生過程に入る直前、
すなわち、ガスバルブ３３ａＢ，３３ｂＢは閉じ、ガス
バルブ３３ｃＢを開いて真空ポンプ９３および放気装置
１４を通して吸着された自然ガスを大気に放出する過程
を開始する直前に、ガスバルブ３３ｆを開きコンプレッ
サ２４により、吸着された自然ガスの一部をパージガス
タンク８に圧縮して収納、保存する。パージガスタンク
８がある一定の圧力に到達した時にガスバルブ３３ｆを
閉じる。

【００８５】一方、ガスバルブ３３ｃＢは開のままで、
真空ポンプ９３は動作を続け吸着筒４３Ｂの吸着ガスを
大気に放出する。十分に脱着／再生が進行した時点でガ
スバルブ３３ｃＢを閉じ脱着／再生過程を終了する。こ
れと同時に、対の吸着筒４３Ａはガスバルブ３３ｅ，３
３ｂＡを閉じて吸着／回収課程を終了する。

【００８６】このとき、ガスバルブ３３ｄ、およびガス
圧がある一定値以上となった時に開状態となる定圧ガス
バルブ３４を開くことで、先に圧縮保存されたパージガ
スタンク８のガスを吸着筒４３Ａに送り込み、吸着され
ないで吸着筒４３Ａ内に残留しているガスを脱着／再生
過程が終了した対の吸着筒４３Ｂに押し出す。定圧ガス
バルブ３４を用いることにより、吸着筒４３Ａ内のガス
圧は大きく変動することなく、ほぼ一定に保つことがで
きる。十分な量のガスを押し出した後、ガスバルブ３３
ａＡ，３３ｄおよび定圧ガスバルブ３４を閉じて吸着筒
４３Ａと４３Ｂの役割を入れ替える。ここで吸着筒４３
Ａは脱着／再生過程に入るが、吸着筒４３Ａに吸着され
た自然ガスは、同様な手続きでパージガスタンク８に再
び圧縮保存される。

【００８７】［効果］第４の実施の形態では、パージガ
スとして、処理すべき混合ガスに含まれている自然ガス
の一部を利用しており、特別なガスを用意する必要はな
い。したがって、現地でのガス処理中にパージガスタン
ク８が空になるようなことはなく、常に安定した動作を
確保することができる。このことは、ＳＦ６ガス回収作
業において、ＳＦ６ガスの大気への放出量を極力少なく
する上で極めて重要な要素といえる。

【００８８】なぜならば、この様な作業では人為的な要
素がかなり強く現れるからである。すなわち、パージガ
スが消費尽くされた後でも本ガス分離回収装置は機能的
な支障なくＳＦ６ガスの回収を継続することができる。
ただし、大気に放出する自然ガス中のＳＦ６ガス残留量
が大きくなるのみである。現地の作業で、パージガスの
予備が手元にない場合、ＳＦ６ガスの残留量が多いまま
ＳＦ６ガスの回収を実施してしまう可能性も存在するこ
とになる。そこで第４の実施の形態を採用することによ
り、このような可能性をなくし、常に安全で環境調和性
に優れた高効率なガス回収が可能となる。

【００８９】ところで、パージガスにより吸着筒４３Ａ
または４３Ｂから追い出されたガスは、通常の吸着／回
収過程により吸着筒４３Ａ，４３Ｂから回収されるガス
に比較してＳＦ６ガス含有濃度は低い。したがって、こ
のガスをバッファタンク５１に送り込むことはバッファ
タンク５１内のＳＦ６含有濃度の高いガスに低いガスが
混ざることになり好ましくない。

【００９０】そこで第４の実施の形態においては、パー
ジガスにより吸着筒４３Ａまたは４３Ｂから追い出され
たガスは、これから吸着／再生過程に入ろうとしている
対の吸着筒４３Ａまたは４３Ｂに移されている。この
後、対の吸着筒４３Ａまたは４３Ｂにはバッファタンク
５３からのＳＦ６含有濃度の低いガスが送り込まれるこ
とになり、パージガスによって追い出されたガスのＳＦ
６含有濃度と同程度である。したがって両ガスが混ざり
合ってもＳＦ６含有濃度はほとんど変動しない。

【００９１】しかも、パージガスが注入された方の吸着
筒４３Ａまたは４３Ｂが吸着過程の終了直前なので、追
い出されたガスが流入した先の吸着筒４３Ａまたは４３
Ｂは放出過程の終了直前である。そのため、吸着筒４３
Ａまたは４３Ｂの内部は真空に近い状態になっている。
したがって、各過程の繰返し毎に同一の条件にてパージ
ガスを吸着筒４３Ａまたは４３Ｂに注入することがで
き、再現性の良い動作が可能となる。

【００９２】また、パージガスを注入する吸着筒４３Ａ
または４３Ｂと、吸着筒４３Ａまたは４３Ｂから追い出
されたガスを移す先の吸着筒４３Ａまたは４３Ｂの内部
圧力の差が大きい。このため、定圧ガスバルブ３４の動
作安定性が高まり、再現性よく、しかも効率的に吸着筒
４３Ａまたは４３Ｂからガスを追い出すことができる。
これにより、ＳＦ６ガスの回収効率を高め、大気に放出
する自然ガス中のＳＦ６ガス残留量をさらに低くするこ
とが可能となる。

【００９３】さらに、第４の実施の形態では、ガス圧が
ある一定値以上となった時に定圧ガスバルブ３４が開状
態となるため、吸着筒４３Ａ，４３Ｂの出口からのガス
流出量を調節して吸着筒４３Ａ，４３Ｂ内のガス圧をあ
る一定値に保つことができる。したがって、パージガス
の流入によりガス圧が高くなった分だけ吸着筒４３Ａ，
４３Ｂ内からガスが逃げていく。この結果、パージガス
や吸着筒４３Ａ，４３Ｂ内の吸着剤に吸着しているガス
と、吸着筒４３Ａ，４３Ｂに充満しているガスとが混ざ
ることなく、吸着筒４３Ａ，４３Ｂに充満しているガス
のみを効率よく追い出すことができる。

【００９４】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、複
数系統の分離装置を有することにより広範囲のＳＦ６ガ
ス含有濃度をカバーでき、別系統である液化装置側の分
離装置と放気装置側の分離装置とが独立した動作シーケ
ンスをとることでＳＦ６ガス含有濃度の変動を抑えつ
つ、効率良くＳＦ６ガスを回収可能なＳＦ６ガス分離回
収装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の構成図。

【図２】本発明の第２の実施の形態の側面図。

【図３】本発明の第３の実施の形態の構成図。

【図４】本発明の第４の実施の形態の構成図。

【図５】従来のガス回収装置の構成図。

【図６】空気から酸素を分離回収する従来の分離回収装
置の構成図。

【符号の説明】

１…ガス絶縁機器 ２，２４…コンプレッサ ３，３１，３２，３３…ガスバルブ ４，４１，４２，４３…吸着筒 ５，５１，５２，５３…バッファタンク ６…熱交換器 ７…ＳＦ６タンク ８…パージガスタンク ９，９１，９２，９３…真空ポンプ １０…フィルタ １１…減圧バルブ １２…連動バルブ １４…放気装置 １７…ガスタンク １８…窒素ガスボンベ ２０…装置本体 ３４…定圧ガスバルブ ６０，６１，６２，６３…ガス配管接続端子 ７０…フレクシブルガス配管 ８１，８２，８３…表示部 Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３…分離装置

フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D012 CA20 CB15 CD01 CD07 CE01 CF05 CH02 CJ01 CJ02 5G017 DD07 5G028 GG05

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 自然ガスとＳＦ６ガスとの混合ガスをＳ
   Ｆ６ガスと自然ガスとに分離する分離装置と、前記ＳＦ
   ６ガスを液化する液化装置と、液化されたＳＦ６を保管
   するＳＦ６タンクと、前記自然ガスを大気に放出する放
   気装置とが設けられたＳＦ６ガス分離回収装置におい
   て、 前記分離装置は複数系統設けられ、 各分離装置にはＳＦ６ガスを吸着しにくく自然ガスを吸
   着する吸着筒が接続され、 前記液化装置と、前記放気装置とは、別系統の前記分離
   装置に接続されたことを特徴とするＳＦ６ガス分離回収
   装置。
2. 【請求項２】 前記各分離装置は、取り扱う混合ガス中
   の最適ＳＦ６ガス含有濃度もしくはその範囲が定められ
   たことを特徴とする請求項１記載のＳＦ６ガス分離回収
   装置。
3. 【請求項３】 前記分離装置にて処理しきれなかった残
   留ガスまたは前記ＳＦ６タンク内に残った残留ガスは、
   その残留ガス中のＳＦ６ガス含有濃度に対応する最適Ｓ
   Ｆ６ガス含有濃度もしくはその範囲を持つ分離装置に導
   かれるように構成されたことを特徴とする請求項２記載
   のＳＦ６ガス分離回収装置。
4. 【請求項４】 前記液化装置に接続された前記分離装置
   には各系統の中でＳＦ６ガス含有濃度の最も高い混合ガ
   スが導かれ、 前記放気装置に接続された前記分離装置には各系統の中
   でＳＦ６ガス含有濃度の最も低い混合ガスが導かれるよ
   うに構成されたことを特徴とする請求項１、２または３
   記載のＳＦ６ガス分離回収装置。
5. 【請求項５】 前記各分離装置には、最適ＳＦ６ガス含
   有濃度もしくはその範囲を表示する表示部が設けられ、 この表示部の近傍にガス配管接続端子が設置されたこと
   を特徴とする請求項１、２、３または４記載のＳＦ６ガ
   ス分離回収装置。
6. 【請求項６】 自然ガスからなるパージガスを充填した
   パージガスタンクが設けられ、 前記放気装置が自然ガスの放出過程に入る直前に前記パ
   ージガスタンクから前記吸着筒に前記パージガスを入れ
   てこの吸着筒に残留するＳＦ６ガスを追い出すように構
   成されたことを特徴とする請求項１、２、３、４または
   ５記載のＳＦ６ガス分離回収装置。
7. 【請求項７】 前記放気装置が自然ガスの放出過程に入
   る直前にこの自然ガスの一部を圧縮して前記パージガス
   タンクに収納、保存するように構成されたことを特徴と
   する請求項６記載のＳＦ６ガス分離回収装置。
8. 【請求項８】 前記放気装置には２本の吸着筒が接続さ
   れ、 一方の吸着筒が自然ガスの吸着過程にある時、他方の吸
   着筒は自然ガスの放出過程となり、一方の吸着筒が自然
   ガスの吸着過程を終了し放出過程に入る直前に、この吸
   着過程を終了した吸着筒内に前記パージガスを入れて該
   吸着筒内からガスを追い出し他方の吸着筒に移すように
   構成されたことを特徴とする請求項６または７記載のＳ
   Ｆ６ガス分離回収装置。