KR100845316B1 - 폐헬륨가스의 회수 및 재생 방법과 장치 - Google Patents
폐헬륨가스의 회수 및 재생 방법과 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100845316B1 KR100845316B1 KR1020060084023A KR20060084023A KR100845316B1 KR 100845316 B1 KR100845316 B1 KR 100845316B1 KR 1020060084023 A KR1020060084023 A KR 1020060084023A KR 20060084023 A KR20060084023 A KR 20060084023A KR 100845316 B1 KR100845316 B1 KR 100845316B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- helium
- gas
- waste
- helium gas
- nitrogen
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
- B01D61/58—Multistep processes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B23/00—Noble gases; Compounds thereof
- C01B23/001—Purification or separation processes of noble gases
- C01B23/0036—Physical processing only
- C01B23/0042—Physical processing only by making use of membranes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B23/00—Noble gases; Compounds thereof
- C01B23/001—Purification or separation processes of noble gases
- C01B23/0036—Physical processing only
- C01B23/0052—Physical processing only by adsorption in solids
- C01B23/0057—Physical processing only by adsorption in solids characterised by the adsorbent
- C01B23/0063—Carbon based materials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2256/00—Main component in the product gas stream after treatment
- B01D2256/18—Noble gases
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2257/00—Components to be removed
- B01D2257/10—Single element gases other than halogens
- B01D2257/102—Nitrogen
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2257/00—Components to be removed
- B01D2257/10—Single element gases other than halogens
- B01D2257/104—Oxygen
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2210/00—Purification or separation of specific gases
- C01B2210/0001—Separation or purification processing
- C01B2210/0009—Physical processing
- C01B2210/001—Physical processing by making use of membranes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2210/00—Purification or separation of specific gases
- C01B2210/0001—Separation or purification processing
- C01B2210/0009—Physical processing
- C01B2210/0014—Physical processing by adsorption in solids
- C01B2210/0015—Physical processing by adsorption in solids characterised by the adsorbent
- C01B2210/0017—Carbon-based materials
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2210/00—Purification or separation of specific gases
- C01B2210/0029—Obtaining noble gases
- C01B2210/0031—Helium
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Water Supply & Treatment (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
Description
Claims (7)
- 공정에서 사용된 헬륨가스가 소량 포함된 폐헬륨가스를 헬륨농도를 높인 헬륨부화가스로 만드는 폐헬륨가스를 회수하는 방법으로서,사용된 후 배기라인을 통하여 배기되는 폐헬륨가스(1)를 진공흡입하여 압축하고 1단 막분리장치를 통과시켜 헬륨농도를 높인 제1헬륨부화스트림(2)을 얻는 1단 막분리공정과,상기 제1헬륨부화스트림(2)을 2단막분리장치를 통과시켜서 헬륨의 농도를 제1헬륨부화스트림(2)보다 높인 제2헬륨부화스트림(3)을 얻는 2단 막분리공정을 포함하는 폐헬륨가스의 회수 및 재생 방법.
- 청구항 1에 있어서,상기 1단 막분리공정에서 1단막분리장치의 분리막을 투과하지 못한 질소스트림을 한번 더 막분리장치를 통과시켜 헬륨의 농도를 높인 제3헬륨부화스트림(3')을 얻는 추가막분리공정과,상기 추가막분리공정으로부터의 얻은 제3헬륨부화스트림(3')과 상기 제2헬륨부화스트림(3)을 합한 헬륨부화가스(4)를 이송 또는 운송용 튜브트레일러에 저장하는 이송공정을 추가로 포함하는 것이 특징인 폐헬륨가스의 회수 및 재생 방법.
- 청구항 2에 있어서,이송된 상기 헬륨부화가스(4)를 압력변동흡착방식으로 잔여질소를 제거하는 잔여질소제거공정과,상기 잔여질소제거공정을 거친 상기 폐헬륨부화가스를 수소와 반응시켜서 산소를 제거하는 산소제거공정과,상기 산소제거공정을 거친 상기 폐헬륨부화가스에 남아 있는 불순을 제거하기 위하여, 저온흡탈착기를 통과시켜서 불순물이 제거된 고순도 헬륨가스를 얻는 불순물 제거공정을 추가로 포함하는 것이 특징인 폐헬륨가스의 회수 및 재생 방법.
- 청구항 3에 있어서, 상기 불순물 제거공정에서,상기 폐헬륨부화가스를 상기 저온흡탈착기에 통과시켜서 불순물을 흡착시킨 후, 저온흡탈착기를 가열하는 흡착제 가열용 가온코일에 가온된 질소가스를 흘려서 흡착제를 가열하고, 또상기 저온흡탈착기와 상기 가온코일이 설치된 저온흡탈착기 내통과 내통 외부에 설치된 외통과의 사이에 가온된 질소가스를 흘려서 내통과 외통을 가열함으로써 흡착제를 가열하는 것이 특징인 폐헬륨가스의 회수 및 재생 방법.
- 헬륨가스가 혼합된 폐헬륨가스를 수집하여 고순도 헬륨가스를 얻기 위하여 폐헬륨가스 회수장치, 잔여 질소 제거장치, 산소 제거 장치, 불순물 제거 장치와 저온흡탈착기 재생용 가온장치를 포함하는 폐헬륨가스의 회수 및 재생 장치에 있어서, 상기 불순물제거장치가:내부에 액화질소를 소정의 레벨로 유지하는 액화질소용기와,상기 액화질소용기 내 액화질소에 외부가 노출되고 액화질소에 대하여 밀폐되고 가스의 인입구와 인출구가 형성된 외함과,상기 외함 내에 일정한 간격을 두고 설치되고, 가스의 인입구와 인출구가 형성된 밀폐된 내함과,상기 내함 내부에 설치된 분자체와 활성탄소와,상기 내함 내부에 설치된 가열용 코일을 포함하여 이루어지고,상기 가열용 코일에서 발생되는 열과 상기 외함과 내함 사이 공간에 흐르는 기체에 의한 열에 의하여 상기 분자체와 활성탄소가 가온되어 흡착된 물질이 탈착하게 되는 것이 특징인 폐헬륨가스의 회수 및 재생 장치.
- 헬륨가스가 혼합된 폐헬륨가스를 수집하여 고순도 헬륨가스를 얻기 위하여 폐헬륨가스 회수장치, 잔여 질소 제거장치, 산소 제거 장치, 불순물 제거 장치와 저온흡탈착기 재생용 가온장치를 포함하는 폐헬륨가스의 회수 및 재생 장치에 있어서, 상기 폐헬륨가스 회수장치가:배기라인의 폐헬륨가스를 뽑아내는 제1진공펌프와,상기 제1진공펌프의 출구에서 인출되는 폐헬륨가스를 압축하는 제1압축기와,상기 제1압축기에서 압축된 폐헬륨가스에서 질소가스를 통과를 막아서 얻은 제1헬륨부화스트림(2)을 내보내는 1단 막분리장치와,상기 1단 막분리장치에서 질소가스와 분리되어 인출되는 제1헬륨부화스트림(2)을 진공으로 흡입하기 위한 제2진공펌프와,상기 제2진공펌프의 가스 출구에 연결된 제2압축기와,상기 제2압축기에 의하여 압출되는 가스가 인입되는 2단 막분리장치와,상기 2단 막분리장치에서 인출되는 제2헬륨부화가스(3)을 압축하는 충전용압축기를 포함하여 이루어지는 폐헬륨가스의 회수 및 재생 장치.
- 청구항 6에 있어서,상기 폐헬륨가스 회수장치가:상기 1단 막분리장치에서 제1헬륨부화스트림(2)으로 인출되지 못한 폐헬륨가스에서 질소가스를 통과를 막고 제3헬륨부화스트림(3')을 내보내는 추가막분리장치를 추가하고,상기 충전용압축기가 상기 추가막분리장치에서 인출되는 제3헬륨부화스트림(3')과 상기 2단 막분리장치에서 인출되는 제2헬륨부화가스(3)을 합한 헬륨부화가스(4)를 압축하도록 하는 것이 특징인 폐헬륨가스의 회수 및 재생 장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060084023A KR100845316B1 (ko) | 2006-09-01 | 2006-09-01 | 폐헬륨가스의 회수 및 재생 방법과 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060084023A KR100845316B1 (ko) | 2006-09-01 | 2006-09-01 | 폐헬륨가스의 회수 및 재생 방법과 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20080021245A KR20080021245A (ko) | 2008-03-07 |
KR100845316B1 true KR100845316B1 (ko) | 2008-07-10 |
Family
ID=39395777
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060084023A KR100845316B1 (ko) | 2006-09-01 | 2006-09-01 | 폐헬륨가스의 회수 및 재생 방법과 장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100845316B1 (ko) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101158083B1 (ko) | 2011-12-07 | 2012-06-22 | (주)일신오토클레이브 | 적층형 세라믹 커패시터 제조 공정에서의 초임계를 이용한 불순물 제거 장치 및 방법 |
KR101567699B1 (ko) | 2014-06-19 | 2015-11-10 | 한국기초과학지원연구원 | 회수헬륨 재사용 시스템 및 이를 이용한 회수헬륨 재사용 방법 |
KR101969299B1 (ko) * | 2017-10-24 | 2019-04-17 | 주식회사 에프알디 | 제논 및 크립톤 흡착 분해 부재 및 상기 제논 및 크립톤 흡착 분해 부재를 포함하는 제논 및 크립톤 정제 장치 |
KR102236032B1 (ko) | 2020-09-25 | 2021-04-05 | 주식회사 하이퓨리티 | 헬륨 회수장치 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109945070B (zh) * | 2017-12-20 | 2020-10-02 | 宁德时代新能源科技股份有限公司 | 氦气回收装置 |
CN113731170B (zh) * | 2021-09-27 | 2023-10-31 | 四川远丰森泰能源集团股份有限公司 | 用于bog提氦工艺一体化系统 |
CN116943386B (zh) * | 2023-08-31 | 2024-04-02 | 广州广钢气体能源股份有限公司 | 一种面向厂房的氦气回收设备及方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR0170454B1 (ko) * | 1993-04-21 | 1999-01-15 | 조안 엠. 젤사 | 헬륨을 이용한 가압방법 및 헬륨을 회수하는 방법 |
JP2003192315A (ja) | 2001-12-19 | 2003-07-09 | Sumitomo Seika Chem Co Ltd | ヘリウム精製装置 |
KR20060023461A (ko) * | 2004-09-09 | 2006-03-14 | 조건환 | 폐헬륨가스의 정제 방법과 장치 |
-
2006
- 2006-09-01 KR KR1020060084023A patent/KR100845316B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR0170454B1 (ko) * | 1993-04-21 | 1999-01-15 | 조안 엠. 젤사 | 헬륨을 이용한 가압방법 및 헬륨을 회수하는 방법 |
JP2003192315A (ja) | 2001-12-19 | 2003-07-09 | Sumitomo Seika Chem Co Ltd | ヘリウム精製装置 |
KR20060023461A (ko) * | 2004-09-09 | 2006-03-14 | 조건환 | 폐헬륨가스의 정제 방법과 장치 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101158083B1 (ko) | 2011-12-07 | 2012-06-22 | (주)일신오토클레이브 | 적층형 세라믹 커패시터 제조 공정에서의 초임계를 이용한 불순물 제거 장치 및 방법 |
KR101567699B1 (ko) | 2014-06-19 | 2015-11-10 | 한국기초과학지원연구원 | 회수헬륨 재사용 시스템 및 이를 이용한 회수헬륨 재사용 방법 |
KR101969299B1 (ko) * | 2017-10-24 | 2019-04-17 | 주식회사 에프알디 | 제논 및 크립톤 흡착 분해 부재 및 상기 제논 및 크립톤 흡착 분해 부재를 포함하는 제논 및 크립톤 정제 장치 |
KR102236032B1 (ko) | 2020-09-25 | 2021-04-05 | 주식회사 하이퓨리티 | 헬륨 회수장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20080021245A (ko) | 2008-03-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100845316B1 (ko) | 폐헬륨가스의 회수 및 재생 방법과 장치 | |
JP5926292B2 (ja) | 廃棄ガスストリーム吸着により高価値成分を回収する方法及び装置 | |
KR100192697B1 (ko) | 고체 흡착제를 사용한 기체 정제법 | |
KR100873375B1 (ko) | 폐헬륨가스의 정제 방법과 장치 | |
JP4252668B2 (ja) | ガス精製方法 | |
US3221476A (en) | Adsorption-desorption method | |
CN102112200A (zh) | 从烟道气中回收二氧化碳 | |
TW201228710A (en) | Kinetic fractionators, and cycling processes for fractionation of gas mixtures | |
JP4357046B2 (ja) | ガス回収装置 | |
WO2015115031A1 (ja) | シリコン単結晶製造装置からのアルゴンガス回収精製方法及びアルゴンガス回収精製装置 | |
JP5743215B2 (ja) | ヘリウムガスの精製方法および精製装置 | |
KR20170107271A (ko) | 이산화탄소 액화 회수장치 | |
KR102035870B1 (ko) | 아르곤 가스의 정제 방법 및 정제 장치 | |
EP0584747B1 (en) | Helium group gas purification process and apparatus | |
JP2021159816A (ja) | 二酸化炭素の分離・回収システム | |
JP4031238B2 (ja) | ヘリウム精製装置 | |
JPH0565206B2 (ko) | ||
CN113184850B (zh) | 一种高纯度二氧化碳气体提纯方法及其装置 | |
CN103523822A (zh) | 氦气的纯化方法及纯化装置 | |
CN113383203A (zh) | 用于在低压下分离空气气体的系统和方法 | |
KR20090005702A (ko) | 폐헬륨가스 농축정제장치 | |
KR100845518B1 (ko) | 크립톤가스와 제논가스 분리방법 및 그 장치 | |
JP2012031049A (ja) | ヘリウムガスの精製方法および精製装置 | |
KR100869518B1 (ko) | 헬륨가스의 초저온 정제 방법 및 장치 | |
JP2003062419A (ja) | ガス混合物の分離方法及びその装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120622 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140522 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150423 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160525 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170510 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180523 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190624 Year of fee payment: 12 |