JP2001278683A - 保護層形成用層を有する炭素製部材、およびその製造方法 - Google Patents
保護層形成用層を有する炭素製部材、およびその製造方法Info
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- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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- Y10T428/30—Self-sustaining carbon mass or layer with impregnant or other layer
Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐摩耗性に優れ、露点が３０℃〜７０℃程度
の高露点雰囲気下あるいは大気中で、７００℃、好まし
くは１０００℃以上の高温でも実質的に酸化されること
のない炭化珪素からなる保護層を特定の厚さで表層部に
のみ形成することができる、耐酸化性保護層を形成する
ための保護層形成用層を有する炭素製部材、および同炭
素製部材の製造方法の提供。 【解決手段】 炭素製の部材の表面にフェノール樹脂を
含浸させたカーボンペーパーを巻き付け、フェノール樹
脂を硬化させるか、或いは硬化させることなく、不活性
雰囲気中で５００℃〜６００℃で仮焼し、該フェノール
樹脂を炭化し、炭化珪素からなる耐酸化性保護層を形成
するための保護層形成用層を形成することにより製造さ
れうる耐酸化性保護層を形成するための保護層形成用層
を有する炭素製部材、およびその製造方法により達成。
の高露点雰囲気下あるいは大気中で、７００℃、好まし
くは１０００℃以上の高温でも実質的に酸化されること
のない炭化珪素からなる保護層を特定の厚さで表層部に
のみ形成することができる、耐酸化性保護層を形成する
ための保護層形成用層を有する炭素製部材、および同炭
素製部材の製造方法の提供。 【解決手段】 炭素製の部材の表面にフェノール樹脂を
含浸させたカーボンペーパーを巻き付け、フェノール樹
脂を硬化させるか、或いは硬化させることなく、不活性
雰囲気中で５００℃〜６００℃で仮焼し、該フェノール
樹脂を炭化し、炭化珪素からなる耐酸化性保護層を形成
するための保護層形成用層を形成することにより製造さ
れうる耐酸化性保護層を形成するための保護層形成用層
を有する炭素製部材、およびその製造方法により達成。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、露点が３０℃〜
７０℃の高露点雰囲気下あるいは大気中で、７００℃〜
１０００℃の高温に曝されても、優れた耐酸化性保護層
で被覆された炭素製部材の製造用原料として有用な保護
層形成用層が形成された、耐酸化性保護層を形成するた
めの保護層形成用層を有する炭素製部材、特に製鉄工業
で使用される耐酸化性保護層で被覆された炭素製部材の
製造用の原料として有用な耐酸化性保護層を形成するた
めの保護層形成用層を有する炭素製部材、同炭素製部材
の製造方法に関する。
７０℃の高露点雰囲気下あるいは大気中で、７００℃〜
１０００℃の高温に曝されても、優れた耐酸化性保護層
で被覆された炭素製部材の製造用原料として有用な保護
層形成用層が形成された、耐酸化性保護層を形成するた
めの保護層形成用層を有する炭素製部材、特に製鉄工業
で使用される耐酸化性保護層で被覆された炭素製部材の
製造用の原料として有用な耐酸化性保護層を形成するた
めの保護層形成用層を有する炭素製部材、同炭素製部材
の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】 技術革新が急速に進む中で、露点が３
０℃〜７０℃の高露点雰囲気下あるいは大気中で、少な
くとも７００℃、好ましくは、１０００℃以上の高温下
でも実質的に酸化されることがない耐酸化性の高い炭素
質材料の出現が熱望されている。勿論、このような条件
下で使用するためには、高温における高強度（高い耐熱
衝撃性）と材料としての高い信頼性（靱性、耐衝撃性、
耐摩耗性）、耐環境性（耐食性、耐酸化性、耐放射線
性）等に加え、省エネルギー、容作業性の観点から軽量
性が要求されることはいうまでもない。
０℃〜７０℃の高露点雰囲気下あるいは大気中で、少な
くとも７００℃、好ましくは、１０００℃以上の高温下
でも実質的に酸化されることがない耐酸化性の高い炭素
質材料の出現が熱望されている。勿論、このような条件
下で使用するためには、高温における高強度（高い耐熱
衝撃性）と材料としての高い信頼性（靱性、耐衝撃性、
耐摩耗性）、耐環境性（耐食性、耐酸化性、耐放射線
性）等に加え、省エネルギー、容作業性の観点から軽量
性が要求されることはいうまでもない。
【０００３】 このような条件で操業される分野として
は鉄鋼分野で使用される搬送用ロール、アルミ、亜鉛と
いった溶解金属を取り扱う攪拌部品があげられる。これ
らの分野においては、従来から、相手材との相性等を考
慮して、炭素製のロール、攪拌部品が使用されている。
しかし、炭素製部品は、耐酸化性、耐摩耗性の点で劣る
ため、酸化の進行によりロール表面精度が劣化し被搬送
材に傷をつけたり、ロール本体の摩耗により強度が劣
化、破損するといった問題点がある。また搬送する鋼板
の熱分布が均一でなく、鋼板の両端部に偏るために、こ
の両端部に当接するロール部分で酸化反応が進行し易
く、その結果、激しく摩耗するものと考えられている。
従って、可成りの頻度で、ロールを交換する必要があ
る。更に攪拌部品においても酸化、摩耗によって強度が
低下し、折損する問題があり、２〜４週間で交換と頻繁
に交換しているのが実状である。
は鉄鋼分野で使用される搬送用ロール、アルミ、亜鉛と
いった溶解金属を取り扱う攪拌部品があげられる。これ
らの分野においては、従来から、相手材との相性等を考
慮して、炭素製のロール、攪拌部品が使用されている。
しかし、炭素製部品は、耐酸化性、耐摩耗性の点で劣る
ため、酸化の進行によりロール表面精度が劣化し被搬送
材に傷をつけたり、ロール本体の摩耗により強度が劣
化、破損するといった問題点がある。また搬送する鋼板
の熱分布が均一でなく、鋼板の両端部に偏るために、こ
の両端部に当接するロール部分で酸化反応が進行し易
く、その結果、激しく摩耗するものと考えられている。
従って、可成りの頻度で、ロールを交換する必要があ
る。更に攪拌部品においても酸化、摩耗によって強度が
低下し、折損する問題があり、２〜４週間で交換と頻繁
に交換しているのが実状である。
【０００４】 一方、炭素質材料の表層部に炭化珪素か
らなる耐酸化性の保護膜を形成する方法が色々提案され
ているが、基材が、炭素、又は炭素と炭素繊維からなる
場合には、表面が円滑な炭化珪素からなる耐酸化性の保
護膜を形成する方法が未だ提案されていないのが現状で
ある。その原因としては、表層部のみに金属珪素を含浸
させても、表層部にのみ存在する炭素を選択的に炭化珪
素化する手段が提供されていないからである。また一部
ＣＶＤ等の気層蒸着法により炭素質材料上にＳｉＣコー
ティングを施した材料が市販されているが、コストが高
く、あまり使用されていない。
らなる耐酸化性の保護膜を形成する方法が色々提案され
ているが、基材が、炭素、又は炭素と炭素繊維からなる
場合には、表面が円滑な炭化珪素からなる耐酸化性の保
護膜を形成する方法が未だ提案されていないのが現状で
ある。その原因としては、表層部のみに金属珪素を含浸
させても、表層部にのみ存在する炭素を選択的に炭化珪
素化する手段が提供されていないからである。また一部
ＣＶＤ等の気層蒸着法により炭素質材料上にＳｉＣコー
ティングを施した材料が市販されているが、コストが高
く、あまり使用されていない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】 本発明は上記した従
来の課題に鑑みてなされたものであり、その目的とする
ところは、耐摩耗性に優れ、露点が露点が３０℃〜７０
℃の高露点雰囲気下あるいは大気中で、少なくとも７０
０℃、好ましくは、１０００℃以上の高温でも実質的に
酸化されることのない炭化珪素からなる保護層を特定の
厚さで表層部にのみ形成することができる、耐酸化性保
護層を形成するための保護層形成用層を有する炭素製部
材、および同炭素製部材の製造方法を提供することにあ
る。
来の課題に鑑みてなされたものであり、その目的とする
ところは、耐摩耗性に優れ、露点が露点が３０℃〜７０
℃の高露点雰囲気下あるいは大気中で、少なくとも７０
０℃、好ましくは、１０００℃以上の高温でも実質的に
酸化されることのない炭化珪素からなる保護層を特定の
厚さで表層部にのみ形成することができる、耐酸化性保
護層を形成するための保護層形成用層を有する炭素製部
材、および同炭素製部材の製造方法を提供することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】 本発明者等は、上記の
様な現状に鑑みて種々検討した結果、耐酸化性保護層を
形成するための保護層形成用層を有する炭素製部材、特
に、炭素製の部材の表面にフェノール樹脂を含浸させた
カーボンペーパーを巻き付け、フェノール樹脂を硬化さ
せるか、或いは硬化させることなく、不活性雰囲気中で
５００℃〜６００℃で仮焼し、該フェノール樹脂を炭化
し、炭化珪素からなる耐酸化性保護層を形成するための
保護層形成用層を形成することにより製造されうる耐酸
化性保護層を形成するための保護層形成用層を有する炭
素製部材が上記の目的を達成できることを見いだして、
本発明を完成させたものである。
様な現状に鑑みて種々検討した結果、耐酸化性保護層を
形成するための保護層形成用層を有する炭素製部材、特
に、炭素製の部材の表面にフェノール樹脂を含浸させた
カーボンペーパーを巻き付け、フェノール樹脂を硬化さ
せるか、或いは硬化させることなく、不活性雰囲気中で
５００℃〜６００℃で仮焼し、該フェノール樹脂を炭化
し、炭化珪素からなる耐酸化性保護層を形成するための
保護層形成用層を形成することにより製造されうる耐酸
化性保護層を形成するための保護層形成用層を有する炭
素製部材が上記の目的を達成できることを見いだして、
本発明を完成させたものである。
【０００７】 即ち、本発明によれば、第１に、耐酸化
性保護層を形成するための保護層形成用層、好ましくは
炭化珪素からなる耐酸化性保護層を形成するための保護
層形成用層を有する炭素製部材が提供される。また、該
炭素製部材の基材が炭素製の管状体、円柱状体、また
は、角状体であることを特徴とする炭素製部材、更に、
該保護層形成用層が炭素と炭素繊維から構成され、その
気孔率が４０％〜５０％であり、かつ、その厚さが５ｍ
ｍ〜６ｍｍであることを特徴とする炭素製部材が提供さ
れる。
性保護層を形成するための保護層形成用層、好ましくは
炭化珪素からなる耐酸化性保護層を形成するための保護
層形成用層を有する炭素製部材が提供される。また、該
炭素製部材の基材が炭素製の管状体、円柱状体、また
は、角状体であることを特徴とする炭素製部材、更に、
該保護層形成用層が炭素と炭素繊維から構成され、その
気孔率が４０％〜５０％であり、かつ、その厚さが５ｍ
ｍ〜６ｍｍであることを特徴とする炭素製部材が提供さ
れる。
【０００８】 また、本発明によれば、炭素製の部材の
表面にフェノール樹脂を含浸させたカーボンペーパーを
巻き付け、フェノール樹脂を硬化させるか、或いは硬化
させることなく、不活性雰囲気中で５００℃〜６００℃
で仮焼し、該フェノール樹脂を炭化し、炭化珪素からな
る耐酸化性保護層を形成するための保護層形成用層を形
成することを特徴とする炭化珪素からなる耐酸化性保護
層を形成するための保護層形成用層を有する炭素製部材
の製造方法が提供される。特に、該保護層形成用層が炭
素と炭素繊維から構成され、その気孔率が４０％〜５０
％であり、かつ、その厚さが５ｍｍ〜６ｍｍであること
を特徴とする炭素製部材の製造方法、および該炭素製部
材の基材がＣ／Ｃコンポジット、Ｓｉ−ＳｉＣ系複合材
料またはＳｉＣ系複合材料のいずれかであることを特徴
とする炭素製部材の製造方法が提供される。
表面にフェノール樹脂を含浸させたカーボンペーパーを
巻き付け、フェノール樹脂を硬化させるか、或いは硬化
させることなく、不活性雰囲気中で５００℃〜６００℃
で仮焼し、該フェノール樹脂を炭化し、炭化珪素からな
る耐酸化性保護層を形成するための保護層形成用層を形
成することを特徴とする炭化珪素からなる耐酸化性保護
層を形成するための保護層形成用層を有する炭素製部材
の製造方法が提供される。特に、該保護層形成用層が炭
素と炭素繊維から構成され、その気孔率が４０％〜５０
％であり、かつ、その厚さが５ｍｍ〜６ｍｍであること
を特徴とする炭素製部材の製造方法、および該炭素製部
材の基材がＣ／Ｃコンポジット、Ｓｉ−ＳｉＣ系複合材
料またはＳｉＣ系複合材料のいずれかであることを特徴
とする炭素製部材の製造方法が提供される。
【０００９】
【発明の実施の形態】 本発明に係る耐酸化性保護層を
形成するための保護層形成用層を有する炭素製部材は、
その基材として、主として無定形炭素、炭素繊維、或い
は、無定形炭素と炭素繊維とから構成される炭素質材料
を原料として使用するものである。本発明に使用する炭
素質材料としては、通常は、炭素繊維を使用した複合材
が使用される。本発明における炭素質材料として使用さ
れる炭素繊維は、その製法、使用原料を問わず使用可能
である。実際の使用に際しては、炭素繊維を粉末炭素と
バインダー等を使用して、所定形状に成形して、使用す
る。耐久性の点から以下にいうＣ／Ｃコンポジットが好
ましい。なお、ここで、本明細書においては、炭素質材
料とは、カーボンブラック等の無定形炭素や炭素繊維を
も含むものである。
形成するための保護層形成用層を有する炭素製部材は、
その基材として、主として無定形炭素、炭素繊維、或い
は、無定形炭素と炭素繊維とから構成される炭素質材料
を原料として使用するものである。本発明に使用する炭
素質材料としては、通常は、炭素繊維を使用した複合材
が使用される。本発明における炭素質材料として使用さ
れる炭素繊維は、その製法、使用原料を問わず使用可能
である。実際の使用に際しては、炭素繊維を粉末炭素と
バインダー等を使用して、所定形状に成形して、使用す
る。耐久性の点から以下にいうＣ／Ｃコンポジットが好
ましい。なお、ここで、本明細書においては、炭素質材
料とは、カーボンブラック等の無定形炭素や炭素繊維を
も含むものである。
【００１０】 本発明に使用する炭素質材料は、その基
材として、上述の如く主として無定形炭素粉末のみなら
ず、炭素繊維から構成されたものも使用可能である。本
発明に使用する基材としての炭素質材料としては、先ず
第１に、カーボンブラックなどの無定形炭素粉末が挙げ
られる。炭素粉末を使用する場合には、予め、所望とす
る形状にフェノール樹脂等をバインダーとして使用し
て、成形し、成形品の表面に炭化珪素膜を形成すればよ
い。この場合に、炭化珪素層を形成する方法としては、
平成１２年３月２３日出願に係る特願２０００−８１１
６２の明細書に記載の方法が例示される。
材として、上述の如く主として無定形炭素粉末のみなら
ず、炭素繊維から構成されたものも使用可能である。本
発明に使用する基材としての炭素質材料としては、先ず
第１に、カーボンブラックなどの無定形炭素粉末が挙げ
られる。炭素粉末を使用する場合には、予め、所望とす
る形状にフェノール樹脂等をバインダーとして使用し
て、成形し、成形品の表面に炭化珪素膜を形成すればよ
い。この場合に、炭化珪素層を形成する方法としては、
平成１２年３月２３日出願に係る特願２０００−８１１
６２の明細書に記載の方法が例示される。
【００１１】 なお、ここで、本明細書においては、炭
素質材料とは、上述の通り、無定形炭素粉末は、勿論の
こと、炭素繊維それ自体、および、広義には、炭素繊維
に含まれる、Ｃ／Ｃコンポジットをも含むものである。
加えて、このＣ／Ｃコンポジットに所定量の金属珪素を
含浸して得られる、特定の加工をした炭素質材料であ
る、Ｓｉ−ＳｉＣ系複合材料もＳｉＣ系複合材料も炭素
質材料に含むものである。これらのものの性状、製造方
法等については以下に詳述することとする。なお、称呼
上の混乱を避けるために、本明細書の以下の記述におい
ては、炭素質材料とは、Ｃ／Ｃコンポジット、Ｓｉ−Ｓ
ｉＣ系複合材料、およびＳｉＣ系複合材料をも包含する
用語として使用する。従って、本発明においては、基材
としては、狭義の炭素繊維のみならず、上述の複合材料
の両者も使用可能である。
素質材料とは、上述の通り、無定形炭素粉末は、勿論の
こと、炭素繊維それ自体、および、広義には、炭素繊維
に含まれる、Ｃ／Ｃコンポジットをも含むものである。
加えて、このＣ／Ｃコンポジットに所定量の金属珪素を
含浸して得られる、特定の加工をした炭素質材料であ
る、Ｓｉ−ＳｉＣ系複合材料もＳｉＣ系複合材料も炭素
質材料に含むものである。これらのものの性状、製造方
法等については以下に詳述することとする。なお、称呼
上の混乱を避けるために、本明細書の以下の記述におい
ては、炭素質材料とは、Ｃ／Ｃコンポジット、Ｓｉ−Ｓ
ｉＣ系複合材料、およびＳｉＣ系複合材料をも包含する
用語として使用する。従って、本発明においては、基材
としては、狭義の炭素繊維のみならず、上述の複合材料
の両者も使用可能である。
【００１２】 本明細書において、Ｃ／Ｃコンポジット
とは、炭素繊維の束のマトリックスとして作用する粉末
状のバインダーであって、焼成後には炭素繊維の束に対
して遊離炭素となるピッチ、コークス類を包含させ、さ
らに必要に応じてフェノール樹脂粉末等を含有させるこ
とによって、炭素繊維束を調製し、この炭素繊維束の周
囲に、熱可塑性樹脂等のプラスチックからなる柔軟な被
膜を形成し、柔軟性中間材としてのプリフォームドヤー
ンを得る。このプリフォームドヤーンを、特開平２−８
０６３９号公報に記載されている方法によりシート状ま
たは織布状にし、必要量を積層した後、ホットプレスで
成形し得られた成形体、または、この成形体を焼成して
得られる焼成体をいう。すなわち、本発明においてＣ／
Ｃコンポジットとは、炭素繊維と炭素繊維以外の炭素と
から構成され、該炭素繊維は、特定の本数からなる炭層
繊維束からなる積層構造を構成しており、炭素繊維以外
の炭素は、該積層構造と積層構造との間の空隙をマトリ
ックスを形成して、埋めている構造を有する、特定積層
構造とマトリックスの構造からなることを特徴とする複
合材料をいう。
とは、炭素繊維の束のマトリックスとして作用する粉末
状のバインダーであって、焼成後には炭素繊維の束に対
して遊離炭素となるピッチ、コークス類を包含させ、さ
らに必要に応じてフェノール樹脂粉末等を含有させるこ
とによって、炭素繊維束を調製し、この炭素繊維束の周
囲に、熱可塑性樹脂等のプラスチックからなる柔軟な被
膜を形成し、柔軟性中間材としてのプリフォームドヤー
ンを得る。このプリフォームドヤーンを、特開平２−８
０６３９号公報に記載されている方法によりシート状ま
たは織布状にし、必要量を積層した後、ホットプレスで
成形し得られた成形体、または、この成形体を焼成して
得られる焼成体をいう。すなわち、本発明においてＣ／
Ｃコンポジットとは、炭素繊維と炭素繊維以外の炭素と
から構成され、該炭素繊維は、特定の本数からなる炭層
繊維束からなる積層構造を構成しており、炭素繊維以外
の炭素は、該積層構造と積層構造との間の空隙をマトリ
ックスを形成して、埋めている構造を有する、特定積層
構造とマトリックスの構造からなることを特徴とする複
合材料をいう。
【００１３】 基本素材として使用するＣ／Ｃコンポジ
ットとしては、直径が１０μｍ前後の炭素繊維を、通
常、数百本〜数万本束ねて繊維束（ヤーン）を形成し、
この繊維束を熱可塑性樹脂で被覆して調製した柔軟性糸
状中間材を得、これを特開平２−８０６３９号公報に記
載されている方法によりシート状にし、このシート状と
したものを二次元または三次元方向に配列して一方向シ
ート（ＵＤシート）や各種クロスとしたり、また上記シ
ートやクロスを積層したりすることにより、所定形状の
予備成形体（繊維プリフォーム）を形成し、該予備成形
体の繊維束の外周に形成されている有機物からなる熱可
塑性樹脂等の被膜を焼成し、上記の同皮膜を炭化除去し
たものを使用すればよい。なお、本明細書に於いて、参
考のために特開平２−８０６３９号公報の記載を引用す
る。本発明に於いて使用するＣ／Ｃコンポジットは、上
記のヤーン中の炭素繊維以外の炭素成分は、好ましくは
炭素粉末であり、特に好ましくは黒鉛化した炭素粉末で
ある。
ットとしては、直径が１０μｍ前後の炭素繊維を、通
常、数百本〜数万本束ねて繊維束（ヤーン）を形成し、
この繊維束を熱可塑性樹脂で被覆して調製した柔軟性糸
状中間材を得、これを特開平２−８０６３９号公報に記
載されている方法によりシート状にし、このシート状と
したものを二次元または三次元方向に配列して一方向シ
ート（ＵＤシート）や各種クロスとしたり、また上記シ
ートやクロスを積層したりすることにより、所定形状の
予備成形体（繊維プリフォーム）を形成し、該予備成形
体の繊維束の外周に形成されている有機物からなる熱可
塑性樹脂等の被膜を焼成し、上記の同皮膜を炭化除去し
たものを使用すればよい。なお、本明細書に於いて、参
考のために特開平２−８０６３９号公報の記載を引用す
る。本発明に於いて使用するＣ／Ｃコンポジットは、上
記のヤーン中の炭素繊維以外の炭素成分は、好ましくは
炭素粉末であり、特に好ましくは黒鉛化した炭素粉末で
ある。
【００１４】 本発明において、Ｓｉ−ＳｉＣ系複合材
料とは、５５重量％〜７５重量％の炭素と、１重量％〜
１０重量％の珪素と、１０重量％〜５０重量％の炭化珪
素とから構成され、少なくとも炭素繊維の束と炭素繊維
以外の炭素成分とを含有するヤーンが層方向に配向しつ
つ三次元的に組み合わされ、互いに分離しないように一
体化されているヤーン集合体と、このヤーン集合体中で
隣り合う前記ヤーンの間に充填されているＳｉ−ＳｉＣ
系材料からなるマトリックスとを備え、０．０５〜０．
６の動摩擦係数と、０．５％〜１０％に制御された気孔
率とを有する複合材料をいう。この材料は、平成１０年
９月４日付けの出願に係る特願平１０−２６７４０２号
に開示された方法により製造することができる。従っ
て、特願平１０−２６７４０２号の内容を参考までにこ
こに引用する。
料とは、５５重量％〜７５重量％の炭素と、１重量％〜
１０重量％の珪素と、１０重量％〜５０重量％の炭化珪
素とから構成され、少なくとも炭素繊維の束と炭素繊維
以外の炭素成分とを含有するヤーンが層方向に配向しつ
つ三次元的に組み合わされ、互いに分離しないように一
体化されているヤーン集合体と、このヤーン集合体中で
隣り合う前記ヤーンの間に充填されているＳｉ−ＳｉＣ
系材料からなるマトリックスとを備え、０．０５〜０．
６の動摩擦係数と、０．５％〜１０％に制御された気孔
率とを有する複合材料をいう。この材料は、平成１０年
９月４日付けの出願に係る特願平１０−２６７４０２号
に開示された方法により製造することができる。従っ
て、特願平１０−２６７４０２号の内容を参考までにこ
こに引用する。
【００１５】 本発明において、ＳｉＣ系複合材料と
は、炭化珪素と炭素繊維と炭素繊維以外の炭素成分とか
ら構成され、骨格部と骨格部の周囲に形成されマトリッ
クスとからなる構造を有するＳｉＣ−Ｃ／Ｃコンポジッ
ト複合材料であって、炭化珪素の少なくとも５０％はβ
型で、骨格部は、炭素繊維と炭素繊維以外の炭素成分に
より形成されており、その骨格部の一部分には炭化珪素
が存在していてもよく、マトリックスは、炭化珪素によ
り形成され、前記マトリックスと前記骨格部とは一体的
に形成されており、かつ、前記複合材料は０．５％〜５
％の気孔率と二山型の平均気孔径の分布を有する複合材
料をいう。
は、炭化珪素と炭素繊維と炭素繊維以外の炭素成分とか
ら構成され、骨格部と骨格部の周囲に形成されマトリッ
クスとからなる構造を有するＳｉＣ−Ｃ／Ｃコンポジッ
ト複合材料であって、炭化珪素の少なくとも５０％はβ
型で、骨格部は、炭素繊維と炭素繊維以外の炭素成分に
より形成されており、その骨格部の一部分には炭化珪素
が存在していてもよく、マトリックスは、炭化珪素によ
り形成され、前記マトリックスと前記骨格部とは一体的
に形成されており、かつ、前記複合材料は０．５％〜５
％の気孔率と二山型の平均気孔径の分布を有する複合材
料をいう。
【００１６】 従って、このＳｉＣ系複合材料は、骨格
部として、各炭素繊維が炭素繊維束から構成されている
Ｃ／Ｃコンポジットを用いており、そのため、その一部
にＳｉＣが形成されていても、各炭素繊維としては炭素
繊維としての構造が、破壊されることなく保持されてい
るために炭素繊維が炭化珪素化により短繊維化すること
がないので、原料であるＣ／Ｃコンポジットの有する機
械的強度がほぼ保持されるか、炭化珪素化により増大す
るという大きな特徴を有している。しかも、ヤーン集合
体中で隣り合うヤーンの間に、ＳｉＣ系材料からなるマ
トリックスが形成された複合構造を有している。この点
で、上記のＳｉ−ＳｉＣ系複合材料とは異なる。なお、
この材料は、平成１１年２月９日付けの出願に係る特願
平１１−３１９７９号に開示された方法により製造する
ことができる。従って、特願平１１−３１９７９号の内
容をここに引用する。
部として、各炭素繊維が炭素繊維束から構成されている
Ｃ／Ｃコンポジットを用いており、そのため、その一部
にＳｉＣが形成されていても、各炭素繊維としては炭素
繊維としての構造が、破壊されることなく保持されてい
るために炭素繊維が炭化珪素化により短繊維化すること
がないので、原料であるＣ／Ｃコンポジットの有する機
械的強度がほぼ保持されるか、炭化珪素化により増大す
るという大きな特徴を有している。しかも、ヤーン集合
体中で隣り合うヤーンの間に、ＳｉＣ系材料からなるマ
トリックスが形成された複合構造を有している。この点
で、上記のＳｉ−ＳｉＣ系複合材料とは異なる。なお、
この材料は、平成１１年２月９日付けの出願に係る特願
平１１−３１９７９号に開示された方法により製造する
ことができる。従って、特願平１１−３１９７９号の内
容をここに引用する。
【００１７】 次に、本発明に係る耐酸化性保護層を形
成するための保護層形成用層を有する炭素製部材につい
て説明する。本発明により提供される耐酸化性保護層を
形成するための保護層形成用層を有する炭素製部材とし
ては、耐酸化性保護層を形成するために上記の炭素質材
料からなる基材の表層部に形成されている保護層形成用
層が、本発明と同日出願係る特許出願（整理番号：ＷＰ
０３１２９）の明細書に記載の方法により、金属珪素を
含浸させ、これを同表層部の炭素と反応させることによ
り形成される炭化珪素を、耐酸化保護膜として形成でき
るように構成されていることが好ましい。通常は、鋼板
の搬送工程などのロールとして使用されることから、基
材の形状は円柱状体、または、内部に空洞部を有する管
状体が使用される。勿論、角状体等のものもその用途に
よっては使用可能であり、カーボンペーパーの巻き付け
時に、円柱状または管状体に成形してもよい。
成するための保護層形成用層を有する炭素製部材につい
て説明する。本発明により提供される耐酸化性保護層を
形成するための保護層形成用層を有する炭素製部材とし
ては、耐酸化性保護層を形成するために上記の炭素質材
料からなる基材の表層部に形成されている保護層形成用
層が、本発明と同日出願係る特許出願（整理番号：ＷＰ
０３１２９）の明細書に記載の方法により、金属珪素を
含浸させ、これを同表層部の炭素と反応させることによ
り形成される炭化珪素を、耐酸化保護膜として形成でき
るように構成されていることが好ましい。通常は、鋼板
の搬送工程などのロールとして使用されることから、基
材の形状は円柱状体、または、内部に空洞部を有する管
状体が使用される。勿論、角状体等のものもその用途に
よっては使用可能であり、カーボンペーパーの巻き付け
時に、円柱状または管状体に成形してもよい。
【００１８】 とくに、上述の如く、同日付けの出願に
係る明細書に開示した方法により、金属珪素と反応させ
て形成される炭化珪素から成る耐酸化性保護層が特定の
厚さで表層部のみに形成され、基材を構成する炭素質材
料の炭素と反応しないようにするためには、該保護層形
成用層が炭素と炭素繊維から構成され、その気孔率が４
０％〜５０％であり、かつ、その厚さが５ｍｍ〜６ｍｍ
であることが好ましい。もしも、気孔率が４０％未満で
は、表層部に、充分な厚さの炭化珪素からなる保護層を
形成することができず、また、５０％を超えると、基材
部まで金属珪素が浸透して、基材を構成する炭素と反応
して、その部分には、表面が盛り上がり、円滑な曲面を
維持した表面を有する炭素製部材を製造することができ
なくなるからである。また、保護層形成用層の厚さは、
５ｍｍ〜６ｍｍ程度がよく、この範囲外では、巨視的に
は円滑な曲面を有し、その外表面の断面形状は実質的に
円形を呈しており、微視的には、外表面の平均表面粗度
Ｒａが１．６μｍ以下の優れた表面特性を有し、ロール
等として好適に使用可能な炭素製部材を製造することが
できなくなる。
係る明細書に開示した方法により、金属珪素と反応させ
て形成される炭化珪素から成る耐酸化性保護層が特定の
厚さで表層部のみに形成され、基材を構成する炭素質材
料の炭素と反応しないようにするためには、該保護層形
成用層が炭素と炭素繊維から構成され、その気孔率が４
０％〜５０％であり、かつ、その厚さが５ｍｍ〜６ｍｍ
であることが好ましい。もしも、気孔率が４０％未満で
は、表層部に、充分な厚さの炭化珪素からなる保護層を
形成することができず、また、５０％を超えると、基材
部まで金属珪素が浸透して、基材を構成する炭素と反応
して、その部分には、表面が盛り上がり、円滑な曲面を
維持した表面を有する炭素製部材を製造することができ
なくなるからである。また、保護層形成用層の厚さは、
５ｍｍ〜６ｍｍ程度がよく、この範囲外では、巨視的に
は円滑な曲面を有し、その外表面の断面形状は実質的に
円形を呈しており、微視的には、外表面の平均表面粗度
Ｒａが１．６μｍ以下の優れた表面特性を有し、ロール
等として好適に使用可能な炭素製部材を製造することが
できなくなる。
【００１９】 なお、耐酸化性保護層を形成するための
保護層形成用層を有する炭素製部材は、例えば、カーボ
ンペーパーに予め所望とする量のフェノール樹脂を含浸
させたものを、Ｃ／Ｃコンポジット等の炭素質材料の表
面に巻き付け、該フェノール樹脂を硬化させ、或いは、
硬化させることなく、不活性雰囲気中で５００℃〜６０
０℃の温度範囲で仮焼し、該フェノール樹脂を炭化し、
かくして形成された無定形の炭素とカーボンペーパー由
来の炭素から成る保護層形成用層をその表面に形成す
る。なお、巻き付けように使用するカーボンペーパーの
厚さは、１００〜３００μｍ程度でよい。なお、カーボ
ンペーパーを巻き付ける厚さは、保護層形成用層として
形成されたときの厚さとして、通常は、仮焼後に５ｍｍ
〜６ｍｍの厚さがあれば充分である。
保護層形成用層を有する炭素製部材は、例えば、カーボ
ンペーパーに予め所望とする量のフェノール樹脂を含浸
させたものを、Ｃ／Ｃコンポジット等の炭素質材料の表
面に巻き付け、該フェノール樹脂を硬化させ、或いは、
硬化させることなく、不活性雰囲気中で５００℃〜６０
０℃の温度範囲で仮焼し、該フェノール樹脂を炭化し、
かくして形成された無定形の炭素とカーボンペーパー由
来の炭素から成る保護層形成用層をその表面に形成す
る。なお、巻き付けように使用するカーボンペーパーの
厚さは、１００〜３００μｍ程度でよい。なお、カーボ
ンペーパーを巻き付ける厚さは、保護層形成用層として
形成されたときの厚さとして、通常は、仮焼後に５ｍｍ
〜６ｍｍの厚さがあれば充分である。
【００２０】 カーボンペーパーとしては、フェノール
樹脂を含浸させることができるものであれば特に限定は
ないが、フェノール樹脂を含浸し易い、気孔率９０〜９
５％程度のカーボンシートが好適に使用される。カーボ
ンペーパーに含浸させるフェノール樹脂の量は、フェノ
ール樹脂が炭化されて生成する炭素とカーボンペーパー
を構成する炭素の内、少なくとも、フェノール樹脂が炭
化されて生成する炭素を全量とカーボンペーパーを構成
する炭素の少なくとも１０％以上、好ましくは、５０％
以上を、本出願と同日付けの出願に係る明細書に開示し
た方法により、金属珪素と反応させて形成される炭化珪
素から成る耐酸化性保護層を形成するときに、炭化珪素
に変換できるに充分な量が好ましい。使用するフェノー
ル樹脂としては、ノボラック型も、レゾール型も使用で
きるが、常温で液体のレゾール型の方が取り扱い上有利
である。
樹脂を含浸させることができるものであれば特に限定は
ないが、フェノール樹脂を含浸し易い、気孔率９０〜９
５％程度のカーボンシートが好適に使用される。カーボ
ンペーパーに含浸させるフェノール樹脂の量は、フェノ
ール樹脂が炭化されて生成する炭素とカーボンペーパー
を構成する炭素の内、少なくとも、フェノール樹脂が炭
化されて生成する炭素を全量とカーボンペーパーを構成
する炭素の少なくとも１０％以上、好ましくは、５０％
以上を、本出願と同日付けの出願に係る明細書に開示し
た方法により、金属珪素と反応させて形成される炭化珪
素から成る耐酸化性保護層を形成するときに、炭化珪素
に変換できるに充分な量が好ましい。使用するフェノー
ル樹脂としては、ノボラック型も、レゾール型も使用で
きるが、常温で液体のレゾール型の方が取り扱い上有利
である。
【００２１】 基材である炭素質材料表面に、所望量の
フェノール樹脂を含浸させたカーボンペーパーを巻き付
けるには、図１に模式的に一部省略斜視図として示した
ように、炭素質材料１を３個の金属製ロール３Ａ、３
Ｂ、および３Ｃに担持させて、各金属製ロールをそれぞ
れ矢印の方向に回転させながら、所望量のフェノール樹
脂を含浸させたカーボンペーパー２を巻き付ければよ
い。通常は、巻き取り速度は、１ｃｍ／分程度の速度で
所望とする大きさの荷重をかけながら巻き取る。所望と
する厚さとなった時点で、巻き取り操作を停止し、図２
にその断面図を示したように、外周部にカーボンペーパ
ー２が巻かれた、炭素質材料１を得る。次いで、カーボ
ンペーパーに含浸させてあるフェノール樹脂を約２００
℃前後で硬化させる。勿論、硬化させることなく、仮焼
炉中に収容して、不活性雰囲気下で、徐々に昇温させ
て、５００℃〜６００℃でフェノール樹脂が完全に炭化
するまで、仮焼する。時間的には、８時間程度で充分で
ある。かくして、所望の厚さの耐酸化性保護層を形成す
るための保護層形成用層を有する炭素製部材が製造され
る。
フェノール樹脂を含浸させたカーボンペーパーを巻き付
けるには、図１に模式的に一部省略斜視図として示した
ように、炭素質材料１を３個の金属製ロール３Ａ、３
Ｂ、および３Ｃに担持させて、各金属製ロールをそれぞ
れ矢印の方向に回転させながら、所望量のフェノール樹
脂を含浸させたカーボンペーパー２を巻き付ければよ
い。通常は、巻き取り速度は、１ｃｍ／分程度の速度で
所望とする大きさの荷重をかけながら巻き取る。所望と
する厚さとなった時点で、巻き取り操作を停止し、図２
にその断面図を示したように、外周部にカーボンペーパ
ー２が巻かれた、炭素質材料１を得る。次いで、カーボ
ンペーパーに含浸させてあるフェノール樹脂を約２００
℃前後で硬化させる。勿論、硬化させることなく、仮焼
炉中に収容して、不活性雰囲気下で、徐々に昇温させ
て、５００℃〜６００℃でフェノール樹脂が完全に炭化
するまで、仮焼する。時間的には、８時間程度で充分で
ある。かくして、所望の厚さの耐酸化性保護層を形成す
るための保護層形成用層を有する炭素製部材が製造され
る。
【００２２】
【実施例】 以下、本発明の具体的態様について実施例
によりさらに詳しく説明するが、本発明はその要旨を超
えない限りこれらの実施例によって限定されるものでは
ない。
によりさらに詳しく説明するが、本発明はその要旨を超
えない限りこれらの実施例によって限定されるものでは
ない。
【００２３】（製造例） （１）Ｃ／Ｃコンポジットの製造 直径１０μｍの炭素長繊維を約１万本束ね、遊離炭素と
なるピッチ、コークスとフェノールジス粉末を含有させ
繊維束（ヤーン）を得、このヤーンを簾状にしたヤーン
配列体（プリプレグシート）を作り、これを図３のよう
に配列し、プリプレグシート積層体を得、プリプレグシ
ート積層体をホットプレスにより温度６００℃、圧力８
０Ｋｇ／ｃｍ2の条件下で成形した後、窒素雰囲気中で
２０００℃で焼成して幅５０ｍｍ、長さ１０００ｍｍ、
厚さ５０ｍｍのＣ／Ｃコンポジットを得た。これを旋盤
により、φ５０×９５０ｍｍの円柱体に加工した。
なるピッチ、コークスとフェノールジス粉末を含有させ
繊維束（ヤーン）を得、このヤーンを簾状にしたヤーン
配列体（プリプレグシート）を作り、これを図３のよう
に配列し、プリプレグシート積層体を得、プリプレグシ
ート積層体をホットプレスにより温度６００℃、圧力８
０Ｋｇ／ｃｍ2の条件下で成形した後、窒素雰囲気中で
２０００℃で焼成して幅５０ｍｍ、長さ１０００ｍｍ、
厚さ５０ｍｍのＣ／Ｃコンポジットを得た。これを旋盤
により、φ５０×９５０ｍｍの円柱体に加工した。
【００２４】（２）耐酸化性保護層を形成するための保
護層形成用層を有する炭素製部材の製造 上記（１）で得た炭素製部材の基材に、予め所定量のフ
ェノール樹脂を含浸させた呉羽化学工業社製のカーボン
ペーパーを、上記（１）で得た炭素質材料に緊密に巻き
付け、このものを風乾し、風乾させたものを炉内に収容
し、アルゴン雰囲気下で徐々に昇温し、約６００℃に達
したところで、その温度で約３時間保持し、フェノール
樹脂を完全に炭化させた。炭化操作が終了した時点で、
炉内温度を徐々に下げ、室温に達した時点で耐酸化性保
護層を形成するための保護層形成用層を有する炭素製部
材を炉外に取り出した。かくして得られた耐酸化性保護
層を形成するための保護層形成用層を有する炭素製部材
は、約５ｍｍの厚さの耐酸化性保護層を形成するための
保護層形成用層が形成されていた。
護層形成用層を有する炭素製部材の製造 上記（１）で得た炭素製部材の基材に、予め所定量のフ
ェノール樹脂を含浸させた呉羽化学工業社製のカーボン
ペーパーを、上記（１）で得た炭素質材料に緊密に巻き
付け、このものを風乾し、風乾させたものを炉内に収容
し、アルゴン雰囲気下で徐々に昇温し、約６００℃に達
したところで、その温度で約３時間保持し、フェノール
樹脂を完全に炭化させた。炭化操作が終了した時点で、
炉内温度を徐々に下げ、室温に達した時点で耐酸化性保
護層を形成するための保護層形成用層を有する炭素製部
材を炉外に取り出した。かくして得られた耐酸化性保護
層を形成するための保護層形成用層を有する炭素製部材
は、約５ｍｍの厚さの耐酸化性保護層を形成するための
保護層形成用層が形成されていた。
【００２５】 上記の様にして調製された本発明に係る
耐酸化性保護層を形成するための保護層形成用層を有す
る炭素質部材を使用して、本発明と同日付けで出願した
上述の耐酸化性保護層としての炭化珪素層を形成する方
法に基づき、炭化珪素層を形成した。即ち、上記の炭素
質材料を真空にできる容器に水を張ったものの中に漬
け、減圧にして、主として表層部に形成されている空隙
部中に含まれる空気を完全に追い出した後、復圧して、
金属珪素のスラリー（水：金属珪素＝１：１）を加え
て、主として表層部に形成されている空隙部中に金属珪
素を含浸させた。容器から取り出し、真空状態で乾燥
後、炉内に収容し、アルゴン雰囲気下で徐々に昇温し、
約２０００℃に達したところで、同温度で３時間保持
し、金属珪素を、炭素と完全に反応させて、表層部に炭
化珪素なら成る耐酸化性保護層を形成させた。このもの
を温度１０００℃、露点が３０℃の炉内に収容して、１
０時間保持したが、重量の増減は認められなかった。こ
のものは、その表面に形成された耐酸化性保護膜が、肉
眼観察の結果では、その外表面は円滑な曲面を有し、ま
た、その断面形状は実質的に円形を呈しており、外表面
の平均表面粗度Ｒａは１．２μｍであり、ロール等とし
て好適に使用可能な炭素製部材であると判断された。
耐酸化性保護層を形成するための保護層形成用層を有す
る炭素質部材を使用して、本発明と同日付けで出願した
上述の耐酸化性保護層としての炭化珪素層を形成する方
法に基づき、炭化珪素層を形成した。即ち、上記の炭素
質材料を真空にできる容器に水を張ったものの中に漬
け、減圧にして、主として表層部に形成されている空隙
部中に含まれる空気を完全に追い出した後、復圧して、
金属珪素のスラリー（水：金属珪素＝１：１）を加え
て、主として表層部に形成されている空隙部中に金属珪
素を含浸させた。容器から取り出し、真空状態で乾燥
後、炉内に収容し、アルゴン雰囲気下で徐々に昇温し、
約２０００℃に達したところで、同温度で３時間保持
し、金属珪素を、炭素と完全に反応させて、表層部に炭
化珪素なら成る耐酸化性保護層を形成させた。このもの
を温度１０００℃、露点が３０℃の炉内に収容して、１
０時間保持したが、重量の増減は認められなかった。こ
のものは、その表面に形成された耐酸化性保護膜が、肉
眼観察の結果では、その外表面は円滑な曲面を有し、ま
た、その断面形状は実質的に円形を呈しており、外表面
の平均表面粗度Ｒａは１．２μｍであり、ロール等とし
て好適に使用可能な炭素製部材であると判断された。
【００２６】 比較例として、フェノール樹脂の含浸量
を調節して、表層部の気孔率が７０％の炭素質材料を上
記と同様の処理に供した後、同様に保護層を形成したと
ころ、一部に基材部を形成する炭素との反応が認めら
れ、円滑な曲面を有するものは得られなかった。従っ
て、ロールとしては使用できないと判断された。
を調節して、表層部の気孔率が７０％の炭素質材料を上
記と同様の処理に供した後、同様に保護層を形成したと
ころ、一部に基材部を形成する炭素との反応が認めら
れ、円滑な曲面を有するものは得られなかった。従っ
て、ロールとしては使用できないと判断された。
【００２７】
【発明の効果】 上記の試験結果から明らかなように、
本発明に係る方法により製造されうる耐酸化性保護層を
形成するための保護層形成用層を有する炭素質部材は、
炭化珪素から成る耐酸化性保護層で被覆されたロール等
として使用可能な炭素質材料を、確実に製造できる。従
って、露点が３０℃〜７０℃程度の高露点雰囲気下ある
いは大気中で使用される、例えば、鋼板などの搬送工程
で使用される炭化珪素から成る耐酸化性保護層で被覆さ
れたロール等として使用可能な炭素質材料を製造するた
めに極めて有用な材料であるといえる。
本発明に係る方法により製造されうる耐酸化性保護層を
形成するための保護層形成用層を有する炭素質部材は、
炭化珪素から成る耐酸化性保護層で被覆されたロール等
として使用可能な炭素質材料を、確実に製造できる。従
って、露点が３０℃〜７０℃程度の高露点雰囲気下ある
いは大気中で使用される、例えば、鋼板などの搬送工程
で使用される炭化珪素から成る耐酸化性保護層で被覆さ
れたロール等として使用可能な炭素質材料を製造するた
めに極めて有用な材料であるといえる。
【図１】 本発明に係る耐酸化性保護層を形成するため
の保護層形成用層を有する炭素質部材の製造方法を模式
的に示す図面である。
の保護層形成用層を有する炭素質部材の製造方法を模式
的に示す図面である。
【図２】 外周部にカーボンペーパーが巻かれた状態で
の炭素質材料の断面を模式的に示す図面である。
の炭素質材料の断面を模式的に示す図面である。
【図３】 本発明において炭素質材料の基材の１つとし
て使用可能なＣ／Ｃコンポジットの基本構造をなすヤー
ン集合体の構造を模式的に示す斜視図である。
て使用可能なＣ／Ｃコンポジットの基本構造をなすヤー
ン集合体の構造を模式的に示す斜視図である。
１…耐酸化性保護層を形成するための保護層形成用層を
有する炭素質部材製造用の基材、２…フェノール樹脂含
浸カーボンパーパー、３Ａ、３Ｂ、３Ｃ…金属製ロー
ル、１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ、１１Ｅおよび１
１Ｆ…ヤーン配列体、１２Ａ…ヤーン、１２Ｂ…ヤー
ン、１３…繊維束（ヤーン）。
有する炭素質部材製造用の基材、２…フェノール樹脂含
浸カーボンパーパー、３Ａ、３Ｂ、３Ｃ…金属製ロー
ル、１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ、１１Ｅおよび１
１Ｆ…ヤーン配列体、１２Ａ…ヤーン、１２Ｂ…ヤー
ン、１３…繊維束（ヤーン）。
Claims (7)
- 【請求項１】 耐酸化性保護層を形成するための保護層
形成用層を有する炭素製部材。 - 【請求項２】 耐酸化性保護層が炭化珪素層である請求
項１に記載の炭素製部材。 - 【請求項３】 該炭素製部材の基材が炭素製の管状体、
円柱状体、または、角状体であることを特徴とする請求
項１または２に記載の炭素製部材。 - 【請求項４】 該保護層形成用層が炭素と炭素繊維から
構成され、その気孔率が４０％〜５０％であり、かつ、
その厚さが５ｍｍ〜６ｍｍであることを特徴とする請求
項１〜３のいずれか１項に記載の炭素製部材。 - 【請求項５】 炭素製の部材の表面にフェノール樹脂を
含浸させたカーボンペーパーを巻き付け、フェノール樹
脂を硬化させるか、或いは硬化させることなく、不活性
雰囲気中で５００℃〜６００℃で仮焼し、該フェノール
樹脂を炭化し、炭化珪素からなる耐酸化性保護層を形成
するための保護層形成用層を形成することを特徴とする
炭化珪素からなる耐酸化性保護層を形成するための保護
層形成用層を有する炭素製部材の製造方法。 - 【請求項６】 該保護層形成用層が炭素と炭素繊維から
構成され、その気孔率が４０％〜５０％であり、かつ、
その厚さが５ｍｍ〜６ｍｍであることを特徴とする請求
項５に記載の炭素製部材の製造方法。 - 【請求項７】 該炭素製部材の基材がＣ／Ｃコンポジッ
ト、Ｓｉ−ＳｉＣ系複合材料またはＳｉＣ系複合材料の
いずれかであることを特徴とする請求項５または６に記
載の炭素製部材の製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000094072A JP2001278683A (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | 保護層形成用層を有する炭素製部材、およびその製造方法 |
| US09/814,208 US20010026871A1 (en) | 2000-03-30 | 2001-03-21 | Member made of carbon having layer for protective layer formation and method for producing the same |
| EP01106479A EP1138655A1 (en) | 2000-03-30 | 2001-03-22 | Member made of carbonaceous material having layer for protective layer formation and method for producing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000094072A JP2001278683A (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | 保護層形成用層を有する炭素製部材、およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001278683A true JP2001278683A (ja) | 2001-10-10 |
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ID=18609167
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|---|---|---|---|
| JP2000094072A Withdrawn JP2001278683A (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | 保護層形成用層を有する炭素製部材、およびその製造方法 |
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