JP2001247957A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2001247957A5 JP2001247957A5 JP2000399263A JP2000399263A JP2001247957A5 JP 2001247957 A5 JP2001247957 A5 JP 2001247957A5 JP 2000399263 A JP2000399263 A JP 2000399263A JP 2000399263 A JP2000399263 A JP 2000399263A JP 2001247957 A5 JP2001247957 A5 JP 2001247957A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- vacuum
- forming apparatus
- vickers hardness
- less
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 6
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims 6
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 3
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 claims 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000399263A JP4551561B2 (ja) | 1999-12-28 | 2000-12-27 | 真空成膜装置用部品とそれを用いた真空成膜装置、およびターゲット装置 |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37568799 | 1999-12-28 | ||
| JP11-375687 | 1999-12-28 | ||
| JP37568699 | 1999-12-28 | ||
| JP11-375686 | 1999-12-28 | ||
| JP2000399263A JP4551561B2 (ja) | 1999-12-28 | 2000-12-27 | 真空成膜装置用部品とそれを用いた真空成膜装置、およびターゲット装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004287003A Division JP4686159B2 (ja) | 1999-12-28 | 2004-09-30 | 真空成膜装置用部品とそれを用いた真空成膜装置およびターゲット装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001247957A JP2001247957A (ja) | 2001-09-14 |
| JP2001247957A5 true JP2001247957A5 (https=) | 2005-06-23 |
| JP4551561B2 JP4551561B2 (ja) | 2010-09-29 |
Family
ID=27341868
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000399263A Expired - Lifetime JP4551561B2 (ja) | 1999-12-28 | 2000-12-27 | 真空成膜装置用部品とそれを用いた真空成膜装置、およびターゲット装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4551561B2 (https=) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4825366B2 (ja) * | 2001-05-31 | 2011-11-30 | 株式会社東芝 | 真空成膜装置用部品とそれを用いた真空成膜装置 |
| US7554052B2 (en) * | 2005-07-29 | 2009-06-30 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for the application of twin wire arc spray coatings |
| JP4910465B2 (ja) * | 2006-04-18 | 2012-04-04 | 東ソー株式会社 | 真空装置部材、その製造方法および真空装置 |
| JP5206199B2 (ja) * | 2008-07-28 | 2013-06-12 | 東ソー株式会社 | 真空装置用部品及びその製造方法 |
| JP2010229434A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-14 | Kansai Coke & Chem Co Ltd | 成膜装置用部品および該成膜装置用部品に付着した付着膜の除去方法 |
| US8968537B2 (en) * | 2011-02-09 | 2015-03-03 | Applied Materials, Inc. | PVD sputtering target with a protected backing plate |
| JP5654939B2 (ja) * | 2011-04-20 | 2015-01-14 | 株式会社アルバック | 成膜装置 |
| JP5269942B2 (ja) * | 2011-04-28 | 2013-08-21 | 株式会社東芝 | 真空成膜装置用部品の製造方法 |
| JP6229136B2 (ja) * | 2012-03-09 | 2017-11-15 | 株式会社ユーテック | Cvd装置 |
| JP5983428B2 (ja) * | 2013-01-23 | 2016-08-31 | 住友金属鉱山株式会社 | 防着部材及びこれを備えた成膜装置並びに防着部材の整備方法 |
| KR20190040103A (ko) * | 2014-09-30 | 2019-04-16 | 가부시끼가이샤 도시바 | 스퍼터링 타깃 구조체 |
| JP7417367B2 (ja) * | 2019-05-27 | 2024-01-18 | アルバックテクノ株式会社 | 成膜装置用部品及びこれを備えた成膜装置 |
-
2000
- 2000-12-27 JP JP2000399263A patent/JP4551561B2/ja not_active Expired - Lifetime
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2001247957A5 (https=) | ||
| EP1086797B1 (en) | Resin molding mold and method of forming hard coat on resin molding mold | |
| Gupta et al. | Measurement of interface strength by the modified laser spallation technique. II. Applications to metal/ceramic interfaces | |
| JPS61104069A (ja) | 耐熱性基体の被覆方法 | |
| JP2008504104A (ja) | 生物医学的インプラント用多孔性コーティング | |
| JP2000119843A (ja) | ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体 | |
| JP2003171758A (ja) | ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体およびその製造方法 | |
| CN108754450A (zh) | 一种低应力类金刚石多层薄膜及其制备方法 | |
| KR910001911A (ko) | 막형성장치 및 방법 | |
| Liu et al. | Improving the tribological behavior of CrN film by PVD/HVOF design | |
| JPH1089506A (ja) | 混合水栓部材およびその混合水栓部材への被膜形成方法 | |
| US20070098993A1 (en) | Article with multilayer diamond-like carbon film | |
| Mougin et al. | Inverted blister test to measure adhesion energy of thermal oxide scales on metals or alloys | |
| JP2006000521A (ja) | 医療用器具及び医療用器具への硬質被膜形成方法 | |
| TW200602507A (en) | Sputtering target and manufacturing method therefor | |
| JPH07331414A (ja) | 耐摩耗性膜 | |
| JPH0413857A (ja) | 溶融金属耐食性皮膜形成方法 | |
| JP3366680B2 (ja) | セラミックバルブ用部材及びその製造方法 | |
| JPH06121953A (ja) | セラミックスコーテング層を有する塗工用ダイ | |
| JPH04268065A (ja) | スパッタ成膜装置 | |
| JPH03126644A (ja) | 反射鏡の製造方法 | |
| JP7665499B2 (ja) | 加飾部材 | |
| JPH037191A (ja) | 耐食性に優れた料理用刃物 | |
| JP2003192086A (ja) | 電子部品収容用のトレイ及びその製造方法 | |
| TWI280288B (en) | Surface hardening method of knife |