JP2001242413A5 - レーザー照射装置 - Google Patents
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Description
【特許請求の範囲】
【請求項1】
短尺方向に分割された複数の線状レーザービームのそれぞれが入射する複数のレンズを有し、
前記複数のレンズは、一定の曲率を有する球面レンズを分割し組み合わせたものであり、前記線状レーザービームの進行方向と交わる方向に配列され、
前記複数のレンズの面と被照射面との距離は、前記複数のレンズ毎に異なり、
前記複数のレンズそれぞれから出射された前記複数の線状レーザービームが前記被照射面と前記複数のレンズとの間で集光される
ことを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項2】
短尺方向に分割された複数の線状レーザービームのそれぞれが入射する複数のレンズを有し、
前記複数のレンズは、曲率半径の異なる球面レンズを分割し組み合わせたものであり、前記線状レーザービームの進行方向と交わる方向に配列され、
前記複数のレンズの面と被照射面との距離は、前記複数のレンズ毎に異なり、
前記複数のレンズそれぞれから出射された前記複数の線状レーザービームが前記被照射面と前記複数のレンズとの間で集光される
ことを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項3】
前記球面レンズは、凸レンズであること特徴とする請求項1または請求項2に記載のレーザー照射装置。
【請求項4】
前記球面レンズは、凸型のシリンドリカルレンズであること特徴とする請求項1または請求項2に記載のレーザー照射装置。
【請求項5】
前記被照射面は、半導体膜の表面であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載のレーザー照射装置。
【請求項6】
前記線状レーザービームは、エキシマレーザーから発振されたレーザービームであることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載のレーザー照射装置。
【請求項1】
短尺方向に分割された複数の線状レーザービームのそれぞれが入射する複数のレンズを有し、
前記複数のレンズは、一定の曲率を有する球面レンズを分割し組み合わせたものであり、前記線状レーザービームの進行方向と交わる方向に配列され、
前記複数のレンズの面と被照射面との距離は、前記複数のレンズ毎に異なり、
前記複数のレンズそれぞれから出射された前記複数の線状レーザービームが前記被照射面と前記複数のレンズとの間で集光される
ことを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項2】
短尺方向に分割された複数の線状レーザービームのそれぞれが入射する複数のレンズを有し、
前記複数のレンズは、曲率半径の異なる球面レンズを分割し組み合わせたものであり、前記線状レーザービームの進行方向と交わる方向に配列され、
前記複数のレンズの面と被照射面との距離は、前記複数のレンズ毎に異なり、
前記複数のレンズそれぞれから出射された前記複数の線状レーザービームが前記被照射面と前記複数のレンズとの間で集光される
ことを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項3】
前記球面レンズは、凸レンズであること特徴とする請求項1または請求項2に記載のレーザー照射装置。
【請求項4】
前記球面レンズは、凸型のシリンドリカルレンズであること特徴とする請求項1または請求項2に記載のレーザー照射装置。
【請求項5】
前記被照射面は、半導体膜の表面であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載のレーザー照射装置。
【請求項6】
前記線状レーザービームは、エキシマレーザーから発振されたレーザービームであることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載のレーザー照射装置。
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JP2000052853A JP4651772B2 (ja) | 2000-02-29 | 2000-02-29 | レーザー照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2000052853A JP4651772B2 (ja) | 2000-02-29 | 2000-02-29 | レーザー照射装置 |
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JP2001242413A JP2001242413A (ja) | 2001-09-07 |
JP2001242413A5 true JP2001242413A5 (ja) | 2007-04-26 |
JP4651772B2 JP4651772B2 (ja) | 2011-03-16 |
Family
ID=18574306
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
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- 2000-02-29 JP JP2000052853A patent/JP4651772B2/ja not_active Expired - Fee Related
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