JP2001242413A5 - レーザー照射装置 - Google Patents

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【特許請求の範囲】
【請求項１】
短尺方向に分割された複数の線状レーザービームのそれぞれが入射する複数のレンズを有し、
前記複数のレンズは、一定の曲率を有する球面レンズを分割し組み合わせたものであり、前記線状レーザービームの進行方向と交わる方向に配列され、
前記複数のレンズの面と被照射面との距離は、前記複数のレンズ毎に異なり、
前記複数のレンズそれぞれから出射された前記複数の線状レーザービームが前記被照射面と前記複数のレンズとの間で集光される
ことを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項２】
短尺方向に分割された複数の線状レーザービームのそれぞれが入射する複数のレンズを有し、
前記複数のレンズは、曲率半径の異なる球面レンズを分割し組み合わせたものであり、前記線状レーザービームの進行方向と交わる方向に配列され、
前記複数のレンズの面と被照射面との距離は、前記複数のレンズ毎に異なり、
前記複数のレンズそれぞれから出射された前記複数の線状レーザービームが前記被照射面と前記複数のレンズとの間で集光される
ことを特徴とするレーザー照射装置。
【請求項３】
前記球面レンズは、凸レンズであること特徴とする請求項１または請求項２に記載のレーザー照射装置。
【請求項４】
前記球面レンズは、凸型のシリンドリカルレンズであること特徴とする請求項１または請求項２に記載のレーザー照射装置。
【請求項５】
前記被照射面は、半導体膜の表面であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載のレーザー照射装置。
【請求項６】
前記線状レーザービームは、エキシマレーザーから発振されたレーザービームであることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載のレーザー照射装置。
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