JP2915519B2 - レーザ光の照射装置 - Google Patents
レーザ光の照射装置Info
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- JP2915519B2 JP2915519B2 JP2216526A JP21652690A JP2915519B2 JP 2915519 B2 JP2915519 B2 JP 2915519B2 JP 2216526 A JP2216526 A JP 2216526A JP 21652690 A JP21652690 A JP 21652690A JP 2915519 B2 JP2915519 B2 JP 2915519B2
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- Japan
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- laser beam
- triangular pyramid
- irradiation
- pyramid prism
- laser
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はレーザ光により一定面積を均一強度で照射す
るレーザ光の照射装置に関する。
るレーザ光の照射装置に関する。
（従来技術） 従来のレーザ光の照射装置としては、特開昭61−9198
4号公報によって開示されるものであって、細長いガラ
ス四角柱の一端に発散性のレーザ光を入射させ、該４角
柱内で全反射を繰り返して均一化されたレーザ光を射出
面より射出させるものが知られている。
4号公報によって開示されるものであって、細長いガラ
ス四角柱の一端に発散性のレーザ光を入射させ、該４角
柱内で全反射を繰り返して均一化されたレーザ光を射出
面より射出させるものが知られている。
従来のレーザ光の照射装置の他の例としては、特開昭
59−19332号公報によって開示されているものであっ
て、ピラミッド形の四角錐プリズムの中心部にレーザ光
を入射させて、均一化されたレーザ光の四角形照射領域
を得るもので知られている。
59−19332号公報によって開示されているものであっ
て、ピラミッド形の四角錐プリズムの中心部にレーザ光
を入射させて、均一化されたレーザ光の四角形照射領域
を得るもので知られている。
（発明が解決しようとする課題） 特開昭61−91984号公報によって開示された細長い四
角柱プリズムを使用するレーザ光の照射装置において
は、四角柱プリズムの製作が困難であり、また稜部や隅
部が欠け易く、稜部や隅部が欠けると射出されるレーザ
光の均一化が低下する問題がある。
角柱プリズムを使用するレーザ光の照射装置において
は、四角柱プリズムの製作が困難であり、また稜部や隅
部が欠け易く、稜部や隅部が欠けると射出されるレーザ
光の均一化が低下する問題がある。
特開昭59−19332号公報によって開示されたピラミッ
ド形の四角錐プリズムにおいて、入射面である４つの斜
面が一点で交わるように製作することは極めて困難なこ
とであり、これらが一点で交わらない場合には照射領域
でのレーザ光の均一性が低下する。
ド形の四角錐プリズムにおいて、入射面である４つの斜
面が一点で交わるように製作することは極めて困難なこ
とであり、これらが一点で交わらない場合には照射領域
でのレーザ光の均一性が低下する。
レーザ光によって例えばほくろを除去をする場合、ほ
くろは多くの場合略円形であり、これを四角形の照射領
域をもつレーザ光を照射すると、ほくろ以外の部分にも
レーザ光が照射され、正常な皮膚に損傷を与えることに
なる。上記いずれの従来例も四角形の照射領域を得るも
のであり、照射領域について問題があった。
くろは多くの場合略円形であり、これを四角形の照射領
域をもつレーザ光を照射すると、ほくろ以外の部分にも
レーザ光が照射され、正常な皮膚に損傷を与えることに
なる。上記いずれの従来例も四角形の照射領域を得るも
のであり、照射領域について問題があった。
本発明は従来のレーザ光の照射装置のこのような問題
に鑑みてなされたものであって、製作が容易であって製
作コストが低く、かつ照射領域が実質上円形であるレー
ザ光の照射装置を提供することを目的とする。
に鑑みてなされたものであって、製作が容易であって製
作コストが低く、かつ照射領域が実質上円形であるレー
ザ光の照射装置を提供することを目的とする。
（発明の構成） 本発明は、レーザ光を三角錐プリズムに入射させて三
分割し、分割されて中心軸心方向へ屈折して出射した各
レーザ光を、照射面でほぼ六角形に合成することを特徴
とするレーザ光の照射装置である。
分割し、分割されて中心軸心方向へ屈折して出射した各
レーザ光を、照射面でほぼ六角形に合成することを特徴
とするレーザ光の照射装置である。
（実施例） 以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。実施
例の三角錐プリズム１は、第１図に示すように、円盤状
であって、射出面２が該円盤の中心に頂点を持つ三角錐
を形成する面であり、入射面４は平面である。射出面２
を形成する各平面Ｉ、II、IIIの光軸Ｏに関する傾斜角
度は、70°ないし80°である。
例の三角錐プリズム１は、第１図に示すように、円盤状
であって、射出面２が該円盤の中心に頂点を持つ三角錐
を形成する面であり、入射面４は平面である。射出面２
を形成する各平面Ｉ、II、IIIの光軸Ｏに関する傾斜角
度は、70°ないし80°である。
ここで、レーザ光は、横軸に強度、縦軸にレーザ光の
光軸からの距離をとると、第３図に示すようなガウス分
布状の強度分布を持つ。第２図に示すように、レーザ光
線Ａ、Ｂ、Ｃが、三角錐プリズム１を通過後、面Ｐに到
達する。レーザ光のBC、CAで示す光束領域は、二分割さ
れ、面ＰにおいてはＢ′Ｃ、Ｃ′Ａとなり、第２図の右
端に示すような強度分布となる。
光軸からの距離をとると、第３図に示すようなガウス分
布状の強度分布を持つ。第２図に示すように、レーザ光
線Ａ、Ｂ、Ｃが、三角錐プリズム１を通過後、面Ｐに到
達する。レーザ光のBC、CAで示す光束領域は、二分割さ
れ、面ＰにおいてはＢ′Ｃ、Ｃ′Ａとなり、第２図の右
端に示すような強度分布となる。
一方、第２図の面ａ、ｂ、ｃにおけるレーザ光のビー
ムパターンは、第４図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）で示すよ
うになる。すなわち、第１図における各斜面Ｉ、II、II
Iを通過したレーザ光は、それぞれＩ′、II′、III′と
なり、レーザ光線AOB、BOC、COAは、それぞれAIOIBI、B
IIOIICII、CIIIOIIIAIIIとなる。
ムパターンは、第４図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）で示すよ
うになる。すなわち、第１図における各斜面Ｉ、II、II
Iを通過したレーザ光は、それぞれＩ′、II′、III′と
なり、レーザ光線AOB、BOC、COAは、それぞれAIOIBI、B
IIOIICII、CIIIOIIIAIIIとなる。
また、第４図（ｂ）における断面Ｓにおける強度分布
は、第５図に示すように、Ｉ′、II″、II″と同一のII
I′の和であるＭとなり、ほぼ平均化されている。ま
た、面ａ、ｂ、ｃにおけるレーザ光の断面形状は、六角
形、すなわちほぼ円形に近い形である。なお、（ａ）、
（ｂ）においては、六角形の外側にはみ出したレーザ光
部分があるが、ここは六角形の内部に比較して強度が極
めて低いので、人体へ損傷をはじめ実質的なレーザ光に
よる影響を与えるおそれはない。
は、第５図に示すように、Ｉ′、II″、II″と同一のII
I′の和であるＭとなり、ほぼ平均化されている。ま
た、面ａ、ｂ、ｃにおけるレーザ光の断面形状は、六角
形、すなわちほぼ円形に近い形である。なお、（ａ）、
（ｂ）においては、六角形の外側にはみ出したレーザ光
部分があるが、ここは六角形の内部に比較して強度が極
めて低いので、人体へ損傷をはじめ実質的なレーザ光に
よる影響を与えるおそれはない。
本発明の他の実施例は、第６図に示すように、三角錐
プリズム１と照射面10との間の適当な位置に凸レンズ12
を配置する。これにより、均一分布の得られる断面Ｐの
像をＰ′面に投影Ｌ、Ｐ′面に拡大または縮小された均
一面を得ることができる。こうすることによって、レー
ザ光の強度の分布の均一化を保ったまま、照射領域の拡
大、縮小を行うことができる。
プリズム１と照射面10との間の適当な位置に凸レンズ12
を配置する。これにより、均一分布の得られる断面Ｐの
像をＰ′面に投影Ｌ、Ｐ′面に拡大または縮小された均
一面を得ることができる。こうすることによって、レー
ザ光の強度の分布の均一化を保ったまま、照射領域の拡
大、縮小を行うことができる。
さらに他の実施例として、レーザ発振管と三角錐プリ
ズムの間に、レーザ光を平行光束とするための平行化レ
ンズを配置する。レーザ光は平行光とはいえ、多少の発
散角をもっている。したがって、これを平行光とするこ
とにより均一化の効果はさらに高まる。
ズムの間に、レーザ光を平行光束とするための平行化レ
ンズを配置する。レーザ光は平行光とはいえ、多少の発
散角をもっている。したがって、これを平行光とするこ
とにより均一化の効果はさらに高まる。
さらに他の実施例として、第７図に示すように、レー
ザ発振管（図示せず）から射出されたレーザ光を光ファ
イバー20に入射させる。光ファイバー20の射出端22と三
角錐プリズム１との間には、光ファイバー20のNAに対し
平行光を得るのに必要な焦点距離をもった平行化レンズ
24を配置する。平行化レンズ24の作用によりレーザ光の
均一化はさらに高まる。
ザ発振管（図示せず）から射出されたレーザ光を光ファ
イバー20に入射させる。光ファイバー20の射出端22と三
角錐プリズム１との間には、光ファイバー20のNAに対し
平行光を得るのに必要な焦点距離をもった平行化レンズ
24を配置する。平行化レンズ24の作用によりレーザ光の
均一化はさらに高まる。
（発明の効果） 本発明に使用される三角錐プリズムは製作が比較的容
易で、高精度のものが低コストで製作できる。また、照
射領域でのレーザ光の強度の均一化は実用上十分な程度
になされ、さらに、照射領域がほゞ六角形となり、円形
に近くなる利点を有する。
易で、高精度のものが低コストで製作できる。また、照
射領域でのレーザ光の強度の均一化は実用上十分な程度
になされ、さらに、照射領域がほゞ六角形となり、円形
に近くなる利点を有する。
第１図は本発明の実施例の三角錐プリズムの斜視図、第
２図は三角プリズムの透過レーザ光の屈折説明図、第３
図はレーザ光の強度分布図、第４図（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）は第２図の面ａ、ｂ、ｃにおけるレーザ光の均一
化説明図、第５図は第４図（ｂ）の線Ｓにおけるレーザ
光の強度分布図、第６図は平行化レンズを有する実施例
の光学図、第７図は光ファイバーと平行レンズを有する
実施例の光学図である。 １……三角錐プリズム ２……射出面 ４……入射面 10……照射面 12……集束用凸レンズ 20……光ファイバー 24……平行化用凸レンズ
２図は三角プリズムの透過レーザ光の屈折説明図、第３
図はレーザ光の強度分布図、第４図（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）は第２図の面ａ、ｂ、ｃにおけるレーザ光の均一
化説明図、第５図は第４図（ｂ）の線Ｓにおけるレーザ
光の強度分布図、第６図は平行化レンズを有する実施例
の光学図、第７図は光ファイバーと平行レンズを有する
実施例の光学図である。 １……三角錐プリズム ２……射出面 ４……入射面 10……照射面 12……集束用凸レンズ 20……光ファイバー 24……平行化用凸レンズ
Claims (3)
- 【請求項１】レーザ光を三角錐プリズムに入射させて三
分割し、分割されて中心軸方向へ屈折して出射した各レ
ーザ光を、照射面でほぼ六角形に合成することを特徴と
するレーザ光の照射装置。 - 【請求項２】上記三角錐プリズムの照射部側に投影レン
ズを配置した請求項（１）記載のレーザ光の照射装置。 - 【請求項３】上記三角錐プリズムのレーザ光光源側にレ
ーザ光平行化レンズを配置した請求項（１）記載のレー
ザ光の照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2216526A JP2915519B2 (ja) | 1990-08-17 | 1990-08-17 | レーザ光の照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2216526A JP2915519B2 (ja) | 1990-08-17 | 1990-08-17 | レーザ光の照射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0498214A JPH0498214A (ja) | 1992-03-30 |
| JP2915519B2 true JP2915519B2 (ja) | 1999-07-05 |
Family
ID=16689813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2216526A Expired - Lifetime JP2915519B2 (ja) | 1990-08-17 | 1990-08-17 | レーザ光の照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2915519B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3285957B2 (ja) * | 1992-09-29 | 2002-05-27 | 株式会社東芝 | 光学装置 |
| US5892620A (en) * | 1995-10-03 | 1999-04-06 | Stone; Thomas W. | Optical shuffle device |
| JP2006317831A (ja) * | 2005-05-16 | 2006-11-24 | Nippon Soken Inc | 多点分割用光学装置 |
| JP5084327B2 (ja) * | 2007-04-04 | 2012-11-28 | オリンパス株式会社 | 偏心検査装置及び偏心調整装置 |
| JP5019931B2 (ja) * | 2007-04-05 | 2012-09-05 | 川崎重工業株式会社 | 多点出力レーザ装置 |
| JP2009251381A (ja) * | 2008-04-08 | 2009-10-29 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ照射装置 |
-
1990
- 1990-08-17 JP JP2216526A patent/JP2915519B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0498214A (ja) | 1992-03-30 |
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