JPH0659211A - 光束断面整形用レンズ及びそれを用いた高調波発生装置 - Google Patents
光束断面整形用レンズ及びそれを用いた高調波発生装置Info
- Publication number
- JPH0659211A JPH0659211A JP22929392A JP22929392A JPH0659211A JP H0659211 A JPH0659211 A JP H0659211A JP 22929392 A JP22929392 A JP 22929392A JP 22929392 A JP22929392 A JP 22929392A JP H0659211 A JPH0659211 A JP H0659211A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- lens
- section
- shaping
- curvature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】結合光学系に使用される光学素子を１つにし、
装置全体の小型化、コストの低減化を図る。 【構成】ひろく広がったＶ方向のＬＤ光を、光束断面整
形レンズ１の光出射面上でＨ方向の光束と同じ径になる
ように集光する。光源側へ凸の曲面を正の曲率とする
と、光入射面の曲率はＲIN1 ＞ＲIN2 、光出射面の曲率
はＲOUT1＞ＲOUT2である。
装置全体の小型化、コストの低減化を図る。 【構成】ひろく広がったＶ方向のＬＤ光を、光束断面整
形レンズ１の光出射面上でＨ方向の光束と同じ径になる
ように集光する。光源側へ凸の曲面を正の曲率とする
と、光入射面の曲率はＲIN1 ＞ＲIN2 、光出射面の曲率
はＲOUT1＞ＲOUT2である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体レーザからのレ
ーザ光を集光しかつレーザ光の縦横比を変換する光束断
面整形用レンズ及びそれを用いた高調波発生装置に関す
る。
ーザ光を集光しかつレーザ光の縦横比を変換する光束断
面整形用レンズ及びそれを用いた高調波発生装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体レーザ（以下ＬＤとする）から発
せられるレーザ光は、大きな開口数を持ちかつビーム断
面の縦横比が異なっている。このレーザ光を他の装置に
効率よく光学的に結合させるためには、ＬＤからの出射
レーザ光をコリメートし平行光にするための光学系と、
レーザ光のビーム断面の縦横比を変換しほぼ円形のビー
ム断面にするための光学系の少なくとも２種類の光学系
が必要である。
せられるレーザ光は、大きな開口数を持ちかつビーム断
面の縦横比が異なっている。このレーザ光を他の装置に
効率よく光学的に結合させるためには、ＬＤからの出射
レーザ光をコリメートし平行光にするための光学系と、
レーザ光のビーム断面の縦横比を変換しほぼ円形のビー
ム断面にするための光学系の少なくとも２種類の光学系
が必要である。
【０００３】図５及び図６に従来の技術を示す。図５に
おいて、４はＬＤからのレーザ光を平行光にするコリメ
ータレンズ、５はレーザ光のビーム径をＶ（垂直）方向
において収束化する円柱レンズ、６はレーザ光のビーム
径をＶ方向に引き伸ばし円柱レンズ５による収束化を解
消してビーム径を一定にする円柱レンズ、８は集光レン
ズである。図６において、７はレーザ光のビーム径をＶ
方向において縮小かつ平行化するアナモルフィックプリ
ズムである。
おいて、４はＬＤからのレーザ光を平行光にするコリメ
ータレンズ、５はレーザ光のビーム径をＶ（垂直）方向
において収束化する円柱レンズ、６はレーザ光のビーム
径をＶ方向に引き伸ばし円柱レンズ５による収束化を解
消してビーム径を一定にする円柱レンズ、８は集光レン
ズである。図６において、７はレーザ光のビーム径をＶ
方向において縮小かつ平行化するアナモルフィックプリ
ズムである。
【０００４】ＬＤからのレーザ光をコリメータレンズ４
により平行光にしてから、図５においては円柱レンズ
５、６の組合せにより、また図６においてはアナモルフ
ィックプリズム７によりビーム断面の縦横比を変換しほ
ぼ円形断面となるよう整形している。図５ａ及び図６ａ
はＬＤの垂直方向におけるレーザビーム断面の変化を示
し、図５ｂ及び図６ｂはＬＤの水平方向におけるレーザ
ビーム断面の変化を示している。
により平行光にしてから、図５においては円柱レンズ
５、６の組合せにより、また図６においてはアナモルフ
ィックプリズム７によりビーム断面の縦横比を変換しほ
ぼ円形断面となるよう整形している。図５ａ及び図６ａ
はＬＤの垂直方向におけるレーザビーム断面の変化を示
し、図５ｂ及び図６ｂはＬＤの水平方向におけるレーザ
ビーム断面の変化を示している。
【０００５】上記従来例においては、ＬＤのＶ方向にお
いてレーザビーム断面を縮小化しているが、ＬＤの配置
によってはＨ（水平）方向においてレーザビーム断面を
縮小化する場合もあり、レーザ光の開口数の大きい方向
（放射角の大きい方向）においてレーザビーム断面を縮
小化するものである。
いてレーザビーム断面を縮小化しているが、ＬＤの配置
によってはＨ（水平）方向においてレーザビーム断面を
縮小化する場合もあり、レーザ光の開口数の大きい方向
（放射角の大きい方向）においてレーザビーム断面を縮
小化するものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の光学系では光学素子が３つ以上必要であり、またそ
れらを保持し光軸調整する微動系がそれぞれ必要である
ため、装置全体が大型かつ高価となり、これらの問題の
解決が望まれている。
来の光学系では光学素子が３つ以上必要であり、またそ
れらを保持し光軸調整する微動系がそれぞれ必要である
ため、装置全体が大型かつ高価となり、これらの問題の
解決が望まれている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は前述の問題点を
解消するためになされたものであり、第１の発明として
光束断面の直交する２方向において光の放射角が異なる
光源からの非円形の光束断面をほぼ円形に整形する光束
断面整形用レンズであって、光入射面において放射角の
大きい方向の曲率をＲIN1 、前記放射角の大きい方向に
直交する放射角の小さい方向の曲率をＲIN2 とし、光出
射面において放射角の大きい方向の曲率をＲOUT1、前記
放射角の大きい方向に直交する放射角の小さい方向の曲
率をＲOUT2とし、前記光源側に凸の曲面を正の曲率とす
ると、ＲIN1 ＞ＲIN2 かつＲOUT1＞ＲOUT2であることを
特徴とする光束断面整形用レンズを提供する。
解消するためになされたものであり、第１の発明として
光束断面の直交する２方向において光の放射角が異なる
光源からの非円形の光束断面をほぼ円形に整形する光束
断面整形用レンズであって、光入射面において放射角の
大きい方向の曲率をＲIN1 、前記放射角の大きい方向に
直交する放射角の小さい方向の曲率をＲIN2 とし、光出
射面において放射角の大きい方向の曲率をＲOUT1、前記
放射角の大きい方向に直交する放射角の小さい方向の曲
率をＲOUT2とし、前記光源側に凸の曲面を正の曲率とす
ると、ＲIN1 ＞ＲIN2 かつＲOUT1＞ＲOUT2であることを
特徴とする光束断面整形用レンズを提供する。
【０００８】第２の発明として、光束断面の直交する２
方向において光の放射角が異なる光源からの非円形の光
束断面をほぼ円形に整形する光束断面整形用レンズであ
って、光入射面か光出射面の少なくともいずれか一方の
面が放射角の大きい方向において光源の光軸に対して傾
けられてなり、前記光入射面と光出射面は放射角の大き
い方向において前記光源の光軸に対する傾斜角が異なる
ことを特徴とする光束断面整形用レンズを提供する。
方向において光の放射角が異なる光源からの非円形の光
束断面をほぼ円形に整形する光束断面整形用レンズであ
って、光入射面か光出射面の少なくともいずれか一方の
面が放射角の大きい方向において光源の光軸に対して傾
けられてなり、前記光入射面と光出射面は放射角の大き
い方向において前記光源の光軸に対する傾斜角が異なる
ことを特徴とする光束断面整形用レンズを提供する。
【０００９】本発明はさらに、基本波発生用の光源と、
基本波を高調波へ変換する非線形光学材料を備えた高調
波発生装置において、前記基本波の光源と非線形光学材
料との間の光軸上に前記第１あるいは第２の発明による
光束断面整形用レンズを配置した高調波発生装置を提供
する。
基本波を高調波へ変換する非線形光学材料を備えた高調
波発生装置において、前記基本波の光源と非線形光学材
料との間の光軸上に前記第１あるいは第２の発明による
光束断面整形用レンズを配置した高調波発生装置を提供
する。
【００１０】本発明の高調波発生装置は第２高調波発生
装置ばかりでなく、第３高調波以上の高次の高調波発生
装置にも応用できる。
装置ばかりでなく、第３高調波以上の高次の高調波発生
装置にも応用できる。
【００１１】本発明に用いる高調波発生装置用の非線形
光学材料としては、ＫＮｂＯ3 、ＬｉＮｂＯ3 、ＫＴｉ
ＯＰＯ4 、ＫＨ2 ＰＯ4 、β−ＢａＢ2 Ｏ4 等の非線形
光学結晶、有機非線形光学材料等が使用できる。
光学材料としては、ＫＮｂＯ3 、ＬｉＮｂＯ3 、ＫＴｉ
ＯＰＯ4 、ＫＨ2 ＰＯ4 、β−ＢａＢ2 Ｏ4 等の非線形
光学結晶、有機非線形光学材料等が使用できる。
【００１２】
【作用】図１ａ、図１ｂは本発明の光束断面整形用のレ
ンズをそれぞれ見る方向を変えて示したものである。図
１ａはＬＤ光の放射角の大きい方向（Ｖ方向）、図１ｂ
は放射角の小さい方向（Ｈ方向）である。光源側に凸の
曲面を正の曲率とすると、レンズの光入射面ではＶ方向
のほうがＨ方向よりも大きな曲率を持ち、Ｖ方向におい
て大きく広がったＬＤ光を平行光にするかそれ以上に絞
り込む働きをする。レンズの光出射面ではＶ方向はＨ方
向より大きな曲率または正の曲率を持ち、絞り込まれた
Ｖ方向の光束をＨ方向の開口数に合わせて出射する。
ンズをそれぞれ見る方向を変えて示したものである。図
１ａはＬＤ光の放射角の大きい方向（Ｖ方向）、図１ｂ
は放射角の小さい方向（Ｈ方向）である。光源側に凸の
曲面を正の曲率とすると、レンズの光入射面ではＶ方向
のほうがＨ方向よりも大きな曲率を持ち、Ｖ方向におい
て大きく広がったＬＤ光を平行光にするかそれ以上に絞
り込む働きをする。レンズの光出射面ではＶ方向はＨ方
向より大きな曲率または正の曲率を持ち、絞り込まれた
Ｖ方向の光束をＨ方向の開口数に合わせて出射する。
【００１３】図１ａ、ｂにおいて、レンズの光入射面の
Ｖ方向及びＨ方向の曲率をＲIN1 、ＲIN2 、レンズの光
出射面のＶ方向及びＨ方向の曲率をＲOUT1、ＲOUT2とす
ると、ＲIN1 ＞ＲIN2 かつＲOUT1＞ＲOUT2の関係が成り
立つ。
Ｖ方向及びＨ方向の曲率をＲIN1 、ＲIN2 、レンズの光
出射面のＶ方向及びＨ方向の曲率をＲOUT1、ＲOUT2とす
ると、ＲIN1 ＞ＲIN2 かつＲOUT1＞ＲOUT2の関係が成り
立つ。
【００１４】図３ａ、図３ｂは本発明の他の実施例に係
る光束断面整形用のレンズをそれぞれ見る角度を変えて
示したものである。図３ａはＬＤ光の放射角の大きい方
（Ｖ方向）、図３ｂは放射角の小さい方向（Ｈ方向）で
ある。レンズの光出射面を光入射面に対してＶ方向にお
いて傾けてあるため、出射光軸（図３ａ中で光出射面か
ら下方へ傾斜したレーザ光の中心軸）方向においてレー
ザ光束を細くすることができる。
る光束断面整形用のレンズをそれぞれ見る角度を変えて
示したものである。図３ａはＬＤ光の放射角の大きい方
（Ｖ方向）、図３ｂは放射角の小さい方向（Ｈ方向）で
ある。レンズの光出射面を光入射面に対してＶ方向にお
いて傾けてあるため、出射光軸（図３ａ中で光出射面か
ら下方へ傾斜したレーザ光の中心軸）方向においてレー
ザ光束を細くすることができる。
【００１５】Ｈ方向については、レンズ面を傾けていな
いため光束断面の形状は変化しない。よって光入射面と
光出射面の傾きを変えることにより、光束断面の縦横比
を任意に変えることができる。なお光入射面もＬＤレー
ザ光の光軸に対して垂直である必要はなく、特にＶ方向
において傾いていても良い。またレンズ面は収差を減ら
すために、軸対称でない非球面を用いても良い。
いため光束断面の形状は変化しない。よって光入射面と
光出射面の傾きを変えることにより、光束断面の縦横比
を任意に変えることができる。なお光入射面もＬＤレー
ザ光の光軸に対して垂直である必要はなく、特にＶ方向
において傾いていても良い。またレンズ面は収差を減ら
すために、軸対称でない非球面を用いても良い。
【００１６】図１及び図３ではＶ方向が放射角の大きい
（開口数の大きい）方向として取り扱ったが、本発明に
おいては、ＬＤの配置によってはＶ方向に限定されるも
のではなく、ＬＤ光の放射角の大きい方向において光束
断面径をより細くするように構成するものである。
（開口数の大きい）方向として取り扱ったが、本発明に
おいては、ＬＤの配置によってはＶ方向に限定されるも
のではなく、ＬＤ光の放射角の大きい方向において光束
断面径をより細くするように構成するものである。
【００１７】
（実施例１）図２ａ、図２ｂには図１ａと図１ｂの本発
明のガラスモールド非球面レンズ１を、基本波の光源で
あるＬＤ２とＫＮｂＯ3 結晶からなるモノリシック型共
振器３との間の光軸上に配置した第２高調波発生装置の
実施例が示されている。ＬＤ２からのレーザ光の放射角
はＶ（垂直）方向が２８゜、Ｈ（水平）方向が８゜であ
る。モノリシック型共振器３への入射角は、Ｖ方向とＨ
方向とも１. ２゜である。
明のガラスモールド非球面レンズ１を、基本波の光源で
あるＬＤ２とＫＮｂＯ3 結晶からなるモノリシック型共
振器３との間の光軸上に配置した第２高調波発生装置の
実施例が示されている。ＬＤ２からのレーザ光の放射角
はＶ（垂直）方向が２８゜、Ｈ（水平）方向が８゜であ
る。モノリシック型共振器３への入射角は、Ｖ方向とＨ
方向とも１. ２゜である。
【００１８】ガラスモールド非球面レンズ１の光入射面
はＶ方向の方がＨ方向より曲率の大きいトーリック面
（直交する２方向で曲率の異なる９０゜回転対称面）と
なっており、ひろく広がったＶ方向のＬＤ光を、同レン
ズ１の光出射面上でＨ方向の光束と同じ径になるように
集光する。ＬＤ２側へ凸の曲面を正の曲率とすると、光
入射面の曲率はＲIN1 ＞ＲIN2 とされている。同レンズ
１の光出射面は、Ｖ方向とＨ方向共にモノリシック型共
振器３への入射角が１. ２゜となるように、Ｖ方向は凹
面（正の曲率）でＨ方向は凸面（負の曲率）を持ったト
ーリック面なるようにした。従って、光出射面の曲率は
ＲOUT1＞ＲOUT2とされている。
はＶ方向の方がＨ方向より曲率の大きいトーリック面
（直交する２方向で曲率の異なる９０゜回転対称面）と
なっており、ひろく広がったＶ方向のＬＤ光を、同レン
ズ１の光出射面上でＨ方向の光束と同じ径になるように
集光する。ＬＤ２側へ凸の曲面を正の曲率とすると、光
入射面の曲率はＲIN1 ＞ＲIN2 とされている。同レンズ
１の光出射面は、Ｖ方向とＨ方向共にモノリシック型共
振器３への入射角が１. ２゜となるように、Ｖ方向は凹
面（正の曲率）でＨ方向は凸面（負の曲率）を持ったト
ーリック面なるようにした。従って、光出射面の曲率は
ＲOUT1＞ＲOUT2とされている。
【００１９】具体的には、ＲIN1 ＝１．４２（ｍｍ）、
ＲIN2 ＝−１、ＲOUT1＝０．０８４、ＲOUT2＝−０．６
３３とした場合、従来結合光学系の長さが１０ｍｍ程度
であったものが、ガラスモールド非球面レンズ１の長さ
１〜２ｍｍ程度に短縮され、大幅な小型化がなされると
いう効果を有する。
ＲIN2 ＝−１、ＲOUT1＝０．０８４、ＲOUT2＝−０．６
３３とした場合、従来結合光学系の長さが１０ｍｍ程度
であったものが、ガラスモールド非球面レンズ１の長さ
１〜２ｍｍ程度に短縮され、大幅な小型化がなされると
いう効果を有する。
【００２０】本実施例において、ＬＤ光を光ファイバー
を用いて結合することもでき、その場合前記レンズ１を
光ファイバーの光入射端に設けると光学的に効率のよい
結合がなされる。また、本実施例においては放射角の大
きい方向の光束を放射角の小さい方向よりもより大きく
集光させる例について示したが、放射角の小さい方向を
放射角の大きい方向よりも光束を広げるようにしてもよ
い。その場合、レンズの焦点距離が長くなるという問題
点があり、本実施例の方が焦点距離が短くなり好まし
い。
を用いて結合することもでき、その場合前記レンズ１を
光ファイバーの光入射端に設けると光学的に効率のよい
結合がなされる。また、本実施例においては放射角の大
きい方向の光束を放射角の小さい方向よりもより大きく
集光させる例について示したが、放射角の小さい方向を
放射角の大きい方向よりも光束を広げるようにしてもよ
い。その場合、レンズの焦点距離が長くなるという問題
点があり、本実施例の方が焦点距離が短くなり好まし
い。
【００２１】（実施例２）図４ａ、図４ｂには図３ａと
図３ｂの本発明のレンズ１１を、基本波の光源であるＬ
Ｄ２とＫＮｂＯ3 結晶からなるモノリシック型共振器３
との間の光軸上に配置した第２高調波発生装置の実施例
が示されている。ＬＤ２の放射角はＶ方向が１６゜、Ｈ
方向が８゜である。モノリシック型共振器３への入射角
は、Ｖ方向とＨ方向とも１. ２゜である。
図３ｂの本発明のレンズ１１を、基本波の光源であるＬ
Ｄ２とＫＮｂＯ3 結晶からなるモノリシック型共振器３
との間の光軸上に配置した第２高調波発生装置の実施例
が示されている。ＬＤ２の放射角はＶ方向が１６゜、Ｈ
方向が８゜である。モノリシック型共振器３への入射角
は、Ｖ方向とＨ方向とも１. ２゜である。
【００２２】１１の光出射面は光入射面に対してＶ方向
において傾いており、同レンズ１１の出射光軸上のＨ方
向とＶ1 方向（元のＶ方向に対して図中では下方へ傾い
た方向）における光束断面径が同一になるようにしてあ
る。同レンズ１１から出た光は、モノリシック共振器３
への入射角に合わせて集光するようにした。
において傾いており、同レンズ１１の出射光軸上のＨ方
向とＶ1 方向（元のＶ方向に対して図中では下方へ傾い
た方向）における光束断面径が同一になるようにしてあ
る。同レンズ１１から出た光は、モノリシック共振器３
への入射角に合わせて集光するようにした。
【００２３】本実施例において、ＬＤ光を光ファイバー
を用いて結合することもでき、その場合前記レンズ１１
を光ファイバーの光入射端に設けると光学的に効率のよ
い結合がなされる。
を用いて結合することもでき、その場合前記レンズ１１
を光ファイバーの光入射端に設けると光学的に効率のよ
い結合がなされる。
【００２４】本発明の光束断面整形用レンズはガラス材
料に限らず、プレスチック等の他の透明材料を用いるこ
ともできる。
料に限らず、プレスチック等の他の透明材料を用いるこ
ともできる。
【００２５】
【発明の効果】従来、基本波の光源であるＬＤと非線形
光学材料間の光学系としてレンズ等の光学素子が３つ以
上必要であり、それらを保持し光軸調整する微動系がそ
れぞれ必要であったため装置全体が大型かつ高価となっ
ていたものが、本発明は１個の光束断面整形用レンズの
みの光学系ですむので、大幅な小型化及び製造コストの
低減化がなされた。また、光束断面がほぼ円形に整合さ
れるのでモノリシック型共振器内の最適な光学的モード
との整合も改善され光学的結合効率も向上する。また、
高調波への変換効率及び高調波の出力強度も向上すると
いう優れた効果を有する。
光学材料間の光学系としてレンズ等の光学素子が３つ以
上必要であり、それらを保持し光軸調整する微動系がそ
れぞれ必要であったため装置全体が大型かつ高価となっ
ていたものが、本発明は１個の光束断面整形用レンズの
みの光学系ですむので、大幅な小型化及び製造コストの
低減化がなされた。また、光束断面がほぼ円形に整合さ
れるのでモノリシック型共振器内の最適な光学的モード
との整合も改善され光学的結合効率も向上する。また、
高調波への変換効率及び高調波の出力強度も向上すると
いう優れた効果を有する。
【図１】本発明の光束断面整形用のガラスモールド非球
面レンズの側面図（図１ａ）及び平面図（図１ｂ）。
面レンズの側面図（図１ａ）及び平面図（図１ｂ）。
【図２】図１のガラスモールド非球面レンズを第２高調
波発生装置に組み込んだ例を示す基本構成の側面図（図
２ａ）及び平面図（図２ｂ）。
波発生装置に組み込んだ例を示す基本構成の側面図（図
２ａ）及び平面図（図２ｂ）。
【図３】本発明の他の光束断面整形用のレンズの側面図
（図３ａ）及び平面図（図３ｂ）。
（図３ａ）及び平面図（図３ｂ）。
【図４】図３のレンズを第２高調波発生装置に組み込ん
だ例を示す基本構成の側面図（図４ａ）及び平面図（図
４ｂ）。
だ例を示す基本構成の側面図（図４ａ）及び平面図（図
４ｂ）。
【図５】従来の光学系を示す側面図（図５ａ）及び平面
図（図５ｂ）。
図（図５ｂ）。
【図６】従来の他の光学系を示す側面図（図６ａ）及び
平面図（図６ｂ）。
平面図（図６ｂ）。
１：ガラスモールド非球面レンズ ２：半導体レーザ（ＬＤ） ３：モノリシック型共振器 ４：コリメータレンズ ５：円柱レンズ ６：円柱レンズ ７：アナモルフィックプリズム ８：集光レンズ １１：ガラスモールド非球面レンズ
Claims (4)
- 【請求項１】光束断面の直交する２方向において光の放
射角が異なる光源からの非円形の光束断面をほぼ円形に
整形する光束断面整形用レンズであって、光入射面にお
いて放射角の大きい方向の曲率をＲIN1 、前記放射角の
大きい方向に直交する放射角の小さい方向の曲率をＲIN
2 とし、光出射面において放射角の大きい方向の曲率を
ＲOUT1、前記放射角の大きい方向に直交する放射角の小
さい方向の曲率をＲOUT2とし、前記光源側に凸の曲面を
正の曲率とすると、ＲIN1 ＞ＲIN2 かつＲOUT1＞ＲOUT2
であることを特徴とする光束断面整形用レンズ。 - 【請求項２】光束断面の直交する２方向において光の放
射角が異なる光源からの非円形の光束断面をほぼ円形に
整形する光束断面整形用レンズであって、光入射面か光
出射面の少なくともいずれか一方の面が放射角の大きい
方向において光源の光軸に対して傾けられてなり、前記
光入射面と光出射面は放射角の大きい方向において前記
光源の光軸に対する傾斜角が異なることを特徴とする光
束断面整形用レンズ。 - 【請求項３】基本波発生用の光源と、基本波を高調波へ
変換する非線形光学材料を備えた高調波発生装置におい
て、前記基本波の光源と非線形光学材料との間の光軸上
に請求項１の光束断面整形用レンズを配置した高調波発
生装置。 - 【請求項４】基本波発生用の光源と、基本波を高調波へ
変換する非線形光学材料を備えた高調波発生装置におい
て、前記基本波の光源と非線形光学材料との間の光軸上
に請求項２の光束断面整形用レンズを配置した高調波発
生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22929392A JPH0659211A (ja) | 1992-08-05 | 1992-08-05 | 光束断面整形用レンズ及びそれを用いた高調波発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22929392A JPH0659211A (ja) | 1992-08-05 | 1992-08-05 | 光束断面整形用レンズ及びそれを用いた高調波発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0659211A true JPH0659211A (ja) | 1994-03-04 |
Family
ID=16889865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22929392A Withdrawn JPH0659211A (ja) | 1992-08-05 | 1992-08-05 | 光束断面整形用レンズ及びそれを用いた高調波発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0659211A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005088376A1 (ja) * | 2004-03-12 | 2005-09-22 | Nalux Co., Ltd. | ビーム整形レンズ |
| JP2009139395A (ja) * | 2007-12-03 | 2009-06-25 | Mitsubishi Electric Corp | 波長変換レーザ光源 |
-
1992
- 1992-08-05 JP JP22929392A patent/JPH0659211A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005088376A1 (ja) * | 2004-03-12 | 2005-09-22 | Nalux Co., Ltd. | ビーム整形レンズ |
| JP2009139395A (ja) * | 2007-12-03 | 2009-06-25 | Mitsubishi Electric Corp | 波長変換レーザ光源 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6700709B1 (en) | Configuration of and method for optical beam shaping of diode laser bars | |
| JPH0412039B2 (ja) | ||
| JP3089017B2 (ja) | 集束鏡の組合せを有する高出力レーザ装置 | |
| US6421178B1 (en) | Device and method for transforming optical beams | |
| US5349603A (en) | Solid-state laser resonator | |
| CN116736553A (zh) | 光学模组及光学整形系统 | |
| JP2001503161A (ja) | 軸勾配屈折率型結合器 | |
| JPH0659211A (ja) | 光束断面整形用レンズ及びそれを用いた高調波発生装置 | |
| WO2023123044A1 (zh) | 一种均匀光斑整形系统 | |
| JPS58154484A (ja) | レ−ザビ−ムの変換方法 | |
| KR930011823B1 (ko) | 광파장 변환장치 | |
| JP2915519B2 (ja) | レーザ光の照射装置 | |
| JPS63108318A (ja) | レ−ザ−加工装置 | |
| JPS5853322B2 (ja) | 小形集光器 | |
| JPH07287189A (ja) | 光路変換器およびそれを用いたレーザ装置 | |
| KR102283288B1 (ko) | 라인빔 형성장치 | |
| JPS63269130A (ja) | 平行光作成装置 | |
| JP2704337B2 (ja) | 光波長変換装置 | |
| JPS63208021A (ja) | レ−ザ−ダイオ−ドアレイを用いる光走査光学系 | |
| SU1651261A1 (ru) | Градиентна цилиндрическа линза дл фокусировки оптического астигматического пучка | |
| JP2001350062A (ja) | レーザー光束合成光学系 | |
| KR20080072785A (ko) | 원통형 빔 발생장치 | |
| JPS61282813A (ja) | 発散光の補正方法 | |
| JPS5917523A (ja) | 光学装置 | |
| JPH0780673A (ja) | レーザ加工機 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991005 |