JP4808733B2 - 光均質化装置 - Google Patents
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Description
本発明の装置の、図4から明らかな第1の実施形態は、第1の基板15と第2の基板16とを有している。第1の基板15は、その入射面に第1のシリンドリカルレンズアレイ17を有し、反対にその出射面は平らに形成されている。これに代えて、出射面に、たとえば第1のシリンドリカルレンズアレイ17に交差して配列されるシリンドリカルレンズアレイを設けてもよい。この第1のシリンドリカルレンズアレイ17は、凸状シリンドリカルレンズ18と凹状シリンドリカルレンズ19を含み、それらは、交互に設けられる。図4に示された実施形態においては、2つの凸状シリンドリカルレンズ19と1つの凸状シリンドリカルレンズ18とだけが示されている。しかしながら、X方向に、多数の凸状および凹状シリンドリカルレンズ18,19が互いに並んで配置されてもよい。凹状シリンドリカルレンズ19は、X方向、すなわちシリンドリカルレンズ18,19が並んで配置されている方向において、凸状シリンドリカルレンズ18よりも明確に小さい。
Claims (14)
- 光の均質化装置であって、
均質化されるべき光(25)を通過させることが可能である第1のシリンドリカルレンズアレイ(17,28)であって、互いに平行なシリンダ軸を有する凸状および凹状シリンドリカルレンズ(18,19,29,30)を含み、該シリンドリカルレンズは互いに交互に配列された、第1のシリンドリカルレンズアレイ(17,28)と、
第1のシリンドリカルレンズアレイ(17,28)を通過して入射した光を通過させることが可能である、第2のシリンドリカルレンズアレイ(20,31)であって、互いに平行なシリンダ軸を有する凸状および凹状シリンドリカルレンズ(21,22,32,33)を含み、それら凸状および凹状シリンドリカルレンズ(21,22,32,33)は互いに交互に配置され、第2のシリンドリカルレンズアレイ(20,31)のシリンドリカルレンズ(21,22,32,33)のシリンダ軸は、第1のシリンドリカルレンズアレイ(17,28)のシリンドリカルレンズ(18,19,29,39)のシリンダ軸に平行に配置されている、第2のシリンドリカルレンズアレイ(20,31)と
を有する光均質化装置において、
シリンドリカルレンズ(18,19,29,30)が並んで配置されている方向(X)の第1のシリンドリカルレンズアレイ(17,28)の凹状シリンドリカルレンズ(19,30)は、シリンドリカルレンズ(21,22,32,33)が並んで配置されている方向(X)の第2のシリンドリカルレンズアレイ(20,31)の凹状シリンドリカルレンズ(22,33)とは別の形状を有し、
均質化されるべき光(25)の伝播方向(Z)においては、第1のシリンドリカルレンズアレイ(17,28)の凹状シリンドリカルレンズ(19,30)の頂稜線は、第2のシリンドリカルレンズアレイ(20,31)の凹状シリンドリカルレンズ(22,33)の頂稜線と重なっており、
均質化されるべき光(25)の伝播方向(Z)においては、第1のシリンドリカルレンズアレイ(17,28)の凸状シリンドリカルレンズ(18,29)の頂稜線は、第2のシリンドリカルレンズアレイ(20,31)の凸状シリンドリカルレンズ(21,32)の頂稜線と重なっていることを特徴とする、光均質化装置。 - シリンドリカルレンズ(18,19,29,39)が並んで配置されている方向の第1のシリンドリカルレンズアレイ(17,28)の凹状シリンドリカルレンズ(19,30)は、シリンドリカルレンズ(21,22,32,33)が並んで配置されている方向の第2のシリンドリカルレンズアレイ(20,31)の凹状シリンドリカルレンズ(22,33)とは別の大きさおよび/または曲率を有することを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 第1および/または第2のシリンドリカルレンズアレイ(17,20,28,31)のシリンドリカルレンズ(18,19,21,22,29,30,32,33)のシリンダ軸は、シリンドリカルレンズ(18,19,21,22,29,30,32,33)が並んで配置されている方向(X)に垂直に配設されていることを特徴とする、請求項1または2に記載の装置。
- シリンドリカルレンズ(18,19,21,22)が並んで配置されている方向(X)における第2のシリンドリカルレンズアレイ(20)の凹状シリンドリカルレンズ(22)は、好ましくは、第1のシリンドリカルレンズアレイ(17)の凹状シリンドリカルレンズ(19)よりも実質的に大きいことを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の装置。
- シリンドリカルレンズ(18,19,21,22)が並んで配置されている方向(X)の第1のシリンドリカルレンズアレイ(17)の凸状シリンドリカルレンズ(18)は、第1のシリンドリカルレンズアレイ(17)の凹状シリンドリカルレンズ(19)よりも大きく、特に、何倍か大きいことを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の装置。
- 第2のシリンドリカルレンズアレイ(20,31)の凸状シリンドリカルレンズ(21,32)の焦点距離(f2v)は、第1のシリンドリカルレンズアレイ(17,28)と第2のシリンドリカルレンズアレイ(20,31)との間の距離と同じであることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載の装置。
- 第1のシリンドリカルレンズアレイ(28)の凹状シリンドリカルレンズ(30)の焦点距離(f1k)は、均質化されるべき光(25)の伝播方向(Z)における第1のシリンドリカルレンズアレイ(28)の凸状シリンドリカルレンズ(29)の大きさよりも大きいことを特徴とする、請求項1〜6のいずれか1項に記載の装置。
- 第1のシリンドリカルレンズアレイ(28)の凹状シリンドリカルレンズ(30)の焦点距離(f1k)は、均質化されるべき光の伝播方向(Z)において、凸状シリンドリカルレンズ(29)の大きさの少なくとも2倍であることを特徴とする、請求項7に記載の装置。
- シリンドリカルレンズ(29,30)が並んで配置されている方向(X)における第1のシリンドリカルレンズアレイ(28)の凹状シリンドリカルレンズ(30)は、シリンドリカルレンズ(29,30)が並んで配置されている方向(X)における第1のシリンドリカルレンズアレイ(28)の凸状シリンドリカルレンズ(29)と同じ大きさを有していることを特徴とする、請求項7または8に記載の装置。
- 第1のシリンドリカルレンズアレイ(28)の凹状シリンドリカルレンズ(30)の焦点距離(f1k)は、第2のシリンドリカルレンズアレイ(31)の凹状シリンドリカルレンズ(33)の焦点距離よりも大きいことを特徴とする、請求項1〜9のいずれか1項に記載の装置。
- 第1のシリンドリカルレンズアレイと第2のシリンドリカルレンズアレイとが互いに対向した側に設けられる基板を有することを特徴とする、請求項1〜10のいずれか1項に記載の装置。
- 第1の基板(15,26)と、第1とは異なった、特に、第1の基板(15,26)から離間された第2の基板(16,27)とを有し、第1のシリンドリカルレンズアレイ(17,18)は第1の基板(15,26)上に、第2のシリンドリカルレンズアレイ(20,31)は第2の基板(16,27)上に設けられることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の装置。
- 第3のシリンドリカルレンズアレイであって、第1の基板(15,26)の第1のシリンドリカルレンズアレイ(17,28)に対向する側に設けられ、互いに平行なシリンダ軸を有する凸状および凹状のシリンドリカルレンズを含み、これらは互いに交互に配置され、第1のシリンドリカルレンズアレイ(17,28)のシリンドリカルレンズ(18,19,29,30)のシリンダ軸は、第3のシリンドリカルレンズアレイのシリンドリカルレンズのシリンダ軸に垂直に配設される第3のシリンドリカルレンズアレイを有することを特徴とする、請求項12に記載の装置。
- 第4のシリンドリカルレンズアレイであって、第2の基板(16,27)の第2のシリンドリカルレンズアレイ(20,31)に対向する側に設けられ、互いに平行なシリンダ軸を有する凸状および凹状のシリンドリカルレンズを含み、かかるシリンドリカルレンズは互いに交互に設けられ、第2のシリンドリカルレンズアレイ(20,31)のシリンドリカルレンズ(21,22,32,33)のシリンダ軸は、第4のシリンドリカルレンズアレイのシリンドリカルレンズのシリンダ軸に垂直に配設される、第4のシリンドリカルレンズアレイを有することを特徴とする、請求項12または13に記載の装置。
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