JP6526077B2 - レーザビームを成形するための装置 - Google Patents

レーザビームを成形するための装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6526077B2
JP6526077B2 JP2017026476A JP2017026476A JP6526077B2 JP 6526077 B2 JP6526077 B2 JP 6526077B2 JP 2017026476 A JP2017026476 A JP 2017026476A JP 2017026476 A JP2017026476 A JP 2017026476A JP 6526077 B2 JP6526077 B2 JP 6526077B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
array
cylinder
optical elements
mirrors
cylindrical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2017026476A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2017146602A (ja
Inventor
バグシック,クラウス
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Limo GmbH
Original Assignee
Limo GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Limo GmbH filed Critical Limo GmbH
Publication of JP2017146602A publication Critical patent/JP2017146602A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6526077B2 publication Critical patent/JP6526077B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0927Systems for changing the beam intensity distribution, e.g. Gaussian to top-hat
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/40Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
    • H01S5/4025Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar
    • H01S5/4075Beam steering
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B19/00Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
    • G02B19/0033Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use
    • G02B19/0047Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use for use with a light source
    • G02B19/0052Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use for use with a light source the light source comprising a laser diode
    • G02B19/0057Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use for use with a light source the light source comprising a laser diode in the form of a laser diode array, e.g. laser diode bar
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0916Adapting the beam shape of a semiconductor light source such as a laser diode or an LED, e.g. for efficiently coupling into optical fibers
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0916Adapting the beam shape of a semiconductor light source such as a laser diode or an LED, e.g. for efficiently coupling into optical fibers
    • G02B27/0922Adapting the beam shape of a semiconductor light source such as a laser diode or an LED, e.g. for efficiently coupling into optical fibers the semiconductor light source comprising an array of light emitters
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0938Using specific optical elements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0938Using specific optical elements
    • G02B27/095Refractive optical elements
    • G02B27/0955Lenses
    • G02B27/0961Lens arrays
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0938Using specific optical elements
    • G02B27/095Refractive optical elements
    • G02B27/0955Lenses
    • G02B27/0966Cylindrical lenses
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0938Using specific optical elements
    • G02B27/0977Reflective elements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0938Using specific optical elements
    • G02B27/0977Reflective elements
    • G02B27/0983Reflective elements being curved
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/14Beam splitting or combining systems operating by reflection only
    • G02B27/143Beam splitting or combining systems operating by reflection only using macroscopically faceted or segmented reflective surfaces
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00Simple or compound lenses
    • G02B3/0006Arrays
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00Simple or compound lenses
    • G02B3/02Simple or compound lenses with non-spherical faces
    • G02B3/06Simple or compound lenses with non-spherical faces with cylindrical or toric faces
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/08Mirrors
    • G02B5/10Mirrors with curved faces
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/40Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
    • H01S5/4012Beam combining, e.g. by the use of fibres, gratings, polarisers, prisms
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/40Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
    • H01S5/4025Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar
    • H01S5/4031Edge-emitting structures
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/40Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
    • H01S5/4025Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar
    • H01S5/4031Edge-emitting structures
    • H01S5/4043Edge-emitting structures with vertically stacked active layers
    • H01S5/405Two-dimensional arrays
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/005Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
    • H01S5/0071Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping for beam steering, e.g. using a mirror outside the cavity to change the beam direction
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/0225Out-coupling of light
    • H01S5/02251Out-coupling of light using optical fibres

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Lenses (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Description

本発明は、請求項1の前文に従ったレーザビームを成形するための装置に関する。
定義:レーザビームの伝播方向とは、特に、レーザビームが平面波ではない、または少なくとも部分的に発散している場合には、レーザビームの中間伝播方向を意味する。レーザビーム、光ビーム、部分ビームまたはビームについては、明確に別段の記載がない場合には、幾何光学の理想的ビームを意味するのではなく、現実の光ビーム、たとえば、無限小ではなく、拡大するビーム断面を有する、たとえば、ガウスプロファイルを有する、またはトップハットプロファイルを有するレーザビームである。光は、可視スペクトル領域だけでなく、赤外線や紫外線スペクトル領域も意味している。
冒頭で挙げたタイプの装置は、たとえば、特許文献1から知られている。そこに記載された装置において、入射面および出射面上にそれぞれシリンダレンズアレイを有する透明な構成部品が、レーザビーム成形のために用いられる。出射面から出射されるレーザビームが、その構成部品によって光ファイバ内に結合される。その場合、周辺ビームの入射角度が、装置の効率を制限する。さらにまた、広い角度範囲に亘って、良好な光の伝達を実現する被覆が必要である。高屈折率のガラスを選択することによって、周辺角度をより小さくすることが可能である。しかしながら同時に、必要な設計において利用可能な波長領域が小さくなる。
国際公開第2015/091392号明細書
本発明が基礎とする課題は、低屈折率ガラスによっても、高い結合効率を達成することができる、冒頭で挙げたタイプの装置を提供することである。
これは、本発明に従えば、請求項1の特徴を有する、冒頭で挙げたタイプの装置によって達成される。従属請求項は、本発明の好ましい実施形態に関連している。
請求項1に従えば、複数のアレイの内の少なくとも1つのアレイの各光学素子は、ミラー要素で構成されてなる。第1アレイおよび/または第2アレイのミラー要素は互いに分離されているか、または移行部分がないように互いにつながっている構成とすることが可能である。したがって、非不連続の反射面を、ミラー要素のアレイとみなしてもよい。その場合、ミラー要素の境界は、場合によっては仮想線でしかない。
技術水準の装置における屈折面は、反射面または屈折および反射面によって置換えられてもよい。「表面」とは、たとえば、エミッタ(出射体)のための光ファイバプローブなどの、装置の光学要素を意味してもよい。第1の場合において、拡大された波長領域において、カプラを利用可能である。
たとえば、エミッタからのレーザビームは、平らな面を通って、装置内に入射し、個々のエミッタ上に個別に適合するよう構成されてなる内部凹面(この箇所では、装置は外側で凸状である)によって反射され、コリメートされて、そして、たとえば90°偏向される。全反射カプラの場合には、対応する出口の場合、逆の順となる。レーザビームのそれぞれは、内部凹面によって集束され、そして、たとえば、装置を出る前に、再度90°偏向される。
その代わりに、エミッタのレーザビームを、反射凹面であって、そのビームをさらなる凹面に偏向させて、コリメートさせる反射凹面に衝突させることも可能である(たとえば、軸外放物面)。そして、この第2凹面が、レーザビームをファイバコア上に集束させる。
装置の入射面は平らである必要はない。入射されたレーザビームの方向は、出射されるレーザビームに対して任意の方向に向けることが可能である。また、2より多い内部反射が行われてもよい。
装置は、内部反射が起こるように、ミラー要素が形成された構成部品を含んでなるものとすることが可能である。この場合、ミラー要素が形成された構成部品は、入射面および出射面を有することが可能であり、特にその場合、入射面および/または出射面は、曲面である。
装置は、その外側面に、第1アレイ7と第2アレイが配設されてなり、これらのアレイは、それらの側面から接近可能であり、したがって、装置を作製する過程において、ミラー要素の形成を側面から行うことが可能である。
光学素子の全部をミラー要素とすることも可能であり、または、装置は、ミラー要素だけでなくレンズ要素も含むことも可能である。たとえば、装置は、ミラー要素の、少なくとも1つのアレイ、好ましくは2つのアレイを含むことが可能であり、さらにまた、レンズ要素の、少なくとも1つのアレイ、好ましくは2つのアレイを含むことが可能である。
さらに詳しくは、本発明は、複数の、第1方向(X)に互いに隣接して配設された光学要素を有する、レーザビーム(2)を偏向および/または結像および/またはコリメートするための光学要素の第1アレイ(7)であって、レーザビーム(2)が、第1アレイ(7)の光学要素の内の第1光学要素から、第1方向(X)に関して、および/または第1方向(X)に対して異なる、特に垂直な、第2方向(Y)に関して、第1アレイ(7)の光学要素の内の第2光学要素からの偏向とは異なる角度で偏向されるように構成されてなる第1アレイ(7)と、
複数の、第2方向(Y)に互いに隣接して配設された光学要素を有する、レーザビーム(2)を偏向および/または結像および/またはコリメートするための光学要素の第2アレイ(8)であって、レーザビーム(2)が、第2アレイ(8)の光学要素の内の第1光学要素から、第1方向(X)に関して、および/または第2方向(Y)に関して、第2アレイ(8)の光学要素の内の第2光学要素からの偏向とは異なる角度で偏向されるように構成されてなる第2アレイ(8)と、を含むレーザビーム(2)を成形するための装置において、
前記アレイ(7,8)の内の少なくとも1つのアレイの光学要素が、ミラー要素(9,10)であることを特徴とする装置である。
本発明において、装置は、構成部品(3)を含み、該構成部品中に前記ミラー要素(9,10)が形成されて、内部反射が起こることを特徴とする。
本発明において、内部に前記ミラー要素(9,10)が形成される前記構成部品(3)は、入射面(12)と出射面(13)とを有し、該入射面(12)および/または該出射面(13)は曲面であることを特徴とする。
本発明において、装置は、構成部品(3)を含み、その外側面に、前記第1アレイ(7)および前記第2アレイ(8)が配設されてなり、前記アレイ(7,8)は、それらの側面から接近可能であり、装置を作製する過程において、ミラー要素(9,10)の形成を側面から行うことが可能であることを特徴とする。
本発明において、前記光学要素のすべてはミラー要素(9,10)であり、またはミラー要素(9,10)およびレンズ要素の両方を含むことを特徴とする。
本発明において、装置は、ミラー要素(9,10)の、少なくとも1つのアレイ(7,8)、好ましくは2つのアレイ(7,8)と、さらに、レンズ要素の、少なくとも1つのアレイ、好ましくは2つのアレイとを含むことを特徴とする。
本発明において、前記第1アレイ(7)および/または前記第2アレイ(8)は、前記第1アレイ(7)の光学要素によって反射されるレーザビーム(2)または前記第1アレイ(7)の光学要素を通過したレーザビーム(2)が前記第2アレイ(8)の光学要素によって精確に反射されるように、または前記第2アレイ(8)の光学要素を通過するように、構成され、特に前記第1アレイ(7)の光学要素の数は、前記第2アレイ(8)の光学要素の数に対応することを特徴とする。
本発明において、前記第1アレイ(7)の光学要素は、前記第2方向(Y)に互いにずれて配設され、および/または前記第2アレイ(8)の光学要素は、前記第1方向(X)に互いにずれて配設されることを特徴とする。
本発明において、前記第1アレイ(7)の光学要素および/または前記第2アレイ(8)の光学要素は、シリンダミラーとして、もしくはシリンダレンズとして、またはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズとして構成されることを特徴とする。
本発明において、前記第1アレイ(7)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズのシリンダ軸の少なくとも1つは、前記第2アレイ(8)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズのシリンダ軸の内の、シリンダ軸の少なくとも1つに対して0°を除くおよび180°を除く角度で、特に90°の角度で設けられることを特徴とする。
本発明において、前記第1アレイ(7)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズの各シリンダ軸は、前記第1方向(X)に平行であるか、前記第1方向(X)に対して45°未満、好ましくは35°未満、特に25°未満の角度をなし、および/または
前記第2アレイ(8)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズの各シリンダ軸は、前記第2方向(Y)に平行であるか、前記第2方向(Y)に対して45°未満、好ましくは35°未満、特に25°未満の角度をなすことを特徴とする。
本発明において、前記第1アレイ(7)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズの内の、少なくとも2つの各シリンダ軸は、互いに対して0°よりも大きく25°よりも小さい角度、好ましくは0°よりも大きく15°よりも小さい角度、特に0°よりも大きく10°よりも小さい角度をなし、および/または
前記第2アレイ(8)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズの内の少なくとも2つの各シリンダ軸は、互いに対して0°よりも大きく25°よりも小さい角度、好ましくは0°よりも大きく15°よりも小さい角度、特に0°よりも大きく10°よりも小さい角度をなすことを特徴とする。
本発明において、レーザダイオードバーまたはレーザダイオードバー積層体から出射するレーザビームの成形に用いることが可能であり、前記第1方向(X)は遅軸に対応し、前記第2方向(Y)は速軸に対応し、または前記第2方向(Y)は遅軸に対応し、前記第1方向(X)は速軸に対応することを特徴とする。
本発明において、前記第1アレイ(7)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズの内の少なくとも1つは、レーザダイオードバーのエミッタまたはレーザダイオードバー積層体から出射するレーザビームが前記第2方向(Y)に関して光ファイバの入射面上に結像可能であるように、または前記第2方向(Y)に関してコリメート可能であるように、構成されてなり、および/または
前記第2アレイ(8)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズの内の少なくとも1つは、レーザダイオードバーのエミッタまたはレーザダイオードバー積層体から出射するレーザビームが前記第1方向(X)に関して光ファイバの入射面上に結像可能であるように、または前記第1方向(X)に関してコリメート可能であるように、構成されてなることを特徴とする。
本発明において、前記第1アレイ(7)の複数の光学要素の内の少なくとも1つ、特にすべて、および/または前記第2アレイ(8)の複数の光学要素の内の少なくとも1つ、特にすべては、前記第1方向(X)および前記第2方向(Y)の両方に関して湾曲していることを特徴とする。
本発明において、前記第1アレイ(7)の複数の光学要素の内の少なくとも1つ、特にすべて、および/または前記第2アレイ(8)の複数の光学要素の内の少なくとも1つ、特にすべては、自由曲面として形成されることを特徴とする。
本発明において、前記第1アレイ(7)および/または前記第2アレイ(8)の前記ミラー要素(9,10)は、互いに分離されているか、または移行部分がないように互いにつながっていることを特徴とする。
本発明を、添付の図面を参照してより詳細に説明する。
本発明に従った装置の第1実施形態の概略側面図である。 図1に従った装置の、図1に対して回転された側面図である。 本発明に従った装置の第2実施形態の概略側面図である。 本発明に従った装置の第3実施形態の概略斜視図である。 図1に従った装置の、図4に対して回転された斜視図である。
図において、同一または機能的に同一の部品または光ビームは、同一の参照符号を付している。さらにまた、図の中の1つにおいて、方向付けを分かりやすくするために、デカルト座標系が記されている。
図1および図2にから明らかな実施形態において、レーザビーム2が出射する、レーザダイオードバーの5つのエミッタが概略的に示されている。この実施形態の発明に従った装置は、実質的にU字形状をなす構成部品3を含み、該構成部品3は、基部4と、該基部4の互いに対向する側面から延びる2つの突出部5,6とを有する。
各突出部5,6上には、ミラー要素9,10のアレイ7,8がそれぞれ配設されている。その場合、ミラー要素9,10は、レーザビーム2が構成部品3内に入りこまないように、突出部5,6の外側面の反射領域として形成される。
ミラー要素9,10は、反射層が設けられた構成部品の形成された表面である。ミラー要素9,10は、図1および図2において、上方から到達可能である表面上に配設されており、したがって、ミラー要素の作製が容易となる。なぜなら、たとえば、ミラー要素表面の形成のために、側面からのみ、作製されるべき材料をプレスしなければならないからである。
図1および図2は、第1アレイ9のミラー要素9は第2アレイ8のミラー要素10よりも小さいことを示している。さらにまた、アレイ7,8のミラー要素9,10は、凹面鏡として構成されることが示されており、したがって、反射層が設けられた面はそれぞれ凹状である。
エミッタ1から出射されるレーザビーム2は、ミラー要素9の第1アレイ7によって、ミラー要素10の第2アレイ8に向かって反射される。レーザビーム2は、第2アレイ8によって、図示しない光ファイバの入射面11上で反射される。この場合、各エミッタ1のレーザビーム2は、第1アレイ7のミラー要素9のそれぞれによってコリメートすることが可能である。これらのコリメートされたレーザビーム2のそれぞれは、第2アレイ8のミラー要素それぞれによって、光ファイバのファイバコアへの方向に偏向されて、入射面11上に集束される。
図1および図2に従った構成は、レーザビーム2の波長に依存した成形を可能とする。なぜなら、レーザビーム2は、構成部品3を通過しないからである。反射層の選択によって、波長依存性を引き起すことが可能である。
レンズアレイについて特許文献1において記載されているように、アレイ7,8のミラー要素9,10は、レーザビームを偏向させるように構成することが可能である。この特許文献1は、ここにおいて、本件出願の主題のために参照として組み込まれる。
第1アレイ7のミラー要素9は、図2に示されたデカルト座標系のX方向に対応する第1方向に、互いに隣接して配設されている。第2アレイ8のミラー要素10は、図2に示されたデカルト座標系のY方向に対応する、第2方向に、互いに隣接して配設されている。第2アレイ8のミラー要素10は、図1に示されている方向のY方向に対応する第2方向に並んで配置されている。第2方向Yは第1方向Xに垂直であってもよい。この座標系において、Zは、第2アレイ8によって反射されたレーザビームの中間伝播方向を示している。
第1アレイ7のミラー要素9は、第2方向Yにおいて、互いにずれて配設されており、これに対して、第2アレイ8のミラー要素10は、X方向において互いにずれて配設されている。
特に、第1アレイ7のミラー要素9の数は、第2アレイ8のミラー要素10の数、またはレーザダイオードバーのエミッタ1の数に対応する。この場合、第1アレイ7および/または第2アレイ8は、第1アレイ7のミラー要素9によって反射されたレーザビームが、第2アレイ8のミラー要素10によって精確に反射されるように構成することが可能である。
第1アレイ7のミラー要素9は、特にシリンダミラーまたはシリンダ状ミラーとして形成され、そのシリンダ軸は、少なくとも部分的にX方向に延びる。その場合、たとえば、中央のミラー要素9のシリンダ軸は、X方向に平行であり、それに対して、他のミラー要素9のシリンダ軸は、X方向と、0°よりも大きい、または0°よりも小さい角度をなす。
第2アレイ8のミラー要素10は、特にシリンダミラーまたはシリンダ状ミラーとして形成され、そのシリンダ軸は、少なくとも部分的にY方向に延びる。その場合、たとえば、中央のミラー要素10のシリンダ軸は、Y方向に平行であり、それに対して、他のミラー要素10のシリンダ軸は、Y方向と、0°より大きい、または0°よりも小さい角度をなす。
さらにまた、第1アレイ7のミラー要素9はそれぞれ、互いに傾斜させてもよく、したがって、ミラー要素9のそれぞれは、他のミラー要素9のそれぞれとは異なる向きを有している。第1アレイ7のミラー要素9の傾斜は、Y方向に行ってもよい。
さらにまた、第2アレイ8のミラー要素10は、互いに傾斜させてもよく、したがって、ミラー要素10のそれぞれは、他のミラー要素10のそれぞれとは異なる向きを有している。第2アレイ8のミラー要素10の傾斜は、X方向に行ってもよい。
図示された装置は、レーザダイオードバー(図示せず)のエミッタ1から出射されたレーザビーム2を成形することが可能である。特にその場合、X方向はレーザダイオードバーの遅軸に、Y方向はレーザダイオードバーの速軸に対応する。
第1アレイ7のミラー要素9と第2アレイ8のミラー要素10とは、そこに入射するレーザビーム2の偏向のために役立つだけでなく、レーザビーム2の結像またはコリメーションのためにも役立つ。
この場合、たとえば、第1アレイ7のミラー要素9は、各エミッタ1から出射されるレーザビーム2を、速軸に関して、またはY方向に関して、光ファイバの入力面11上にそれぞれ結像させる。
同時に、第1アレイ7の、外側中央部のミラー要素9のシリンダ軸の向きによって、そこから出射する、レーザビーム2が、光軸に対してX方向に第2アレイの第八のミラー要素10の光軸と入射向かってX方向に偏向され、第2アレイ8のミラー要素10上に入射することがもたらされる。さらにまた、第1アレイ7のミラー要素9のそれぞれ異なる傾きによって、そこから出射するレーザビーム2が、光軸から離れて、Y方向上下に偏向され、第2アレイ8の対応するミラー要素10上に入射することがもたらされる。
さらにまた、たとえば、第2アレイ8のミラー要素10は、各エミッタ1から出射するレーザビーム2を、遅軸またはX方向に関して、光ファイバの入射面11それぞれの上に結像することが可能である。
同時に、第2アレイ8の、外側中央部のミラー要素10のシリンダ軸の向きが異なることによって、第1アレイ7の、外側中央部のミラー要素9から出射するレーザビーム2が、該レーザビーム2が、YZ平面に延在するように、X方向に偏向されることがもたらされる(図2参照)。さらにまた、第2アレイ8のミラー要素10のそれぞれ異なる傾斜によって、第1アレイ7の、外部中央部のミラー要素9から出射するレーザビーム2が、光軸に対して、Y方向において上下に偏向され、光ファイバの入射面11上に入射されることがもたらされる。
また代わりに、第1アレイ7のミラー要素9および/または第2アレイ8のミラー要素10は、各エミッタ1から出射するレーザビーム2を結像するのではなく、コリメートしてもよい。遅軸および速軸に関してコリメートされたレーザビームは、続いて、安価な、球面光学系によって、たとえば、光ファイバの入射面11上に、集束させることが可能である。
シリンダミラーまたはシリンダ状ミラーとして構成する代わりに、第1アレイ7および/または第2アレイ8のミラー要素9,10が、X方向およびY方向の両方に湾曲を含むことも可能である。その場合、ミラー要素9,10の表面は、たとえば、軸ごとの偶数項だけでなく、XとYにおける混合項も存在する混合多項式によって記述することが可能である。一次よりも高次の、XおよびYの奇数項であることも可能である。
図3は、またさらに、図4および図5も、ミラー要素9,10が、構成部品3の外側面にではなく、構成部品3の内部に配設されていて、したがって、内部反射が生じる実施例を示している。
図3においては、レーザビームのための、平面の入射面12および同様に平面の出射面が設けられている。しかしながら、入射面12および/または出射面13は、湾曲面としても構成可能であり、たとえば、適当なシリンダ状または非球面の形状を有してもよい。
入射面12を通過して構成部品3内に入射されるレーザビーム2は、適切に形成され、場合によっては、外側から被覆された、第1アレイ7を形成する面で反射され、偏向されてコリメートされる。第1アレイ7のミラー要素9は、それぞれ互いに分離させることも可能であり、または、移行部分がないように互いにつないでいくことも可能である。
また、適切に形成され、場合によっては、外側から被覆された、第2アレイ8を形成する面は、レーザビーム2を新たに反射する。この、第2アレイ8を形成する面は、あらかじめ、集束するまたは/およびビーム形成する特性を有していてもよい。第2アレイ8のミラー要素10は、互いに分離していてもよく、または移行部分がないように互いにつながっていることも可能である。
第1アレイ7と第2アレイ8を形成する面は、特に凸状に形成されている。
レーザビームは、出射面13を通過して、構成部品3から出射される。図4および図5に示す実施形態では、出射面13は、出射面13は曲面を有しており、特に、集束を引き起す、または集束を支持する形状を有する。

Claims (25)

  1. 複数の、第1方向(X)に互いに隣接して配設された光学要素を有する、レーザビーム(2)を偏向および/または結像および/またはコリメートするための光学要素の第1アレイ(7)であって、レーザビーム(2)が、第1アレイ(7)の光学要素の内の第1光学要素から、第1アレイ(7)の光学要素の内の第2光学要素からの偏向とは異なる角度で偏向されるように構成されてなる第1アレイ(7)と、
    複数の、前記第1方向(X)と異なる第2方向(Y)に互いに隣接して配設された光学要素を有する、レーザビーム(2)を偏向および/または結像および/またはコリメートするための光学要素の第2アレイ(8)であって、レーザビーム(2)が、第2アレイ(8)の光学要素の内の第1光学要素から、第2アレイ(8)の光学要素の内の第2光学要素からの偏向とは異なる角度で偏向されるように構成されてなる第2アレイ(8)と、を含むレーザビーム(2)を成形するための装置において、
    前記第1アレイ(7)および/または前記第2アレイ(8)は、前記第1アレイ(7)の光学要素によって反射されるレーザビーム(2)が前記第2アレイ(8)の光学要素によって精確に反射されるように構成され、
    前記アレイ(7,8)の内の少なくとも1つのアレイの光学要素が、ミラー要素(9,10)であり、
    前記装置は、構成部品(3)を含み、該構成部品中に前記ミラー要素(9,10)が形成されて、内部反射が起こることを特徴とする装置。
  2. 内部に前記ミラー要素(9,10)が形成される前記構成部品(3)は、入射面(12)と出射面(13)とを有し、該入射面(12)および/または該出射面(13)は曲面であることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
  3. 複数の、第1方向(X)に互いに隣接して配設された光学要素を有する、レーザビーム(2)を偏向および/または結像および/またはコリメートするための光学要素の第1アレイ(7)であって、レーザビーム(2)が、第1アレイ(7)の光学要素の内の第1光学要素から、第1アレイ(7)の光学要素の内の第2光学要素からの偏向とは異なる角度で偏向されるように構成されてなる第1アレイ(7)と、
    複数の、第1方向(X)と異なる第2方向(Y)に互いに隣接して配設された光学要素を有する、レーザビーム(2)を偏向および/または結像および/またはコリメートするための光学要素の第2アレイ(8)であって、レーザビーム(2)が、第2アレイ(8)の光学要素の内の第1光学要素から、第2アレイ(8)の光学要素の内の第2光学要素からの偏向とは異なる角度で偏向されるように構成されてなる第2アレイ(8)と、を含むレーザビーム(2)を成形するための装置において、
    前記第1アレイ(7)および/または前記第2アレイ(8)は、前記第1アレイ(7)の光学要素によって反射されるレーザビーム(2)が前記第2アレイ(8)の光学要素によって精確に反射されるように構成され、
    前記アレイ(7,8)の内の少なくとも1つのアレイの光学要素が、ミラー要素(9,10)であり、
    前記装置は、基部(4)と該基部(4)の一方主面から延びる2つの突出部(5,6)とを有する構成部品(3)を含み、前記第1アレイ(7)は、前記2つの突出部(5,6)のうちの一方の外側面に配設され、前記第2アレイ(8)は、前記2つの突出部(5,6)のうちの他方の外側面に配設されており、前記第1アレイ(7)および前記第2アレイ(8)は、それらの側面から接近可能であり、装置を作製する過程において、ミラー要素(9,10)の形成を側面から行うことが可能であることを特徴とする装置。
  4. 前記第2方向(Y)は、前記第1方向(X)に垂直であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の装置。
  5. 前記光学要素のすべてはミラー要素(9,10)であり、またはミラー要素(9,10)およびレンズ要素の両方を含むことを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の装置。
  6. ミラー要素(9,10)の少なくとも1つのアレイ(7,8)と、さらに、レンズ要素の少なくとも1つのアレイとを含むことを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載の装置。
  7. ミラー要素(9,10)の2つのアレイ(7,8)と、さらに、レンズ要素の2つのアレイとを含むことを特徴とする、請求項1〜6のいずれか1項に記載の装置。
  8. 前記第1アレイ(7)の光学要素の数は、前記第2アレイ(8)の光学要素の数に対応することを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記載の装置。
  9. 前記第1アレイ(7)の光学要素は、前記第2方向(Y)に互いにずれて配設され、および/または前記第2アレイ(8)の光学要素は、前記第1方向(X)に互いにずれて配設されることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1項に記載の装置。
  10. 前記第1アレイ(7)の光学要素および/または前記第2アレイ(8)の光学要素は、シリンダミラーとして、もしくはシリンダレンズとして、またはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズとして構成されることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか1項に記載の装置。
  11. 前記第1アレイ(7)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズのシリンダ軸の少なくとも1つは、前記第2アレイ(8)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズのシリンダ軸の内の、シリンダ軸の少なくとも1つに対して0°を除くおよび180°を除く角度で設けられることを特徴とする、請求項10に記載の装置。
  12. 前記第1アレイ(7)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズのシリンダ軸の少なくとも1つは、前記第2アレイ(8)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズのシリンダ軸の内の、シリンダ軸の少なくとも1つに対して90°の角度で設けられることを特徴とする、請求項10に記載の装置。
  13. 前記第1アレイ(7)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズの各シリンダ軸は、前記第1方向(X)に平行であるか、前記第1方向(X)に対して45°未満の角度をなし、および/または
    前記第2アレイ(8)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズの各シリンダ軸は、前記第2方向(Y)に平行であるか、前記第2方向(Y)に対して45°未満の角度をなすことを特徴とする、請求項10〜12のいずれか1項に記載の装置。
  14. 前記第1アレイ(7)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズの各シリンダ軸は、前記第1方向(X)に対して35°未満の角度をなし、および/または
    前記第2アレイ(8)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズの各シリンダ軸は、前記第2方向(Y)に対して35°未満の角度をなすことを特徴とする、請求項13に記載の装置。
  15. 前記第1アレイ(7)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズの各シリンダ軸は、前記第1方向(X)に対して25°未満の角度をなし、および/または
    前記第2アレイ(8)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズの各シリンダ軸は、前記第2方向(Y)に対して25°未満の角度をなすことを特徴とする、請求項13に記載の装置。
  16. 前記第1アレイ(7)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズの内の、少なくとも2つの各シリンダ軸は、互いに対して0°よりも大きく25°よりも小さい角度をなし、および/または
    前記第2アレイ(8)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズの内の少なくとも2つの各シリンダ軸は、互いに対して0°よりも大きく25°よりも小さい角度をなすことを特徴とする、請求項10〜15のいずれか1項に記載の装置。
  17. 前記第1アレイ(7)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズの内の、少なくとも2つの各シリンダ軸は、互いに対して0°よりも大きく15°よりも小さい角度をなし、および/または
    前記第2アレイ(8)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズの内の少なくとも2つの各シリンダ軸は、互いに対して0°よりも大きく15°よりも小さい角度をなすことを特徴とする、請求項16に記載の装置。
  18. 前記第1アレイ(7)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズの内の、少なくとも2つの各シリンダ軸は、互いに対して0°よりも大きく10°よりも小さい角度をなし、および/または
    前記第2アレイ(8)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズの内の少なくとも2つの各シリンダ軸は、互いに対して0°よりも大きく10°よりも小さい角度をなすことを特徴とする、請求項16に記載の装置。
  19. レーザダイオードバーまたはレーザダイオードバー積層体から出射するレーザビームの成形に用いることが可能であり、前記第1方向(X)は遅軸に対応し、前記第2方向(Y)は速軸に対応し、または前記第2方向(Y)は遅軸に対応し、前記第1方向(X)は速軸に対応することを特徴とする、請求項1〜18のいずれか1項に記載の装置。
  20. 前記第1アレイ(7)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズの内の少なくとも1つは、レーザダイオードバーのエミッタまたはレーザダイオードバー積層体から出射するレーザビームが前記第2方向(Y)に関して光ファイバの入射面上に結像可能であるように、または前記第2方向(Y)に関してコリメート可能であるように、構成されてなり、および/または
    前記第2アレイ(8)の複数の、シリンダミラーもしくはシリンダレンズまたはシリンダ状ミラーもしくはシリンダ状レンズの内の少なくとも1つは、レーザダイオードバーのエミッタまたはレーザダイオードバー積層体から出射するレーザビームが前記第1方向(X)に関して光ファイバの入射面上に結像可能であるように、または前記第1方向(X)に関してコリメート可能であるように、構成されてなることを特徴とする、請求項19に記載の装置。
  21. 前記第1アレイ(7)の複数の光学要素の内の少なくとも1つ、および/または前記第2アレイ(8)の複数の光学要素の内の少なくとも1つは、前記第1方向(X)および前記第2方向(Y)の両方に関して湾曲していることを特徴とする、請求項1〜20のいずれか1項に記載の装置。
  22. 前記第1アレイ(7)の複数の光学要素の内のすべて、および/または前記第2アレイ(8)の複数の光学要素の内のすべては、前記第1方向(X)および前記第2方向(Y)の両方に関して湾曲していることを特徴とする、請求項21に記載の装置。
  23. 前記第1アレイ(7)の複数の光学要素の内の少なくとも1つ、および/または前記第2アレイ(8)の複数の光学要素の内の少なくとも1つは、自由曲面として形成されることを特徴とする、請求項1〜22のいずれか1項に記載の装置。
  24. 前記第1アレイ(7)の複数の光学要素の内のすべて、および/または前記第2アレイ(8)の複数の光学要素の内のすべては、自由曲面として形成されることを特徴とする、請求項23に記載の装置。
  25. 前記第1アレイ(7)および/または前記第2アレイ(8)の前記ミラー要素(9,10)の反射面は、互いに分離されているか、または互いにつながっていることを特徴とする、請求項1〜24のいずれか1項に記載の装置。
JP2017026476A 2016-02-15 2017-02-15 レーザビームを成形するための装置 Expired - Fee Related JP6526077B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102016102591.7A DE102016102591A1 (de) 2016-02-15 2016-02-15 Vorrichtung zur Formung von Laserstrahlung
DE102016102591.7 2016-02-15

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017146602A JP2017146602A (ja) 2017-08-24
JP6526077B2 true JP6526077B2 (ja) 2019-06-05

Family

ID=57890752

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017026476A Expired - Fee Related JP6526077B2 (ja) 2016-02-15 2017-02-15 レーザビームを成形するための装置

Country Status (10)

Country Link
US (1) US20170235150A1 (ja)
EP (1) EP3214477A3 (ja)
JP (1) JP6526077B2 (ja)
KR (2) KR20170095745A (ja)
CN (1) CN107085308A (ja)
CA (1) CA2957343C (ja)
DE (1) DE102016102591A1 (ja)
IL (1) IL250534A0 (ja)
RU (1) RU2686384C2 (ja)
SG (1) SG10201701160VA (ja)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102017123462A1 (de) * 2017-10-10 2019-04-11 HELLA GmbH & Co. KGaA Optische Vorrichtung für eine Abstandsmessvorrichtung nach dem LIDAR-Prinzip
CN112513718B (zh) 2018-06-22 2023-07-14 奇跃公司 用于rgb照明器的方法和系统
CZ308613B6 (cs) * 2018-12-17 2021-01-06 Ústav Fyziky Plazmatu Av Čr, V. V. I. Zrcadlový konvertor vysokovýkonového laserového svazku
CN113031288A (zh) * 2019-12-24 2021-06-25 深圳光峰科技股份有限公司 一种用于改善光斑形状的封装结构
US11474311B1 (en) * 2021-05-27 2022-10-18 Applied Optoelectronics, Inc. Parabolic lens device for use in optical subassembly modules
CN113534474B (zh) * 2021-07-19 2022-11-01 华中科技大学 一种反射式光束整形镜及整形系统
CN113552677B (zh) * 2021-07-28 2022-07-08 上海索迪龙自动化股份有限公司 一种光纤发射端口
CN114460740B (zh) * 2022-01-21 2023-03-28 华中科技大学 一种单镜环形光斑光学系统
WO2023201378A1 (en) * 2022-04-15 2023-10-19 Senko Advanced Components, Inc. A laser beam module package incorporating stamped metal freeform reflective optics
WO2024074254A1 (en) * 2022-10-05 2024-04-11 Ams-Osram International Gmbh Optoelectronic light source and data glasses

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5333077A (en) * 1989-10-31 1994-07-26 Massachusetts Inst Technology Method and apparatus for efficient concentration of light from laser diode arrays
DE19511593C2 (de) * 1995-03-29 1997-02-13 Siemens Ag Mikrooptische Vorrichtung
DE19514626C2 (de) * 1995-04-26 1997-03-06 Fraunhofer Ges Forschung Anordnung zur Formung des geometrischen Querschnitts eines Strahlungsfeldes eines oder mehrerer Festkörper- und/oder Halbleiterlaser(s)
US6504650B1 (en) * 1999-10-19 2003-01-07 Anthony J. Alfrey Optical transformer and system using same
US6556352B2 (en) * 2000-08-23 2003-04-29 Apollo Instruments Inc. Optical coupling system
US6903859B2 (en) * 2001-12-07 2005-06-07 Micronic Laser Systems Ab Homogenizer
US6870682B1 (en) * 2003-09-30 2005-03-22 Institut National D'optique Apparatus for reshaping an optical beam bundle
CN201110835Y (zh) * 2007-09-11 2008-09-03 中国科学院上海光学精密机械研究所 大口径钕玻璃表面疵病的激光散射检测装置
CN102792210B (zh) * 2009-10-01 2015-12-16 龙卷风光谱系统有限公司 用于改善色散摄谱仪的光谱分辨率的分光器
DE102013114083B4 (de) 2013-12-16 2018-10-25 LIMO GmbH Vorrichtung zur Formung von Laserstrahlung

Also Published As

Publication number Publication date
SG10201701160VA (en) 2017-09-28
RU2017104613A3 (ja) 2018-08-14
RU2686384C2 (ru) 2019-04-25
IL250534A0 (en) 2017-03-30
CN107085308A (zh) 2017-08-22
RU2017104613A (ru) 2018-08-14
US20170235150A1 (en) 2017-08-17
KR20190020001A (ko) 2019-02-27
CA2957343A1 (en) 2017-08-15
EP3214477A3 (de) 2018-01-10
EP3214477A2 (de) 2017-09-06
CA2957343C (en) 2019-06-18
KR20170095745A (ko) 2017-08-23
DE102016102591A1 (de) 2017-08-17
JP2017146602A (ja) 2017-08-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6526077B2 (ja) レーザビームを成形するための装置
US7413311B2 (en) Speckle reduction in laser illuminated projection displays having a one-dimensional spatial light modulator
JP5696298B2 (ja) 高輝度ダイオード出力の方法及びデバイス
US5805748A (en) Laser beam shaping system
US6700709B1 (en) Configuration of and method for optical beam shaping of diode laser bars
US6765725B1 (en) Fiber pigtailed high power laser diode module with high brightness
CN109212733B (zh) 一种光程折叠器件
JP2006171348A (ja) 半導体レーザ装置
KR20190034589A (ko) 레이저 라인 조명
JP2011520292A5 (ja)
JP3989375B2 (ja) 光線形成装置、光線を導光ファイバに結合するための構成ならびに前記光線形成装置または前記構成のための光線回転ユニット
JP2007534991A (ja) 光ビーム均一化のための装置および方法
JP2009151311A (ja) レーザビームを形成するための装置
JP2008527430A (ja) 光均質化装置
JP6476190B2 (ja) レーザビームを成形するための装置
JP2002116411A (ja) 光学的光束変換装置および光学的光束変換器
CN220671746U (zh) 扫描激光扩束系统和ar显示装置
KR20190039453A (ko) 화상 표시 장치
JPS63208021A (ja) レ−ザ−ダイオ−ドアレイを用いる光走査光学系
JPS58184117A (ja) 複数ビ−ム走査装置
CN111913166B (zh) 一种多角度光束扩束系统及激光雷达
JP6301337B2 (ja) ビーム変換要素、電磁放射を変換するための装置、ビーム変換要素を製造するための方法、および電磁放射を変換するための方法
JP2002318360A (ja) ビーム合成光学素子およびビーム合成方法および光源装置及びマルチビーム走査装置

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180220

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180221

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180521

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20181005

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20181113

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190212

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190402

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190507

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6526077

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees