KR20190020001A - 레이저 방사선의 형성 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 제 1 방향(X)으로 나란히 배치된 다수의 광학 요소를 포함하는, 레이저 방사선(2)을 편향 및/또는 이미징 및/또는 시준하기 위한 광학 요소들의 제 1 어레이(7), 및 제 2 방향(Y)으로 나란히 배치된 다수의 광학 요소를 포함하는, 레이저 방사선(2)을 편향 및/또는 이미징 및/또는 시준하기 위한 광학 요소들의 제 2 어레이(8)를 포함하는 레이저 방사선(2)의 형성 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따라, 상기 어레이들(7, 8) 중 적어도 하나의 어레이의 광학 요소들은 거울 요소들(9, 10)이다.

Description

레이저 방사선의 형성 장치{DEVICE FOR SHAPING LASER RADIATION}
본 발명은 청구항 제 1 항의 전제부에 따른 레이저 방사선을 형성하기 위한 장치에 관한 것이다.
정의: 레이저 방사선의 전파 방향은, 특히 레이저 방사선이 평면 파(plane wave)가 아니거나 또는 적어도 부분적으로 발산하는 경우, 레이저 방사선의 평균 전파 방향을 의미한다. 레이저 빔, 광빔, 부분 빔 또는 빔은, 달리 명시되지 않는 한, 기하학적 광학의 이상적인 빔이 아니라, 예컨대 극소로 작은 빔 횡단면이 아니라 확장된 빔 횡단면을 가지면서 가우스 프로파일 또는 탑햇 프로파일(Top-Hat profile)을 갖는 레이저 빔과 같은 실제 광빔을 의미한다. 광은 가시 스펙트럼 범위뿐만 아니라 적외선 및 자외선 스펙트럼 범위의 광도 의미한다.
전술한 유형의 장치는 예를 들어 WO 2015/091392 A1에 개시되어있다. 여기에 개시된 장치에서는, 입사면 및 출사면에 각각 실린더 렌즈들의 어레이를 포함하는 투명한 부품이 레이저 방사선을 형성하기 위해 사용된다. 출사면으로부터 나오는 레이저 방사선은 상기 부품에 의해 광섬유 내로 결합된다. 이 경우, 에지 빔의 입사각은 장치의 효율을 제한한다. 또한, 넓은 각도 범위에서 우수한 투과율을 달성하는 코팅이 필요하다. 고 굴절 유리를 선택하면 접촉 각이 더 작아 질 수 있지만, 동시에 주어진 디자인의 사용 가능한 파장 범위가 감소한다.
본 발명의 과제는 저 굴절 유리로도 높은 커플링 효율이 달성될 수 있는 전술한 유형의 장치를 제공하는 것이다.
상기 과제는 본 발명에 따라, 청구 범위 제 1 항의 특징을 갖는 전술한 유형의 장치에 의해 달성된다. 종속 청구항들은 본 발명의 바람직한 실시 예에 관한 것이다.
청구항 제 1 항에 따라, 상기 어레이들 중 적어도 하나의 어레이의 광학 요소들은 거울 요소이다. 제 1 및/또는 제 2 어레이의 거울 요소들이 서로 분리되거나 또는 이행부 없이 서로 이어질 수 있다. 따라서, 중단 없는 반사면은 거울 요소들의 어레이로서 간주될 수 있다. 이 경우, 거울 요소들의 경계들은 경우에 따라 단지 가상 선이다.
종래 기술에 따른 장치의 굴절 면이 반사 면 또는 굴절 및 반사 면으로 대체될 수 있다. "면"이란 예를 들어 에미터용 커플링 광학 장치와 같은 장치의 광학 요소를 의미할 수 있다. 첫 번째 경우, 커플러는 확장된 파장 범위에서 사용될 수 있다.
예를 들어, 에미터의 레이저 방사선이 평평한 면을 통해 장치로 들어가고, 각각 개별 에미터에 특별히 매칭된 내부 중공 면에 의해 (여기서 장치는 외부로부터 볼록함) 반사되고, 시준되며, 예를 들어 90°만큼 편향될 수 있다. 완전 반사형 커플러의 경우, 출사 시에 상응하는 것이 역순으로 발생한다: 각각의 레이저 방사선은 내부 중공 면에 의해 포커싱되고, 장치에서 나오기 전에 예를 들어 90 °만큼 다시 편향된다.
대안으로서, 에미터의 레이저 방사선은 반사 중공 면(예를 들어, 축외 포물면) 상에 입사될 수 있으며, 상기 중공 면은 상기 레이저 방사선을 다른 중공 면으로 편향하고 시준한다. 그런 다음, 상기 제 2 중공 면은 레이저 방사선을 섬유 코어에 포커싱한다.
장치의 입사면은 평면일 필요는 없다. 입사 레이저 방사선의 방향은 출사 레이저 방사선에 대해 임의로 배향될 수 있다. 2개 이상의 내부 반사가 나타날 수도 있다.
장치는, 거울 요소가 내부에 형성되어 있어서 내부 반사가 이루어지는 부품을 포함할 수 있다. 거울 요소가 내부에 형성된 부품은 입사면 및/또는 출사면을 포함하고, 특히 상기 입사면 및/또는 출사면은 곡면이다.
장치는 제 1 어레이 및 제 2 어레이가 외부 면 상에 배치된 부품을 포함할 수 있고, 어레이들이 동일한 측면으로부터 접근 가능하므로, 장치의 제조 범위에서 거울 요소는 하나의 측면으로부터 형성될 수 있다.
모든 광학 요소가 거울 요소들이거나 또는 장치가 거울 요소들 및 렌즈 요소들을 포함하는 것이 가능하다. 특히, 장치는 거울 요소들의 적어도 하나의 어레이, 바람직하게는 2개의 어레이를 포함할 수 있으며, 특히 렌즈 요소들의 적어도 하나의 어레이, 바람직하게는 2개의 어레이를 추가로 포함할 수 있다.
이하, 본 발명이 첨부한 도면을 참고로 상세히 설명된다.
도 1은 본 발명에 따른 장치의 제 1 실시 예의 개략적인 측면도.
도 2는 도 1에 비해 회전된, 도 1에 따른 장치의 측면도.
도 3은 본 발명에 따른 장치의 제 2 실시 예의 개략적인 측면도.
도 4는 본 발명에 따른 장치의 제 3 실시 예의 개략적인 사시도.
도 5는 도 4에 비해 회전된, 도 4에 따른 장치의 사시도.
도면들에서, 동일하거나 기능적으로 동일한 부분들 또는 광빔들은 동일한 도면 부호로 표시된다. 더 나은 방향 설정을 위해 도면들 중 하나에 데카르트 좌표계가 표시된다.
도 1 및 도 2에 도시된 실시 예에서, 레이저 다이오드 바아의 5개의 에미터(1)가 개략적으로 도시되고, 상기 에미터들로부터 레이저 방사선(2)이 방출된다. 이 실시 예의 본 발명에 따른 장치는 베이스(4) 및 대향 측면에서 베이스(4)로부터 연장하는 2개의 돌출부(5, 6)를 포함하는 실질적으로 U 자형인 부품(3)을 포함한다.
각각의 돌출부(5, 6) 상에 거울 요소들(9, 10)의 어레이(7, 8)가 각각 배치된다. 거울 요소들(9, 10)은 돌출부(5, 6)의 외부 면의 반사 영역으로서 형성되므로, 레이저 방사선(2)이 부품(3) 내로 입사되지 않는다.
거울 요소들(9, 10)은 부품의, 반사 코팅을 갖는 성형된 면들이다. 거울 요소들(9, 10)은 도 1 및 도 2에서 상부로부터 접근 가능한 면 상에 배치되므로, 거울 요소들의 제조가 간소화되는데, 그 이유는 거울 요소의 면의 형성을 위해 예를 들어 하나의 측면으로부터만, 가공할 재료의 프레싱이 이루어지면 되기 때문이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 제 1 어레이(9)의 거울 요소(9)는 제 2 어레이(8)의 거울 요소(10)보다 작다. 또한, 2개의 어레이(7, 8)의 거울 요소들(9, 10)은 중공 거울로서 설계되므로, 반사 코팅이 제공된 면은 오목하다.
에미터(1)로부터 나오는 레이저 방사선(2)은 거울 요소들(9)의 제 1 어레이(7)에 의해 거울 요소(10)의 제 2 어레이(8)로 반사된다. 제 2 어레이(8)에 의해 레이저 방사선(2)은 도시되지 않은 광 섬유의 입사면(11)으로 반사된다. 개별 에미터(1)의 레이저 방사선(2)은 제 1 어레이(7)의 거울 요소들(9) 중 하나에 의해 시준될 수 있다. 상기 시준된 레이저 방사선(2)의 각각은 제 2 어레이(8)의 거울 요소들(10) 중 하나에 의해 광 섬유의 섬유 코어의 방향으로 편향될 수 있고 입사면(11) 상에 포커싱될 수 있다.
도 1 및 도 2에 따른 설계는, 레이저 방사선(2)이 부품(3)을 통과하지 않기 때문에 레이저 방사선(2)의, 파장과 비교적 독립적인 형성을 허용한다. 필요에 따라, 반사 코팅의 선택에 의해, 파장 의존성이 야기될 수 있다.
어레이(7, 8)의 거울 요소들(9, 10)은, WO 제 2015/091392 A1호에서 렌즈 어레이에 대해 설명된 바와 같이, 레이저 방사선을 편향시키도록 설계될 수 있다. WO 2015/091392 A1호는 본 출원의 대상에 참고된다.
제 1 어레이(7)의 거울 요소들(9)은 도 2에 도시된 데카르트 좌표계의 X 방향에 상응하는 제 1 방향으로 서로 나란히 배치된다. 제 2 어레이(8)의 거울 요소들(10)은 도 2에 도시된 데카르트 좌표계의 Y 방향에 상응하는 제 2 방향으로 서로 나란히 배치된다. 제 2 방향(Y)은 제 1 방향(X)에 대해 수직일 수 있다. 상기 좌표계의 Z 방향은 제 2 어레이(8)에 의해 반사된 레이저 방사선의 평균 전파 방향을 나타낸다.
제 1 어레이(7)의 거울 요소들(9)은 제 2 방향(Y)으로 서로 오프셋되어 배치되는 한편, 제 2 어레이(8)의 거울 요소들(10)은 제 1 방향(X)으로 서로 오프셋되어 배치된다.
특히, 제 1 어레이(7)의 거울 요소들(9)의 개수는 제 2 어레이(8)의 거울 요소들(10)의 개수 또는 레이저 다이오드 바아의 에미터(1)의 개수에 상응한다. 이 경우, 제 1 어레이(7) 및/또는 제 2 어레이(8)는 제 1 어레이(7)의 거울 요소(9)에 의해 반사된 레이저 방사선이 제 2 어레이(8)의 거울 요소(10)에 의해 정확하게 반사되도록 설계될 수 있다.
제 1 어레이(7)의 거울 요소들(9)은 특히 실린더 거울들로서 또는 원통형 거울들로 설계되고, 상기 거울의 실린더 축은 적어도 부분적으로 X 방향으로 연장된다. 중앙 거울 요소(9)의 실린더 축은 예를 들어 X 방향에 대해 평행한 한편, 다른 거울 요소들(9)의 실린더 축들은 X 방향과 0 °보다 큰 또는 0 °보다 작은 각도를 형성한다.
제 2 어레이(8)의 거울 요소들(10)은 특히 실린더 거울들로서 또는 원통형 거울들로서 설계되고, 상기 거울의 실린더 축은 적어도 부분적으로 Y 방향으로 연장된다. 중앙 거울 요소(10)의 실린더 축은 예를 들어 Y 방향에 대해 평행한 한편, 다른 거울 요소들(10)의 실린더 축들은 Y 방향과 0 °보다 큰 또는 0 °보다 작은 각도를 형성한다.
또한, 제 1 어레이(7)의 거울 요소들(9)이 각각 서로에 대해 기울어져서, 각각의 거울 요소(9)가 다른 거울 요소(9)와는 상이한 배향을 가질 수 있다. 제 1 어레이(7)의 거울 요소들(9)의 기울어짐은 Y 방향으로 발생할 수 있다.
또한, 제 2 어레이(8)의 거울 요소들(10)이 서로 상이하게 기울어져서, 각각의 거울 요소(10)가 다른 거울 요소(10)와는 상이한 배향을 가질 수 있다. 제 2 어레이(8)의 거울 요소들(10)의 기울어짐은 X 방향으로 발생할 수 있다.
도시된 장치는 도시되지 않은 레이저 다이오드 바아의 에미터(1)로부터 나오는 레이저 방사선(2)을 형성할 수 있다. 특히, X 방향은 레이저 다이오드 바아의 슬로우 축(Slow-Axis)에 상응하고, Y 방향은 레이저 다이오드 바아의 패스트 축(Fast-Axis)에 상응한다.
제 1 어레이(7)의 거울 요소들(9) 및 제 2 어레이(8)의 거울 요소들(10)은 각각 이들에 부딪히는 레이저 방사선(2)의 편향을 위해 그리고 레이저 방사선(2)의 이미징 또는 시준을 위해 사용된다.
예를 들어 제 1 어레이(7)의 거울 요소들(9)은 개별 에미터(1)로부터 나오는 레이저 방사선(2)을 패스트 축 또는 Y 방향과 관련해서 광 섬유의 입사면(11) 상에 이미징할 수 있다.
동시에, 제 1 어레이(7)의 편심 거울 요소들(9)의 실린더 축들의 상이한 배향은, 상기 거울 요소들로부터 나오는 레이저 방사선(2)이 X 방향으로 광축을 향해 편향되어 제 2 어레이(8)의 거울 요소들(10)에 부딪히게 한다. 추가로, 제 1 어레이(7)의 거울 요소들(9)의 각각 상이한 기울어짐은 상기 거울 요소들로부터 나오는 레이저 방사선(2)이 광축으로부터 상부를 향해 그리고 하부를 향해 Y 방향으로 편향되어 제 2 어레이(8)의 상응하는 거울 요소들(10)에 부딪히게 한다.
또한, 예를 들어, 제 2 어레이(8)의 거울 요소들(10)은 개별 에미터들(1)로부터 나오는 레이저 방사선(2)을 슬로우 축 또는 X 방향과 관련해서 광 섬유의 입사면(11) 상에 이미징할 수 있다.
동시에, 제 2 어레이(8)의 편심 거울 요소들(10)의 실린더 축들의 상이한 배향은, 제 1 어레이(7)의 편심 거울 요소(9)로부터 나오는 레이저 방사선(2)이 Y-Z 평면에서 연장하도록 (도 2 참고) X 방향으로 편향되게 한다. 추가로, 제 2 어레이(8)의 거울 요소들(10)의 각각 상이한 기울어짐은 제 1 어레이(7)의 편심 거울 요소들(9)로부터 나오는 레이저 방사선(2)이 Y 방향으로 광축을 향해 상부로 및 하부로 편향되어 광 섬유의 입사면(11)에 부딪히게 한다.
대안으로서, 제 1 어레이(7)의 거울 요소들(9) 및/또는 제 2 어레이(8)의 거울 요소들(10)은 개별 에미터(1)로부터 나오는 레이저 방사선(2)을 이미징하지 않고 시준할 수 있다. 슬로우 축 및 패스트 축에 대해 시준된 레이저 방사선은 후속해서 예를 들어, 값싼 구형 광학 수단에 의해 예컨대 광 섬유의 입사면(11) 상에 포커싱될 수 있다.
제 1 및/또는 제 2 어레이(7, 8)의 거울 요소들(9, 10)은 실린더 거울 또는 원통형 거울로서의 형성 대신에, X 방향 및 Y 방향으로 곡률을 가질 수 있다. 거울 요소(9, 10)의 표면은, 예를 들어, 축마다 짝수 항들 뿐만 아니라 X 및 Y의 혼합된 항들도 나타나는 혼합된 다항식으로 표시될 수 있다. 1차에서보다 높은 X 및 Y의 홀수 항들도 가능하다.
한편으로는 도 3 그리고 다른 한편으로는 도 4 및 도 5는 거울 요소들(9, 10)이 부품(3)의 외부 면에 배치되지 않고 부품(3)의 내부에 배치됨으로써 내부 반사가 이루어지는 실시 예들을 도시한다.
도 3에는 레이저 방사선용 평면 입사면(12) 및 마찬가지로 평면 출사면(13)이 도시된다. 그러나 입사면(12) 및/또는 출사면(13)은 곡면으로도 설계될 수 있으며, 예를 들어 적당한 비-원통형(acylindrical) 또는 비구면 형상을 가질 수 있다.
입사면(12)을 통해 부품(3) 내로 들어간 레이저 방사선(2)은 제 1 어레이 (7)를 형성하는 면 상에서 반사되고, 편향되며 시준된다. 상기 어레이(7)를 형성하는 면은 적절하게 형성되고, 필요에 따라 외부로부터 코팅된다. 제 1 어레이(7)의 거울 요소들(9)은 서로 분리될 수 있거나 또는 이행부 없이 서로 이어질 수 있다.
제 2 어레이(8)를 형성하는 면, 즉 적절하게 형성되고 필요에 따라 외부로부터 코팅된 면은 레이저 방사선(2)을 다시 반사시킨다. 제 2 어레이(8)를 형성하는 면은 포커싱 및/또는 빔 형성 특성을 가질 수 있다. 제 2 어레이(8)의 거울 요소(10)는 또한 서로 분리될 수 있거나 또는 이행부 없이 서로 이어질 수 있다.
제 1 어레이(7) 및 제 2 어레이(8)를 형성하는 면들은 특히 볼록하게 형성된다.
레이저 방사선은 부품(3)으로부터 출사면(13)을 통해 방출된다. 도 4 및 도 5에 도시된 실시예에서, 출사면(13)은 곡률, 특히 포커싱을 일으키거나 지원하는 형상을 갖는다.
2: 레이저 방사선 3: 부품
7: 제 1 어레이 8: 제 2 어레이
9, 10: 거울 요소 12: 입사면
13: 출사면

Claims (15)

  1. 레이저 방사선(2)의 형성 장치로서,
    - 제 1 방향(X)으로 나란히 배치된 다수의 광학 요소들을 포함하는, 레이저 방사선(2)을 편향하거나, 이미징하거나, 시준하기 위한 모든 광학 요소들의 제 1 어레이(7)로서, 상기 제 1 어레이(7)의 광학 요소들 중 제 1 광학 요소에 의해 상기 레이저 방사선(2)이 제 1 방향(X) 및/또는 상기 제 1 방향(X)과는 다른 제 2 방향(Y)에 대해 상기 제 1 어레이(7)의 광학 요소들 중 제 2 광학 요소에 의한 것과는 다른 각으로 편향되도록 설계되는, 상기 제 1 어레이(7), 및
    - 제 2 방향(Y)으로 나란히 배치된 다수의 광학 요소를 포함하는, 레이저 방사선(2)을 편향하거나, 이미징하거나, 시준하기 위한 모든 광학 요소들의 제 2 어레이(8)로서, 상기 제 2 어레이(8)의 광학 요소들 중 제 1 광학 요소에 의해 상기 레이저 방사선(2)이 상기 제 1 방향(X) 및/또는 상기 제 2 방향(Y)에 대해 상기 제 2 어레이(8)의 광학 요소들 중 제 2 광학 요소에 의한 것과는 다른 각으로 편향되도록 설계되는, 상기 제 2 어레이(8)를 포함하는, 상기 레이저 방사선의 형성 장치에 있어서,
    2개의 어레이들(7, 8)의 광학 요소들이 거울 요소들(9, 10)이고, 상기 형성 장치는 부품(3)을 포함하고, 상기 부품(3)은 베이스(4), 및 상기 베이스(4)로부터 돌출한 2개의 돌출부(5, 6)를 포함하고, 상기 제 1 어레이(7)는 상기 2개의 돌출부(5, 6) 중 제 1 돌출부의 외부면에, 그리고 상기 제 2 어레이(8)는 상기 2개의 돌출부(5, 6) 중 제 2 돌출부의 외부면에 배치되고, 상기 제 1 및 제 2 어레이(7, 8)는 동일한 측면에서 접근 가능하므로, 상기 형성 장치의 제조 과정에서 상기 거울 요소들(9, 10)이 하나의 측면에서 형성될 수 있는 것을 특징으로 하는, 레이저 방사선의 형성 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 형성 장치는 거울 요소들(9, 10) 및 렌즈 요소들을 포함하는 것을 특징으로 하는, 레이저 방사선의 형성 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 형성 장치는 거울 요소들(9, 10)의 적어도 하나의 어레이(7, 8)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 레이저 방사선의 형성 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 어레이(7) 및/또는 상기 제 2 어레이(8)는 상기 제 1 어레이(7)의 광학 요소에 의해 반사되는 레이저 방사선(2) 또는 상기 제 1 어레이(7)의 하나의 광학 요소를 통과한 레이저 방사선(2)이 정확히 상기 제 2 어레이(8)의 광학 요소에 의해 반사되거나, 또는 상기 제 2 어레이(8)의 광학 요소를 통과하도록 형성되고, 상기 제 1 어레이(7)의 광학 요소들의 개수는 상기 제 2 어레이(8)의 광학 요소들의 개수에 상응하는 것을 특징으로 하는, 레이저 방사선의 형성 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 어레이(7)의 상기 광학 요소들은 상기 제 2 방향(Y)으로 서로 오프셋되어 배치되고, 및/또는 상기 제 2 어레이(8)의 상기 광학 요소들은 제 1 방향(X)으로 서로 오프셋되어 배치되는 것을 특징으로 하는, 레이저 방사선의 형성 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 어레이(7)의 상기 광학 요소들 및/또는 상기 제 2 어레이(8)의 상기 광학 요소들은 실린더 거울들로서 또는 실린더 렌즈들로서 또는 원통형 거울들 또는 렌즈들로서 형성되는 것을 특징으로 하는, 레이저 방사선의 형성 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 어레이(7)의 상기 실린더 거울들 또는 실린더 렌즈들 또는 상기 원통형 거울들 또는 렌즈들의 실린더 축들 중 적어도 하나는 상기 제 2 어레이(8)의 상기 실린더 거울들 또는 실린더 렌즈들 또는 상기 원통형 거울들 또는 렌즈들의 실린더 축들 중 적어도 하나에 대해 0 °가 아닌 그리고 180 °가 아닌 각도로 배향되는 것을 특징으로 하는, 레이저 방사선의 형성 장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    - 상기 제 1 어레이(7)의 상기 실린더 거울들 또는 실린더 렌즈들 또는 상기 원통형 거울들 또는 렌즈들의 실린더 축들은 제 1 방향(X)에 대해 평행하거나 또는 상기 제 1 방향(X)과 45 °미만의 각도를 형성하고 및/또는
    - 상기 제 2 어레이(8)의 상기 실린더 거울들 또는 실린더 렌즈들 또는 상기 원통형 거울들 또는 렌즈들의 실린더 축들은 제 2 방향(Y)에 대해 평행하거나 또는 상기 제 2 방향(Y)과 45 °미만의 각도를 형성하는 것을 특징으로 하는, 레이저 방사선의 형성 장치.
  9. 제 6 항에 있어서,
    - 상기 제 1 어레이(7)의 상기 실린더 거울들 또는 실린더 렌즈들 또는 상기 원통형 거울들 또는 렌즈들 중 적어도 2개의 실린더 거울 또는 실린더 렌즈 또는 원통형 거울 또는 렌즈의 실린더 축의 각도는 0 °보다 크고 25 °보다 작은 각도를 형성하고 및/또는
    - 상기 제 2 어레이(8)의 실린더 거울들 또는 실린더 렌즈들 또는 상기 원통형 거울들 또는 원통형 렌즈들 중 적어도 2개의 실린더 거울 또는 실린더 렌즈 또는 원통형 거울 또는 렌즈의 실린더 축의 각도는 0 °보다 크고 25 °보다 작은 각도를 형성하는 것을 특징으로 하는, 레이저 방사선의 형성 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 형성 장치는 레이저 다이오드 바아 또는 레이저 다이오드 바아들의 스택으로부터 나온 레이저 방사선을 형성하기 위해 사용될 수 있고,
    상기 제 1 방향(X)은 슬로우 축에 상응하며 상기 제 2 방향(Y)은 패스트 축에 상응하거나 또는 상기 제 2 방향(Y)은 슬로우 축에 상응하며 상기 제 1 방향(X)은 패스트 축에 상응하는 것을 특징으로 하는, 레이저 방사선의 형성 장치.
  11. 제 6 항에 있어서,
    - 상기 제 1 어레이(7)의 상기 실린더 거울들 또는 실린더 렌즈들 또는 원통형 거울들 또는 렌즈들 중 적어도 하나는, 상기 레이저 다이오드 바아 또는 레이저 다이오드 바아들의 스택의 에미터로부터 나온 레이저 방사선을 제 2 방향(Y)과 관련해서 광 섬유의 입사면 상에 이미징하거나 또는 상기 제 2 방향(Y)과 관련해서 시준할 수 있도록 설계되고,
    - 상기 제 2 어레이(8)의 상기 실린더 거울들 또는 실린더 렌즈들 또는 원통형 거울들 또는 렌즈들 중 적어도 하나는, 상기 레이저 다이오드 바아 또는 레이저 다이오드 바아들의 스택의 에미터로부터 나온 레이저 방사선을 제 1 방향(X)과 관련해서 광 섬유의 입사면 상에 이미징하거나 또는 상기 제 1 방향(X)과 관련해서 시준할 수 있도록 설계되는 것을 특징으로 하는, 레이저 방사선의 형성 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 어레이(7)의 광학 요소들 중 적어도 하나 및/또는 상기 제 2 어레이(8)의 광학 요소들 중 적어도 하나가 상기 제 1 방향(X)에 대해 그리고 상기 제 2 방향(Y)에 대해 휘어지는 것을 특징으로 하는, 레이저 방사선의 형성 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 어레이(7)의 광학 요소들 중 적어도 하나 및/또는 상기 제 2 어레이(8)의 광학 요소들 중 적어도 하나가 자유 형상 면으로서 형성되는 것을 특징으로 하는, 레이저 방사선의 형성 장치.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및/또는 제 2 어레이(7, 8)의 상기 거울 요소들(9, 10)은 서로 분리되거나 또는 이행부 없이 서로 이어지는 것을 특징으로 하는, 레이저 방사선의 형성 장치.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 방향(Y)은 상기 제 1 방향(X)에 대해 수직인 것을 특징으로 하는, 레이저 방사선의 형성 장치.
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102017123462A1 (de) * 2017-10-10 2019-04-11 HELLA GmbH & Co. KGaA Optische Vorrichtung für eine Abstandsmessvorrichtung nach dem LIDAR-Prinzip
CN116774453A (zh) 2018-06-22 2023-09-19 奇跃公司 用于rgb照明器的方法和系统
CZ308613B6 (cs) * 2018-12-17 2021-01-06 Ústav Fyziky Plazmatu Av Čr, V. V. I. Zrcadlový konvertor vysokovýkonového laserového svazku
CN113031288A (zh) * 2019-12-24 2021-06-25 深圳光峰科技股份有限公司 一种用于改善光斑形状的封装结构
CN113534474B (zh) * 2021-07-19 2022-11-01 华中科技大学 一种反射式光束整形镜及整形系统
CN113552677B (zh) * 2021-07-28 2022-07-08 上海索迪龙自动化股份有限公司 一种光纤发射端口
CN114460740B (zh) * 2022-01-21 2023-03-28 华中科技大学 一种单镜环形光斑光学系统
US20230387650A1 (en) * 2022-04-15 2023-11-30 Senko Advanced Components, Inc. Laser beam module package incorporating stamped metal freeform reflective optics
WO2024074254A1 (en) * 2022-10-05 2024-04-11 Ams-Osram International Gmbh Optoelectronic light source and data glasses

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5333077A (en) * 1989-10-31 1994-07-26 Massachusetts Inst Technology Method and apparatus for efficient concentration of light from laser diode arrays
DE19511593C2 (de) * 1995-03-29 1997-02-13 Siemens Ag Mikrooptische Vorrichtung
DE19514626C2 (de) * 1995-04-26 1997-03-06 Fraunhofer Ges Forschung Anordnung zur Formung des geometrischen Querschnitts eines Strahlungsfeldes eines oder mehrerer Festkörper- und/oder Halbleiterlaser(s)
US6504650B1 (en) * 1999-10-19 2003-01-07 Anthony J. Alfrey Optical transformer and system using same
US6556352B2 (en) * 2000-08-23 2003-04-29 Apollo Instruments Inc. Optical coupling system
US6903859B2 (en) * 2001-12-07 2005-06-07 Micronic Laser Systems Ab Homogenizer
US6870682B1 (en) * 2003-09-30 2005-03-22 Institut National D'optique Apparatus for reshaping an optical beam bundle
CN201110835Y (zh) * 2007-09-11 2008-09-03 中国科学院上海光学精密机械研究所 大口径钕玻璃表面疵病的激光散射检测装置
AU2010302915B2 (en) * 2009-10-01 2015-06-25 Tornado Spectral Systems Inc. Optical slicer for improving the spectral resolution of a dispersive spectrograph
DE102013114083B4 (de) * 2013-12-16 2018-10-25 LIMO GmbH Vorrichtung zur Formung von Laserstrahlung

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