JP4261591B2

JP4261591B2 - 照明光学装置および試料検査装置

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Publication number: JP4261591B2
Application number: JP2007090423A
Authority: JP
Inventors: 方敏廣野
Original assignee: アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社
Priority date: 2007-03-30
Filing date: 2007-03-30
Publication date: 2009-04-30
Anticipated expiration: 2027-03-30
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Description

本発明は、照明光学装置および試料検査装置に関し、特に、遠紫外線光源を用いる照明光学装置および試料検査装置に関する。

近年、ＩＣの集積度の増加に伴い、遠紫外線光源を用いる照明光学装置の重要性が増している。これは、ＬＳＩの露光装置や試料検査装置において、一般的に短波長化は分解能の向上につながるからである。照明光学装置では被照射面を均一な照度分布で照明する必要があり、そのためにはインテグレータ光学系が有効であることが知られている（例えば、特許文献１）

図４に、従来の照明光学装置のインテグレータ光学系の一例を示す。図４（ａ）はＸＺ平面上の断面図、図４（ｂ）は、ＹＺ平面上の断面図である。シリンドリカルレンズアレイ４０および４４は、円柱軸がＹ方向を向いており、ＹＺ平面状では曲率を持たない。一方、シリンドリカルレンズ４２および４６は、円柱軸がＸ方向を向いており、ＸＺ平面上では曲率を持たない。遠紫外線光源４８から発せられ、左側から入射された遠紫外線５０は、シリンドリカルレンズ４０によりＸ方向に、シリンドリカルレンズ４２によりＹ方向に分割されて出射される。これらの分割された複数の光束はコンデンサレンズ５２により、被照射面５４上で重ねあわされ、均一な照度分布が形成される。

ここで、シリンドリカルレンズ４４、４６は、シリンドリカル４０、４２から入射する複数の光束の方向を揃えて出射するフィールドレンズの役割を担っている。シリンドリカルレンズ４０、４２に入射する光線５０に、平行でない成分の光線が一部混在している場合、シリンドリカルレンズ４０、４２から出射される分割された複数の光束中にも方向の揃わない光束が生ずる。そうすると、被照射面５４の照度分布にムラができるという問題が生じる。そのため、フィールドレンズにより複数の光束の方向を揃えて出射することで、この問題を解決している。
特開２００６−９８１５６号公報

もっとも、図４のような従来の照明装置では、１つの円柱軸のシリンドリカルアレイ面ごとにレンズを形成しており、部品点数が多い、すなわち調整要素が多くなっている。また、シリンドリカルレンズのみで８つものガラス境界面を持つため、フレネル反射による透過率の低下が大きい。フレネル反射の問題は、一般的にフレネル反射率が高い遠紫外線で特に深刻な問題となる。

上記問題に加えて、従来の照明装置には、ガラスの焼けの可能性も存在する。図４において、シリンドリカルレンズ４０、４２は、それぞれ光をシリンドリカルレンズ４４、４６内に集光している。これにより、ガラスにおける内部吸収率が比較的高い遠紫外線では、シリンドリカルレンズ４４、４６のガラスに焼けを生じさせる可能性があり好ましくない。

本発明は、上記事情を考慮してなされたもので、その目的とするところは、少ない部品点数で構成されるため調整が容易で、被照射面における照度および照度均一性の高い、遠紫外線光源を用いる照明光学装置および試料検査装置を提供することにある。

本発明の一態様の照明光学装置は、遠紫外線が出射される遠紫外線光源と、前記遠紫外線光源から出射される前記遠紫外線が入射され、第１の複数の光束に分割して出射する、円柱軸が直交した構成でシリンドリカルレンズアレイを両面に有する第１の両面シリンドリカルレンズと、前記第１の両面シリンドリカルレンズから出射される前記第１の複数の光束が入射され、前記第１の複数の光束の方向を揃えて第２の複数の光束として出射する、円柱軸が直交した構成でシリンドリカルレンズアレイを両面に有する第２の両面シリンドリカルレンズと、前記第２の複数の光束が入射され、前記第２の複数の光束を重ね合わせるコンデンサレンズとを具備し、前記第２の両面シリンドリカルレンズ全体が、前記第１の両面シリンドリカルレンズの前記第２の両面シリンドリカルレンズ側焦点よりも、前記第１の両面シリンドリカルレンズ側に配置されていることを特徴とする。
また、本発明の別の一態様の照明光学装置は、遠紫外線が出射される遠紫外線光源と、前記遠紫外線光源から出射される前記遠紫外線が入射され、第１の複数の光束に分割して出射する、円柱軸が直交した構成でシリンドリカルレンズアレイを両面に有する第１の両面シリンドリカルレンズと、前記第１の両面シリンドリカルレンズから出射される前記第１の複数の光束が入射され、前記第１の複数の光束の方向を揃えて第２の複数の光束として出射する、円柱軸が直交した構成でシリンドリカルレンズアレイを両面に有する第２の両面シリンドリカルレンズと、前記第２の複数の光束が入射され、前記第２の複数の光束を重ね合わせるコンデンサレンズとを具備し、前記第１の両面シリンドリカルレンズの入射面側のシリンドリカルレンズアレイの一要素の曲率半径をＲ１、前記第１の両面シリンドリカルレンズの出射面側のシリンドリカルレンズアレイの一要素の曲率半径をＲ２、前記第２の両面シリンドリカルレンズの入射面側のシリンドリカルレンズアレイの一要素の曲率半径をＲ３、前記第２の両面シリンドリカルレンズの出射面側のシリンドリカルレンズアレイの一要素の曲率半径をＲ４、とした場合、Ｒ３＜Ｒ２＝Ｒ４＜Ｒ１の関係を満たすことを特徴とする。

ここで、前記第１の両面シリンドリカルレンズの入射面側のシリンドリカルレンズアレイの円柱軸と、前記第２の両面シリンドリカルレンズの入射面側のシリンドリカルレンズアレイの円柱軸とが平行であることが望ましい。

ここで、前記第１の両面シリンドリカルレンズの入射面側のシリンドリカルレンズアレイの円柱軸と、前記第２の両面シリンドリカルレンズの入射面側のシリンドリカルレンズアレイの円柱軸とが垂直であることが望ましい。

ここで、前記第１の両面シリンドリカルレンズが、前記第２の両面シリンドリカルレンズの前記第１の両面シリンドリカルレンズ側焦点の近傍にあることが望ましい。

ここで、前記第２の両面シリンドリカルレンズが、前記第１の両面シリンドリカルレンズの前記第２の両面シリンドリカルレンズ側焦点よりも、前記第１の両面シリンドリカルレンズ側に配置されていることが望ましい。

ここで、前記第１および第２の両面シリンドリカルレンズからなる組み合わせ光学系の各円柱軸の前記コンデンサレンズ側焦点が、同一平面上にあることが望ましい。

ここで、前記コンデンサレンズの前記第２の両面シリンドリカルレンズ側焦点が、前記第１および第２の両面シリンドリカルレンズからなる組み合わせ光学系の各円柱軸の前記コンデンサレンズ側焦点が存在する平面上にあることが望ましい。

ここで、前記第１の両面シリンドリカルレンズの入射面側のシリンドリカルレンズアレイの一要素の曲率半径をＲ１、前記第１の両面シリンドリカルレンズの出射面側のシリンドリカルレンズアレイの一要素の曲率半径をＲ２、前記第２の両面シリンドリカルレンズの入射面側のシリンドリカルレンズアレイの一要素の曲率半径をＲ３、前記第２の両面シリンドリカルレンズの出射面側のシリンドリカルレンズアレイの一要素の曲率半径をＲ４、とした場合、Ｒ３＜Ｒ２＝Ｒ４＜Ｒ１の関係を満たすことが望ましい。

本発明の一態様の試料検査装置は、照明光学系と、前記照明光学系によって照明される試料を載置するテーブルと、前記試料の像を形成する拡大光学系と、前記試料の像を撮像する撮像手段を備え、前記照明光学系の一部が、上記本発明の一態様の照明光学装置で構成されていることを特徴とする。

本発明によれば、少ない部品点数で構成されるため調整が容易で、被照射面における照度および照度均一性の高い、遠紫外線光源を用いる照明光学装置および試料検査装置を提供することが可能となる。

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。

[第１の実施の形態]
本発明の第１の実施の形態の照明光学装置は、遠紫外線が出射される遠紫外線光源と、遠紫外線光源から出射される遠紫外線が入射され、第１の複数の光束に分割して出射する、円柱軸が直交した構成でシリンドリカルレンズアレイを両面に有する第１の両面シリンドリカルレンズを備えている。また、第１の両面シリンドリカルレンズから出射される第１の複数の光束が入射され、第１の複数の光束の方向を揃えて第２の複数の光束として出射する、円柱軸が直交した構成でシリンドリカルレンズアレイを両面に有する第２の両面シリンドリカルレンズを備えている。さらに、第２の複数の光束が入射され、第２の複数の光束を重ね合わせるコンデンサレンズを備えている。

図１に、本実施の形態の照明光学装置を示す。図１（ａ）はＸＺ平面上の断面図、図１（ｂ）はＹＺ平面上の断面図である。

まず、本実施の形態の照明光学装置は、遠紫外線１１が出射される遠紫外線光源１０を備えている。そして、遠紫外線光源１０から出射された遠紫外線１１を第１の複数の光束１２に分割して出射する第１の両面シリンドリカルレンズ１４を有している。この第１の両面シリンドリカルレンズ１４は、遠紫外線１１を第１の複数の光束１２に分割することにより、遠紫外線１２に内在する強度ムラを被照射面２０において均一化する役割を担っている。

そして、この両面シリンドリカルレンズ１４の入射面１４ａは、円柱軸がＹ方向を向いたシリンドリカルアレイで構成され、ＹＺ平面上では曲率を持たない。これに対し、この両面シリンドリカルレンズ１４の出射面１４ｂは、円柱軸がＸ方向を向いたシリンドリカルアレイで構成され、ＸＺ平面上では曲率を持たない。このように、この両面シリンドリカルレンズ１４は、それぞれの円柱軸が直交した構成でシリンドリカルレンズアレイをレンズの両面に、あわせて２つ有している。

ここで、第１の両面シリンドリカルレンズ１４の、遠紫外線光源１０に対して反対側には、第１の両面シリンドリカルレンズ１４から出射される第１の複数の光束１２が入射され、これらの第１の複数の光束の方向を揃えて第２の複数の光束として出射する第２の両面シリンドリカルレンズ１６を有している。この第２の両面シリンドリカルレンズ１６は、第１の両面シリンドリカルレンズ１４に入射する光線中、平行でない成分の光線が混在している場合、その方向を修正して、被照射面２０において生ずる照度ムラを均一化する役割を担う、いわゆるフィールドレンズとなっている。

そして、この両面シリンドリカルレンズ１６の入射面１６ａは、円柱軸がＹ方向を向いたシリンドリカルアレイで構成され、ＹＺ平面上では曲率を持たない。これに対し、この両面シリンドリカルレンズ１６の出射面１６ｂは、円柱軸がＸ方向を向いたシリンドリカルアレイで構成され、ＸＺ平面上では曲率を持たない。このように、この両面シリンドリカルレンズ１６は、第１の両面シリンドリカルレンズ１４同様、円柱軸が直交した構成でシリンドリカルレンズアレイをレンズの両面に、あわせて２つ有している。

そして、第２の両面シリンドリカルレンズ１６から、方向が揃って出射される第２の複数の光束１３が入射され、これらの第２の複数の光束１３を、被照射面２０に重ね合わせるコンデンサレンズ１８が備わっている。

ここで、遠紫外線光源１０から、第１の両面シリンドリカルレンズ１４に、遠紫外線１１が入射面１４ａ側から入射される。この遠紫外線１１は、入射面１４ａのシリンドリカルアレイでＸ方向に、入射面１４ｂのシリンドリカルアレイでＹ方向に分割される。これらの分割された第１の複数の光束１２が出射され、第２の両面シリンドリカルレンズ１６を通って、第２の複数の光束１３となり輝点面２２に集光される。ここで、第２の両面シリンドリカルレンズ１６においては、第１の両面シリンドリカルレンズ１４から出射される光束のうち、一部の方向の揃っていない光束を、全体の光束の方向に揃えて第２の複数の光束とする。さらに、輝点面２２に集光された光は、コンデンサレンズにより被照射面２０において、均一性の高い照度分布を有して重ねあわされる。

このように、本実施の形態の照明光学装置においては、被照射面に均一性の高い照度分布を達成するため、円柱軸が直交した構成でシリンドリカルレンズアレイ面を両面に持つシリンドリカルレンズを利用している。これによって、従来は４枚のレンズで構成されていた光学部を２枚のレンズで構成でき、部品点数、すなわち調整要素を２点分減らすことが可能となる。したがって、調整が容易になるため生産性の高い照明光学装置を提供することが可能となる。また、フレネル反射が低減されるため、被照射面における照度が向上する照明光学装置を提供することが可能となる。

なお、本実施の形態において、第１の両面シリンドリカルレンズが、第２の両面シリンドリカルレンズの、第１の両面シリンドリカルレンズ側焦点の近傍にあることが望ましい。いいかえれば、図１に示すように、第１の両面シリンドリカルレンズ１４が、第２の両面シリンドリカルレンズ１６の第１の両面シリンドリカルレンズ１４側焦点（前側焦点）、すなわち、第２の両面シリンドリカルレンズ１６から、おおよそ第２の両面シリンドリカルレンズ１６の焦点距離ｆ２だけ、遠紫外線光源１０側にあることが望ましい。これは、第２の両面シリンドリカルレンズ１６をフィールドレンズとしてもっとも有効に作用させるためである。

また、本実施の形態において、図１に示すように、第２の両面シリンドリカルレンズ１６が、第１の両面シリンドリカルレンズ１４の第２の両面シリンドリカルレンズ１６側焦点（後側焦点）よりも、第１の両面シリンドリカルレンズ１４側に配置されていることが望ましい。すなわち、第２の両面シリンドリカルレンズ１６が、第１の両面シリンドリカルレンズ１４から、第１の両面シリンドリカルレンズ１４の焦点距離ｆ１だけコンデンサレンズ側へ離間した位置、いいかえれば、遠紫外線１１が集光される輝点面２２よりも、第１の両面シリンドリカルレンズ１４側にあることが望ましい。このように、遠紫外線１１が集光される位置と、フィールドレンズである第２の両面シリンドリカルレンズ１６の位置をずらして、レンズ内での集光が生じないようにすることで、第２の両面シリンドリカルレンズ１６のレンズ焼けを防止することが可能となるからである。ここで、第２の両面シリンドリカルレンズ１６が、輝点面２２よりも、コンデンサレンズ１８側にある構成を本発明は排除するものではない。しかしながら、この構成では、相対的に第１の両面シリンドリカルレンズ１４の曲率が大きくなり、収差増大の懸念があるため望ましくない。

また、本実施の形態において、図１に示すように、第１および第２の両面シリンドリカルレンズ１４、１６からなる組み合わせ光学系の各円柱軸のコンデンサレンズ側焦点（後側焦点）、すなわち、組み合わせ光学系により集光した輝点の集合（あるいは焦点群）である輝点面２２が、同一平面上にあることが望ましい。これによって、輝点面２２が曲面であったり、凹凸を有したりする場合に比較して、被照射面２０での、照度分布の均一性が向上するからである。

また、本実施の形態において、図１に示すように、コンデンサレンズ１８の第２の両面シリンドリカルレンズ１６側焦点(前側焦点)、すなわち、コンデンサレンズ１８から遠紫外線光源１０側（前側）に、焦点距離ｆ３だけ離れた位置が、第１および第２の両面シリンドリカルレンズ１４，１６からなる組み合わせ光学系の各円柱軸のコンデンサレンズ１８側焦点（後側焦点）が存在する平面上、すなわち、輝点面２２上にあることが望ましい。この条件を満たすことで、被照射面に向かう各光束が平行となり、光束の入射角度管理が容易となるからである。

上記に望ましい形態として記載した条件、すなわち、図１に示す構成を実現するためには、各シリンドリカルアレイの曲率半径が下記条件を充足することで達成できる。

第１の両面シリンドリカルレンズ１４の入射面１４ａ側のシリンドリカルレンズアレイの一要素、すなわち、一円柱の曲率半径をＲ１、第１の両面シリンドリカルレンズの出射面１４ｂ側のシリンドリカルレンズアレイの一要素の曲率半径をＲ２、第２の両面シリンドリカルレンズ１６の入射面１６ａ側のシリンドリカルレンズアレイの一要素の曲率半径をＲ３、第２の両面シリンドリカルレンズ１６の出射面１６ｂ側のシリンドリカルレンズアレイの一要素の曲率半径をＲ４、とした場合、
Ｒ３＜Ｒ２＝Ｒ４＜Ｒ１
の関係を満たすことで、上記望ましい形態の構成が達成できる。

これは、有限の厚みを持つレンズの曲率と主面との関係から明らかであり、光学シミュレーションによっても確認されている。

また、上記関係において、Ｒ２＝Ｒ４の関係は、必ずしも、上記望ましい形態の構成を実現する上で、必須ではない。しかしながら、レンズの曲率の種類が少ないほうが生産性レンズの生産性が良く、また、Ｒ２＝Ｒ４の条件が照明性能に与える影響も少ないため、この条件を充足することが好ましい。

以上記載した本実施の形態によれば、少ない部品点数で構成されるため調整が容易で、被照射面における照度および照度均一性の高い、かつ、レンズ焼けも生じにくい遠紫外線光源を用いる照明光学装置を提供することが可能となる。

[第２の実施の形態]
本発明の第２の実施の形態の照明光学装置は、第１の両面シリンドリカルレンズの入射面側のシリンドリカルレンズアレイの円柱軸と、第２の両面シリンドリカルレンズの入射面側のシリンドリカルレンズアレイの円柱軸とが平行ではなく、垂直であること以外は第１の実施の形態と同様であるので記述を省略する。

図２に、本実施の形態の照明光学装置を示す。図２（ａ）はＸＺ平面状の断面図、図２（ｂ）はＹＺ平面状の断面図である。

図２に示すように、第１の実施の形態と異なり、第１の両面シリンドリカルレンズ２２の入射面２２ａおよび出射面２２ｂの円柱軸と、第２の両面シリンドリカルレンズ２４の入射面２４ａおよび出射面２４ｂの円柱軸とがそれぞれ垂直となるように、すなわち直交するように構成されている。

本実施の形態においては、その構成上、輝点面３２が、第１の実施の形態の輝点面に比べ、第２の両面シリンドリルカルレンズ２４に近づく傾向にある。したがって、レンズ焼けの懸念が第１の実施の形態にくらべ大きくなる。しかしながら、この点以外については、第１の実施の形態と同様の作用および効果を実現することが可能となる。

[第３の実施の形態]
本発明の第３の実施の形態の試料検査装置は、照明光学系と、この照明光学系によって照明される試料を載置するテーブルと、試料の像を形成する拡大光学系と、試料の像を撮像する撮像手段を備え、照明光学系の一部が、第１の実施の形態の照明光学装置で構成されている。

図３は、本実施の形態における試料検査装置の構成を示す概念図である。図３において、マスクやウェハ等の基板を試料として、これらの試料の欠陥を検査する試料検査装置１００は、光学画像データ取得部１５０と制御系回路１６０を備えている。光学画像データ取得部１５０は、遠紫外線光源を含む照明光学系１７０、照明光学系１７０によって照明される試料を載置するＸＹθテーブル１０２、試料の像を形成する拡大光学系１０４、試料の像を撮像する撮像手段１０５である例えばフォトダイオードアレイを備えている。さらに、センサ回路１０６、レーザ測長システム１２２、オートローダ１３０を備えている。制御系回路１６０では、コンピュータとなる制御計算機１１０が、データ伝送路となるバス１２０を介して、位置回路１０７、比較部の一例となる比較回路１０８、領域画像データ生成部の一例となる領域情報展開回路１４０、オートローダ制御回路１１３、テーブル制御回路１１４、オートフォーカス制御回路１４２、記憶装置の一例となる磁気ディスク装置１０９、磁気テープ装置１１５、フロッピー（登録商標）ディスク１１６、ＣＲＴ１１７、パターンモニタ１１８、プリンタ１１９に接続されている。また、ＸＹθテーブル１０２は、Ｘ軸モータ、Ｙ軸モータ、θ軸モータにより駆動される。なお、図３では、本実施の形態を説明する上で必要な構成部分以外については記載を省略している。試料検査装置１００にとって、通常、必要なその他の構成が含まれることは言うまでもない。

ここで、上記照明光学系１７０の一部が、第１の実施の形態の照明光学装置で構成されている。その詳細については、第１の実施の形態に記載したとおりであるあるので、記述を省略する。

本実施の形態によれば、少ない部品点数で構成されるため調整が容易で、被照射面における照度および照度均一性の高い、遠紫外線光源を用いる試料検査装置が実現できる。したがって、本実施の形態の試料検査装置は、メンテナンスが容易であり、部品交換頻度も下げることができるため稼働率が向上し、かつ、被照射面における照度および照度均一性が向上するため検査精度が高いという優れた作用および効果を有する。

以上、具体例を参照しつつ本発明の実施の形態について説明した。実施の形態の説明においては、照明光学装置や試料検査装置等で、本発明の説明に直接必要しない部分等については記載を省略したが、必要とされる照明光学装置や試料検査装置の構成要素を適宜選択して用いることができる。

その他、本発明の要素を具備し、当業者が適宜設計変更しうる全ての照明光学装置および試料検査装置は、本発明の範囲に包含される。

第１の実施の形態の照明光学装置の構成を示す図。第２の実施の形態の照明光学装置の構成を示す図。第３の実施の形態の試料検査装置の構成を示す概略図。従来の照明光学装置の構成を示す図。

符号の説明

１０遠紫外線光源
１１遠紫外線
１２第１の複数の光束
１３第１の複数の光束
１４、２４第１の両面シリンドリカルレンズ
１６、２６第２の両面シリンドリカルレンズ
１８コンデンサレンズ
２０被照射面
２２、３２輝点面
１００試料検査装置
１７０照明光学系
１０２ＸＹθテーブル
１０４拡大光学系
１０５撮像装置

Claims

遠紫外線が出射される遠紫外線光源と、
前記遠紫外線光源から出射される前記遠紫外線が入射され、第１の複数の光束に分割して出射する、円柱軸が直交した構成でシリンドリカルレンズアレイを両面に有する第１の両面シリンドリカルレンズと、
前記第１の両面シリンドリカルレンズから出射される前記第１の複数の光束が入射され、前記第１の複数の光束の方向を揃えて第２の複数の光束として出射する、円柱軸が直交した構成でシリンドリカルレンズアレイを両面に有する第２の両面シリンドリカルレンズと、
前記第２の複数の光束が入射され、前記第２の複数の光束を重ね合わせるコンデンサレンズとを具備し、
前記第２の両面シリンドリカルレンズ全体が、前記第１の両面シリンドリカルレンズの前記第２の両面シリンドリカルレンズ側焦点よりも、前記第１の両面シリンドリカルレンズ側に配置されていることを特徴とする照明光学装置。
遠紫外線が出射される遠紫外線光源と、
前記遠紫外線光源から出射される前記遠紫外線が入射され、第１の複数の光束に分割して出射する、円柱軸が直交した構成でシリンドリカルレンズアレイを両面に有する第１の両面シリンドリカルレンズと、
前記第１の両面シリンドリカルレンズから出射される前記第１の複数の光束が入射され、前記第１の複数の光束の方向を揃えて第２の複数の光束として出射する、円柱軸が直交した構成でシリンドリカルレンズアレイを両面に有する第２の両面シリンドリカルレンズと、
前記第２の複数の光束が入射され、前記第２の複数の光束を重ね合わせるコンデンサレンズとを具備し、
前記第１の両面シリンドリカルレンズの入射面側のシリンドリカルレンズアレイの一要素の曲率半径をＲ１、前記第１の両面シリンドリカルレンズの出射面側のシリンドリカルレンズアレイの一要素の曲率半径をＲ２、前記第２の両面シリンドリカルレンズの入射面側のシリンドリカルレンズアレイの一要素の曲率半径をＲ３、前記第２の両面シリンドリカルレンズの出射面側のシリンドリカルレンズアレイの一要素の曲率半径をＲ４、とした場合、
Ｒ３＜Ｒ２＝Ｒ４＜Ｒ１
の関係を満たすことを特徴とする照明光学装置。
前記第１の両面シリンドリカルレンズの入射面側のシリンドリカルレンズアレイの円柱軸と、
前記第２の両面シリンドリカルレンズの入射面側のシリンドリカルレンズアレイの円柱軸とが平行であることを特徴とする請求項１または請求項２記載の照明光学装置。
前記第１の両面シリンドリカルレンズの入射面側のシリンドリカルレンズアレイの円柱軸と、
前記第２の両面シリンドリカルレンズの入射面側のシリンドリカルレンズアレイの円柱軸とが垂直であることを特徴とする請求項１または請求項２記載の照明光学装置。
前記第１の両面シリンドリカルレンズが、前記第２の両面シリンドリカルレンズの前記第１の両面シリンドリカルレンズ側焦点の近傍にあることを特徴とする請求項１ないし請求項４いずれかに記載の照明光学装置。
前記第１および第２の両面シリンドリカルレンズからなる組み合わせ光学系の各円柱軸の前記コンデンサレンズ側焦点が、同一平面上にあることを特徴とする請求項１ないし請求項５いずれかに記載の照明光学装置。
前記コンデンサレンズの前記第２の両面シリンドリカルレンズ側焦点が、前記第１および第２の両面シリンドリカルレンズからなる組み合わせ光学系の各円柱軸の前記コンデンサレンズ側焦点が存在する平面上にあることを特徴とする請求項１ないし請求項６いずれかに記載の照明光学装置。
前記第２の両面シリンドリカルレンズ全体が、前記第１の両面シリンドリカルレンズの前記第２の両面シリンドリカルレンズ側焦点よりも、前記第１の両面シリンドリカルレンズ側に配置されていることを特徴とする請求項２に記載の照明光学装置。
照明光学系と、
前記照明光学系によって照明される試料を載置するテーブルと、
前記試料の像を形成する拡大光学系と、
前記試料の像を撮像する撮像手段を備え、
前記照明光学系の一部が、請求項１ないし請求項８いずれかに記載の照明光学装置で構成されていることを特徴とする試料検査装置。