JP2007334350A - レーザ光線の均一な角度分布生成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 角度分布生成装置は、入射面および出射面を有する第1基体1を備え、入射面および/または出射面上にレーザ光線17が通過できる第1レンズアレイ4が形成された第1均質化ユニット10と、入射面および出射面を有する第2基体2を備え、入射面および/または出射面上に第1レンズアレイ4から出たレーザ光線17が通過できる第2レンズアレイ5が形成され、このレーザ光線17が前記第2均質化ユニット11から出た後に比較的均一な角度分布を有する、第2均質化ユニット11とを有する。第2均質化ユニット11は入射面および出射面を有する第3基体3をさらに有し、入射面および/または出射面上には第2レンズアレイ5から間隔をあけて第3レンズアレイ6が形成されており、第2および第3基体2,3の間隔d1,d2が角度分布に影響を及ぼす。
【選択図】 図1
Description
入射面および出射面を有する第2基体を備えた第2均質化ユニットであって、前記入射面および/または出射面上には前記第1レンズアレイから出たレーザ光線が通過できる第2レンズアレイが形成され、このレーザ光線が前記第2均質化ユニットから出た後に比較的均一な角度分布を有する、第2均質化ユニットとを有するレーザ光線の均一な角度分布生成装置において、
第2均質化ユニットは第2基体に加えて入射面および出射面を有する第3基体を有し、前記入射面および/または出射面上には第2レンズアレイから間隔をあけて第3のレンズアレイが形成されており、第2基体および第3基体の間隔が角度分布に影響を及ぼすことを特徴とする角度分布生成装置である。
2 第2基体
3 第3基体
4 第1レンズアレイ
5 第2レンズアレイ
6 第3レンズアレイ
7 凸レンズ
8 凹レンズ
9 凸レンズ
10 第1均質化ユニット
11 第2均質化ユニット
12 レンズ手段
13 作業面
14,18 領域
15 単独基体
16 レンズアレイ
17 レーザ光線
Claims (12)
- 入射面および出射面を有する第1基体(1)を備えた第1均質化ユニット(10)であって、前記入射面および/または出射面上には均質化すべきレーザ光線(17)が通過できる第1レンズアレイ(4)が形成された、第1均質化ユニット(10)と、
入射面および出射面を有する第2基体(2)を備えた第2均質化ユニット(11)であって、前記入射面および/または出射面上には前記第1レンズアレイ(4)から出たレーザ光線(17)が通過できる第2レンズアレイ(5)が形成され、このレーザ光線(17)が前記第2均質化ユニット(11)から出た後に比較的均一な角度分布を有する、第2均質化ユニット(11)とを有するレーザ光線(17)の均一な角度分布生成装置において、
第2均質化ユニット(11)は第2基体(2)に加えて入射面および出射面を有する第3基体(3)を有し、前記入射面および/または出射面上には第2レンズアレイ(5)から間隔をあけて第3のレンズアレイ(6)が形成されており、第2基体および第3基体(2,3)の間隔(d1,d2)が角度分布に影響を及ぼすことを特徴とする角度分布生成装置。 - 少なくとも1つの第1レンズアレイ(4)は少なくとも1つの第2レンズアレイ(5)および少なくとも1つの第3レンズアレイ(6)から構成されるレンズシステムの入射側焦点面に配置されることを特徴とする請求項1に記載の角度分布生成装置。
- 第2基体および第3基体(2,3)の間隔(d1,d2)が可変であり、特に第1基体(1)と第2基体および/または第3基体(2,3)との間隔も可変であることを特徴とする請求項1または2に記載の角度分布生成装置。
- 第2基体と第3基体(2,3)とを相対的に移動できる位置決め手段を有しており、特に第1基体(1)を第2基体および/または第3基体(2,3)に対して移動できる位置決め手段も有することを特徴とする請求項3に記載の角度分布生成装置。
- 視野レンズとして機能するレンズ手段(12)を有しており、レーザ光線(17)は少なくとも1つの第3レンズアレイ(6)からの出射後に前記手段を通過でき、レーザ光線(17)により均質に照射された領域(14,18)が作業面(13)において生じることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の角度分布生成装置。
- レンズアレイ(4,5,6)はそれぞれ多数の球面レンズを有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の角度分布生成装置。
- レンズアレイ(4,5,6)はそれぞれ多数のシリンドリカルレンズ(7,8,9)を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の角度分布生成装置。
- 前記シリンドリカルレンズ(7,8,9)のシリンダ軸は互いに平行に整列されていることを特徴とする請求項7に記載の角度分布生成装置。
- 基体(1,2,3)はそれらの入射面および出射面にそれぞれ多数のシリンドリカルレンズ(7,8,9)を有しており、それらのシリンダ軸はそれぞれの入射面および出射面に配置されたシリンドリカルレンズ(7,8,9)に対して互いに垂直に整列されていることを特徴とする請求項7に記載の角度分布生成装置。
- 2つの第1レンズアレイ(4)を備えた2つの第1基体(1)と、2つの第2レンズアレイ(5)を備えた2つの第2基体(2)と、2つの第3レンズアレイ(6)を備えた2つの第3基体(3)とを有することを特徴とする請求項7に記載の角度分布生成装置。
- 第1レンズアレイ(4)のシリンダ軸が互いに垂直に配置され、および/または第2レンズアレイ(5)のシリンダ軸が互いに垂直に配置され、および/または第3レンズアレイ(6)のシリンダ軸が互いに垂直に配置されていることを特徴とする請求項10に記載の角度分布生成装置。
- 少なくとも1つの第2基体および少なくとも1つの第3基体(2,3)の間隔(d1,d2)が多数の装置の少なくとも2つにおいて互いに異なることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の多数の角度分布生成装置。
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