JP2001240625A - フォトレジスト用高分子化合物及びフォトレジスト用樹脂組成物 - Google Patents
フォトレジスト用高分子化合物及びフォトレジスト用樹脂組成物Info
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Abstract
ーンを精度よく形成できるフォトレジスト用高分子化合
物を得る。 【解決手段】 本発明のフォトレジスト用高分子化合物
は、下記式(Ia)及び(Ib) 【化1】 (式中、R1、Ra、Rb、Rc、Rd、Re、Rf及びR
gは、同一又は異なって、水素原子又はメチル基を示
し、X1、X2及びX3は−CH2−又は−CO−O−を示
す。X1、X2及びX3のうち少なくとも1つは−CO−
O−である。m、p及びqはそれぞれ0〜2の整数を示
す)で表されるモノマー単位から選択された少なくとも
1種のモノマー単位を含む。
Description
どを行う際に用いるフォトレジスト用の高分子化合物
と、この高分子化合物を含有するフォトレジスト用樹脂
組成物に関する。
トレジストは、光照射により照射部がアルカリ可溶性に
変化する性質、シリコンウエハーへの密着性、プラズマ
エッチング耐性、用いる光に対する透明性等の特性を兼
ね備えていなくてはならない。該ポジ型フォトレジスト
は、一般に、主剤であるポリマーと、光酸発生剤と、上
記特性を調整するための数種の添加剤を含む溶液として
用いられるが、用途に応じたレジストを調製するには、
主剤であるポリマーが上記の各特性をバランス良く備え
ていることが極めて重要である。
露光光源は、年々短波長になってきており、次世代の露
光光源として、波長193nmのArFエキシマレーザ
ーが有望視されている。このArFエキシマレーザー露
光機に用いられるレジスト用ポリマーのモノマーユニッ
トとして、前記波長に対して透明度が高く、且つエッチ
ング耐性のある脂環式炭化水素骨格を含むユニットを用
いることが提案されている(特許第2776273号な
ど)。また、脂環式炭化水素骨格の中でも特にエッチン
グ耐性に優れているアダマンタン骨格を有するポリマー
をレジスト用ポリマーとして用いることも知られてい
る。ところが、脂環式炭化水素骨格は、上記のようにエ
ッチング耐性に優れるものの、疎水性が高いことから、
基板に対する密着性が低いという欠点を有する。そのた
め、上記文献では、これを改善する目的で、カルボキシ
ル基やラクトン環などを有する親水性の高いモノマーユ
ニット(密着性付与モノマーユニット)を組み込んだ共
重合ポリマーを提案している。しかし、これらのポリマ
ーにおいても、基板に対する密着性は必ずしも充分満足
できるものではなかった。また、上記のモノマーユニッ
トはエッチング耐性がないため、密着性を満足させる量
をポリマー内に組み込むと、ポリマー全体のエッチング
耐性が不十分になるという問題もあった。
は、アダマンタン骨格にヒドロキシル基を導入して親水
性を付与する試みがなされている。しかし、一般に、ヒ
ドロキシル基を有するモノマーユニットのみにより密着
性を向上させようとすると、アルカリ現像液によりレジ
スト膜が膨潤してパターンに曲がりやうねりが生じやす
いという問題があった。
は、基板に対する密着性に優れ、且つ微細なパターンを
精度よく形成できるフォトレジスト用高分子化合物を提
供することにある。本発明の他の目的は、基板に対して
優れた密着性を有し、しかも優れた透明性、アルカリ可
溶性及びエッチング耐性を備えたフォトレジスト用高分
子化合物を提供することにある。本発明のさらに他の目
的は、微細なパターンを高い精度で形成できるフォトレ
ジスト用樹脂組成物、及び半導体の製造方法を提供する
ことにある。
を達成するため鋭意検討した結果、ラクトン環を有する
特定構造の脂環式骨格を有するモノマー単位を含むポリ
マーをフォトレジスト用樹脂として用いると、基板に対
する密着性が著しく向上し、しかも現像液に対して膨潤
しにくく、微細なパターンを精度よく形成できることを
見出し、本発明を完成した。
(Ib)
gは、同一又は異なって、水素原子又はメチル基を示
し、X1、X2及びX3は−CH2−又は−CO−O−を示
す。X1、X2及びX3のうち少なくとも1つは−CO−
O−である。m、p及びqはそれぞれ0〜2の整数を示
す)で表されるモノマー単位から選択された少なくとも
1種のモノマー単位を含むフォトレジスト用高分子化合
物を提供する。
(Ib)で表されるモノマー単位から選択された少なくと
も1種のモノマー単位と、下記式(IIa)〜(IIg)
3は、同一又は異なって、炭素数1〜8の炭化水素基を
示し、R4、R5及びR6は、同一又は異なって、水素原
子、ヒドロキシル基又はメチル基を示す。R7及びR
8は、同一又は異なって、水素原子、ヒドロキシル基又
は−COOR9基を示し、R9はt−ブチル基、2−テト
ラヒドロフラニル基、2−テトラヒドロピラニル基又は
2−オキセパニル基を示す。R10及びR11は、同一又は
異なって、水素原子、ヒドロキシル基又はオキソ基を示
す。R12は、式中に示される酸素原子との結合部位に第
3級炭素原子を有する炭化水素基を示す。R13、R14及
びR15は、同一又は異なって、水素原子又はメチル基を
示す。R16はt−ブチル基、2−テトラヒドロフラニル
基、2−テトラヒドロピラニル基又は2−オキセパニル
基を示す。nは1〜3の整数を示す)から選択された少
なくとも1種のモノマー単位とを含んでいてもよい。
R18は、同一又は異なって、水素原子、ヒドロキシル基
又はカルボキシル基を示し、R19はヒドロキシル基、オ
キソ基又はカルボキシル基を示す。R20、R21、R22、
R23及びR24は、同一又は異なって、水素原子又はメチ
ル基を示す。R25は、同一又は異なって、水素原子又は
メチル基を示す。R26はトリシクロ[5.2.1.0
2,6]デシルメチル基、テトラシクロ[4.4.0.1
2,5.17,10]ドデシルメチル基、ノルボルニル基、イ
ソボルニル基又は2−ノルボルニルメチル基を示し、R
27はR 26の置換基であり、水素原子、ヒドロキシル基、
ヒドロキシメチル基、カルボキシル基又は−COOR28
基を示し、R28はt−ブチル基、2−テトラヒドロフラ
ニル基、2−テトラヒドロピラニル基又は2−オキセパ
ニル基を示す。R29は水素原子又はヒドロキシル基を示
す)で表されるモノマー単位から選択された少なくとも
1種のモノマー単位を含んでいてもよい。
の方法による溶解度パラメーターの値が9.5(cal
/cm3)1/2〜12(cal/cm3)1/2の範囲にあっ
てもよい。
る溶解度パラメーターの値が9.5(cal/cm3)
1/2〜12(cal/cm3)1/2の範囲であることを特
徴とするフォトレジスト用高分子化合物を提供する。
は、下記式(IV)
同一又は異なって、炭素数1〜8の炭化水素基、R5a及
びR29は、同一又は異なって、水素原子又はヒドロキシ
ル基を示す。r、s、t、u、v、wは各モノマー単位
のポリマーにおけるモル分率を示し、それぞれ0以上
0.9以下の実数であり、これらの総計は0.9〜1.
0の範囲にある。t及びvの少なくとも一方は正の数、
s及びwの少なくとも一方は正の数であり、r+s+t
は0.7×u〜1.3×uの範囲にある。また、r+s
+t+u>0で且つv+w>0の場合、r+s+t+u
>v+wである。式中に示されるモノマー単位以外のモ
ノマー単位をモル分率で最大0.1含んでいてもよい)
で表される共重合構造を有していてもよい。
ト用高分子化合物と光酸発生剤を少なくとも含むフォト
レジスト用樹脂組成物を提供する。
タクリル」とを「(メタ)アクリル」、「アクリロイ
ル」と「メタクリロイル」とを「(メタ)アクリロイ
ル」と総称する場合がある。
化合物は、ポリマー分子を構成する構造単位として、前
記式(Ia)及び(Ib)で表されるモノマー単位から選択
された少なくとも1種のモノマー単位(繰り返し単位)
(以下、「モノマーユニット1」と称することがある)
を含んでいる。このモノマーユニット1は、親水性の高
いラクトン環を有しているため、基板への密着性を高め
る密着性付与ユニットとして機能する。また、脂環式炭
素環をも有しているため、エッチング耐性を高める機能
をも有する。さらに、アルカリ現像液に対して膨潤しに
くいという特徴を有する。そして、ポリマー製造の際、
アルカリ可溶性機能やエッチング耐性機能等を発現可能
な重合性単量体を適宜コモノマーとして用いることによ
り、レジストとして必要な諸機能を備えたポリマーとす
ることができる。従って、上記のモノマーユニット1を
含むポリマーはフォトレジスト用樹脂として好適に使用
できる。
おける−CO−O−の左右の向きは問わない。式(Ib)
において、p+qは1又は2であるのが好ましい。
及び(Ib)で表されるモノマー単位から選択された少な
くとも1種のモノマー単位と、前記式(IIa)〜(IIg)
から選択された少なくとも1種のモノマー単位(繰り返
し単位)(以下、「モノマーユニット2」と称すること
がある)とを含んでいる。式(IIa)で表されるモノマ
ー単位は、酸によってアダマンタン骨格を含む部位が主
鎖に結合したカルボン酸部から脱離して、遊離のカルボ
キシル基を生成させる。式(IIb)で表されるモノマー
単位は、アダマンタン骨格に結合している保護基で保護
されたカルボキシル基が酸によって脱保護され、遊離の
カルボキシル基を生成させる。また、式(IIc)で表さ
れるモノマー単位は、アダマンタン骨格が酸によって主
鎖に結合したカルボン酸部から脱離して遊離のカルボキ
シル基を生成させる。さらに、式(IId)、(IIe)、
(IIf)及び(IIg)で表されるモノマー単位も、酸によ
りカルボン酸エステル部位が分解、脱離して遊離のカル
ボキシル基を生成させる。従って、上記モノマーユニッ
ト2は、アルカリ現像時に樹脂を可溶化させるアルカリ
可溶性ユニットとして機能する。
(IIg)で表されるモノマー単位は、脂環式炭素骨格を
有するため、高い透明性及びエッチング耐性を付与す
る。また、式(IIa)のうちR4〜R6の少なくとも1つ
がヒドロキシル基であるモノマー単位、及び式(IIf)
で表されるモノマー単位は、親水性が高く密着性機能を
も有する。
〜8の炭化水素としては、メチル、エチル、プロピル、
イソプロピル、ブチル、イソブチル、s−ブチル、ペン
チル、イソペンチル、1−メチルブチル、1−エチルプ
ロピル、ヘキシル、イソヘキシル、1−メチルペンチ
ル、1−エチルブチル、ヘプチル、1−メチルヘキシ
ル、オクチル、1−メチルヘプチル基などのC1-8アル
キル基;シクロプロピル、シクロペンチル、シクロヘキ
シル、シクロヘプチル、シクロオクチル基などのC 3-8
シクロアルキル基;フェニル基などが挙げられる。これ
らの中でも、メチル、エチル、イソプロピル基などのC
1-3アルキル基が好ましい。
れる酸素原子との結合部位に第3級炭素原子を有する炭
化水素基」としては、例えば、t−ブチル基、t−アミ
ル基などが挙げられる。なお、本発明のフォトレジスト
用高分子化合物において、各モノマー単位のR1は全て
同一であってもよく異なっていてもよい。本発明のフォ
トレジスト用高分子化合物は、上記モノマーユニット
1、又はモノマーユニット1及び2に加えて、前記式
(IIIa)〜(IIIg)で表されるモノマー単位から選択さ
れた少なくとも1種のモノマー単位(繰り返し単位)
(以下、「モノマーユニット3」と称することがある)
を含んでいてもよい。
は、アダマンタン骨格に親水性の高い基(ヒドロキシル
基、カルボキシル基、オキソ基)が結合しているため、
基板への密着性を高める機能を有する。また、式(III
a)、(IIIc)、(IIId)及び(IIIg)で表されるモノ
マー単位は脂環式炭素骨格を有するため、透明性、耐エ
ッチング性等の向上に寄与する。式(IIIg)で表される
モノマー単位は、他のモノマー単位により全体の親水性
が高すぎる傾向となる場合にこれを調整する機能も有す
る。式(IIIb)で表されるラクトン骨格を有するモノマ
ー単位、式(IIIe)、(IIIf)で表されるモノマー単位
は親水性基を含んでおり、密着性付与機能を有する。ま
た、式(IIIf)で表されるモノマー単位は、共重合反応
を円滑に進行させるために組み込まれる。このように、
これらのモノマー単位はその構造に基づいて種々の機能
を付与できるため、上記各モノマー単位をポリマー中に
組み込むことにより、レジスト用樹脂として必要な諸特
性のバランスを用途に応じて微調整できる。なお、本発
明のフォトレジスト用高分子化合物は、上記の諸特性を
調整するため、必要に応じて前記以外のモノマー単位を
含んでいてもよい。
おいて、前記モノマーユニット1の含有量は、ポリマー
を構成するモノマーユニット全体に対して、例えば1〜
90モル%、好ましくは5〜80モル%、さらに好まし
くは10〜70モル%程度である。また、好ましい高分
子化合物では、モノマーユニット2を、ポリマーを構成
するモノマーユニット全体に対して、10〜90モル%
程度(例えば、20〜80モル%程度)、特に30〜7
0モル%程度含有する。また、モノマーユニット3を含
む高分子化合物における該モノマーユニット3の含有量
は、ポリマーを構成するモノマーユニット全体に対し
て、例えば1〜70モル%、好ましくは3〜60モル
%、さらに好ましくは5〜50モル%程度である。
モノマー単位の組み合わせの中でも、好ましい組み合わ
せとして以下のものが挙げられる。(1)式(Ia)及び
(Ib)で表されるモノマー単位から選択された少なくと
も1種のモノマー単位[例えば、式(Ia)で表されるモ
ノマー単位、又は式(Ia)で表されるモノマー単位及び
式(Ib)で表されるモノマー単位]と、少なくとも、式
(IIa)〜(IIg)から選択された少なくとも1つのモノ
マー単位[特に、式(IIa)及び(IIg)から選択された
少なくとも1つのモノマー単位]との組み合わせ(2)
式(Ia)及び(Ib)で表されるモノマー単位から選択さ
れた少なくとも1種のモノマー単位[例えば、式(Ia)
で表されるモノマー単位、又は式(Ia)で表されるモノ
マー単位及び式(Ib)で表されるモノマー単位]と、式
(IIa)〜(IIg)から選択された少なくとも1つのモノ
マー単位[特に、式(IIa)及び(IIg)から選択された
少なくとも1つのモノマー単位]と、式(IIIa)〜(II
Ig)から選択された少なくとも1つのモノマー単位[特
に、式(IIIa)、(IIIf)及び(IIIg)から選択され
た少なくとも1つのモノマー単位]との組み合わせ
(3)式(Ia)及び(Ib)で表されるモノマー単位から
選択された少なくとも1種のモノマー単位(例えば、式
(Ia)で表されるモノマー単位、又は式(Ia)で表され
るモノマー単位及び式(Ib)で表されるモノマー単位)
と、少なくとも、式(IIIa)〜(IIIg)から選択された
少なくとも1つのモノマー単位[特に、式(IIIa)、
(IIIf)及び(IIIg)から選択された少なくとも1つ
のモノマー単位]との組み合わせ
骨格を有するモノマー単位[式(Ia)、(Ib)、(II
a)、(IIb)、(IIc)、(IIg)、(IIIa)、(III
c)、(IIId)及び(IIIg)]の総含有量は、ポリマー
を構成する全モノマー単位の例えば50〜100重量
%、特に60〜100重量%程度である。このような高
分子化合物では、特に優れたエッチング耐性を示す。
a)及び(Ib)で表されるモノマー単位から選択された
少なくとも1種のモノマー単位[例えば、式(Ia)で表
されるモノマー単位、又は式(Ia)で表されるモノマー
単位及び式(Ib)で表されるモノマー単位]と、式(II
a)及び(IIg)から選択された少なくとも1つのモノマ
ー単位と、式(IIIf)で表されるモノマー単位と、必要
に応じて式(IIIg)で表されるモノマー単位を含み、
これらの総計が、ポリマーを構成する全モノマー単位に
対するモル分率として0.9〜1の範囲にある。この場
合、式(Ib)、式(IIg)及び式(IIIg)で表されるモ
ノマー単位の前記モル分率の総計は、式(IIIf)で表さ
れるモノマー単位のモル分率の0.7〜1.3倍程度、
好ましくは0.9〜1.1倍程度である。また、式(I
b)、式(IIg)、式(IIIg)又は式(IIIf)で表され
る何れかのモノマー単位と、式(Ia)又は式(IIa)で
表される何れかのモノマー単位とを同時に含む場合、式
(Ib)、式(IIg)、式(IIIg)及び式(IIIf)で表さ
れるモノマー単位のモル分率の総計は、式(Ia)及び式
(IIa)で表されるモノマー単位のモル分率の総計より
多いのが好ましい。
式(IV)で表される共重合構造を有する高分子化合物が
好ましい。式(IV)において、R1は水素原子又はメチ
ル基、R2及びR3は、同一又は異なって、炭素数1〜8
の炭化水素基、R5a及びR29は、同一又は異なって、水
素原子又はヒドロキシル基を示す。r、s、t、u、
v、wは各モノマー単位のポリマーを構成する全モノマ
ー単位に対するモル分率を示し、それぞれ0以上0.9
以下の実数であり、これらの総計は0.9〜1.0の範
囲にある。t及びvの少なくとも一方は正の数、s及び
wの少なくとも一方は正の数であり、r+s+tは0.
7×u〜1.3×uの範囲(好ましくは、0.9×u〜
1.1×uの範囲)にある。また、r+s+t+u>0
で且つv+w>0の場合、r+s+t+u>v+wであ
る。式中に示されるモノマー単位以外のモノマー単位を
モル分率で最大0.1含んでいてもよい。このような高
分子化合物はフォトレジスト用樹脂が備えるべき各種特
性をバランスよく具備している。なお、式(IV)で表さ
れる共重合構造を有する高分子化合物はランダム共重合
体、交互共重合体、ブロック共重合体等の何れであって
もよい。
は、他の面において、Fedorsの方法[Polym. En
g. Sci., 14, 147(1974)参照]による溶解度パラメータ
ーの値が9.5(cal/cm3)1/2〜12(cal/
cm3)1/2[=19.4(J/cm3)1/2〜24.6
(J/cm3)1/2]の範囲であることを特徴とする。
スト用樹脂組成物を半導体基板(シリコンウェハー)に
塗布して形成されたレジスト塗膜は基板に対する接着性
(密着性)に優れ、且つアルカリ現像により解像度の高
いパターンを形成することができる。溶解度パラメータ
ーの値が9.5(cal/cm3)1/2[=19.4(J
/cm3)1/2]より低いと、基板に対する接着性が低
く、現像によりパターンが剥がれて残らないという問題
が起こる。また、溶解度パラメーターの値が12(ca
l/cm3)1/2[=24.6(J/cm3)1/2]より大
きいと、基板にはじかれて塗布することが困難になりや
すい上、アルカリ現像液に対する親和性が高くなり、そ
の結果、露光部と未露光部の溶解性のコントラストが悪
くなって解像度が低下する。
量(Mw)は、例えば5000〜50000程度、好ま
しくは7000〜20000程度であり、分子量分布
(Mw/Mn)は、例えば1.8〜3.5程度である。
なお、前記Mnは数平均分子量(ポリスチレン換算)を
示す。
表される各モノマー単位は、それぞれ対応するエチレン
性不飽和化合物を(コ)モノマーとして、また、式(I
a)、(Ib)、(IIa)〜(IIf)、(IIIa)〜(IIIe)
で表される各モノマー単位は、それぞれ対応する(メ
タ)アクリル酸又はそのエステルを(コ)モノマーとし
て重合に付すことにより形成できる。重合は、溶液重
合、溶融重合など、アクリル系ポリマーやポリオレフィ
ン系ポリマーを製造する際に用いる慣用の方法により行
うことができる。
記式(Ia)のモノマー単位に対応するモノマーは下記式
(1a)で、式(Ib)のモノマー単位に対応するモノマー
は下記式(1b)で表される。なお、これらのモノマーに
おいて立体異性体が存在する場合には、それらは単独で
又は混合物として使用できる。
gは、同一又は異なって、水素原子又はメチル基を示
し、X1、X2及びX3は−CH2−又は−CO−O−を示
す。X1、X2及びX3のうち少なくとも1つは−CO−
O−である。m、p及びqはそれぞれ0〜2の整数を示
す)
して下記の化合物が挙げられる。 [1-1]1−(メタ)アクリロイルオキシ−4−オキサ
トリシクロ[4.3.1.13,8]ウンデカン−5−オ
ン(R1=H又はCH3、Ra=Rb=Rc=H、X2=−C
O−O−(左側がRbの結合している炭素原子側)、X1
=X3=−CH2−) [1-2]1−(メタ)アクリロイルオキシ−4,7−ジ
オキサトリシクロ[4.4.1.13,9]ドデカン−
5,8−ジオン(R1=H又はCH3、Ra=Rb=Rc=
H、X1=−CO−O−(左側がRaの結合している炭素
原子側)、X2=−CO−O−(左側がRbの結合してい
る炭素原子側)、X3=−CH2−) [1-3]1−(メタ)アクリロイルオキシ−4,8−ジ
オキサトリシクロ[4.4.1.13,9]ドデカン−
5,7−ジオン(R1=H又はCH3、Ra=Rb=Rc=
H、X1=−O−CO−(左側がRaの結合している炭素
原子側)、X2=−CO−O−(左側がRbの結合してい
る炭素原子側)、X3=−CH2−) [1-4]1−(メタ)アクリロイルオキシ−5,7−ジ
オキサトリシクロ[4.4.1.13,9]ドデカン−
4,8−ジオン(R1=H又はCH3、Ra=Rb=Rc=
H、X1=−CO−O−(左側がRaの結合している炭素
原子側)、X2=−O−CO−(左側がRbの結合してい
る炭素原子側)、X3=−CH2−)
2=−CO−O−、X1=X3=−CH2−である化合物
(1a-1)は、例えば、下記反応工程式に従って得ること
ができる。
コキシ基又はアルケニルオキシ基を示す。R1、Ra、R
b、Rcは前記に同じ)
れる化合物は、式(4)で表される2−アダマンタノン
化合物を、N−ヒドロキシフタルイミド等のN−ヒドロ
キシイミド系触媒と、バナジウム化合物(例えば、バナ
ジウム(III)アセチルアセトナト等)及びマンガン化
合物(例えば、マンガン(II)アセチルアセトナト等)
の存在下、酸素と反応させることにより得ることができ
る。この際、N−ヒドロキシイミド系触媒の使用量は、
式(4)で表される化合物1モルに対して、例えば0.
0001〜1モル、好ましくは0.001〜0.5モル
程度である。また、バナジウム化合物及びマンガン化合
物の総使用量は、例えば、式(4)で表される化合物1
モルに対して、0.0001〜0.7モル、好ましくは
0.001〜0.5モル程度である。バナジウム化合物
とマンガン化合物との比率(金属原子比)は、例えば、
前者/後者=99/1〜1/99、好ましくは95/5
〜10/90程度である。酸素は式(4)で表される化
合物に対して過剰量用いる場合が多い。反応は、例え
ば、酢酸などの有機酸、アセトニトリルなどのニトリル
類、ジクロロエタンなどのハロゲン化炭化水素などの溶
媒中、常圧又は加圧下、20〜200℃程度、好ましく
は30〜150℃程度の温度で行われる。
ヒドロキシ−2−アダマンタノン化合物を、N−ヒドロ
キシフタルイミド等のN−ヒドロキシイミド系触媒と、
必要に応じてコバルト化合物(例えば、酢酸コバルト、
コバルトアセチルアセトナト等)などの金属系助触媒の
存在下、第1級又は第2級アルコールと共に、分子状酸
素により酸化すると、バイヤービリガー型の反応が進行
して、式(6)で表される1−ヒドロキシ−4−オキサ
トリシクロ[4.3.1.13,8]ウンデカン化合物が
生成する。前記第1級又は第2級アルコールとしては、
例えば、メタノール、エタノール、1−プロパノール、
2−プロパノール、s−ブチルアルコール、シクロヘキ
サノール、1−フェニルエタノール、ベンズヒドロール
などが挙げられる。好ましくは第2級アルコールであ
る。前記アルコールは共酸化剤として機能し、通常、系
内でアルデヒド、カルボン酸又はケトンに変換される。
N−ヒドロキシイミド系触媒は、式(5)の化合物1モ
ルに対して、例えば0.0001〜1モル、好ましくは
0.001〜0.5モル程度である。また、金属系助触
媒の使用量は、式(5)の化合物1モルに対して、例え
ば0.0001〜0.7モル、好ましくは0.001〜
0.5モル程度である。前記アルコールの使用量は、式
(5)の化合物1モルに対して、例えば0.5〜100
モル、好ましくは1〜50モル程度である。酸素は式
(5)の化合物に対して過剰量用いる場合が多い。反応
は、例えば、酢酸などの有機酸、アセトニトリル、ベン
ゾニトリルなどのニトリル類、トリフルオロメチルベン
ゼンなどのハロゲン化炭化水素、酢酸エチルなどのエス
テル類等の溶媒中、常圧又は加圧下、20〜200℃程
度、好ましくは30〜150℃程度の温度で行われる。
なお、式(6)の化合物は、一般的なバイヤービリガー
反応、すなわち、化合物(5)と過酸化水素等の過酸化
物やm−クロロ過安息香酸等の過酸との反応により得る
こともできる。
オキサトリシクロ[4.3.1.1 3,8]ウンデカン化
合物(6)と(メタ)アクリル酸又はその誘導体(7)
との反応(エステル化反応)は、酸触媒やエステル交換
触媒を用いた慣用の方法により行うことができる。ま
た、化合物(6)と(メタ)アクリル酸ビニル、(メ
タ)アクリル酸2−プロペニルなどの(メタ)アクリル
酸アルケニルとを、周期表第3族元素化合物触媒(例え
ば、酢酸サマリウム、トリフルオロメタンスルホン酸サ
マリウム、サマリウム錯体などのサマリウム化合物等)
の存在下で反応(エステル交換反応)させると、温和な
条件下で効率よく式(1a-1)で表される化合物を得るこ
とができる。この場合、(メタ)アクリル酸アルケニル
の使用量は、化合物(6)1モルに対して、例えば0.
8〜5モル、好ましくは1〜1.5モル程度である。周
期表第3族元素化合物触媒の使用量は、化合物(6)1
モルに対して、例えば0.001〜1モル、好ましくは
0.01〜0.25モル程度である。この反応は、反応
に不活性な溶媒中、例えば0〜150℃、好ましくは2
5〜120℃程度の温度で行われる。
1=−CO−O−で且つX2=X3=−CH2−である化合
物、X3=−CO−O−で且つX1=X2=−CH2−であ
る化合物は、対応するアダマンタノン化合物から上記と
同様の方法により製造できる。また、−CO−O−基を
複数個有する化合物は、対応するアダマンタンジオン又
はアダマンタントリオン化合物から上記の方法に準じて
製造できる。
して下記の化合物が挙げられる。 [1-5]4−オキサトリシクロ[5.2.1.02,6]デ
カン−8−エン−5−オン(Rf=Rg=H、p=0、q
=1、m=0) [1-6]3−オキサトリシクロ[5.2.1.02,6]デ
カン−8−エン−4−オン(Rd=Re=H、p=1、q
=0、m=0) [1-7]5−オキサトリシクロ[6.2.1.02,7]ウ
ンデカン−9−エン−6−オン(Rf=Rg=H、p=
0、q=2、m=0) [1-8]4−オキサトリシクロ[6.2.1.02,7]ウ
ンデカン−9−エン−5−オン(Rd=Re=Rf=Rg=
H、p=1、q=1、m=0) [1-9]4−オキサペンタシクロ[6.5.1.
19,12.02,6.08,13]ペンタデカン−10−エン−
5−オン(Rf=Rg=H、p=0、q=1、m=1) [1-10]3−オキサペンタシクロ[6.5.1.
19,12.02,6.08,13]ペンタデカン−10−エン−
4−オン(Rd=Re=H、p=1、q=0、m=1) [1-11]5−オキサペンタシクロ[6.6.1.1
10,13.02,7.09,14]ヘキサデカン−11−エン−6
−オン(Rf=Rg=H、p=0、q=2、m=1) [1-12]4−オキサペンタシクロ[6.6.1.1
10,13.02,7.09,14]ヘキサデカン−11−エン−5
−オン(Rd=Re=Rf=Rg=H、p=1、q=1、m
=1)
じた方法により得ることができる。例えば、化合物[1-
5]はシクロペンタジエンと2,5−ジヒドロフラン−
2−オンとのディールスアルダー反応等により得ること
ができる。また、化合物[1-6]は、ジャーナル・オブ
・オーガニック・ケミストリー(J. Org.Chem.)、第41
巻、第7号、(1976)、第1221頁に記載の方法、化合物
[1-7]は、ジャーナル・オブ・オーガニック・ケミス
トリー(J. Org.Chem)、第50巻、第25号、第5193頁(1
985)に記載の方法、化合物[1-8]は、テトラヘドロン
・レター(Tetrahedron Lett.)第4099頁、(1976)に
記載の方法により製造できる。化合物[1-9]〜[1-1
2]は、それぞれ、化合物[1-5]〜[1-8]又はその誘
導体とシクロペンタジエンとのディールスアルダー反応
等により得ることができる。
a)のモノマー単位に対応するモノマーは、下記式(2
a)
3は、同一又は異なって、炭素数1〜8の炭化水素基を
示し、R4、R5及びR6は、同一又は異なって、水素原
子、ヒドロキシル基又はメチル基を示す)で表され、そ
の代表的な例として下記の化合物が挙げられる。
オキシ−1−メチルエチル)アダマンタン(R1=H又
はCH3、R2=R3=CH3、R4=R5=R6=H) [2-2]1−ヒドロキシ−3−(1−(メタ)アクリロ
イルオキシ−1−メチルエチル)アダマンタン(R1=
H又はCH3、R2=R3=CH3、R4=OH、R5=R6
=H) [2-3]1−(1−エチル−1−(メタ)アクリロイル
オキシプロピル)アダマンタン(R1=H又はCH3、R
2=R3=CH2CH3、R4=R5=R6=H) [2-4]1−ヒドロキシ−3−(1−エチル−1−(メ
タ)アクリロイルオキシプロピル)アダマンタン(R1
=H又はCH3、R2=R3=CH2CH3、R4=OH、R
5=R6=H) [2-5]1−(1−(メタ)アクリロイルオキシ−1−
メチルプロピル)アダマンタン(R1=H又はCH3、R
2=CH3、R3=CH2CH3、R4=R5=R6=H) [2-6]1−ヒドロキシ−3−(1−(メタ)アクリロ
イルオキシ−1−メチルプロピル)アダマンタン(R1
=H又はCH3、R2=CH3、R3=CH2CH3、R4=
OH、R5=R6=H) [2-7]1−(1−(メタ)アクリロイルオキシ−1,
2−ジメチルプロピル)アダマンタン(R1=H又はC
H3、R2=CH3、R3=CH(CH3)2、R4=R 5=R
6=H) [2-8]1−ヒドロキシ−3−(1−(メタ)アクリロ
イルオキシ−1,2−ジメチルプロピル)アダマンタン
(R1=H又はCH3、R2=CH3、R3=CH(CH3)
2、R4=OH、R5=R6=H) [2-9]1,3−ジヒドロキシ−5−(1−(メタ)ア
クリロイルオキシ−1−メチルエチル)アダマンタン
(R1=H又はCH3、R2=R3=CH3、R4=R5=O
H、R6=H) [2-10]1−(1−エチル−1−(メタ)アクリロイル
オキシプロピル)−3,5−ジヒドロキシアダマンタン
(R1=H又はCH3、R2=R3=CH2CH3、R 4=R5
=OH、R6=H) [2-11]1,3−ジヒドロキシ−5−(1−(メタ)ア
クリロイルオキシ−1−メチルプロピル)アダマンタン
(R1=H又はCH3、R2=CH3、R3=CH2CH3、
R4=R5=OH、R6=H) [2-12]1,3−ジヒドロキシ−5−(1−(メタ)ア
クリロイルオキシ−1,2−ジメチルプロピル)アダマ
ンタン(R1=H又はCH3、R2=CH3、R3=CH
(CH3)2、R4=R5=OH、R6=H)
ば、下記反応工程式に従って得ることができる。
R3、R4、R5、R6は前記に同じ)
るアダマンタン誘導体(8)のうちR4〜R6の何れかが
ヒドロキシル基である化合物は、アダマンタン環にヒド
ロキシル基を導入することにより得ることができる。例
えば、アダマンタン化合物をN−ヒドロキシフタルイミ
ド等のN−ヒドロキシイミド系触媒と、必要に応じてコ
バルト化合物(例えば、酢酸コバルト、コバルトアセチ
ルアセトナト等)などの金属系助触媒の存在下、酸素と
接触させることにより、アダマンタン環にヒドロキシル
基を導入できる。この方法において、N−ヒドロキシイ
ミド系触媒の使用量は、アダマンタン化合物1モルに対
して、例えば0.0001〜1モル、好ましくは0.0
01〜0.5モル程度である。また、金属系助触媒の使
用量は、アダマンタン化合物1モルに対して、例えば
0.0001〜0.7モル、好ましくは0.001〜
0.5モル程度である。酸素はアダマンタン化合物に対
して過剰量用いる場合が多い。反応は、例えば、酢酸な
どの有機酸、アセトニトリルなどのニトリル類、ジクロ
ロエタンなどのハロゲン化炭化水素などの溶媒中、常圧
又は加圧下、0〜200℃程度、好ましくは30〜15
0℃程度の温度で行われる。反応条件を選択することに
より、アダマンタン環に複数のヒドロキシル基を導入す
ることができる。
ルボニル化合物(例えば、ビアセチルなど)(9)及び
酸素との反応は、コバルト化合物(例えば、酢酸コバル
ト、コバルトアセチルアセトナト等)などの金属化合物
及び/又はN−ヒドロキシフタルイミドなどのN−ヒド
ロキシイミド系触媒の存在下で行うことができる。1,
2−ジカルボニル化合物(9)の使用量は、アダマンタ
ン誘導体(8)1モルに対して1モル以上(例えば1〜
50モル)、好ましくは1.5〜20モル、さらに好ま
しくは3〜10モル程度である。前記金属化合物の使用
量は、アダマンタン誘導体(8)1モルに対して、例え
ば0.0001〜0.1モル程度である。N−ヒドロキ
シイミド系触媒の使用量は、アダマンタン誘導体(8)
1モルに対して、例えば、0.001〜0.7モル程度
である。酸素はアダマンタン誘導体(8)に対して過剰
量用いる場合が多い。反応は、通常、有機溶媒中で行わ
れる。有機溶媒としては、例えば、酢酸などの有機酸ベ
ンゾニトリルなどのニトリル類、トリフルオロメチルベ
ンゼンなどのハロゲン化炭化水素などが挙げられる。反
応は、常圧又は加圧下、例えば30〜250℃、好まし
くは40〜200℃程度の温度で行われる。
体(10)とグリニヤール試薬(11)との反応は、通常の
グリニヤール反応に準じて行うことができる。グリニヤ
ール試薬(11)の使用量は、アシルアダマンタン誘導体
(10)1モルに対して、例えば0.7〜3モル、好まし
くは0.9〜1.5モル程度である。アシルアダマンタ
ン誘導体(10)がアダマンタン環にヒドロキシル基を有
するときは、その数に応じて前記グリニヤール試薬の量
を増加する。反応は、例えば、ジエチルエーテル、テト
ラヒドロフランなどのエーテル類等の中で行われる。反
応温度は、例えば0〜150℃、好ましくは20〜10
0℃程度である。
ル誘導体(12)と(メタ)アクリル酸又はその誘導体
(7)との反応(エステル化反応)は、前記式(6)で
表される化合物と(メタ)アクリル酸又はその誘導体
(7)との反応に準じて行うことができる。
ち、R2とR3とが同一の基である化合物は、例えば、下
記反応工程式に従って得ることができる。
R4、R5、R6、RXは前記に同じ)
えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル基など
のC1-6脂肪族炭化水素基;フェニル基等が挙げられ
る。
るアダマンタンカルボン酸誘導体(13)は、アダマンタ
ン化合物のアダマンタン環にカルボキシル基を導入する
ことにより製造できる。例えば、アダマンタン化合物を
N−ヒドロキシフタルイミドなどのN−ヒドロキシイミ
ド系触媒と、必要に応じて、コバルト化合物(例えば、
酢酸コバルト、コバルトアセチルアセトナト等)などの
金属系助触媒の存在下、一酸化炭素及び酸素と接触させ
ることにより、アダマンタン化合物のアダマンタン環に
カルボキシル基を導入できる。このカルボキシル化反応
において、N−ヒドロキシイミド系触媒の使用量は、ア
ダマンタン化合物1モルに対して、例えば0.0001
〜1モル、好ましくは0.001〜0.5モル程度であ
る。また、金属系助触媒の使用量は、アダマンタン化合
物1モルに対して、例えば0.0001〜0.7モル、
好ましくは0.001〜0.5モル程度である。一酸化
炭素及び酸素の使用量は、例えば、アダマンタン化合物
1モルに対して、それぞれ1モル以上及び0.5モル以
上である。一酸化炭素と酸素の割合は、例えば、前者/
後者(モル比)=1/99〜99/1程度、好ましくは
50/50〜95/5程度である。カルボキシル化反応
は、例えば、酢酸などの有機酸、アセトニトリルなどの
ニトリル類、ジクロロエタンなどのハロゲン化炭化水素
などの溶媒中、常圧又は加圧下、0〜200℃程度、好
ましくは10〜150℃程度の温度で行われる。なお、
反応条件を選択することにより、アダマンタン環に複数
のカルボキシル基を導入できる。
ドロキシ化合物(14)との反応は、例えば酸触媒等を用
いた慣用のエステル化法に従って行うことができる。
酸エステルとグリニヤール試薬(11)との反応は、通
常、反応に不活性な溶媒、例えば、ジエチルエーテル、
テトラヒドロフランなどのエーテル類中などで行われ
る。反応温度は、例えば0〜100℃程度、好ましくは
10〜40℃程度である。グリニヤール試薬(11)の使
用量は、アダマンタンカルボン酸エステル(15)に対し
て、例えば2〜4当量程度である。
(メタ)アクリル酸又はその誘導体(7)との反応(エ
ステル化反応)は、前記式(6)で表される化合物と
(メタ)アクリル酸又はその誘導体(7)との反応に準
じて行うことができる。このようにして、式(2a)で表
される化合物のうち、R2とR3とが同一の炭化水素基で
ある(例えば、R2=R3=エチル基)化合物(2a′)を
簡易に調製することができる。
b)のモノマー単位に対応するモノマーは、下記式(2
b)
8は、同一又は異なって、水素原子、ヒドロキシル基又
は−COOR9基を示し、R9はt−ブチル基、2−テト
ラヒドロフラニル基、2−テトラヒドロピラニル基又は
2−オキセパニル基を示す)で表され、その代表的な例
として下記の化合物が挙げられる。
−(メタ)アクリロイルオキシアダマンタン(R1=H
又はCH3、R7=R8=H、R9=t−ブチル基) [2-14]1,3−ビス(t−ブトキシカルボニル)−5
−(メタ)アクリロイルオキシアダマンタン[R1=H
又はCH3、R7=t−ブトキシカルボニル基、R8=
H、R9=t−ブチル基] [2-15]1−t−ブトキシカルボニル−3−ヒドロキシ
−5−(メタ)アクリロイルオキシアダマンタン(R1
=H又はCH3、R7=OH、R8=H、R9=t−ブチル
基) [2-16]1−(2−テトラヒドロピラニルオキシカルボ
ニル)−3−(メタ)アクリロイルオキシアダマンタン
(R1=H又はCH3、R7=R8=H、R9=2−テトラ
ヒドロピラニル基) [2-17]1,3−ビス(2−テトラヒドロピラニルオキ
シカルボニル)−5−(メタ)アクリロイルオキシアダ
マンタン(R1=H又はCH3、R7=2−テトラヒドロ
ピラニルオキシカルボニル基、R8=H、R9=2−テト
ラヒドロピラニル基) [2-18]1−ヒドロキシ−3−(2−テトラヒドロピラ
ニルオキシカルボニル)−5−(メタ)アクリロイルオ
キシアダマンタン(R1=H又はCH3、R7=OH、R8
=H、R9=2−テトラヒドロピラニル基)
ば、下記反応工程式に従って得ることができる。
マンタノール誘導体(16)の1−アダマンタノール誘導
体(17)への変換(カルボキシル基の保護化)は、慣用
の方法、例えば、カルボキシアダマンタノール誘導体
(16)とイソブチレン、ジヒドロフラン、ジヒドロピラ
ンなどとを反応させることにより行うことができる。
マンタノール誘導体(16)は、アダマンタン化合物のア
ダマンタン環にヒドロキシル基及びカルボキシル基を導
入することにより得ることができる。アダマンタン環へ
のヒドロキシル基、カルボキシル基の導入は、前記と同
様にして行うことができる。
タ)アクリル酸又はその誘導体(7)との反応(エステ
ル化反応)は、前記式(6)で表される化合物と(メ
タ)アクリル酸又はその誘導体(7)との反応に準じて
行うことができる。
c)のモノマー単位に対応するモノマーは、下記式(2
c)
R11は、同一又は異なって、水素原子、ヒドロキシル基
又はオキソ基を示す)で表され、その代表的な例として
下記の化合物が挙げられる。
−2−メチルアダマンタン(R1=H又はCH3、R10=
R11=H) [2-20]1−ヒドロキシ−2−(メタ)アクリロイルオ
キシ−2−メチルアダマンタン(R1=H又はCH3、R
10=1−OH、R11=H) [2-21]5−ヒドロキシ−2−(メタ)アクリロイルオ
キシ−2−メチルアダマンタン(R1=H又はCH3、R
10=5−OH、R11=H) [2-22]1,3−ジヒドロキシ−2−(メタ)アクリロ
イルオキシ−2−メチルアダマンタン(R1=H又はC
H3、R10=1−OH、R11=3−OH) [2-23]1,5−ジヒドロキシ−2−(メタ)アクリロ
イルオキシ−2−メチルアダマンタン(R1=H又はC
H3、R10=1−OH、R11=5−OH) [2-24]1,3−ジヒドロキシ−6−(メタ)アクリロ
イルオキシ−6−メチルアダマンタン(R1=H又はC
H3、R10=1−OH、R11=3−OH)
ば、下記反応工程式に従って得ることができる。
誘導体(18)とグリニヤール試薬(19)との反応は、慣
用のグリニヤール反応に準じて行うことができる。グリ
ニヤール試薬(19)の使用量は、アダマンタノン誘導体
(18)1モルに対して、例えば0.7〜3モル、好まし
くは0.9〜1.5モル程度である。アダマンタノン誘
導体(18)がアダマンタン環にヒドロキシル基を有する
ときは、その数に応じて前記グリニヤール試薬の量を増
加する。反応は、反応に不活性な溶媒、例えば、ジエチ
ルエーテル、テトラヒドロフランなどのエーテル類等の
中で行われる。反応温度は、例えば0〜150℃、好ま
しくは20〜100℃程度である。
導体(20)を(メタ)アクリル酸又はその誘導体(7)
と反応させることにより(エステル化反応)、前記式
(2c)で表される化合物を得ることができる。エステル
化反応は、前記式(6)の化合物と(メタ)アクリル酸
又はその誘導体(7)との反応に準じて行うことができ
る。
アダマンタノン誘導体(18)のうちアダマンタン環にヒ
ドロキシル基を有する化合物は、2−アダマンタノン類
を、N−ヒドロキシフタルイミド等のN−ヒドロキシイ
ミド系触媒と、必要に応じてコバルト化合物、マンガン
化合物、バナジウム化合物などの金属系助触媒の存在
下、酸素と接触させて、アダマンタン環にヒドロキシル
基を導入することにより製造できる。この方法におい
て、N−ヒドロキシイミド系触媒の使用量は、2−アダ
マンタノン類1モルに対して、例えば0.0001〜1
モル、好ましくは0.001〜0.5モル程度である。
また、金属系助触媒の使用量は、2−アダマンタノン類
1モルに対して、例えば0.0001〜0.7モル、好
ましくは0.001〜0.5モル程度である。酸素は2
−アダマンタノン類に対して過剰量用いる場合が多い。
反応は、例えば、酢酸などの有機酸、アセトニトリルな
どのニトリル類、ジクロロエタンなどのハロゲン化炭化
水素等の溶媒中、常圧又は加圧下、0〜200℃程度、
好ましくは30〜150℃程度の温度で行われる。
アダマンタン環にヒドロキシル基を有する化合物は、ア
ダマンタン類と酸素とを、前記N−ヒドロキシイミド系
触媒と強酸(例えば、ハロゲン化水素、硫酸など)と、
必要に応じて前記金属系助触媒の存在下で反応させるこ
とにより製造することもできる。前記強酸の使用量は、
アダマンタン類1モルに対して、例えば0.00001
〜1モル、好ましくは0.0005〜0.7モル程度で
ある。他の反応条件は、前記のヒドロキシル基導入反応
と同様である。
d)のモノマー単位に対応するモノマーは、下記式(2
d)
式中に示される酸素原子との結合部位に第3級炭素原子
を有する炭化水素基を示す)で表され、その代表的な例
として下記の化合物が挙げられる。 [2-25]t−ブチル(メタ)アクリレート(R1=H又
はCH3、R12=t−ブチル基)
e)のモノマー単位に対応するモノマーは、下記式(2
e)
3の整数を示す)で表され、その代表的な例として下記
の化合物が挙げられる。 [2-26]2−テトラヒドロピラニル(メタ)アクリレー
ト(R1=H又はCH3、n=2) [2-27]2−テトラヒドロフラニル(メタ)アクリレー
ト(R1=H又はCH3、n=1)
f)のモノマー単位に対応するモノマーは、下記式(2
f)
14及びR15は、同一又は異なって、水素原子又はメチル
基を示す)で表され、その代表的な例として下記の化合
物が挙げられる。
−γ−ブチロラクトン(R1=H又はCH3、R13=R14
=R15=H) [2-29]3−(メタ)アクリロイルオキシ−3−メチル
−γ−ブチロラクトン(R1=H又はCH3、R13=CH
3、R14=R15=H) [2-30]3−(メタ)アクリロイルオキシ−4−メチル
−γ−ブチロラクトン(R1=H又はCH3、R13=R15
=H、R14=CH3) [2-31]3−(メタ)アクリロイルオキシ−3,4−ジ
メチル−γ−ブチロラクトン(R1=H又はCH3、R13
=R14=CH3、R15=H) [2-32]3−(メタ)アクリロイルオキシ−4,4−ジ
メチル−γ−ブチロラクトン(R1=H又はCH3、R13
=H、R14=R15=CH3) [2-33]3−(メタ)アクリロイルオキシ−3,4,4
−トリメチル−γ−ブチロラクトン(R1=H又はC
H3、R13=R14=R15=CH3)
ば、下記反応工程式に従って得ることができる。
されるα−ヒドロキシ−γ−ブチロラクトン類の式(2
2)で表されるβ−ヒドロキシ−γ−ブチロラクトン類
への変換(異性化)は、式(21)の化合物を、必要に応
じて水や、硫酸、塩酸等の酸を少量添加した溶媒中に溶
解させることにより行うことができる。溶媒としては、
特に限定されず、例えば、アセトニトリル、酢酸、酢酸
エチルなどを使用できる。反応温度は、例えば0〜15
0℃、好ましくは20〜100℃程度である。原料とし
て用いるα−ヒドロキシ−γ−ブチロラクトン類(21)
は、後述の式(26)で表される化合物と同様にして製造
できる。なお、式(22)の化合物は、式(21)の化合物
を五酸化リンと反応させて(脱水反応)、対応するα,
β−不飽和−γ−ブチロラクトンとし、これを過酸化水
素やm−クロロ過安息香酸等の過酸と反応させて二重結
合をエポキシ化し、次いでPd−C等の触媒の存在下、
水素添加することにより得ることもできる。また、式
(22)の化合物は、β−ヒドロキシ−γ−ブチロラクト
ン類を得る公知の方法により製造することもできる。
(22)と式(7)で表される(メタ)アクリル酸又はそ
の誘導体との反応は、前記式(6)の化合物と(メタ)
アクリル酸又はその誘導体(7)との反応に準じて行う
ことができる。
g)のモノマー単位に対応するモノマーは、下記式(2
g)
ル基、2−テトラヒドロピラニル基又は2−オキセパニ
ル基を示す)で表され、その代表的な例として下記の化
合物が挙げられる。
ボルネン(R16=t−ブチル基) [2-35]5−(2−テトラヒドロピラニルオキシカルボ
ニル)ノルボルネン(R 16=2−テトラヒドロピラニル
基) [2-36]5−(2−テトラヒドロフラニルオキシカルボ
ニル)ノルボルネン(R 16=2−テトラヒドロフラニル
基)
Ia)のモノマー単位に対応するモノマーは、下記式(3
a)
R18は、同一又は異なって、水素原子、ヒドロキシル基
又はカルボキシル基を示し、R19はヒドロキシル基、オ
キソ基又はカルボキシル基を示す)で表され、その代表
的な化合物には下記の化合物が含まれる。
クリロイルオキシアダマンタン(R1=H又はCH3、R
19=OH、R17=R18=H) [3-2]1,3−ジヒドロキシ−5−(メタ)アクリロ
イルオキシアダマンタン(R1=H又はCH3、R19=R
17=OH、R18=H) [3-3]1−カルボキシ−3−(メタ)アクリロイルオ
キシアダマンタン(R1=H又はCH3、R19=COO
H、R17=R18=H) [3-4]1,3−ジカルボキシ−5−(メタ)アクリロ
イルオキシアダマンタン(R1=H又はCH3、R19=R
17=COOH、R18=H) [3-5]1−カルボキシ−3−ヒドロキシ−5−(メ
タ)アクリロイルオキシアダマンタン(R1=H又はC
H3、R19=OH、R17=COOH、R18=H) [3-6]1−(メタ)アクリロイルオキシ−4−オキソ
アダマンタン(R1=H又はCH3、R19=4−オキソ
基、R17=R18=H) [3-7]3−ヒドロキシ−1−(メタ)アクリロイルオ
キシ−4−オキソアダマンタン(R1=H又はCH3、R
19=4−オキソ基、R17=3−OH、R18=H) [3-8]7−ヒドロキシ−1−(メタ)アクリロイルオ
キシ−4−オキソアダマンタン(R1=H又はCH3、R
19=4−オキソ基、R17=7−OH、R18=H)
ば、下記反応工程式に従って得ることができる。
ノール誘導体(23)と(メタ)アクリル酸又はその誘導
体(7)との反応は、前記化合物(6)と(メタ)アク
リル酸又はその誘導体(7)との反応に準じて行うこと
ができる。原料として用いる1−アダマンタノール誘導
体(23)は、例えば、アダマンタン化合物のアダマンタ
ン環にヒドロキシル基又はカルボキシル基を導入するこ
とにより得られる。アダマンタン環へのヒドロキシル基
及びカルボキシル基の導入は、前記と同様にして行うこ
とができる。
Ib)のモノマー単位を形成するモノマーは、下記式(3
b)
21、R22、R23及びR24は、同一又は異なって、水素原
子又はメチル基を示す)で表され、その代表的な例には
下記の化合物が含まれる。
−γ−ブチロラクトン(R1=H又はCH3、R20=R21
=R22=R23=R24=H) [3-10]2−(メタ)アクリロイルオキシ−2−メチル
−γ−ブチロラクトン(R1=H又はCH3、R20=CH
3、R21=R22=R23=R24=H) [3-11]2−(メタ)アクリロイルオキシ−4,4−ジ
メチル−γ−ブチロラクトン(R1=H又はCH3、R20
=R21=R22=H、R23=R24=CH3) [3-12]2−(メタ)アクリロイルオキシ−2,4,4
−トリメチル−γ−ブチロラクトン(R1=H又はC
H3、R20=R23=R24=CH3、R21=R22=H) [3-13]2−(メタ)アクリロイルオキシ−3,4,4
−トリメチル−γ−ブチロラクトン(R1=H又はC
H3、R20=R22=H、R21=R23=R24=CH3) [3-14]2−(メタ)アクリロイルオキシ−2,3,
4,4−テトラメチル−γ−ブチロラクトン(R1=H
又はCH3、R20=R21=R23=R24=CH3、R22=
H) [3-15]2−(メタ)アクリロイルオキシ−3,3,4
−トリメチル−γ−ブチロラクトン(R1=H又はC
H3、R20=R24=H、R21=R22=R23=CH3) [3-16]2−(メタ)アクリロイルオキシ−2,3,
3,4−テトラメチル−γ−ブチロラクトン(R1=H
又はCH3、R20=R21=R22=R23=CH3、R24=
H) [3-17]2−(メタ)アクリロイルオキシ−3,3,
4,4−テトラメチル−γ−ブチロラクトン(R1=H
又はCH3、R20=H、R21=R22=R23=R24=C
H3) [3-18]2−(メタ)アクリロイルオキシ−2,3,
3,4,4−ペンタメチル−γ−ブチロラクトン(R1
=H又はCH3、R20=R21=R22=R23=R24=C
H3)
ば、下記反応工程式に従って得ることができる。
22、R23、R24、RXは前記に同じ)
基としては、メチル、エチル、プロピル、s−ブチル、
t−ブチル、ビニル、アリル基などの炭素数1〜6程度
の脂肪族炭化水素基(アルキル基、アルケニル基又はア
ルキニル基);フェニル基、ナフチル基などの芳香族炭
化水素基;シクロアルキル基などの脂環式炭化水素基な
どが挙げられる。
とアルコール(25)と酸素との反応は、N−ヒドロキシ
フタルイミドなどのN−ヒドロキシイミド系触媒と、必
要に応じてコバルト化合物(例えば、酢酸コバルト、コ
バルトアセチルアセトナト等)などの金属系助触媒の存
在下で行われる。α,β−不飽和カルボン酸エステル
(24)とアルコール(25)の比率は、両化合物の種類
(価格、反応性等)により適宜選択できる。例えば、ア
ルコール(25)をα,β−不飽和カルボン酸エステル
(24)に対して過剰(例えば、2〜50モル倍程度)に
用いてもよく、逆に、α,β−不飽和カルボン酸エステ
ル(24)をアルコール(25)に対して過剰に用いてもよ
い。N−ヒドロキシイミド系触媒の使用量は、α,β−
不飽和カルボン酸エステル(24)とアルコール(25)の
うち少量用いる方の化合物1モルに対して、例えば0.
0001〜1モル、好ましくは0.001〜0.5モル
程度である。また、金属系助触媒の使用量は、α,β−
不飽和カルボン酸エステル(24)とアルコール(25)の
うち少量用いる方の化合物1モルに対して、例えば0.
0001〜0.7モル、好ましくは0.001〜0.5
モル程度である。酸素はα,β−不飽和カルボン酸エス
テル(24)とアルコール(25)のうち少量用いる方の化
合物に対して過剰量用いる場合が多い。反応は、例え
ば、酢酸などの有機酸、アセトニトリルなどのニトリル
類、トリフルオロメチルベンゼンなどのハロゲン化炭化
水素、酢酸エチルなどのエステル類などの溶媒中、常圧
又は加圧下、0〜150℃程度、好ましくは30〜10
0℃程度の温度で行われる。
チロラクトン誘導体(26)と(メタ)アクリル酸又はそ
の誘導体(7)との反応は、前記化合物(6)と(メ
タ)アクリル酸又はその誘導体(7)との反応に準じて
行うことができる。
Ic)のモノマー単位を形成するモノマーは、下記式(3
c)
又はメチル基を示す)で表され、その具体例として下記
の化合物が挙げられる。これらの化合物は公知乃至慣用
の方法により製造できる。 [3-19]1−(メタ)アクリロイルオキシアダマンタン
(R1=H又はCH3、R 25=H) [3-20]1−(メタ)アクリロイルオキシ−3,5−ジ
メチルアダマンタン(R 1=H又はCH3、R25=C
H3)
Id)のモノマー単位を形成するモノマーは、下記式(3
d)
リシクロ[5.2.1.02,6]デシルメチル基、テト
ラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデシルメチ
ル基、ノルボルニル基、イソボルニル基又は2−ノルボ
ルニルメチル基を示し、R27はR26の置換基であり、水
素原子、ヒドロキシル基、ヒドロキシメチル基、カルボ
キシル基又は−COOR28基を示し、R28はt−ブチル
基、2−テトラヒドロフラニル基、2−テトラヒドロピ
ラニル基又は2−オキセパニル基を示す)で表され、そ
の代表的な例には下記の化合物が含まれる。これらの化
合物は、公知乃至慣用の方法、例えば、対応するアルコ
ール(HO−R26−R27)と前記(メタ)アクリル酸又
はその誘導体(9)とをエステル化反応に付すことによ
り得ることができる。
タ)アクリロイルオキシメチルトリシクロ[5.2.
1.02,6]デカン [3-22]4−ヒドロキシメチル−8−(メタ)アクリロ
イルオキシメチルトリシクロ[5.2.1.02,6]デ
カン [3-23]4−(メタ)アクリロイルオキシメチルテトラ
シクロ[4.4.0.1 2,5.17,10]ドデカン [3-24]2−(メタ)アクリロイルオキシノルボルナン [3-25]2−(メタ)アクリロイルオキシイソボルナン [3-26]2−(メタ)アクリロイルオキシメチルノルボ
ルナン
Ie)のモノマー単位を形成するモノマーは、下記式(3
e)
記の化合物である。 [3-29](メタ)アクリル酸(R1=H又はCH3)
If)のモノマー単位を形成するモノマーは、下記式(3
f)
Ig)のモノマー単位を形成するモノマーは、下記式(3
g)
H)
前記本発明のフォトレジスト用高分子化合物と光酸発生
剤とを含んでいる。
酸を生成する慣用乃至公知の化合物、例えば、ジアゾニ
ウム塩、ヨードニウム塩(例えば、ジフェニルヨードヘ
キサフルオロホスフェートなど)、スルホニウム塩(例
えば、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチ
モネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホ
スフェート、トリフェニルスルホニウムメタンスルホネ
ートなど)、スルホン酸エステル[例えば、1−フェニ
ル−1−(4−メチルフェニル)スルホニルオキシ−1
−ベンゾイルメタン、1,2,3−トリスルホニルオキ
シメチルベンゼン、1,3−ジニトロ−2−(4−フェ
ニルスルホニルオキシメチル)ベンゼン、1−フェニル
−1−(4−メチルフェニルスルホニルオキシメチル)
−1−ヒドロキシ−1−ベンゾイルメタンなど]、オキ
サチアゾール誘導体、s−トリアジン誘導体、ジスルホ
ン誘導体(ジフェニルジスルホンなど)、イミド化合
物、オキシムスルホネート、ジアゾナフトキノン、ベン
ゾイントシレートなどを使用できる。これらの光酸発生
剤は単独で又は2種以上組み合わせて使用できる。
する酸の強度や前記高分子化合物における各モノマー単
位の比率などに応じて適宜選択でき、例えば、前記高分
子化合物100重量部に対して0.1〜30重量部、好
ましくは1〜25重量部、さらに好ましくは2〜20重
量部程度の範囲から選択できる。
可溶性樹脂(例えば、ノボラック樹脂、フェノール樹
脂、イミド樹脂、カルボキシル基含有樹脂など)などの
アルカリ可溶成分、着色剤(例えば、染料など)、有機
溶媒(例えば、炭化水素類、ハロゲン化炭化水素類、ア
ルコール類、エステル類、アミド類、ケトン類、エーテ
ル類、セロソルブ類、カルビトール類、グリコールエー
テルエステル類、これらの混合溶媒など)などを含んで
いてもよい。
は基板上に塗布し、乾燥した後、所定のマスクを介し
て、塗膜(レジスト膜)に光線を露光して(又は、さら
に露光後ベークを行い)潜像パターンを形成し、次いで
現像することにより、微細なパターンを高い精度で形成
できる。
金属、プラスチック、ガラス、セラミックなどが挙げら
れる。フォトレジスト用樹脂組成物の塗布は、スピンコ
ータ、ディップコータ、ローラコータなどの慣用の塗布
手段を用いて行うことができる。塗膜の厚みは、例えば
0.1〜20μm、好ましくは0.3〜2μm程度であ
る。
外線、X線などが利用でき、半導体レジスト用では、通
常、g線、i線、エキシマレーザー(例えば、XeC
l、KrF、KrCl、ArF、ArClなど)などが
使用される。露光エネルギーは、例えば1〜1000m
J/cm2、好ましくは10〜500mJ/cm2程度で
ある。
この酸により、例えば前記高分子化合物のアルカリ可溶
性ユニットのカルボキシル基等の保護基(脱離性基)が
速やかに脱離して、可溶化に寄与するカルボキシル基等
が生成する。そのため、水又はアルカリ現像液による現
像により、所定のパターンを精度よく形成できる。
は、ラクトン環の結合した特定構造の脂環式骨格を有す
るモノマー単位を含んでいるので、基板に対して優れた
密着性を示し、しかも現像液に対して膨潤しにくい。ま
た、前記モノマー単位と他の特定構造のモノマー単位と
を組み合わせることにより、基板に対する密着性、透明
性、アルカリ可溶性及びエッチング耐性をバランスよく
発現できる。本発明の半導体の製造方法によれば、レジ
ストとして上記のような優れた特性を有する高分子化合
物を用いるので、微細なパターンを高い精度で形成する
ことができる。
に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定
されるものではない。なお、化合物番号(モノマー番
号)の後ろに「アクリレート」とあるのは、明細中に記
載の化合物番号に相当する2つの化合物のうちアクリロ
イルオキシ基を有する化合物を示し、「メタクリレー
ト」とあるのは、前記2つの化合物のうちメタクリロイ
ルオキシ基を有する化合物を示す。構造式中の括弧の右
下の数字は該モノマー単位のモル%を示す。
[4.3.1.13,8]ウンデカン−5−オン[1-1(ア
クリレート)]の製造) 2−アダマンタノン0.1モル、N−ヒドロキシフタル
イミド10ミリモル、バナジウムアセチルアセトナトV
(AA)3 0.33ミリモル、マンガンアセチルアセト
ナトMn(AA)2 0.17ミリモル、及び酢酸250
mlの混合物を、酸素雰囲気下[1気圧(0.101M
Pa)]、85℃で10時間撹拌した。反応混合物を濃
縮後、酢酸エチルで抽出した。有機層を一部濃縮した
後、冷却することにより晶析し、下記式で表される5−
ヒドロキシ−2−アダマンタノン(収率48%)を得
た。2−アダマンタノンの転化率は74%であった。 [5−ヒドロキシ−2−アダマンタノンのスペクトルデ
ータ]IR(cm-1):3410,2920,281
0,1720,1440,1330,1240,106
0,880 MS m/e:166([M+]),148,119
ン100ミリモル、ベンズヒドロール200ミリモル、
N−ヒドロキシフタルイミド10ミリモル、酢酸コバル
ト(II)0.1ミリモル、及びベンゾニトリル200m
lの混合物を、酸素雰囲気下[1気圧(0.101MP
a)]、75℃で6時間撹拌した。反応混合液を濃縮し
た後、シリカゲルカラムクロマトグラフィーに付すこと
により、下記式で表される1−ヒドロキシ−4−オキサ
トリシクロ[4.3.1.13,8]ウンデカン−5−オ
ンを収率48%で得た。5−ヒドロキシ−2−アダマン
タノンの転化率は67%であった。 [1−ヒドロキシ−4−オキサトリシクロ[4.3.
1.13,8]ウンデカン−5−オンのスペクトルデー
タ] MS m/e:182([M+]),138,120
クロ[4.3.1.1 3,8]ウンデカン−5−オン50
ミリモル、アクリル酸クロリド150ミリモル、トリエ
チルアミン150ミリモル、及びトルエン250mlの
混合物を60℃で4時間攪拌した。反応混合液を濃縮し
た後、シリカゲルカラムクロマトグラフィーに付すこと
により、下記式で表される1−アクリロイルオキシ−4
−オキサトリシクロ[4.3.1.13,8]ウンデカン
−5−オンを収率50%で得た。1−ヒドロキシ−4−
オキサトリシクロ[4.3.1.13,8]ウンデカン−
5−オンの転化率は73%であった。 [1−アクリロイルオキシ−4−オキサトリシクロ
[4.3.1.13,8]ウンデカン−5−オンのスペク
トルデータ] MS m/e:236([M+]),190,120,
55
[4.3.1.13,8] ウンデカン−5−オン[1-1(メタクリレート)]の製
造) 1−ヒドロキシ−4−オキサトリシクロ[4.3.1.
13,8]ウンデカン−5−オンと反応させる化合物とし
て、アクリル酸クロリドの代わりにメタクリル酸クロリ
ドを用いた以外は製造例1と同様の操作を行い、下記式
で表される1−メタクリロイルオキシ−4−オキサトリ
シクロ[4.3.1.13,8]ウンデカン−5−オンを
得た。 [1−メタクリロイルオキシ−4−オキサトリシクロ
[4.3.1.13,8]ウンデカン−5−オンのスペク
トルデータ] MS m/e:250([M+]),190,120,
69
ル)アダマンタン[2-3(アクリレート)]の製造) フラスコに、あらかじめ臭化エチルと金属マグネシウム
とから調製した13重量%エチルマグネシウムブロミド
−テトラヒドロフラン溶液61.51g(0.060モ
ル)を仕込んだ。この溶液に、内温を35℃以下に保持
しつつ、1−アダマンタンカルボン酸n−ブチルエステ
ル4.76g(0.02モル)をテトラヒドロフラン
7.21gに溶かした溶液を滴下した。滴下後、室温で
1時間攪拌した。10重量%硫酸水溶液32.37g中
に、上で得られた反応混合液を、内温を35℃以下に保
持しつつ滴下した後、5重量%水酸化ナトリウム水溶液
で中和し、分液させた。水層をベンゼン22.24gで
2回抽出した。有機層を合わせ、飽和食塩水22.24
gで洗浄し、続いて無水硫酸ナトリウムで乾燥させた。
乾燥後、濾過し、濾液を減圧下で濃縮して、α,α−ジ
エチル−1−アダマンタンメタノールを得た。1−アダ
マンタンカルボン酸n−ブチルエステル基準の収率は4
5.5%であった。。 [α,α−ジエチル−1−アダマンタンメタノールのス
ペクトルデータ] GC−MS m/e:204,193,175,16
1,147,135,86,79,67,57,41 上記方法により得たα,α−ジエチル−1−アダマンタ
ンメタノール10ミリモル、トリエチルアミン20ミリ
モル及びテトラヒドロフラン40mlの混合液に、アク
リル酸クロリド15ミリモルを約30分かけて滴下し
た。滴下終了後、室温で6時間攪拌した。反応混合液に
水を添加した後、濃縮し、濃縮物をシリカゲルカラムク
ロマトグラフィーに付すことにより、標記化合物を収率
72%で得た。 [スペクトルデータ]1 H−NMR(500MHz,CDCl3) δ:1.1
5−1.55(m,10H),1.59−1.76
(m,10H),2.03(m,3H),5.72(d
d,1H),6.04(dd,1H),6.28(d
d,1H)
ル)アダマンタン[2-5(アクリレート)]の製造) アダマンタン0.3モル、ビアセチル1.8モル、酢酸
コバルト(II)1.5ミリモル、及び酢酸300mlの
混合物を、酸素雰囲気下[1気圧(0.101MP
a)]、60℃で4時間撹拌した。反応混合物を約20
重量%になるまで濃縮した後、酢酸エチルで抽出し、乾
燥後、ヘキサンで洗浄することにより、1−アセチルア
ダマンタンを収率52%で得た。なお、アダマンタンの
転化率は87%であった。フラスコに、金属マグネシウ
ム1.1モル入れ、窒素置換した後、臭化エチル1.0
モルをエチルエーテル500mlに溶解した溶液を、前
記金属マグネシウムが浸漬する程度仕込んだ。次いで、
少量のヨウ素を添加して反応を開始させ、残りの臭化エ
チルのエチルエーテル溶液を、溶媒が穏やかに還流する
程度の速度で滴下し、滴下終了後、さらに2時間還流さ
せた。得られた反応混合液に、上記方法により得られた
1−アセチルアダマンタン1.0モルを1000mlの
エチルエーテルに溶解した溶液を、溶媒が穏やかに還流
する程度の速度で滴下し、滴下終了後、さらに2時間還
流させた。得られた反応混合液を、氷冷した10%塩酸
(HCl:1モル相当量)中に、攪拌しながらゆっくり
と滴下し、さらに0℃〜室温で2時間攪拌した。反応混
合液に10%水酸化ナトリウムを加えて液性を中性に調
整した後、有機層と水層に分液し、水層をエチルエーテ
ル1000mlで2回抽出し、有機層を合わせて濃縮
し、濃縮液を冷却して、晶析することにより、α−エチ
ル−α−メチル−1−アダマンタンメタノールを収率4
6%で得た。上記方法により得たα−エチル−α−メチ
ル−1−アダマンタンメタノール10ミリモル、トリエ
チルアミン10ミリモル及びテトラヒドロフラン40m
lの混合液に、アクリル酸クロリド10ミリモルを約3
0分かけて滴下した。滴下終了後、室温で6時間攪拌し
た。反応混合液に水を添加した後、濃縮し、濃縮物をシ
リカゲルカラムクロマトグラフィーに付すことにより、
標記化合物を収率74%で得た。 [スペクトルデータ]1 H−NMR(CDCl3) δ:1.14−1.37
(m,5H),1.48(s,3H),1.55−1.
78(m,10H),2.04(m,3H),5.73
(dd,1H),6.05(dd,1H),6.29
(dd,1H)
ロピル)−3−ヒドロキシ−アダマンタン[2-8(アク
リレート)]の製造) アダマンタンに代えて、1−アダマンタノールを0.3
モル用いた以外は製造例4と同様の操作を行い、1−ア
ダマンタノールの転化率82%で、1−アセチル−3−
アダマンタノールを収率20%で得た。 [1−アセチル−3−アダマンタノールのスペクトルデ
ータ] IR(cm-1):3401,2897,2854,16
83,1430,1019,60513 C−NMR(CDCl3)δ:24.3,29.9,
34.8,36.8,43.9,45.4,49.6,
67.9,212.4 フラスコに、金属マグネシウム1.1モル入れ、窒素置
換した後、2−ブロモプロパン1.0モルをエチルエー
テル500mlに溶解した溶液を、前記金属マグネシウ
ムが浸漬する程度仕込んだ。次いで、少量のヨウ素を添
加して反応を開始させ、残りの2−ブロモプロパンのエ
チルエーテル溶液を、溶媒が穏やかに還流する程度の速
度で滴下し、滴下終了後、さらに2時間還流させた。得
られた反応混合液に、上記の方法により得られた1−ア
セチル−3−アダマンタノール0.5モルを1000m
lのエチルエーテルに溶解した溶液を、溶媒が穏やかに
還流する程度の速度で滴下し、滴下終了後、さらに2時
間還流させた。得られた反応混合液を、氷冷した10%
塩酸(HCl:1モル相当量)中に、攪拌しながらゆっ
くりと滴下し、さらに0℃〜室温で2時間攪拌した。反
応混合液に10%水酸化ナトリウムを加えて液性を中性
に調整した後、有機層と水層に分液し、水層をエチルエ
ーテル1000mlで2回抽出し、有機層を合わせて濃
縮し、濃縮液を冷却して、晶析することにより、3−ヒ
ドロキシ−α−イソプロピル−α−メチル−1−アダマ
ンタンメタノールを収率67%で得た。 [3−ヒドロキシ−α−イソプロピル−α−メチル−1
−アダマンタンメタノールのスペクトルデータ] MS m/e:238([M+]),220,202,
187,172,157,144 上記方法により得た3−ヒドロキシ−α−イソプロピル
−α−メチル−1−アダマンタンメタノール10ミリモ
ル、トリエチルアミン10ミリモル及びテトラヒドロフ
ラン40mlの混合液に、アクリル酸クロリド10ミリ
モルを約30分かけて滴下した。滴下終了後、室温で6
時間攪拌した。反応混合液に水を添加した後、濃縮し、
濃縮物をシリカゲルカラムクロマトグラフィーに付すこ
とにより、標記化合物を収率67%で得た。 [スペクトルデータ]1 H−NMR(CDCl3) δ:1.21(m,1
H),1.41(d,6H),1.42−1.80
(m,13H),2.28(m,2H),5.76(d
d,1H),6.02(dd,1H),6.30(d
d,1H)
−3−ヒドロキシアダマンタン[2-2(アクリレー
ト)]の製造) 1−アダマンタノール0.3モル、ビアセチル1.8モ
ル、酢酸コバルト(II)1.5ミリモル、及び酢酸30
0mlの混合物を、酸素雰囲気下[1気圧(0.101
MPa)]、60℃で4時間撹拌した。反応混合物を約
20重量%になるまで濃縮した後、酢酸エチルで抽出
し、乾燥後、ヘキサンで洗浄することにより、1−アセ
チル−3−アダマンタノールを収率20%で得た。な
お、1−アダマンタノールの転化率は82%であった。 [1−アセチル−3−アダマンタノールのスペクトルデ
ータ] IR(cm-1):3401,2897,2854,16
83,1430,1019,60513 C−NMR(CDCl3)δ:24.3,29.9,
34.8,36.8,43.9,45.4,49.6,
67.9,212.4 フラスコに、金属マグネシウム1.1モル入れ、窒素置
換した後、臭化メチル1.0モルをエチルエーテル50
0mlに溶解した溶液を、前記金属マグネシウムが浸漬
する程度仕込んだ。次いで、少量のヨウ素を添加して反
応を開始させ、残りの臭化メチルのエチルエーテル溶液
を、溶媒が穏やかに還流する程度の速度で滴下し、滴下
終了後、さらに2時間還流させた。得られた反応混合液
に、上記方法により得られた1−アセチル−3−アダマ
ンタノール1.0モルを1000mlのエチルエーテル
に溶解した溶液を、溶媒が穏やかに還流する程度の速度
で滴下し、滴下終了後、さらに2時間還流させた。得ら
れた反応混合液を、氷冷した10%塩酸(HCl:1モ
ル相当量)中に、攪拌しながらゆっくりと滴下し、さら
に0℃〜室温で2時間攪拌した。反応混合液に10%水
酸化ナトリウムを加えて液性を中性に調整した後、有機
層と水層に分液し、水層をエチルエーテル1000ml
で2回抽出し、有機層を合わせて濃縮し、濃縮液を冷却
して、晶析することにより、3−ヒドロキシ−α,α−
ジメチル−1−アダマンタンメタノールを収率67%で
得た。 [3−ヒドロキシ−α,α−ジメチル−1−アダマンタ
ンメタノールのスペクトルデータ] MS(CI) m/e:197,179,135 上記方法により得た3−ヒドロキシ−α,α−ジメチル
−1−アダマンタンメタノール10ミリモル、トリエチ
ルアミン10ミリモル及びテトラヒドロフラン40ml
の混合液に、アクリル酸クロリド10ミリモルを約30
分かけて滴下した。滴下終了後、室温で6時間攪拌し
た。反応混合液に水を添加した後、濃縮し、濃縮物をシ
リカゲルカラムクロマトグラフィーに付すことにより、
標記化合物を収率23%で得た。 [スペクトルデータ]1 H−NMR(CDCl3) δ:1.52(s,6
H),1.54−1.70(m,13H),2.27
(m,2H),5.73(dd,1H),6.04(d
d,1H),6.28(dd,1H)
1−メチルエチル)アダマンタン[2-2(メタクリレー
ト)]の製造) アクリル酸クロリドの代わりにメタクリル酸クロリドを
用いた以外は製造例6と同様の操作を行い、標記の化合
物を得た。 [スペクトルデータ]1 H−NMR(CDCl3) δ:1.52(s,6
H),1.54−1.70(m,13H),1.92
(brs,3H),2.27(m,2H),5.46
(brs,1H),6.02(brs,1H)
ルアダマンタン[2-13(アクリレート)]の製造) オートクレーブに、1−アダマンタノール10ミリモ
ル、N−ヒドロキシフタルイミド1ミリモル、酢酸30
ml及び1,2−ジクロロエタン30mlを仕込み、一
酸化炭素15atm(15.2MPa)及び空気1at
m(0.101MPa)の混合ガス雰囲気下、95℃で
6時間攪拌した。反応混合液を濃縮した後、濃縮物をシ
リカゲルカラムクロマトグラフィーに付すことにより、
1−カルボキシ−3−ヒドロキシアダマンタンを収率4
7%で得た。上記方法により得た1−カルボキシ−3−
ヒドロキシアダマンタン10ミリモル、トリエチルアミ
ン25ミリモル及びテトラヒドロフラン40mlの混合
液にアクリル酸クロリド25ミリモルを約30分かけて
滴下した。滴下終了後、室温で2時間攪拌した。反応混
合液に水を添加した後、酢酸エチルにて抽出し、有機層
を濃縮し、濃縮物をシリカゲルカラムクロマトグラフィ
ーに付すことにより、1−アクリロイルオキシ−3−カ
ルボキシアダマンタンを収率82%で得た。上記方法に
より得た1−アクリロイルオキシ−3−カルボキシアダ
マンタン5ミリモル、イソブテン50ミリモル、硫酸
0.5ミリモル及びジクロロメタン50mlの混合液を
0℃で24時間攪拌した。反応混合液を濃縮した後、濃
縮物をシリカゲルカラムクロマトグラフィーに付すこと
により、標記化合物を収率81%で得た。 [スペクトルデータ]1 H−NMR(500MHz、CDCl3) δ:1.4
3(s,9H),1.55−2.23(m,12H),
2.28(m,2H),5.74(dd,1H),6.
03(dd,1H),6.30(dd,1H)
キシアダマンタン[2-13(メタクリレート)]の製造) アクリル酸クロリドの代わりにメタクリル酸クロリドを
用いた以外は製造例8と同様の操作を行い、標記の化合
物を得た。 [スペクトルデータ]1 H−NMR(500MHz、CDCl3) δ:1.4
5−1.63(m,6H),1.92(s,3H),
2.00−2.19(m,7H),2.30(m,2
H),5.52(brs,1H),6.02(brs,
1H)
ル−5−ヒドロキシアダマンタン[2-15(アクリレー
ト)]の製造) 1−アダマンタノールに代えて1,3−アダマンタンジ
オールを用いて1−カルボキシ−3,5−ジヒドロキシ
アダマンタンを合成し、これにアクリル酸クロリド、次
いでイソブテンを反応させた以外は、製造例8と同様の
方法により、標記化合物を得た。 [スペクトルデータ]1 H−NMR(500MHz、CDCl3) δ:1.4
3(s,9H),1.60−2.22(m,12H),
2.38(brs,1H),2.42(m,1H),
5.76(dd,1H),6.03(dd,1H),
6.31(dd,1H)
メタクリロイルオキシアダマンタン[2-15(メタクリレ
ート)]の製造) アクリル酸クロリドの代わりにメタクリル酸クロリドを
用いた以外は製造例10と同様の操作を行い、標記の化
合物を得た。 [スペクトルデータ]1 H−NMR(500MHz、CDCl3) δ:1.4
3(s,9H),1.62−1.88(m,6H),
1.90(s,3H),2.02−2.22(m,7
H),2.41(m,1H),5.51(brs,1
H),6.02(brs,1H)
ラニルオキシカルボニル)アダマンタン[2-16(アクリ
レート)]の製造) 製造例8と同様の方法により得られた1−アクリロイル
オキシ−3−カルボキシアダマンタン10ミリモル、ジ
ヒドロピラン12ミリモル、p−トルエンスルホン酸1
ミリモル及びジクロロメタン30mlの混合液を20℃
で2時間攪拌した。反応混合液を濃縮した後、濃縮物を
シリカゲルカラムクロマトグラフィーに付すことによ
り、1−アクリロイルオキシ−3−(2−テトラヒドロ
ピラニルオキシカルボニル)アダマンタンを収率92%
で得た。 [スペクトルデータ]1 H−NMR(60MHz、CDCl3) δ:1.2−
2.6(m,20H),3.5−4.2(m,2H),
5.7−6.6(m,4H)
−3−メタクリロイルオキシアダマンタン[2-16(メタ
クリレート)]の製造) 1−アクリロイルオキシ−3−カルボキシアダマンタン
の代わりに、製造例9の方法において中間体として得ら
れる1−カルボキシ−3−メタクリロイルオキシアダマ
ンタンを用いた以外は製造例12に準じて、標記化合物
を得た。 [スペクトルデータ]1 H−NMR(60MHz、CDCl3) δ:1.3−
2.5(m,23H),3.4−4.3(m,2H),
5.65(brs,1H),6.0−6.3(m,2
H)
−テトラヒドロピラニルオキシカルボニル)アダマンタ
ン[2-18(アクリレート)]の製造) 1−アクリロイルオキシ−3−カルボキシアダマンタン
の代わりに、製造例10において中間体として得られる
1−アクリロイルオキシ−3−カルボキシ−5−ヒドロ
キシアダマンタンをジヒドロピランと反応させた以外は
製造例12と同様の方法により、標記の化合物を得た。 [スペクトルデータ]1 H−NMR(60MHz、CDCl3) δ:1.1−
2.5(m,20H),3.5−4.2(m,2H),
5.7−6.5(m,4H)
キシカルボニル)−5−メタクリロイルオキシアダマン
タン[2-18(メタクリレート)]の製造) 製造例11において中間体として得られる1−カルボキ
シ−3−ヒドロキシ−5−メタクリロイルオキシアダマ
ンタンをジヒドロピランと反応させた以外は製造例12
と同様の方法により、標記の化合物を得た。 [スペクトルデータ]1 H−NMR(60MHz、CDCl3) δ:1.2−
2.7(m,23H),3.3−4.2(m,2H),
5.6(brs,1H),6.0−6.3(m,2H)
ヒドロピラニルオキシカルボニル)アダマンタン[2-17
(アクリレート)]の製造) オートクレーブに、1−アダマンタノール10ミリモ
ル、N−ヒドロキシフタルイミド1ミリモル、酢酸30
ml及び1,2−ジクロロエタン30mlを仕込み、一
酸化炭素15atm(15.2MPa)及び空気1at
m(0.101MPa)の混合ガス雰囲気下、95℃で
6時間攪拌した。反応混合液を濃縮した後、濃縮物をシ
リカゲルカラムクロマトグラフィーに付すことにより、
1,3−ジカルボキシ−5−ヒドロキシアダマンタンを
収率21%で得た。1−カルボキシ−3−ヒドロキシア
ダマンタンの代わりに、上記方法により得た1,3−ジ
カルボキシ−5−ヒドロキシアダマンタンを用いた以外
は、製造例12に準じた方法により、標記化合物を得
た。 [スペクトルデータ]1 H−NMR(60MHz、CDCl3) δ:1.3−
2.7(m,25H),3.4−4.3(m,4H),
5.6−6.5(m,5H)
ボニル)−5−メタクリロイルオキシアダマンタン[2-
17(メタクリレート)]の製造) 1−カルボキシ−3−ヒドロキシアダマンタンの代わり
に、製造例16に示した方法により得られる1,3−ジ
カルボキシ−5−ヒドロキシアダマンタンを用いた以外
は、製造例13に準じた方法により、標記化合物を得
た。 [スペクトルデータ]1 H−NMR(60MHz、CDCl3) δ:1.4−
2.6(m,28H),3.4−4.4(m,2H),
5.6(brs,1H),6.0−6.3(m,2H)
シカルボニル)アダマンタン[2-14(アクリレート)]
の製造) 1−カルボキシ−3−ヒドロキシアダマンタンの代わり
に、製造例16と同様にして得られた1,3−ジカルボ
キシ−5−ヒドロキシアダマンタンを用いた以外は、製
造例8に準じた方法により標記化合物を得た。
ン[3-1(アクリレート)]の製造) 1,3−アダマンタンジオール10ミリモル、トリエチ
ルアミン15ミリモル及びテトラヒドロフラン100m
lの混合液に、アクリル酸クロリド13ミリモルを約3
0分かけて滴下した。滴下終了後、50℃で1.5時間
攪拌した。反応混合液に水を添加した後、酢酸エチルで
抽出し、有機層を濃縮し、濃縮物をシリカゲルカラムク
ロマトグラフィーに付すことにより、標記化合物を収率
63%で得た。 [スペクトルデータ]1 H−NMR(CDCl3) δ:1.47−1.61
(m,2H),1.62−1.80(m,5H),2.
00−2.17(m,6H),2.34(m,2H),
5.75(dd,1H),6.03(dd,1H),
6.30(dd,1H)
タン[3-1(メタクリレート)]の製造) アクリル酸クロリドの代わりにメタクリル酸クロリドを
用いた以外は製造例19と同様の方法により、標記の化
合物を得た。 [スペクトルデータ]1 H−NMR(CDCl3) δ:1.48−1.61
(m,6H),1.89(s,3H),2.00−2.
16(m,7H),2.34(m,2H),5.49
(brs,1H),6.01(brs,1H)
マンタン[3-2(アクリレート)]の製造) 1,3−アダマンタンジオールの代わりに1,3,5−
アダマンタントリオールを用いた以外は製造例19の方
法に準じて、標記化合物を得た。 [スペクトルデータ]1 H−NMR(DMSO−d6) δ:1.38−1.9
6(m,12H),2.22(m,1H),4.60
(brs,2H),5.81(dd,1H),6.03
(dd,1H),6.21(dd,1H)
ダマンタン[3-2(メタクリレート)]の製造) 1,3−アダマンタンジオールの代わりに1,3,5−
アダマンタントリオールを用い、アクリル酸クロリドの
代わりにメタクリル酸クロリドを用いた以外は製造例1
9の方法に準じて、標記化合物を得た。 [スペクトルデータ]1 H−NMR(DMSO−d6) δ:1.38−1.5
8(m,6H),1.81(s,3H),1.83−
1.95(m,6H),2.22(m,1H),4.6
0(brs,2H),5.58(brs,1H),5.
92(brs,1H)
−メチルアダマンタン[2-23(アクリレート)]の製
造) 2−ケト−1−アダマンタノール30ミリモル、N−ヒ
ドロキシフタルイミド3ミリモル、コバルトアセチルア
セトナト(III)0.03ミリモル及び酢酸35mlの
混合物を酸素雰囲気下[1atm(0.101MP
a)]、60℃で12時間攪拌した。反応混合液を濃縮
し、濃縮液をシリカゲルカラムクロマトグラフィーに付
すことにより、2−ケト−1,5−アダマンタンジオー
ルを白色固体として得た。金属マグネシウム11ミリモ
ル、ブロモメタン10ミリモル及び少量のヨウ素からメ
チルマグネシウムブロミドのTHF(テトラヒドロフラ
ン)溶液を調製した。上記2−ケト−1,5−アダマン
タンジオールのTHF溶液を上記メチルマグネシウムブ
ロミド溶液に滴下し、2時間還流させた。反応液を氷冷
した10重量%塩酸水に滴下し、2時間攪拌した。これ
に、10重量%水酸化ナトリウム水溶液を加え、中性に
した後、有機層と水層とに分液し、水層を濃縮し、アセ
トンを加えて晶析することにより、2−メチル−1,
2,5−アダマンタントリオールを得た。2−メチル−
1,2,5−アダマンタントリオール5ミリモル、トリ
エチルアミン7.5ミリモル及びTHF50mlの混合
液に、アクリル酸クロリド6.5ミリモルを約15分か
けて滴下した。滴下終了後、室温で1.5時間攪拌し
た。反応混合液に水を添加した後、酢酸エチルで抽出
し、有機層を濃縮し、濃縮物をシリカゲルカラムクロマ
トグラフィーに付すことにより標記化合物を得た。
(22.3mmole)、モノマー[2-19](アクリレート)4.90
g(22.3mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-6
5)1.00gを入れ、THF(テトラヒドロフラン)25g
に溶解させモノマー溶液とした。一方、還流管、攪拌
子、3方コックを備えた100ml丸底フラスコにTHF15g
を張り込み、60℃に保ち、先に調製したモノマー溶液を
送液ポンプを用いて窒素雰囲気下、90分かけて導入し
た。送液終了後、反応系の温度を60℃に保ち、10時間攪
拌した後、反応液を500mlのヘキサンに落とし、生じた
沈殿物をろ別した。回収した沈殿を減圧乾燥後、THF
30gに溶解させ、上に述べた精製操作を繰り返すことに
より所望の樹脂 7.81gを得た。回収したポリマーをG
PC分析したところ、Mw(重量平均分子量)が7500、分
散度(Mw/Mn)が2.31であった。1H-NMR(DMSO-d6中)ス
ペクトルでは、1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.
2、4.6 ppmに強いシグナルが観測された。
e)、モノマー[2-1](アクリレート)6.02g(24.3 mmo
le)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.05gをT
HF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー
溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の
樹脂7.23gを得た。回収したポリマーをGPC分析した
ところ、Mw(重量平均分子量)が7900、分散度(Mw/M
n)が2.21であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.6 ppm
に強いシグナルが観測された。
e)、モノマー[2-3](アクリレート)6.11g(22.1 mmo
le)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.05gをT
HF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー
溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の
樹脂7.88gを得た。回収したポリマーをGPC分析した
ところ、Mw(重量平均分子量)が8100、分散度(Mw/M
n)が2.39であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5 ppm
に強いシグナルが観測された。
e)、モノマー[2-5](アクリレート)6.25 g(23.9 mm
ole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.05gを
THF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマ
ー溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望
の樹脂7.13gを得た。回収したポリマーをGPC分析し
たところ、Mw(重量平均分子量)が7100、分散度(Mw/M
n)が2.11であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.6 ppm
に強いシグナルが観測された。
e)、モノマー[2-7](アクリレート)6.34g(23.0 mmo
le)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.03gをT
HF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー
溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の
樹脂7.02gを得た。回収したポリマーをGPC分析した
ところ、Mw(重量平均分子量)が6900、分散度(Mw/M
n)が2.28であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.6 ppm
に強いシグナルが観測された。
e)、モノマー[2-13](アクリレート)5.68g(18.6 mm
ole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.05gを
THF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマ
ー溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望
の樹脂7.47gを得た。回収したポリマーをGPC分析し
たところ、Mw(重量平均分子量)が7500、分散度(Mw/M
n)が2.31であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.6 ppm
に強いシグナルが観測された。
モノマー[2-14](アクリレート)6.85g(16.9mmol
e)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.05gをT
HF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー
溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の
樹脂7.07gを得た。回収したポリマーをGPC分析した
ところ、Mw(重量平均分子量)が6800、分散度(Mw/M
n)が2.35であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.6 ppm
に強いシグナルが観測された。
モノマー[2-25](アクリレート)2.67g(20.9mmol
e)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.03gをT
HF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー
溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の
樹脂7.47gを得た。回収したポリマーをGPC分析した
ところ、Mw(重量平均分子量)が7500、分散度(Mw/M
n)が2.41であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.6 ppm
に強いシグナルが観測された。
モノマー[2-19](アクリレート)3.91g(17.8mmol
e)、[3-1](アクリレート)1.97g(8.9mmole)、およ
び開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gをTHF(テト
ラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー溶液とした
以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の樹脂7.21g
を得た。回収したポリマーをGPC分析したところ、Mw
(重量平均分子量)が6500、分散度(Mw/Mn)が2.01で
あった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルでは、1.5 -
2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6 ppmに強い
シグナルが観測された。
モノマー[2-1](アクリレート)4.15g(16.7mmole)、
モノマー [3-1](アクリレート)0.93g(4.2mmole)、
および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gをTHF
(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー溶液
とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の樹脂
7.55gを得た。回収したポリマーをGPC分析したとこ
ろ、Mw(重量平均分子量)が6700、分散度(Mw/Mn)が
2.14であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルでは、
1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6 ppm
に強いシグナルが観測された。
モノマー[2-3](アクリレート)4.53g(16.4mmole)、
モノマー[3-1](アクリレート)0.91g(4.1mmole)、
および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gをTHF
(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー溶液
とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の樹脂
7.18gを得た。回収したポリマーをGPC分析したとこ
ろ、Mw(重量平均分子量)が6900、分散度(Mw/Mn)が
2.2であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルでは、1.
5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6 ppmに
強いシグナルが観測された。
モノマー[2-5](アクリレート)4.49g(17.1mmole)、
モノマー[3-1](アクリレート)0.95g(4.3mmole)、
および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gをTHF
(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー溶液
とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の樹脂
7.02gを得た。回収したポリマーをGPC分析したとこ
ろ、Mw(重量平均分子量)が7100、分散度(Mw/Mn)が
2.17であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルでは、
1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6 ppm
に強いシグナルが観測された。
モノマー[2-7](アクリレート)4.50g(16.2mmole)、
モノマー[3-1](アクリレート)0.89g(4.0mmole)、
および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gをTHF
(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー溶液
とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の樹脂
6.81gを得た。回収したポリマーをGPC分析したとこ
ろ、Mw(重量平均分子量)が6200、分散度(Mw/Mn)が
2.06であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルでは、
1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6 ppm
に強いシグナルが観測された。
モノマー[2-13](アクリレート)5.20g(16.9mmol
e)、モノマー[3-1](アクリレート)0.83g(3.8mmol
e)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gをT
HF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー
溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の
樹脂7.31gを得た。回収したポリマーをGPC分析した
ところ、Mw(重量平均分子量)が7000、分散度(Mw/M
n)が2.26であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6
ppmに強いシグナルが観測された。
モノマー[2-14](アクリレート)5.90g(14.5mmol
e)、モノマー[3-1](アクリレート)0.81g(3.6mmol
e)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.03gをT
HF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー
溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の
樹脂7.55gを得た。回収したポリマーをGPC分析した
ところ、Mw(重量平均分子量)が6400、分散度(Mw/M
n)が2.19であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6
ppmに強いシグナルが観測された。
モノマー[2-25](アクリレート)2.58g(20.2mmol
e)、モノマー[3-1](アクリレート)1.49g(6.7mmol
e)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gをT
HF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー
溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の
樹脂7.24gを得た。回収したポリマーをGPC分析した
ところ、Mw(重量平均分子量)が7200、分散度(Mw/M
n)が2.29であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6
ppmに強いシグナルが観測された。
モノマー[2-19](アクリレート)4.97g(22.6mmol
e)、モノマー[3-2](アクリレート)1.11g(4.3mmol
e)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.01gをT
HF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー
溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の
樹脂7.21gを得た。回収したポリマーをGPC分析した
ところ、Mw(重量平均分子量)が6800、分散度(Mw/M
n) が2.11であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトル
では、1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、
4.6 ppmに強いシグナルが観測された。
モノマー[2-1](アクリレート)4.25g(17.1mmole)、
モノマー[3-2](アクリレート)0.94g(3.8mmole)、
および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gをTHF
(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー溶液
とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の樹脂
6.55gを得た。回収したポリマーをGPC分析したとこ
ろ、Mw(重量平均分子量)が6500、分散度(Mw/Mn)が
2.02であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルでは、
1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6 ppm
に強いシグナルが観測された。
モノマー[2-3](アクリレート)5.00g(18.1mmole)、
モノマー[3-2](アクリレート)1.50g(6.0mmole)、
および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gをTHF
(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー溶液
とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の樹脂
6.89gを得た。回収したポリマーをGPC分析したとこ
ろ、Mw(重量平均分子量)が6800、分散度(Mw/Mn)が
2.2であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルでは、1.
5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6 ppmに
強いシグナルが観測された。
モノマー[2-5](アクリレート)5.12g(19.5mmole)、
モノマー[3-2](アクリレート)1.61g(6.5mmole)、
および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gをTHF
(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー溶液
とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の樹脂
7.02gを得た。回収したポリマーをGPC分析したとこ
ろ、Mw(重量平均分子量)が7100、分散度(Mw/Mn)が
2.17であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルでは、
1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6 ppm
に強いシグナルが観測された。
モノマー[2-7](アクリレート)4.50g(16.3mmole)、
モノマー[3-2](アクリレート)1.8g(7.2mmole)、お
よび開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gをTHF(テ
トラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー溶液とし
た以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の樹脂6.81
gを得た。回収したポリマーをGPC分析したところ、
Mw(重量平均分子量)が6200、分散度(Mw/Mn)が2.06
であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルでは、1.5 -
2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6 ppmに強
いシグナルが観測された。
モノマー[2-13](アクリレート)5.66g(18.5mmol
e)、モノマー[3-2](アクリレート)0.91g(3.7mmol
e)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gをT
HF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー
溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の
樹脂7.04gを得た。回収したポリマーをGPC分析した
ところ、Mw(重量平均分子量)が7200、分散度(Mw/M
n)が2.33であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6
ppmに強いシグナルが観測された。
モノマー[2-14](アクリレート)6.20 g(15.3mmol
e)、モノマー[3-2](アクリレート)1.51g(6.1mmol
e)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.03gをT
HF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー
溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の
樹脂7.15gを得た。回収したポリマーをGPC分析した
ところ、Mw(重量平均分子量)が6900、分散度(Mw/M
n)が2.07であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6
ppmに強いシグナルが観測された。
モノマー[2-25](アクリレート)2.65 g(20.6mmol
e)、モノマー[3-2](アクリレート)1.28g(5.2mmol
e)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gをT
HF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー
溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の
樹脂6.99gを得た。回収したポリマーをGPC分析した
ところ、Mw(重量平均分子量)が7100、分散度(Mw/M
n)が2.20であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6
ppmに強いシグナルが観測された。
モノマー[2-19](アクリレート)3.91g(17.8mmol
e)、モノマー[3-6](アクリレート)1.97g(8.9mmol
e)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gをT
HF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー
溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の
樹脂7.21gを得た。回収したポリマーをGPC分析した
ところ、Mw(重量平均分子量)が6500、分散度(Mw/M
n)が2.01であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6
ppmに強いシグナルが観測された。
モノマー[2-1](アクリレート)4.15g(16.7mmole)、
モノマー[3-6](アクリレート)0.93g(4.2mmole)、
および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gをTHF
(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー溶液
とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の樹脂
7.55gを得た。回収したポリマーをGPC分析したとこ
ろ、Mw(重量平均分子量)が6700、分散度(Mw/Mn)が
2.14であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルでは、
1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6 ppm
に強いシグナルが観測された。
モノマー[2-3](アクリレート)4.53g(16.4mmole)、
モノマー[3-6](アクリレート)0.91g(4.1mmole)、
および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gをTHF
(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー溶液
とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の樹脂
7.18gを得た。回収したポリマーをGPC分析したとこ
ろ、Mw(重量平均分子量)が6900、分散度(Mw/Mn)が
2.2であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルでは、1.
5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6 ppmに
強いシグナルが観測された。
モノマー[2-5](アクリレート)4.49g(17.1mmole)、
モノマー[3-6](アクリレート)0.95g(4.3mmole)、
および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gをTHF
(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー溶液
とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の樹脂
7.02gを得た。回収したポリマーをGPC分析したとこ
ろ、Mw(重量平均分子量)が7100、分散度(Mw/Mn)が
2.17であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルでは、
1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6 ppm
に強いシグナルが観測された。
モノマー[2-7](アクリレート)4.50g(16.2mmole)、
モノマー[3-6](アクリレート)0.89g(4.0mmole)、
および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gをTHF
(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー溶液
とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の樹脂
6.81gを得た。回収したポリマーをGPC分析したとこ
ろ、Mw(重量平均分子量)が6200、分散度(Mw/Mn)が
2.06であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルでは、
1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6 ppm
に強いシグナルが観測された。
モノマー[2-13](アクリレート)5.20g(16.9mmol
e)、モノマー[3-6](アクリレート)0.83g(3.8mmol
e)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gをT
HF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー
溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の
樹脂7.31gを得た。回収したポリマーをGPC分析した
ところ、Mw(重量平均分子量)が7000、分散度(Mw/M
n)が2.26であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6
ppmに強いシグナルが観測された。
モノマー[2-14](アクリレート)5.90g(14.5mmol
e)、モノマー[3-6](アクリレート)0.81g(3.6mmol
e)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.03gをT
HF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー
溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の
樹脂7.55gを得た。回収したポリマーをGPC分析した
ところ、Mw(重量平均分子量)が6400、分散度(Mw/M
n)が2.19であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6
ppmに強いシグナルが観測された。
モノマー[2-25](アクリレート)2.58 g(20.2mmol
e)、モノマー[3-6](アクリレート)1.49g(6.7mmol
e)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gをT
HF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマー
溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望の
樹脂7.24gを得た。回収したポリマーをGPC分析した
ところ、Mw(重量平均分子量)が7200、分散度(Mw/M
n)が2.29であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6
ppmに強いシグナルが観測された。
(14.9mmole)、モノマー[2-1](アクリレート)5.60g
(22.6mmole)、モノマー[3-27] 0.75g(7.7mmole)、
および開始剤(和光純薬工業製V-65)0.99gを入れ、酢
酸n−ブチル25gに溶解させモノマー溶液とした。一
方、還流管、攪拌子、3方コックを備えた100ml丸底フラ
スコに酢酸n−ブチル15gを張り込み、60℃に保ち、先
に調製したモノマー溶液を送液ポンプを用いて窒素雰囲
気下、90分かけて導入した。送液終了後、反応系の温度
を60℃に保ち、10時間攪拌した後、反応液を500mlのヘ
キサン/2−プロパノール(1:1)に落とし、生じた沈
殿物をろ別した。回収した沈殿を減圧乾燥後、酢酸n−
ブチル 30gに溶解させ、上に述べた精製操作を繰り返
すことにより所望の樹脂6.98gを得た。回収したポリマ
ーをGPC分析したところ、Mw(重量平均分子量)が63
00、分散度(Mw/Mn)が2.02であった。1H-NMR(DMSO-d6
中)スペクトルでは、1.5 - 2.7(ブロード)2.6、3.
2、3.6、4.6ppmに強いシグナルが観測された。
モノマー[2-3](アクリレート)5.67 g(18.1mmol
e)、モノマー[3-27] 0.75g(7.7mmole)、および開始
剤(和光純薬工業製V-65)1.00gを酢酸n−ブチル25g
に溶解させてモノマー溶液とした以外は実施例33と同
様の操作を行い、所望の樹脂6.91gを得た。回収したポ
リマーをGPC分析したところ、Mw(重量平均分子量)
が7200、分散度(Mw/Mn)が2.2であった。1H-NMR(DMSO
-d6中)スペクトルでは、1.5 - 2.7(ブロード)、2.
6、3.2、3.6、4.7 ppmに強いシグナルが観測された。
(15.4mmole)、モノマー[2-5](アクリレート)5.77g
(22.0mmole)、モノマー[3-27] 0.65g(6.6mmole)、
および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gを入れ、酢
酸n−ブチル25gに溶解させモノマー溶液とした。一
方、還流管、攪拌子、3方コックを備えた100ml丸底フラ
スコに酢酸n−ブチル15gを張り込み、60℃に保ち、先
に調製したモノマー溶液を送液ポンプを用いて窒素雰囲
気下、90分かけて導入した。送液終了後、反応系の温度
を60℃に保ち、10時間攪拌した後、反応液を500mlのヘ
キサンに落とし、生じた沈殿物をろ別した。回収した沈
殿を減圧乾燥後、酢酸n−ブチル30gに溶解させ、上に
述べた精製操作を繰り返すことにより所望の樹脂7.02g
を得た。回収したポリマーをGPC分析したところ、Mw
(重量平均分子量)が7000、分散度(Mw/Mn)が2.17で
あった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルでは、1.5 -
2.7(ブロード)、2.6、3.2、3.6、4.7 ppmに強いシグ
ナルが観測された。
モノマー[2-7](アクリレート)4.50g(16.3mmole)、
モノマー[3-27](アクリレート)1.8g(7.2mmole)、
および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gを酢酸n−
ブチル25gに溶解させてモノマー溶液とした以外は実施
例33と同様の操作を行い、所望の樹脂6.81gを得た。
回収したポリマーをGPC分析したところ、Mw(重量平
均分子量)が7200、分散度(Mw/Mn)が2.38であった。1
H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルでは、1.5 - 2.7(ブロ
ード)、1.9、2.6、3.2、3.6、4.7 ppmに強いシグナル
が観測された。
(17.4mmole)、モノマー[2-25](アクリレート)4.46
g(34.9mmole)、モノマー[3-27] 1.70g(17.4mmol
e)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gを入
れ、酢酸n−ブチル25gに溶解させモノマー溶液とし
た。一方、還流管、攪拌子、3方コックを備えた100ml丸
底フラスコにTHF15gを張り込み、60℃に保ち、先に
調製したモノマー溶液を送液ポンプを用いて窒素雰囲気
下、90分かけて導入した。送液終了後、反応系の温度を
60℃に保ち、10時間攪拌した後、反応液をヘキサンとイ
ソプロパノールの1:1混合液500mlに落とし、生じた
沈殿物をろ別した。回収した沈殿を減圧乾燥後、酢酸n
−ブチル30gに溶解させ、上に述べた精製操作を繰り返
すことにより所望の樹脂6.99gを得た。回収したポリマ
ーをGPC分析したところ、Mw(重量平均分子量)が72
00、分散度(Mw/Mn)が2.25であった。1H-NMR(DMSO-d6
中)スペクトルでは、1.5 - 2.7(ブロード)、1.9、2.
6、3.2、3.7、4.7ppmに強いシグナルが観測された。
にモノマー[1-1](アクリレート)2.90g(12.1mmol
e)、モノマー[2-34] 4.72g(24.3mmole)、モノマー
[3-27] 2.38g(24.3mmole)、および開始剤(和光純薬
工業製V-601)1.00g、および開始剤(和光純薬工業製V
-601)を10g入れ、酢酸n−ブチル10 gに溶解させ
た。続いてフラスコ内を窒素置換した後、反応系の温度
を70℃に保ち窒素雰囲気下、6時間攪拌した。反応液を
ヘキサンとイソプロパノールの1:1混合液500mlに落
とし、生じた沈殿物をろ別することで精製を行なった。
回収した沈殿を減圧乾燥後、酢酸n−ブチル30mlに溶
解させ、上に述べた再沈精製操作を繰り返すことにより
所望の樹脂7.61gを得た。回収したポリマーをGPC分
析したところ、Mw(重量平均分子量)が10900、分散度
(Mw/Mn)が4.91であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペク
トルでは、1.0 - 3.1(ブロード)、1.8、1.9、2.2、2.
8(ブロード)、3.2、3.7、4.7 ppmに強いシグナルが観
測された。
にモノマー[1-1](アクリレート)2.90g(12.1mmol
e)、モノマー[2-35] 4.72g(24.3 mmole)、モノマー
[3-27] 2.38g(24.3mmole)、および開始剤(和光純
薬工業製V-601)1.00g、および開始剤(和光純薬工業
製V-601)を10g入れ、酢酸n−ブチル 10gに溶解させ
た。続いてフラスコ内を窒素置換した後、反応系の温度
を70℃に保ち窒素雰囲気下、6時間攪拌した。反応液を
ヘキサンとイソプロパノールの1:1混合液500mlに落
とし、生じた沈殿物をろ別することで精製を行なった。
回収した沈殿を減圧乾燥後、酢酸n−ブチル30mlに溶
解させ、上に述べた再沈精製操作を繰り返すことにより
所望の樹脂7.13gを得た。回収したポリマーをGPC分
析したところ、Mw(重量平均分子量)が10700、分散度
(Mw/Mn)が 2.85であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペ
クトルでは、1.0 - 3.2(ブロード)、1.8、1.9、2.2、
2.8(ブロード)、3.2、3.7、4.7、5.8 ppmにシグナル
が観測された。
e)、モノマー[2-2](メタクリレート)6.62g(24.9mm
ole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gを
THF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマ
ー溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望
の樹脂7.81gを得た。回収したポリマーをGPC分析し
たところ、Mw(重量平均分子量)が7500、分散度(Mw/M
n)が2.31であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、0.6 - 2.7(ブロード)、1.5、1.9、2.2、2.6、3.
2、4.7 ppmに強いシグナルが観測された。
e)、モノマー[2-16](メタクリレート)5.30g(15.2m
mole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gを
THF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマ
ー溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望
の樹脂7.81gを得た。回収したポリマーをGPC分析し
たところ、Mw(重量平均分子量)が8200、分散度(Mw/M
n)が2.33であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、0.6 - 2.7(ブロード)、1.5、1.9、2.2、2.6、3.
2、4.7、5.8 ppmに強いシグナルが観測された。
e)、モノマー[2-15](メタクリレート)7.56g(15.2m
mole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)0.99gを
THF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマ
ー溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望
の樹脂7.21gを得た。回収したポリマーをGPC分析し
たところ、Mw(重量平均分子量)が8500、分散度(Mw/M
n)が2.28であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、0.6 - 2.7(ブロード)、1.5、1.9、2.2、2.6、3.
2、4.6、4.7 ppmに強いシグナルが観測された。
e)、モノマー[2-17](メタクリレート)6.83g(1.3mm
ole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gを
THF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマ
ー溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望
の樹脂7.56gを得た。回収したポリマーをGPC分析し
たところ、Mw(重量平均分子量)が8300、分散度 (Mw/
Mn) が2.20であった。1H-NMR (DMSO-d6中)スペクト
ルでは、0.6 - 2.7(ブロード)、1.5、1.9、2.2、2.
6、3.2、4.7、5.8 ppmに強いシグナルが観測された。
g(26.7mmole)、モノマー[2-26](メタクリレート)
3.27g(17.8mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V
-65)1.00gをTHF(テトラヒドロフラン)25gに溶
解させてモノマー溶液とした以外は実施例1と同様の操
作を行い、所望の樹脂7.56gを得た。回収したポリマー
をGPC分析したところ、Mw(重量平均分子量)が830
0、分散度(Mw/Mn)が2.20であった。1H-NMR(DMSO-d6
中)スペクトルでは、0.6 - 2.7(ブロード)、1.5、1.
9、2.2、2.6、3.2、4.7、5.8 ppmに強いシグナルが観測
された。
e)、モノマー[2-2](メタクリレート)5.33g(19.2mm
ole)、モノマー[3-1](メタクリレート)2.26g(9.6
mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00g
をTHF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノ
マー溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所
望の樹脂7.07gを得た。回収したポリマーをGPC分析
したところ、Mw(重量平均分子量)が7300、分散度(Mw
/Mn)が2.21であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトル
では、0.6 - 2.8(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、
4.6 ppmに強いシグナルが観測された。
e)、モノマー[2-16](メタクリレート)4.83g(13.9m
mole)、モノマー[3-1](メタクリレート)1.23g(5.2
mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00g
をTHF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノ
マー溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所
望の樹脂7.47gを得た。回収したポリマーをGPC分析
したところ、Mw(重量平均分子量)が7800、分散度(Mw
/Mn)が2.35であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトル
では、0.6 - 2.8(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、
4.6、5.8 ppmに強いシグナルが観測された。
e)、モノマー[2-15](メタクリレート)6.28g(18.7m
mole)、モノマー[3-1](メタクリレート)2.00g(8.5
mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)0.99g
をTHF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノ
マー溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所
望の樹脂7.53gを得た。回収したポリマーをGPC分析
したところ、Mw(重量平均分子量)が8500、分散度(Mw
/Mn)が2.35であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトル
では、0.6 - 2.8(ブロード)、0.8、1.9、2.6、3.2、
4.6 ppmに強いシグナルが観測された。
e)、モノマー[2-17](メタクリレート)5.94g(11.0m
mole)、モノマー[3-1](メタクリレート)1.20g(5.5
mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)0.99g
をTHF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノ
マー溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所
望の樹脂7.53gを得た。回収したポリマーをGPC分析
したところ、Mw(重量平均分子量)が8500、分散度(Mw
/Mn)が2.35であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトル
では、0.6 - 2.8(ブロード)、0.8、1.9、2.6、3.2、
4.6、5.8 ppmに強いシグナルが観測された。
e)、モノマー[2-26](メタクリレート)2.85g(15.5m
mole)、モノマー[3-1](メタクリレート)1.20g(5.5
mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)0.99g
をTHF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノ
マー溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所
望の樹脂7.53gを得た。回収したポリマーをGPC分析
したところ、Mw(重量平均分子量)が8500、分散度(Mw
/Mn)が2.35であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトル
では、0.6 - 2.8(ブロード)、0.8、1.9、2.6、3.2、
4.6、5.8 ppmに強いシグナルが観測された。
e)、モノマー[2-2](メタクリレート)5.33g(19.2mm
ole)、モノマー[3-2](メタクリレート)2.26g(9.6m
mole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gを
THF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマ
ー溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望
の樹脂7.07gを得た。回収したポリマーをGPC分析し
たところ、Mw(重量平均分子量)が7300、分散度(Mw/M
n)が2.21であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、0.6 - 2.8(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6
ppmに強いシグナルが観測された。
e)、モノマー[2-16](メタクリレート)4.83g(13.9m
mole)、モノマー[3-2](メタクリレート)1.23g(5.2
mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00g
をTHF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノ
マー溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所
望の樹脂7.47gを得た。回収したポリマーをGPC分析
したところ、Mw(重量平均分子量)が7800、分散度(Mw
/Mn)が2.35であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトル
では、0.6 - 2.8(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、
4.6 、5.8 ppmに強いシグナルが観測された。
e)、モノマー [2-17](メタクリレート)5.94g(11.0
mmole)、モノマー[3-1](メタクリレート)1.20g(5.
5mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)0.99g
をTHF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノ
マー溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所
望の樹脂7.53gを得た。回収したポリマーをGPC分析
したところ、Mw(重量平均分子量)が8500、分散度(Mw
/Mn) が2.35であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクト
ルでは、0.6 - 2.8(ブロード)、0.8、1.9、2.6、3.
2、4.6、5.8 ppmに強いシグナルが観測された。
e)、モノマー[2-26](メタクリレート)2.85g(15.5m
mole)、モノマー[3-2](メタクリレート)1.20g(5.5
mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)0.99g
をTHF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノ
マー溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所
望の樹脂7.53gを得た。回収したポリマーをGPC分析
したところ、Mw(重量平均分子量)が8500、分散度(Mw
/Mn)が2.35であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトル
では、0.6 - 2.8(ブロード)、0.8、1.9、2.6、3.2、
4.6、5.8 ppmに強いシグナルが観測された。
e)、モノマー[2-2](メタクリレート)5.33g(19.2mm
ole)、モノマー[3-6](メタクリレート)2.26g(9.6m
mole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gを
THF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノマ
ー溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所望
の樹脂7.07gを得た。回収したポリマーをGPC分析し
たところ、Mw(重量平均分子量)が7300、分散度(Mw/M
n)が2.21であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、0.6 - 2.8(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、4.6
ppmに強いシグナルが観測された。
e)、モノマー[2-16](メタクリレート)4.83g(13.9m
mole)、モノマー[3-6](メタクリレート)1.23g(5.2
mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00g
をTHF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノ
マー溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所
望の樹脂7.40gを得た。回収したポリマーをGPC分析
したところ、Mw(重量平均分子量)が7800、分散度(Mw
/Mn)が2.35であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトル
では、0.6 - 2.8(ブロード)、1.9、2.6、3.2、4.5、
4.6 、5.8 ppmに強いシグナルが観測された。
e)、モノマー[2-15](メタクリレート)6.28g(18.7m
mole)、モノマー[3-6](メタクリレート)2.00g(8.5
mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)0.99g
をTHF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノ
マー溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所
望の樹脂7.23gを得た。回収したポリマーをGPC分析
したところ、Mw(重量平均分子量)が8500、分散度(Mw
/Mn)が2.35であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトル
では、0.6 - 2.8(ブロード)、0.8、1.9、2.6、3.2、
4.6 ppmに強いシグナルが観測された。
e)、モノマー[2-17](メタクリレート)5.94g(11.0m
mole)、モノマー[3-6](メタクリレート)1.20g(5.5
mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)0.99g
をTHF(テトラヒドロフラン)25gに溶解させてモノ
マー溶液とした以外は実施例1と同様の操作を行い、所
望の樹脂7.53gを得た。回収したポリマーをGPC分析
したところ、Mw(重量平均分子量)が8500、分散度(Mw
/Mn)が2.35であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトル
では、0.6 - 2.8(ブロード)、0.8、1.9、2.6、3.2、
4.6、5.8 ppmに強いシグナルが観測された。
g(22.1mmole)、モノマー[2-26](メタクリレート)
2.85g(15.5mmole)、モノマー[3-6](メタクリレー
ト)1.20g(5.5mmole)、および開始剤(和光純薬工業
製V-65)0.99gをTHF(テトラヒドロフラン)25gに
溶解させてモノマー溶液とした以外は実施例1と同様の
操作を行い、所望の樹脂7.03gを得た。回収したポリマ
ーをGPC分析したところ、Mw(重量平均分子量)が85
00、分散度(Mw/Mn)が2.35であった。1H-NMR(DMSO-d6
中)スペクトルでは、0.6 - 2.8(ブロード)、0.8、1.
9、2.6、3.2、4.6、5.8 ppmに強いシグナルが観測され
た。
g(13.0mmole)、モノマー[2-19](メタクリレート)
5.64g(24.1mmole)、モノマー [3-27]1.09 g(11.1m
mole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)0.99gを
入れ、酢酸n−ブチル25gに溶解させモノマー溶液とし
た。一方、還流管、攪拌子、3方コックを備えた100ml丸
底フラスコに酢酸n−ブチル15gを張り込み、60℃に保
ち、先に調製したモノマー溶液を送液ポンプを用いて窒
素雰囲気下、90分かけて導入した。送液終了後、反応系
の温度を60℃に保ち、10時間攪拌した後、反応液をヘキ
サンとイソプロパノールの1:1混合液500mlに落と
し、生じた沈殿物をろ別した。回収した沈殿を減圧乾燥
後、酢酸n−ブチル30gに溶解させ、上に述べた精製操
作を繰り返すことにより所望の樹脂6.98gを得た。回収
したポリマーをGPC分析したところ、Mw(重量平均分
子量)が6800、分散度(Mw/Mn)が2.02であった。1H-NM
R(DMSO-d6中)スペクトルでは、0.6 - 2.7(ブロー
ド)1.9、2.6、3.2、3.6、4.6ppmに強いシグナルが観測
された。
g(11.3mmole)、モノマー[2-13](メタクリレート)
6.05g(18.9mmole)、モノマー[3-27] 0.74g(7.6mmo
le)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)0.97gを酢
酸n−ブチル25gに溶解させてモノマー溶液とした以外
は実施例59と同様の操作を行い、所望の樹脂6.98gを
得た。回収したポリマーをGPC分析したところ、Mw
(重量平均分子量)が6800、分散度(Mw/Mn)が2.02で
あった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルでは、0.6 -
2.7(ブロード)0.8、1.9、2.6、3.2、3.6、4.6ppmに強
いシグナルが観測された。
g(10.1mmole)、モノマー[2-14](メタクリレート)
6.85g(16.3mmole)、モノマー[3-27] 0.60g(6.2mmo
le)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gを酢
酸n−ブチル25gに溶解させてモノマー溶液とした以外
は実施例59と同様の操作を行い、所望の樹脂6.95gを
得た。回収したポリマーをGPC分析したところ、Mw
(重量平均分子量)が7200、分散度(Mw/Mn)が2.22で
あった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルでは、0.6 -
2.7(ブロード)0.8、1.9、2.6、3.2、3.6、4.6、5.8 p
pmに強いシグナルが観測された。
g(8.3mmole)、モノマー[2-17](メタクリレート)7.
42g(15.6mmole)、モノマー[3-27] 0.49g(5.0mmol
e)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)1.00gを酢
酸n−ブチル25gに溶解させてモノマー溶液とした以外
は実施例59と同様の操作を行い、所望の樹脂6.95gを
得た。回収したポリマーをGPC分析したところ、Mw
(重量平均分子量)が7100、分散度(Mw/Mn)が2.07で
あった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルでは、0.6 -
2.7(ブロード)0.8、1.9、2.6、3.2、3.6、4.6、5.8 p
pmに強いシグナルが観測された。
g(19.4mmole)、モノマー[2-26](メタクリレート)
4.57g(24.9 mmole)、モノマー[3-27] 0.53g(5.5mm
ole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)0.99gを
入れ、酢酸n−ブチル25gに溶解させモノマー溶液とし
た。一方、還流管、攪拌子、3方コックを備えた100ml丸
底フラスコに酢酸n−ブチル15gを張り込み、60℃に保
ち、先に調製したモノマー溶液を送液ポンプを用いて窒
素雰囲気下、90分かけて導入した。送液終了後、反応系
の温度を60℃に保ち、10時間攪拌した後、反応液を500m
lのヘキサンに落とし、生じた沈殿物をろ別した。回収
した沈殿を減圧乾燥後、酢酸n−ブチル30gに溶解さ
せ、上に述べた精製操作を繰り返すことにより所望の樹
脂7.03gを得た。回収したポリマーをGPC分析したと
ころ、Mw(重量平均分子量)が8500、分散度(Mw/Mn)
が2.35であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、0.6 - 2.8(ブロード)、0.8、1.9、2.6、3.2、4.
6、5.8 ppmに強いシグナルが観測された。
にモノマー[1-5] 2.67g(17.8mmole)、モノマー[3-2
7] 1.74g(17.8mmole)、モノマー[2-1](アクリレー
ト)4.40g(17.8mmole)、モノマー[1-1](アクリレー
ト)1.41g(5.9mmole)、および開始剤(和光純薬工業
製V-601)を1.02g入れ、酢酸n−ブチル10gに溶解さ
せた。続いてフラスコ内を窒素置換した後、反応系の温
度を70℃に保ち、窒素雰囲気下、6時間攪拌した。反応
液をヘキサンとイソプロピルアルコールの1:1混合液500
mlに落とし、生じた沈殿物をろ別することで精製を行っ
た。回収した沈殿を減圧乾燥後、酢酸n−ブチル 30ml
に溶解させ、上に述べた精製操作を繰り返すことにより
所望の樹脂7.20gを得た。回収したポリマーをGPC分
析したところ、Mw(重量平均分子量)が 9000、分散度
(Mw/Mn) が 2.77であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペ
クトルでは、1.0 - 2.8(ブロード)、1.9、2.2、2.6、
3.2、4.6 ppmに明瞭なシグナルが観測された。
1.74g(17.8mmole)、モノマー[2-3](アクリレート)
4.91g(17.8mmole)、モノマー[1-1](アクリレート)
1.41g(5.9mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-
601)1.07gを酢酸n−ブチル 10gに溶解させてモノマ
ー溶液とした以外は実施例64と同様の操作を行い、所
望の樹脂7.55gを得た。回収したポリマーをGPC分析
したところ、Mw(重量平均分子量)が 9200、分散度(M
w/Mn) が 2.97であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペク
トルでは、1.0 - 2.8(ブロード)、1.9、2.2、2.6、3.
2、4.6 ppmに明瞭なシグナルが観測された。
1.74g(17.4mmole)、モノマー[2-5](アクリレート)
4.52g(17.4mmole)、モノマー[1-1](アクリレート)
1.38g(5.8mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-
601)1.03gを酢酸n−ブチル 10gに溶解させてモノマ
ー溶液とした以外は実施例64と同様の操作を行い、所
望の樹脂7.35gを得た。回収したポリマーをGPC分析
したところ、Mw(重量平均分子量)が 9100、分散度(M
w/Mn) が 2.67であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペク
トルでは、1.0 - 2.8(ブロード)、1.9、2.2、2.6、3.
2、4.6 ppmに明瞭なシグナルが観測された。
1.74g(17.4mmole)、モノマー[2-7](アクリレート)
4.52g(17.4mmole)、モノマー[1-1](アクリレート)
1.38g(5.8mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-
601)1.03gを酢酸n−ブチル 10gに溶解させてモノマ
ー溶液とした以外は実施例64と同様の操作を行い、所
望の樹脂7.55gを得た。回収したポリマーをGPC分析
したところ、Mw(重量平均分子量)が 9000、分散度(M
w/Mn) が 2.80であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペク
トルでは、1.0 - 2.8(ブロード)、1.9、2.2、2.6、3.
2、4.6 ppmに明瞭なシグナルが観測された。
1.58g(15.9mmole)、モノマー[2-13](アクリレー
ト)4.86g(17.4mmole)、モノマー[1-1](アクリレー
ト)1.38g(5.8mmole)、および開始剤(和光純薬工業
製V-601)1.02gを酢酸n−ブチル 10gに溶解させてモ
ノマー溶液とした以外は実施例64と同様の操作を行
い、所望の樹脂7.55gを得た。回収したポリマーをGP
C分析したところ、Mw(重量平均分子量)が 8600、分
散度(Mw/Mn) が 2.71であった。1H-NMR(DMSO-d6中)
スペクトルでは、1.0 - 2.8(ブロード)、1.9、2.2、
2.6、3.2、4.6 ppmに明瞭なシグナルが観測された。
1.58g(15.9mmole)、モノマー[2-14](アクリレー
ト)4.86g(17.4mmole)、モノマー[1-1](アクリレー
ト)1.38g(5.8mmole)、および開始剤(和光純薬工業
製V-601)1.02gを酢酸n−ブチル 10gに溶解させてモ
ノマー溶液とした以外は実施例64と同様の操作を行
い、所望の樹脂7.55gを得た。回収したポリマーをGP
C分析したところ、Mw(重量平均分子量)が 8200、分
散度(Mw/Mn) が 2.69であった。1H-NMR(DMSO-d6中)
スペクトルでは、1.0 - 2.8(ブロード)、1.5、1.9、
2.2、2.6、3.2、4.6 ppmに明瞭なシグナルが観測された
2.11g(21.5mmole)、モノマー[2-25](アクリレー
ト)1.66g(12.9mmole)、モノマー[1-1](アクリレー
ト)2.05g(8.62mmole)、および開始剤(和光純薬工
業製V-601)0.90gを酢酸n−ブチル 10gに溶解させて
モノマー溶液とした以外は実施例64と同様の操作を行
い、所望の樹脂7.55gを得た。回収したポリマーをGP
C分析したところ、Mw(重量平均分子量)が 8200、分
散度(Mw/Mn) が 2.69であった。1H-NMR(DMSO-d6中)
スペクトルでは、1.0 - 2.8(ブロード)、1.5、2.6、
3.2、4.6 ppmに明瞭なシグナルが観測された。
1.78g(18.2mmole)、モノマー[2-19](メタクリレー
ト)4.26g(18.2mmole)、モノマー[1-1](メタクリレ
ート)1.44g(6.1mmole)、および開始剤(和光純薬工
業製V-601)0.88gを酢酸n−ブチル 10gに溶解させて
モノマー溶液とした以外は実施例64と同様の操作を行
い、所望の樹脂7.49gを得た。回収したポリマーをGP
C分析したところ、Mw(重量平均分子量)が 8800、分
散度(Mw/Mn) が 2.78であった。 1H-NMR(DMSO-d6中)
スペクトルでは、0.6 - 2.8(ブロード)、0.8、1.5、
1.9、2.2、2.6、3.2、4.6 ppmに明瞭なシグナルが観測
された。
0.67g(6.9mmole)、モノマー[2-2](メタクリレー
ト)5.10g(18.3mmole)、モノマー[1-1](メタクリレ
ート)3.27g(13.7mmole)、および開始剤(和光純薬
工業製V-601)1.01gを酢酸n−ブチル 10gに溶解させ
てモノマー溶液とした以外は実施例64と同様の操作を
行い、所望の樹脂7.03gを得た。回収したポリマーをG
PC分析したところ、Mw(重量平均分子量)が 9400、
分散度(Mw/Mn) が 3.00であった。 1H-NMR(DMSO-d6
中)スペクトルでは、0.6 - 2.8(ブロード)、0.8、1.
5、1.9、2.2、2.6、3.2、4.6 ppmに明瞭なシグナルが観
測された。
1.16g(11.9mmole)、モノマー[2-16](メタクリレー
ト)4.95g(14.2mmole)、モノマー[1-1](メタクリレ
ート)2.26g(9.5mmole)、および開始剤(和光純薬工
業製V-601)1.02gを酢酸n−ブチル 10gに溶解させて
モノマー溶液とした以外は実施例64と同様の操作を行
い、所望の樹脂7.00gを得た。回収したポリマーをGP
C分析したところ、Mw(重量平均分子量)が 9000、分
散度(Mw/Mn) が 3.00であった。 1H-NMR(DMSO-d6中)
スペクトルでは、0.6 - 2.8(ブロード)、0.8、1.5、
1.9、2.2、2.6、3.2、4.6 、5.8 ppmに明瞭なシグナル
が観測された。
1.14g(11.7mmole)、モノマー[2-15](メタクリレー
ト)4.95g(14.0mmole)、モノマー[1-1](メタクリレ
ート)2.23g(9.3mmole)、および開始剤(和光純薬工
業製V-601)1.01gを酢酸n−ブチル 10gに溶解させて
モノマー溶液とした以外は実施例64と同様の操作を行
い、所望の樹脂7.18gを得た。回収したポリマーをGP
C分析したところ、Mw(重量平均分子量)が 9000、分
散度(Mw/Mn) が 3.00であった。 1H-NMR(DMSO-d6中)
スペクトルでは、0.6 - 2.8(ブロード)、0.8、1.5、
1.9、2.2、2.6、3.2、4.6 ppmに明瞭なシグナルが観測
された。
1.05g(10.9mmole)、モノマー[2-17](メタクリレー
ト)5.87g(12.9mmole)、モノマー[1-1](メタクリレ
ート)2.06g(9.5mmole)、および開始剤(和光純薬工
業製V-601)1.06gを酢酸n−ブチル 10gに溶解させて
モノマー溶液とした以外は実施例64と同様の操作を行
い、所望の樹脂7.01gを得た。回収したポリマーをGP
C分析したところ、Mw(重量平均分子量)が 9200、分
散度(Mw/Mn) が 3.04であった。 1H-NMR(DMSO-d6中)
スペクトルでは、0.6 - 2.8(ブロード)、0.8、1.5、
1.9、2.2、2.6、3.2、4.6 、5.8 ppmに明瞭なシグナル
が観測された。
1.16g(11.9mmole)、モノマー[2-26](メタクリレー
ト)2.22g(14.2mmole)、モノマー[1-1](アクリレー
ト)2.24g(9.5mmole)、および開始剤(和光純薬工業
製V-601)0.74gを酢酸n−ブチル 10gに溶解させてモ
ノマー溶液とした以外は実施例64と同様の操作を行
い、所望の樹脂6.21gを得た。回収したポリマーをGP
C分析したところ、Mw(重量平均分子量)が 9000、分
散度(Mw/Mn) が 3.00であった。 1H-NMR(DMSO-d6中)
スペクトルでは、0.6 - 2.8(ブロード)、0.8、1.5、
1.9、2.2、2.6、3.2、4.6 、5.8 ppmに明瞭なシグナル
が観測された。
2.47g(25.2mmole)、モノマー[2-34] 3.66g(18.9mm
ole)、モノマー[1-1](メタクリレート)3.00g(12.6
mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-601)1.01g
を酢酸n−ブチル 10gに溶解させてモノマー溶液とし
た以外は実施例64と同様の操作を行い、所望の樹脂7.
34gを得た。回収したポリマーをGPC分析したとこ
ろ、Mw(重量平均分子量)が 8700、分散度(Mw/Mn)
が 2.66であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルで
は、0.6 - 2.8(ブロード)、0.8、1.5、1.9、2.2、2.
6、3.2、4.6 ppmに明瞭なシグナルが観測された。
にモノマー[1-5] 2.96g(19.7mmole)、モノマー[2-34]
1.27g(6.5mmole)、モノマー[2-1](アクリレート)
3.26g(13.1mmole)、モノマー[3-27] 2.57g(26.3 m
mole)、および開始剤(和光純薬工業製V-601)を1.01
g入れ、酢酸n−ブチル10gに溶解させた。続いてフラ
スコ内を窒素置換した後、反応系の温度を70℃に保ち窒
素雰囲気下、6時間攪拌した。反応液をヘキサンとイソ
プロピルアルコール1:1混合液500mlに落とし、生じ
た沈殿物を濾別することで精製を行なった。回収した沈
殿を減圧乾燥後、酢酸n−ブチル30mlに溶解させ、上に
述べた沈澱精製操作を繰り返すことにより所望の樹脂
6.10gを得た。回収したポリマーをGPC分析したとこ
ろ、Mw(重量平均分子量)が9900、分散度 (Mw/Mn) が
2.64であった。1H-NMR(DMSO-d6中)スペクトルでは1.0
- 3.4(ブロード)、1.5、1.9、2.2、2.8、3.7、4.2 、
4.6 ppmにシグナルが観測された。
にモノマー[1-5] 2.49g(16.6mmole)、モノマー[2-34]
1.29g( 6.6 mmole)、モノマー[2-1](アクリレー
ト) 3.29g(13.3 mmole)、モノマー[3-27] 2.60g
(26.6 mmole)、モノマー[3-28] 0.31g(3.3 mmol
e)、および開始剤(和光純薬工業製V-601)を1.01g入
れ、酢酸n−ブチル10gに溶解させた。続いてフラスコ
内を窒素置換した後、反応系の温度を70℃に保ち窒素雰
囲気下、6時間攪拌した。反応液をヘキサンとイソプロ
ピルアルコール1:1混合液500mlに落とし、生じた沈
殿物を濾別することで精製を行なった。回収した沈殿を
減圧乾燥後、酢酸n−ブチル30mlに溶解させ、上に述べ
た沈澱精製操作を繰り返すことにより所望の樹脂 6.10
gを得た。回収したポリマーをGPC分析したところ、
Mw(重量平均分子量)が10100、分散度 (Mw/Mn) が2.77
であった。1H-NMR (DMSO-d6中)スペクトルでは1.0 -3.
1(ブロード)、1.5、1.9、2.2、2.8、3.7、4.2 、4.6 p
pmにシグナルが観測された。
にモノマー[1-5] 2.46g(16.4mmole)、モノマー[2-34]
1.28g( 6.6 mmole)、モノマー[2-2](アクリレー
ト) 3.76g(14.2 mmole)、モノマー[3-27]1.99g(2
0.2 mmole)、モノマー[3-28] 0.51g(5.5 mmole)、
および開始剤(和光純薬工業製V-601)を1.01g入れ、
酢酸n−ブチル10gに溶解させた。続いてフラスコ内を
窒素置換した後、反応系の温度を70℃に保ち窒素雰囲気
下、6時間攪拌した。反応液をヘキサンとイソプロピル
アルコール1:1混合液500mlに落とし、生じた沈殿物
を濾別することで精製を行なった。回収した沈殿を減圧
乾燥後、酢酸n−ブチル30mlに溶解させ、上に述べた沈
澱精製操作を繰り返すことにより所望の樹脂 6.10gを
得た。回収したポリマーをGPC分析したところ、Mw
(重量平均分子量)が11000、分散度 (Mw/Mn) が3.03で
あった。1H-NMR (DMSO-d6中)スペクトルでは1.0 -3.4
(ブロード)、1.5、1.9、2.2、2.8、3.7、4.2 、4.6 pp
mにシグナルが観測された。
にモノマー[1-5] 2.47g(16.5 mmole)、モノマー[2-1]
(アクリレート) 2.73g(11.0 mmole)、モノマー[2-
2](アクリレート)3.17g(12.0 mmole)、モノマー[3
-27] 1.62g(16.5 mmole)および開始剤(和光純薬工
業製V-601)を1.01g入れ、酢酸n−ブチル10gに溶解さ
せた。続いてフラスコ内を窒素置換した後、反応系の温
度を70℃に保ち窒素雰囲気下、6時間攪拌した。反応液
をヘキサンとイソプロピルアルコール1:1混合液500m
lに落とし、生じた沈殿物を濾別することで精製を行な
った。回収した沈殿を減圧乾燥後、酢酸n−ブチル30ml
に溶解させ、上に述べた沈澱精製操作を繰り返すことに
より所望の樹脂 6.05gを得た。回収したポリマーをG
PC分析したところ、Mw(重量平均分子量)が9000、分
散度 (Mw/Mn) が2.67であった。1H-NMR (DMSO-d6中)ス
ペクトルでは1.0 - 3.4(ブロード)、1.5、1.9、2.2、
2.8、3.7、4.2 、4.6 ppmにシグナルが観測された。
にモノマー[1-5] 2.98g(19.9mmole)、モノマー[2-1]
(アクリレート) 2.47g(9.9 mmole)、モノマー[2-
2](アクリレート)2.62g(9.9mmole)、モノマー[3-2
7] 1.46g(14.9mmole)、モノマー[3-28] 0.47g(5.0
mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-601)を1.0
1g入れ、酢酸n−ブチル10gに溶解させた。続いてフラ
スコ内を窒素置換した後、反応系の温度を70℃に保ち窒
素雰囲気下、6時間攪拌した。反応液をヘキサンとイソ
プロピルアルコール1:1混合液500mlに落とし、生じ
た沈殿物を濾別することで精製を行なった。回収した沈
殿を減圧乾燥後、酢酸n−ブチル30mlに溶解させ、上に
述べた沈澱精製操作を繰り返すことにより所望の樹脂
6.61gを得た。回収したポリマーをGPC分析したとこ
ろ、Mw(重量平均分子量)が10500、分散度 (Mw/Mn) が
2.99であった。1H-NMR (DMSO-d6中)スペクトルでは1.0
- 3.4(ブロード)、1.5、1.9、2.2、2.8、3.7、4.2 、
4.6 ppmにシグナルが観測された。
(28.8mmole)、モノマー[2-1](アクリレート)1.02g
(4.1mmole)、モノマー[2-2](アクリレート)2.17g
(8.2 mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-65)
1.00gを 入れ、THF(テトラヒドロフラン)25gに
溶解させモノマー溶液とした。一方、還流管、攪拌子、
3方コックを備えた100ml丸底フラスコにTHF15gを張
り込み、70℃に保ち、先に調製したモノマー溶液を送液
ポンプを用いて窒素雰囲気下、90分かけて導入した。送
液終了後、反応系の温度を70℃に保ち、10時間攪拌した
後、反応液を500mlのヘキサンに落とし、生じた沈殿物
をろ別した。回収した沈殿を減圧乾燥後、THF30gに
溶解させ、上に述べた精製操作を繰り返すことにより所
望の樹脂 7.81gを得た。回収したポリマーをGPC分
析したところ、Mw(重量平均分子量)が7500、分散度
(Mw/Mn) が2.31であった。1H-NMR (DMSO-d6中)スペ
クトルでは、1.0 - 2.7(ブロード)、1.9、2.6、3.2、
4.6 ppmに強いシグナルが観測された。
にモノマー[1-1](アクリレート)6.33 g(26.8mmol
e)、モノマー[2-34] 0.87g(4.5 mmole)、モノマー
[2-2](アクリレート)2.36g(8.9 mmole)、モノマー
[3-27] 0.43g(4.5 mmole)、および開始剤(和光純薬
工業製V-601)を1.01g入れ、γ−ブチロラクトン10gに
溶解させた。続いてフラスコ内を窒素置換した後、反応
系の温度を70℃に保ち窒素雰囲気下、6時間攪拌した。
反応液をヘキサンとイソプロピルアルコール1:1混合
液500mlに落とし、生じた沈殿物を濾別することで精製
を行なった。回収した沈殿を減圧乾燥後、THF30mlに
溶解させ、上に述べた沈澱精製操作を繰り返すことによ
り所望の樹脂 6.74gを得た。回収したポリマーをGP
C分析したところ、Mw(重量平均分子量)が10300、分
散度 (Mw/Mn) が2.99であった。1H-NMR (DMSO-d6中)ス
ペクトルでは1.0 - 3.4(ブロード)、1.5、1.9、2.2、
2.8、3.7、4.2 、4.6 ppmにシグナルが観測された。
にモノマー[1-1](アクリレート)7.61g(32.3mmol
e)、モノマー[2-34] 0.89g(4.6 mmole)、モノマー
[2-1](アクリレート)1.05g(4.2 mmole)、モノマー
[3-27] 0.45g(4.6mmole)、および開始剤(和光純薬
工業製V-601)を1.01g入れ、γ−ブチロラクトン10gに
溶解させた。続いてフラスコ内を窒素置換した後、反応
系の温度を70℃に保ち窒素雰囲気下、6時間攪拌した。
反応液をヘキサンとイソプロピルアルコール1:1混合
液500mlに落とし、生じた沈殿物を濾別することで精製
を行なった。回収した沈殿を減圧乾燥後、THF30mlに
溶解させ、上に述べた沈澱精製操作を繰り返すことによ
り所望の樹脂 6.74gを得た。回収したポリマーをGP
C分析したところ、Mw(重量平均分子量)が6000、分散
度 (Mw/Mn) が2.31であった。1H-NMR (DMSO-d6中)スペ
クトルでは1.0 - 3.4(ブロード)、1.5、1.9、2.2、2.
8、3.7、4.2 、4.6 ppmにシグナルが観測された。
にモノマー[1-1](アクリレート)4.00g(17.0 mmol
e)、モノマー[1-5] 1.27g(8.5mmole)、モノマー[2-
34] 1.64g(8.5 mmole)、モノマー[2-1](アクリレー
ト)1.40g(5.7mmole)、モノマー[3-27] 1.66g(16.
9 mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-601)を1.
01g入れ、γ−ブチロラクトン10gに溶解させた。続い
てフラスコ内を窒素置換した後、反応系の温度を70℃に
保ち窒素雰囲気下、6時間攪拌した。反応液をヘキサン
とイソプロピルアルコール1:1混合液500mlに落と
し、生じた沈殿物を濾別することで精製を行なった。回
収した沈殿を減圧乾燥後、THF30mlに溶解させ、上に
述べた沈澱精製操作を繰り返すことにより所望の樹脂6.
31gを得た。回収したポリマーをGPC分析したとこ
ろ、Mw(重量平均分子量)が6600、分散度 (Mw/Mn) が
2.20であった。1H-NMR (DMSO-d6中)スペクトルでは1.0
- 3.4(ブロード)、1.5、1.9、2.2、2.8、3.7、4.2 、
4.6 ppmにシグナルが観測された。
にモノマー[1-1](アクリレート)1.45g(6.1 mmol
e)、モノマー[1-5] 1.38g(9.2mmole)、モノマー[2-
34]1.79g(9.2 mmole)、モノマー[2-1](アクリレー
ト)1.52g(6.1mmole)、モノマー[3-27]2.41g(24.6
mmole)、モノマー[3-28] 1.45g(15.4mmole)、およ
び開始剤(和光純薬工業製V-601)を1.01g入れ、酢酸
n−ブチル10gに溶解させた。続いてフラスコ内を窒素
置換した後、反応系の温度を70℃に保ち窒素雰囲気下、
6時間攪拌した。反応液をヘキサンとイソプロピルアル
コール1:1混合液500mlに落とし、生じた沈殿物を濾
別することで精製を行なった。回収した沈殿を減圧乾燥
後、酢酸n−ブチル30mlに溶解させ、上に述べた沈澱精
製操作を繰り返すことにより所望の樹脂 6.99gを得
た。回収したポリマーをGPC分析したところ、Mw(重
量平均分子量)が6800、分散度 (Mw/Mn) が2.09であっ
た。1H-NMR (DMSO-d6中)スペクトルでは1.0 - 3.4(ブ
ロード)、1.5、1.9、2.2、2.8、3.7、4.2 、4.6 ppmに
シグナルが観測された。
にモノマー[1-1](アクリレート)2.61g(11.0 mmol
e)、モノマー[1-5] 1.24g(8.3mmole)、モノマー[2-
34]1.61g(8.3 mmole)、モノマー[2-2](アクリレー
ト)2.92g(11.0mmole)、モノマー[3-27]1.62g(16.
6 mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-601)を1.
01g入れ、γ−ブチロラクトン10gに溶解させた。続い
てフラスコ内を窒素置換した後、反応系の温度を70℃に
保ち窒素雰囲気下、6時間攪拌した。反応液をヘキサン
とイソプロピルアルコール1:1混合液500mlに落と
し、生じた沈殿物を濾別することで精製を行なった。回
収した沈殿を減圧乾燥後、THF30mlに溶解させ、上に
述べた沈澱精製操作を繰り返すことにより所望の樹脂
6.58gを得た。回収したポリマーをGPC分析したとこ
ろ、Mw(重量平均分子量)が6500、分散度 (Mw/Mn) が
2.42であった。1H-NMR (DMSO-d6中)スペクトルでは1.0
- 3.4(ブロード)、1.5、1.9、2.2、2.8、3.7、4.2 、
4.6 ppmにシグナルが観測された。
にモノマー[1-1](アクリレート)2.73g(11.5mmol
e)、モノマー[1-5]0.86g(5.8mmole)、モノマー[2-3
4] 1.12g(5.8 mmole)、モノマー[2-2](アクリレー
ト)3.05g(11.5mmole)、モノマー[3-27]1.70g(17.
3 mmole)、モノマー[3-28]0.54g(5.8mmole)、およ
び開始剤(和光純薬工業製V-601)を1.01g入れ、γ−
ブチロラクトン10gに溶解させた。続いてフラスコ内を
窒素置換した後、反応系の温度を70℃に保ち窒素雰囲気
下、6時間攪拌した。反応液をヘキサンとイソプロピル
アルコール1:1混合液500mlに落とし、生じた沈殿物
を濾別することで精製を行なった。回収した沈殿を減圧
乾燥後、THF30mlに溶解させ、上に述べた沈澱精製操
作を繰り返すことにより所望の樹脂 6.14gを得た。回
収したポリマーをGPC分析したところ、Mw(重量平均
分子量)が7500、分散度 (Mw/Mn) が2.22であった。1H-
NMR (DMSO-d6中)スペクトルでは1.0 - 3.4(ブロー
ド)、1.5、1.9、2.2、2.8、3.7、4.2 、4.6 ppmにシグ
ナルが観測された。
にモノマー[1-1](アクリレート)2.35g(10.0 mmol
e)、モノマー[1-5]1.49g(10.0mmole)、モノマー[2-
1] (アクリレート)1.24g(5.0 mmole)、モノマー[2
-2](アクリレート)3.94g(14.9 mmole)、モノマー
[3-27]0.98g(10.0 mmole)、および開始剤(和光純薬
工業製V-601)を1.01g入れ、γ−ブチロラクトン10gに
溶解させた。続いてフラスコ内を窒素置換した後、反応
系の温度を70℃に保ち窒素雰囲気下、6時間攪拌した。
反応液をヘキサンとイソプロピルアルコール1:1混合
液500mlに落とし、生じた沈殿物を濾別することで精製
を行なった。回収した沈殿を減圧乾燥後、THF30mlに
溶解させ、上に述べた沈澱精製操作を繰り返すことによ
り所望の樹脂 6.05gを得た。回収したポリマーをGP
C分析したところ、Mw(重量平均分子量)が6900、分散
度 (Mw/Mn) が2.04であった。1H-NMR (DMSO-d6中)スペ
クトルでは1.0 - 3.4(ブロード)、1.5、1.9、2.2、2.
8、3.7、4.2 、4.6ppmにシグナルが観測された。
にモノマー[1-1](アクリレート)1.73g(7.3mmole)、
モノマー[1-5]2.19g(14.6mmole)、モノマー[2-1]
(アクリレート)1.21g(4.9 mmole)、モノマー[2-2]
(アクリレート)3.22g(12.2 mmole)、モノマー[3-2
7]1.19g(12.2 mmole)、モノマー[3-28]0.46g(4.9
mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-601)を1.01
g入れ、酢酸n−ブチル10gに溶解させた。続いてフラ
スコ内を窒素置換した後、反応系の温度を70℃に保ち窒
素雰囲気下、6時間攪拌した。反応液をヘキサンとイソ
プロピルアルコール1:1混合液500mlに落とし、生じ
た沈殿物を濾別することで精製を行なった。回収した沈
殿を減圧乾燥後、THF30mlに溶解させ、上に述べた沈
澱精製操作を繰り返すことにより所望の樹脂 5.94gを
得た。回収したポリマーをGPC分析したところ、Mw
(重量平均分子量)が6200、分散度 (Mw/Mn)が2.13であ
った。1H-NMR (DMSO-d6中)スペクトルでは1.0 - 3.4
(ブロード)、1.5、1.9、2.2、2.8、3.7、4.2 、4.6 pp
mにシグナルが観測された。
に、モノマー[1-5]1.44g(9.6mmole)、モノマー[2-2]
(アクリレート)7.62g(28.8 mmole)、モノマー[3-2
7]0.94g(9.6 mmole)、および開始剤(和光純薬工業
製V-601)を1.00g入れ、酢酸ブチル10gに溶解させた。
続いてフラスコ内を窒素置換した後、反応系の温度を70
℃に保ち窒素雰囲気下、6時間攪拌した。反応液をヘキ
サンとイソプロピルアルコール1:1混合液500mlに落
とし、生じた沈殿物を濾別することで精製を行なった。
回収した沈殿を減圧乾燥後、THF30mlに溶解させ、上
に述べた沈澱精製操作を繰り返すことにより所望の樹脂
6.74gを得た。回収したポリマーをGPC分析したと
ころ、Mw(重量平均分子量)が7300、分散度 (Mw/Mn)
が2.06であった。1H-NMR (DMSO-d6中)スペクトルでは
1.0 - 3.4(ブロード)、1.5、1.9、2.2、2.8、3.7、4.2
、4.6 ppmにシグナルが観測された。
にモノマー[1-1](アクリレート)1.71g(7.3 mmol
e)、モノマー[1-5]2.12g(14.5mmole)、モノマー[2-
2](アクリレート)4.47g(16.9mmole)、モノマー[3-
27]1.19g(12.1mmole)、モノマー[3-28]0.45g(4.8
mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-601)を1.00
g入れ、酢酸n−ブチル10gに溶解させた。続いてフラ
スコ内を窒素置換した後、反応系の温度を70℃に保ち窒
素雰囲気下、6時間攪拌した。反応液をヘキサンとイソ
プロピルアルコール1:1混合液500mlに落とし、生じ
た沈殿物を濾別することで精製を行なった。回収した沈
殿を減圧乾燥後、酢酸n−ブチル30mlに溶解させ、上に
述べた沈澱精製操作を繰り返すことにより所望の樹脂
5.78gを得た。回収したポリマーをGPC分析したとこ
ろ、Mw(重量平均分子量)が5900、分散度 (Mw/Mn) が
2.00であった。1H-NMR (DMSO-d6中)スペクトルでは1.0
- 3.4(ブロード)、1.5、1.9、2.2、2.8、3.7、4.2 、
4.6 ppmにシグナルが観測された。
にモノマー[1-1](アクリレート)5.45g(23.1mmol
e)、モノマー[2-2](アクリレート)3.66g(13.9mmol
e)、モノマー[3-27]0.45g(4.6mmole)、モノマー[3-
28]0.43g(4.6 mmole)、および開始剤(和光純薬工業
製V-601)を1.00g入れ、γ−ブチロラクトン10gに溶解
させた。続いてフラスコ内を窒素置換した後、反応系の
温度を70℃に保ち窒素雰囲気下、6時間攪拌した。反応
液をヘキサンとイソプロピルアルコール1:1混合液50
0mlに落とし、生じた沈殿物を濾別することで精製を行
なった。回収した沈殿を減圧乾燥後、THF30mlに溶解
させ、上に述べた沈澱精製操作を繰り返すことにより所
望の樹脂 5.78gを得た。回収したポリマーをGPC分
析したところ、Mw(重量平均分子量)が5900、分散度
(Mw/Mn) が2.00であった。1H-NMR (DMSO-d6中)スペク
トルでは1.0 - 3.4(ブロード)、1.5、1.9、2.2、2.8、
3.7、4.2 、4.6 ppmにシグナルが観測された。
にモノマー[1-5] 2.96g(19.7mmole)、モノマー[2-34]
1.27g(6.5mmole)、モノマー[2-1](メタクリレー
ト) 3.47g(13.1mmole)、モノマー[3-27] 2.57g(2
6.3 mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-601)を
1.03g入れ、酢酸n−ブチル10gに溶解させた。続いて
フラスコ内を窒素置換した後、反応系の温度を70℃に保
ち窒素雰囲気下、6時間攪拌した。反応液をヘキサンと
イソプロピルアルコール1:1混合液500mlに落とし、
生じた沈殿物を濾別することで精製を行なった。回収し
た沈殿を減圧乾燥後、酢酸n−ブチル30mlに溶解させ、
上に述べた沈澱精製操作を繰り返すことにより所望の樹
脂 6.25gを得た。回収したポリマーをGPC分析した
ところ、Mw(重量平均分子量)が8900、分散度 (Mw/Mn)
が2.44であった。1H-NMR (DMSO-d6中)スペクトルでは
1.0 - 3.4(ブロード)、0.8、1.5、1.9、2.2、2.8、3.
7、4.2 、4.6 ppmにシグナルが観測された。
にモノマー[1-1](アクリレート)2.61g(11.0 mmol
e)、モノマー[1-5] 1.24g(8.3mmole)、モノマー[2-
34]1.61g(8.3 mmole)、モノマー[2-2](メタクリレー
ト)3.07g(11.0 mmole)、モノマー[3-27]1.62g(1
6.6 mmole)、および開始剤(和光純薬工業製V-601)を
1.03g入れ、γ−ブチロラクトン10gに溶解させた。続
いてフラスコ内を窒素置換した後、反応系の温度を70℃
に保ち窒素雰囲気下、6時間攪拌した。反応液をヘキサ
ンとイソプロピルアルコール1:1混合液500mlに落と
し、生じた沈殿物を濾別することで精製を行なった。回
収した沈殿を減圧乾燥後、THF30mlに溶解させ、上に
述べた沈澱精製操作を繰り返すことにより所望の樹脂6.
71gを得た。回収したポリマーをGPC分析したとこ
ろ、Mw(重量平均分子量)が7400、分散度 (Mw/Mn) が
2.32であった。1H-NMR (DMSO-d6中)スペクトルでは0.6
- 3.4(ブロード)、0.8、1.5、1.9、2.2、2.8、3.7、
4.2 、4.6 ppmにシグナルが観測された。
にモノマー[1-1](メタクリレート)5.77g(23.1mmol
e)、モノマー[2-2](アクリレート)3.66g(13.9mmol
e)、モノマー[3-27]0.45g(4.6mmole)、モノマー[3-
28]0.43g(4.6mmole)、および開始剤(和光純薬工業
製V-601)を1.05g入れ、γ−ブチロラクトン10gに溶解
させた。続いてフラスコ内を窒素置換した後、反応系の
温度を70℃に保ち窒素雰囲気下、6時間攪拌した。反応
液をヘキサンとイソプロピルアルコール1:1混合液50
0mlに落とし、生じた沈殿物を濾別することで精製を行
なった。回収した沈殿を減圧乾燥後、THF30mlに溶解
させ、上に述べた沈澱精製操作を繰り返すことにより所
望の樹脂 5.78gを得た。回収したポリマーをGPC分
析したところ、Mw(重量平均分子量)が7900、分散度
(Mw/Mn) が2.18であった。1H-NMR (DMSO-d6中)スペク
トルでは0.6 - 3.4(ブロード)、0.8、1.5、1.9、2.2、
2.8、3.7、4.2 、4.6 ppmにシグナルが観測された。
スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート10重量部
とを溶媒である乳酸エチルと混合し、ポリマー濃度17
重量%のフォトレジスト用樹脂組成物を調製した。この
フォトレジスト用樹脂組成物をシリコンウエハーにスピ
ンコーティング法により塗布し、厚み1.0μmの感光
層を形成した。ホットプレート上で温度100℃で15
0秒間プリベークした後、波長247nmのKrFエキ
シマレーザーを用い、マスクを介して、照射量30mJ
/cm2で露光した後、100℃の温度で60秒間ポス
トベークした。次いで、0.3Mのテトラメチルアンモ
ニウムヒドロキシド水溶液により60秒間現像し、純水
でリンスしたところ、何れの場合も、0.25μmのラ
イン・アンド・スペースパターンが得られた。
Claims (7)
- 【請求項1】 下記式(Ia)及び(Ib) 【化1】 (式中、R1、Ra、Rb、Rc、Rd、Re、Rf及びR
gは、同一又は異なって、水素原子又はメチル基を示
し、X1、X2及びX3は−CH2−又は−CO−O−を示
す。X1、X2及びX3のうち少なくとも1つは−CO−
O−である。m、p及びqはそれぞれ0〜2の整数を示
す)で表されるモノマー単位から選択された少なくとも
1種のモノマー単位を含むフォトレジスト用高分子化合
物。 - 【請求項2】 式(Ia)及び(Ib)で表されるモノマー
単位から選択された少なくとも1種のモノマー単位と、
下記式(IIa)〜(IIg) 【化2】 (式中、R1は水素原子又はメチル基を示し、R2及びR
3は、同一又は異なって、炭素数1〜8の炭化水素基を
示し、R4、R5及びR6は、同一又は異なって、水素原
子、ヒドロキシル基又はメチル基を示す。R7及びR
8は、同一又は異なって、水素原子、ヒドロキシル基又
は−COOR9基を示し、R9はt−ブチル基、2−テト
ラヒドロフラニル基、2−テトラヒドロピラニル基又は
2−オキセパニル基を示す。R10及びR11は、同一又は
異なって、水素原子、ヒドロキシル基又はオキソ基を示
す。R12は、式中に示される酸素原子との結合部位に第
3級炭素原子を有する炭化水素基を示す。R13、R14及
びR15は、同一又は異なって、水素原子又はメチル基を
示す。R16はt−ブチル基、2−テトラヒドロフラニル
基、2−テトラヒドロピラニル基又は2−オキセパニル
基を示す。nは1〜3の整数を示す)から選択された少
なくとも1種のモノマー単位とを含む請求項1記載のフ
ォトレジスト用高分子化合物。 - 【請求項3】 さらに、下記式(IIIa)〜(IIIg) 【化3】 (式中、R1は水素原子又はメチル基を示し、R17及び
R18は、同一又は異なって、水素原子、ヒドロキシル基
又はカルボキシル基を示し、R19はヒドロキシル基、オ
キソ基又はカルボキシル基を示す。R20、R21、R22、
R23及びR24は、同一又は異なって、水素原子又はメチ
ル基を示す。R25は、同一又は異なって、水素原子又は
メチル基を示す。R26はトリシクロ[5.2.1.0
2,6]デシルメチル基、テトラシクロ[4.4.0.1
2,5.17,10]ドデシルメチル基、ノルボルニル基、イ
ソボルニル基又は2−ノルボルニルメチル基を示し、R
27はR 26の置換基であり、水素原子、ヒドロキシル基、
ヒドロキシメチル基、カルボキシル基又は−COOR28
基を示し、R28はt−ブチル基、2−テトラヒドロフラ
ニル基、2−テトラヒドロピラニル基又は2−オキセパ
ニル基を示す。R29は水素原子又はヒドロキシル基を示
す)で表されるモノマー単位から選択された少なくとも
1種のモノマー単位を含む請求項1又は2記載のフォト
レジスト用高分子化合物。 - 【請求項4】 Fedorsの方法による溶解度パラメ
ーターの値が9.5(cal/cm3)1/2〜12(ca
l/cm3)1/2の範囲であることを特徴とするフォトレ
ジスト用高分子化合物。 - 【請求項5】 Fedorsの方法による溶解度パラメ
ーターの値が9.5(cal/cm3)1/2〜12(ca
l/cm3)1/2の範囲である請求項1〜3の何れかの項
に記載のフォトレジスト用高分子化合物。 - 【請求項6】 下記式(IV) 【化4】 (式中、R1は水素原子又はメチル基、R2及びR3は、
同一又は異なって、炭素数1〜8の炭化水素基、R5a及
びR29は、同一又は異なって、水素原子又はヒドロキシ
ル基を示す。r、s、t、u、v、wは各モノマー単位
のポリマーにおけるモル分率を示し、それぞれ0以上
0.9以下の実数であり、これらの総計は0.9〜1.
0の範囲にある。t及びvの少なくとも一方は正の数、
s及びwの少なくとも一方は正の数であり、r+s+t
は0.7×u〜1.3×uの範囲にある。また、r+s
+t+u>0で且つv+w>0の場合、r+s+t+u
>v+wである。式中に示されるモノマー単位以外のモ
ノマー単位をモル分率で最大0.1含んでいてもよい)
で表される共重合構造を有する請求項1〜5の何れかの
項に記載のフォトレジスト用高分子化合物。 - 【請求項7】 請求項1〜6の何れかの項に記載のフォ
トレジスト用高分子化合物と光酸発生剤を少なくとも含
むフォトレジスト用樹脂組成物。
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