JP2001237404A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 半導体基板と、前記半導体基板内に形成された複数の受光部と、前記半導体基板の上方に形成され、互いに積層された複数の遮光層と、前記遮光層同士の間に形成された層間絶縁膜とを含み、前記遮光層が、前記受光部に対応させて形成された複数の開口部を有する増幅型固体撮像装置であって、前記複数の遮光層のうち少なくとも前記半導体基板から最も離れた最上層の遮光層において、前記開口部の中心と、これに対応する受光部の中心とのずれが、撮像領域の中心部から周辺部に向かうに従って大きくなるように、前記開口部が形成されていることを特徴とする増幅型固体撮像装置。
2. 前記複数の遮光層において、前記開口部の中心と、これに対応する受光部の中心とのずれが、下層から上層に向かうに従って大きくなる請求項１に記載の増幅型固体撮像装置。
3. 増幅型固体撮像装置への入射光が発散または収束する場合、前記開口部の中心が、これに対応する受光部の中心に対して、前記入射光の光路に応じた方向にずれている請求項１または２に記載の増幅型固体撮像装置。
4. 更に、前記遮光層の上方に前記受光部の各々に対応させて形成された複数のマイクロレンズを含み、前記マイクロレンズの中心と、これに対応する受光部の中心とのずれが、撮像領域の中心部から周辺部に向かうに従って大きくなり、且つ、前記最上層の遮光層における前記開口部の中心と、これに対応する受光部の中心とのずれよりも大きくなるように、前記マイクロレンズが形成されている請求項１〜３のいずれかに記載の増幅型固体撮像装置。
5. 増幅型固体撮像装置への入射光が発散または収束する場合、前記マイクロレンズの中心が、これに対応する受光部の中心に対して、前記入射光の光路に応じた方向にずれている請求項４に記載の増幅型固体撮像装置。
6. 前記複数の遮光層のそれぞれにおける前記開口部の中心と、該開口部に対応する前記受光部の中心とのずれ量は、前記受光部と各前記遮光層との距離に比例することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の増幅型固体撮像装置。
7. 半導体基板と、前記半導体基板内に形成された複数の受光部と、前記半導体基板の上方に前記受光部に対応させて形成された複数の開口部を有する遮光層と、前記遮光層の上方に前記受光部の各々に対応させて形成された複数のマイクロレンズを備えた増幅型固体撮像装置であって、
   前記マイクロレンズおよび前記開口部の中心と、これに対応する受光部の中心とのずれが、撮像領域の中心部から周辺部に向かうに従って大きくなっており、
   前記周辺部において、前記開口部の中心と該開口部に対応する受光部の中心とのずれよりも、前記マイクロレンズと該マイクロレンズに対応する受光部の中心とのずれの方が大きいことを特徴とする固体撮像装置。