JP2006237315A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】遮光層兼配線層を、画素アレイ内で画素中心に対してその中心位置が変化する第二の金属層106Aと、画素中心に対してその中心位置が変化しない第二の金属層106Bとが一体的に結合したパターンとすることにより、遮光層兼配線層と下層配線との電気的接続を確実にでき、高画質かつ高信頼性の固体撮像装置を得ることができる。
【選択図】図1
Description
本発明の実施の形態1の固体撮像装置について述べる。
d=W+c−(g/2) (式1)
と表される。
図3は本発明の実施の形態2における画素アレイの平面模式図を示す。各画素でのデバイス構造は図1に示した構造と同様であり、また、回路構成は図9に示した構成と同様である。
図5は本発明の実施の形態3における固体撮像装置の構造模式図であり、回路構成は図9に示したのと同様である。
d’=w+c’−(g/2)+α (式2)
と表される。
図7に本発明の実施の形態4における固体撮像装置の平面模式図を示す。この撮像装置の断面構造および回路構成は実施の形態1〜3と同様である。
12−1−1〜12−3−3 フォトダイオード
13−1−1〜13−3−3 電荷転送トランジスタ
14−1−1〜14−3−3 リセットトランジスタ
15−1−1〜15−3−3 増幅トランジスタ
21 垂直シフトレジスタ
22 水平シフトレジスタ
23−1〜23−3 リセット配線
24−1〜24−3 水平画素選択配線
25−1〜25−3 電流安定トランジスタ
26−1〜26−3 垂直信号配線
28−1〜28−3 電圧入力トランジスタ
101 半導体基板
102 第一の絶縁膜
103 第一の金属層
104 金属埋め込み層
105 第二の絶縁膜
106A、106B 第二の金属層
107 カラーフィルター層
108 第三の絶縁膜
109 集光レンズ
201 画素アレイ
202 金属層アレイ
203 フィルターアレイ
204 集光レンズ・アレイ
Claims (15)
- 半導体基板に、少なくとも光電変換部と信号検出部を有する画素が2次元的に配置された画素アレイと、
前記画素毎に設けられ、少なくとも前記光電変換部の上部に開口部を有する遮光部が2次元的に配置された遮光アレイを備え、
前記遮光部は、複数のパターンが一体的に結合して構成され、
前記複数のパターンは、
前記画素の中心に対する中心位置が一定である第1のパターンと、
前記画素の中心に対する中心位置が前記画素アレイ内で変化する第2のパターンと、を少なくとも含むことを特徴とする固体撮像装置。 - 半導体基板に、少なくとも光電変換部と信号検出部を有する画素が2次元的に配置された画素アレイと、
前記画素毎に設けられ、少なくとも前記光電変換部の上部に開口部を有する遮光部が2次元的に配置された遮光アレイを備え、
前記遮光部は、複数のパターンが一体的に結合して構成され、
前記複数のパターンは、
前記画素の中心に対する中心位置が一定である第1のパターンと、
前記画素の中心に対する中心位置が前記画素アレイ内で変化する第2のパターンと、を少なくとも含み、
前記画素アレイが複数の領域に分割されており、
前記第1のパターンの配置ピッチが、各領域毎に異なることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記画素アレイ内において、
前記第1のパターンは、一定のピッチで配置されていることを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記第1のパターンは、前記画素の配置ピッチと同じピッチで配置されていることを特徴とする請求項3記載の固体撮像装置。
- 前記第1のパターンの中心位置と前記第2のパターンの中心位置との距離が、前記画素アレイの中心から周辺にかけて連続的あるいは階段的に変化することを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 前記画素アレイ内において、
前記第1のパターンおよび前記第2のパターンの幅は、それぞれ一定であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の固体撮像装置。 - 前記画素アレイ内において、
前記第1のパターンは、その幅が変化することを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の固体撮像装置。 - 前記画素アレイの中心領域において、
前記第1のパターンの幅は、前記第2のパターンの幅と等しいことを特徴とする請求項7記載の固体撮像装置。 - 前記画素アレイは縦方向と横方向とで外周の1辺の長さが異なり、
前記第2のパターンにおいて、前記縦方向または前記横方向のうち、前記外周の1辺が長い方向に延びる部分にのみ、前記第1のパターンが結合していることを特徴とする請求項1ないし8のいずれかに記載の固体撮像装置。 - 前記画素アレイは縦方向と横方向とで画素数が異なることを特徴とする請求項9記載の固体撮像装置。
- 前記第2のパターンは、前記開口部を有することを特徴とする請求項1ないし10のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 前記遮光部は配線を兼ねることを特徴とする請求項1ないし11のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 前記遮光部と前記光電変換部との間に導電層が設けられ、前記導電層と前記遮光部とが電気的に接続されていることを特徴とする請求項12記載の固体撮像装置。
- 前記導電層と前記第1のパターンとが電気的に接続されていることを特徴とする請求項13記載の固体撮像装置。
- 前記導電層の配置ピッチと、前記第1のパターンとの配置ピッチが同じであることを特徴とする請求項14記載の固体撮像装置。
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