JP2001208987A - 幅可変光学スリット機構 - Google Patents
幅可変光学スリット機構Info
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
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-
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 広い温度範囲で高精度にスリット幅を制御す
ることができる幅可変光学スリット機構を提供する。 【解決手段】 一対の金属製キャリッジ３２が絶縁材よ
りなる転動体を介して金属製ガイドレール３３に移動自
在に搭載されてなるリニアガイド３１の両キャリッジ３
２に金属製スリット４２と金属製アーム３８をそれぞれ
取り付け、アーム３８間に両キャリッジ３２を互いに近
接する方向に付勢するスプリング４１を電気的に絶縁し
て架設し、スプリング４１の弾性力に抗して両キャリッ
ジ３２を互いに離間する方向に押圧駆動する一対の可動
体５１をアーム３８の互いの内側面と電気的に絶縁した
状態で当接する。従来、絶縁のために必要とした樹脂製
スリットホルダは不要となり、温度特性や剛性の点で劣
る樹脂材を用いなくて済む。
ることができる幅可変光学スリット機構を提供する。 【解決手段】 一対の金属製キャリッジ３２が絶縁材よ
りなる転動体を介して金属製ガイドレール３３に移動自
在に搭載されてなるリニアガイド３１の両キャリッジ３
２に金属製スリット４２と金属製アーム３８をそれぞれ
取り付け、アーム３８間に両キャリッジ３２を互いに近
接する方向に付勢するスプリング４１を電気的に絶縁し
て架設し、スプリング４１の弾性力に抗して両キャリッ
ジ３２を互いに離間する方向に押圧駆動する一対の可動
体５１をアーム３８の互いの内側面と電気的に絶縁した
状態で当接する。従来、絶縁のために必要とした樹脂製
スリットホルダは不要となり、温度特性や剛性の点で劣
る樹脂材を用いなくて済む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は例えば光スペクト
ラムアナライザ等の光学装置における分光器に使用され
る幅可変光学スリット機構に関する。
ラムアナライザ等の光学装置における分光器に使用され
る幅可変光学スリット機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は従来提案されているこの種の幅可
変光学スリット機構の構成を示したものである。図６に
おいて、１１はスリットであり、一対のスリット１１，
１１間に光の通過するスリット幅が形成される。これら
スリット１１のスリット幅を規定する端縁は共に断面ナ
イフエッジ状に構成されている。なお、図６は一対のス
リット１１が互いに接触し、スリット幅が零の状態を示
している。
変光学スリット機構の構成を示したものである。図６に
おいて、１１はスリットであり、一対のスリット１１，
１１間に光の通過するスリット幅が形成される。これら
スリット１１のスリット幅を規定する端縁は共に断面ナ
イフエッジ状に構成されている。なお、図６は一対のス
リット１１が互いに接触し、スリット幅が零の状態を示
している。
【０００３】スリット１１はそれぞれスリットホルダ１
２の一端側の下面に取り付けられており、これらスリッ
トホルダ１２の他端側はリニアガイド１３の一対のキャ
リッジ１４上にそれぞれ取り付けられている。リニアガ
イド１３は一対のキャリッジ１４が転動体（図では隠れ
て見えない）を介してガイドレール１５に搭載されてな
るもので、両キャリッジ１４はガイドレール１５に沿っ
て移動自在とされている。これらキャリッジ１４上には
それぞれ係止ネジ１６が２本ずつ取り付けられており、
両キャリッジ１４の対向する係止ネジ１６間にスプリン
グ１７がそれぞれ架設されている。両キャリッジ１４は
２本のスプリング１７によって互いに近接する方向に付
勢されている。
２の一端側の下面に取り付けられており、これらスリッ
トホルダ１２の他端側はリニアガイド１３の一対のキャ
リッジ１４上にそれぞれ取り付けられている。リニアガ
イド１３は一対のキャリッジ１４が転動体（図では隠れ
て見えない）を介してガイドレール１５に搭載されてな
るもので、両キャリッジ１４はガイドレール１５に沿っ
て移動自在とされている。これらキャリッジ１４上には
それぞれ係止ネジ１６が２本ずつ取り付けられており、
両キャリッジ１４の対向する係止ネジ１６間にスプリン
グ１７がそれぞれ架設されている。両キャリッジ１４は
２本のスプリング１７によって互いに近接する方向に付
勢されている。
【０００４】キャリッジ１４上においてスリットホルダ
１２の上面にはブロック１８がそれぞれ取り付けられて
おり、両キャリッジ１４に取り付けられたブロック１８
の互いの内側面にはそれぞれ送りナット１９に一体に突
出形成された押圧部１９ａが当接されている。これら送
りナット１９は１本の開閉ネジ２１に螺合されており、
一方は右ネジとされ、他方は左ネジとされている。従っ
て、開閉ネジ２１の回転に伴い、互いに逆方向に移動す
るものとなっている。なお、送りナット１９はそれぞれ
その一面がスライドガイド２２と接触されており、これ
により開閉ネジ２１の軸心回りの回転が規制されて直線
移動するものとなっている。
１２の上面にはブロック１８がそれぞれ取り付けられて
おり、両キャリッジ１４に取り付けられたブロック１８
の互いの内側面にはそれぞれ送りナット１９に一体に突
出形成された押圧部１９ａが当接されている。これら送
りナット１９は１本の開閉ネジ２１に螺合されており、
一方は右ネジとされ、他方は左ネジとされている。従っ
て、開閉ネジ２１の回転に伴い、互いに逆方向に移動す
るものとなっている。なお、送りナット１９はそれぞれ
その一面がスライドガイド２２と接触されており、これ
により開閉ネジ２１の軸心回りの回転が規制されて直線
移動するものとなっている。
【０００５】開閉ネジ２１はフレーム２３に取り付けら
れた一対のベアリング２４に軸支されており、そのフレ
ーム２３から外部に突出された一端はカップリング２５
を介してパルスモータ２６に結合されている。なお、一
対のスリット１１はフレーム２３の前方に突出した状態
となっている。スリット幅の設定（調整）はパルスモー
タ２６を駆動することによって行われる。即ち、図６に
示したスリット幅が零の状態から両スリット１１を離間
させて所定のスリット幅を設定する場合は、パルスモー
タ２６を駆動し、送りナット１９が互いに離間する方向
に開閉ネジ２１を回転させる。一対のブロック１８はそ
れぞれ送りナット１９の押圧部１９ａによって押圧さ
れ、これによりスプリング１７の弾性力に抗してキャリ
ッジ１４が互いに離間する方向に駆動され、両スリット
１１間に所定のスリット幅が形成される。
れた一対のベアリング２４に軸支されており、そのフレ
ーム２３から外部に突出された一端はカップリング２５
を介してパルスモータ２６に結合されている。なお、一
対のスリット１１はフレーム２３の前方に突出した状態
となっている。スリット幅の設定（調整）はパルスモー
タ２６を駆動することによって行われる。即ち、図６に
示したスリット幅が零の状態から両スリット１１を離間
させて所定のスリット幅を設定する場合は、パルスモー
タ２６を駆動し、送りナット１９が互いに離間する方向
に開閉ネジ２１を回転させる。一対のブロック１８はそ
れぞれ送りナット１９の押圧部１９ａによって押圧さ
れ、これによりスプリング１７の弾性力に抗してキャリ
ッジ１４が互いに離間する方向に駆動され、両スリット
１１間に所定のスリット幅が形成される。
【０００６】なお、スプリング１７は常に、つまり両ス
リット１１が接触し、スリット幅が零の状態であっても
キャリッジ１４を互いに近接する方向に付勢するものと
なっており、よって両送りナット１９の押圧部１９ａは
常にブロック１８と圧接した状態となっている。一方、
この種の幅可変光学スリット機構においてはスリット幅
が零の時に原点信号を発生するように構成され、この例
ではスリット１１自体が原点信号を発生する電極を兼ね
るものとなっている。即ち、スリット１１は金属製とさ
れて導電体とされ、両スリット１１に端子２７がそれぞ
れ接続され、それら端子２７がリード線を介して信号電
源２８に接続されている。
リット１１が接触し、スリット幅が零の状態であっても
キャリッジ１４を互いに近接する方向に付勢するものと
なっており、よって両送りナット１９の押圧部１９ａは
常にブロック１８と圧接した状態となっている。一方、
この種の幅可変光学スリット機構においてはスリット幅
が零の時に原点信号を発生するように構成され、この例
ではスリット１１自体が原点信号を発生する電極を兼ね
るものとなっている。即ち、スリット１１は金属製とさ
れて導電体とされ、両スリット１１に端子２７がそれぞ
れ接続され、それら端子２７がリード線を介して信号電
源２８に接続されている。
【０００７】スリット１１は上述したように原点信号発
生電極を兼ねるものであるため、一対のスリット１１が
例えばリニアガイド１３や開閉ネジ２１，送りナット１
９等の駆動機構を介して導通することのないよう、電気
的に他と絶縁しておく必要があり、よってこの例ではス
リットホルダ１２が樹脂製とされて絶縁体とされてい
る。
生電極を兼ねるものであるため、一対のスリット１１が
例えばリニアガイド１３や開閉ネジ２１，送りナット１
９等の駆動機構を介して導通することのないよう、電気
的に他と絶縁しておく必要があり、よってこの例ではス
リットホルダ１２が樹脂製とされて絶縁体とされてい
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の幅可変光学スリット機構においては、原点信号発生電
極を兼ねるスリット１１を他から絶縁するために、樹脂
製のスリットホルダ１２をリニアガイド１３のキャリッ
ジ１４に片持ち状に取り付け、そのスリットホルダ１２
のキャリッジ１４から突出している部分にスリット１１
を取り付けるといった構成を採用している。しかしなが
ら、このような樹脂製のスリットホルダ１２は温度特性
が良好とは言えず、また剛性も不充分であるため、スリ
ット幅の温度依存性が大きくなると共に、機械的安定性
においても問題があり、よって広い温度範囲で高精度に
スリット幅を制御する上で、さらには信頼性の点で、こ
のような樹脂製スリットホルダ１２の使用は問題がある
ものとなっていた。
の幅可変光学スリット機構においては、原点信号発生電
極を兼ねるスリット１１を他から絶縁するために、樹脂
製のスリットホルダ１２をリニアガイド１３のキャリッ
ジ１４に片持ち状に取り付け、そのスリットホルダ１２
のキャリッジ１４から突出している部分にスリット１１
を取り付けるといった構成を採用している。しかしなが
ら、このような樹脂製のスリットホルダ１２は温度特性
が良好とは言えず、また剛性も不充分であるため、スリ
ット幅の温度依存性が大きくなると共に、機械的安定性
においても問題があり、よって広い温度範囲で高精度に
スリット幅を制御する上で、さらには信頼性の点で、こ
のような樹脂製スリットホルダ１２の使用は問題がある
ものとなっていた。
【０００９】この発明の目的はこの問題に鑑み、信頼性
に優れ、かつ温度依存性が小さく、広い温度範囲で高精
度にスリット幅を制御することができる幅可変光学スリ
ット機構を提供することにある。
に優れ、かつ温度依存性が小さく、広い温度範囲で高精
度にスリット幅を制御することができる幅可変光学スリ
ット機構を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明によれ
ば、一対のキャリッジが転動体を介してガイドレールに
移動自在に搭載されてなるリニアガイドと、一対のキャ
リッジにそれぞれ取り付けられたスリットと、一対のキ
ャリッジにそれぞれ取り付けられたアームと、それらア
ーム間に電気的に絶縁されて架設され、一対のキャリッ
ジを互いに近接する方向に付勢するスプリングと、アー
ムの互いの内側面と電気的に絶縁された状態で当接さ
れ、スプリングの弾性力に抗して一対のキャリッジを互
いに離間する方向に押圧駆動する一対の可動体とを具備
するものとされ、ガイドレール、キャリッジ、スリット
及びアームがそれぞれ金属製とされ、転動体が絶縁材よ
りなるものとされる。
ば、一対のキャリッジが転動体を介してガイドレールに
移動自在に搭載されてなるリニアガイドと、一対のキャ
リッジにそれぞれ取り付けられたスリットと、一対のキ
ャリッジにそれぞれ取り付けられたアームと、それらア
ーム間に電気的に絶縁されて架設され、一対のキャリッ
ジを互いに近接する方向に付勢するスプリングと、アー
ムの互いの内側面と電気的に絶縁された状態で当接さ
れ、スプリングの弾性力に抗して一対のキャリッジを互
いに離間する方向に押圧駆動する一対の可動体とを具備
するものとされ、ガイドレール、キャリッジ、スリット
及びアームがそれぞれ金属製とされ、転動体が絶縁材よ
りなるものとされる。
【００１１】請求項２の発明によれば、一対のキャリッ
ジが転動体を介してガイドレールに移動自在に搭載され
てなるリニアガイドと、一対のキャリッジにそれぞれ取
り付けられたスリットと、一対のキャリッジにそれぞれ
取り付けられたアームと、それらアーム間に電気的に絶
縁されて架設され、一対のキャリッジを互いに近接する
方向に付勢するスプリングと、アームの互いの内側面と
電気的に絶縁された状態で当接され、スプリングの弾性
力に抗して一対のキャリッジを互いに離間する方向に押
圧駆動する一対の可動体とを具備するものとされ、転動
体、キャリッジ、スリット及びアームがそれぞれ金属製
とされ、ガイドレールが絶縁材よりなるものとされる。
ジが転動体を介してガイドレールに移動自在に搭載され
てなるリニアガイドと、一対のキャリッジにそれぞれ取
り付けられたスリットと、一対のキャリッジにそれぞれ
取り付けられたアームと、それらアーム間に電気的に絶
縁されて架設され、一対のキャリッジを互いに近接する
方向に付勢するスプリングと、アームの互いの内側面と
電気的に絶縁された状態で当接され、スプリングの弾性
力に抗して一対のキャリッジを互いに離間する方向に押
圧駆動する一対の可動体とを具備するものとされ、転動
体、キャリッジ、スリット及びアームがそれぞれ金属製
とされ、ガイドレールが絶縁材よりなるものとされる。
【００１２】請求項３の発明では請求項１乃至２のいず
れかの発明において、一対のスリットに原点信号発生電
極がそれぞれ取り付けられているものとされる。請求項
４の発明では請求項１乃至３のいずれかの発明におい
て、一対の可動体は開閉ネジに螺合された一対の送りナ
ットにそれぞれ取り付けられ、開閉ネジを回転駆動する
ことにより可動体が直線移動する構造とされる。
れかの発明において、一対のスリットに原点信号発生電
極がそれぞれ取り付けられているものとされる。請求項
４の発明では請求項１乃至３のいずれかの発明におい
て、一対の可動体は開閉ネジに螺合された一対の送りナ
ットにそれぞれ取り付けられ、開閉ネジを回転駆動する
ことにより可動体が直線移動する構造とされる。
【００１３】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を図面を参
照して実施例により説明する。図１はこの発明による幅
可変光学スリット機構の一実施例を示したものであり、
図２及び３はそれをスリット部と駆動部とに分けて示し
たものである。また、図４はスリット部を一部分解して
示したものである。まず、図４を参照してスリット部の
構成について説明する。リニアガイド３１は断面コ字状
をなす一対のキャリッジ３２がガイドレール３３上に移
動自在に搭載されてなるもので、図４では隠れて見えな
いがキャリッジ３２は転動体を介してガイドレール３３
に搭載されている。図５は断面図によってその構造を示
したものであり、ガイドレール３３の両側面にその伸長
方向に沿ってＶ溝３４が形成され、これらＶ溝３４と対
向するＶ溝３５がキャリッジ３２の内側面にそれぞれ形
成され、互いに対向するＶ溝３４，３５間に転動体３６
が介在されたものとなっている。
照して実施例により説明する。図１はこの発明による幅
可変光学スリット機構の一実施例を示したものであり、
図２及び３はそれをスリット部と駆動部とに分けて示し
たものである。また、図４はスリット部を一部分解して
示したものである。まず、図４を参照してスリット部の
構成について説明する。リニアガイド３１は断面コ字状
をなす一対のキャリッジ３２がガイドレール３３上に移
動自在に搭載されてなるもので、図４では隠れて見えな
いがキャリッジ３２は転動体を介してガイドレール３３
に搭載されている。図５は断面図によってその構造を示
したものであり、ガイドレール３３の両側面にその伸長
方向に沿ってＶ溝３４が形成され、これらＶ溝３４と対
向するＶ溝３５がキャリッジ３２の内側面にそれぞれ形
成され、互いに対向するＶ溝３４，３５間に転動体３６
が介在されたものとなっている。
【００１４】転動体３６は微小な球体であって、キャリ
ッジ３２のＶ溝３５に両端が抜け止めされて所要数配置
された状態となっている。キャリッジ３２は図５に示し
たように転動体３６によって支持され、ガイドレール３
３とは非接触とされている。ガイドレール３３及びキャ
リッジ３２は例えばステンレス等の金属製とされ、一方
転動体３６はこの例ではセラミック等の硬質な絶縁材に
よって構成される。なお、ガイドレール３３は図４に示
したように、ホルダ３７上に設置固定されている。
ッジ３２のＶ溝３５に両端が抜け止めされて所要数配置
された状態となっている。キャリッジ３２は図５に示し
たように転動体３６によって支持され、ガイドレール３
３とは非接触とされている。ガイドレール３３及びキャ
リッジ３２は例えばステンレス等の金属製とされ、一方
転動体３６はこの例ではセラミック等の硬質な絶縁材に
よって構成される。なお、ガイドレール３３は図４に示
したように、ホルダ３７上に設置固定されている。
【００１５】各キャリッジ３２にはＬ字状をなすアーム
３８がネジ止めされて取り付けられる。これらアーム３
８のＬ字の一辺は図に示したようにキャリッジ３２の側
面に沿って下方に突出されている。アーム３８はステン
レス等の金属製とされる。各アーム３８のキャリッジ３
２の側面に位置する部分には絶縁材よりなるフック３９
が取り付けられており、これらフック３９間にスプリン
グ４１が架設される。一方、各キャリッジ３２の上面の
互いの内側部分にはスリット４２がネジ止めされて取り
付けられる。スリット４２はステンレス等の金属製とさ
れて板状とされ、そのキャリッジ３２より側方に突出す
る部分は互いに対向する端縁が断面ナイフエッジ状とさ
れ、これら端縁間にスリット幅を形成するものとなって
いる。
３８がネジ止めされて取り付けられる。これらアーム３
８のＬ字の一辺は図に示したようにキャリッジ３２の側
面に沿って下方に突出されている。アーム３８はステン
レス等の金属製とされる。各アーム３８のキャリッジ３
２の側面に位置する部分には絶縁材よりなるフック３９
が取り付けられており、これらフック３９間にスプリン
グ４１が架設される。一方、各キャリッジ３２の上面の
互いの内側部分にはスリット４２がネジ止めされて取り
付けられる。スリット４２はステンレス等の金属製とさ
れて板状とされ、そのキャリッジ３２より側方に突出す
る部分は互いに対向する端縁が断面ナイフエッジ状とさ
れ、これら端縁間にスリット幅を形成するものとなって
いる。
【００１６】なお、この例ではスリット幅が零の時に原
点信号を発生するための原点信号発生電極４３をスリッ
ト４２とは別に具備するものとなっており、これら電極
４３は図４に示したように互いの対向面の一方が平面と
され、他方がＶ字状の凸面とされている。電極４３は例
えばベリリウム銅等によって形成されて金メッキが施さ
れたものとされ、両スリット４２にそれぞれネジ止めさ
れて取り付けられる。各部が組み立てられることにより
スリット部は図２に示したような外観構成を有するもの
となり、スプリング４１の弾性力により一対のキャリッ
ジ３２は互いに近接する方向に付勢され、これにより両
スリット４２が接触してスリット幅が零となり、かつ両
電極４３が接触した状態となる。
点信号を発生するための原点信号発生電極４３をスリッ
ト４２とは別に具備するものとなっており、これら電極
４３は図４に示したように互いの対向面の一方が平面と
され、他方がＶ字状の凸面とされている。電極４３は例
えばベリリウム銅等によって形成されて金メッキが施さ
れたものとされ、両スリット４２にそれぞれネジ止めさ
れて取り付けられる。各部が組み立てられることにより
スリット部は図２に示したような外観構成を有するもの
となり、スプリング４１の弾性力により一対のキャリッ
ジ３２は互いに近接する方向に付勢され、これにより両
スリット４２が接触してスリット幅が零となり、かつ両
電極４３が接触した状態となる。
【００１７】次に、図３を参照して駆動部の構成につい
て説明する。駆動部は図６に示した従来の幅可変光学ス
リット機構における駆動部と基本的に同様の構成を具備
するものとされ、図６と対応する部分には同一符号を付
し、その詳細な説明を省略する。この例では開閉ネジ２
１に一方は右ネジとされ、他方は左ネジとされて螺合さ
れている一対の送りナット１９にブロック状の可動体５
１がそれぞれネジ止めされて取り付けられる。可動体５
１は例えばステンレス製とされ、その表面には絶縁被膜
が形成されているものとされる。また、開閉ネジ２１も
例えばステンレス製とされ、送りナット１９は例えばリ
ン青銅製とされる。
て説明する。駆動部は図６に示した従来の幅可変光学ス
リット機構における駆動部と基本的に同様の構成を具備
するものとされ、図６と対応する部分には同一符号を付
し、その詳細な説明を省略する。この例では開閉ネジ２
１に一方は右ネジとされ、他方は左ネジとされて螺合さ
れている一対の送りナット１９にブロック状の可動体５
１がそれぞれネジ止めされて取り付けられる。可動体５
１は例えばステンレス製とされ、その表面には絶縁被膜
が形成されているものとされる。また、開閉ネジ２１も
例えばステンレス製とされ、送りナット１９は例えばリ
ン青銅製とされる。
【００１８】スライドガイド２２はベース５２上に搭載
固定されており、これらスライドガイド２２に送りナッ
ト１９はその一面が接触されている。スライドガイド２
２は例えばステンレス製とされる。ベース５２の一端側
にはパルスモータ２６を支持したホルダ５３が固定さ
れ、開閉ネジ２１はカップリング２５を介してパルスモ
ータ２６と結合されている。パルスモータ２６を駆動し
て開閉ネジ２１を回転させると、スライドガイド２２に
よって開閉ネジ２１の軸心回りの回転が規制されている
一対の送りナット１９はスライドガイド２２に沿って互
いに逆方向に直線移動し、これと共に一対の可動体５１
が互いに逆方向に直線移動するものとなっている。
固定されており、これらスライドガイド２２に送りナッ
ト１９はその一面が接触されている。スライドガイド２
２は例えばステンレス製とされる。ベース５２の一端側
にはパルスモータ２６を支持したホルダ５３が固定さ
れ、開閉ネジ２１はカップリング２５を介してパルスモ
ータ２６と結合されている。パルスモータ２６を駆動し
て開閉ネジ２１を回転させると、スライドガイド２２に
よって開閉ネジ２１の軸心回りの回転が規制されている
一対の送りナット１９はスライドガイド２２に沿って互
いに逆方向に直線移動し、これと共に一対の可動体５１
が互いに逆方向に直線移動するものとなっている。
【００１９】スリット部と駆動部とは図１に示したよう
に、一対のアーム３８のキャリッジ３２より下方に位置
する先端部分の互いの内側面に可動体５１がそれぞれ当
接するように配置される。このような配置関係とすべ
く、スリット部のホルダ３７及び駆動部のベース５２は
それぞれ図では省略しているが、装置のフレーム等に取
り付け固定される。なお、原点信号を取り出すための端
子、リード線等の図示は省略している。上記のような構
成とされた幅可変光学スリット機構は、パルスモータ２
６を駆動して一対の可動体５１を互いに離間する方向に
移動させると、これら可動体５１によって一対のアーム
３８が押圧駆動され、スプリング４１の弾性力に抗して
両キャリッジ３２が互いに離間する方向に駆動されて、
両スリット４２間に所定のスリット幅が形成される。
に、一対のアーム３８のキャリッジ３２より下方に位置
する先端部分の互いの内側面に可動体５１がそれぞれ当
接するように配置される。このような配置関係とすべ
く、スリット部のホルダ３７及び駆動部のベース５２は
それぞれ図では省略しているが、装置のフレーム等に取
り付け固定される。なお、原点信号を取り出すための端
子、リード線等の図示は省略している。上記のような構
成とされた幅可変光学スリット機構は、パルスモータ２
６を駆動して一対の可動体５１を互いに離間する方向に
移動させると、これら可動体５１によって一対のアーム
３８が押圧駆動され、スプリング４１の弾性力に抗して
両キャリッジ３２が互いに離間する方向に駆動されて、
両スリット４２間に所定のスリット幅が形成される。
【００２０】一方、この状態からパルスモータ２６を逆
回転させて可動体５１を互いに近接する方向に移動させ
ると、スプリング４１の弾性力により可動体５１の移動
と連動して両キャリッジ３２も移動し、スリット幅が狭
くなる。そして、スリット幅が零となり、両電極４３が
接触すると、その状態を示す原点信号が得られるものと
なっている。この例では、電極４３は上述したように金
属製スリット４２に直接取り付けられ、さらにスリット
４２は金属製キャリッジ３２に直接取り付けられている
が、キャリッジ３２とガイドレール３３間に介在する転
動体３６を絶縁体としているため、両キャリッジ３２が
金属製ガイドレール３３を介して導通することはなく、
つまり電極４３が取り付けられた両スリット４２がリニ
アガイド３１を介して導通しないものとなっている。
回転させて可動体５１を互いに近接する方向に移動させ
ると、スプリング４１の弾性力により可動体５１の移動
と連動して両キャリッジ３２も移動し、スリット幅が狭
くなる。そして、スリット幅が零となり、両電極４３が
接触すると、その状態を示す原点信号が得られるものと
なっている。この例では、電極４３は上述したように金
属製スリット４２に直接取り付けられ、さらにスリット
４２は金属製キャリッジ３２に直接取り付けられている
が、キャリッジ３２とガイドレール３３間に介在する転
動体３６を絶縁体としているため、両キャリッジ３２が
金属製ガイドレール３３を介して導通することはなく、
つまり電極４３が取り付けられた両スリット４２がリニ
アガイド３１を介して導通しないものとなっている。
【００２１】また、金属製アーム３８は両キャリッジ３
２に直接取り付けられ、一対のアーム３８間にスプリン
グ４１が架設されると共に、それらアーム３８と駆動部
の可動体５１が接触するものとなっているが、スプリン
グ４１は絶縁フック３９を介してアーム３８に取り付け
られており、さらに金属製可動体５１は絶縁被膜を有
し、電気的に絶縁された状態でアーム３８と当接されて
いるため、スプリング４１や駆動部を介して両アーム３
８が導通することはなく、つまりスプリング４１や駆動
部を介して両スリット４２が導通しないものとなってい
る。
２に直接取り付けられ、一対のアーム３８間にスプリン
グ４１が架設されると共に、それらアーム３８と駆動部
の可動体５１が接触するものとなっているが、スプリン
グ４１は絶縁フック３９を介してアーム３８に取り付け
られており、さらに金属製可動体５１は絶縁被膜を有
し、電気的に絶縁された状態でアーム３８と当接されて
いるため、スプリング４１や駆動部を介して両アーム３
８が導通することはなく、つまりスプリング４１や駆動
部を介して両スリット４２が導通しないものとなってい
る。
【００２２】なお、この例では原点信号を発生する電極
４３をスリット４２とは別に設けているが、スリット４
２自体が電極を兼ねるようにし、電極４３をなしとして
もよい。また、スリット幅を規定するスリット４２の端
縁がスリット４２の移動方向と直交しているが、スリッ
ト４２の端縁をスリット４２の移動方向に対して所定角
θ，傾斜させるようにしてもよい。上述したような構成
を採用すれば、図６に示した従来の幅可変光学スリット
機構において使用していたスリットホルダ１２は不要と
なり、つまりスリットが電極を兼ねる場合、スリットに
電極が一体に取り付けられている場合、いずれにおいて
も樹脂製のスリットホルダを使用することなく、両電極
間の絶縁を確保することができる。
４３をスリット４２とは別に設けているが、スリット４
２自体が電極を兼ねるようにし、電極４３をなしとして
もよい。また、スリット幅を規定するスリット４２の端
縁がスリット４２の移動方向と直交しているが、スリッ
ト４２の端縁をスリット４２の移動方向に対して所定角
θ，傾斜させるようにしてもよい。上述したような構成
を採用すれば、図６に示した従来の幅可変光学スリット
機構において使用していたスリットホルダ１２は不要と
なり、つまりスリットが電極を兼ねる場合、スリットに
電極が一体に取り付けられている場合、いずれにおいて
も樹脂製のスリットホルダを使用することなく、両電極
間の絶縁を確保することができる。
【００２３】従って、駆動源であるパルスモータ２６か
ら間隔制御される一対のスリット４２に至るまでの駆動
経路において、温度特性や剛性さらには精度の点で劣る
樹脂材を用いることなく、例えば金属製部品によって構
成することでき、よって広い温度範囲で高精度にスリッ
ト幅を制御することが可能となる。なお、上述した例で
は電極４３が取り付けられた両スリット４２のリニアガ
イド３１を介しての導通を防止すべく、転動体３６を絶
縁材よりなるものとしているが、これに替え、ガイドレ
ール３３を例えばセラミック等の硬質な絶縁材によって
構成するようにしても同様の効果を得ることができる。
この場合、転動体３６はこの種のリニアガイドにおいて
一般的に使用されているステンレスや軸受鋼等の金属製
とされる。
ら間隔制御される一対のスリット４２に至るまでの駆動
経路において、温度特性や剛性さらには精度の点で劣る
樹脂材を用いることなく、例えば金属製部品によって構
成することでき、よって広い温度範囲で高精度にスリッ
ト幅を制御することが可能となる。なお、上述した例で
は電極４３が取り付けられた両スリット４２のリニアガ
イド３１を介しての導通を防止すべく、転動体３６を絶
縁材よりなるものとしているが、これに替え、ガイドレ
ール３３を例えばセラミック等の硬質な絶縁材によって
構成するようにしても同様の効果を得ることができる。
この場合、転動体３６はこの種のリニアガイドにおいて
一般的に使用されているステンレスや軸受鋼等の金属製
とされる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
従来、絶縁のために必要とした樹脂製のスリットホルダ
を不要とすることができる。従って、温度特性や剛性、
精度の点で劣る樹脂材を用いることなく、構成すること
ができ、よって広い温度範囲で高精度にスリット幅を制
御することができ、かつ信頼性に優れた幅可変光学スリ
ット機構を得ることができる。また、スリットホルダが
不要となる分、構成の簡易化を図ることができる。
従来、絶縁のために必要とした樹脂製のスリットホルダ
を不要とすることができる。従って、温度特性や剛性、
精度の点で劣る樹脂材を用いることなく、構成すること
ができ、よって広い温度範囲で高精度にスリット幅を制
御することができ、かつ信頼性に優れた幅可変光学スリ
ット機構を得ることができる。また、スリットホルダが
不要となる分、構成の簡易化を図ることができる。
【００２５】なお、この発明による幅可変光学スリット
機構を例えば光スペクトラムアナライザに用いれば、光
スペクトラムアナライザの分解能を広い温度範囲で高精
度に設定することができるものとなる。
機構を例えば光スペクトラムアナライザに用いれば、光
スペクトラムアナライザの分解能を広い温度範囲で高精
度に設定することができるものとなる。
【図１】この発明の一実施例を示す斜視図。
【図２】図１におけるスリット部の斜視図。
【図３】図１における駆動部の斜視図。
【図４】図２の一部分解斜視図。
【図５】図４におけるリニアガイドの断面図。
【図６】従来の幅可変光学スリット機構を説明するため
の図。
の図。
Claims (4)
- 【請求項１】 一対のキャリッジが転動体を介してガイ
ドレールに移動自在に搭載されてなるリニアガイドと、 上記一対のキャリッジにそれぞれ取り付けられたスリッ
トと、 上記一対のキャリッジにそれぞれ取り付けられたアーム
と、 それらアーム間に電気的に絶縁されて架設され、上記一
対のキャリッジを互いに近接する方向に付勢するスプリ
ングと、 上記アームの互いの内側面と電気的に絶縁された状態で
当接され、上記スプリングの弾性力に抗して上記一対の
キャリッジを互いに離間する方向に押圧駆動する一対の
可動体とを具備し、 上記ガイドレール、キャリッジ、スリット及びアームが
それぞれ金属製とされ、 上記転動体が絶縁材よりなることを特徴とする幅可変光
学スリット機構。 - 【請求項２】 一対のキャリッジが転動体を介してガイ
ドレールに移動自在に搭載されてなるリニアガイドと、 上記一対のキャリッジにそれぞれ取り付けられたスリッ
トと、 上記一対のキャリッジにそれぞれ取り付けられたアーム
と、 それらアーム間に電気的に絶縁されて架設され、上記一
対のキャリッジを互いに近接する方向に付勢するスプリ
ングと、 上記アームの互いの内側面と電気的に絶縁された状態で
当接され、上記スプリングの弾性力に抗して上記一対の
キャリッジを互いに離間する方向に押圧駆動する一対の
可動体とを具備し、 上記転動体、キャリッジ、スリット及びアームがそれぞ
れ金属製とされ、 上記ガイドレールが絶縁材よりなることを特徴とする幅
可変光学スリット機構。 - 【請求項３】 請求項１乃至２記載のいずれかの幅可変
光学スリット機構において、 上記一対のスリットに原点信号発生電極がそれぞれ取り
付けられていることを特徴とする幅可変光学スリット機
構。 - 【請求項４】 請求項１乃至３記載のいずれかの幅可変
光学スリット機構において、 上記一対の可動体は開閉ネジに螺合された一対の送りナ
ットにそれぞれ取り付けられ、 上記開閉ネジを回転駆動することにより上記可動体が直
線移動する構造とされていることを特徴とする幅可変光
学スリット機構。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001043011A JP2001208987A (ja) | 2001-02-20 | 2001-02-20 | 幅可変光学スリット機構 |
| US10/470,451 US6956688B2 (en) | 2001-02-20 | 2002-02-19 | Variable width optical slit mechanism |
| JP2002566616A JPWO2002066941A1 (ja) | 2001-02-20 | 2002-02-19 | 幅可変光学スリット機構 |
| PCT/JP2002/001431 WO2002066941A1 (fr) | 2001-02-20 | 2002-02-19 | Mecanisme de fente optique a largeur variable |
| DE10296362T DE10296362B4 (de) | 2001-02-20 | 2002-02-19 | Optischer Mechanismus mit variabler Schlitzbreite |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001043011A JP2001208987A (ja) | 2001-02-20 | 2001-02-20 | 幅可変光学スリット機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001208987A true JP2001208987A (ja) | 2001-08-03 |
Family
ID=18905244
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001043011A Pending JP2001208987A (ja) | 2001-02-20 | 2001-02-20 | 幅可変光学スリット機構 |
| JP2002566616A Pending JPWO2002066941A1 (ja) | 2001-02-20 | 2002-02-19 | 幅可変光学スリット機構 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002566616A Pending JPWO2002066941A1 (ja) | 2001-02-20 | 2002-02-19 | 幅可変光学スリット機構 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6956688B2 (ja) |
| JP (2) | JP2001208987A (ja) |
| DE (1) | DE10296362B4 (ja) |
| WO (1) | WO2002066941A1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007047657A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Mitsutoyo Corp | スリット幅調整装置およびこれを備えた顕微鏡レーザリペア装置 |
| US8680428B2 (en) | 2008-06-19 | 2014-03-25 | Mitutoyo Corporation | Slit width adjusting device and microscope laser processing apparatus |
| KR101379504B1 (ko) | 2012-04-27 | 2014-03-27 | (주)뮤텍코리아 | 레이저 슬릿 제어장치 |
| JP2016078335A (ja) * | 2014-10-17 | 2016-05-16 | 花王株式会社 | スリット形成装置及びシート融着体の製造装置 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002082025A2 (en) * | 2001-04-06 | 2002-10-17 | Renishaw Plc | Optical slit |
| JP4531413B2 (ja) * | 2004-02-10 | 2010-08-25 | 株式会社トプコン | 細隙灯顕微鏡 |
| DE102004008326A1 (de) * | 2004-02-20 | 2005-09-01 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Lichtschutzverschluss und Verfahren zu dessen Steuerung |
| FR2926946B1 (fr) | 2008-01-28 | 2016-04-08 | Jaeger Controls | Appareil de cuisson par induction. |
| US20130101788A1 (en) | 2011-10-21 | 2013-04-25 | Raytheon Company | Optical air slit and method for manufacturing optical air slits |
| US20130105704A1 (en) * | 2011-11-02 | 2013-05-02 | Alex Deyhim | White beam slit |
| CN106644082B (zh) * | 2016-12-28 | 2018-03-23 | 江苏师范大学 | 凸轮、狭缝装置、微型拉曼散射光谱装置 |
| US10739194B2 (en) * | 2018-01-15 | 2020-08-11 | FIAT LUX PHOTONICS Inc. | Indexed multiple slit slider |
| CN111442839A (zh) * | 2020-04-10 | 2020-07-24 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种可在线切换光学狭缝的装置 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6156037U (ja) * | 1984-09-19 | 1986-04-15 | ||
| JPS62168416A (ja) | 1986-01-20 | 1987-07-24 | Nec Corp | シユミツトトリガ回路 |
| JP2879788B2 (ja) | 1991-07-26 | 1999-04-05 | 株式会社アドバンテスト | 幅可変光学スリット |
| JPH076698A (ja) | 1993-06-16 | 1995-01-10 | Ckd Corp | 通電装置 |
| US5384662A (en) | 1993-07-12 | 1995-01-24 | The Regents Of The University Of California | Precision optical slit for high heat load or ultra high vacuum |
| JPH07198595A (ja) | 1993-12-29 | 1995-08-01 | Shimadzu Corp | 赤外顕微鏡 |
| US5661589A (en) * | 1995-02-24 | 1997-08-26 | J. A. Woollam Co. Inc. | Bilateral slit assembly, and method of use |
| JPH10111175A (ja) | 1996-10-04 | 1998-04-28 | Advantest Corp | 分光器幅可変スリット装置 |
-
2001
- 2001-02-20 JP JP2001043011A patent/JP2001208987A/ja active Pending
-
2002
- 2002-02-19 JP JP2002566616A patent/JPWO2002066941A1/ja active Pending
- 2002-02-19 DE DE10296362T patent/DE10296362B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2002-02-19 US US10/470,451 patent/US6956688B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-02-19 WO PCT/JP2002/001431 patent/WO2002066941A1/ja active Application Filing
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007047657A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Mitsutoyo Corp | スリット幅調整装置およびこれを備えた顕微鏡レーザリペア装置 |
| JP4520918B2 (ja) * | 2005-08-12 | 2010-08-11 | 株式会社ミツトヨ | スリット幅調整装置およびこれを備えた顕微鏡レーザリペア装置 |
| US8680428B2 (en) | 2008-06-19 | 2014-03-25 | Mitutoyo Corporation | Slit width adjusting device and microscope laser processing apparatus |
| KR101379504B1 (ko) | 2012-04-27 | 2014-03-27 | (주)뮤텍코리아 | 레이저 슬릿 제어장치 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2002066941A1 (fr) | 2002-08-29 |
| JPWO2002066941A1 (ja) | 2004-06-24 |
| US20040070807A1 (en) | 2004-04-15 |
| DE10296362T5 (de) | 2004-04-22 |
| DE10296362B4 (de) | 2006-07-13 |
| US6956688B2 (en) | 2005-10-18 |
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