JPH10111175A - 分光器幅可変スリット装置 - Google Patents

分光器幅可変スリット装置

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JPH10111175A
JPH10111175A JP26469196A JP26469196A JPH10111175A JP H10111175 A JPH10111175 A JP H10111175A JP 26469196 A JP26469196 A JP 26469196A JP 26469196 A JP26469196 A JP 26469196A JP H10111175 A JPH10111175 A JP H10111175A
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JP
Japan
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slit
feed nut
spectroscope
guide
gap
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JP26469196A
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English (en)
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Sakae Hoshino
栄 星野
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Advantest Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 狭小な空間に適用する分光器幅可変スリット
装置を提供する。 【解決手段】 枠体1の収容部12より突出する一対の
スリットホルダ21を具備し、スリットホルダ21の収
容部12より突出した部分の下面に取り付けられている
スリット2を具備し、スリットホルダ21が固定される
リニアガイド3を具備し、リニアガイド3の案内部31
に係合する案内レール32を具備し、送りナット4を具
備し、両リニアガイド3および送りナット4を予圧する
予圧スプリング33を具備し、その下部にはスリットホ
ルダ21の上面に取り付けられた係合部22に係合して
これを押圧する押圧部41を突出形成しており、下面に
送りナット4の上端面が接触係合する各別のスライドガ
イド42を具備し、送りナット4にそれぞれ螺合する開
閉ネジ43を具備する分光器幅可変スリット装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、分光器幅可変ス
リット装置に関し、特に、光スペクトラムアナライザに
適用して好適な分光器幅可変スリット装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来例を図3を参照して説明する。1は
分光器幅可変スリット装置の従来例の枠体を示す。枠体
1は固定部11を介して分散分光方式光スペクトラムア
ナライザその他の光学装置に固定される。12は枠体1
の一方の面に形成される収容部であり、後で説明される
スリット部およびスリットを開閉駆動制御する駆動部を
収容する。13は光通過孔である。
【0003】以下、スリット部について説明する。2は
収容部12の背面に平行であると共に、鉛直方向に互い
に対向して配置された導電材料より成るスリットであ
る。100はスリット2を保持する導電材料より成る板
バネであり、板面を収容部12の背面に直交し鉛直方向
に対向して相互に強固に一体化された状態で平行リンク
110を構成している。この平行リンク110は枠体1
の収容部12背面に上端部が固定されている。そして、
スリット2は平行リンク110に対して絶縁シート10
2を介在させて電気的絶縁状態に固定されている。23
はスリット2に電気的に接続された端子を示す。両端子
23は図示されないリード線を介して信号電源24に接
続している。
【0004】次いで、以上のスリット部を開閉駆動制御
する駆動部を説明する。4は平行リンク110の下端部
に対応して配置される送りナットを示す。送りナット4
は平行リンク110下端部に係合してこれを押圧する押
圧部41をその上部に突出形成している。そして、送り
ナット4はそれぞれの開閉ネジ43に螺合している。4
2は枠体1の収容部12の下端部に固定された1本のス
ライドガイドを示す。スライドガイド42の上面には送
りナット4の下端面が接触係合して両送りナット4を摺
動案内する。開閉ネジ43は、共通の1本のシャフト5
に回動不能に取り付けられている。シャフト5は51に
より示されるベアリングにより軸支されている。送りナ
ット4および開閉ネジ43のネジ切りのされ方について
みると、共通の1本のシャフト5を一方の向きに回動し
たとき両送りナット4は開閉ネジ43により互いに接近
する向きに駆動され、シャフト5を他方の向きに回動し
たとき両送りナット4は開閉ネジ43により互いに離隔
する向きに駆動される如く、送りナット4および開閉ネ
ジ43はネジ切りされている。シャフト5はカップリン
グ6を介してパルスモータ7に結合し、これにより回転
駆動される。
【0005】以上の分光器幅可変スリット装置のスリッ
ト2は、2枚の板バネ100より成る平行リンク110
はその剛性により内向きに弾性的にバイアスされてお
り、図示される状態においては平行リンク110の剛性
により間隙なしに互いに接触せしめられている。この
時、両送りナット4の押圧部41は平行リンク110の
下端部の内側に接触してしている。そして、このスリッ
ト2が互いに接触せしめられている状態は、設定間隙が
零である零点にあるものとして端子23を介して外部回
路に表示することができる。シャフト5に固定される開
閉ネジ43は、パルスモータ7によりカップリング6を
介してシャフト5を回転駆動することにより回転駆動さ
れる。開閉ネジ43が回転駆動されると、これに螺合す
る両送りナット4は、スライドガイド42に案内されな
がら、互いに離隔する向きに駆動され或は互いに接近す
る向きに駆動される。即ち、図示される状態において両
送りナット4を互いに離隔する向きに回転駆動すると、
平行の板バネ100より成る剛性の平行リンク110は
両送りナット4を介して双方共に外向きに押し拡げられ
る。その結果、平行リンク110に保持されているスリ
ット2は左右に離間するに到り、両者間に間隙が形成さ
れる。このスリット2間の間隙はパルスモータ7の回転
数を調整することにより適宜に設定される。スリット2
間に間隙が形成された状態において、パルスモータ7を
先の回転とは逆向きに回転駆動すると、両送りナット4
は互いに接近する向きに駆動され、平行リンク110は
剛性により両送りナット4に追随して互いに接近する向
きに変位する。従って、スリット2間の間隙はより狭く
設定されることとなる。
【0006】以上の分光器幅可変スリット装置において
は、送りナット4を案内するスライドガイド42は両送
りナット4に共通に一体的に構成されているので、送り
ナット4の外形寸法を高精度に設計製造する必要があ
る。また、構造上、分散分光方式光スペクトラムアナラ
イザの光学装置であるダブルパスモノクロメータの光路
折り返し部の如き狭い空間において使用することができ
ない。即ち、ダブルパスモノクロメータの光路折り返し
部の如き狭い空間にスリット2を位置決めしようとして
も、分光器幅可変スリット装置を枠体1を含めて全体を
持ち込まざるを得ず、これは不可能である。
【0007】他の従来例を図4を参照して説明する。図
4の従来例は、絶縁材料より成るスリットホルダ21に
より枠体1の収容部12より突出せしめた状態において
スリット2を平行リンク110に取り付けている。スリ
ット2は、収容部12の背面に直交すると共に水平方向
に互いに対向して配置されている。
【0008】この従来例の場合、スリット2は各スリッ
トホルダ21の収容部12より突出した部分に取り付け
られている。従って、収容部12より突出したスリット
2のみを光学装置の光路に配置して、分光器幅可変スリ
ット装置のそれ以外の部分は光路の近傍に位置決めする
ことができるので、先の従来例と比較して狭小なところ
にも適用することができる。
【0009】ところが、平行リンク110はその自由端
である下端部を送りナット4により外側に駆動され或は
剛性により内向きに駆動されて変位すると、固定されて
いる上端部を除いて平行リンク110全体は僅かではあ
るが上下動することとなる。従って、平行リンク110
に固定されるスリット2も上下動することとなる。即
ち、両スリット2間の設定間隙により設定間隙の高さが
変動する。この実施例の場合、光路は紙面に平行且つ鉛
直であるところから、この両スリット2間の設定間隙の
高さが変動するということは、光源、レンズ、受光器そ
の他の光学部品との間の光路方向の間隙の位置が両スリ
ット2間の設定間隙により変動することを意味し、都合
よくない。
【0010】ここで、特に、図4(c)を参照するに、
スリット2の刃をスリット2の移動軸に直交せずに少し
傾斜して取り付けた場合、スリット2を保持する平行リ
ンク110の板バネ100の剛性に依っては、左右のス
リット2の刃が係合したときに接触点においてすべりを
生じ、零点の再現性が悪化する場合がある。この欠点を
解消すべくスリット2の刃をスリットの移動軸に直交し
て取り付けようとすると、これに対応してスリット2全
体を傾斜させる必要が生じ、構成部品のレイアウトに制
約を受け、実装密度が低下する。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、分散分光
方式光スペクトラムアナライザの一部を構成するダブル
パスモノクロメータの光路折り返し部の如き狭い空間に
おいて使用することができる以上の問題を解消した高精
度な分光器幅可変スリット装置を提供するものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】枠体1を具備し、枠体1
の一方の面には収容部12が形成されており、枠体1に
直交する方向の幅は枠体1の厚さより大きく枠体1の収
容部12より突出する絶縁材料より成る一対のスリット
ホルダ21を具備し、スリットホルダ21の上面には係
合部22が取り付けられており、各スリットホルダ21
の収容部12より突出した部分の下面に取り付けられて
いるスリット2を具備し、下面に左右方向水平に延伸す
る案内部31が形成されスリットホルダ21が固定され
るリニアガイド3を具備し、枠体1の収容部12に固定
されリニアガイド3の案内部31に係合する案内レール
32を具備し、両リニアガイド3および送りナット4を
互いに引き付ける向きに予圧する予圧スプリング33を
具備し、送りナット4を具備し、その下部にはスリット
ホルダ21の上面に取り付けられた係合部22に係合し
てこれを押圧する押圧部41を突出形成しており、枠体
1の収容部12の上端部に固定され下面に送りナット4
の上端面が接触係合する各別のスライドガイド42を具
備し、送りナット4にそれぞれ螺合する開閉ネジ43を
具備し、両開閉ネジ43を回転駆動する共通のシャフト
5を具備する分光器幅可変スリット装置を構成した。
【0013】そして、先の分光器幅可変スリット装置に
おいて、送りナット4に回転方向のバイアスを付与する
送りナットバイアススプリング8を具備せしめた分光器
幅可変スリット装置を構成した。また、先の分光器幅可
変スリット装置において、スリット間隙の零点を検出す
る専用の電極9を各スリット2に一体に取り付けた分光
器幅可変スリット装置を構成した。
【0014】更に、スリット2の互いに対向して間隙を
形成する刃はスリット2が駆動される移動軸方向とθの
角度だけ傾斜せしめられている分光器幅可変スリット装
置を構成した。
【0015】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を図1を参
照して説明する。1は分光器幅可変スリット装置の枠体
を示す。枠体1は固定部11を介して分散分光方式光ス
ペクトラムアナライザその他の光学装置に固定される。
12は枠体1の一方の面に形成される収容部であり、後
で説明されるスリット部およびスリットを開閉駆動制御
する駆動部を収容する。
【0016】以下、スリット部について説明する。2は
水平方向に互いに対向して配置された導電材料より成る
スリットである。21は絶縁材料より成るスリットホル
ダであり、スリット2はその下面に取り付けられてい
る。このスリットホルダ21は絶縁材料より成る板によ
り構成され、その枠体1に直交する方向の幅は枠体1の
厚さより大きく、枠体1の収容部12より突出してい
る。スリット2は、結局、スリットホルダ21の収容部
12より突出した部分の下面に取り付けられている。そ
して、スリット2の刃はスリット2の移動軸に直交せず
に傾斜している。22はスリットホルダ21の上面に取
り付けられた係合部である。23はスリット2に電気的
機械的に接続された端子を示す。両端子23はリード線
により信号電源24に接続している。図示される状態に
おいては、スリット2は互いに接触せしめられている。
このスリット2が互いに接触せしめられている状態は、
設定間隙が零である零点にあるものとして端子23を介
して外部回路に表示することができる。
【0017】3は左右一対のリニアガイドである。リニ
アガイド3はその下面に左右方向水平に延伸する案内部
31が形成されている。そして、この案内部31は枠体
1に固定されている案内レール32に嵌合しており、リ
ニアガイド3はこの案内レール32により案内摺動され
る。リニアガイド3の上面にスリットホルダ21が取り
付けられ、このスリットホルダ21の下面にスリット2
が取り付けられているので、スリット2はこのリニアガ
イド3により案内摺動される訳である。33は予圧スプ
リングであり、左右一対のリニアガイド3に取り付けら
れる係止ネジ34に端部を係止して両リニアガイド3お
よび送りナット4を互いに引き付ける向きに予圧してい
る。
【0018】次いで、以上のスリット部を開閉駆動制御
する駆動部を説明する。4は一対の係合部22に対応し
て配置される送りナットを示す。送りナット4はその下
部にスリットホルダ21の上面に取り付けられた係合部
22に係合してこれを押圧する押圧部41を突出形成し
ている。42は枠体1の収容部12の上端部に固定され
たスライドガイドである。このスライドガイド42の下
面には送りナット4の上端面が接触係合している。そし
て、送りナット4はそれぞれの開閉ネジ43に螺合して
いる。
【0019】これら開閉ネジ43は、共通の1本のシャ
フト5に回動不能に取り付けられている。シャフト5は
51により示されるベアリングにより軸支されている。
送りナット4および開閉ネジ43のネジ切りのされ方に
ついてみると、共通の1本のシャフト5を一方の向きに
回動したとき両送りナット4は開閉ネジ43により互い
に接近する向きに駆動され、シャフト5を他方の向きに
回動したとき両送りナット4は開閉ネジ43により互い
に離隔する向きに駆動される如く、送りナット4および
開閉ネジ43はネジ切りされている。シャフト5はカッ
プリング6を介してパルスモータ7に結合し、これによ
り回転駆動される。8は送りナットバイアススプリング
であり、送りナット4に回転方向のバイアスを付与して
送りナット4に一方方向に駆動力を与えて送りナット4
とスライドガイド42の隙間によって発生するバックラ
ッシを解消している。
【0020】以上の実施例の図示される状態において
は、スリット2は予圧スプリング33によりリニアガイ
ド3を介して内向きに弾性的に強くバイアスされると共
に、両送りナット4の押圧部41、係合部22、ニアガ
イド3を介してパルスモータ7により外向きに回転駆動
され、間隙なしに互いに接触せしめられた状態にある。
このスリット2が互いに接触せしめられている状態は、
設定間隙が零である零点にあるものとして端子23を介
して外部回路に表示することができる。パルスモータ7
によりカップリング6を介してシャフト5を回転駆動す
ると開閉ネジ43は回転駆動され、これに螺合する両送
りナット4は、スライドガイド42に案内されながら、
互いに離隔する向きに駆動され或は互いに接近する向き
に駆動される。即ち、図示される状態において両送りナ
ット4を互いに離隔する向きに回転駆動すると、ニアガ
イド3は両送りナット4を介して双方共に外向きに予圧
スプリング33に抗して押し拡げられる。その結果、ス
リット2は左右に離間するに到り、両者間に間隙が形成
される。このスリット2間の間隙はパルスモータ7の回
転数を調整することにより適宜に設定される。スリット
2間に間隙が形成された状態において、パルスモータ7
を先の回転とは逆向きに回転駆動すると、両送りナット
4は互いに接近する向きに駆動され、リニアガイド3は
予圧スプリング33により両送りナット4に追随して互
いに接近する向きに変位する。従って、スリット2間の
間隙はより狭く設定されることとなる。
【0021】図2は他の実施例を示す図である。先の実
施例はスリット2自体がスリット間隙の零点を検出する
電極を構成していたが、この実施例はスリット間隙の零
点を検出する専用の電極9をスリット2に一体に取り付
けたものである。これによりスリット間隙の零点検出を
より正確に実施することができる。ここで、以上の実施
例においては、スリット2の互いに対向して間隙を形成
する刃は、スリット2が駆動される移動軸方向とθの角
度だけ傾斜せしめられている。この場合、スリット2の
相対移動距離をΔxとし、スリット間隙をΔgとする
と、両者の間には Δg=Δxsinθ の関係がある。即ち、スリット間隙をΔgはスリット2
の実際の相対移動距離より小さくなり、これによって、
より高分解能でスリット間隙を微調整設定することがで
きる。なお、スリットの移動軸方向とスリット刃とが直
交するθ=90度の場合はΔg=Δxである。
【0022】
【発明の効果】以上の通りであって、この発明による分
光器幅可変スリット装置は、送りナット4のスライドガ
イドを左右別体としたことにより、送りナットの外形寸
法の精度に格別の考慮を払う必要はなくなった。そし
て、送りナット4のバックラッシ除去を軸方向のみでは
なく、送りナット4の回転方向にも実施したことにより
送りの再現性は大いに向上した。
【0023】また、スリット2は枠体1の収容部12お
よび駆動部から突出して配置されているので、これのみ
を分光器幅可変スリット装置を構成する他の部材を別に
して狭い空間領域に容易に適用することができる。更
に、スリット2は予圧をかけたリニアガイド3に高剛性
で保持されており、スリット2の刃をスリットの移動軸
に直交せずに傾斜せしめても、左右のスリットの刃を係
合したとき接触点においてすべりは生ぜず、零点の再現
性は良好である。
【0024】そして、スリット2はリニアガイド3に保
持されているので、設定幅に関わらず高さは一定に維持
される。この発明の分光器幅可変スリット装置は、特
に、分散分光方式光スペクトラムアナライザに適用して
光ファイバアンプの雑音指数を測定する様な場合にその
解析精度を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例を説明する図。
【図2】他の実施例を説明する図。
【図3】従来例を説明する図。
【図4】他の従来例を説明する図。
【符号の説明】
1 枠体 2 スリット 3 リニアガイド 4 送りナット 5 シャフト 6 カップリング 7 パルスモータ 8 送りナットバイアススプリング 9 電極 11 固定部 12 収容部 13 光通過孔 21 スリットホルダ 22 係合部 23 端子 24 信号電源 31 案内部 32 案内レール 33 予圧スプリング 34 係止ネジ 41 押圧部 42 スライドガイド 43 開閉ネジ 51 ベアリング 100 板バネ 102 絶縁シート 110 平行リンク

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 枠体を具備し、枠体の一方の面には収
    容部が形成されており、 枠体に直交する方向の幅は枠体の厚さより大きく枠体の
    収容部より突出する絶縁材料より成る一対のスリットホ
    ルダを具備し、スリットホルダの上面には係合部が取り
    付けられており、 各スリットホルダの収容部より突出した部分の下面に取
    り付けられているスリットを具備し、 下面に左右方向水平に延伸する案内部が形成されスリッ
    トホルダが固定されるリニアガイドを具備し、 枠体の収容部に固定され、リニアガイドの案内部に係合
    する案内レールを具備し、 両リニアガイドおよび送りナットを互いに引き付ける向
    きに予圧する予圧スプリングを具備し、 送りナットを具備し、その下部にはスリットホルダの上
    面に取り付けられた係合部に係合してこれを押圧する押
    圧部を突出形成しており、 枠体の収容部の上端部に固定され下面に送りナットの上
    端面が接触係合する各別のスライドガイドを具備し、 送りナットにそれぞれ螺合する開閉ネジを具備し、 両開閉ネジを回転駆動する共通のシャフトを具備するこ
    とを特徴とする分光器幅可変スリット装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載される分光器幅可変スリ
    ット装置において、 送りナットに回転方向のバイアスを付与する送りナット
    バイアススプリングを具備せしめたことを特徴とする分
    光器幅可変スリット装置。
  3. 【請求項3】 請求項1および請求項2の内の何れかに
    記載される分光器幅可変スリット装置において、 スリット間隙の零点を検出する専用の電極を各スリット
    に一体に取り付けたことを特徴とする分光器幅可変スリ
    ット装置。
  4. 【請求項4】 請求項1ないし請求項3の内の何れかに
    記載される分光器幅可変スリット装置において、 スリットの互いに対向して間隙を形成する刃はスリット
    が駆動される移動軸方向とθの角度だけ傾斜せしめられ
    ていることを特徴とする分光器幅可変スリット装置。
JP26469196A 1996-10-04 1996-10-04 分光器幅可変スリット装置 Withdrawn JPH10111175A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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