JPH09184806A - 発光分光分析装置 - Google Patents
発光分光分析装置Info
- Publication number
- JPH09184806A JPH09184806A JP34317695A JP34317695A JPH09184806A JP H09184806 A JPH09184806 A JP H09184806A JP 34317695 A JP34317695 A JP 34317695A JP 34317695 A JP34317695 A JP 34317695A JP H09184806 A JPH09184806 A JP H09184806A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffraction grating
- motor
- light
- wavelength
- stopped
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】外部からの振動や熱の影響などで発生する回折
格子のドリフトを防いで回折角度を安定に保ち、測定精
度を向上する。 【解決手段】回折格子６をモータ１２で直接的に高分解
能で回転駆動して分光する光１０の波長を走査する分光
器で、モータ１２を停止したときに、ピンシリンダー１
３の軸が上から下向にのび、回折格子６の回転軸に一体
的に取り付けられた円板１１を当たり１４との間に挟ん
で保持することによって回折格子の回転方向のドリフト
を防ぐ。
格子のドリフトを防いで回折角度を安定に保ち、測定精
度を向上する。 【解決手段】回折格子６をモータ１２で直接的に高分解
能で回転駆動して分光する光１０の波長を走査する分光
器で、モータ１２を停止したときに、ピンシリンダー１
３の軸が上から下向にのび、回折格子６の回転軸に一体
的に取り付けられた円板１１を当たり１４との間に挟ん
で保持することによって回折格子の回転方向のドリフト
を防ぐ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＩＣＰ（誘導結合プ
ラズマ）やスパーク放電を光源として元素に固有の発光
スペクトルを測光して元素分析を行う発光分光分析装置
に関する。
ラズマ）やスパーク放電を光源として元素に固有の発光
スペクトルを測光して元素分析を行う発光分光分析装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、シーケンシャル型と呼ばれる発
光分光分析装置は、内部に波長走査可能な分光器を備
え、試料からの放射光を回折格子で各波長のスペクトル
光に分光し、そのスペクトル光のうちの特定波長の光を
検出することによって試料に含まれる元素の定性・定量
分析を行う。特定の波長のスペクトル光を選別するため
には分光波長の走査を行う必要があるが、そのために、
従来装置では周知のサインバー機構などによって回折格
子の角度を変えるようにしている。
光分光分析装置は、内部に波長走査可能な分光器を備
え、試料からの放射光を回折格子で各波長のスペクトル
光に分光し、そのスペクトル光のうちの特定波長の光を
検出することによって試料に含まれる元素の定性・定量
分析を行う。特定の波長のスペクトル光を選別するため
には分光波長の走査を行う必要があるが、そのために、
従来装置では周知のサインバー機構などによって回折格
子の角度を変えるようにしている。
【０００３】従来の装置において、回転駆動される回折
格子の角度位置精度はサインバーの精度に依存している
が、サインバー機構は機械的なリンク機構であるのでそ
の精度を高めるためには組立や調整に手数を要すばかり
でなく、装置全体が高価格になるなどの不都合があっ
た。これを解決するために、回折格子を直接的にステッ
ピングモータによって回転駆動する試みがなされてい
る。
格子の角度位置精度はサインバーの精度に依存している
が、サインバー機構は機械的なリンク機構であるのでそ
の精度を高めるためには組立や調整に手数を要すばかり
でなく、装置全体が高価格になるなどの不都合があっ
た。これを解決するために、回折格子を直接的にステッ
ピングモータによって回転駆動する試みがなされてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】回折格子の回転軸とス
テッピングモータの駆動軸を直結し直接的に回折格子を
駆動する場合に、分光器の要求仕様としての高い分解能
を得るためには、ステッピングモータの駆動方式として
細かいステップ角で駆動する高分解能駆動方式をとるこ
とになる。ステッピングモータの高分解能駆動は、それ
用のドライバ装置が市販されており周知の技術である
が、ステッピングモータを停止しているときにそのまま
保持する力（すなわち静止トルク）が比較的小さいため
に外部から加えられる力によって軸が動きやすい。
テッピングモータの駆動軸を直結し直接的に回折格子を
駆動する場合に、分光器の要求仕様としての高い分解能
を得るためには、ステッピングモータの駆動方式として
細かいステップ角で駆動する高分解能駆動方式をとるこ
とになる。ステッピングモータの高分解能駆動は、それ
用のドライバ装置が市販されており周知の技術である
が、ステッピングモータを停止しているときにそのまま
保持する力（すなわち静止トルク）が比較的小さいため
に外部から加えられる力によって軸が動きやすい。
【０００５】分光器の回折格子を駆動する場合には、高
分解能でしかも高精度な駆動が必要であり、それに加え
て停止時にそのままその位置にとどまることが要求され
る。本発明の目的は、回折格子を直接的にステッピング
モータなどで回転駆動する場合に、モータの停止時に、
外部からの振動や熱の影響などで発生する回折格子角度
のドリフトを防ぐことにある。
分解能でしかも高精度な駆動が必要であり、それに加え
て停止時にそのままその位置にとどまることが要求され
る。本発明の目的は、回折格子を直接的にステッピング
モータなどで回転駆動する場合に、モータの停止時に、
外部からの振動や熱の影響などで発生する回折格子角度
のドリフトを防ぐことにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、試料から放射された光を分光する回折格
子と、この分光された光を検出する検出器と、分光検出
される光の波長を走査するためにこの回折格子を直接的
に回転駆動するモータを有する発光分光分析装置におい
て、前記モータによる駆動を停止して前記回折格子の回
転を停止したときに回折格子をその角度位置に固定する
保持手段を備えた。
決するために、試料から放射された光を分光する回折格
子と、この分光された光を検出する検出器と、分光検出
される光の波長を走査するためにこの回折格子を直接的
に回転駆動するモータを有する発光分光分析装置におい
て、前記モータによる駆動を停止して前記回折格子の回
転を停止したときに回折格子をその角度位置に固定する
保持手段を備えた。
【０００７】回折格子を回転駆動するモータを止めたと
きに、回折格子をその角度位置にとどまらせておく力は
モータの静止トルクであるが、この静止トルクが弱く外
部からの何らかの力によって回折格子が動こうとした場
合でも、保持手段によって回折格子は固定されているの
で動くことがない。したがって発光分析装置において試
料からの発光スペクトル強度を測定している最中に回折
格子がドリフトして分光波長が変わってしまうなどの不
具合を生じることがなく、常に安定した定量結果を得る
ことができる。
きに、回折格子をその角度位置にとどまらせておく力は
モータの静止トルクであるが、この静止トルクが弱く外
部からの何らかの力によって回折格子が動こうとした場
合でも、保持手段によって回折格子は固定されているの
で動くことがない。したがって発光分析装置において試
料からの発光スペクトル強度を測定している最中に回折
格子がドリフトして分光波長が変わってしまうなどの不
具合を生じることがなく、常に安定した定量結果を得る
ことができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１は本発明を実施した発光分光
分析装置の一形態を示す平面図である。分析されるべき
試料は誘導結合プラズマやスパーク放電などの光源部２
で励起され、光源２から発せられた光はツェルニターナ
マウント型の分光器１によって分光検出されて試料に含
まれる元素が定性・定量分析される。
分析装置の一形態を示す平面図である。分析されるべき
試料は誘導結合プラズマやスパーク放電などの光源部２
で励起され、光源２から発せられた光はツェルニターナ
マウント型の分光器１によって分光検出されて試料に含
まれる元素が定性・定量分析される。
【０００９】分光器１は次のように構成されている。光
源２からの光１０は集光レンズ３によって入射スリット
４の位置に集光され、入射スリット４を通過した光１０
は凹面形をしたミラー５によって反射され、回折格子６
にあてられる。回折格子６で回折された光は凹面形のミ
ラー７によって反射され、出射スリット８を通過して光
電子増倍管などの検出器９で検出される。検出器９で検
出される光の波長は回折格子６を矢印Ａのように回転さ
せることによって変えられるので、回折格子６を回転し
ながら（波長を走査しながら）検出器９で検出される光
の強度を記録することによって光源２からの光１０のス
ペクトルを測定することができ、このスペクトルから試
料に含まれる元素の定性分析と定量分析を行う。
源２からの光１０は集光レンズ３によって入射スリット
４の位置に集光され、入射スリット４を通過した光１０
は凹面形をしたミラー５によって反射され、回折格子６
にあてられる。回折格子６で回折された光は凹面形のミ
ラー７によって反射され、出射スリット８を通過して光
電子増倍管などの検出器９で検出される。検出器９で検
出される光の波長は回折格子６を矢印Ａのように回転さ
せることによって変えられるので、回折格子６を回転し
ながら（波長を走査しながら）検出器９で検出される光
の強度を記録することによって光源２からの光１０のス
ペクトルを測定することができ、このスペクトルから試
料に含まれる元素の定性分析と定量分析を行う。
【００１０】回折格子６の回転および回転を止めたとき
の保持は、図２に回折格子６付近の要部を立面図として
示したように行う。回折格子６を取り付けてある取付台
１１をモータ１３の軸に直結し、モータ１３によって取
付台１１とともに回折格子６を直接的に回転駆動するよ
うにしている。モータ１３はステッピングモータであ
り、これを高分解能駆動することにより所定の必要な角
度分解能で回折格子６が回転される。回折格子６の取付
台１１には円板１２が一体的に取り付けてあり、モータ
１３の回転を止めて、ある波長の光の強度を測定する場
合には、ピンシリンダー１４によって取付台１１を固定
保持する。ピンシリンダー１４は空気圧などによって駆
動されるシリンダーであり、その軸は矢印Ｂのように上
下動する。さらに円板１２を挟んでピンシリンダー１４
と対向するように当たり１５が設けられている。円板１
２を固定する場合には、ピンシリンダー１４の軸を円板
１２に押しあて、それと同期して当たり１５を下から円
板１２に押しあてて、円板１２を両方で挟むようにして
円板１２を固定し、それに伴って取付台１１とそれに取
り付けられた回折格子６が固定保持される。こうするこ
とによって、ステッピングモータを高分解能駆動した場
合の静止トルクの不足から来る回折格子のドリフトを防
ぐことができる。
の保持は、図２に回折格子６付近の要部を立面図として
示したように行う。回折格子６を取り付けてある取付台
１１をモータ１３の軸に直結し、モータ１３によって取
付台１１とともに回折格子６を直接的に回転駆動するよ
うにしている。モータ１３はステッピングモータであ
り、これを高分解能駆動することにより所定の必要な角
度分解能で回折格子６が回転される。回折格子６の取付
台１１には円板１２が一体的に取り付けてあり、モータ
１３の回転を止めて、ある波長の光の強度を測定する場
合には、ピンシリンダー１４によって取付台１１を固定
保持する。ピンシリンダー１４は空気圧などによって駆
動されるシリンダーであり、その軸は矢印Ｂのように上
下動する。さらに円板１２を挟んでピンシリンダー１４
と対向するように当たり１５が設けられている。円板１
２を固定する場合には、ピンシリンダー１４の軸を円板
１２に押しあて、それと同期して当たり１５を下から円
板１２に押しあてて、円板１２を両方で挟むようにして
円板１２を固定し、それに伴って取付台１１とそれに取
り付けられた回折格子６が固定保持される。こうするこ
とによって、ステッピングモータを高分解能駆動した場
合の静止トルクの不足から来る回折格子のドリフトを防
ぐことができる。
【００１１】図３に回折格子を固定する保持手段の他の
実施の形態例を示す。図３（ａ）は回折格子の取付台の
円板１１を板バネ２２の先につけられたニードル２３に
よって押さえるものである。空気圧などによって駆動さ
れるシリンダー２１を矢印Ｃのように動かして下げるこ
とによって、板バネ２２を介して先端が比較的とがった
ニードルによって円板１１を押さえる。板バネ２２の弾
性によって円板１２を緩やかに押さえるので、上からの
力を別の当たりを設けて下から支える必要がない。なお
板バネ２２のかわりに、弾性のあるものならば、棒状の
バネやコイル状のバネ、その他金属以外の例えばゴムや
プラスチック材料の弾性体を使用することができる。
実施の形態例を示す。図３（ａ）は回折格子の取付台の
円板１１を板バネ２２の先につけられたニードル２３に
よって押さえるものである。空気圧などによって駆動さ
れるシリンダー２１を矢印Ｃのように動かして下げるこ
とによって、板バネ２２を介して先端が比較的とがった
ニードルによって円板１１を押さえる。板バネ２２の弾
性によって円板１２を緩やかに押さえるので、上からの
力を別の当たりを設けて下から支える必要がない。なお
板バネ２２のかわりに、弾性のあるものならば、棒状の
バネやコイル状のバネ、その他金属以外の例えばゴムや
プラスチック材料の弾性体を使用することができる。
【００１２】図３（ｂ）は円板１１の近傍に電磁石２４
を設け、円板１１を固定保持する場合には電磁石２４に
電流を流し、それによって発生する磁力によって円板１
１を引きつけ固定するものである。ただしこの場合には
円板１１の材料を鉄系材料などの透磁率の高いもの（磁
石にくっつくもの）で作る必要がある。
を設け、円板１１を固定保持する場合には電磁石２４に
電流を流し、それによって発生する磁力によって円板１
１を引きつけ固定するものである。ただしこの場合には
円板１１の材料を鉄系材料などの透磁率の高いもの（磁
石にくっつくもの）で作る必要がある。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、回折格子を直接的にス
テッピングモータなどで回転駆動する場合に、回折格子
の動きを止める保持手段によって回折格子を固定するの
で、外部からの振動や熱の影響などで発生する回折格子
角度のドリフトを防ぐことができる。したがって発光分
析装置において試料からの発光スペクトル強度を測定し
ている最中に回折格子がドリフトして分光波長が変わっ
てしまい、結果的に定量精度を悪くすることがなくなり
常に安定した定量結果を得ることができる。
テッピングモータなどで回転駆動する場合に、回折格子
の動きを止める保持手段によって回折格子を固定するの
で、外部からの振動や熱の影響などで発生する回折格子
角度のドリフトを防ぐことができる。したがって発光分
析装置において試料からの発光スペクトル強度を測定し
ている最中に回折格子がドリフトして分光波長が変わっ
てしまい、結果的に定量精度を悪くすることがなくなり
常に安定した定量結果を得ることができる。
【図１】本発明の発光分光分析装置の一実施の形態を示
す概略図である。
す概略図である。
【図２】本発明の要部の一実施の形態を示す図である。
【図３】本発明の要部の他の実施の形態を示す図であ
る。
る。
１…分光器 ２…光源 ３…レンズ ４…入射スリット ５…ミラー ６…回折格子 ７…ミラー ８…出射スリット ９…検出器 １０…光 １１…取付台 １２…円板 １３…モータ １４…ピンシリンダー １５…当たり ２１…シリンダー ２２…板バネ ２３…ニードル ２４…電磁石
Claims (1)
- 【請求項１】 試料から放射された光を分光する回折格
子と、この分光された光を検出する検出器と、分光検出
される光の波長を走査するためにこの回折格子を直接的
に回転駆動するモータを有する発光分光分析装置におい
て、前記モータによる駆動を停止して前記回折格子の回
転を停止したときに回折格子をその角度位置に固定する
保持手段を備えることを特徴とする発光分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07343176A JP3085179B2 (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 発光分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07343176A JP3085179B2 (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 発光分光分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09184806A true JPH09184806A (ja) | 1997-07-15 |
| JP3085179B2 JP3085179B2 (ja) | 2000-09-04 |
Family
ID=18359507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07343176A Expired - Fee Related JP3085179B2 (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 発光分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3085179B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003062776A1 (fr) * | 2002-01-24 | 2003-07-31 | Nikon Corporation | Spectroscope |
| JP2012242104A (ja) * | 2011-05-16 | 2012-12-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 受光装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101161898B1 (ko) | 2004-06-03 | 2012-07-09 | 신세스 게엠바하 | 다공성의 뼈 대체물질을 주입하는 장치 |
-
1995
- 1995-12-28 JP JP07343176A patent/JP3085179B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003062776A1 (fr) * | 2002-01-24 | 2003-07-31 | Nikon Corporation | Spectroscope |
| US7173695B2 (en) | 2002-01-24 | 2007-02-06 | Nikon Corporation | Spectroscope with thermal compensation mechanism |
| CN100425958C (zh) * | 2002-01-24 | 2008-10-15 | 株式会社尼康 | 分光镜 |
| JP2012242104A (ja) * | 2011-05-16 | 2012-12-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 受光装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3085179B2 (ja) | 2000-09-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Snelleman et al. | Flame emission spectrometry with repetitive optical scanning in the derivative mode | |
| US2823577A (en) | Multiple slit spectrograph for direct reading spectrographic analysis | |
| US5005977A (en) | Polarimeter | |
| JPH04301527A (ja) | 分光光度計 | |
| JPS6315793Y2 (ja) | ||
| JPH09184806A (ja) | 発光分光分析装置 | |
| WO2004059269A1 (en) | Variable exposure rotary spectrometer | |
| US5815261A (en) | Correlation spectrometer with high-resolution, broad-band optical characteristics | |
| US6970241B1 (en) | Device for enabling slow and direct measurement of fluorescence polarization | |
| US3092722A (en) | Spectro-phosphorescence measuring instrument | |
| CN116930243A (zh) | 一种原位固体核磁共振光反应装置及其方法 | |
| KR100380766B1 (ko) | 액정 표시 소자를 평가하는 방법, 그 방법을 구현하는 컴퓨터 프로그램을 저장하기 위한 정보 저장 매체 및 그 저장 매체를 사용하는 평가 장치 | |
| JP2000088648A (ja) | 分光分析装置 | |
| JP2002340824A (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JP2002168694A (ja) | 分光器 | |
| JP2000035363A (ja) | 光学特性検出装置 | |
| JP3578937B2 (ja) | 分光分析装置 | |
| AU623851B2 (en) | Improved automatic atomic absorption spectrometer | |
| JP2000193616A (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JP2007212378A (ja) | 分光蛍光光度計用光源位置合わせ機構 | |
| JPS61266926A (ja) | 微分分光計 | |
| JP3624587B2 (ja) | 蛍光測定装置 | |
| JP2664632B2 (ja) | 全反射蛍光ｘ線分析装置 | |
| US4560276A (en) | Diffraction grating mounting device for scanning monochromator | |
| JP3498689B2 (ja) | モノクロ線源励起用モノクロメータ及び蛍光ｘ線分析装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080707 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090707 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100707 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100707 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110707 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110707 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120707 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120707 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130707 Year of fee payment: 13 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |