JP4520918B2 - スリット幅調整装置およびこれを備えた顕微鏡レーザリペア装置 - Google Patents
スリット幅調整装置およびこれを備えた顕微鏡レーザリペア装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4520918B2 JP4520918B2 JP2005234281A JP2005234281A JP4520918B2 JP 4520918 B2 JP4520918 B2 JP 4520918B2 JP 2005234281 A JP2005234281 A JP 2005234281A JP 2005234281 A JP2005234281 A JP 2005234281A JP 4520918 B2 JP4520918 B2 JP 4520918B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pair
- slit
- width adjusting
- members
- movable members
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
デバイスの修正作業においては、まず、可変スリットのXY方向の幅を調整して、レーザカットしたい範囲にスリット形状を一致させる。その後、レーザ装置を発振させると、一致させたスリット形状の範囲のみがレーザカットされる。
これら第1および第2の幅調整機構3,4は、各組のスリット部材1,1(2,2)と、一端側に各組のスリット部材1,1(2,2)を支持し互いに平行に配置された一対のラック部材5A,5Bと、これらラック部材5A,5Bの他端側間に配置されラック部材5A,5Bに噛合された2つのピニオン6,7と、これらピニオン6,7に連結されたモータ8およびポテンショメータ9とから構成されている。
すると、各ラック部材5A,5Bに支持されたスリット部材1,1またはスリット部材2,2が互いに接近または離間するので、これらの間に形成されるスリット幅が変化される。従って、スリット部材1,1またはスリット部材2,2のスリット幅をそれぞれ調整して、この2つのスリット幅によって形成されるスリット開口部をレーザカットしたい範囲に一致させた後、レーザ装置を発振させれば、スリット開口部の範囲のみをレーザカットすることができる。
この幅可変光学スリット機構は、ガイドレールと、このガイドレールに沿って移動自在に搭載された一対のキャリッジと、この一対のキャリッジにそれぞれ取り付けられた一対のスリットおよびアームと、両アーム間に設けられ両アームを互いに接近する方向へ付勢するスプリングと、両アームの内面にそれぞれ当接する一対の可動体と、この一対の可動体を互いに接近、離間する方向へ移動させる駆動機構とから構成されている。
しかも、ガイドレールとキャリッジとの間にガタがあると、ガタが拡大されて一対のスリットの間隔、つまり、スリット幅精度に影響に与えるため、スリット幅を高精度に制御するのが難しい。
この際、各幅調整機構が、互いに平行な一対の可動部材と、この一対の可動部材の両端側においてこれらの可動部材を移動可能に案内する一対の直線ガイド手段と、一対の可動部材の略中間位置に互いに対向して設けられた一対のスリット部材と、一対の可動部材の略中間位置において一対の可動部材を互いに接近、離間する方向へ移動させる駆動手段とを含んで構成されているから、スリット開口部を高精度に可変できるとともに、高い繰り返し精度も維持できる。
つまり、互いに平行な一対の可動部材が、両端側において一対の直線ガイド手段によって移動可能に案内されているから、一端側のみが直線ガイド手段で移動可能に案内される構成に比べ、可動部材の傾きを小さくできる。また、一対の可動部材の略中間位置に、これら可動部材を接近、離間する方向へ移動させる駆動手段が設けられているから、この点からも可動部材の傾きをより小さくできる。更に、このような構成を前提として、一対の可動部材の略中間位置に、スリット部材が互いに対向して設けられているから、スリット部材によって形成されるスリット開口部を高精度に可変できるとともに、高い繰り返し精度も維持できる。
この発明によれば、一対の可動部材を互いに接近する方向または離間する方向へ移動させる駆動手段に、逆方向のねじ部を有する送りねじ軸を用いたので、送りねじ軸のリードを小さくすれば、送り精度を高めることができる。特に、マイクロメータヘッドに用いられている送りねじ軸(ピッチ0.25mm)を用いれば、高い送り精度を保証できる。
ここで、駆動手段に送りねじ軸を用いると、送りねじ軸に伴う問題、つまり、送りねじ軸とこれに螺合するナット部材との間に生じるバックラッシュによって繰り返し精度が低下する問題が生じる。本発明では、一対の可動部材をそれぞれ独立して互いに接近する方向または離間する方向へ付勢する付勢手段が設けられているから、バックラッシュによる問題もなく、高い再現性を維持することができる。
この発明によれば、指令値と一対のスリット部材間のスリット幅との関係が比例的に変化するように、指令値に対してステッピングモータに印加するパルス数を補正する補正手段を備えているから、機構に起因する誤差を補正することができる。
たとえば、指令値を変化させ、このときのステッピングモータの駆動によるスリット部材間のスリット幅を測定し、この関係(指令値とスリット幅との関係)が比例的に変化するように、各指令値毎に、ステッピングモータに印加する補正パルス数、あるいは、補正計算式を記憶しておき、指令値が与えられたとき、記憶した補正パルス数あるいは補正計算式から補正パルス数を求め、これをステッピングモータに印加する。これにより、機構に起因する誤差を補正することができるから、スリット部材によって形成されるスリット開口部の形状を高精度に制御できる。
なお、ステッピングモータとして、減速機付ステッピングモータを用いれば、パルス分解能をより向上させることができる。
この発明によれば、スリット開口部を高精度に可変できるから、検査対象物の修正などを高精度に行うことができる。
<構成(全体構成)>
図1は、本発明のスリット幅調整装置を適用した顕微鏡レーザリペア装置を示す断面図である。同顕微鏡レーザリペア装置は、検査対象物Wを載置するテーブル20と、このテーブル20に対して三次元方向(X、Y,Z方向)へ相対移動可能に設けられた筐体10とを備える。
筐体10には、レンズ交換装置11を介して倍率の異なる対物レンズ12A(12B,12C)が選択的に取り付けられるようになっている。
図2はスリット幅調整装置30を示す平面図、図3は図2のIII−III線断面図である。スリット幅調整装置30は、間隔を隔てて互いに平行に配置された上下2枚の支持プレート28,29と、上側の支持プレート28の下面に設けられ、一対の第1組スリット部材34を対物レンズ12Aの光軸L(中心軸線)に対して直交する方向にかつ互いにに接近、離間する方向(X方向)へ移動させる第1の幅調整機構31と、一対の第2組スリット部材44を光軸L(中心軸線)に対して直交するとともに第1組スリット部材34の移動方向に対して直交する方向にかつ互いに接近、離間する方向(Y方向)へ移動させる第2の幅調整機構41とを備える。
スリット部材34は、平面視矩形板状に形成され、互いに対向する先端部がテーパ刃状に形成されている。
駆動手段35は、ボールベアリングブロック35A(上側の支持プレート28の下面に取り付けられたボールベアリングブロック35A)を介して一対の可動部材32に対して略直交して配置され軸方向において互いに逆方向(右ねじと左ねじ)のねじ部35Bを有する送りねじ軸35Cと、この送りねじ軸35Cの各ねじ部35Bにそれぞれ螺合されるとともに各可動部材32に固定されたナット部材35Dと、送りねじ軸35Cを回転させるモータ35Eとを含んで構成されている。モータ35Eは、後述する制御手段50によって駆動制御されるステッピングモータにより構成されている。
付勢手段36は、各可動部材32毎に設けられたコイルスプリングにより構成されている。
スリット部材44は、平面視矩形板状に形成され、互いに対向する先端部がテーパ刃状に形成されている。
駆動手段45は、ボールベアリングブロック45A(下側の支持プレート29の上面に取り付けられたボールベアリングブロック45A)を介して一対の可動部材42に対して略直交して配置され軸方向において互いに逆方向(右ねじと左ねじ)のねじ部45Bを有する送りねじ軸45Cと、この送りねじ軸45Cの各ねじ部45Bにそれぞれ螺合されるとともに各可動部材42に固定されたナット部材45Dと、送りねじ軸45Cを回転させるモータ45Eとを含んで構成されている。モータ45Eは、後述する制御手段50によって駆動制御されるステッピングモータにより構成されている。
付勢手段46は、各可動部材42毎に設けられたコイルスプリングにより構成されている。
制御手段50は、指令値に基づいてステッピングモータ35E,45Eに所定パルス数を印加する一方、指令値と一対のスリット部材34,44間のスリット幅との関係が比例的に変化するように、指令値に対して各幅調整機構31,41のステッピングモータ35E,45Eに印加するパルス数を補正する補正手段50Aを備えている。
第1の幅調整機構31によって一対のスリット部材34を互いに接近、離間する方向へ移動させるとともに、第2の幅調整機構41によって一対のスリット部材44を互いに接近、離間する方向へ移動させて、こられスリット部材34,44によって形成されるスリット開口部の形状を所望の形状に調整する。
これには、入力手段51から指令値を入力する。すると、制御手段50は、指令値に対して補正された補正パルス数をステッピングモータ35E,45Eに印加する。これにより、ステッピングモータ35E,45Eは印加されたパルス数に従って回転駆動される。
これを各幅調整装置31,41において行うと、スリット部材34,44によって形成されるスリット開口部が所望の形状、大きさに調整される。
従って、観察用カメラ24を見ながら、スリット開口部をレーザカットしたい範囲に一致するように調整した後、レーザ光発振装置18を発振させれば、調整したスリット開口部の範囲のみをレーザカットすることができる。
(1)各幅調整機構31,41が、互いに平行な一対の可動部材32,42と、この一対の可動部材32,42の両端側においてこれらの可動部材32,42を移動可能に案内する一対の直線ガイド手段33,43と、一対の可動部材32,42の略中間位置に互いに対向して設けられたスリット部材34,44と、一対の可動部材32,42の略中間位置において一対の可動部材32,42を互いに接近、離間する方向へ移動させる駆動手段35,45とを含んで構成されているから、スリット開口部を高精度に可変できるとともに、高い繰り返し精度も維持できる。
つまり、互いに平行な一対の可動部材32,42が、両端側において一対の直線ガイド手段33,43によって移動可能に案内されているから、一端側のみが直線ガイド手段で移動可能に案内される構成に比べ、可動部材32,42の傾きを小さくできる。また、一対の可動部材32,42の略中間位置に、これら可動部材32,42を接近、離間する方向へ移動させる駆動手段35,45が設けられているから、この点からも可動部材32,42の傾きをより小さくできる。更に、このような構成を前提として、一対の可動部材32,42の略中間位置に、スリット部材34,44が互いに対向して設けられているから、スリット部材34,44によって形成されるスリット開口部を高精度に可変できるとともに、高い繰り返し精度も維持できる。
しかも、付勢手段36,46を各可動部材32,42毎にそれぞれ独立して設けたので、可動部材32,43の重量や摺動抵抗の違いに応じて最適な付勢力を与えることができるから、各可動部材32,42の良好な移動動作を保証できる。
とくに、本実施形態では、指令値とスリット幅との関係が比例的に変化するように(指令値に対して補正後のスリット幅になるように)、各指令値毎に、ステッピングモータ35E,45Eに印加する補正パルス数を記憶した記憶部を持たせたので、計算などを必要とすることなく補正パルス数を求めることができる。
本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
たとえば、前記実施形態では、直線ガイド手段33,43として、ガイドレール33A,43Aと、このガイドレール33A,43Aに循環回動するボール列を介して移動可能に設けられたスライダ33B,43Bとから構成したが、これに限られない。ガイドレールと、これに摺動可能なスライダとからなる構成でもよい。
前記実施形態において、筐体10内にロータリテーブルを設け、このロータリテーブルの上にスリット幅調整装置30を設置するようにしてもよい。このようにすれば、スリット開口の直交する2つの幅方向をX,Y方向に一致させる作業を容易に行うことができる。
また、対物レンズの倍率として、実測した倍率を設定すれば、レンズ倍率による誤差を補正してより正確なスリット幅を設定することができる。
31…第1の幅調整機構
32…可動部材
33…直線ガイド手段
34…スリット部材
35…駆動手段
35B…ねじ部
35C…送りねじ軸
35D…ナット部材
35E…ステッピングモータ
36…付勢手段
41…第2の幅調整機構
42…可動部材
43…直線ガイド手段
44…スリット部材
45…駆動手段
45B…ねじ部
45C…送りねじ軸
45D…ナット部材
45E…ステッピングモータ
46…付勢手段
50…制御手段
50A…補正手段
W…検査対象物。
Claims (4)
- 一対の第1組スリット部材を中心軸線に対して直交する方向にかつ互いに接近、離間する方向へ移動させる第1の幅調整機構と、一対の第2組スリット部材を前記中心軸線に対して直交するとともに前記第1組スリット部材の移動方向に対して直交する方向にかつ互いに接近、離間する方向へ移動させる第2の幅調整機構とを備え、
前記第1の幅調整機構および第2の幅調整機構は、互いに平行な一対の可動部材と、この一対の可動部材の両端側においてこれらの可動部材を移動可能に案内する一対の直線ガイド手段と、前記一対の可動部材の略中間位置において一対の可動部材を互いに接近、離間する方向へ移動させる駆動手段と、前記一対の可動部材の略中間位置にかつ前記駆動手段と前記一方の直線ガイド手段との間に互いに対向して設けられた一対のスリット部材とを含んで構成されていることを特徴とするスリット幅調整装置。 - 請求項1に記載のスリット幅調整装置において、
前記駆動手段は、前記一対の可動部材に対して略直交して配置され軸方向において互いに逆方向のねじ部を有する送りねじ軸と、この送りねじ軸のねじ部にそれぞれ螺合され前記各可動部材に固定されたナット部材と、前記送りねじ軸を回転させるモータとを含んで構成され、
前記第1の幅調整機構および第2の幅調整機構は、前記一対の可動部材をそれぞれ独立して互いに接近する方向または離間する方向へ付勢する付勢手段を含んで構成されていることを特徴とするスリット幅調整装置。 - 請求項2に記載のスリット幅調整装置において、
前記モータは、ステッピングモータとされ、
指令値に基づいて前記ステッピングモータに所定パルス数を印加する制御手段を備え、
前記制御手段は、前記指令値と前記一対のスリット部材間のスリット幅との関係が比例的に変化するように、指令値に対して前記ステッピングモータに印加するパルス数を補正する補正手段を備えていることを特徴とするスリット幅調整装置。 - レーザ光を照射して検査対象物を修正する顕微鏡レーザリペア装置において、
前記レーザ光の光路中に、請求項1〜請求項3のいずれかに記載のスリット幅調整装置を備えたことを特徴とする顕微鏡レーザリペア装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005234281A JP4520918B2 (ja) | 2005-08-12 | 2005-08-12 | スリット幅調整装置およびこれを備えた顕微鏡レーザリペア装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005234281A JP4520918B2 (ja) | 2005-08-12 | 2005-08-12 | スリット幅調整装置およびこれを備えた顕微鏡レーザリペア装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007047657A JP2007047657A (ja) | 2007-02-22 |
JP4520918B2 true JP4520918B2 (ja) | 2010-08-11 |
Family
ID=37850509
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005234281A Expired - Fee Related JP4520918B2 (ja) | 2005-08-12 | 2005-08-12 | スリット幅調整装置およびこれを備えた顕微鏡レーザリペア装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4520918B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5086187B2 (ja) | 2008-06-19 | 2012-11-28 | 株式会社ミツトヨ | スリット幅調整装置及び顕微鏡レーザ加工装置 |
JP4899223B2 (ja) | 2009-11-30 | 2012-03-21 | 株式会社アイ.エス.テイ | 布製品の折り畳みシステム |
KR101682524B1 (ko) * | 2011-09-19 | 2016-12-06 | 참엔지니어링(주) | 슬릿 폭 조정 장치 |
KR101379504B1 (ko) | 2012-04-27 | 2014-03-27 | (주)뮤텍코리아 | 레이저 슬릿 제어장치 |
JP2014033733A (ja) * | 2012-08-07 | 2014-02-24 | Topcon Corp | 細隙灯顕微鏡 |
JP6467425B2 (ja) * | 2014-08-01 | 2019-02-13 | 株式会社Fuji | ディップフラックスユニットおよびスキージ位置補正方法 |
JP6425961B2 (ja) * | 2014-10-17 | 2018-11-21 | 花王株式会社 | スリット形成装置及びシート融着体の製造装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62168416U (ja) * | 1986-04-16 | 1987-10-26 | ||
JPS63141916U (ja) * | 1987-03-10 | 1988-09-19 | ||
JP2000010152A (ja) * | 1998-06-17 | 2000-01-14 | Olympus Optical Co Ltd | 絞り装置 |
JP2001208987A (ja) * | 2001-02-20 | 2001-08-03 | Advantest Corp | 幅可変光学スリット機構 |
JP2003205376A (ja) * | 2002-01-11 | 2003-07-22 | Hoya Photonics Corp | レーザリペア方法およびレーザリペア装置 |
WO2004104647A1 (de) * | 2003-05-22 | 2004-12-02 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Einstellbares pinhole |
-
2005
- 2005-08-12 JP JP2005234281A patent/JP4520918B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62168416U (ja) * | 1986-04-16 | 1987-10-26 | ||
JPS63141916U (ja) * | 1987-03-10 | 1988-09-19 | ||
JP2000010152A (ja) * | 1998-06-17 | 2000-01-14 | Olympus Optical Co Ltd | 絞り装置 |
JP2001208987A (ja) * | 2001-02-20 | 2001-08-03 | Advantest Corp | 幅可変光学スリット機構 |
JP2003205376A (ja) * | 2002-01-11 | 2003-07-22 | Hoya Photonics Corp | レーザリペア方法およびレーザリペア装置 |
WO2004104647A1 (de) * | 2003-05-22 | 2004-12-02 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Einstellbares pinhole |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007047657A (ja) | 2007-02-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4520918B2 (ja) | スリット幅調整装置およびこれを備えた顕微鏡レーザリペア装置 | |
JP5086187B2 (ja) | スリット幅調整装置及び顕微鏡レーザ加工装置 | |
EP1276586B1 (de) | Laser-mikro-dissektionsgerät | |
EP1773534A1 (de) | Lasereinrichtung und betriebsverfahren | |
EP3068575B1 (de) | Laserbearbeitungskopf mit einem bandantrieb zur verschiebung einer optik | |
CN108602160B (zh) | 激光加工机 | |
EP3932609B1 (de) | Vorrichtung zur lasermaterialbearbeitung mit zwei parallel-versatz-einheiten des laserstrahles | |
EP1600242A2 (en) | Reflector-mirror drive shaft controller for laser beam machine | |
JP2000202655A (ja) | レ―ザ―マ―キング装置 | |
DE202017101590U9 (de) | Vorrichtung zur Führung eines Laserstrahls auf ein Werkstück | |
DE102010049454A1 (de) | Einrichtung zur hochdynamischen Bewegung des Wirkpunktes eines Strahls | |
JP4615238B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
DE102018005218A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Verändern eines Materials in einem Volumenkörper | |
JPH0812843B2 (ja) | 光学結像装置及び方法 | |
JP2016105178A (ja) | レーザビームによるガラス基板加工装置 | |
JP2008188653A (ja) | レーザ加工機の高次光遮光装置およびレーザ加工機 | |
DE102007052999A1 (de) | Verfahren zur Ansteuerung eines Laserscanners | |
JP7339951B2 (ja) | 工作物をレーザービームによって加工するための装置及び方法 | |
WO2007026421A1 (ja) | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 | |
JP4691784B2 (ja) | 電動レボルバを備えた顕微鏡 | |
KR102590198B1 (ko) | 대물 렌즈를 포커싱하기 위한 포커싱 장치 및 방법 | |
TWI342250B (en) | Laser beam machining method and laser beam machining apparatus | |
JPS6376784A (ja) | レ−ザ加工機用の回転ヘツド | |
JP2022107852A (ja) | 光学ユニット、レーザー加工装置、及びレーザー加工方法 | |
DE19537411A1 (de) | Vorrichtung zum Laserstrahlbelichten eines kreisscheibenförmigen Substrates |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070703 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070809 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080709 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100223 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100423 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100518 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100521 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130528 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4520918 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130528 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160528 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |