KR101682524B1

KR101682524B1 - 슬릿 폭 조정 장치

Info

Publication number: KR101682524B1
Application number: KR1020110094217A
Authority: KR
Inventors: 원용연
Original assignee: 참엔지니어링(주)
Priority date: 2011-09-19
Filing date: 2011-09-19
Publication date: 2016-12-06
Also published as: KR20130030622A; CN102998759B; CN102998759A

Abstract

본 발명은 서로 평행한 제 1 및 제 2 슬릿 블레이드의 일부와 각각 연결된 제 1 및 제 2 가동자와, 제 1 및 제 2 슬릿 블레이드와 직교하는 방향으로 서로 평행한 제 3 및 제 4 슬릿 블레이드의 일부와 각각 연결된 제 3 및 제 4 가동자와, 제 1 및 제 2 가동자의 하부에 마련되어 제 1 및 제 2 가동자를 각각 직선 운동시키는 제 1 고정자와, 제 3 및 제 4 가동자의 하부에 마련되어 제 3 및 제 4 가동자를 각각 직선 운동시키는 제 2 고정자를 포함하는 슬릿 폭 조정 장치가 제시된다.

Description

슬릿 폭 조정 장치{Slit width adjusting apparatus}

본 발명은 슬릿 폭 조정 장치에 관한 것으로, 특히 액정 표시 장치(LCD) 등의 평판 표시 장치의 불량 화소를 리페어하기 위해 이용되는 슬릿 폭 조정 장치에 관한 것이다.

음극선관(cathode ray tube; CRT)을 대신하여 유기 발광 표시 장치(organic light emittingdiode display; OLED), 플라즈마 표시 장치(plasma display panel; PDP), 액정 표시 장치(liquid crystal display; LCD) 등의 평판 표시 장치의 개발이 활발히 이루어지고 있다.

그 중 가장 널리 사용되고 있는 액정 표시 장치는 게이트 라인, 데이터 라인, 박막 트랜지스터 및 화소 전극 등이 형성된 제 1 기판과, 컬러 필터, 블랙 매트릭스, 공통 전극 등이 형성된 제 2 기판과, 제 1 및 제 2 기판 사이에 마련되는 액정층을 포함한다. 이러한 액정 표시 장치는 화소 전극과 공통 전극 사이에 형성되는 전계로 인하여 액정층에 포함되는 액정이 회전하면서 빛의 투과율이 변하게 되며, 백라이트 유닛에서 제공되는 빛이 액정의 투과율 변화에 따라 많이 투과되거나 적게 투과되면서 화상을 표현하게 된다.

그런데, 액정 표시 장치는 공정상의 문제 등의 이유로 불량 화소가 발생할 수 있다. 불량 화소가 발생하면 불량 화소 부분이 밝게 빛나는 이른바 밝은 화소(bright pixel) 현상이 나타나게 된다. 이러한 불량 화소는 최대한 블랙으로 만들어 리페어(repair)하게 된다.

불량 화소를 리페어하는 방법으로는 불량 화소에 대응되는 컬러 필터에 레이저를 조사하여 검게 탄화시키는 방법과, 불량 화소에 대응되는 컬러 필터의 양측에 위치하는 블랙 매트릭스에 레이저를 조사함으로써 녹이고 이를 이용하여 불량 화소에 대응되는 컬러 필터를 도포하는 방법이 있다.

불량 화소에 레이저를 조사하기 위해서는 슬릿 폭 조정 장치를 이용한다. 즉, 슬릿 폭 조정 장치는 X 방향으로 이동하는 두 개의 슬릿 블레이드와 Y 방향으로 이동하는 두 개의 슬릿 블레이드를 포함하는데, 이들을 이용하여 해당 불량 화소를 노출시키고, 노출된 부분을 통해 레이저를 조사하게 된다. 이때, 종래의 슬릿 폭 조정 장치는 슬릿 블레이드를 이동시키기 위해 서로 반대 방향으로 회전하는 나사부를 이용한다. 즉, 서로 역방향(오른 나사와 왼 나사)로 회전하는 나사부에 두 개의 블레이드를 각각 연결하고, 나사부의 회전에 의해 두 개의 블레이드를 중앙쪽으로 이동시켜 불량 화소를 노출시켰다. 이러한 슬릿 폭 조정 장치는 일본특허출원 2008-160054에 제시되어 있다.

그런데, 이러한 종래의 슬릿 폭 조정 장치는 X축 블레이드 및 Y축 블레이드가 모두 중앙 또는 외곽쪽으로만 이동하기 때문에 정밀한 제어가 어렵다. 즉, 슬릿 폭 조정 장치는 각각 두개의 X축 블레이드 및 Y축 블레이드를 각각 개별적으로 이동시키지 못하고 연동되어 중앙 또는 외곽쪽으로 이동하기 때문에 불량 화소에 이들을 위치시키기 위해 많은 시간이 소요된다.

본 발명은 X축 및 Y축 각각의 두 슬릿 블레이드를 개별적으로 이동시킬 수 있어 정밀 제어가 가능한 슬릿 폭 조정 장치를 제공한다.

본 발명은 X축 및 Y축 각각의 두 슬릿 블레이드를 리니어 모터를 이용하여 구동함으로써 두 블레이드를 개별적으로 이동시킬 수 있는 슬릿 폭 조정 장치를 제공한다.

본 발명의 일 양태에 따른 슬릿 폭 조정 장치는 서로 평행한 제 1 및 제 2 슬릿 블레이드와 각각 연결된 제 1 및 제 2 가동자; 상기 제 1 및 제 2 슬릿 블레이드와 직교하는 방향으로 서로 평행한 제 3 및 제 4 슬릿 블레이드가 각각 연결된 제 3 및 제 4 가동자; 상기 제 1 및 제 2 가동자의 하부에 마련되어 상기 제 1 및 제 2 가동자를 각각 직선 운동시키는 제 1 고정자; 및 상기 제 3 및 제 4 가동자의 하부에 마련되어 상기 제 3 및 제 4 가동자를 각각 직선 운동시키는 제 2 고정자를 포함한다.

상기 제 1 및 제 2 고정자 하측에 마련되어 이들을 각각 지지하는 지지 부재; 상기 가동자들의 외측에 마련되어 이들의 속도 및 위치를 판별하기 위한 인코더; 및 상기 가동자들의 상부에 마련되어 이들의 원점 위치를 확립하기 위한 리미드 스위치 및 도그를 더 포함한다.

상기 리미트 스위치는 상기 가동자들 상에 이격되어 마련되고, 상기 도그는 상기 가동자들 상부에 접촉되며 상기 리미트 스위치 사이를 지나도록 마련된다.

상기 가동자들의 이동을 가이드하기 위해 상기 제 1 및 제 2 고정자의 각각의 측면과 상기 가동자들의 내측면 사이에 마련된 가이드를 더 포함한다.

상기 제 1 및 제 2 슬릿 블레이드는 상기 제 1 및 제 2 가동자에 의해 각각 동일 방향으로 이동하거나, 서로 다른 방향으로 이동하거나, 어느 하나는 고정되고 다른 하나만 이동한다.

상기 제 1 및 제 2 슬릿 블레이드는 일부가 서로 겹쳐진다. 상기 제 1 및 제 2 슬릿 블레이드는 상기 제 1 및 제 2 가동자와 서로 다른 높이로 연결되거나, 일 영역이 서로 다른 두께로 형성된다.

상기 제 3 및 제 4 슬릿 블레이드는 상기 제 3 및 제 4 가동자에 의해 각각 동일 방향으로 이동하거나, 서로 다른 방향으로 이동하거나, 하나는 고정되고 다른 하나만 이동한다.

본 발명의 실시 예들에 따른 슬릿 폭 조정 장치는 X축 방향으로 서로 독립적으로 이동하는 두 개의 가동자 상에 두 개의 슬릿 블레이드가 각각 연결되고, Y축 방향으로 서로 독립적으로 이동하는 두 개의 가동자 상에 두 개의 슬릿 블레이드가 각각 연결된다. 따라서, 슬릿 블레이드는 X축 또는 Y축 방향으로 동일 방향으로 이동하거나, 서로 다른 방향으로 이동하거나, 또는 일 슬릿 블레이드는 고정되고 타 슬릿 블레이드만 이동할 수도 있다.

본 발명에 의하면, 개구를 중앙 뿐만 아니라 다수의 영역에서 형성할 수 있어 슬릿 폭 조정 공정의 효율을 향상시킬 수 있다. 즉, 종래에는 개구를 중앙 영역의 한 영역에서만 형성할 수 있었으나, 본 발명은 슬릿 블레이드의 홈의 형상 및 크기에 따라 다수의 영역에서 개구를 형성할 수 있다.

또한, 종래에는 슬릿 블레이드들이 개별적으로 이동하지 못하고 나사부를 따라 모두 중앙 또는 외곽쪽으로만 이동하기 때문에 정밀한 제어가 어려웠으나, 본 발명은 슬릿 블레이드의 이동 거리를 정밀하게 조절할 수 있고, 그에 따라 개구의 형성 시간 및 정밀도를 향상시킬 수 있다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 폭 조정 장치의 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 폭 조정 장치를 이용한 슬릿 폭 조정 방법을 설명하기 위한 개략도.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 폭 조정 장치의 사시도이고, 도 2는 일 측면 사시도로서, 이하에서는 슬릿 폭 조정 장치의 주요 구성을 위주로 설명한다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 폭 조정 장치는 스테이지(100)와, 스테이지(100) 상의 예를 들어 X축 가장자리에 마련된 제 1 리니어 모터(200)와, 스테이지(100) 상의 예를 들어 X축과 직교되는 Y축 가장자리에 마련된 제 2 리니어 모터(300)와, 제 1 리니어 모터(200)에 고정된 제 1 슬릿 부재(400)와, 제 2 리니어 모터(300)에 고정된 제 2 슬릿 부재(500)를 포함한다.

제 1 리니어 모터(200; 210, 220)는 스테이지(100) 상의 일 영역에 마련된 고정자(210; 210a, 210b)와, 고정자(210; 210a, 210b)의 상부에 서로 이격되어 마련되는 두 개의 가동자(220a, 220b)를 포함한다. 또한, 고정자(210)를 스테이지(100) 상에 지지하기 위해 지지 부재(230)가 마련되고, 가동자(220a, 220b) 각각의 속도 및 위치를 판별하기 위해 두 개의 인코터(encoder)(240a, 240b)가 마련되며, 가동자(220a, 220b) 각각의 원점 위치의 확립하기 위해 각각 두 개의 리미트 스위치(250a, 250b) 및 도그(260a, 260b)가 마련되고, 가동자(220a, 220b)의 이동을 가이드하기 위한 가이드(270)가 마련된다.

고정자(210)는 스테이지(100) 상의 예를 들어 X축 가장자리에 마련된다. 또한, 가동자(220a, 220b)는 고정자(210)의 상에 소정 간격 이격되어 마련되며, 고정자(210)와의 전자기적 상호 작용에 의해 고정자(210)를 따라 X축 방향으로 이동된다. 여기서, 고정자(210)는 영구 자석으로 구성되고, 가동자(220a, 220b)는 코일로 구성될 수 있다. 예를 들어, 고정자(210)는 소정의 프레임(frame)의 내측 양측벽에 다수의 영구 자석이 소정 간격으로 이격되어 설치될 수 있다. 또한, 가동자(220a, 220b)는 소정의 프레임의 저면에 다수의 코일을 소정 간격으로 배열한 후 몰딩(molding)하여 형성한 코일 블럭(coil block)을 포함할 수 있다. 따라서, 가동자(220a, 220b)의 코일 블럭에 소정의 구동 전원을 공급하면 코일 블럭에 설치된 다수의 코일에서 전류가 발생되어 고정자(210)의 내측 양측면에 설치된 영구 자석과 코일 블럭 사이에서 자계가 발생되며, 이 자계에 의하여 가동자(220a, 220b)를 밀어내는 추력이 발생된다. 이 추력을 이용하여 가동자(220a, 220b)를 직접적으로 직선 운동시키게 된다. 여기서, 가동자(220a, 220b)는 서로 반대 방향으로 이동할 수도 있고, 동일 방향으로 이동할 수도 있으며, 어느 하나는 고정되고 나머지 하나만 이동될 수도 있다. 즉, 가동자(220a, 220b)는 독립적인 구동이 가능하다. 한편, 고정자(210)가 코일로 구성되고 가동자(220a, 220b)가 영구 자석으로 구성될 수도 있다.

지지 부재(230)는 스테이지(100) 상에 마련되고, 그 상부에는 고정자(210)가 마련된다. 또한, 고정자(210) 뿐만 아니라 다른 구성 요소도 마련될 수 있다. 또한, 지지 부재(230)는 적어도 일 영역, 예를 들어 고정자(210)가 직접 지지되는 영역에 에어 패드 등의 에어 베어링(미도시)이 마련될 수 있다. 따라서, 가동자(220a, 220b)가 X축 방향으로 이동함에 따른 반력(反力)은 지지 부재(230)에 흡수될 수 있다.

인코터(240a, 240b)는 가동자(220a, 220b)의 속도 및 위치를 판별하기 위해 마련되며, 제 1 및 제 2 슬릿 부재(400, 500)가 연장되는 방향과 대향되는 방향, 즉 슬릿 폭 조정 장치의 외측면에 마련될 수 있다. 이러한 인코더(240a, 240b)는 가동자(220a, 220b)의 속도 및 위치를 감지하여 소정의 인코더 신호를 발생한다. 이렇게 발생된 인코더 신호는 슬릿 폭 조정 장치를 제어하는 주제어 장치(미도시)에 전달되는데, 주제어 장치의 신호 변환부(미도시)를 통해 디지털 신호로 변환되고, 이 디지털 신호는 제어기(미도시)가 수신하여 제어기에 의해 현재의 가동자(220a, 220b)의 위치 및 속도를 판별하게 된다.

그런데, 인코더(240a, 240b)는 가동자(220a, 220b)의 위치 및 속도를 판별할 수 있지만, 절대 위치, 즉 임의의 좌표 원점에 대한 위치를 검출할 수는 없다. 가동자(220a, 220b)의 절대 위치를 검출하기 위해서는 가동자(220a, 220b)의 원점 위치를 확립할 필요가 있다. 가동자(220a, 220b)의 원점 위치를 확립하기 위해 고정자(210)의 상의 두 영역에 두 개의 리미트 스위치(250a, 250b)를 이격 설치하고, 가동자(220a, 220b) 각각에 도그(260a, 260b)를 설치한다. 즉, 리미트 스위치(250a, 250b)는 지지 프레임에 고정되어 가동자(220a, 220b) 각각의 상측에 마련된다. 이러한 리미트 스위치(250a, 250b)는 도그(260a, 260b)의 일부가 지날 수 있도록 예컨데 "요(凹)"자 형상으로 마련된다. 즉, 제 1 슬릿 부재(400)가 연장된 방향과 그 대향하는 방향에 두 기둥이 마주보는 형상으로 마련된다. 또한, 도그(260a, 260b)는 예를 들어 "ㄷ"자 형태로 제작되어 하측이 가동자(220a, 220b) 상에 고정되고, 상측이 리미트 스위치(250a, 250b) 사이를 지나도록 마련된다. 따라서, 가동자(220a, 220b)를 소정 방향으로부터 이동시켜 리미트 스위치(250a, 250b)가 검출한 도그(260a, 260b)의 위치를 원점으로 설정한다.

한편, 가이드(270)는 고정자(210)의 측면과 가동자(220a, 220b)의 내측면 사이에 마련되어 가동자(220a, 220b)의 이동을 가이드한다. 즉, 가동자(220a, 220b)는 고정자(210) 상에서 평면을 이루고 고정자(210)의 측면과 소정 간격 이격되어 하측으로 굴곡지는 형상을 갖는데, 가이드(270)는 고정자(210)의 측면과 가동자(220a, 220b)의 내측면 사이에 마련된다.

제 2 리니어 모터(300; 310, 320)는 스테이지(100) 상의 Y축 단부에 Y축 방향을 따라 마련된 고정자(310; 310a, 310b)와, 고정자(310; 310a, 310b) 각각의 상부에 마련되는 두 개의 가동자(320; 320a, 320b)를 포함한다. 그런데, 제 2 리니어 모터(300)는 제 1 리니어 모터(200)와 직교되는 위치에 마련되는 것이 다르고 구성 등은 동일하다. 또한, 지지 부재(330)가 마련되어 고정자(310)를 지지하고, 두 개의 인코더(340b, 340b)가 마련되어 가동자(320a, 320b)의 속도 및 위치를 판별하며, 각각 두 개의 리미트 스위치(350a, 350b) 및 도그(360a, 360b)이 마련되어 가동자(320a, 320b)의 원점 위치의 확립한다. 또한, 가이드(370)가 마련되어 가동자(330a, 330b)의 이동을 가이드한다.

고정자(310)는 스테이지(100) 상의 예를 들어 Y축 가장자리에 마련된다. 또한, 가동자(320a, 320b)는 고정자(310)의 상에 소정 간격 이격되어 마련되며, 고정자(310)와의 전자기적 상호 작용에 의해 고정자(310)를 따라 Y축 방향으로 이동된다. 여기서, 고정자(310)는 영구 자석으로 구성되고, 가동자(320a, 320b)는 코일로 구성될 수 있다. 따라서, 가동자(320a, 320b)의 코일에 소정의 구동 전원을 공급하면 코일에서 전류가 발생되어 코일과 고정자(310)의 영구 자석 사이에서 자계가 발생되며, 이 자계에 의하여 가동자(320a, 320b)를 밀어내는 추력이 발생된다. 이 추력을 이용하여 가동자(320a, 320b)를 직접적으로 직선 운동시키게 된다. 여기서, 가동자(320a, 320b)는 서로 반대 방향으로 이동할 수도 있고, 동일 방향으로 이동할 수도 있으며, 어느 하나는 고정되고 나머지 하나만 이동될 수도 있다. 즉, 가동자(320a, 320b)는 독립적인 구동이 가능하다. 한편, 고정자(310)가 코일로 구성되고 가동자(320a, 320b)가 영구 자석으로 구성될 수도 있다.

지지 부재(330)는 스테이지(100) 상에 마련되고, 그 상부에는 고정자(310) 뿐만 아니라 다른 구성 요소도 마련될 수 있다. 또한, 지지 부재(330)는 고정자(310)가 직접 지지되는 적어도 일 영역에 에어 패드 등의 에어 베어링(미도시)이 마련될 수 있고, 그에 따라 가동자(320a, 320b)가 Y축 방향으로 이동함에 따른 반력(反力)은 지지 부재(330)에 흡수될 수 있다.

인코더(340a, 340b)는 가동자(320a, 320b)의 속도 및 위치를 판별하기 위해 마련되며, 슬릿 폭 조정 장치의 외측면에 마련될 수 있다. 이러한 인코더(340a, 340b)는 가동자(320a, 320b)의 속도 및 위치를 감지하여 소정의 인코더 신호를 발생하고, 인코더 신호는 슬릿 폭 조정 장치를 제어하는 주제어 장치(미도시)에 전달된다. 인코더 신호는 주제어 장치의 신호 변환부(미도시)를 통해 디지털 신호로 변환되고, 이 디지털 신호는 제어기(미도시)가 수신하여 제어기에 의해 현재의 가동자(320a, 320b)의 위치 및 속도를 판별하게 된다.

고정자(310)의 상의 두 영역에 두 개의 리미트 스위치(350a, 350b)를 이격 설치하고, 가동자(320a, 320b) 각각에 도그(360a, 360b)를 설치하여 가동자(320a, 320b)의 원점 위치를 확립한다. 즉, 리미트 스위치(350a, 350b)는 지지 프레임에 고정되어 가동자(320a, 320b) 각각의 상측에 마련된다. 이러한 리미트 스위치(350a, 350b)는 도그(360a, 360b)의 일부가 지날 수 있도록 예컨데 "요(凹)"자 형상으로 마련된다. 또한, 도그(360a, 360b)는 예를 들어 "ㄷ"자 형태로 제작되어 하측이 가동자(320a, 320b) 상에 고정되고, 상측이 리미트 스위치(350a, 350b) 사이를 지나도록 마련된다. 따라서, 가동자(320a, 320b)를 소정 방향으로부터 이동시켜 리미트 스위치(350a, 350b)가 검출한 도그(360a, 360b)의 위치를 원점으로 설정한다.

한편, 가이드(370)는 고정자(310)의 측면과 가동자(320a, 320b)의 내측면 사이에 마련되어 가동자(320a, 320b)의 이동을 가이드한다.

제 1 슬릿 부재(400)는 두 개의 슬릿 블레이드(410, 420)를 포함한다. 슬릿 블레이드(410, 420)는 일 영역이 가동자(220a, 220b) 상에 클램프(430)에 의해 고정되고, 가동자(220a, 220b)가 이동하는 방향과 직교하는 방향으로 연장된다. 예컨데, 가동자(220a, 220b)가 X축 상에 마련되어 X축 방향으로 이동하고, 슬릿 블레이드(410, 420)는 Y축 방향으로 연장된다. 두 개의 슬릿 블레이드(410, 420)는 모두 직사각형의 형상을 가지고 중간 부분이 제거되어 홈(412, 422)이 형성된다. 홈(412, 422)은 두 개의 슬릿 블레이드(410, 420)가 서로 맞물려 소정 형상의 개구를 형성할 수 있다. 개구의 형태는 직사각형의 형태를 가질 수 있고, 정사각형, 삼각형, 원, 다각형 등의 다양한 형태를 갖는다. 따라서, 두 개의 슬릿 블레이드(410, 420)의 홈(412, 422) 형상은 두 개의 슬릿 블레이드(410, 420)이 서로 맞물렸을 때 다양한 형상의 개구를 형성할 수 있도록 다양한 형상으로 형성된다. 예를 들어,직사각형의 홈(412, 422)이 형성된 두 개의 슬릿 블레이드(410, 420)는 서로 맞물려 직사각형 또는 정사각형의 개구를 형성할 수 있다. 여기서, 슬릿 블레이드(410, 420)는 일 영역이 서로 겹쳐질 수 있다. 예를 들어, 슬릿 블레이드(410, 420)의 가동자(220a, 220b) 상에서의 높이가 달라 일 슬릿 블레이드(410)의 상측으로 타 슬릿 블레이드(420)의 일부가 겹쳐질 수 있다. 이때, 홈(412, 422)의 폭으로 겹쳐져 개구가 형성되지 않도록 할 수 있다. 또한, 슬릿 블레이드(410, 420)의 일 영역의 두께를 다르게 하여 일 영역이 서로 겹쳐질 수 있다. 즉, 홈(412, 422)이 형성된 영역이 다른 영역보다 얇게 형성될 수 있다. 이러한 슬릿 블레이드(410, 420)는 가동자(220a, 220b)의 이동 방향으로 이동한다. 따라서, 슬릿 블레이드(410, 420)는 동일 방향으로 이동하거나, 서로 다른 방향으로 이동하거나, 일 블레이드(410)는 고정되고 타 블레이드(420)만 이동할 수도 있다. 이렇게 슬릿 블레이드(410, 420)의 거리가 멀어질수록 형성되는 개구의 크기는 커지며, 반대로 가까워질수록 개구의 크기는 작아진다. 이 개구가 불량 화소에 조사되는 레이저 빔의 통로가 된다.

제 2 슬릿 부재(500)은 일 영역이 가동자(320a, 320b) 상에 클램프(530)에 의해 고정되고, 가동자(320a, 320b)가 이동하는 방향과 직교하는 방향으로 연장된 두 개의 슬릿 블레이드(510, 520)를 포함한다. 두 개의 슬릿 블레이드(510, 520)는 모두 직사각형의 형상을 가지고, 중간 부분이 제거되어 홈(512, 522)이 형성된다. 홈(512, 522)은 두 개의 슬릿 블레이드(510, 520)가 서로 맞물려 소정 형상의 개구를 형성할 수 있다. 개구의 형태는 직사각형, 정사각형, 삼각형, 원, 다각형 등의 다양한 형태를 가질 수 있다. 여기서, 슬릿 블레이드(510, 520)는 일 영역이 서로 겹쳐질 수 있다. 예를 들어, 슬릿 블레이드(510, 520)의 가동자(320a, 320b) 상에서의 높이가 달라 일 슬릿 블레이드(510)의 상측으로 타 슬릿 블레이드(520)의 일부가 겹쳐질 수 있다. 이때, 홈(512, 522)의 폭으로 겹쳐져 개구가 형성되지 않도록 할 수 있다. 또한, 슬릿 블레이드(510, 520)의 일 영역의 두께를 다르게 하여 일 영역이 서로 겹쳐질 수 있다. 즉, 홈(512, 522)이 형성된 영역이 다른 영역보다 얇게 형성될 수 있다. 이러한 슬릿 블레이드(510, 520)는 가동자(320a, 320b)의 이동 방향으로 이동한다. 따라서, 슬릿 블레이드(510, 520)는 동일 방향으로 이동하거나, 서로 다른 방향으로 이동하거나, 일 블레이드(510)는 고정되고 타 블레이드(520)만 이동할 수도 있다. 이렇게 슬릿 블레이드(510, 520)의 거리가 멀어질수록 형성되는 개구의 크기는 커지며, 반대로 가까워질수록 개구의 크기는 작아진다. 이 개구가 불량 화소에 조사되는 레이저 빔의 통로가 된다.

상기한 바와 같이 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 폭 조정 장치는 슬릿 부재(400, 500)가 리니어 모터(200, 300)에 의해 구동되어 슬릿 부재(400, 500)에 의해 개구의 정밀 제어가 가능하다. 즉, X축 방향으로 서로 독립적으로 이동하는 두 개의 가동자(220a, 220b) 상에 두 개의 슬릿 블레이드(410, 420)가 각각 연결되고, Y축 방향으로 서로 독립적으로 이동하는 두 개의 가동자(320a, 320b) 상에 두 개의 슬릿 블레이드(510, 520)가 각각 연결된다. 따라서, 슬릿 블레이드(410, 420)는 X축 방향으로 동일 방향으로 이동하거나, 서로 다른 방향으로 이동하거나, 또는 일 슬릿 블레이드(410)는 고정되고 타 슬릿 블레이드(420)만 이동할 수도 있다. 또한, 슬릿 블레이드(510, 520)는 Y축 방향으로 동일 방향으로 이동하거나, 서로 다른 방향으로 이동하거나, 또는 일 슬릿 블레이드(510)는 고정되고 타 슬릿 블레이드(520)만 이동할 수도 있다. 따라서, 개구를 슬릿 폭 조정 장치의 중앙 뿐만 아니라 다수의 영역에서 형성할 수 있어 슬릿 폭 조정 공정의 효율을 향상시킬 수 있다. 즉, 종래에는 개구를 중앙 영역의 한 영역에서만 형성할 수 있었으나, 본 발명은 제 1 슬릿 부재(400)의 홈(412, 422) 및 제 2 슬릿 부재(500)의 홈(512, 522)의 형상 및 크기에 따라 다수의 영역에서 개구를 형성할 수 있다. 또한, 개구의 형성의 정밀도를 향상시킬 수도 있다.

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬릿 폭 조정 장치의 구동 방법을 설명하기 위한 슬릿 부재의 개략도이다.

먼저, 도 3(a)에 도시된 바와 같이, 제 1 슬릿 부재(400)의 슬릿 블레이드(410, 420)가 서로 멀어지는 방향으로 이동하고, 이와 동시에 제 2 슬릿 부재(500)의 슬릿 블레이드(510, 520)가 서로 멀어지는 방향으로 이동한다. 즉, 슬릿 블레이드들(410, 420, 510, 520)은 서로 외측으로 이동한다. 이때, 슬릿 블레이드들(410, 420, 510, 520)은 도그에 의해 정지되는 리미트 스위치의 위치까지 이동하게 된다. 따라서, 슬릿 블레이드들(410, 420, 510, 520)의 원점 위치가 확립된다.

이어서, 도 3(b)에 도시된 바와 같이, 제 1 슬릿 부재(400)의 슬릿 블레이드(410, 420)가 서로 가까워지는 방향으로 이동하고, 이와 동시에 제 2 슬릿 부재(500)의 슬릿 블레이드(510, 520)도 서로 가까워지는 방향으로 이동한다. 즉, 슬릿 블레이드들(410, 420, 510, 520)은 서로 내측으로 이동한다. 여기서, 슬릿 블레이드들(410, 420, 510, 520)은 홈들(412, 422, 512, 522)에 의해 개구가 닫힐 때까지 이동하며, 이때 일 슬릿 블레이드(410, 510) 상으로 타 슬릿 블레이드(420, 520)가 겹쳐질 수 있다.

이어서, 도 3(c)에 도시된 바와 같이, 제 1 슬릿 부재(400)의 슬릿 블레이드(410, 420)가 서로 멀어지는 방향으로 이동하고, 이와 동시에 제 2 슬릿 부재(500)의 슬릿 블레이드(510, 520)도 서로 멀어지는 방향으로 이동한다. 즉, 슬릿 블레이드들(410, 420, 510, 520)은 서로 외측으로 이동한다. 따라서, 슬릿 블레이드들(410, 420, 510, 520)의 홈들(412, 422, 512, 522)에 의해 소정 크기의 개구(600)가 형성된다.

이후, 개구(600)의 크기를 증가시키기 위해 도 4(c)에 도시된 바와 같이, 슬릿 블레이드(420, 520)는 고정하고 슬릿 블레이드(410, 510)만을 이동시킬 수 있다.

한편, 본 발명의 기술적 사상은 상기 실시 예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기 실시 예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주지해야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야에서 당업자는 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.

100 : 스테이지 200 및 300 : 제 1 및 제 2 리니어 모터
400 및 500 : 제 1 및 제 2 슬릿 부재
210, 310 : 고정자 220a, 220b, 320a, 320b : 가동자
230, 330 : 지지 부재 240a, 240b, 340a, 340b : 인코더
250a, 250b, 350a, 350b : 리미트 스위치
260a, 260b, 360a, 360b : 도그
410, 420, 510, 520 : 슬릿 블레이드
412, 422, 512, 522 : 홈

Claims

서로 평행한 제 1 및 제 2 슬릿 블레이드와 각각 연결된 제 1 및 제 2 가동자;
상기 제 1 및 제 2 슬릿 블레이드와 직교하는 방향으로 서로 평행한 제 3 및 제 4 슬릿 블레이드가 각각 연결된 제 3 및 제 4 가동자;
상기 제 1 및 제 2 가동자의 하부에 마련되어 상기 제 1 및 제 2 가동자를 각각 직선 운동시키는 제 1 고정자;
상기 제 3 및 제 4 가동자의 하부에 마련되어 상기 제 3 및 제 4 가동자를 각각 직선 운동시키는 제 2 고정자;
상기 제 1 및 제 2 고정자 하측에 마련되어 이들을 각각 지지하는 지지 부재;
상기 가동자들의 외측에 마련되어 이들의 속도 및 위치를 판별하기 위한 인코더; 및
상기 가동자들의 상부에 마련되어 이들의 원점 위치를 확립하기 위한 리미트 스위치 및 도그를 포함하는 슬릿 폭 조정 장치.
삭제
제 1 항에 있어서, 상기 리미트 스위치는 상기 가동자들 상에 이격되어 마련되고, 상기 도그는 상기 가동자들 상부에 접촉되며 상기 리미트 스위치 사이를 지나도록 마련된 슬릿 폭 조정 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 가동자들의 이동을 가이드하기 위해 상기 제 1 및 제 2 고정자의 각각의 측면과 상기 가동자들의 내측면 사이에 마련된 가이드를 더 포함하는 슬릿 폭 조정 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 슬릿 블레이드는 상기 제 1 및 제 2 가동자에 의해 각각 동일 방향으로 이동하거나, 서로 다른 방향으로 이동하거나, 어느 하나는 고정되고 다른 하나만 이동하는 슬릿 폭 조정 장치.
제 5 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 슬릿 블레이드는 일부가 서로 겹쳐지는 슬릿 폭 조정 장치.
제 6 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 슬릿 블레이드는 상기 제 1 및 제 2 가동자와 서로 다른 높이로 연결되거나, 일 영역이 서로 다른 두께로 형성되는 슬릿 폭 조정 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 제 3 및 제 4 슬릿 블레이드는 상기 제 3 및 제 4 가동자에 의해 각각 동일 방향으로 이동하거나, 서로 다른 방향으로 이동하거나, 하나는 고정되고 다른 하나만 이동하는 슬릿 폭 조정 장치.
제 8 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 슬릿 블레이드는 일부가 서로 겹쳐지는 슬릿 폭 조정 장치.
제 9 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 슬릿 블레이드는 상기 제 1 및 제 2 가동자와 서로 다른 높이로 연결되거나, 일 영역이 서로 다른 두께로 형성되는 슬릿 폭 조정 장치.