JP2001194458A - 受光素子、距離測定装置及び距離・画像測定装置 - Google Patents

受光素子、距離測定装置及び距離・画像測定装置

Info

Publication number
JP2001194458A
JP2001194458A JP2000281909A JP2000281909A JP2001194458A JP 2001194458 A JP2001194458 A JP 2001194458A JP 2000281909 A JP2000281909 A JP 2000281909A JP 2000281909 A JP2000281909 A JP 2000281909A JP 2001194458 A JP2001194458 A JP 2001194458A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
switch
light receiving
light
pixel
output line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2000281909A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4613406B2 (ja
Inventor
Ryoichi Sugawara
菅原  良一
Naoki Sano
直樹 佐野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Priority to JP2000281909A priority Critical patent/JP4613406B2/ja
Priority to US09/696,969 priority patent/US6400448B1/en
Priority to DE10054676.5A priority patent/DE10054676B4/de
Publication of JP2001194458A publication Critical patent/JP2001194458A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4613406B2 publication Critical patent/JP4613406B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/483Details of pulse systems
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06Systems determining position data of a target
    • G01S17/08Systems determining position data of a target for measuring distance only
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/483Details of pulse systems
    • G01S7/486Receivers
    • G01S7/4861Circuits for detection, sampling, integration or read-out
    • G01S7/4863Detector arrays, e.g. charge-transfer gates
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60RVEHICLES, VEHICLE FITTINGS, OR VEHICLE PARTS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B60R21/00Arrangements or fittings on vehicles for protecting or preventing injuries to occupants or pedestrians in case of accidents or other traffic risks
    • B60R21/01Electrical circuits for triggering passive safety arrangements, e.g. airbags, safety belt tighteners, in case of vehicle accidents or impending vehicle accidents
    • B60R21/013Electrical circuits for triggering passive safety arrangements, e.g. airbags, safety belt tighteners, in case of vehicle accidents or impending vehicle accidents including means for detecting collisions, impending collisions or roll-over
    • B60R21/0134Electrical circuits for triggering passive safety arrangements, e.g. airbags, safety belt tighteners, in case of vehicle accidents or impending vehicle accidents including means for detecting collisions, impending collisions or roll-over responsive to imminent contact with an obstacle, e.g. using radar systems
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/88Lidar systems specially adapted for specific applications
    • G01S17/89Lidar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/88Lidar systems specially adapted for specific applications
    • G01S17/93Lidar systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes
    • G01S17/931Lidar systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes of land vehicles

Abstract

(57)【要約】 【課題】選択画素からの受光信号のみを適切に検出可能
な受光素子を提供する。 【解決手段】選択画素についてはSW1=ON,SW2
=OFFとなり、PDからの受光信号が縦方向出力線L
11を介して出力される。また非選択画素についてはSW
1=OFFとなり外部へ出力されない。さらにSW2=
ONとなり、PDからの受光信号は接地線を介してグラ
ウンドに落とされるため、リーク防止も実現される。一
方、縦方向出力線L11が最終的には1本の出力線L12に
まとめられる部分において、縦方向出力線L11にSW
3,4が設けられている。SW3は縦方向出力線L11と
出力線L12とを接・断するためのスイッチであり、SW
4は縦方向出力線L11と接地線とを接・断するためのス
イッチである。非選択画素についてはSW4=OFFと
なり、やはりここでもリーク防止が実現される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数画素が配列さ
れ、各画素の受光領域にて光電変換された受光信号を外
部の処理回路へ出力可能な受光素子、及びその受光素子
を備えた距離測定装置、距離・画像測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、自動車などに取り付けられ、
車両周囲の所定角度に渡り、レーザ光を断続的に照射し
て反射物体により反射された反射光を検出し、そのレー
ザ光を照射したタイミングと、反射光を検出したタイミ
ングとの時間差を測定して、その時間差に基づいて反射
物体までの距離を算出する距離測定装置が知られてい
る。このような距離測定装置においては、広い検知エリ
アを確保するために、照射範囲を広げることが基本的に
は望ましい。
【0003】但し、照射範囲を広げると、例えば対向車
線を走行している自動車に搭載された距離測定装置から
照射されたレーザ光を受光してしまったり、あるいは隣
接レーンを走行している自動車に搭載された距離測定装
置から照射されたレーザ光の反射物体による反射光を受
光してしまったりして、適切な距離測定が妨害されてし
まうおそれがある。
【0004】そのため、例えば特開平7−98381号
公報においては、外乱光ノイズの影響を極力小さくする
目的で、受光素子として次のような構成を採用してい
る。つまり、受光する部分には複数の画素が配列されて
おり、レーザ光の照射方向に応じて、複数の画素の内の
一部のみを機能を発揮させることによって、実質的に受
光する面積を小さくするのである。この特開平7−98
381号公報記載の装置においては、画素毎に、受光信
号を出力するための出力線との間を切断するスイッチを
設け、機能を発揮させたい画素(選択画素)に対応する
スイッチのみ接続するようにしている。このようにすれ
ば、レーザ光を照射したタイミングと、選択画素からの
受光信号に基づいて得た反射光を検出したタイミングと
の時間差を測定し、その時間差に基づいて反射物体まで
の距離を算出することができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このように
して正確な距離が算出できるのは、選択画素からの受光
信号のみが計時回路に入力されるという大前提があって
のことである。しかしながら、スイッチが切断されてい
るとはいえ、機能を発揮させたくない画素(非選択状態
の画素)にも反射光が入射している場合には、その非選
択状態の画素からの受光信号がリークして計時回路に入
力されてしまう可能性がある。計時回路では、選択状態
の画素から出力された適切な受光信号なのか、非選択状
態の画素からリークした受光信号なのかの区別はでき
ず、誤った時間差を計測してしまう可能性がある。この
計時誤差はひいては反射物体までの距離を誤測定してし
まうことにつながる。
【0006】そこで、選択状態の画素からの受光信号の
みを適切に検出可能な受光素子を提供することを目的と
し、さらに、その受光素子を用いて適切な距離測定ので
きる距離測定装置及びさらに画像測定もできる距離・画
像測定装置を提供することも目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達するために
なされた請求項1記載の受光素子は、複数の画素が配列
され、その画素の受光領域にて光電変換された受光信号
を外部の処理回路へ出力する。外部の処理回路とは、例
えば距離測定に利用する場合であれば計時回路などであ
る。ここで、本受光素子の各画素には、受光信号を処理
回路へ出力するための出力線と受光領域との間を断続す
る第1のスイッチと、接地線と受光領域との間を断続す
る第2のスイッチとがそれぞれ設けられている。そし
て、第1のスイッチが接続されている場合は第2のスイ
ッチを切断し、第1のスイッチが切断されている場合に
は第2のスイッチを接続するのである。
【0008】本受光素子を用いる場合には、選択画素に
ついては第1のスイッチを接続し、非選択画素について
は第1のスイッチを切断する。その場合、上述したよう
に、選択画素についての第2のスイッチは切断され、非
選択画素についての第2のスイッチは接続される。これ
によって、仮に非選択画素が受光したとしても、第2の
スイッチを介して接地線へ受光信号が出力されるので、
リークすることがない。一方、選択画素からの受光信号
は、第2のスイッチは切断されているため接地線へ出力
されることなく、第1のスイッチ及び出力線を介して外
部の処理回路へ適切に出力される。
【0009】したがって、外部の処理回路では、選択状
態の画素からの受光信号のみを入力することができる。
例えば処理回路が距離測定のための計時回路であるとす
ると、従来のように、非選択状態の画素からリークした
受光信号による計時誤差が低減され、距離の誤測定を回
避できる。
【0010】なお、この受光素子を距離測定用に利用す
る場合は、請求項2に示すように、受光領域をpinフ
ォトダイオードで構成し、第1及び第2のスイッチを、
その受光領域とは分離して形成された井戸層内に設ける
ことが考えられる。pinフォトダイオードは、p領域
とn領域の間にi領域(真性半導体領域)が存在し、i
領域の電界によって、光入力に応じて発生したキャリア
は加速され出力電極に取り出されるため、高速性を実現
できる。距離測定には高速性が要求されるため、このよ
うな構成が好ましい。
【0011】ところで、複数の画素が配列されていれば
よいので、例えば1列に画素が配列されていてもよい。
但し、実際の適用先を考慮すると2次元的な検出が要求
されることも多いので、請求項3に示すように、縦横2
方向に複数の画素を行列状に配置して構成することが考
えられる。その場合は、請求項3に示すように、その行
単位又は列単位のいずれか一方の画素群に属する各画素
を、共通の出力線にて受光信号を出力するよう構成し、
その共通の出力線毎に、処理回路との間を断続する第3
のスイッチと、接地線との間を断続する第4のスイッチ
とをそれぞれ設ける。そして、第3のスイッチが接続さ
れている場合は第4のスイッチを切断し、第3のスイッ
チが切断されている場合には第4のスイッチを接続する
ようにしてもよい。
【0012】このようにすれば、各画素毎に出力線を準
備しなくてもよく、構成の簡素化が図れる。そして、こ
のように共通の出力線を用いた場合でも、その出力線単
位で、第3のスイッチが切断されて処理回路へ出力しな
い場合には第4のスイッチを接続して接地状態とするた
め、上述と同様にリーク防止効果が得られる。
【0013】また、この構成を前提とするならば、請求
項4に示すように、共通の出力線が行単位の画素群を接
続している場合には列単位、逆に共通の出力線が列単位
の画素群を接続している場合には行単位で、当該単位に
属する画素群の第1のスイッチを共通に制御する第1の
制御線と、当該単位に属する画素群の第2のスイッチを
共通に制御する第2の制御線とを備えてもよい。そし
て、第3のスイッチ及び第4のスイッチに関しては、そ
れぞれ個別に制御する第3の制御線及び第4の制御線を
備えるのである。
【0014】このようにすれば、第1から第4の制御線
を用いることで任意の画素のみを選択状態(機能発揮状
態)にすることができながら、さらなる構成の簡素化が
図れる。以上は主に距離測定に用いて有効な受光素子に
ついて説明したが、その基本構成を利用し、さらに構成
を追加することで距離・画像測定に用いて有効な受光素
子を得ることができる。
【0015】例えば請求項5に示すように、請求項1〜
4のいずれか記載の受光素子において、各画素がさらに
次の構成を備えるようにする。つまり、受光領域にて受
光される輝度信号に応じて当該受光領域から発生する電
荷を蓄積するコンデンサと、受光領域とコンデンサとの
間を断続する第5のスイッチと、コンデンサに蓄積され
た電荷を画像信号として処理回路へ出力するための画像
信号用出力線とコンデンサとの間を断続する第6のスイ
ッチである。
【0016】そして、受光領域とコンデンサとが直列に
接続されている場合には、第5のスイッチが接続されて
いる間は常時コンデンサに輝度信号に応じた電荷が蓄積
されるので、第6のスイッチを切断しておく。一方、第
6スイッチを接続してコンデンサに蓄積された電荷によ
る画像信号を画像信号用出力線を介して処理回路へ出力
したい場合には、第5スイッチは切断しておく。また、
コンデンサから画像信号を出力した後は、第2のスイッ
チを接地線と所定時間接続して、コンデンサに残ってい
る電荷を放出する。これでリセット完了である。
【0017】このようにすれば、一つの受光素子にて、
上述した高速性の要求に応えた距離測定に加えて画像測
定も行える。そして、これら距離測定のための動作及び
画像測定用の動作は独立且つ同時に実現できる。また、
この画像信号用出力線に関しても、次のような工夫を施
してもよい。つまり、請求項6に示すように、縦横2方
向に複数の画素が行列状に配置されて構成すると共に、
その行単位又は列単位のいずれか一方の画素群に属する
各画素を共通の画像信号用出力線にて画像信号を出力す
るよう構成する。そして、行単位又は列単位のいずれか
一方の画素群に共通の画像信号用出力線毎に、処理回路
との間を断続する第7のスイッチを設けるのである。こ
のようにすれば、各画素毎に出力線を準備しなくてもよ
く、構成の簡素化が図れる。
【0018】ところで、以上説明した発明の場合には、
接地線と受光領域との間を断続できる第2のスイッチが
各画素に設けられており、仮に非選択画素が受光したと
しても、第2のスイッチを介して各画素単位で接地線へ
受光信号を出力でき、リーク防止を行っていた。しか
し、請求項7に示すように、縦横2方向に複数の画素が
行列状に配置され、画素の受光領域にて光電変換された
受光信号を外部の処理回路へ出力すると共に、その行単
位又は列単位のいずれか一方の画素群に属する各画素
は、共通の画素群対応出力線にて受光信号を出力するよ
う構成されているのであれば、各画素に第1のスイッチ
は必要であるが、上述の第2のスイッチは設けないよう
な構成を採用しても良い。この場合は、画素群対応出力
線毎に、処理回路との間を断続する第3のスイッチと、
接地線との間を断続する第4のスイッチとがそれぞれ設
けられ、画素を選択する場合、つまり第1のスイッチ及
び第3のスイッチが接続されている場合は第4のスイッ
チを切断し、画素を非選択とする場合、つまり第1のス
イッチ及び第3のスイッチが切断されている場合には第
4のスイッチを接続すればよい。第1のスイッチ及び第
3のスイッチを切断しただけではスイッチの寄生容量等
によって画素群対応出力線へ高周波信号が結合するため
ノイズとなって外部の処理回路へ取り出されてしまう。
したがって、画素を非選択にする場合は第4のスイッチ
を接続して接地することで、容量結合によるノイズ低減
を図ることができる。
【0019】なお、容量結合によるノイズが特段問題に
ならない場合には、画素の非選択時の蓄積電荷の接地だ
けの対策を採るようにしてもよい。その場合には、請求
項8に示すような構成を採用できる。つまり、請求項7
の場合には、画素群対応出力線毎に第3のスイッチと第
4のスイッチが設けられていたが、この請求項8の場合
には、画素群対応出力線毎に第3のスイッチは設ける
が、この画素群対応出力線を、最終的には1本の出力線
にまとめられて外部の処理回路へ出力されるよう構成
し、その1本にまとめられた出力線に、接地線との間を
断続する第4のスイッチを設けるのである。そして、第
1、第3及び第4の各スイッチに対して、請求項7の場
合と同様の接続・切断操作をする。
【0020】ところで、画素が非選択のとき、例えばフ
ォトダイオードで構成される受光領域への光入力によっ
て発生した電荷(電子正孔対)が外部に取り出されずに
蓄積するため、画素を選択した瞬間に大電流が出力線に
取り出される可能性がある。そこで、出力線に接続され
る外部の処理回路の保護を目的として第4のスイッチを
用いることもできる。この場合は、請求項9に示すよう
に、第1及び第3のスイッチが切断されている状態から
接続されている状態に移行する場合には、第4のスイッ
チが接続されている状態において第1及び第3のスイッ
チを接続し、その後、第4のスイッチを切断するのであ
る。これによって、蓄積電荷があっても、画素選択時に
出力線に大電流が取り出されることがない。
【0021】また、請求項1〜4のいずれか記載の受光
素子を前提とした請求項5と同じように、請求項10の
構成を採用し距離測定に加えて画像測定も行えるように
してもよい。つまり、請求項7〜9のいずれか記載の受
光素子において、各画素がコンデンサと第5のスイッチ
と第6のスイッチと備え、行単位又は列単位のいずれか
一方の画素群に属する各画素は、共通の画素群対応の画
像信号用出力線にて画像信号を出力するよう構成し、そ
の画素群対応の画像信号出力線毎に、処理回路との間を
断続する第7のスイッチと、接地線との間を断続する第
8のスイッチとをそれぞれ設けるのである。
【0022】第1、第3及び第4のスイッチに関して
は、請求項7〜9の場合と同じ動作をさせる。そして、
画素非選択時は、第1のスイッチを切断、第5のスイッ
チを接続、第6のスイッチを切断しておき、受光領域へ
の光入力で発生した電荷をコンデンサに蓄積する。この
蓄積された電荷を取り出す画像計測時には、第5のスイ
ッチを切断、第6のスイッチを接続、第7のスイッチを
接続、第8のスイッチを切断してコンデンサを出力線に
接続する。画像計測の後、第8のスイッチを接地線と所
定時間接続して、コンデンサに残っている電荷を放出す
る。これでリセット完了である。
【0023】なお、請求項11に示すように、受光領域
とコンデンサとが直列に接続されている場合には、第6
のスイッチと画像信号用出力線との間に増幅回路を設け
ることも好ましい。このようにすれば、受光量が少な
く、コンデンサに蓄積されている電荷が小さくても所定
レベルの画像信号が得られるため、適切な画像測定に有
効である。
【0024】一方、請求項12に示すように、受光領域
とコンデンサとが並列に接続されている場合には、次の
ような構成を採用してもよい。つまり、コンデンサに
は、検出前に予め電荷を蓄積しておくプリチャージを行
い、受光領域に輝度信号に応じた入力があると、その入
力に応じてコンデンサから放電されるよう構成してお
く。そして、検出時には、まず第1のスイッチを接続し
て受光領域から前記出力線へ受光信号を出力し、その
後、第6のスイッチを接続してコンデンサから画像信号
用出力線へ電荷を出力するのである。
【0025】また、このように画素毎に画像信号を出力
する場合にも、縦横2方向に複数の受光素子が行列状に
配置され、その行単位又は列単位のいずれか一方の画素
群に属する各画素が共通の出力線にて受光信号を出力す
る構成であることを前提とした場合には、構成の簡素化
の観点から次のようにしてもよい。すなわち、請求項1
3に示すように、共通の出力線が行単位の画素群を接続
している場合には列単位、逆に共通の出力線が列単位の
画素群を接続している場合には行単位で、当該単位に属
する画素群の第5のスイッチを共通に制御する第5の制
御線と、当該単位に属する画素群の第6のスイッチを共
通に制御する第6の制御線とを備えるようにするのであ
る。
【0026】このようにすれば、第1から第6の制御線
を用いることで任意の画素のみを選択状態(機能発揮状
態)にすることができながら、構成の簡素化が図れる。
ところで、以上説明した受光素子を備えることで、距離
測定装置や距離・画像測定装置を実現することができ
る。
【0027】例えば請求項14に示す距離測定装置の場
合には、照射したレーザ光が反射物にて反射されて生じ
た反射光を請求項1〜4、7〜9のいずれか記載の受光
素子が検出する。その際、受光素子において機能を発揮
させる画素を切替選択する。そして、レーザ光を照射し
てから反射光を検出するまでの時間差を計測し、その計
測した時間差に基づいて反射物までの距離または距離を
表す物理量を算出する。これによって、測定対象物まで
の距離を正確に得ることができる。
【0028】また、請求項15に示すように、レーザ光
の照射方向にも応じて、機能を発揮させる画素を切替選
択すれば、外乱光ノイズの影響を極力小さくできるとい
う利点も併せ持つことができる。例えば対向車線を走行
している自動車に搭載された距離測定装置から照射され
たレーザ光や隣接レーンを走行している自動車に搭載さ
れた距離測定装置から照射されたレーザ光の反射物体に
よる反射光、あるいは太陽光などの影響を極力小さくす
ることができ、その結果、より適切な距離測定を実現で
きる。
【0029】なお、この距離測定装置は、例えば請求項
16に示すように車両に搭載されて用いられることを前
提とし、前記レーザ光の方向が車幅方向あるいは車高方
向であることが考えられる。このように設定すると、距
離測定に際して、測定対象物の位置が、車幅方向及び車
高方向の2次元位置として得られるため、処理が容易と
なる。
【0030】一方、距離・画像測定装置として実現する
場合には、例えば請求項17に示すように、照射したレ
ーザ光が反射物にて反射されて生じた反射光を請求項
5、6、10〜13のいずれか記載の受光素子が検出す
る。そして、レーザ光を照射してから反射光を検出する
までの時間差を計測し、その計測した時間差に基づいて
反射物までの距離または距離を表す物理量を算出する。
これによって、測定対象物までの距離を正確に得ること
ができる。さらに、受光素子にて検出された画像信号に
基づいて画像を測定する。
【0031】このように、距離及び画像を測定する場合
には、上述した利点を持つ受光素子を用いることで、距
離計測の高速性と、撮像のための輝度信号に対する感度
を両立できる。そして、一つの受光素子にて距離及び画
像を同時計測できるため、例えば2つの装置に分かれて
いる場合の光軸調整が不要となる。また、画像処理を行
うことなく距離測定ができる。さらには、先行車を追従
している場合に、先行車との距離変化はないが、例えば
ストップランプの輝度変化があった場合などに、その変
化を適切に把握することができる。このように、距離と
画像とを相補的に使用することで物体を検知する精度を
向上させることができる。
【0032】なお、距離と画像とを相補的に使用するこ
とで物体を検知する精度を向上させることができるとい
う点からは、次のような利点もある。つまり、検知対象
の物体の色などによっては照射したレーザ光の反射率が
大きく変わる場合もある。したがって、その場合には請
求項18に示すように、画像測定手段にて測定した画像
に基づき、照射手段によって照射するレーザ光の強度を
変更することが考えられる。このようにすれば、より適
切な測定ができる。
【0033】なお、例えば特開平8−304540号に
は、同一のセンサにて画像及び距離についての情報を得
ることができる旨が記載されているが、技術思想的に異
なることを確認のために説明しておく。特開平8−30
4540号に開示された距離測定手法は、当該出願の図
2(b)などにおいて説明されているように、所定時間
Δtの間にコンデンサに蓄積された電荷の「有無」によ
って反射光の有無を判断しているにすぎない。したがっ
て、反射光があった場合には、光速をCとした場合に少
なくともC×Δt/2の距離以内の物体の有無が判るだ
けであり、正確な距離を測定できるものではない。
【0034】この公開公報自体に明確な記載はないが、
当該手法に基づいて仮に距離測定の精度を上げようとす
ると、Δt及び発光パルス幅を小さくし、且つΔt毎の
反射光の有無を順次走査して検出していく必要がある。
ところが、Δt及び発光パルス幅を小さくすると反射光
が微弱になるのを補うため蓄積回数を極端に増やす必要
が出てくる。その上、Δt毎の反射光の有無を、所定の
距離に相当する回数だけ走査する必要があり、現実的な
適用が非常に困難である。
【0035】結局、公報記載の手法の技術思想は、電荷
蓄積型のイメージセンサを用いて距離も測定できない
か、という視点に立脚しており、このような技術思想の
ままでは距離を正確に測定することは現実的に非常に困
難であると言わざるを得ない。これに対して、本発明手
法の場合、距離測定に関しては、レーザ光の発光時から
受光時までを計時する手法を採用しているため測定対象
までの距離を正確に測定できる。そして、このように測
定対象までの距離を正確に測定できる構成に、さらに画
像測定機能を追加する構成を採用した。画像測定に必要
な電荷蓄積用のコンデンサを画素に内蔵するに際して、
距離測定に必要な高速性を犠牲にすることなく適切な画
像測定を両立させるため、第5のスイッチによって受光
領域とコンデンサとの間を切り離し可能としたのであ
る。
【0036】
【発明の実施の形態】以下、本発明が適用された実施例
について図面を用いて説明する。なお、本発明の実施の
形態は、下記の実施例に何ら限定されることなく、本発
明の技術的範囲に属する限り、種々の形態を採り得るこ
とは言うまでもない。
【0037】[第1実施例]図1は、実施例の距離測定
装置1を表す概略構成図である。なお、本実施例の距離
測定装置1は、自動車に搭載されて前方の車両や障害物
等の反射物体を検出するためのものである。
【0038】本距離測定装置1は、送受信部31と処理
部32とを主要部として次のように構成されている。図
1に示すように、送受信部31は、パルス状のレーザ光
を、スキャン機構部35を介して放射する半導体レーザ
ダイオード(以下、単にレーザダイオード(LD)と称
す。)39と、図示しない物体反射面にて反射されたレ
ーザ光を受光レンズ41を介して受光し、そのパルス状
の強度変化に対応する電圧変化を出力する受光素子43
とを備えている。一方、処理部32は、制御回路33
と、増幅回路53と、計時回路61と出力回路62とを
備えている。
【0039】レーザダイオード39はLD駆動部40を
介して制御回路33に接続され、制御回路33からのト
リガー信号としての駆動信号によりレーザ光を放射(発
光)する。また、スキャン機構部35は、絞り45、投
光レンズ46、ミラー47及びスキャナ49を備えてお
り、レーザダイオード39から放射されたレーザ光は絞
り45によって断面が略長方形状の光ビームとされ、投
光レンズ46によって光ビームの断面がさらに細長くさ
れる。そして、そのレーザ光は、スキャナ49によって
揺動されるミラー47を介して掃引照射される。なお、
ミラー47としてガルバノミラーを用いてもよいし、ポ
リゴンミラーを用いてもよい。本実施例においては、こ
のレーザ光は、車両の前方において、車幅方向の水平面
内の所定角度に渡り掃引照射される。
【0040】そして、本実施例のスキャン機構部35に
よるスキャンエリアは、縦方向(車高方向)が4de
g、横方向(車幅方向)が16degの矩形領域であ
り、スキャナ49は、横方向(車幅方向)の16deg
分が確保できるようにミラー47を揺動してレーザ光を
掃引照射する。一方、縦方向(車高方向)にはスキャン
しない。その代わりに、絞り45及び投光レンズ46に
よって光ビームの断面が略長方形状とされたレーザ光
は、その光ビームの断面形状自体が、縦方向(車高方
向)の4deg分を確保できるような縦長形状に形成さ
れている(図5(a)参照)。
【0041】なお、もちろん、光ビームの断面形状を縦
方向(車高方向)の1deg分だけ確保できるように
し、縦方向(車高方向)にもスキャンするような構成を
採用してもよい。但し、本実施例では、スキャン機構の
簡素化などの観点から、上述のような構成を採用してい
る。
【0042】一方、受光素子43は、受光レンズ41を
介して受光したレーザ光のパルス状の強度変化に対応す
る電圧変化を出力するフォトダイオード(PD)を含む
画素が行列状に配置されている。本実施例においては、
上述したスキャンエリア(縦方向(車高方向)4de
g、横方向(車幅方向)16deg)が確保できるよう
に縦方向(車高方向)及び横方向(車幅方向)に所定数
ずつ配置された画素マトリックスとして構成されてい
る。
【0043】図2に、受光素子43を構成する画素マト
リックスの一部を示す。図2中に破線で囲った部分が1
画素を構成しており、各画素の内部には、受光領域を構
成するフォトダイオード(PD)、スイッチ1、スイッ
チ2が形成されている。ここで、図3を参照して、画素
の断面構造を簡単に説明しておく。距離計測には高速性
が要求されるため、本実施例においてはpinフォトダ
イオードを採用している。すなわち、受光領域が、i領
域(真性半導体領域)を構成する高抵抗層をp領域及び
n領域によって挟んだ構成となっている。なお、図3に
示す例では基板がn型であり、その上に高抵抗層である
i領域をエピタキシャル成長させ、i領域の表面にp型
不純物を拡散してp領域を形成することで、pinフォ
トダイオードが構成されている。もちろん、基板がp型
であれば、その上にi領域をエピタキシャル成長させ、
i領域の表面にn型不純物を拡散してn領域を形成して
もpinフォトダイオードを実現できる。このようにi
領域をp層及びn層で挟んだpin構造にすることで、
i領域の電界によって、光入力に応じて発生したキャリ
アは加速され出力電極に取り出されるため、高速性を実
現できる。
【0044】なお、i領域の不純物濃度と必要な厚さ、
印加電圧には一定の関係がある。i領域で発生したキャ
リアを高速に引き出すことを目的とするpinフォトダ
イオードでは、自由電荷がなくなり電界が存在する層、
すなわち空乏層の厚さを、基板の厚さ方向への光の浸透
深さ以上にしたとき、入力光強度と高速に外部電極へ取
り出されるキャリア電流との比、すなわち受光感度が最
大となる。例えば、高周波帯域における受光感度とし
て、DCから低周波帯域における受光感度の50%以上
を得るためには、i層内で入射光の50%以上を吸収す
る必要があり、i層の不純物濃度が10の14乗以下の
場合、i層の厚さは10ミクロン以上、印加電圧は5V
以上必要である。したがって、一般的に、現実的な数V
程度の印加電圧の下で高感度及び高速性を両立するに
は、i層の不純物濃度は10の14乗以下、i層の厚さ
は10ミクロン以上であることが好ましい。図3に示す
実施例では、i層の不純物濃度を10の13乗、i層の
厚さを30ミクロン、印加電圧を5Vとした。この構造
によって、受光感度は10MHzの高周波光入力に対し
て、DC感度の90%以上の感度を実現できた。
【0045】続いて、スイッチ1,2及び、画素マトリ
ックス全体の構成に関して図2を参照して説明する。縦
横に配列された画素マトリックスの内、縦方向に配列さ
れた画素群については、共通の縦方向出力線L11と接続
されている。この縦方向出力線L11には、フォトダイオ
ードがスイッチ1を介して接続されており、スイッチ1
が接続(SW1=ON)されている場合には、フォトダ
イオードで光電変換された受光信号が縦方向出力線L11
を介して出力される。また、フォトダイオードはスイッ
チ2を介して接地線と接続されており、スイッチ2が接
続(SW2=ON)されている場合には、フォトダイオ
ードからの受光信号は接地線を介してグラウンドに落と
されることとなる。
【0046】これらスイッチ1、スイッチ2はそれぞれ
制御線1、制御線2によって制御されるのであるが、横
方向の画素群については、共通の制御線1,2にて接続
されている。つまり、制御線1によってスイッチ1を接
続(ON)させる制御をした場合には、横方向の画素群
については全てスイッチ1が接続されることとなる。ス
イッチ2に関しても同様である。
【0047】一方、上述した縦方向出力線L11は、最終
的には1本の出力線L12にまとめられて処理部32(図
1参照)側へ出力される。具体的には、増幅回路53を
介して計時回路61へ出力されることとなる。ここで、
縦方向の画素群毎に設けられた縦方向出力線L11が出力
線L12にまとめられる部分において、各縦方向出力線L
11にスイッチ3及びスイッチ4が設けられている。スイ
ッチ3は、縦方向出力線L11と出力線L12とを接続また
は切断するためのスイッチであり、スイッチ4は、縦方
向出力線L11と接地線とを接続または切断するためのス
イッチである。そして、これらスイッチ3、スイッチ4
はそれぞれ制御線3、制御線4によって制御される。
【0048】これら制御線1〜4は画素選択部50(図
1参照)とつながっており、画素選択部50は、制御線
1〜4を介して任意の画素を選択する。任意画素の選択
は次のようになされる。なお、各スイッチ1〜4は、そ
れぞれ制御線1〜4の電位が高い(Highレベル)場
合には接続(ON)状態となり、電位が低い(Lowレ
ベル)の場合には切断(OFF)状態となる。
【0049】まず、第1の選択動作として制御線1をH
igh、制御線2をLowとすると、スイッチ1がO
N、スイッチ2がOFFとなり、画素マトリックス中の
横方向の画素群が選択される。一方、第2の選択動作と
して制御線3をHigh、制御線4をLowとすると、
スイッチ3がON、スイッチ4がOFFとなり、画素マ
トリックス中の縦方向の画素群が選択される。これによ
って、第1の選択動作にて選択された横方向の画素群
と、第2の選択動作にて選択された縦方向の画素群とが
重複する画素のみが選択されることとなる。このような
動作によって、任意の画素を1つ以上選択できる。当然
複数の画素を同時に選択することもできる。
【0050】これらのことを踏まえ、任意の画素を選択
し、出力信号を取り出す(つまり処理部32側へ出力す
る)までの動作を、図4のタイムチャートを参照して説
明する。非選択画素については、スイッチ1をOFF
(制御線1:Low)にして縦方向出力線L11からフォ
トダイオードを切り離すと共に、スイッチ2をON(制
御線2:High)にしてフォトダイオードを接地線に
接続する。また、縦方向出力線L11に関しても、スイッ
チ3をOFF(制御線3:Low)にして出力線L12か
ら切り離すと共に、スイッチ4をON(制御線4:Hi
gh)にして接地線に接続する。
【0051】一方、選択画素については、スイッチ1を
ON(制御線1:High)にして縦方向出力線L11と
フォトダイオードを接続すると共に、スイッチ2をOF
F(制御線2:Low)にしてフォトダイオードを接地
線から切り離す。一方、縦方向出力線L11に関しても、
スイッチ3をON(制御線3:High)にして出力線
L12と接続すると共に、スイッチ4をOFF(制御線
4:Low)にして接地線から切り離す。これにより、
選択画素のフォトダイオードからの受光信号は、スイッ
チ1を介して縦方向出力線L11へ出力され、スイッチ3
を介して出力線L12へ出力され、処理部32の増幅回路
53へ出力されることとなる。
【0052】図1の説明に戻り、受光素子43から出力
された受光信号は、増幅回路53を介して計時回路61
へ入力される。なお、増幅回路53に入力させる前に、
例えばSTC(Sensitivity Time Control)回路を介し
て所定レベルに増幅されてもよい。受光信号強度は目標
物までの距離の4乗に反比例するため、近距離にリフレ
クタ等の反射率の高いものがあり受光強度がきわめて強
くなった場合を補償する点でこのSTC回路は好まし
い。
【0053】計時回路61には、制御回路33からLD
駆動部40へ出力される駆動信号も入力され、上記駆動
信号をスタートパルスPA、上記受光信号をストップパ
ルスPBとし、2つのパルスPA,PB間の位相差(す
なわち入力時間差)を2進デジタル信号に符号化して、
その値を制御回路33へ入力する。この計時回路61
は、微小時間を数値化することができ、放射されたレー
ザ光1発に対して複数の受光信号があってもそれぞれの
信号についての時間差を検出することができるものであ
る。なお、このことを「マルチラップが可能である」と
表現し、またこのようにして得たデータをマルチラップ
データと表現している。なお、このデータは時間差デー
タであるが、検知対象の物体までの距離に対応している
ため、「距離データ」と呼ぶこととする。
【0054】制御回路33は、計時回路61からの距離
データと、そのときのミラー47の揺動角に基づき、障
害物までの距離および方向を算出する。なお、制御回路
33には図示しない車速センサからの車速信号も入力し
ている。次に、このように構成された距離測定装置1の
作動について説明する。
【0055】まず、距離測定の概略について説明する。
制御回路33がLD駆動部40に対して、レーザダイオ
ード39を発光させるために発光トリガーとしての駆動
信号を出力し、レーザダイオード39を発光させる。こ
の発光に対応し、図示しない障害物に反射されたレーザ
光を受光レンズ41を介して受光する。そしてこの受光
したレーザ光は、受光素子43でその強度に対応する電
圧に変換され、増幅回路53を介して計時回路61へ入
力する。そして、計時回路61は、放射されたレーザ光
1発に対して複数の反射信号があってもそれぞれの信号
についての時間差を検出して、マルチラップ距離データ
として制御回路33に入力する。この計時回路61から
入力された距離データは、制御回路33の図示しないR
AMに記憶される。制御回路33により時間差から求め
られた距離データは、受光素子43における検出の遅延
時間や増幅回路53における検出の遅延時間を考慮し
て、距離に対応した正確な時間差に変換した後、その時
間差と光速とから、正確な距離データとして求められ
る。具体的には、距離Lは、時間差Δtと光速Cを用い
て、L=C×Δt/2と表される。
【0056】なお、直接、距離のデータでなくても、距
離を表す物理量ならば良く、例えば前記正確な時間差そ
のものでもよい。遅延時間が考慮された時間差は距離に
比例しているので、距離そのものの代りに用いることが
できる。このような、正確な距離データあるいは正確な
時間差は、計時回路61から制御回路33が受け取った
際に算出しておけばよい。
【0057】これが距離測定の概略であるが、本実施例
においては、制御回路33がスキャナ49を介してミラ
ー47を揺動させて上述した所定のスキャンエリアをス
キャンする手法を採用している。これによって、レーザ
光は車両の前方において水平面内の所定角度(16de
g)に渡り掃引照射される。
【0058】この際、本実施例においては、同一のスキ
ャン角度において複数回レーザ光を照射し、照射毎に受
光素子43中において機能発揮させる画素を切り替えな
がら、受光及び測距を行う。この点を、例えば図5
(b)に示した画素マトリックスのイメージ図を参照し
て説明すれば、縦方向に4つのセルがあるが、最初は図
5(c)に示すように最上部の画素だけを機能発揮さ
せ、2回目は2番目の画素、3回目は3番目の画素、そ
して最後は図5(d)に示すように最下部の画素だけ、
というように順番に機能発揮させる画素を切り替えてい
く。
【0059】上述した縦方向(車高方向)4deg、横
方向(車幅方向)16degのスキャンエリア中におけ
る上側に近いほど、受光素子43の画素マトリックス中
では下側に近い画素に受光することとなり、逆にスキャ
ンエリア中における下側に近いほど、受光素子43の画
素マトリックス中では上側に近い画素に受光することと
なる。したがって、同一のスキャン角度においてレーザ
光を照射したとしても、例えば図5(c)に示すように
最上部の画素だけを機能発揮させれば、スキャンエリア
中の下部に存在する対象物を測距することができ、図5
(d)に示すように最下部の画素だけ機能発揮させれ
ば、スキャンエリア中の上部に存在する対象物を測距す
ることができる。
【0060】つまり、横方向(車幅方向)にスキャンし
ているが、そのスキャン方向に垂直な方向(車高方向)
での検出対象位置に基づいて、機能を発揮させる受光素
子を切替選択できるようにしたため、レーザ光は1次元
的にスキャンしていながら、その方向に垂直な方向につ
いての位置情報も得ることができる。したがって、スキ
ャン操作に基づき、横方向(車幅方向)についての位置
情報も得れば、測定対象物の2次元的な位置情報を得る
ことができるのである。これにより、スキャン方式は1
次元のままでありながら、2次元の位置情報を得られる
距離測定装置1を実現することができる。
【0061】また、図5(b)に示した画素マトリック
スのイメージ図では横方向に8つの画素がある。この横
方向についても全ての画素を機能発揮状態にするのでは
なく、この場合にはレーザ光の照射方向に応じて、その
照射方向であれば、画素マトリックス中のこの部分に受
光するであろうと予測される画素だけを機能発揮させ
る。例えば、図6に示す車両Aを測距対象としている場
合には、その車両Aからの反射光は受光レンズ41を介
して受光素子43中の相対的に右部側に受光すると予測
される。したがって、その受光が予測される画素を特定
し、該当する画素のみが機能発揮されるようにする。
【0062】このようにレーザ光の照射方向に応じて機
能を発揮させる画素を切替選択するようにすれば、外乱
光ノイズの影響を極力小さくできる。例えば図6中の車
両Bが対向車線を走行している自動車であったとする
と、その車両Bに搭載された距離測定装置から照射され
たレーザ光は、受光レンズ41を介して受光素子43中
の相対的に左部側に受光すると予測されるが、その部分
の画素は機能発揮されない状態とされている。そのた
め、その車両Bからのレーザ光による悪影響は生じな
い。
【0063】特に、本実施例の場合には、上述したよう
に、非選択画素については、スイッチ1をOFF(制御
線1:Low)にして縦方向出力線L11からフォトダイ
オードを切り離すと共に、スイッチ2をON(制御線
2:High)にしてフォトダイオードを接地線に接続
している。接地線への接続がない場合、スイッチ1がO
FFであっても、非選択状態の画素にも反射光が入射し
ている場合には、その画素のフォトダイオードからの受
光信号が縦方向出力線L11へリークしてしまう可能性が
ある。例えば図7に示すエリアAにも物体からの反射光
が入射している場合には、画素G1,G2,G3からの
リークが懸念される。しかし、本実施例の場合には、フ
ォトダイオードと接地線とを接続するためのスイッチ2
を設け、これらの画素G1,G2,G3のスイッチ2が
ONされるため、フォトダイオードからの受光信号が接
地線へ出力され、リークが防止される。
【0064】さらに、非選択状態の縦方向出力線L11に
関しても、スイッチ3をOFF(制御線3:Low)に
して出力線L12から切り離すと共に、スイッチ4をON
(制御線4:High)にして接地線に接続している。
接地線への接続がない場合、スイッチ3がOFFであっ
ても、非選択状態の画素にも反射光が入射している場合
には、その画素のフォトダイオードからの受光信号が縦
方向出力線L11を介して出力線L12へリークしてしまう
可能性がある。例えば図7に示すエリアAにも物体から
の反射光が入射している場合には、選択画素と同じ横方
向の画素群に属するエリアA中の画素G4,G5,G6
のスイッチ1はONであるため、これらからの受光信号
は縦方向出力線L11へ出力される。そのため、スイッチ
3がOFFでも出力線L12へのリークが懸念される。
【0065】しかし、本実施例の場合には、この縦方向
出力線L11についても接地線と接続するためのスイッチ
4を設け、これらの画素G4,G5,G6が属する縦方
向の画素群に接続された縦方向出力線L11のスイッチ4
が全てONされるため、これら縦方向出力線L11へ出力
された受光信号は接地線へ出力され、リークが防止され
ることとなる。
【0066】計時回路61では、選択状態の画素から出
力された適切な受光信号なのか、非選択状態の画素から
リークした受光信号なのかの区別はできず、誤った時間
差を計測してしまう可能性がある。この計時誤差はひい
ては反射物体までの距離を誤測定してしまうことにつな
がる。したがって、上述したように、リーク防止が実現
されれば、計時回路61では、選択状態の画素からの受
光信号のみを入力することができ、距離の誤測定を回避
できる。
【0067】なお、本実施例における用語と特許請求の
範囲における用語とで、異なっている部分の対応関係を
説明しておく。まず、図2などに示すスイッチ1、スイ
ッチ2、スイッチ3、スイッチ4がそれぞれ第1のスイ
ッチ、第2のスイッチ、第3のスイッチ、第4のスイッ
チに該当し、制御線1、制御線2、制御線3、制御線4
がそれぞれ第1の制御線、第2の制御線、第3の制御
線、第4の制御線に該当する。
【0068】また、図1に示す処理部32が外部の処理
回路に該当する。なお、処理部32中の計時回路61が
処理回路に該当すると考えることもできる。さらに、請
求項1に示す「出力線」は、縦方向出力線L11及び出力
線L12の両方によって実現されることとなるが、この
内、縦方向出力線L11が請求項3に示す「共通の出力
線」に該当する。
【0069】そして、レーザダイオード39、LD駆動
部40及びスキャン機構部35が掃引照射手段に該当
し、計時回路61が時間差計測手段に該当する。また、
制御回路33が距離算出手段に該当し、制御回路33及
び画素選択部50が切替選択手段に該当する。
【0070】[第2実施例]図8は、実施例の距離・画
像測定装置101を表す概略構成図である。本第2実施
例の距離・画像測定装置101は、図1に示した第1実
施例の距離測定装置1の構成と一部が異なっているだけ
であるので、同じ構成部分については同じ符号を付して
説明を省略する。異なっている部分は、受光素子143
が後述するように画像信号を出力可能になっている点
と、増幅回路53がその画像信号を出力回路62へ出力
可能になっている点、及び受光素子143に対する制御
線が増えたことによって画素選択部50の選択処理内容
が多少変更した点のみである。したがって、まず、受光
素子143の構成について、図9を参照して説明する。
【0071】本第2実施例の受光素子143は、図2に
示した第1実施例の受光素子43に画像信号検知のため
の構成を追加したものとなっている。したがって、第1
実施例の受光素子43と同じ構成部分については同じ名
称を用いることとする。図9は、第2実施例の受光素子
43を構成する画素マトリックスの一部を示しており、
破線で囲った部分が1画素を構成している。各画素の内
部は、第1実施例でも備えていた受光領域を構成するフ
ォトダイオード(PD)、スイッチ1,2に加え、コン
デンサ及びスイッチ5,6が追加された構成となってい
る。なお、フォトダイオードとコンデンサとは分離形成
されている。
【0072】縦横に配列された画素マトリックスの内、
縦方向に配列された画素群については、第1実施例の場
合も存在した共通の縦方向出力線L11と接続されている
と共に、さらに画像信号用縦方向出力線L21とも接続さ
れている。1画素分を抽出した図9にも示すように、縦
方向出力線L11にはフォトダイオードがスイッチ1を介
して接続されている点は第1実施例と同じであるが、フ
ォトダイオードとスイッチ2の間にスイッチ5が設けら
れており、そのスイッチ5が接続(SW5=ON)され
た場合にフォトダイオードとコンデンサが接続されるよ
う構成されている。また、スイッチ2が接続(SW2=
ON)されている場合には、コンデンサに蓄積された電
荷が接地線を介してグラウンドに落とされることとな
る。さらに、コンデンサに対するスイッチ6の役割は、
フォトダイオードに対するスイッチ1の役割と同様であ
り、スイッチ6が接続(SW6=ON)されている場合
には、コンデンサに蓄積された電荷が画像信号用縦方向
出力線L21を介して出力されることとなる。
【0073】これら追加されたスイッチ5,6の内、ス
イッチ6はスイッチ1と同様に制御線1によって制御さ
れる。つまり、スイッチ1,6のON/OFF状態は必
ず同じになる。また、スイッチ5は制御線5によって制
御される。この制御線5も、制御線1,2と同様に横方
向の画素群については共通である。つまり、制御線5に
よってスイッチ5を接続(ON)させる制御をした場合
には、横方向の画素群については全てスイッチ5が接続
されることとなる。
【0074】一方、画像信号用縦方向出力線L21につい
ても、縦方向出力線L11が1本の出力線L12にまとめら
れるのと同様に、最終的には1本の画像信号用出力線L
22にまとめられて処理部32(図8参照)側へ出力され
る。具体的には、出力線L12を介して出力された信号
は、増幅回路53を介して計時回路61へ出力され、距
離信号として出力回路62へ出力されるが、画像信号用
出力線L22を介して出力された信号は、増幅回路53を
介して直接出力回路62へ出力される。
【0075】図9に戻り、縦方向の画素群毎に設けられ
た画像信号用縦方向出力線L21が画像信号用出力線L22
にまとめられる部分において、各画像信号用縦方向出力
線L21につき、スイッチ7が設けられている。スイッチ
7は、画像信号用縦方向出力線L21と画像信号用出力線
L22とを接続または切断するためのスイッチである。そ
して、このスイッチ7は制御線3によって制御される。
つまり、制御線3はスイッチ3も制御しているため、ス
イッチ3,7のON/OFF状態は、必ず同じになる。
これら制御線1〜5は画素選択部50(図8参照)とつ
ながっており、画素選択部50は制御線1〜5を介して
任意の画素を選択する。
【0076】続いて、任意の画素を選択し、出力信号を
取り出す(つまり処理部32側へ出力する)までの動作
を、図11のタイムチャートを参照して説明する。非選
択画素については、制御線1をLowにすることでスイ
ッチ1,6をOFFにし、縦方向出力線L11からフォト
ダイオードを切り離すと共に画像信号用縦方向出力線L
21からコンデンサを切り離す。また、制御線2をHig
hにすることでスイッチ5をONとしてフォトダイオー
ドとコンデンサとを接続する。これにより、視野内の背
景光または物体の輝度情報に応じた光がフォトダイオー
ドに入射し、フォトダイオードで発生した電荷(=光電
子)がコンデンサに蓄積される。蓄積される電荷量は、
上記動作を保持する時間に依存する。また、制御線3を
Lowにすることでスイッチ3,7をOFFとする。こ
れによって、縦方向出力線L11及び画像信号用縦方向出
力線L21に関しても、それぞれ出力線L12及び画像信号
用出力線L22から切り離される。また、制御線4をHi
ghにすることでスイッチ4をONとし、縦方向出力線
L11を接地線に接続する。
【0077】一方、選択画素については、制御線1をH
ighにすることでスイッチ1,6をONにし、縦方向
出力線L11とフォトダイオードとを接続すると共に画像
信号用縦方向出力線L21とコンデンサとを接続する。一
方、制御線3をHighにすることでスイッチ3,7を
ONにすることで、縦方向出力線L11及び画像信号用縦
方向出力線L21に関しても、それぞれ出力線L12及び画
像信号用出力線L22と接続する。したがって、選択画素
のフォトダイオードからの受光信号は、スイッチ1を介
して縦方向出力線L11へ出力され、スイッチ3を介して
出力線L12へ出力され、処理部32の増幅回路53へ出
力される。また、上述した非選択状態の期間中に電荷の
蓄積されたコンデンサから、蓄積電荷を電圧又は電流と
して取り出せば、輝度情報つまり画像信号を読み出すこ
とができる。すなわち、この画像信号はスイッチ6を介
して画像信号用縦方向出力線L21へ出力され、さらにス
イッチ7を介して画像信号用出力線L22へ出力され、処
理部32の増幅回路53へ画像信号として出力される。
【0078】なお、図11に示すように、非選択及び選
択(計測)動作のいずれにおいてもスイッチ2はOFF
(制御線2:Low)とされている。そして、選択(計
測)動作が終了した後、所定時間だけスイッチ2をON
(制御線2:High)するとコンデンサと接地線が接
続されるため、コンデンサに残っている電荷はスイッチ
2を介してグラウンドに落とされる。これにより、リセ
ット動作が実行され、次の電荷蓄積動作に備えることが
できる。
【0079】なお、本第2実施例におけるスイッチ5、
スイッチ6、スイッチ7がそれぞれ第5のスイッチ、第
6のスイッチ、第7のスイッチに該当し、制御線5が第
5の制御線に該当する。さらに、請求項5に示す「画像
信号用出力線」は、画像信号用縦方向出力線L21及び画
像信号用出力線L22の両方によって実現されることとな
るが、この内、画像信号用縦方向出力線L21が請求項6
に示す「共通の画像信号用出力線」に該当する。
【0080】このように、第2実施例の場合には、距離
測定に関しては、レーザ光の発光時から受光時までを計
時する手法を採用しているため、測定対象までの距離を
正確に測定できる上、さらに画像測定機能を追加する構
成を採用した。画像測定に必要なコンデンサを画素に内
蔵するに際して、距離測定に必要な高速性を犠牲にする
ことなく適切な画素測定を両立させるため、スイッチ5
によってフォトダイオードとコンデンサとの間を切り離
し可能としたのである。
【0081】このように、第2実施例の場合には、測定
対象の物体までの距離及び物体の画像を測定することが
でき、距離計測の高速性と、撮像のための輝度信号に対
する感度を両立できる。そして、一つの受光素子143
にて距離及び画像を同時計測できるため、例えば2つの
装置に分かれている場合の光軸調整が不要となる。ま
た、画像処理を行うことなく距離測定ができる。さらに
は、先行車を追従している場合に、先行車との距離変化
はないが、例えばストップランプの輝度変化があった場
合などに、その変化を適切に把握することができる。し
たがって、この距離・画像測定装置101をオートクル
ーズシステムに用いれば、先行車に追従する制御を行う
場合に距離と画像とを相補的に使用することで、先行車
を検知する精度を向上させることができる。つまり、上
述のように距離変化がなくてもストップランプの輝度変
化があれば先行車の減速が予測でき、より適切なクルー
ズ制御を実行可能となる。
【0082】また、距離と画像とを相補的に使用するこ
とで物体を検知する精度を向上させることができるた
め、次のような利点もある。つまり、検知対象の物体の
色などによっては照射したレーザ光の反射率が大きく変
わる場合もある。したがって、測定画像に基づきレーザ
光の強度を変更すれば、より適切な測定ができる。
【0083】[第2実施例の別態様] (1)図9,10に示す構成の場合には、制御線2はス
イッチ2を制御するためだけに設けられている。そし
て、このスイッチ2はコンデンサのリセット動作に用い
られている。リセット動作は、該当する画素が選択され
た後に行われればよいので、該当画素以外の画素が選択
されているタイミングでリセットしても問題ない。そこ
で、図12に示す構成では、スイッチ2の制御を下段の
画素のための制御線1が行うようにした。この場合に
は、図9,10の場合に存在していた制御線3がなくな
るため、構成の簡素化の点で好ましい。なお、最下段の
画素については、さらにその下段の制御線1というもの
が存在しないため、最上段の制御線1を用いてスイッチ
2の制御をすればよい。
【0084】(2)図13に示す構成の場合には、第6
のスイッチと画像信号用縦方向出力線L21との間にアン
プ(増幅回路)が設けられている。このようにすれば、
フォトダイオードにおける受光量が少なく、コンデンサ
に蓄積されている電荷が小さくても所定レベルの画像信
号が得られるため、適切な画像測定に有効である。
【0085】(3)図9,10に示す構成の場合には、
フォトダイオードとコンデンサとが直接に接続されてい
たが、両者を並列に接続してもよい。フォトダイオード
とコンデンサとが並列に接続されている場合には、コン
デンサには検出前に予め電荷を蓄積しておき(プリチャ
ージ)、フォトダイオードに輝度信号に応じた入力があ
ると、その入力に応じてコンデンサから放電されるよう
構成しておくことが考えられる。その場合の構成を図1
4に示す。また、動作説明のためのタイムチャートを図
15に示す。
【0086】図14に示すように、フォトダイオードと
コンデンサを並列配置した関係上、フォトダイオードと
縦方向出力線L11とのON/OFFを行うスイッチ1に
ついては制御線1にて制御し、コンデンサと画像信号用
縦方向出力線L21とのON/OFFを行うスイッチ6に
ついては制御線6にて制御するようにした。つまり、フ
ォトダイオードからの信号の出力タイミングとコンデン
サからの信号の出力タイミングとを別個に制御可能とし
たのである。
【0087】それでは、図15のタイムチャートを参照
しながら、動作を確認していく。まず、(A)に示す期
間ではフォトダイオードからの信号を出力するため、制
御線1をHighにしてスイッチ1をONにし、フォト
ダイオードと縦方向出力線L11とを接続すると共に、制
御線6をLowにしてスイッチ6をOFFにし、コンデ
ンサと画像信号用縦方向出力線L21とを切断する。そし
て、制御線2をHighにしてスイッチ22をONし、
制御線5をLowにしてスイッチ21及びスイッチ5を
OFFにする。これによってフォトダイオードに逆バイ
アスがかかり、フォトダイオードからスイッチ1を介し
て縦方向出力線L11へ受光信号が出力される。
【0088】続いて、(B)の期間ではコンデンサから
の信号を出力するため、各制御線1,2,5,6のレベ
ルを反転させる。すると、スイッチ1がOFF、スイッ
チ6がONとなり、スイッチ22はOFF、スイッチ2
1及びスイッチ5はONとなる。これによって、グラウ
ンド(G)→スイッチ21→コンデンサ→スイッチ1→
スイッチ4→画像信号用縦方向出力線L21のラインがつ
ながる。(A)の期間の前にコンデンサはプリチャージ
されており、1周期前の(C)の期間でフォトダイオー
ドに輝度信号に応じた入力があると、コンデンサは放電
によってDCレベルが低下する。したがって、この
(B)の期間では、その低下した状態のDCレベル信号
が出力されることとなる。
【0089】この(B)の期間の後に、コンデンサへの
プリチャージを行う。プリチャージの場合には、(B)
の期間の状態からスイッチ6をOFFにすると共にスイ
ッチ22をONにすることで実現する。この状態では、
スイッチ5及びスイッチ21もON状態であり、固定の
DCレベルにプリチャージされることとなる。
【0090】図9〜図13の方式では、光入力に応じて
蓄積された電荷によってコンデンサに保持された電圧ま
たは電流を読み出すことによって画像測定を行う。画像
測定が終了したら、コンデンサをスイッチ2によって接
地することで残った電荷を放電(リセット)し、新たな
電荷蓄積を開始する。
【0091】これに対して、図14,図15の方式で
は、最初に固定の電圧を印加することでコンデンサに電
荷を蓄積する。これをプリチャージと称する。プリチャ
ージ後にフォトダイオードに光入力があると、スイッチ
5を介してコンデンサとフォトダイオードが構成する閉
回路において電流が流れ、プリチャージされた電荷が放
電される。プリチャージの電圧レベルと、放電によって
低下した後の電圧レベルとの差から放電量が判り、放電
量は光入力に比例することから画像測定が可能となる。
【0092】なお、プリチャージされた電荷が放電され
る時間はスイッチ5がONである間であって、図15に
示す1周期前の放電時間(C)である。図15に示す放
電時間(C)は次の1周期における読み出し時間(B)
で読み出される。 [第3実施例]図16に示す第3実施例の構成は、図2
に示す第1実施例の構成から、スイッチ2及び制御線2
を削除した内容となっている。つまり、縦横に配列され
た画素マトリックスの内、縦方向に配列された画素群に
ついては、共通の縦方向出力線L11と接続されている。
そして、この縦方向出力線L11にはフォトダイオードが
スイッチ1を介して接続されており、スイッチ1が接続
(SW1=ON)されている場合には、フォトダイオー
ドで光電変換された受光信号が縦方向出力線L11を介し
て出力される。
【0093】しかし、第1実施例のようなスイッチ2が
ないため、画素内においてフォトダイオードが接地され
ることはない。その代わり、第1実施例と同じように、
各縦方向出力線L11にスイッチ3及びスイッチ4が設け
られている。第1の選択動作として制御線1をHigh
とするとスイッチ1がONとなり、画素マトリックス中
の横方向の画素群が選択される。一方、第2の選択動作
として制御線3をHigh、制御線4をLowとする
と、スイッチ3がON、スイッチ4がOFFとなり、画
素マトリックス中の縦方向の画素群が選択される。これ
によって、第1の選択動作にて選択された横方向の画素
群と、第2の選択動作にて選択された縦方向の画素群と
が重複する画素のみが選択されることとなる。このよう
な動作によって、任意の画素を1つ以上選択できる。当
然複数の画素を同時に選択することもできる。
【0094】この第3実施例の場合の、任意の画素を選
択し、出力信号を取り出すまでの動作を説明する。非選
択画素については、スイッチ1をOFF(制御線1:L
ow)にして縦方向出力線L11からフォトダイオードを
切り離す。また、縦方向出力線L11に関しても、スイッ
チ3をOFF(制御線3:Low)にして出力線L12か
ら切り離すと共に、スイッチ4をON(制御線4:Hi
gh)にして接地線に接続する。フォトダイオードは高
速応答のPIN構造であるため、高周波信号がフォトダ
イオードへ入力した場合、スイッチ1及び/又はスイッ
チ3をOFFしただけでは、スイッチの寄生容量等によ
って縦方向出力線L11へ高周波信号が結合するためノイ
ズとなって外部の処理回路(例えば図1に示す処理部3
2)へ取り出されてしまう。したがって、画素を非選択
にする場合はスイッチ4を接続して接地することで、容
量結合によるノイズ低減を図ることができる。
【0095】一方、選択画素については、スイッチ1を
ON(制御線1:High)にして縦方向出力線L11と
フォトダイオードを接続する。一方、縦方向出力線L11
に関しても、スイッチ3をON(制御線3:High)
にして出力線L12と接続すると共に、スイッチ4をOF
F(制御線4:Low)にして接地線から切り離す。こ
れにより、選択画素のフォトダイオードからの受光信号
は、スイッチ1を介して縦方向出力線L11へ出力され、
スイッチ3を介して出力線L12へ出力されることとな
る。
【0096】このように、画素マトリックス中の縦方向
の画素群を同時選択する場合は、接地のためのスイッチ
画素内に設けなくてもよく、画素外に形成するだけでよ
い。なお、容量結合によるノイズが特段問題にならない
場合には、画素の非選択時の蓄積電荷の接地だけの対策
を採るようにしてもよい。その場合には、図18にに示
すような別態様を採用できる。つまり、図16の場合に
は、縦方向出力線L11毎にスイッチ3とスイッチ4が設
けられていたが、図17の場合には、スイッチ3に関し
ては縦方向出力線L11毎に設けるが、スイッチ4に関し
ては、複数の縦方向出力線L11が最終的には1本にまと
められた出力線L12に対して1つだけ設けられている。
この場合は、どの縦方向列の画素を非選択にする場合に
おいても、このスイッチ4を用いることとなるが、スイ
ッチ4を1つだけ設ければよいので構成の簡素化が図ら
れる。
【0097】ところで、これら図16、図17に示した
第3実施例の場合には、画素が非選択のとき、フォトダ
イオードへの光入力によって発生した電荷(電子正孔
対)が外部に取り出されずに蓄積するため、画素を選択
した瞬間に大電流が出力線L12に取り出される可能性が
ある。そこで、出力線L12に接続される外部の処理回路
の保護を目的としてスイッチ4を用いることもできる。
この場合は、スイッチのON/OFFタイミングを工夫
する。この場合の動作について、図18のタイムチャー
トを参照して説明する。
【0098】画素の非選択時においては、スイッチ1を
OFF(制御線1:Low)にして縦方向出力線L11か
らフォトダイオードを切り離す。また、縦方向出力線L
11に関しても、スイッチ3をOFF(制御線3:Lo
w)にして出力線L12から切り離すと共に、スイッチ4
をON(制御線4:High)にして接地線に接続す
る。この状態からスイッチ1及びスイッチ3をONする
場合には、次の順序で行う。図18に示すように、まず
スイッチ1をONし、その後スイッチ3をONする。但
し、この時点でもまだスイッチ4はON状態のままにさ
れているため、蓄積電荷があっても、画素選択時に出力
線L12に大電流が取り出されることがない。そして、そ
の後にスイッチ4をOFFすることで、スイッチ1及び
スイッチ3を介して画素選択時の通常の動作がなされる
こととなる。つまり、適切な電流が縦方向出力線L11及
び出力線L12を介して出力される。なお、その後、非選
択の場合には、スイッチ1及びスイッチ3をOFFし、
スイッチ4をONすることとなるが、このタイミングは
同時でよい。
【0099】なお、本第3実施例におけるスイッチ1、
スイッチ3、スイッチ4がそれぞれ「第1のスイッチ、
第3のスイッチ、第4のスイッチ」に該当し、縦方向出
力線L11が「画素群対応出力線」に該当する。また、出
力線L12が「1本の出力線」に該当する。
【0100】[第4実施例]上述した第2実施例は、第
1実施例の構成を基本としてさらに画像信号を出力可能
にしたものであったが、この第4実施例は、第3実施例
の構成を基本としてさらに画像信号を出力可能にした距
離・画像測定装置である。そのため、第2実施例の構成
からの変更部分を説明する方が容易に理解できると思わ
れる。図19に示す第4実施例の受光素子の構成は、図
9に示す第2実施例の場合の構成から、スイッチ2及び
制御線2を削除し、スイッチ8及びそのON/OFF制
御するための制御線6を追加した内容となっている。各
画素に関してスイッチ2がないのは、第3実施例の場合
と同様である。そして、図9に示す第3実施例の場合に
は、画像信号用縦方向出力線L21にはスイッチ7が設け
られているだけであったが、本第4実施例では、この画
像信号用縦方向出力線L21にスイッチ8を新たに設け、
制御線6によって、スイッチ8のON/OFFを制御で
きるようにしている。
【0101】画素非選択時においては、制御線1をLo
wにすることでスイッチ1,6をOFFにし、縦方向出
力線L11からフォトダイオードを切り離すと共に画像信
号用縦方向出力線L21からコンデンサを切り離す。これ
により、視野内の背景光または物体の輝度情報に応じた
光がフォトダイオードに入射し、フォトダイオードで発
生した電荷(=光電子)がコンデンサに蓄積される。ま
た、制御線3をLowにすることでスイッチ3,7をO
FFとする。これによって、縦方向出力線L11及び画像
信号用縦方向出力線L21に関しても、それぞれ出力線L
12及び画像信号用出力線L22から切り離される。また、
制御線4をHighにすることでスイッチ4をONと
し、縦方向出力線L11及び画像信号用縦方向出力線L21
を接地線に接続する。
【0102】一方、蓄積された電荷を取り出す画像計測
時においては、制御線1をHighにすることでスイッ
チ1,6をONにし、縦方向出力線L11とフォトダイオ
ードとを接続すると共に画像信号用縦方向出力線L21と
コンデンサとを接続する。一方、制御線3をHighに
することでスイッチ3,7をONにすることで、縦方向
出力線L11及び画像信号用縦方向出力線L21に関して
も、それぞれ出力線L12及び画像信号用出力線L22と接
続する。なお、スイッチ4はOFFとし、縦方向出力線
L11を接地線から切り離している。
【0103】したがって、選択画素のフォトダイオード
からの受光信号は、スイッチ1を介して縦方向出力線L
11へ出力され、スイッチ3を介して出力線L12へ出力さ
れ、処理部32の増幅回路53へ出力される。また、上
述した非選択状態の期間中に電荷の蓄積されたコンデン
サから、蓄積電荷を電圧又は電流として取り出せば、輝
度情報つまり画像信号を読み出すことができる。すなわ
ち、この画像信号はスイッチ6を介して画像信号用縦方
向出力線L21へ出力され、さらにスイッチ7を介して画
像信号用出力線L22へ出力され、処理部32の増幅回路
53へ画像信号として出力される。なお、処理部32及
び増幅回路53については図8を参照されたい。
【0104】また、非選択及び選択(計測)動作のいず
れにおいてもスイッチ8はOFF(制御線6:Low)
とする。そして、選択(計測)動作が終了した後、所定
時間だけスイッチ8をON(制御線6:High)する
と画像信号用縦方向出力線L21と接地線が接続、つまり
コンデンサと接地線が接続されるため、コンデンサに残
っている電荷はスイッチ2を介してグラウンドに落とさ
れる。これにより、リセット動作が実行され、次の電荷
蓄積動作に備えることができる。
【0105】上述した第2実施例において、高周波信号
の容量結合によるノイズが特段問題にならない場合に
は、図18に示すように、スイッチ4に関して出力線L
12に対して1つだけ設けてもよいことを説明した。これ
と同様の考え方を図19に示す構成に対して適用した別
態様を採用してもよい。この別態様の場合は、図20に
示す構成とすればよい。つまり、図20に示すように、
スイッチ4を出力線L12に対して1つだけ設けると共
に、スイッチ8を画像信号用出力線L22に対して1つだ
け設けるのである。このようにすれば、構成の簡素化が
図られる。
【0106】なお、本第4実施例におけるスイッチ5、
スイッチ6、スイッチ7、スイッチ8がそれぞれ「第5
のスイッチ、第6のスイッチ、第7のスイッチ、第8の
スイッチ」に該当し、画像信号用縦方向出力線L21が
「画素群対応の画像信号用出力線」に該当する。
【0107】[その他] (a)上記実施例においては、非選択状態の画素からリ
ークした受光信号による計時誤差を低減するため、フォ
トダイオードと縦方向出力線L11との間にスイッチ1を
設けた。リーク防止という観点からは、このスイッチ1
を多段にすることも考えられる。また、縦方向出力線L
11が出力線L12にまとめられる部分において、縦方向出
力線L11と出力線L12とを接続または切断するためのス
イッチ3及び縦方向出力線L11と接地線とを接続または
切断するためのスイッチ4を設けたが、これらスイッチ
3,4についても同様に多段にすることも考えられる。
【0108】(b)上記実施例ではスキャン機構部35
によってレーザ光を掃引照射する構成を前提としたが、
必ずしも掃引照射する構成でなくてもよく、所定の視野
にわたり一括照射し、受光素子の画素を順次切り替える
ことによって、検知範囲のスキャンを実現するようにし
てもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 第1実施例の距離測定装置を表す概略構成図
である。
【図2】 第1実施例の距離測定装置における受光素子
を構成する画素マトリックスの一部を示す説明図であ
る。
【図3】 受光素子の画素の断面構造を示す説明図であ
る。
【図4】 第1実施例の距離測定装置において、任意の
画素を選択し、出力信号を取り出すまでの動作を示すタ
イムチャートである。
【図5】 レーザ光の光ビーム断面のイメージや画素マ
トリックスのイメージを示す説明図である。
【図6】 検知対象からの反射光を受光する画素のみ機
能発揮をさせることの説明図である。
【図7】 画素の選択手法及び非選択画素からの信号リ
ークを防止する点についての説明図である。
【図8】 第2実施例の距離・画像測定装置を表す概略
構成図である。
【図9】 第2実施例の距離・画像測定装置における受
光素子を構成する画素マトリックスの一部を示す説明図
である。
【図10】 第2実施例の距離・画像測定装置における
受光素子を構成する1画素を示す説明図である。
【図11】 第2実施例の距離・画像測定装置におい
て、任意の画素を選択し、出力信号を取り出すまでの動
作を示すタイムチャートである。
【図12】 第2実施例の別態様を示す説明図である。
【図13】 第2実施例の別態様を示す説明図である。
【図14】 第2実施例の別態様を示す説明図である。
【図15】 図14の構成の距離・画像測定装置におい
て、任意の画素を選択し、出力信号を取り出すまでの動
作を示すタイムチャートである。
【図16】 第3実施例の距離測定装置における受光素
子を構成する画素マトリックスの一部を示す説明図であ
る。
【図17】 第3実施例の別態様の距離測定装置におけ
る受光素子を構成する画素マトリックスの一部を示す説
明図である。
【図18】 第3実施例の距離測定装置において、任意
の画素を選択し、出力信号を取り出すまでの動作を示す
タイムチャートである。
【図19】 第4実施例の距離・画像測定装置における
受光素子を構成する画素マトリックスの一部を示す説明
図である。
【図20】 第4実施例の別態様の距離・画像測定装置
における受光素子を構成する画素マトリックスの一部を
示す説明図である。
【符号の説明】
1…距離測定装置 31…送受信部 32…処理部 33…制御回路 35…スキャン機構部 39…レーザダイ
オード 40…LD駆動部 41…受光レンズ 43,143…受光素子 45…絞り 46…投光レンズ 47…ミラー 49…スキャナ 50…画素選択部 53…増幅回路 61…計時回路 62…出力回路 101…距離・画像
測定装置 L11…縦方向出力線 L12…出力線 L21…画像信号用縦方向出力線 L22…画像信号用
出力線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 31/12 H01L 27/14 A H04N 5/335 31/10 G

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数の画素が配列され、前記画素の受光領
    域にて光電変換された受光信号を外部の処理回路へ出力
    する受光素子であって、 前記各画素には、前記受光信号を前記処理回路へ出力す
    るための出力線と前記受光領域との間を断続する第1の
    スイッチと、接地線と前記受光領域との間を断続する第
    2のスイッチとがそれぞれ設けられており、 前記第1のスイッチが接続されている場合は前記第2の
    スイッチを切断し、前記第1のスイッチが切断されてい
    る場合には前記第2のスイッチを接続することを特徴と
    する受光素子。
  2. 【請求項2】請求項1記載の受光素子において、 前記受光領域は、pinフォトダイオードで構成されて
    おり、前記第1及び第2のスイッチは、前記受光領域と
    は分離して形成された井戸層内に設けられていることを
    特徴とする受光素子。
  3. 【請求項3】請求項1又は2記載の受光素子において、 縦横2方向に複数の画素が行列状に配置されて構成され
    ていると共に、その行単位又は列単位のいずれか一方の
    画素群に属する各画素は、共通の出力線にて前記受光信
    号を出力するよう構成されており、 前記行単位又は列単位のいずれか一方の画素群に共通の
    出力線毎に、前記処理回路との間を断続する第3のスイ
    ッチと、接地線との間を断続する第4のスイッチとがそ
    れぞれ設けられており、 前記第3のスイッチが接続されている場合は前記第4の
    スイッチを切断し、前記第3のスイッチが切断されてい
    る場合には前記第4のスイッチを接続することを特徴と
    する受光素子。
  4. 【請求項4】請求項3記載の受光素子において、 前記共通の出力線が行単位の画素群を接続している場合
    には列単位、逆に前記共通の出力線が列単位の画素群を
    接続している場合には行単位で、当該単位に属する画素
    群の前記第1のスイッチを共通に制御する第1の制御線
    と、当該単位に属する画素群の前記第2のスイッチを共
    通に制御する第2の制御線とを備えると共に、 前記第3のスイッチ及び第4のスイッチに関しては、そ
    れぞれ個別に制御する第3の制御線及び第4の制御線を
    備えていることを特徴とする受光素子。
  5. 【請求項5】請求項1〜4のいずれか記載の受光素子に
    おいて、 前記各画素は、さらに、 前記受光領域にて受光される輝度信号に応じて当該受光
    領域から発生する電荷を蓄積するコンデンサと、 前記受光領域と前記コンデンサとの間を断続する第5の
    スイッチと、 前記コンデンサに蓄積された電荷を画像信号として前記
    処理回路へ出力するための画像信号用出力線と前記コン
    デンサとの間を断続する第6のスイッチとを備えてお
    り、 前記第2のスイッチは、前記接地線と前記コンデンサと
    の間も断続可能にされており、前記第6のスイッチを接
    続して前記画像信号用出力線へ画像信号を出力した後、
    前記第2のスイッチを前記接地線と所定時間接続するこ
    とを特徴とする受光素子。
  6. 【請求項6】請求項5記載の受光素子において、 縦横2方向に複数の画素が行列状に配置されて構成され
    ていると共に、その行単位又は列単位のいずれか一方の
    画素群に属する各画素は、共通の画像信号用出力線にて
    前記画像信号を出力するよう構成されており、 前記行単位又は列単位のいずれか一方の画素群に共通の
    画像信号用出力線毎に、前記処理回路との間を断続する
    第7のスイッチが設けられていることを特徴とする受光
    素子。
  7. 【請求項7】縦横2方向に複数の画素が行列状に配置さ
    れ、前記画素の受光領域にて光電変換された受光信号を
    外部の処理回路へ出力すると共に、その行単位又は列単
    位のいずれか一方の画素群に属する各画素は、共通の画
    素群対応出力線にて前記受光信号を出力するよう構成さ
    れた受光素子であって、 前記各画素には、前記受光信号を前記処理回路へ出力す
    るための出力線と前記受光領域との間を断続する第1の
    スイッチが設けられ、 前記画素群対応出力線毎に、前記処理回路との間を断続
    する第3のスイッチと、接地線との間を断続する第4の
    スイッチとがそれぞれ設けられており、 前記第1のスイッチ及び前記第3のスイッチが接続され
    ている場合は前記第4のスイッチを切断し、前記第1の
    スイッチ及び前記第3のスイッチが切断されている場合
    には前記第4のスイッチを接続することを特徴とする受
    光素子。
  8. 【請求項8】縦横2方向に複数の画素が行列状に配置さ
    れ、前記画素の受光領域にて光電変換された受光信号を
    外部の処理回路へ出力すると共に、その行単位又は列単
    位のいずれか一方の画素群に属する各画素は、共通の画
    素群対応出力線にて前記受光信号を出力するよう構成さ
    れた受光素子であって、 前記各画素には、前記受光信号を前記処理回路へ出力す
    るための出力線と前記受光領域との間を断続する第1の
    スイッチが設けられ、 前記画素群対応出力線毎に、前記処理回路との間を断続
    する第3のスイッチが設けられ、 さらに、前記画素群対応出力線は、最終的には1本の出
    力線にまとめられて前記外部の処理回路へ出力されるよ
    う構成され、その1本にまとめられた出力線に、接地線
    との間を断続する第4のスイッチが設けられており、 前記第1のスイッチ及び前記第3のスイッチが接続され
    ている場合は前記第4のスイッチを切断し、前記第1の
    スイッチ及び前記第3のスイッチが切断されている場合
    には前記第4のスイッチを接続することを特徴とする受
    光素子。
  9. 【請求項9】請求項7又は8に記載の受光素子におい
    て、 前記第1のスイッチ及び前記第3のスイッチが切断され
    ている状態から接続されている状態に移行する場合に
    は、前記第4のスイッチが接続されている状態において
    前記第1のスイッチ及び前記第3のスイッチを接続し、
    その後、前記第4のスイッチを切断することを特徴とす
    る受光素子。
  10. 【請求項10】請求項7〜9のいずれか記載の受光素子
    において、 前記各画素は、さらに、 前記受光領域にて受光される輝度信号に応じて当該受光
    領域から発生する電荷を蓄積するコンデンサと、 前記受光領域と前記コンデンサとの間を断続する第5の
    スイッチと、 前記コンデンサに蓄積された電荷を画像信号として前記
    処理回路へ出力するための画像信号用出力線と前記コン
    デンサとの間を断続する第6のスイッチとを備えてお
    り、 前記行単位又は列単位のいずれか一方の画素群に属する
    各画素は、共通の画素群対応の前記画像信号用出力線に
    て前記画像信号を出力するよう構成され、その画素群対
    応の画像信号出力線毎に、前記処理回路との間を断続す
    る第7のスイッチと、接地線との間を断続する第8のス
    イッチとがそれぞれ設けられていることを特徴とする受
    光素子。
  11. 【請求項11】請求項5、6、10のいずれか記載の受
    光素子において、 前記受光領域とコンデンサとは直列に接続されていると
    共に、前記第6のスイッチと前記画像信号用出力線との
    間に増幅回路が設けられていることを特徴とする受光素
    子。
  12. 【請求項12】請求項5、6、10のいずれか記載の受
    光素子において、 前記受光領域とコンデンサは並列に接続されていると共
    に、前記コンデンサには、検出前に予め電荷を蓄積して
    おくプリチャージを行い、前記受光領域に輝度信号に応
    じた入力があると、その入力に応じて前記コンデンサか
    ら放電されるよう構成しておき、 検出時には、まず前記第1のスイッチを接続して、前記
    受光領域から前記出力線へ受光信号を出力し、その後、
    前記第6のスイッチを接続して、前記コンデンサから前
    記画像信号用出力線へ電荷を出力することを特徴とする
    受光素子。
  13. 【請求項13】請求項5、6、10〜12のいずれか記
    載の受光素子において、 縦横2方向に複数の画素が行列状に配置され、その行単
    位又は列単位のいずれか一方の画素群に属する各画素が
    共通の出力線にて前記受光信号を出力する構成であるこ
    とを前提とし、 前記共通の出力線が行単位の画素群を接続している場合
    には列単位、逆に前記共通の出力線が列単位の画素群を
    接続している場合には行単位で、当該単位に属する画素
    群の前記第5のスイッチを共通に制御する第5の制御線
    と、当該単位に属する画素群の前記第6のスイッチを共
    通に制御する第6の制御線とを備えていることを特徴と
    する受光素子。
  14. 【請求項14】レーザ光を照射する照射手段と、 前記照射手段にて照射されたレーザ光が反射物から反射
    されて来た反射光を検出する請求項1〜4、7〜9のい
    ずれか記載の受光素子と、 前記受光素子において機能を発揮させる画素を切替選択
    する切替選択手段と、前記照射手段がレーザ光を照射し
    てから前記受光素子が反射光を検出するまでの時間差を
    計測する時間差計測手段と、 前記時間差計測手段にて計測された時間差に基づいて前
    記反射物までの距離または距離を表す物理量を算出する
    距離算出手段とを備えていることを特徴とする距離測定
    装置。
  15. 【請求項15】請求項14記載の距離測定装置におい
    て、 前記切替選択手段は、前記レーザ光の照射方向にも応じ
    て、機能を発揮させる画素を切替選択することを特徴と
    する距離測定装置。
  16. 【請求項16】請求項14又は15記載の距離測定装置
    において、 車両に搭載されて用いられることを前提とし、 前記レーザ光の方向は車幅方向あるいは車高方向である
    ことを特徴とする距離測定装置。
  17. 【請求項17】レーザ光を照射する照射手段と、 前記照射手段にて照射されたレーザ光が反射物から反射
    されて来た反射光を検出する請求項5、6、10〜13
    のいずれか記載の受光素子と、 前記照射手段がレーザ光を照射してから前記受光素子が
    反射光を検出するまでの時間差を計測する時間差計測手
    段と、 前記時間差計測手段にて計測された時間差に基づいて前
    記反射物までの距離または距離を表す物理量を算出する
    距離算出手段と、 前記受光素子にて検出された画像信号に基づいて画像を
    測定する画像測定手段とを備えていることを特徴とする
    距離・画像測定装置。
  18. 【請求項18】請求項17記載の距離・画像測定装置に
    おいて、 前記画像測定手段にて測定した画像に基づき、前記照射
    手段によって照射するレーザ光の強度を変更することを
    特徴とする距離・画像測定装置。
JP2000281909A 1999-11-05 2000-09-18 受光素子、距離測定装置及び距離・画像測定装置 Expired - Fee Related JP4613406B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000281909A JP4613406B2 (ja) 1999-11-05 2000-09-18 受光素子、距離測定装置及び距離・画像測定装置
US09/696,969 US6400448B1 (en) 1999-11-05 2000-10-27 Photo detecting device, distance measuring apparatus, and distance/image measuring apparatus
DE10054676.5A DE10054676B4 (de) 1999-11-05 2000-11-03 Photodetektorvorrichtung sowie Abstandsmessvorrichtung und Abstands-/Bildmessvorrichtung hiermit

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31509899 1999-11-05
JP11-315098 1999-11-05
JP2000281909A JP4613406B2 (ja) 1999-11-05 2000-09-18 受光素子、距離測定装置及び距離・画像測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001194458A true JP2001194458A (ja) 2001-07-19
JP4613406B2 JP4613406B2 (ja) 2011-01-19

Family

ID=26568182

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000281909A Expired - Fee Related JP4613406B2 (ja) 1999-11-05 2000-09-18 受光素子、距離測定装置及び距離・画像測定装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6400448B1 (ja)
JP (1) JP4613406B2 (ja)
DE (1) DE10054676B4 (ja)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005078386A1 (ja) * 2004-02-18 2005-08-25 National University Corporation Shizuoka University 光飛行時間型距離センサ
WO2007026779A1 (ja) * 2005-08-30 2007-03-08 National University Corporation Shizuoka University 半導体測距素子及び固体撮像装置
WO2007026777A1 (ja) * 2005-08-30 2007-03-08 National University Corporation Shizuoka University 半導体測距素子及び固体撮像装置
JP2009267715A (ja) * 2008-04-24 2009-11-12 Hamamatsu Photonics Kk 固体撮像装置およびx線検査システム
JP2011179925A (ja) * 2010-02-26 2011-09-15 Hamamatsu Photonics Kk 距離画像センサ
JP2013092459A (ja) * 2011-10-26 2013-05-16 Denso Corp 距離測定装置、および距離測定プログラム
JP2014059301A (ja) * 2012-09-18 2014-04-03 Sick Ag 光電センサおよびデプスマップ検出方法
WO2015190308A1 (ja) * 2014-06-09 2015-12-17 浜松ホトニクス株式会社 測距装置
JP2016145776A (ja) * 2015-02-09 2016-08-12 三菱電機株式会社 レーザ受信装置
CN108278668A (zh) * 2018-01-30 2018-07-13 广东美的制冷设备有限公司 空调器、空调器的室内机和空气质量提示方法
WO2018151226A1 (ja) * 2017-02-15 2018-08-23 パイオニア株式会社 光走査装置及び制御方法
JP2021534418A (ja) * 2018-08-22 2021-12-09 ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツングRobert Bosch Gmbh 加速された伝播時間分析を有するlidar装置

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4040261B2 (ja) * 2001-03-22 2008-01-30 富士フイルム株式会社 固体撮像装置とその駆動方法
DE10115740A1 (de) 2001-03-26 2002-10-02 Ulrich Speck Zubereitung für die Restenoseprophylaxe
JP2002323565A (ja) * 2001-04-27 2002-11-08 Denso Corp 障害物認識装置
US6765654B2 (en) * 2001-05-11 2004-07-20 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Coherent laser radar device
JP4810763B2 (ja) * 2001-06-20 2011-11-09 株式会社デンソー 距離測定装置
DE10147807A1 (de) * 2001-09-27 2003-04-24 Conti Temic Microelectronic Verfahren zur dreidimensionalen Erfassung von Objekten oder Szenen
DE10244847A1 (de) 2002-09-20 2004-04-01 Ulrich Prof. Dr. Speck Medizinische Vorrichtung zur Arzneimittelabgabe
TWI230914B (en) * 2003-03-12 2005-04-11 Au Optronics Corp Circuit of current driving active matrix organic light emitting diode pixel and driving method thereof
JP4798254B2 (ja) * 2009-05-13 2011-10-19 株式会社デンソー 受光デバイス及びその制御方法
DE102013011853A1 (de) * 2013-07-16 2015-01-22 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Optoelektronische Detektionseinrichtung und Verfahren zur abtastenden Erfassung der Umgebung eines Kraftfahrzeugs
JP2015034919A (ja) * 2013-08-09 2015-02-19 株式会社デンソー 情報表示装置
JP2017138301A (ja) * 2016-01-28 2017-08-10 株式会社デンソー レーザレーダ装置
EP3438699A1 (de) * 2017-07-31 2019-02-06 Hexagon Technology Center GmbH Distanzmesser mit spad-anordnung zur berücksichtigung von mehrfachzielen
JP6911825B2 (ja) * 2018-08-09 2021-07-28 株式会社デンソー 光測距装置
DE102019134142A1 (de) * 2018-12-12 2020-06-18 Analog Devices, Inc. Eingebaute kalibrierung von laufzeittiefenbildgebungssystemen
DE102019128439A1 (de) * 2019-10-22 2021-04-22 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Verfahren zum Detektieren von Objekten in einem Überwachungsbereich mit einer optischen Detektionsvorrichtung und optische Detektionsvorrichtung

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59198378A (ja) * 1983-04-27 1984-11-10 Nissan Motor Co Ltd 光レ−ダ装置
JPH06308240A (ja) * 1993-04-21 1994-11-04 Mitsubishi Electric Corp 広角レーザレーダ装置
JPH06317656A (ja) * 1993-05-10 1994-11-15 Mitsubishi Electric Corp 2次元受光回路素子及び光情報入力処理装置
JPH0798381A (ja) * 1993-08-06 1995-04-11 Omron Corp 走査式距離測定装置,走査式距離測定装置を搭載した車両および光の検出装置
JPH07113613A (ja) * 1993-10-15 1995-05-02 Hitachi Denshi Ltd 撮像装置
JPH0897393A (ja) * 1994-09-29 1996-04-12 Canon Inc 光電変換装置とラインセンサアレイ及び半導体装置
JPH10505469A (ja) * 1994-06-01 1998-05-26 シマゲ オユ 撮像素子、撮像システムおよび撮像方法
JPH11204600A (ja) * 1998-01-14 1999-07-30 Nikon Corp 検査装置
JP2002526989A (ja) * 1998-09-28 2002-08-20 スリーディーヴィー システムズ リミテッド カメラを用いた距離測定

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4764982A (en) * 1962-07-02 1988-08-16 Pfund Charles E Secure communication system
FR2677834B1 (fr) * 1986-09-16 1993-12-31 Thomson Csf Systeme d'imagerie laser a barrette detectrice.
JP2560747B2 (ja) * 1987-09-22 1996-12-04 ミノルタ株式会社 光電変換装置
US4862276A (en) * 1988-10-07 1989-08-29 Wang Samuel C Push-pull readout of dual gate cid arrays
JPH07182600A (ja) 1993-12-22 1995-07-21 Nissan Motor Co Ltd 車両用距離検出装置
US5949483A (en) * 1994-01-28 1999-09-07 California Institute Of Technology Active pixel sensor array with multiresolution readout
US5760886A (en) 1994-07-29 1998-06-02 Miyazaki; Hidenori Scanning-type distance measurement device responsive to selected signals
JPH08304540A (ja) 1995-05-08 1996-11-22 Nissan Motor Co Ltd 画像および距離検知システム用センサ
US5705807A (en) * 1994-10-24 1998-01-06 Nissan Motor Co., Ltd. Photo detecting apparatus for detecting reflected light from an object and excluding an external light componet from the reflected light
US5705870A (en) 1995-10-19 1998-01-06 Thomsen; Bradley E. Universally mountable automotive alternator
US6137566A (en) * 1999-02-24 2000-10-24 Eoo, Inc. Method and apparatus for signal processing in a laser radar receiver

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59198378A (ja) * 1983-04-27 1984-11-10 Nissan Motor Co Ltd 光レ−ダ装置
JPH06308240A (ja) * 1993-04-21 1994-11-04 Mitsubishi Electric Corp 広角レーザレーダ装置
JPH06317656A (ja) * 1993-05-10 1994-11-15 Mitsubishi Electric Corp 2次元受光回路素子及び光情報入力処理装置
JPH0798381A (ja) * 1993-08-06 1995-04-11 Omron Corp 走査式距離測定装置,走査式距離測定装置を搭載した車両および光の検出装置
JPH07113613A (ja) * 1993-10-15 1995-05-02 Hitachi Denshi Ltd 撮像装置
JPH10505469A (ja) * 1994-06-01 1998-05-26 シマゲ オユ 撮像素子、撮像システムおよび撮像方法
JPH0897393A (ja) * 1994-09-29 1996-04-12 Canon Inc 光電変換装置とラインセンサアレイ及び半導体装置
JPH11204600A (ja) * 1998-01-14 1999-07-30 Nikon Corp 検査装置
JP2002526989A (ja) * 1998-09-28 2002-08-20 スリーディーヴィー システムズ リミテッド カメラを用いた距離測定

Cited By (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005235893A (ja) * 2004-02-18 2005-09-02 National Univ Corp Shizuoka Univ 光飛行時間型距離センサ
WO2005078386A1 (ja) * 2004-02-18 2005-08-25 National University Corporation Shizuoka University 光飛行時間型距離センサ
US7671391B2 (en) 2004-02-18 2010-03-02 National University Corporation Shizuoka University Time-of-light flight type distance sensor
JP5110520B2 (ja) * 2005-08-30 2012-12-26 国立大学法人静岡大学 半導体測距素子及び固体撮像装置
WO2007026779A1 (ja) * 2005-08-30 2007-03-08 National University Corporation Shizuoka University 半導体測距素子及び固体撮像装置
WO2007026777A1 (ja) * 2005-08-30 2007-03-08 National University Corporation Shizuoka University 半導体測距素子及び固体撮像装置
US7781811B2 (en) 2005-08-30 2010-08-24 National University Corporation Shizuoka University Semiconductor range-finding element and solid-state imaging device
JP5110519B2 (ja) * 2005-08-30 2012-12-26 国立大学法人静岡大学 半導体測距素子及び固体撮像装置
US7910964B2 (en) 2005-08-30 2011-03-22 National University Corporation Shizuoka University Semiconductor range-finding element and solid-state imaging device
KR101598233B1 (ko) * 2008-04-24 2016-02-26 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 고체 촬상 장치 및 x선 검사 시스템
JP2009267715A (ja) * 2008-04-24 2009-11-12 Hamamatsu Photonics Kk 固体撮像装置およびx線検査システム
KR20100135705A (ko) * 2008-04-24 2010-12-27 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 고체 촬상 장치 및 x선 검사 시스템
US8576984B2 (en) 2008-04-24 2013-11-05 Hamamatsu Photonics K.K. Solid-state image pickup apparatus and X-ray inspection system
US8953745B2 (en) 2008-04-24 2015-02-10 Hamamatsu Photonics K.K. Solid-state image pickup apparatus and X-ray inspection system
JP2011179925A (ja) * 2010-02-26 2011-09-15 Hamamatsu Photonics Kk 距離画像センサ
JP2013092459A (ja) * 2011-10-26 2013-05-16 Denso Corp 距離測定装置、および距離測定プログラム
JP2014059301A (ja) * 2012-09-18 2014-04-03 Sick Ag 光電センサおよびデプスマップ検出方法
JP2015232452A (ja) * 2014-06-09 2015-12-24 浜松ホトニクス株式会社 測距装置
WO2015190308A1 (ja) * 2014-06-09 2015-12-17 浜松ホトニクス株式会社 測距装置
CN106461781A (zh) * 2014-06-09 2017-02-22 浜松光子学株式会社 测距装置
US11054522B2 (en) 2014-06-09 2021-07-06 Hamamatsu Photonics K.K. Distance measuring device
JP2016145776A (ja) * 2015-02-09 2016-08-12 三菱電機株式会社 レーザ受信装置
WO2018151226A1 (ja) * 2017-02-15 2018-08-23 パイオニア株式会社 光走査装置及び制御方法
JPWO2018151226A1 (ja) * 2017-02-15 2019-12-12 パイオニア株式会社 光走査装置及び制御方法
CN108278668A (zh) * 2018-01-30 2018-07-13 广东美的制冷设备有限公司 空调器、空调器的室内机和空气质量提示方法
JP2021534418A (ja) * 2018-08-22 2021-12-09 ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツングRobert Bosch Gmbh 加速された伝播時間分析を有するlidar装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE10054676A1 (de) 2001-06-13
JP4613406B2 (ja) 2011-01-19
DE10054676B4 (de) 2017-03-02
US6400448B1 (en) 2002-06-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4613406B2 (ja) 受光素子、距離測定装置及び距離・画像測定装置
CN111465870B (zh) 使用可寻址发射器阵列的飞行时间感测
US20230194679A1 (en) Integrated lidar image-sensor devices and systems and related methods of operation
JP6907275B2 (ja) 多数のアバランシェフォトダイオード素子を用いた光の検出
JP3832101B2 (ja) 距離測定装置
US7034274B2 (en) Light receiving device with controllable sensitivity and spatial information detecting apparatus using the same
US20180252800A1 (en) Time of flight distance sensor
US20110157354A1 (en) Distance image sensor and method for generating image signal by time-of-flight method
EP2728373A1 (en) Improvements in time of flight pixel circuits
US11639999B2 (en) Method for improved near and remote detection of a LIDAR receiving unit
US11366225B2 (en) Active-pixel sensor array
JP7353765B2 (ja) 光検出装置、光検出システム及び移動体
EP3602110A1 (en) Time of flight sensor
KR20210096243A (ko) 라이다 시스템 및 자동차
CN112038360A (zh) 距离传感器像素阵列结构、距离传感器及工作方法
CN112997096A (zh) 激光雷达及自动驾驶设备
CN111175786A (zh) 一种多路消除串扰的宽视场高分辨率固态激光雷达
JP7383542B2 (ja) 光検出器及び距離計測装置
US5354981A (en) Switching photosensitive matrix device
CN211979200U (zh) 传感器
US20220310866A1 (en) Light detector
CN213124441U (zh) 距离传感器像素阵列结构及距离传感器
EP4194892A1 (en) Dtof sensing module, terminal device, and distance measurement method
CN111065936B (zh) 用于光学距离测量的方法和设备
JP7434115B2 (ja) 光検出器及び距離計測装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070322

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090702

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090714

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090911

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100921

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20101004

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 4613406

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131029

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees