JP2001183257A - プローブの検査方法及び装置 - Google Patents
プローブの検査方法及び装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単且つ確実にプローブの破損検出を可能と
した検査方法及び装置を提供する。 【解決手段】 発振器１１とその出力により駆動される
アクチュエータ４により、プローブユニット２に保持さ
れたカンチレバー１に振動を与える。加振周波数は、カ
ンチレバー１の予測される固有振動数より低い状態から
次第に上げるように、制御回路１０により制御される。
カンチレバー１の振動振幅は振動振幅検出器２により検
出し、データラッチ回路８に転送保持する。加振周波数
を上げて検出される振動振幅値を、比較器９によりメモ
リ８に保持された基準値と比較する。加振周波数がカン
チレバー１の固有振動数を越えると、検出される振動振
幅値が低下し、比較器９の出力が反転することから、１
ステップ前の加振周波数を固有振動数として検出する。
破損のないカンチレバーについて予め測定された固有振
動数との偏位があるレベルを超えたときに、破損ありと
判定する。
した検査方法及び装置を提供する。 【解決手段】 発振器１１とその出力により駆動される
アクチュエータ４により、プローブユニット２に保持さ
れたカンチレバー１に振動を与える。加振周波数は、カ
ンチレバー１の予測される固有振動数より低い状態から
次第に上げるように、制御回路１０により制御される。
カンチレバー１の振動振幅は振動振幅検出器２により検
出し、データラッチ回路８に転送保持する。加振周波数
を上げて検出される振動振幅値を、比較器９によりメモ
リ８に保持された基準値と比較する。加振周波数がカン
チレバー１の固有振動数を越えると、検出される振動振
幅値が低下し、比較器９の出力が反転することから、１
ステップ前の加振周波数を固有振動数として検出する。
破損のないカンチレバーについて予め測定された固有振
動数との偏位があるレベルを超えたときに、破損ありと
判定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、カンチレバー等
の極細長針のプローブの破損検査の方法及び装置に関す
る。
の極細長針のプローブの破損検査の方法及び装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】物体表面の形状測定には、カンチレバー
型のプローブが一般に用いられる。これらのプローブに
は、例えば微細な穴の内径を測定する場合に用いられる
極細のものがある。更に測定すべき穴が深い場合には、
プローブは極細で且つ長いものとなる。この様な極細長
針のプローブは当然脆く、破損しやすい。極細長針のプ
ローブの問題として、破損しやすいことに加え、中途で
の破損に気づかずに測定に使用してしまうことが挙げら
れる。この場合には、誤測定の原因となる可能性があ
る。
型のプローブが一般に用いられる。これらのプローブに
は、例えば微細な穴の内径を測定する場合に用いられる
極細のものがある。更に測定すべき穴が深い場合には、
プローブは極細で且つ長いものとなる。この様な極細長
針のプローブは当然脆く、破損しやすい。極細長針のプ
ローブの問題として、破損しやすいことに加え、中途で
の破損に気づかずに測定に使用してしまうことが挙げら
れる。この場合には、誤測定の原因となる可能性があ
る。
【０００３】極細長針のプローブの破損対策として、プ
ローブ構造の剛性を高めることも考えられるが、これは
反面、プローブの感度を低下させるため問題がある。従
って、プローブの使用に際しては、それが破損していな
いことを確認する作業を行うことが好ましい。しかし、
極細長針のプローブの場合、目視検査では破損の発見が
難しく、確実に破損検出を行うには、顕微鏡やＣＣＤカ
メラ等による観測を必要とする。このため、確認作業に
は煩雑な手間と時間がかかる。
ローブ構造の剛性を高めることも考えられるが、これは
反面、プローブの感度を低下させるため問題がある。従
って、プローブの使用に際しては、それが破損していな
いことを確認する作業を行うことが好ましい。しかし、
極細長針のプローブの場合、目視検査では破損の発見が
難しく、確実に破損検出を行うには、顕微鏡やＣＣＤカ
メラ等による観測を必要とする。このため、確認作業に
は煩雑な手間と時間がかかる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、簡単且つ
確実にプローブの破損検出を可能とした検査方法及び装
置を提供することを目的とする。
確実にプローブの破損検出を可能とした検査方法及び装
置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明に係るプローブ
の検査方法は、プローブに加振周波数を順次変化させな
がら振動を与えるステップと、各加振周波数の振動が与
えられたときの前記プローブの振動振幅を検出するステ
ップと、検出される前記振動振幅と加振周波数の相関関
係に基づいて前記プローブの固有振動数を検出するステ
ップと、前記固有振動数の正規の値からの偏位によりプ
ローブの破損を判定するステップとを有することを特徴
とする。
の検査方法は、プローブに加振周波数を順次変化させな
がら振動を与えるステップと、各加振周波数の振動が与
えられたときの前記プローブの振動振幅を検出するステ
ップと、検出される前記振動振幅と加振周波数の相関関
係に基づいて前記プローブの固有振動数を検出するステ
ップと、前記固有振動数の正規の値からの偏位によりプ
ローブの破損を判定するステップとを有することを特徴
とする。
【０００６】この発明に係るプローブの検査装置は、プ
ローブに振動を与えるための、加振周波数可変の加振装
置と、前記プローブの振動振幅を検出する振動振幅検出
器と、前記加振装置の加振周波数をステップ的に上昇さ
せ、前記振動振幅検出器から出力される振動振幅値と加
振周波数の相関関係に基づいて前記プローブの固有振動
数を検出する固有振動数検出手段と、この固有振動数検
出手段により検出された固有振動数の正規の値からの偏
位により前記プローブの破損を判定する破損判定手段と
を有することを特徴とする。
ローブに振動を与えるための、加振周波数可変の加振装
置と、前記プローブの振動振幅を検出する振動振幅検出
器と、前記加振装置の加振周波数をステップ的に上昇さ
せ、前記振動振幅検出器から出力される振動振幅値と加
振周波数の相関関係に基づいて前記プローブの固有振動
数を検出する固有振動数検出手段と、この固有振動数検
出手段により検出された固有振動数の正規の値からの偏
位により前記プローブの破損を判定する破損判定手段と
を有することを特徴とする。
【０００７】この発明に係るプローブの検査装置は、よ
り具体的には、プローブに振動を与えるための、加振周
波数可変の加振装置と、前記プローブの振動振幅を検出
する振動振幅検出器と、前記加振装置の加振周波数をス
テップ的に可変したときに前記振動振幅検出器から順次
出力される振動振幅値を記憶保持するデータ保持回路
と、前記振動振幅検出器から順次出力される振動振幅値
を前記データ保持回路に保持された１ステップ前の振動
振幅値と比較する比較回路と、この比較回路が前記振動
振幅検出器から出力される振動振幅値が前記データ保持
回路に保持された１ステップ前の振動振幅値より低下し
たことを検出したときに、その１ステップ前の加振周波
数を前記プローブの固有振動数と判定する固有振動数検
出手段と、この固有振動数検出手段により検出された固
有振動数の正規の値からの偏位により前記プローブの破
損を判定する破損判定手段とを有することを特徴とす
る。
り具体的には、プローブに振動を与えるための、加振周
波数可変の加振装置と、前記プローブの振動振幅を検出
する振動振幅検出器と、前記加振装置の加振周波数をス
テップ的に可変したときに前記振動振幅検出器から順次
出力される振動振幅値を記憶保持するデータ保持回路
と、前記振動振幅検出器から順次出力される振動振幅値
を前記データ保持回路に保持された１ステップ前の振動
振幅値と比較する比較回路と、この比較回路が前記振動
振幅検出器から出力される振動振幅値が前記データ保持
回路に保持された１ステップ前の振動振幅値より低下し
たことを検出したときに、その１ステップ前の加振周波
数を前記プローブの固有振動数と判定する固有振動数検
出手段と、この固有振動数検出手段により検出された固
有振動数の正規の値からの偏位により前記プローブの破
損を判定する破損判定手段とを有することを特徴とす
る。
【０００８】この発明は、極細長針のプローブの固有振
動数がその長さに依存することを利用している。以下、
プローブとしてカンチレバー型の場合を説明すると、一
般に、片持カンチレバーの第１次固有振動数ｆｒは、次
式で表される。
動数がその長さに依存することを利用している。以下、
プローブとしてカンチレバー型の場合を説明すると、一
般に、片持カンチレバーの第１次固有振動数ｆｒは、次
式で表される。
【０００９】
【数１】 ｆｒ＝（１／２π）（ｋ／ｍ）1/2 ＝１．０３ｔｖ／２πＬ2
【００１０】数１において、ｋはバネ定数、ｍはカンチ
レバーの質量、ｔはカンチレバーの厚み、Ｌはカンチレ
バーの長さ、ｖはカンチレバー内の長さ方向の音速であ
る。音速ｖは、カンチレバー材料のヤング率をＥ、密度
をρとして、ｖ＝（Ｅ／ρ） 1/2と表される。数１か
ら、カンチレバーの固有振動数は、厚みｔに比例し、長
さＬの２乗の反比例することがわかる。
レバーの質量、ｔはカンチレバーの厚み、Ｌはカンチレ
バーの長さ、ｖはカンチレバー内の長さ方向の音速であ
る。音速ｖは、カンチレバー材料のヤング率をＥ、密度
をρとして、ｖ＝（Ｅ／ρ） 1/2と表される。数１か
ら、カンチレバーの固有振動数は、厚みｔに比例し、長
さＬの２乗の反比例することがわかる。
【００１１】一方、カンチレバーの中途に折れ破損箇所
があった場合には、その破損箇所までの長さで固有振動
数が決まるために、固有振動数が高くなる。従って基準
のカンチレバーの固有振動数を予め測定しておけば、検
査すべきカンチレバーの固有振動数を測定してその基準
値からの偏位を求めることにより、破損を判定すること
ができる。検査装置は、加振周波数可変の加振装置や振
動振幅検出器、比較回路等を備えて構成され、自動的な
プローブ破損の有無の判定に供することが可能になる。
があった場合には、その破損箇所までの長さで固有振動
数が決まるために、固有振動数が高くなる。従って基準
のカンチレバーの固有振動数を予め測定しておけば、検
査すべきカンチレバーの固有振動数を測定してその基準
値からの偏位を求めることにより、破損を判定すること
ができる。検査装置は、加振周波数可変の加振装置や振
動振幅検出器、比較回路等を備えて構成され、自動的な
プローブ破損の有無の判定に供することが可能になる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施例を説明する。図１は、この発明の一実施例によ
るカンチレバー検査装置の構成を示している。カンチレ
バー１は、片持形式でプローブユニット２に保持され
る。カンチレバー１に振動を与えるために、周波数可変
の発振器１１とその出力を増幅する増幅器５が設けら
れ、増幅器５の出力により駆動される加振アクチュエー
タ４がプローブユニット２に取り付けられている。加振
アクチュエータ４は、圧電素子、静電容量式アクチュエ
ータ、ボイスコイル等、空間的に単振動を与えられるも
のであればよい。発振器１１の周波数は、制御回路１０
からの制御により周波数がステップ的に可変できる。こ
れにより、カンチレバー１の一端即ち、プローブユニッ
ト２に保持された側の端部に、例えば長手方向に加振周
波数を設定した振動が与えられるようになっている。
の実施例を説明する。図１は、この発明の一実施例によ
るカンチレバー検査装置の構成を示している。カンチレ
バー１は、片持形式でプローブユニット２に保持され
る。カンチレバー１に振動を与えるために、周波数可変
の発振器１１とその出力を増幅する増幅器５が設けら
れ、増幅器５の出力により駆動される加振アクチュエー
タ４がプローブユニット２に取り付けられている。加振
アクチュエータ４は、圧電素子、静電容量式アクチュエ
ータ、ボイスコイル等、空間的に単振動を与えられるも
のであればよい。発振器１１の周波数は、制御回路１０
からの制御により周波数がステップ的に可変できる。こ
れにより、カンチレバー１の一端即ち、プローブユニッ
ト２に保持された側の端部に、例えば長手方向に加振周
波数を設定した振動が与えられるようになっている。
【００１３】また、プローブユニット２には、カンチレ
バー１の振動振幅を検出する振動振幅検出装置３が取り
付けられている。この振動振幅検出装置３は、アクチュ
エータ４により加振されたカンチレバー１のプローブユ
ニット２の振動振幅を検出するもので、光学的検出器、
磁気的検出器等、その形式はいかなるものでもよい。振
動振幅検出装置４の出力である振動振幅値は増幅器６を
介して、Ａ／Ｄコンバータ７に入力され、ディジタルデ
ータに変換される。ディジタルデータに変換された振動
振幅値は、転送ゲートＴＧ１を介して、データラッチ回
路８に転送保持される。データラッチ回路８は例えば２
段構成とされ、加振周波数毎に順次検出される振動振幅
値の連続する２ステップ分が順次シフトされながら保持
されるものとする。
バー１の振動振幅を検出する振動振幅検出装置３が取り
付けられている。この振動振幅検出装置３は、アクチュ
エータ４により加振されたカンチレバー１のプローブユ
ニット２の振動振幅を検出するもので、光学的検出器、
磁気的検出器等、その形式はいかなるものでもよい。振
動振幅検出装置４の出力である振動振幅値は増幅器６を
介して、Ａ／Ｄコンバータ７に入力され、ディジタルデ
ータに変換される。ディジタルデータに変換された振動
振幅値は、転送ゲートＴＧ１を介して、データラッチ回
路８に転送保持される。データラッチ回路８は例えば２
段構成とされ、加振周波数毎に順次検出される振動振幅
値の連続する２ステップ分が順次シフトされながら保持
されるものとする。
【００１４】順次検出される振動振幅値はまた、転送ゲ
ートＴＧ２を介して比較器９の信号入力端子にも送られ
る。そして振動振幅値データが転送ゲートＴＧ２を介し
て比較器９に送られるとき、同時に、比較器９の基準値
入力端子には、データラッチ回路８に保持されている１
ステップ前の振動振幅値が転送ゲートＴＧ３を介して供
給されるようになっている。これらのデータ転送は制御
回路１０により制御される。
ートＴＧ２を介して比較器９の信号入力端子にも送られ
る。そして振動振幅値データが転送ゲートＴＧ２を介し
て比較器９に送られるとき、同時に、比較器９の基準値
入力端子には、データラッチ回路８に保持されている１
ステップ前の振動振幅値が転送ゲートＴＧ３を介して供
給されるようになっている。これらのデータ転送は制御
回路１０により制御される。
【００１５】この様な検査装置構成として、破損検査に
先立って、基準となる破損のないカンチレバーについて
その固有振動数の測定を行う。その測定動作は次のよう
になる。制御回路１０は、カンチレバー１について予測
される固有振動数より低いある加振周波数から、順次ス
テップ的に加振周波数を上げてカンチレバー１に振動を
与えるべく、発振器１１に制御信号を送る。振動振幅検
出器３により検出された振動振幅値は、データラッチ回
路８に順次２ステップずつ格納保持される。そして比較
器９においては、現在の振動振幅値（現在値）がデータ
ラッチ回路８において１段遅延された１ステップ前の振
動振幅値（基準値）と比較される。この様な動作が、周
波数を上げながら、且つデータラッチ回路８への振動振
幅値を順次更新しながら、繰り返される。
先立って、基準となる破損のないカンチレバーについて
その固有振動数の測定を行う。その測定動作は次のよう
になる。制御回路１０は、カンチレバー１について予測
される固有振動数より低いある加振周波数から、順次ス
テップ的に加振周波数を上げてカンチレバー１に振動を
与えるべく、発振器１１に制御信号を送る。振動振幅検
出器３により検出された振動振幅値は、データラッチ回
路８に順次２ステップずつ格納保持される。そして比較
器９においては、現在の振動振幅値（現在値）がデータ
ラッチ回路８において１段遅延された１ステップ前の振
動振幅値（基準値）と比較される。この様な動作が、周
波数を上げながら、且つデータラッチ回路８への振動振
幅値を順次更新しながら、繰り返される。
【００１６】図３（ａ）（ｂ）は、固有振動数測定の原
理を、検出される振動振幅と加振周波数の関係として示
している。前述のように、カンチレバーの固有振動数ｆ
０は、その長さＬ０に依存する。加振周波数がカンチレ
バー１の固有振動数ｆ０以下の場合、検出される振動振
幅値は、それより前に検出されてデータラッチ回路８に
保持される振動振幅値と基本的に変わらないか、又はそ
れより大きくなる。この間、比較器９の出力は例えば、
“Ｌ”のまま変わらない。加振周波数がカンチレバー１
の固有振動数ｆ０になると、カンチレバー１はいわゆる
共振状態となり、大きなピークの振動振幅値が得られ
る。従って、加振周波数が固有振動数ｆ０を超えると、
比較器９に入力される振動振幅値が１ステップ前のデー
タラッチ回路８に保持された振動振幅値より低くなり、
比較器９の出力は反転して“Ｈ”出力となる。そこでこ
の実施例では、比較器９の出力反転が検出された加振周
波数より１ステップ前の加振周波数をカンチレバー１の
固有振動数として検出する。
理を、検出される振動振幅と加振周波数の関係として示
している。前述のように、カンチレバーの固有振動数ｆ
０は、その長さＬ０に依存する。加振周波数がカンチレ
バー１の固有振動数ｆ０以下の場合、検出される振動振
幅値は、それより前に検出されてデータラッチ回路８に
保持される振動振幅値と基本的に変わらないか、又はそ
れより大きくなる。この間、比較器９の出力は例えば、
“Ｌ”のまま変わらない。加振周波数がカンチレバー１
の固有振動数ｆ０になると、カンチレバー１はいわゆる
共振状態となり、大きなピークの振動振幅値が得られ
る。従って、加振周波数が固有振動数ｆ０を超えると、
比較器９に入力される振動振幅値が１ステップ前のデー
タラッチ回路８に保持された振動振幅値より低くなり、
比較器９の出力は反転して“Ｈ”出力となる。そこでこ
の実施例では、比較器９の出力反転が検出された加振周
波数より１ステップ前の加振周波数をカンチレバー１の
固有振動数として検出する。
【００１７】以上のように破損のないカンチレバーにつ
いて固有振動数が求められたら、これを基準の固有振動
数として例えば制御回路１０内に保持し、以下、次のよ
うにして同種のカンチレバーについて破損検査が行われ
る。なお、ビーム長の異なる種々のＳｉカンチレバーに
ついて固有振動数を計算と実測により求めた結果を、参
考まで示すと図２のようになる。このデータを参照し
て、制御回路１０に基準の固有振動数として保持するの
は、上述した実測値を計算値と照合した上で最適な値を
選ぶことができる。
いて固有振動数が求められたら、これを基準の固有振動
数として例えば制御回路１０内に保持し、以下、次のよ
うにして同種のカンチレバーについて破損検査が行われ
る。なお、ビーム長の異なる種々のＳｉカンチレバーに
ついて固有振動数を計算と実測により求めた結果を、参
考まで示すと図２のようになる。このデータを参照し
て、制御回路１０に基準の固有振動数として保持するの
は、上述した実測値を計算値と照合した上で最適な値を
選ぶことができる。
【００１８】検査手順は、基本的に先に説明した固有振
動数測定の動作と同じである。即ち、加振周波数を予想
される固有振動数より小さいところからステップ的に増
大させ、各加振周波数での振動振幅値を検出し、これを
順次更新しながら２ステップずつデータラッチ回路８に
保持すると共に、比較器９では現在値を１ステップ前の
振動振幅値と比較する。そして、比較器９の出力が反転
したときに、その１ステップ前の加振周波数を固有振動
数として検出する。
動数測定の動作と同じである。即ち、加振周波数を予想
される固有振動数より小さいところからステップ的に増
大させ、各加振周波数での振動振幅値を検出し、これを
順次更新しながら２ステップずつデータラッチ回路８に
保持すると共に、比較器９では現在値を１ステップ前の
振動振幅値と比較する。そして、比較器９の出力が反転
したときに、その１ステップ前の加振周波数を固有振動
数として検出する。
【００１９】図４（ａ）（ｂ）に示すように、もし、カ
ンチレバーに折れ破損があると、加振周波数が予測され
る固有振動数ｆ０になっても比較器９の出力は反転せ
ず、例えば加振周波数ｆ（＞ｆ０）を越えて初めて比較
器９の出力が反転する。図４（ａ）のようにカンチレバ
ーに折れ破損があると、その破損個所が実質的に端部と
なり、カンチレバーの実効的な長さが変わる。この結
果、カンチレバーは長さＬで決まる固有振動数ｆを持つ
ことになり、図４（ｂ）に示すように、加振周波数がｆ
０を越えても、検出される振動振幅値が減少しない。
ンチレバーに折れ破損があると、加振周波数が予測され
る固有振動数ｆ０になっても比較器９の出力は反転せ
ず、例えば加振周波数ｆ（＞ｆ０）を越えて初めて比較
器９の出力が反転する。図４（ａ）のようにカンチレバ
ーに折れ破損があると、その破損個所が実質的に端部と
なり、カンチレバーの実効的な長さが変わる。この結
果、カンチレバーは長さＬで決まる固有振動数ｆを持つ
ことになり、図４（ｂ）に示すように、加振周波数がｆ
０を越えても、検出される振動振幅値が減少しない。
【００２０】従って、カンチレバーについて固有振動数
ｆを測定し、これを破損のない基準のカンチレバーの基
準の固有振動数ｆ０と比較することによって、破損の有
無を判定することができる。具体的には、制御回路１０
において、比較器９の出力に基づいて、測定される固有
振動数ｆの基準となる固有振動数ｆ０からの偏位を算出
し、有意な偏位がある時に破損あり、として外部表示器
第や上位コントローラへ判定結果を送ればよい。なお実
施例の場合には、１次モードの共振のみ検出しているの
で、上記偏位はゼロ又は正に限られる。
ｆを測定し、これを破損のない基準のカンチレバーの基
準の固有振動数ｆ０と比較することによって、破損の有
無を判定することができる。具体的には、制御回路１０
において、比較器９の出力に基づいて、測定される固有
振動数ｆの基準となる固有振動数ｆ０からの偏位を算出
し、有意な偏位がある時に破損あり、として外部表示器
第や上位コントローラへ判定結果を送ればよい。なお実
施例の場合には、１次モードの共振のみ検出しているの
で、上記偏位はゼロ又は正に限られる。
【００２１】図１に説明した検査システムは、カンチレ
バーを取り付ける測定機と一体に構成して、測定開始前
に自動的に検査測定を実行するようなシステム構成とす
ることもできる。これにより、測定前のカンチレバー
を、顕微鏡観察等により検査する手間が省け、破損のあ
るカンチレバーを用いて誤った測定データを取得する事
態を簡単且つ確実に防止することが可能になる。
バーを取り付ける測定機と一体に構成して、測定開始前
に自動的に検査測定を実行するようなシステム構成とす
ることもできる。これにより、測定前のカンチレバー
を、顕微鏡観察等により検査する手間が省け、破損のあ
るカンチレバーを用いて誤った測定データを取得する事
態を簡単且つ確実に防止することが可能になる。
【００２２】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、固
有振動数を測定することにより、プローブの破損を簡単
且つ確実に検査することができる。
有振動数を測定することにより、プローブの破損を簡単
且つ確実に検査することができる。
【図１】 この発明の実施例によるカンチレバー検査装
置の構成を示す図である。
置の構成を示す図である。
【図２】 カンチレバーの固有振動数とビーム長の関係
を示す図である。
を示す図である。
【図３】 破損のないカンチレバーの場合の加振周波数
と検出される振動振幅の関係を示す図である。
と検出される振動振幅の関係を示す図である。
【図４】 破損のあるカンチレバーの場合の加振周波数
と検出される振動振幅の関係を示す図である。
と検出される振動振幅の関係を示す図である。
１…カンチレバー、２…プローブユニット、３…振動振
幅検出器、４…加振アクチュエータ、５，６…増幅器、
７…Ａ／Ｄコンバータ、８…データラッチ回路、９…比
較器、１０…制御回路、１１…発振器。
幅検出器、４…加振アクチュエータ、５，６…増幅器、
７…Ａ／Ｄコンバータ、８…データラッチ回路、９…比
較器、１０…制御回路、１１…発振器。
Claims (4)
- 【請求項１】 プローブに加振周波数を順次変化させな
がら振動を与えるステップと、 各加振周波数の振動が与えられたときの前記プローブの
振動振幅を検出するステップと、 検出される前記振動振幅と加振周波数の相関関係に基づ
いて前記プローブの固有振動数を検出するステップと、 前記固有振動数の正規の値からの偏位によりプローブの
破損を判定するステップとを有することを特徴とするプ
ローブの検査方法。 - 【請求項２】 プローブに振動を与えるための、加振周
波数可変の加振装置と、 前記プローブの振動振幅を検出する振動振幅検出器と、 前記加振装置の加振周波数をステップ的に上昇させ、前
記振動振幅検出器から出力される振動振幅値と加振周波
数の相関関係に基づいて前記プローブの固有振動数を検
出する固有振動数検出手段と、 この固有振動数検出手段により検出された固有振動数の
正規の値からの偏位により前記プローブの破損を判定す
る破損判定手段とを有することを特徴とするプローブの
検査装置。 - 【請求項３】 プローブに振動を与えるための、加振周
波数可変の加振装置と、 前記プローブの振動振幅を検出する振動振幅検出器と、 前記加振装置の加振周波数をステップ的に可変したとき
に前記振動振幅検出器から順次出力される振動振幅値を
記憶保持するデータ保持回路と、 前記振動振幅検出器から順次出力される振動振幅値を前
記データ保持回路に保持された１ステップ前の振動振幅
値と比較する比較回路と、 この比較回路が前記振動振幅検出器から出力される振動
振幅値が前記データ保持回路に保持された１ステップ前
の振動振幅値より低下したことを検出したときに、その
１ステップ前の加振周波数を前記プローブの固有振動数
と判定する固有振動数検出手段と、 この固有振動数検出手段により検出された固有振動数の
正規の値からの偏位により前記プローブの破損を判定す
る破損判定手段とを有することを特徴とするプローブの
検査装置。 - 【請求項４】 前記加振装置は、プローブの一端を片持
形式で保持するプローブユニットに取り付けられたアク
チュエータと、このアクチュエータに駆動信号を送るた
めの、前記制御回路により周波数が可変制御される発振
器とを有することを特徴とする請求項３記載のプローブ
の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37346699A JP2001183257A (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | プローブの検査方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37346699A JP2001183257A (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | プローブの検査方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001183257A true JP2001183257A (ja) | 2001-07-06 |
Family
ID=18502212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP37346699A Pending JP2001183257A (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | プローブの検査方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001183257A (ja) |
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