JP2001179619A - ブレード交換装置及びブレード交換方法 - Google Patents
ブレード交換装置及びブレード交換方法Info
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Abstract
交換装置において、スパナからナットが落下するのを防
止できるブレード交換装置及びブレード交換方法を提供
する。 【解決手段】本発明のブレード交換装置10は、スピン
ドル14に締結されたナット16に筒状体38を係合さ
せるとともに、チャック部材40の爪52、52をナッ
ト16に形成された溝54に嵌合させてナット16を保
持する。次に、筒状体38にトルクレンチ36を挿入
し、トルクレンチ36の先端角部37をスピンドル14
の先端面に形成された角孔15に係合する。この状態
で、トルクレンチ36でスピンドル14をナット16が
緩む方向に回す。これにより、ナット16がスピンドル
14から外される。そして、筒状体38をスピンドル1
4から引き抜いた時、ナット16はチャック部材40の
爪52、52に保持されているので、筒状体38から落
下しない。
Description
碁盤目状に切断するダイシング装置のブレードを交換す
るためのブレード交換装置及びブレード交換方法に関す
る。
転させ、多数のチップが形成された半導体ウェーハをチ
ップに沿って碁盤目状に切断する装置である。ブレード
は、スピンドルにナットを介して固定され、ブレードを
交換する場合には、専用のブレード交換装置が使用され
る。
れたスパナと棒状のトルクレンチとから構成されてお
り、作業者は、スパナをナットに係合させた後、スパナ
の孔からトルクレンチを挿入し、トルクレンチの先端部
をスピンドルの先端面に形成された角孔に係合させる。
この状態で、作業者はトルクレンチを片手で回り止め
し、そして、もう一方の片手でスパナを緩める方向に回
す。これにより、ナットがスピンドルから外され、そし
て、スパナをスピンドルから取り外した後、古いブレー
ドをスピンドルから外して新しいブレードをスピンドル
に装着する。この後、ナットをスパナを介してスピンド
ルに取り付け、スピンドルをトルクレンチで締める方向
に回し、ナットをスピンドルに締結する。以上でブレー
ド交換装置を使用したブレード交換作業が終了する。
来のブレード交換装置は、ナットをスピンドルから外し
てスパナをスピンドルから取り外した時に、ナットがス
パナから落下する場合があるという欠点があった。
両手を使って操作するものなので、ブレードが狭所に設
けられている場合には、その狭所に両手を挿入すること
が困難なため、ブレード交換に手間がかかるという欠点
もあった。
もので、交換装置本体からナットが落下するのを防止す
ることができ、片手で交換作業を行うことができるブレ
ード交換装置及びブレード交換方法を提供することを目
的とする。
成するために、スピンドルにナットを介して締結された
ブレードを、スピンドルからナットを取り外すことによ
りスピンドルから取り外し、又はスピンドルに装着され
たブレードをナットを介してスピンドルに締結するブレ
ード交換装置において、前記ナットに係合される筒状の
交換装置本体と、前記交換装置本体の内部に設けられる
とともに前記ナットに形成された嵌合部に嵌合され、該
ナットを保持するチャック部と、前記チャック部の孔か
ら挿入されてスピンドルの先端面に形成された孔に係合
されるレンチとを備え、前記交換装置本体及び前記レン
チによってナット又はスピンドルのうち一方を回り止め
するとともに他方を回転させることにより、スピンドル
からナットを取り外し、又はナットをスピンドルに締結
することを特徴としている。
されたナットに交換装置本体を係合させるとともに、チ
ャック部をナットに形成された嵌合部に嵌合させてナッ
トを保持する。次に、チャック部の孔からレンチを挿入
し、レンチの先端部をスピンドルの先端面に形成された
角孔に係合する。この状態で、交換装置本体又はレンチ
の一方を回り止めし、他方をナットが緩む方向に回す。
これにより、ナットがスピンドルから外される。そし
て、交換装置本体をスピンドルから取り外した時、ナッ
トはチャック部で保持されているので、交換装置本体か
ら落下しない。したがって、本発明のブレード交換装置
は、交換装置本体からナットが落下するのを防止でき
る。
けられたチャック部を、ナットに形成された嵌合部に嵌
合させることにより、ナットを交換装置本体から脱落す
ることなく保持する。次に、交換装置本体を介してナッ
トをスピンドルに押し付けるとともに、チャック部の孔
からレンチを挿入し、レンチの先端部をスピンドルの先
端面に形成された角孔に係合する。次いで、交換装置本
体及びレンチによって、ナット又はスピンドルのうち一
方を回り止めするとともに他方を回転させることによ
り、ナットをスピンドルに締結する。このようなナット
締結時においても、ナットは、チャック部によって交換
装置本体から脱落することなく保持されているので、ナ
ットを簡単に締結することができる。
ンドルの軸を中心とする円周上に設けられた凸部と凹部
とによって、交換装置本体とナットとを係合させるよう
構成している。これにより、交換装置本体をナットに押
し当てた時、凸部と凹部とが係合しない場合でも、交換
装置本体又はナットをレンチで所定量回動させるだけ
で、凸部と凹部とを係合させることができる。
ード周辺の固定部材に、アーム部材を介して交換装置本
体が揺動自在に取り付けられるとともに、付勢部材の付
勢力によって交換装置本体がナットをスピンドルに押し
付ける方向に付勢されている。
交換装置本体をブレードカバー部材に取り付けるととも
に、交換装置本体を付勢部材の付勢力でナットに押し付
ける。次に、チャック部を操作してチャック部でナット
を保持する。次いで、レンチをチャック部の孔に挿入
し、レンチの先端部をスピンドルの角孔に係合させる。
そして、レンチでスピンドルを所定量回動させることに
より、凸部と凹部とを係合させてナットを交換装置本体
に係合させる。この後、レンチによってスピンドルをナ
ットが緩む方向に回転させる。これにより、ナットがス
ピンドルから取り外される。
させて、交換装置本体をブレードから退避させる。この
時、ナットはチャック部に保持されているので、交換装
置本体から落下しない。次いで、スピンドルから古いブ
レードを外し、新しいブレードをスピンドルに装着す
る。そして、交換装置本体をアームを介して揺動させ
て、交換装置本体をスピンドルの対向位置に位置させ、
チャック部に保持されているナットを付勢部材の付勢力
でスピンドルに押し付ける。この後、レンチによってス
ピンドルをナットが締まる方向に回転させる。これによ
り、ナットがスピンドルに締結されていき、新しいブレ
ードがスピンドルに固定される。
によるナットの保持を解除する。そして、交換装置本体
をブレードカバー部材から取り外す。これにより、ブレ
ード交換作業が終了する。この交換作業は、片手で実施
することができる。
るブレード交換装置及びブレード交換方法の好ましい実
施の形態について説明する。
シング装置12のスピンドル14にナット16を介して
固定されたブレード18を交換する装置である。ダイシ
ング装置12のブレード18は、図2の如くスピンドル
14に嵌入されたフランジ20の軸部22に挿入され、
フランジ20の雄ねじ24に締結されたナット16によ
ってフランジ20に固定されている。したがって、ナッ
ト16を雄ねじ24から取り外すことによって、ブレー
ド18を交換することができる。なお、フランジ20
は、スピンドル14の先端部に締結されたナット26に
よってスピンドル14に固定され、スピンドル14と一
体化されている。また、図1上で符号28は、ブレード
18を覆うフランジカバー(ブレード周辺に設けられた
固定部材)であり、符号30、32はブレード18に切
削水、冷却水を供給するノズルである。このように構成
されたダイシング装置12は、スピンドル14でブレー
ド18を高速回転させて、不図示の半導体ウェーハをチ
ップに沿って碁盤目状に切断する。
4とトルクレンチ(レンチ)36とから構成されてい
る。交換装置本体34は、図3の如く筒状体38、及び
チャック部40等から構成され、筒状体38の孔42に
チャック部40が圧縮ばね44、カラー45、及びスト
ッパブロック46を介して挿入配置されている。
に二つ割り状の一対のつまみ50、50が所定の隙間S
をもって形成され、他端部に一対の爪52、52が対向
するように突出形成されている。これらの爪52、52
は、図1のナット16をスピンドル14から取り外す際
に、図2の如くナット16のボス17の外周面に形成さ
れた溝(嵌合部)54に嵌合される。また、爪52、5
2は、図3の如くつまみ50、50の延長線上に形成さ
れており、つまみ50、50を互いに近づく方向につま
む操作によって、互いに開く方向に動かされる。これに
より、爪52、52が図2のナット16の溝54から退
避され、ナット16との嵌合が解除される。
された圧縮ばね56、56によって互いに離れる方向に
付勢されている。また、圧縮ばね56、56の付勢力
は、つまみ50、50から筒状本体48を介して爪5
2、52に伝達され、これによって爪52、52は互い
に接近する方向、即ち、ナット16の溝54(図2参
照)に嵌合する方向に付勢されている。なお、チャック
部40の筒状本体48には、図3の如くスリット58と
肉抜き部60とが形成され、つまみ50、50のつまみ
操作及び圧縮ばね56、56の付勢力で爪52、52が
容易に動くようにばね力が与えられている。
筒状本体48との間の隙間に配置される。また、圧縮ば
ね44は、筒状体38の内周面に形成された段部58と
筒状本体48に外装されたカラー45とに挟まれて配置
されている。この圧縮ばね44によってチャック部40
が、図2上右方向に付勢されている。
てチャック部40に締結されており、その外周面には図
3の如く凸条部62と一対の溝64、64とが形成され
ている。凸条部62は、筒状体38の内周面に形成され
た図2の溝66に係合される。これにより、チャック部
40は、圧縮ばね44によって図2上右方向に付勢され
るが、ストッパブロック46の凸条部62が筒状体38
の溝66に係合されているので、筒状体38からの抜け
が防止されている。また、チャック部40を、圧縮ばね
44の付勢力に抗して図2上左方向に押し込むと、爪5
2、52が筒状体38の左端面38Aから突出されると
ともに、つまみ50、50の側面51、51が筒状体3
8の右端面38Bに当接することにより、その押し込み
量が規制される。なお、ストッパブロック46の図3に
示した溝64、64には、チャック部40の爪52、5
2のアーム部53、53が嵌合される。また、ストッパ
ブロック46の中央部には、図1のトルクレンチ36が
挿入される孔68(図3参照)が開口され、孔68の周
部には、トルクレンチ36を孔68にガイドするテーパ
面70が形成されている。
材)72が突出形成され、アーム72の図2に示す先端
開口部74には、つまみ76が形成されたロッド78が
スリーブベアリング80を介してスライド及び回動自在
に挿入されている。つまみ76とスリーブベアリング8
0との間には圧縮ばね(付勢部材)82が配設されてお
り、この圧縮ばね82にロッド78が挿入され、ロッド
78は圧縮ばね82の付勢力で図2上右方向に付勢され
ている。また、スリーブベアリング80に貫通されたロ
ッド78の先端部79の周部には、E型ワッシャ84が
嵌合されている。このE型ワッシャ84が、スリーブベ
アリング80の端面81に当接することにより、スリー
ブベアリング80からのロッド78の抜けが防止され
る。
6がロッド78と同軸に突設されている。雄ねじ86
は、図1のフランジカバー28に形成されたねじ孔88
に螺入される。これによって、交換装置本体34がフラ
ンジカバー28に図2の如く取り付けられるとともに、
筒状体38が雄ねじ86の軸芯を中心に、即ち、ロッド
78の軸芯Pを中心にフランジカバー28に対して揺動
自在に支持される。
の爪52、52がナット16の溝17に嵌合する交換可
能位置と、フランジカバー28の円弧状溝90に交換装
置本体34側のピン92が係合する退避位置との範囲に
設定されている。退避位置において、筒状体38は、交
換可能位置から180°揺動され、ブレード18の上方
に退避される。この退避位置で筒状体38を保持するこ
とにより、スピンドル14からブレード18を取り外す
ことが可能になる。
本のピン(凸部)94、94が突設される。これらのピ
ン94、94は、図1に示すナット16の表面に形成さ
れた4本の孔(凹部)96、96…のうち2本の孔9
6、96に係合される。これにより、ナット16が筒状
体38に固定される。なお、前記孔96、96…は、ナ
ット16の軸(スピンドル14の軸)を中心とする円周
上に90°間隔で形成され、4本の孔96、96…のう
ちスピンドル14を挟んで対向する2本の孔96、96
にピン94、94が係合される。
装置10によるブレード交換方法について説明する。
4の雄ねじ86をフランジカバー28のねじ孔88に螺
入し、交換装置本体34をフランジカバー28に取り付
ける。そして、チャック部40の爪52、52がナット
16の溝17に嵌合する交換可能位置に筒状体38を位
置決めする。この時、筒状体38は、圧縮ばね82の付
勢力がアーム72を介して伝達されているので、ナット
16に向けて付勢されている。また、この時、ピン94
は孔96に係合されていないので、ナット16は筒状体
38に固定されていない。なお、ピン94の対向位置に
孔96が予め位置している場合には、ピン94が孔96
に直接係合されるので、この時にナット16が筒状体3
8に固定される。
を図4上矢印Aで示す方向に指でつまみ、この状態でチ
ャック部40を矢印Bで示すようにナット16に向けて
押し込む。そして、つまみ50、50から指を離すと、
つまみ50、50が圧縮ばね56、56の付勢力で元の
位置に戻る。これにより、チャック部40の爪52、5
2が図2の如くナット16の溝54に嵌合する。
ンチ36をチャック部40の孔からストッパブロック4
6の孔68を介して挿入し、トルクレンチ36の先端角
部37をスピンドル14の角孔15に係合させる。そし
て、トルクレンチ36でスピンドル14を図5上矢印A
で示す方向(ナット16を緩める方向)に所定量回動す
ると、ナット16がスピンドル14と共に回動されてい
き、ナット16の孔96にピン94が図7、図8の如く
嵌入する。これによって、ナット16が筒状体38に自
動的に固定され、回り止めされる。
ドル14を、ナット16が緩む方向(図7上矢印Aで示
す方向)に回転させる。これにより、ナット16が緩め
られていき、スピンドル14から取り外される。
り外されると、筒状体38を圧縮ばね82の付勢力に抗
して図9の如く、スピンドル14から引き抜く。この
時、ナット16は、チャック部40の爪52、52によ
って保持されているので、筒状体38から脱落しない。
この後、筒状体38をアーム72を介して180°揺動
させてピン92を溝90に係合させ、筒状体38をブレ
ード18から退避した退避位置に保持させる。
8を外し、新しいブレードをスピンドル14に装着す
る。そして、筒状体38を引っ張ることにより、溝90
からピン92を退避させて、溝90に対するピン92の
係合を解除する。この後、筒状体38をアーム72を介
して反対方向に180°揺動させ、筒状体38をスピン
ドル14の対向位置(交換可能位置)に位置させる。こ
れにより、チャック部40の爪52、52に保持されて
いるナット16が、圧縮ばね82の付勢力で雄ねじ24
に押し付けられる。この後、トルクレンチ36を使用し
て、スピンドル14をナット16が締まる方向に回転さ
せる。これにより、ナット16が雄ねじ24に締結され
ていき、新しいブレードがスピンドル14に固定され
る。
0をつまんで爪52、52によるナット16の保持を解
除する。そして、ロッド78を緩める方向に回して、雄
ねじ86をねじ孔88から外し、交換装置本体34をフ
ランジカバー28から取り外す。以上で、ブレード交換
作業が終了する。
装置10は、ナット16を保持するチャック部40を設
けたので、スピンドル14から外したナット16が筒状
体38から落下するのを防止できる。
6の軸を中心とする円周上に設けられたピン94と孔9
6とによってナット16を筒状体38に固定するように
構成した。これにより、筒状体38がナット16に押し
当てられた時、ピン94が孔96に係合しない場合で
も、筒状体38が圧縮ばね82によってナット16に付
勢されているので、スピンドル14をトルクレンチ36
で所定量回動させるだけでナット16も回動し、よっ
て、ピン94に孔96を自動的に係合させることができ
る。
は、作業者の片手だけで行うことができる。したがっ
て、狭所においてもブレード18の交換作業を容易に実
施できる。
しておらず筒状体38のみの構成であれば、以下の手順
でナット16をスピンドル14から取り外す。まず、ス
ピンドル14に締結されたナット16に筒状体38を係
合させるとともに、チャック部40の爪52、52でナ
ット16を保持する。次に、チャック部40の孔からト
ルクレンチ36を挿入し、トルクレンチ36とスピンド
ル14とを係合する。この状態で、筒状体38又はトル
クレンチ36によって、ナット16又はスピンドル14
の一方を回り止めし、他方をナット16が緩む方向に回
す。これにより、ナット16をスピンドル14から外す
ことができる。この時、ナット16はチャック部40で
保持されているので、筒状体38から落下するのを防止
できる。
ず、チャック部40の爪52でナット16を筒状体38
体から脱落することなく保持する。次に、筒状体38を
介してナット16をスピンドル14に押し付けるととも
に、チャック部40の孔からトルクレンチ36を挿入
し、トルクレンチ36をスピンドル14に係合する。次
いで、筒状体38及びトルクレンチ36によって、ナッ
ト16又はスピンドル14のうち一方を回り止めすると
ともに他方を回転させることにより、ナット16をスピ
ンドル14に締結する。このようなナット締結時におい
ても、ナット16は、チャック部40によって筒状体3
8から脱落することなく保持されているので、ナット1
6を簡単に締結することができる。
ド交換装置及びブレード交換方法によれば、ナットを保
持するチャック部を設けたので、スピンドルから外した
ナットが交換装置本体から落下するのを防止できる。
とする円周上に設けられた凸部と凹部とによってナット
を交換装置本体に固定するように構成したので、交換装
置本体がナットに押し当てられた時、凸部が凹部に係合
しない場合でも、ナットをレンチで所定量回動させるだ
けで、凸部に凹部を係合させることができる。
ば、ブレードの交換作業を作業者の片手だけで行うこと
ができる。
を示す説明図
ルに装着された断面図
す説明図
す説明図
す説明図
す説明図
す説明図
す説明図
…スピンドル、16…ナット、18…ブレード、34…
交換装置本体、36…トルクレンチ、38…筒状体、4
0…チャック部、50…つまみ、52…爪、54…溝、
72…アーム、82…圧縮ばね、94…ピン、96…孔
Claims (5)
- 【請求項1】 スピンドルにナットを介して締結された
ブレードを、スピンドルからナットを取り外すことによ
りスピンドルから取り外し、又はスピンドルに装着され
たブレードをナットを介してスピンドルに締結するブレ
ード交換装置において、 前記ナットに係合される筒状の交換装置本体と、 前記交換装置本体の内部に設けられるとともに前記ナッ
トに形成された嵌合部に嵌合され、該ナットを保持する
チャック部と、 前記チャック部の孔から挿入されてスピンドルの先端面
に形成された孔に係合されるレンチとを備え、 前記交換装置本体及び前記レンチによってナット又はス
ピンドルのうち一方を回り止めするとともに他方を回転
させることにより、スピンドルからナットを取り外し、
又はナットをスピンドルに締結することを特徴とするブ
レード交換装置。 - 【請求項2】 前記ブレード交換装置の前記交換装置本
体と前記ナットとは、前記スピンドルの軸を中心とする
円周上に設けられた凸部と凹部とによって係合されるこ
とを特徴とする請求項1に記載のブレード交換装置。 - 【請求項3】 前記ブレード交換装置の前記交換装置本
体は、前記ブレード周辺に設けられた固定部材に、アー
ム部材を介して揺動自在に取り付けられるとともに、付
勢部材によって前記ナットをスピンドルに押し付ける方
向に付勢されていることを特徴とする請求項1、又は2
に記載のブレード交換装置。 - 【請求項4】 スピンドルにナットを介して締結された
ブレードを、スピンドルからナットを取り外すブレード
交換方法において、 前記スピンドルに締結された前記ナットに交換装置本体
を係合させ、 前記交換装置本体に設けられたチャック部をナットに形
成された嵌合部に嵌合させることによりナットを保持
し、 前記チャック部の孔からレンチを挿入し、レンチの先端
部をスピンドルの先端面に形成された孔に係合し、 前記交換装置本体及び前記レンチによって、ナット又は
スピンドルのうち一方を回り止めするとともに他方を回
転させることにより、スピンドルからナットを取り外す
ことを特徴とするブレード交換方法。 - 【請求項5】 スピンドルに装着されたブレードをナッ
トを介して締結するブレード交換方法において、 交換装置本体に設けられたチャック部を、前記ナットに
形成された嵌合部に嵌合させることによりナットを保持
し、 前記交換装置本体を介してナットを前記スピンドルに押
し付け、 前記チャック部の孔からレンチを挿入し、レンチの先端
部をスピンドルの先端面に形成された孔に係合し、 前記交換装置本体及び前記レンチによって、ナット又は
スピンドルのうち一方を回り止めするとともに他方を回
転させることにより、ナットをスピンドルに締結するこ
とを特徴とするブレード交換方法。
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