JP2001174840A - 液晶表示基板、その配線検査方法およびその配線修理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】液晶表示基板のパターン不良を早期発見し、製
品の製造工数を短縮し、製造工程の遅れをなくすように
する。 【解決手段】基板端部に設けられた複数のゲート配線端
子１２またはドレイン配線端子１４と表示部１１との間
の引き込み配線部１７の範囲で、前記各ゲートまたはド
レイン配線端子にそれぞれ接続されるゲート配線１３ま
たはドレイン配線パターンの各間隙に、一端が一括パッ
ドにより共通接続された共通配線パターン１５をそれぞ
れ延長した延長配線パターン１６を配設したことによ
り、これら配線端子１２と表示部１１の配線パターン
との間の配線パターンの間の配線のショート欠陥を検出
可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示（ＴＦ
Ｔ）基板、このＴＦＴ基板の用いた配線検査方およびそ
の配線修理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のＴＦＴ等の液晶表示基板の検査方
法では、走査線（ゲート線）、信号線（ドレイン線）の
端子一つ一つに電極をプロービングして電気測定を行な
っていた。そのような場合、プローブ・ユニット（以降
Ｐ／Ｕとする）を作製する必要があった。

【０００３】最近では液晶表示パネルの高精細化・大型
化が進み、それに従いＰ／Ｕも高精細化・大型化が必要
となったが、相乗して作製費も高価なものになった。こ
の対策として、全ての端子を一つの端子に繋げて電圧印
加させればプローバも走査線（ゲート線）、信号線（ド
レイン線）のそれぞれ一つずつで済み、Ｐ／Ｕがかなり
安価のものになる。

【０００４】図３（ａ）（ｂ）はこの種の液晶表示基板
の外略平面図およびその部分拡大図である。このＴＦＴ
基板１０は、斜線部の表示部１１があり、左の配線は走
査線（ゲート線）部１２を有するゲート端子部１３があ
り、上側の配線はドレイン端子部１４で、右の配線は表
示部１１の配線パターン間に設けられ検査用に一端が共
通接続されたパターンのＣＯＭ配線１８を設けたＣＯＭ
配線部１５がある。またＣＯＭ配線部１５とゲート端子
部１３との間に引き込み部１７があり、ＣＯＭ配線部１
５の中に引き回し配線１９がある。

【０００５】この基板の構造は、図３（ｂ）に示すよう
に、ＴＦＴ基板１０が３６０ｍｍ×４６５ｍｍ、表示部
１１が２８７．２ｍｍ×３５９ｍｍの範囲にあり、ゲー
ト端子部１２が線幅１００μｍ、線長２０００μｍであ
り、ゲート配線１３が線幅３０μｍ、線間距離１３０μ
ｍで、その引き込み部１７の長さ３１００μｍであり、
ＣＯＭ配線１８が線幅２３０μｍ、線間距離４６μｍ
で、ＣＯＭ配線部１５が長さ３２００μｍであり、引き
込み部１７が長さ３１００μｍである。

【０００６】この基板の検査方法では、ＣＯＭ配線部１
５の一括パッドに電圧を印加して電気的に検査をしてい
る。しかし、走査線（ゲート線）１２の配線パターンの
みが存在している引き込み線部１７にショート（短絡）
欠陥が発生した場合、このような検査では検出不可能で
あった。この場合の検査方法を、図４のフロー図により
説明する。

【０００７】（１）アレイチェッカによる検査の場合
（ステップＳ１，Ｓ２） このアレイチェッカとしては、ＰＤＩ社製のアレイチェ
ッカがあり、ゲート（Ｇ）、ドレイン（Ｄ）一括パッド
に電圧を印加し表示部の全画素をオン状態にし、この表
示部の電圧分布をＣＣＤカメラで測定し、この電圧分布
に異常がある部分を欠陥として検知している。この場
合、ゲート配線部１２には＋５ｖ、ＣＯＭ配線部１５に
は−５ｖの電圧が印加され、表示部１１の領域の電位差
分布をＣＣＤカメラでモニタする。

【０００８】（ケース１）表示部に同層ショート欠陥が
存在する場合、このショート箇所のラインが０ｖとなる
ため、必ずゲート配線−ＣＯＭ配線間のショート欠陥と
して検出される（ステップＳ２）。

【０００９】（ケース２）表示部以外でショート欠陥が
存在する場合 ＣＯＭ配線については基準電位（グランド）なので、Ｃ
ＯＭ配線間にショート欠陥が存在していても不良にはな
らない。

【００１０】ゲート端子１２と表示部１１との間の引き
込み部１７にショート欠陥が存在する場合、表示部１０
の電位分布には何も異常は見られず、良品と判断される
が、一括ショートバーを切り離された表示パネルの状態
になると、Ｇ−Ｇ間ショートが現れ不良品となる。 （２）自動外観検査（ＫＬＡ）装置の場合（ステップＳ
３，Ｓ４） この自動外観検査装置としては、オルゴテック社製のＫ
ＬＡ装置が用いられるが、このＫＬＡ装置の原理は、Ｔ
ＦＴパターンの単位画素同士を１μｍオーダの精度で比
較しながら形（パターン）の違う場所を検出するもので
ある。。

【００１１】上記（ケース１）の場合、アレイチェッカ
ではショート欠陥の存在を検出しているが存在する場所
は特定できない。しかし、ＫＬＡ検査を実施して検出し
たパターン欠陥とアレイチェッカが検出したゲート配線
とＣＯＭ配線ショートのラインが重なる場所がショート
欠陥の存在する場所となる。これら２種類の検査装置を
使用する事により、表示部１０に存在するショート欠陥
は場所を特定する事が出来る（ステップＳ４）。ここで
可能ならば、そのショート欠陥箇所をリベア装置などに
より修理し（ステップＳ５）、最初のステップＳ１に戻
り、ショート欠陥箇所のチェックを繰り返えす。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述したアレ
イチェッカとＫＬＡ装置とを用いた検査方法でも、表示
部１１以外の場所に存在するショート欠陥を検出するこ
とはできない。なぜならば、アレイチェッカではゲート
間（Ｇ−Ｇ）ショートになっているラインの電位差分布
に異常は示されない上に、ＫＬＡ検査においても表示部
１１以外の領域は検査領域外となるため、その不良個所
の発見は不可能となる。従って、この場合には、表示部
１１をパネルに組み込んでからでなければ（ステップ１
０）不良が見つからず、その表示を実際に見る時でなけ
ればショート欠陥の存在が判明することができず（ステ
ップ１１）、製品の製造工数がかかると共に、製造工程
が遅れるという問題があった。

【００１３】本発明の目的は、これらの問題を解決し、
パターン不良を早期発見し、製品の製造工数を短縮し、
製造工程の遅れをなくした液晶表示基板およびその不良
検査方法を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示基板の
構成は、基板端部に設けられた複数のゲートまたはドレ
イン配線端子と表示部との間の引き込み配線部の範囲
で、前記各ゲートまたはドレイン配線端子にそれぞれ接
続されるゲートまたはドレイン配線パターンの各間隙
に、一端が一括パッドにより共通接続された共通配線パ
ターンをそれぞれ延長した延長配線パターンを配設した
ことにより、これら配線端子と表示部の配線パターンと
の間の配線パターンの間の配線のショート欠陥を検出可
能としたことを特徴とする。

【００１５】本発明の液晶表示基板において、共通配線
パターンのゲートまたはドレイン配線パターンの各間隙
に延長された延長配線パターンは、表示部にある共通配
線パターンより細くして、配線との導通チェックを行う
こともできる。

【００１６】また本発明の配線検査方法の構成は、液晶
表示基板上の表示部の間に、一端が一括パッドにより共
通接続された共通配線パターンが設けられ、この一括パ
ッドから電圧印加をすることにより前記液晶表示基板の
配線検査を行なう液晶表示基板の配線検査方法におい
て、前記液晶表示基板上の引き込み配線部に前記共通配
線パターンをそれぞれ延長した延長配線パターンが配設
された基板を用いて、ゲートまたはドレイン配線パター
ンのショート欠陥のある電位差分布が検出され、かつ前
記表示部にゲートまたはドレイン配線パターンのショー
ト欠陥が存在しないことを検出した時、前記延長配線パ
ターンの部分でショート欠陥を検出するようにしたこと
を特徴とする。

【００１７】本発明の配線検査方法において、アレイチ
ェッカによりゲートまたはドレイン配線パターンのショ
ート欠陥のある電位差分布が検出され、自動外観検査
（ＫＬＡ）装置により表示部のパターン異常か検出され
た時、リペア装置内蔵の顕微鏡により前記ショート欠陥
のあるゲートまたはドレイン配線パターンに沿ってその
引き込み配線パターンをチェックし、延長配線パターン
の部分でのショート欠陥を検出することもできる。

【００１８】さらに、本発明の配線修理方法の構成は、
前述した液晶表示基板の配線検査方法により検出された
延長配線パターンの部分を、この検出された延長配線パ
ターンに沿ってリペア装置内蔵の顕微鏡によりチェック
し、ショート欠陥検出個所を見つけ、このショート欠陥
検出個所をレーザカットにより切り離して修理すること
を特徴とする。

【００１９】本発明によれば、液晶表示装置の基板を電
気的に検査する装置（アレイチェッカ）を使用して、走
査線（ゲート線）を全部繋げた一括パッドに検査プロー
バをコンタクトして電圧印加することにより、ショート
欠陥を検出することができる。この走査線（ゲート配
線）は全て一括パッドでつながっているため、引き込み
配線部でショート（短絡）欠陥が発生した場合は欠陥検
出が不可能であるが、これを検出するために、引き込み
配線部のゲート線間にＣＯＭ配線のパターンを設け、ゲ
ート線とＣＯＭ線との抵抗値からショート欠陥検出を可
能にしている。

【００２０】この場合、走査線（ゲート線）の引き込み
配線部に、ＣＯＭ配線を表示部から延長させた別の配線
パターンを設け、これらの配線間の抵抗値からショート
欠陥の有無を検査可能にしている。

【００２１】

【発明の実施の形態】次に図面を参照しながら本発明の
構成を説明する。図１（ａ）（ｂ）は本発明の一実施形
態を示す液晶表示基板の概略平面図およびその部分拡大
図である。従来例の図３と同様に、図１（ａ）のよう
に、ＴＦＴ基板１０は、斜線部の表示部１１に対して左
の配線が走査線（ゲート線）１２であり、上側の配線が
ドレイン端子部１４で、右の配線は表示部１１の配線パ
ターン間に設けられ検査用に一端が共通接続された一括
パッドを有するパターンのＣＯＭ配線部１５である。

【００２２】本実施形態の特徴は、図１（ｂ）の拡大図
のように、新たに別の配線パターンの新ＣＯＭ配線部１
６を設けることで、走査線（ゲート線）１２と別の配線
（ＣＯＭ線）１５との間の抵抗値が極めて小さくなった
時にショート（短絡）欠陥であることを検出可能とな
る。

【００２３】この基板の構造は、図３（ｂ）の拡大図と
同様であるが、新ＣＯＭ配線部１６は線幅１０μｍで、
引き込み部１７の長さ３１００μｍの範囲に、ゲート配
線１３の線間距離１３０μｍの間に挿入されて、線幅２
３０μｍのＣＯＭ配線１８に接続されている。

【００２４】この基板を検査する際に、ＣＯＭ線部１５
の一括パッドに電圧を印加して電気的に検査をする。ゲ
ート線１２の配線パターンのみが存在している引き込み
線部１７にショート（短絡）欠陥が発生した場合、従来
の検査では検出不可能であったが、本実施形態のように
別の配線パターンの新ＣＯＭ配線部１６をゲート線１２
間に設けることでショート（短絡）欠陥の検出を可能に
している。

【００２５】なお、このＣＯＭ配線１６は、ＣＯＭ配線
１５とは限らず、信号線（ドレイン線）１１においても
同様のことが可能である。

【００２６】図２は本実施形態のＴＦＴ基板１０の検
査、修理処理のフロー図である。図４の場合と同様に、
アレイチェッカおよびＫＬＡ検査装置を用いて検査を行
う。引き込み配線部ショート欠陥を検出するまでの作業
フローは、まず、ステップＳ１で、ＴＦＴ基板１０をア
レイチェッカで検査を行う。次にステップＳ２で、表示
部１１にゲート−ＣＯＭ配線のショート欠陥の存在を示
す電位差分布が検出される。

【００２７】ここで、ショート欠陥の存在がなければ良
品となり、ステップＳ９で製品になるが、ゲート−ＣＯ
Ｍ配線のショート欠陥を検出した欠陥検出基板１０は、
次のステップＳ３で、欠陥検出シートについて、ＫＬＡ
検査が実施される。

【００２８】このＫＬＡ検査の実施で、ステップＳ４
で、ゲート−ＣＯＭショート欠陥検出ラインにパターン
異常が存在する場合、ステップＳ５で、その表示部１１
の異常個所の修理が行われ、ステップＳ１に戻り、再チ
ェックが行われるが、ゲート−ＣＯＭショート欠陥検出
ラインにパターン異常が存在しないという結果が得られ
た場合、表示部１１にはショート欠陥が存在しない事を
意味し、引き込み配線部に欠陥があると考えられるの
で、ステップＳ６で、リペア装置内蔵した顕微鏡でＧ−
ＣＯＭショート検出ラインに沿って、引き込み配線部１
７をチェックすることになる。

【００２９】ここで、ショート欠陥場所が発見される
と、ステップＳ７で、レーザーカットでゲート−ＣＯＭ
配線間を切り離してリペアし、ステップＳ８で、そのリ
ペアが終了すると、ステップＳ１に戻って、再びアレイ
チェッカで検査する。

【００３０】ここで、ステップＳ８で、同一ラインでＧ
−ＣＯＭショート欠陥の存在を示す電位差分布が検出さ
れなければ、ステップＳ９で良品となり、リペアは成功
したことになる。以上の作業フローにより、引き込み配
線部ショート欠陥のパネル工程流出を防ぎ、また良品化
する事によりコスト節約が可能となる。

【００３１】このように前述の（ケース２）において、
引き込み配線部１７でのショート欠陥発生はアレイチェ
ッカでは検出できないが、ゲート配線間にＣＯＭ配線を
延長して設ける事により、表示部と同様の配線になるた
め、アレイチェッカ検査でＧ−ＣＯＭショート欠陥を示
す電位差分布を検出する事が可能となる。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
走査線（ゲート線）間にＣＯＭ配線を簡単な延長パター
ンとして追加延長して設けているので、ＣＯＭ配線も一
括パッドでプロービングすることにより、２本の電極で
走査線（ゲート線）間のショート（短絡）欠陥の有無が
判定でき、かつ検出したショート（短絡）欠陥はレーザ
ーカットなどにより容易にリペア可能であるという効果
がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）（ｂ）は本発明の第１の実施形態のＴＦ
Ｔ基板の構成を示す概略平面図およびその部分拡大図。

【図２】図１のＴＦＴ基板の検査、修理手順を説明する
フロー図。

【図３】（ａ）（ｂ）は従来例のＴＦＴ基板の構成を示
す概略平面図およびその部分拡大図。

【図４】図３のＴＦＴ基板の検査手順を説明するフロー
図。

【符号の説明】

１０ ＴＦＴ基板 １１ 表示部 １２ ゲート端子部 １３ ゲート配線 １４ ドレイン端子部 １５ ＣＯＭ配線部 １６ 新ＣＯＭ配線部 １７ 引き込み配線部 １８ ＣＯＭ配線 １９ 引き回し配線 Ｓ１〜Ｓ１０ 処理ステップ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板端部に設けられた複数のゲートまた
   はドレイン配線端子と表示部との間の引き込み配線部の
   範囲で、前記各ゲートまたはドレイン配線端子にそれぞ
   れ接続されるゲートまたはドレイン配線パターンの各間
   隙に、一端が一括パッドにより共通接続された共通配線
   パターンをそれぞれ延長した延長配線パターンを配設し
   たことにより、これら配線端子と表示部の配線パターン
   との間の配線パターンの間の配線のショート欠陥を検出
   可能としたことを特徴とする液晶表示基板。
2. 【請求項２】 共通配線パターンのゲートまたはドレイ
   ン配線パターンの各間隙に延長された延長配線パターン
   は、表示部にある共通配線パターンより細くして、配線
   との導通チェックが行われる請求項１記載の液晶表示基
   板。
3. 【請求項３】 液晶表示基板上の表示部の間に、一端が
   一括パッドにより共通接続された共通配線パターンが設
   けられ、この一括パッドから電圧印加をすることにより
   前記液晶表示基板の配線検査を行なう液晶表示基板の配
   線検査方法において、前記液晶表示基板上の引き込み配
   線部に前記共通配線パターンをそれぞれ延長した延長配
   線パターンが配設された基板を用いて、ゲートまたはド
   レイン配線パターンのショート欠陥のある電位差分布が
   検出され、かつ前記表示部にゲートまたはドレイン配線
   パターンのショート欠陥が存在しないことを検出した
   時、前記延長配線パターンの部分でショート欠陥を検出
   するようにしたことを特徴とする液晶表示基板の配線検
   査方法。
4. 【請求項４】 ゲートまたはドレイン配線パターンのシ
   ョート欠陥の電位差分布がアレイチェッカにより検出さ
   れ、表示部のパターン異常が自動外観検査装置により検
   出される請求項３記載の液晶表示基板の配線検査方法。
5. 【請求項５】 アレイチェッカによりゲートまたはドレ
   イン配線パターンのショート欠陥のある電位差分布が検
   出され、自動外観検査装置により表示部のパターン異常
   か検出された時、リペア装置内蔵の顕微鏡により前記シ
   ョート欠陥のあるゲートまたはドレイン配線パターンに
   沿ってその引き込み配線パターンをチェックし、延長配
   線パターンの部分でのショート欠陥を検出する請求項３
   記載の液晶表示基板の配線検査方法。
6. 【請求項６】 請求項３，４または５記載の液晶表示基
   板の配線検査方法により検出された延長配線パターンの
   部分を、この検出された延長配線パターンにっ沿ってリ
   ベア装置内蔵の顕微鏡によりチェックし、ショート欠陥
   検出個所を見つけ、このショート欠陥検出個所をレーザ
   カットにより切り離して修理することを特徴とする液晶
   表示基板の修理方法。