JP2001168066A

JP2001168066A - ダイシング装置

Info

Publication number: JP2001168066A
Application number: JP2000342012A
Authority: JP
Inventors: Masayuki Azuma; 正幸東
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 2000-11-09
Filing date: 2000-11-09
Publication date: 2001-06-22

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、２本のスピンドルの各Ｙ軸移動部材
に、スピンドルをＺ方向に移動させるＺ軸移動部を各々
設けることにより、ワーク切断後における、ワークから
のブレードの退避移動を容易にしたダイシング装置を提
供する。【解決手段】本発明に係るダイシング装置は、軸方向が
それぞれＹ軸方向と一致し且つ互いに対向する２本のス
ピンドル６４、６６を有し、２本のスピンドル６４、６
６とワークとをＸ軸方向に相対的に移動させ、２本のス
ピンドル６４、６６に装着された２枚のブレード６８、
７０によってワークを切断するダイシング装置におい
て、スピンドル６４を回転させるモータ６０をモータ支
持部材１００に固着し、モータ支持部材１００はＹ軸移
動部材７２にＺ方向に移動自在に支持される。そして、
モータ支持部材１００は、Ｙ軸移動部材７２に固定され
たモータ１０４によってスクリュー１０６を介してＺ方
向に移動される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はダイシング装置に係
り、特に２本のスピンドルを有するダイシング装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】ダイシング装置はスピンドルの先端部に
取り付けられたブレードを回転させながら半導体ウェー
ハ等のワークを切断する。従来、この種のダイシング装
置において、２本のスピンドルを有するデュアル式のダ
イシング装置が知られている（特開昭６２−５３８０４
号公報、特開平８−２５２０９号公報、実開昭５９−１
５６７５３号公報等）。デュアル式のダイシング装置
は、２本のスピンドルに装着された２枚のブレードによ
って同時にワークを切断する。

【０００３】特開昭６２−５３８０４号公報、特開平８
−２５２０９号公報に記載のダイシング装置は、２本の
スピンドルが同じ向きに平行に配設され、それぞれのス
ピンドルが軸線方向に直動するように構成されている
（以下、この構成を平行配置型と称す）。この平行配置
型のダイシング装置によれば、各スピンドルの先端部に
装着された２枚のブレードによって同一のストリート
（切断線）を同時に切断することが可能であるととも
に、各スピンドルを軸線方向に移動して２枚のブレード
の相対位置を調整すれば、２本のストリートを同時に切
断することが可能となる。

【０００４】また、実開昭５９−１５６７５３号公報に
記載のダイシング装置は、２本のスピンドルが互いに対
向する向きで同軸上に配設され、それぞれのスピンドル
が軸線方向に直動するように構成されている（以下、こ
の構成を対向配置型と称す）。この対向配置型のダイシ
ング装置によれば、対向して配設された２枚のブレード
によって２本のストリートを同時に切断することが可能
となる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述した２通りのデュ
アル式のダイシング装置を比較すると、平行配置型のダ
イシング装置の場合、２本のスピンドルの間隔分だけワ
ークの搬送距離（往復搬送する際のストローク長）を増
やさなくてはならないが、対向配置型のダイシング装置
の場合には、スピンドルが１本の場合と同じストローク
で２本のストリートを切断することができる。このた
め、対向配置型のダイシング装置の方が作業能率が良
い。しかしながら、対向配置型のダイシング装置の場
合、２枚のブレードを同一線上に配置することができず
同一のストリートを同時に切断することができない。ま
た、対向する２枚のブレードを接近させる場合には、他
の部材の接触等をさけるために制約があり、２枚のブレ
ードのピッチ幅をある値以下に設定することができない
という問題がある。

【０００６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、対向する２本のスピンドルに装着された２枚の
ブレードを任意の間隔に調整できるようにするととも
に、この２枚のブレードを同一直線上に配置できるよう
にし、任意の２本又は同一のストリートを２枚のブレー
ドで同時に切断することができるダイシング装置を提供
する。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、軸方向がそれぞれＹ軸方向と一致し且つ互
いに対向する２本のスピンドルを有し、該２本のスピン
ドルとワークとをＸ軸方向に相対的に移動させ、２本の
スピンドルに装着された２枚のブレードによって前記ワ
ークを切断するダイシング装置において、前記２本のス
ピンドルのうち一方のスピンドルを他方のスピンドルに
対して前記Ｙ軸方向に相対的に移動可能にするととも
に、前記一方のスピンドルを前記他方のスピンドルに対
して前記Ｘ軸方向に相対的に移動可能にし、前記２本の
スピンドルの各Ｙ軸移動部材にスピンドルをＺ軸方向に
移動させるＺ軸移動部を各々設けたことを特徴とする。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るダイシング装置について詳説する。

【０００９】図１は本発明が適用されたダイシング装置
の斜視図であり、図２はその平面図である。このダイシ
ング装置は、主としてワーク（ウェーハ）を直交する方
向に切断して最終的に碁盤の目のように切断する切断部
１０、切断されたウェーハを洗浄する洗浄部２０、加工
前及び加工後のウェーハを収納するカセット部３０、加
工前のウェーハＷをカセット部３０の所望の位置から引
き出し、ステージ上にプリアライメントするとともに、
ステージ上にセットされた加工後のウェーハＷをカセッ
ト部３０の所望の位置に収納するエレベータ部４０と、
上記各工程を経由してウェーハＷを搬送する搬送装置５
０等から構成されている。

【００１０】上記ダイシング装置の作用を説明すると、
カセット部３０に複数枚収納されている加工前のウェー
ハＷを順次エレベータ部４０に引き出し、引き出したウ
ェーハを図２に示す位置Ｐ４にセットする。そして、位
置Ｐ４にセットしたウェーハＷを上記搬送装置５０によ
って図２に示す位置Ｐ１のプリロードステージを介して
切断部１０のカッティングテーブル（図２に示す位置Ｐ
２）に載置する。カッティングテーブルにウェーハＷを
載置すると、ファインアライメント部１８、１９はウェ
ーハＷ上のパターンを画像認識し、これに基づいてカッ
ティングテーブルを適宜回転させるとともに、対向する
位置に配設された２つの切断装置１４、１６を図２の矢
印Ａ、Ｂ方向に移動させ、ファインアライメントを行
う。そして、カッティングテーブルに載置されたウェー
ハＷをカッティグテーブルとともに図２の矢印Ｃ、Ｄ方
向に移動しながら、切断装置１４、１６によってウェー
ハＷを切断する。

【００１１】切断部１０によってウェーハＷを切断する
と、位置Ｐ２にウェーハＷを戻し、次に搬送装置５０に
よってウェーハＷを図２に示す位置Ｐ３の洗浄部２０の
スピナテーブルに搬送する。そして切断加工後のウェー
ハＷを洗浄水により洗浄し、洗浄後エアブローによって
ウェーハＷを乾燥させる。

【００１２】ウェーハＷを乾燥させた後、搬送装置５０
によってこのウェーハＷを図２に示す位置Ｐ４に搬送
し、エレベータ部４０によってカセット部３０に収納す
る。

【００１３】次に上記ダイシング装置の切断部１０につ
いて詳説する。図３は上記切断部１０の平面図である。
同図に示すように切断部１０の切断装置１４、１６は、
それぞれモータ６０、６２によって回転するスピンドル
６４、６６と、スピンドル６４、６６の先端部に装着さ
れたブレード６８、７０を有し、これらのモータ６０、
６２、スピンドル６４、６６及びブレード６８、７０は
それぞれＹ軸移動部材７２、７４と連動してＹ軸方向に
移動する。

【００１４】上記Ｙ軸移動部材７２、７４は、図３に示
すＸ軸方向（ウェーハＷの移動方向（矢印Ｃ、Ｄ方向）
と直交するＹ軸方向に設けられたガイドレール部７６に
移動自在に支持される。Ｙ軸移動部材７２、７４は図示
しないモータによってこのガイドレール部７６に沿って
Ｙ軸方向に移動し、これによりブレード６８、７０によ
る切断位置を調整する。

【００１５】また、切断装置１６は後述するようにＸ軸
方向に移動可能で、切断部１０に対して切断装置１６を
Ｘ軸方向に退避させることができるようになっている。
これにより、切断装置１４と切断装置１６とを接触させ
ずに例えば図４に示すように同一のストリート上にブレ
ード６８とブレード７０を配置させることができるよう
になっている。

【００１６】次に上記切断装置１４、１６の構成につい
て説明する。図５は、上記切断装置１４の拡大斜視図で
ある。同図に示すようにスピンドル６４を回転させるモ
ータ６０はモータ支持部材１００に固着され、このモー
タ支持部材１００は上記Ｙ軸移動部材７２に上下方向
（以下、この方向をＺ軸方向とする。）に移動可能に支
持される。そして、モータ支持部材１００は、Ｙ軸移動
部材７２に固定されたモータ１０４によってスクリュー
１０６を介して上下方向（Ｚ軸方向）に移動する。

【００１７】図６は、上記切断装置１６の拡大斜視図で
ある。同図に示すようにスピンドル６６を回転させるモ
ータ６２はモータ支持部材１１０に固着され、このモー
タ支持部材１１０は、Ｘ軸移動部材１１２にＺ軸方向に
移動可能に支持される。

【００１８】モータ支持部材１１０は、Ｘ軸移動部材１
１２に固定されたモータ１１４によってスクリュー１１
６を介してＺ軸方向に移動する。

【００１９】上記Ｘ軸移動部材１１２は上記Ｙ軸移動部
材７４にＸ軸方向に移動可能に支持され、図示しないモ
ータによってＸ軸方向に移動する。

【００２０】これにより切断装置１６のブレード７０
は、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に移動する。

【００２１】以上のように構成された切断部１０によれ
ば、所定長さ以上離れた２本のストリートを同時に切断
する場合には、切断装置１６のスピンドル６６を切断装
置１４のスピンドル６４の回転軸上に配置し、所定長さ
より近い２本のストリート又は同一のストリートを同時
に切断する場合には、切断装置１６をＸ軸方向に移動さ
せ、この切断装置１６のブレード７０を切断装置１４の
ブレード６８と接触しない位置に退避させることができ
る。

【００２２】次に、上記切断部１０の他の実施の形態を
図７に示す。図７は、切断部１０の他の実施の形態を示
した平面図である。同図に示すように、切断装置１４と
切断装置１６をそれぞれガイドするガイドレール部１３
０、１３２がＹ軸方向からＸ軸方向に所定の角度ずれた
方向（以下、この方向をＹ’軸方向とする。）に橋渡し
の状態で平行に設置される。切断装置１４及び切断装置
１６はこれらのガイドレール部１３０、１３２に沿って
移動し、所望の位置に配置される。

【００２３】図８は、切断装置１４の拡大斜視図であ
る。同図に示すようにスピンドル６４を回転させるモー
タ６０はモータ支持部材１４０に固着され、このモータ
支持部材１４０はＹ’軸移動部材１４２にＺ軸方向に移
動可能に支持される。そして、モータ支持部材１４０は
Ｙ’軸移動部材１４２に固定されたモータ１４４によっ
てスクリュー１４６を介してＺ軸方向に移動する。

【００２４】また、Ｙ’軸移動部材１４２は図示しない
モータによってガイドレール部１３０に沿ってＹ’軸方
向に移動する。

【００２５】尚、切断装置１６も上記切断装置１４と同
様に構成される。

【００２６】このダイシング装置によれば、切断装置１
４と切断装置１６をＹ’軸方向に移動させて２枚のブレ
ードを任意の２本のストリート上又は同一のストリート
上に配置することができる。

【００２７】以上、上記実施の形態では切断装置１４及
び切断装置１６のＹ軸方向又はＹ’軸方向の移動をガイ
ドレールを用いた移動機構によって行っていたが、これ
に限らずどのような移動機構でもよい。例えば、図９に
示すように片持ちの構造によって行うようにしてもよ
い。

【００２８】同図に示す移動機構によれば、スピンドル
６４を回転させるモータ６０がモータ支持部材１６０に
固着され、このモータ支持部材１６０は支持部材１６２
にＹ又はＹ’軸方向に移動可能に支持される。モータ支
持部材１６０は、支持部材１６２に固定されたモータ１
６４によってＹ又はＹ’軸方向に移動する。また、支持
部材１６２は、固定台に固定されたモータ１６６によっ
てスクリュー１６８を介してＺ軸方向に移動する。

【００２９】尚、本発明に係るダイシング装置は、上記
実施の形態で示したような（半導体）ウェーハを切断す
る装置に限らず、ブレードを使用したダイシング装置全
てに適用できる。

【００３０】

【発明の効果】以上本発明に係るダイシング装置によれ
ば、軸方向がそれぞれＹ軸方向と一致し且つ互いに対向
する２本のスピンドルを任意の間隔に調整することがで
きるとともに、この２枚のブレードをＸ軸方向の同一直
線上に配置することができ、任意の２本又は同一のスト
リートを能率良く２枚のブレードで同時に切断すること
ができる。これにより、同種のブレードを２本のスピン
ドルに装着して異なるストリートを同時に切断すること
ができ、且つ、２本のスピンドルが対向している場合に
はスピンドルが一本の場合と同じストロークで２本のス
トリートを切断することができるため、切断時間を削減
することができる。また、２種類のブレードをそれぞれ
２本のスピンドルに装着して同一ラインを同時に切断し
て溝加工等を能率良く行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明が適用されたダイシング装置の
斜視図である。

【図２】図２は、本発明が適用されたダイシング装置の
平面図である。

【図３】図３は、ダイシング装置の切断部の一実施の形
態を示した平面図である。

【図４】図４は、図３に示した切断部の２枚のブレード
を同一直線上に配置した場合の様子を示した平面図であ
る。

【図５】図５は、図３のダイシング装置の切断装置の構
成を示した拡大斜視図である。

【図６】図６は、図３のダイシング装置の切断装置の構
成を示した拡大斜視図である。

【図７】図７は、ダイシング装置の切断部の他の実施の
形態を示した平面図である。

【図８】図８は、図７のダイシング装置の切断装置の構
成を示した拡大斜視図である。

【図９】図９は、切断装置の移動機構の他の実施の形態
を示した構成図である。

【符号の説明】

１０…切断部１４、１６…切断装置６４、６６…スピンドル６８、７０…ブレード７２、７４…Ｙ軸移動部材７６…ガイドレール部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】軸方向がそれぞれＹ軸方向と一致し且つ互
いに対向する２本のスピンドルを有し、該２本のスピン
ドルとワークとをＸ軸方向に相対的に移動させ、２本の
スピンドルに装着された２枚のブレードによって前記ワ
ークを切断するダイシング装置において、前記２本のスピンドルのうち一方のスピンドルを他方の
スピンドルに対して前記Ｙ軸方向に相対的に移動可能に
するとともに、前記一方のスピンドルを前記他方のスピ
ンドルに対して前記Ｘ軸方向に相対的に移動可能にし、前記２本のスピンドルの各Ｙ軸移動部材にスピンドルを
Ｚ軸方向に移動させるＺ軸移動部を各々設けたことを特
徴とするダイシング装置。