JP2001148174A - 浮上ヘッドスライダ - Google Patents
浮上ヘッドスライダInfo
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- JP2001148174A JP2001148174A JP33260699A JP33260699A JP2001148174A JP 2001148174 A JP2001148174 A JP 2001148174A JP 33260699 A JP33260699 A JP 33260699A JP 33260699 A JP33260699 A JP 33260699A JP 2001148174 A JP2001148174 A JP 2001148174A
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
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- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
- G11B5/6082—Design of the air bearing surface
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造工程の簡略化を実現しつつも、磁気ディ
スクといった記録媒体の静止時に記録媒体から作用する
吸着力を十分に抑制することが可能な浮上ヘッドスライ
ダを提供する。 【解決手段】 浮上ヘッドスライダ１４では、リアレー
ル２５ａの先細りに応じて空気軸受け面３１ａの幅Ｗ２
は狭められる。吸着防止突起４４に加えてスライダ本体
２２の空気流出端が記録ディスクの表面に接触しても、
スライダ本体２２と記録ディスクの表面との間で接触面
積の増大は抑制される。しかも、スライダ幅方向にリア
レール２５ａ全体が先細ることから、空気軸受け面３１
ａの空気流出端を小さく形成するにあたって、新たな加
工工程が加えられる必要はない。製造工程の増大や複雑
化を招くことなく、比較的に簡単に空気軸受け面３１ａ
の縮小化は実現されることができる。
スクといった記録媒体の静止時に記録媒体から作用する
吸着力を十分に抑制することが可能な浮上ヘッドスライ
ダを提供する。 【解決手段】 浮上ヘッドスライダ１４では、リアレー
ル２５ａの先細りに応じて空気軸受け面３１ａの幅Ｗ２
は狭められる。吸着防止突起４４に加えてスライダ本体
２２の空気流出端が記録ディスクの表面に接触しても、
スライダ本体２２と記録ディスクの表面との間で接触面
積の増大は抑制される。しかも、スライダ幅方向にリア
レール２５ａ全体が先細ることから、空気軸受け面３１
ａの空気流出端を小さく形成するにあたって、新たな加
工工程が加えられる必要はない。製造工程の増大や複雑
化を招くことなく、比較的に簡単に空気軸受け面３１ａ
の縮小化は実現されることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、いわゆるハードデ
ィスク駆動装置（ＨＤＤ）といった記録ディスク駆動装
置に用いられる浮上ヘッドスライダに関し、特に、スラ
イダ本体の媒体対向面に規定される空気軸受け面と、空
気軸受け面の空気流入側で空気軸受け面より高い頂上を
規定する吸着防止突起とを備える浮上ヘッドスライダに
関する。
ィスク駆動装置（ＨＤＤ）といった記録ディスク駆動装
置に用いられる浮上ヘッドスライダに関し、特に、スラ
イダ本体の媒体対向面に規定される空気軸受け面と、空
気軸受け面の空気流入側で空気軸受け面より高い頂上を
規定する吸着防止突起とを備える浮上ヘッドスライダに
関する。
【０００２】
【従来の技術】例えばハードディスク駆動装置（ＨＤ
Ｄ）の分野では、磁気ディスクの静止時に磁気ディスク
の表面に磁気ヘッドスライダすなわち浮上ヘッドスライ
ダを接触させるコンタクトスタートストップ（ＣＳＳ）
といった制御方法は広く知られる。このＣＳＳでは、磁
気ディスクの表面に形成される潤滑油膜と浮上ヘッドス
ライダとの間に作用する吸着力を抑制するにあたって、
例えば特開平１１−１９１２７７号に開示されるよう
に、浮上ヘッドスライダの空気軸受け面に形成される吸
着防止突起が広く用いられる。こうした吸着防止突起
は、磁気ディスクの表面と浮上ヘッドスライダとの接触
面積を減少させ、潤滑油膜から浮上ヘッドスライダに作
用する吸着力を弱める働きを実現する。
Ｄ）の分野では、磁気ディスクの静止時に磁気ディスク
の表面に磁気ヘッドスライダすなわち浮上ヘッドスライ
ダを接触させるコンタクトスタートストップ（ＣＳＳ）
といった制御方法は広く知られる。このＣＳＳでは、磁
気ディスクの表面に形成される潤滑油膜と浮上ヘッドス
ライダとの間に作用する吸着力を抑制するにあたって、
例えば特開平１１−１９１２７７号に開示されるよう
に、浮上ヘッドスライダの空気軸受け面に形成される吸
着防止突起が広く用いられる。こうした吸着防止突起
は、磁気ディスクの表面と浮上ヘッドスライダとの接触
面積を減少させ、潤滑油膜から浮上ヘッドスライダに作
用する吸着力を弱める働きを実現する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】近年、ＨＤＤの分野で
は、磁気ディスクの回転を引き起こすスピンドルモータ
としていわゆるホールレスモータが主流となりつつあ
る。このホールレスモータでは、ロータの回転位置（角
度）を検出することなくロータの回転は制御される。そ
の結果、回転開始時に回転軸がわずかに逆回転してしま
うことがある。こうした磁気ディスクの逆回転は前述の
吸着防止突起回りで浮上ヘッドスライダを傾かせる。浮
上ヘッドスライダは吸着防止突起に加えて空気軸受け面
の空気流出端で磁気ディスクの表面に接触してしまう。
こうして空気軸受け面の空気流出端と磁気ディスクとの
間で接触が引き起こされると、メニスカス効果などによ
って潤滑油膜から浮上ヘッドスライダに作用する吸着力
は著しく増加する。スピンドルモータのトルクは減少傾
向にあり、吸着力の増大は磁気ディスクの回転開始を妨
げる。
は、磁気ディスクの回転を引き起こすスピンドルモータ
としていわゆるホールレスモータが主流となりつつあ
る。このホールレスモータでは、ロータの回転位置（角
度）を検出することなくロータの回転は制御される。そ
の結果、回転開始時に回転軸がわずかに逆回転してしま
うことがある。こうした磁気ディスクの逆回転は前述の
吸着防止突起回りで浮上ヘッドスライダを傾かせる。浮
上ヘッドスライダは吸着防止突起に加えて空気軸受け面
の空気流出端で磁気ディスクの表面に接触してしまう。
こうして空気軸受け面の空気流出端と磁気ディスクとの
間で接触が引き起こされると、メニスカス効果などによ
って潤滑油膜から浮上ヘッドスライダに作用する吸着力
は著しく増加する。スピンドルモータのトルクは減少傾
向にあり、吸着力の増大は磁気ディスクの回転開始を妨
げる。
【０００４】こうした吸着力の増大を抑制するにあたっ
て、前述の特開平１１−１９１２７７号に開示されるよ
うに、空気軸受け面の空気流出端で切り欠きを形成する
ことが提案される。しかしながら、こうした切り欠きの
形成は浮上ヘッドスライダの加工工程の増加を招いてし
まう。しかも、空気軸受け面の減少に応じて浮上ヘッド
スライダの浮上量は変化してしまうことが考えられる。
て、前述の特開平１１−１９１２７７号に開示されるよ
うに、空気軸受け面の空気流出端で切り欠きを形成する
ことが提案される。しかしながら、こうした切り欠きの
形成は浮上ヘッドスライダの加工工程の増加を招いてし
まう。しかも、空気軸受け面の減少に応じて浮上ヘッド
スライダの浮上量は変化してしまうことが考えられる。
【０００５】本発明は、上記実状に鑑みてなされたもの
で、製造工程の簡略化を実現しつつも、磁気ディスクと
いった記録媒体の静止時に記録媒体から作用する吸着力
を十分に抑制することが可能な浮上ヘッドスライダを提
供することを目的とする。
で、製造工程の簡略化を実現しつつも、磁気ディスクと
いった記録媒体の静止時に記録媒体から作用する吸着力
を十分に抑制することが可能な浮上ヘッドスライダを提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１発明によれば、スライダ本体の媒体対向面に規
定される空気軸受け面と、空気軸受け面の空気流入側で
空気軸受け面よりも高い頂上を規定する吸着防止突起
と、頂上面で空気軸受け面を規定し、媒体対向面のベー
ス面上に所定の厚みで広がるレールと、空気軸受け面の
空気流入端でレールの頂上面に形成される段差とを備
え、前記レールはスライダ本体の空気流出端に向かって
スライダ幅方向に先細ることを特徴とする浮上ヘッドス
ライダが提供される。
に、第１発明によれば、スライダ本体の媒体対向面に規
定される空気軸受け面と、空気軸受け面の空気流入側で
空気軸受け面よりも高い頂上を規定する吸着防止突起
と、頂上面で空気軸受け面を規定し、媒体対向面のベー
ス面上に所定の厚みで広がるレールと、空気軸受け面の
空気流入端でレールの頂上面に形成される段差とを備
え、前記レールはスライダ本体の空気流出端に向かって
スライダ幅方向に先細ることを特徴とする浮上ヘッドス
ライダが提供される。
【０００７】こうした浮上ヘッドスライダによれば、例
えば磁気ディスクといった記録ディスクの静止時、スラ
イダ本体は記録ディスクの表面に対して吸着防止突起で
支持される。したがって、空気軸受け面と記録ディスク
の表面とは接触しない。その結果、空気軸受け面が記録
ディスクの表面に接触する場合に比べて、記録ディスク
の表面に対するスライダ本体の接触面積は減少する。記
録ディスクの表面に広がる潤滑油や水分からスライダ本
体に作用する吸着力（メニスカス効果）は弱められるこ
とができる。
えば磁気ディスクといった記録ディスクの静止時、スラ
イダ本体は記録ディスクの表面に対して吸着防止突起で
支持される。したがって、空気軸受け面と記録ディスク
の表面とは接触しない。その結果、空気軸受け面が記録
ディスクの表面に接触する場合に比べて、記録ディスク
の表面に対するスライダ本体の接触面積は減少する。記
録ディスクの表面に広がる潤滑油や水分からスライダ本
体に作用する吸着力（メニスカス効果）は弱められるこ
とができる。
【０００８】例えば記録ディスクの逆回転といった場面
では、前述の吸着防止突起に加えてスライダ本体の空気
流出端でスライダ本体は記録ディスクの表面に接触す
る。しかしながら、スライダ本体の空気流出端では、レ
ールの先細りに応じて空気軸受け面の面積は減少してい
く。スライダ本体と記録ディスクの表面との間で接触面
積の増大は抑制される。したがって、記録ディスクの表
面に広がる潤滑油膜や水分から大きな吸着力がスライダ
本体に伝わることは阻止される。スライダ本体と記録デ
ィスクの表面との間に大きな吸着力や摩擦力は生じるこ
とはなく、吸着力や摩擦力の増大に起因する記録ディス
クの回転不良は回避されることができる。記録ディスク
に加えられる駆動トルクが小さくても、記録ディスクは
正常どおりに回転し始めることができる。
では、前述の吸着防止突起に加えてスライダ本体の空気
流出端でスライダ本体は記録ディスクの表面に接触す
る。しかしながら、スライダ本体の空気流出端では、レ
ールの先細りに応じて空気軸受け面の面積は減少してい
く。スライダ本体と記録ディスクの表面との間で接触面
積の増大は抑制される。したがって、記録ディスクの表
面に広がる潤滑油膜や水分から大きな吸着力がスライダ
本体に伝わることは阻止される。スライダ本体と記録デ
ィスクの表面との間に大きな吸着力や摩擦力は生じるこ
とはなく、吸着力や摩擦力の増大に起因する記録ディス
クの回転不良は回避されることができる。記録ディスク
に加えられる駆動トルクが小さくても、記録ディスクは
正常どおりに回転し始めることができる。
【０００９】記録ディスクが回転し始めると、スライダ
本体は、記録ディスクの表面に沿って生成される気流を
媒体対向面で受ける。このとき、気流は段差を伝って空
気軸受け面に導かれる。こうした段差の働きを通じて空
気軸受け面では大きな正圧すなわち浮力が生成される。
こうして生成される浮力は、記録ディスクの表面からス
ライダ本体を浮き上がらせる。段差の働きによれば、前
述のようなレールの先細りに応じて空気軸受け面の面積
が減少しても、空気軸受け面で生成される正圧すなわち
浮力の変動は極力抑制されることができる。
本体は、記録ディスクの表面に沿って生成される気流を
媒体対向面で受ける。このとき、気流は段差を伝って空
気軸受け面に導かれる。こうした段差の働きを通じて空
気軸受け面では大きな正圧すなわち浮力が生成される。
こうして生成される浮力は、記録ディスクの表面からス
ライダ本体を浮き上がらせる。段差の働きによれば、前
述のようなレールの先細りに応じて空気軸受け面の面積
が減少しても、空気軸受け面で生成される正圧すなわち
浮力の変動は極力抑制されることができる。
【００１０】一般に、前述のレールは、基板上に所定の
厚みで積層される材料層から削り出される。削り出しに
あたって、レールの輪郭を規定する例えばレジスト膜が
材料層の表面に形成される。前述のようにスライダ幅方
向にレール全体が先細れば、レジスト膜の形状を調整す
るだけで空気軸受け面の面積を減少させることが可能と
なる。空気軸受け面の空気流出端を小さく形成するにあ
たって、新たな加工工程が加えられる必要はない。製造
工程の増大や複雑化を招くことなく、比較的に簡単に空
気軸受け面の縮小化は実現されることができる。
厚みで積層される材料層から削り出される。削り出しに
あたって、レールの輪郭を規定する例えばレジスト膜が
材料層の表面に形成される。前述のようにスライダ幅方
向にレール全体が先細れば、レジスト膜の形状を調整す
るだけで空気軸受け面の面積を減少させることが可能と
なる。空気軸受け面の空気流出端を小さく形成するにあ
たって、新たな加工工程が加えられる必要はない。製造
工程の増大や複雑化を招くことなく、比較的に簡単に空
気軸受け面の縮小化は実現されることができる。
【００１１】また、第２発明によれば、スライダ本体の
空気流入側で媒体対向面に規定される前方空気軸受け面
と、スライダ本体の空気流出側で媒体対向面に規定され
る後方空気軸受け面と、後方空気軸受け面の空気流入側
で少なくとも後方空気軸受け面よりも高い頂上を規定す
る吸着防止突起と、頂上面で後方空気軸受け面を規定
し、媒体対向面のベース面上に所定の厚みで広がるレー
ルと、後方空気軸受け面の空気流入端でレールの頂上面
に形成される段差とを備え、前記レールはスライダ本体
の空気流出端に向かってスライダ幅方向に先細ることを
特徴とする浮上ヘッドスライダが提供される。
空気流入側で媒体対向面に規定される前方空気軸受け面
と、スライダ本体の空気流出側で媒体対向面に規定され
る後方空気軸受け面と、後方空気軸受け面の空気流入側
で少なくとも後方空気軸受け面よりも高い頂上を規定す
る吸着防止突起と、頂上面で後方空気軸受け面を規定
し、媒体対向面のベース面上に所定の厚みで広がるレー
ルと、後方空気軸受け面の空気流入端でレールの頂上面
に形成される段差とを備え、前記レールはスライダ本体
の空気流出端に向かってスライダ幅方向に先細ることを
特徴とする浮上ヘッドスライダが提供される。
【００１２】こうした浮上ヘッドスライダによれば、前
方空気軸受け面および後方空気軸受け面で正圧すなわち
浮力が生成されることができる。したがって、大きな正
圧すなわち浮力が比較的に簡単に生成されることができ
る。特に、こうした浮上ヘッドスライダでは、大きな正
圧に釣り合う負圧が媒体対向面で生成されることが望ま
しい。こうした大きな正圧と負圧とによれば、浮上ヘッ
ドスライダは、安定した浮上量で記録ディスクの表面か
ら浮上し続けることができる。その他、こうした浮上ヘ
ッドスライダによれば、前述の第１発明に係る浮上ヘッ
ドスライダによって達成される作用効果と同様な作用効
果が実現されることができる。
方空気軸受け面および後方空気軸受け面で正圧すなわち
浮力が生成されることができる。したがって、大きな正
圧すなわち浮力が比較的に簡単に生成されることができ
る。特に、こうした浮上ヘッドスライダでは、大きな正
圧に釣り合う負圧が媒体対向面で生成されることが望ま
しい。こうした大きな正圧と負圧とによれば、浮上ヘッ
ドスライダは、安定した浮上量で記録ディスクの表面か
ら浮上し続けることができる。その他、こうした浮上ヘ
ッドスライダによれば、前述の第１発明に係る浮上ヘッ
ドスライダによって達成される作用効果と同様な作用効
果が実現されることができる。
【００１３】さらに、第３発明によれば、スライダ本体
の媒体対向面でベース面から立ち上がり、所定の厚みで
スライダ本体の空気流出端に向かって延びるレール本体
と、レール本体の空気流出端に一体に形成され、レール
本体の頂上面よりもスライダ幅方向に狭い頂上面を規定
しつつレール本体の厚みに等しい高さでベース面から立
ち上がる細柱体と、連続するレール本体および細柱体の
頂上面で規定される空気軸受け面と、空気軸受け面の空
気流入端でレール本体の頂上面に形成される段差と、空
気軸受け面の空気流入側で少なくとも空気軸受け面より
も高い頂上を規定する吸着防止突起とを備えることを特
徴とする浮上ヘッドスライダが提供される。
の媒体対向面でベース面から立ち上がり、所定の厚みで
スライダ本体の空気流出端に向かって延びるレール本体
と、レール本体の空気流出端に一体に形成され、レール
本体の頂上面よりもスライダ幅方向に狭い頂上面を規定
しつつレール本体の厚みに等しい高さでベース面から立
ち上がる細柱体と、連続するレール本体および細柱体の
頂上面で規定される空気軸受け面と、空気軸受け面の空
気流入端でレール本体の頂上面に形成される段差と、空
気軸受け面の空気流入側で少なくとも空気軸受け面より
も高い頂上を規定する吸着防止突起とを備えることを特
徴とする浮上ヘッドスライダが提供される。
【００１４】こうした浮上ヘッドスライダによれば、前
述の第１および第２発明と同様に、吸着防止突起の働き
によって、空気軸受け面が記録ディスクの表面に接触す
る場合に比べて、記録ディスクの表面に対するスライダ
本体の接触面積は減少する。記録ディスクの表面に広が
る潤滑油や水分からスライダ本体に作用する吸着力（メ
ニスカス効果）は弱められることができる。
述の第１および第２発明と同様に、吸着防止突起の働き
によって、空気軸受け面が記録ディスクの表面に接触す
る場合に比べて、記録ディスクの表面に対するスライダ
本体の接触面積は減少する。記録ディスクの表面に広が
る潤滑油や水分からスライダ本体に作用する吸着力（メ
ニスカス効果）は弱められることができる。
【００１５】例えば記録ディスクの逆回転といった場面
では、前述の吸着防止突起に加えてスライダ本体の空気
流出端でスライダ本体は記録ディスクの表面に接触す
る。しかしながら、スライダ本体の空気流出端では、ス
ライダ幅方向に狭い細柱体の頂上面で空気軸受け面は規
定される。狭い空気軸受け面が実現される。スライダ本
体と記録ディスクの表面との間で接触面積の増大は抑制
される。したがって、前述と同様に、スライダ本体と記
録ディスクの表面との間に大きな吸着力や摩擦力は生じ
ることはなく、吸着力や摩擦力の増大に起因する記録デ
ィスクの回転不良は回避されることができる。
では、前述の吸着防止突起に加えてスライダ本体の空気
流出端でスライダ本体は記録ディスクの表面に接触す
る。しかしながら、スライダ本体の空気流出端では、ス
ライダ幅方向に狭い細柱体の頂上面で空気軸受け面は規
定される。狭い空気軸受け面が実現される。スライダ本
体と記録ディスクの表面との間で接触面積の増大は抑制
される。したがって、前述と同様に、スライダ本体と記
録ディスクの表面との間に大きな吸着力や摩擦力は生じ
ることはなく、吸着力や摩擦力の増大に起因する記録デ
ィスクの回転不良は回避されることができる。
【００１６】記録ディスクが回転し始めると、スライダ
本体は、記録ディスクの表面に沿って生成される気流を
媒体対向面で受ける。このとき、気流は段差を伝って空
気軸受け面に導かれる。こうした段差の働きを通じて空
気軸受け面では大きな正圧すなわち浮力が生成される。
こうして生成される浮力は、記録ディスクの表面からス
ライダ本体を浮き上がらせる。段差の働きによれば、前
述のようなレールの先細りに応じて空気軸受け面の面積
が減少しても、空気軸受け面で生成される正圧すなわち
浮力の変動は極力抑制されることができる。
本体は、記録ディスクの表面に沿って生成される気流を
媒体対向面で受ける。このとき、気流は段差を伝って空
気軸受け面に導かれる。こうした段差の働きを通じて空
気軸受け面では大きな正圧すなわち浮力が生成される。
こうして生成される浮力は、記録ディスクの表面からス
ライダ本体を浮き上がらせる。段差の働きによれば、前
述のようなレールの先細りに応じて空気軸受け面の面積
が減少しても、空気軸受け面で生成される正圧すなわち
浮力の変動は極力抑制されることができる。
【００１７】一般に、前述のレール本体および細柱体
は、基板上に所定の厚みで積層される材料層から同時に
削り出されることができる。空気軸受け面の空気流出端
を小さく形成するにあたって、新たな加工工程が加えら
れる必要はない。製造工程の増大や複雑化を招くことな
く、比較的に簡単に空気軸受け面の縮小化は実現される
ことができる。
は、基板上に所定の厚みで積層される材料層から同時に
削り出されることができる。空気軸受け面の空気流出端
を小さく形成するにあたって、新たな加工工程が加えら
れる必要はない。製造工程の増大や複雑化を招くことな
く、比較的に簡単に空気軸受け面の縮小化は実現される
ことができる。
【００１８】さらにまた、第４発明によれば、スライダ
本体の空気流入側で媒体対向面のベース面から立ち上が
るフロントレールと、フロントレールの頂上面で規定さ
れる前方空気軸受け面と、スライダ本体の空気流出側で
媒体対向面のベース面上に所定の厚みで広がるレール本
体と、レール本体の空気流出端に一体に形成され、レー
ル本体の頂上面よりもスライダ幅方向に狭い頂上面を規
定しつつレール本体の厚みに等しい高さでベース面から
立ち上がる細柱体と、連続するレール本体および細柱体
の頂上面で規定される後方空気軸受け面と、後方空気軸
受け面の空気流入端でレール本体の頂上面に形成される
段差と、後方空気軸受け面の空気流入側で少なくとも後
方空気軸受け面よりも高い頂上を規定する吸着防止突起
とを備えることを特徴とする浮上ヘッドスライダが提供
される。
本体の空気流入側で媒体対向面のベース面から立ち上が
るフロントレールと、フロントレールの頂上面で規定さ
れる前方空気軸受け面と、スライダ本体の空気流出側で
媒体対向面のベース面上に所定の厚みで広がるレール本
体と、レール本体の空気流出端に一体に形成され、レー
ル本体の頂上面よりもスライダ幅方向に狭い頂上面を規
定しつつレール本体の厚みに等しい高さでベース面から
立ち上がる細柱体と、連続するレール本体および細柱体
の頂上面で規定される後方空気軸受け面と、後方空気軸
受け面の空気流入端でレール本体の頂上面に形成される
段差と、後方空気軸受け面の空気流入側で少なくとも後
方空気軸受け面よりも高い頂上を規定する吸着防止突起
とを備えることを特徴とする浮上ヘッドスライダが提供
される。
【００１９】こうした浮上ヘッドスライダによれば、前
方空気軸受け面および後方空気軸受け面で正圧すなわち
浮力が生成されることができる。したがって、大きな正
圧すなわち浮力が比較的に簡単に生成されることができ
る。しかも、フロントレールの背後では、比較的に簡単
に大きな負圧が生成されることができる。こうして大き
な正圧と大きな負圧とが生成されれば、浮上ヘッドスラ
イダは、安定した浮上量で記録ディスクの表面から浮上
し続けることができる。その他、こうした浮上ヘッドス
ライダによれば、前述の第３発明に係る浮上ヘッドスラ
イダによって達成される作用効果と同様な作用効果が実
現されることができる。
方空気軸受け面および後方空気軸受け面で正圧すなわち
浮力が生成されることができる。したがって、大きな正
圧すなわち浮力が比較的に簡単に生成されることができ
る。しかも、フロントレールの背後では、比較的に簡単
に大きな負圧が生成されることができる。こうして大き
な正圧と大きな負圧とが生成されれば、浮上ヘッドスラ
イダは、安定した浮上量で記録ディスクの表面から浮上
し続けることができる。その他、こうした浮上ヘッドス
ライダによれば、前述の第３発明に係る浮上ヘッドスラ
イダによって達成される作用効果と同様な作用効果が実
現されることができる。
【００２０】以上のような第１〜第４発明に係る浮上ヘ
ッドスライダでは、空気軸受け面（少なくとも後方空気
軸受け面）よりも低い位置から吸着防止突起は立ち上が
ることが望ましい。こうした構成によれば、空気軸受け
面（前方空気軸受け面および後方空気軸受け面）に吸着
防止突起が形成される場合に比べて、十分な高さの吸着
防止突起が実現されることができる。こうして十分な高
さが確保されれば、記録ディスクの表面とスライダ本体
との間で確実にメニスカス効果は抑制されることができ
る。反対に吸着防止突起が低いと、記録ディスクの表面
で広がる潤滑油や水分が吸着防止突起を伝ってスライダ
本体に作用し、スライダ本体に作用するメニスカス効果
が十分に抑制されることはできない。
ッドスライダでは、空気軸受け面（少なくとも後方空気
軸受け面）よりも低い位置から吸着防止突起は立ち上が
ることが望ましい。こうした構成によれば、空気軸受け
面（前方空気軸受け面および後方空気軸受け面）に吸着
防止突起が形成される場合に比べて、十分な高さの吸着
防止突起が実現されることができる。こうして十分な高
さが確保されれば、記録ディスクの表面とスライダ本体
との間で確実にメニスカス効果は抑制されることができ
る。反対に吸着防止突起が低いと、記録ディスクの表面
で広がる潤滑油や水分が吸着防止突起を伝ってスライダ
本体に作用し、スライダ本体に作用するメニスカス効果
が十分に抑制されることはできない。
【００２１】以上のような浮上ヘッドスライダは、例え
ばハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）を始めとする磁気
ディスク駆動装置のほか、光磁気ディスク駆動装置やそ
の他の様々な記録ディスク駆動装置や記録媒体駆動装置
に組み込まれて使用されてもよい。ただし、記録媒体の
形状はディスクに限定される必要は必ずしもない。
ばハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）を始めとする磁気
ディスク駆動装置のほか、光磁気ディスク駆動装置やそ
の他の様々な記録ディスク駆動装置や記録媒体駆動装置
に組み込まれて使用されてもよい。ただし、記録媒体の
形状はディスクに限定される必要は必ずしもない。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しつつ本発
明の一実施形態を説明する。
明の一実施形態を説明する。
【００２３】図１は記録ディスク駆動装置の一具体例と
してのハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）１０の内部構
造を示す。ＨＤＤ１０のハウジング１１には、スピンド
ルモータ１２に装着される磁気ディスク１３と、磁気デ
ィスク１３に対向する浮上ヘッドスライダ１４とが収容
される。スピンドルモータ１２は回転軸回りで磁気ディ
スク１３を駆動する。スピンドルモータ１２には例えば
ホールレスモータが採用される。
してのハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）１０の内部構
造を示す。ＨＤＤ１０のハウジング１１には、スピンド
ルモータ１２に装着される磁気ディスク１３と、磁気デ
ィスク１３に対向する浮上ヘッドスライダ１４とが収容
される。スピンドルモータ１２は回転軸回りで磁気ディ
スク１３を駆動する。スピンドルモータ１２には例えば
ホールレスモータが採用される。
【００２４】浮上ヘッドスライダ１４は、支軸１５回り
で揺動することができるキャリッジアーム１６の先端に
固着される。磁気ディスク１３に対する情報の書き込み
や読み出しにあたっては、磁気回路から構成されるアク
チュエータ１７によってキャリッジアーム１６は揺動駆
動され、その結果、浮上ヘッドスライダ１４は磁気ディ
スク１３の半径方向に移動する。この移動によって浮上
ヘッドスライダ１４は磁気ディスク１３上の所望の記録
トラックに位置決めされる。ハウジング１１の開口は、
ハウジング１１との間に密閉された収容空間を形成する
カバー（図示せず）によって閉鎖される。
で揺動することができるキャリッジアーム１６の先端に
固着される。磁気ディスク１３に対する情報の書き込み
や読み出しにあたっては、磁気回路から構成されるアク
チュエータ１７によってキャリッジアーム１６は揺動駆
動され、その結果、浮上ヘッドスライダ１４は磁気ディ
スク１３の半径方向に移動する。この移動によって浮上
ヘッドスライダ１４は磁気ディスク１３上の所望の記録
トラックに位置決めされる。ハウジング１１の開口は、
ハウジング１１との間に密閉された収容空間を形成する
カバー（図示せず）によって閉鎖される。
【００２５】図２は浮上ヘッドスライダ１４の構造を詳
細に示す。この浮上ヘッドスライダ１４は、媒体対向面
すなわち浮上面２１で磁気ディスク１３に対向するスラ
イダ本体２２を備える。浮上面２１には、磁気ディスク
１３が回転した際に磁気ディスク１３の表面に沿って生
成される気流の上流側すなわち空気流入側でベース面２
３から立ち上がる１筋のフロントレール２４が形成され
る。このフロントレール２４は、ベース面２３上に所定
の厚みＨ（＝１．５〜２．０μｍ程度）で広がりつつ、
スライダ本体２２の空気流入端に沿ってスライダ幅方向
に延びる。同様に、浮上面２１には、気流の下流側すな
わち空気流出側でベース面２３から立ち上がる１対のリ
アレール２５ａ、２５ｂが形成される。リアレール２５
ａ、２５ｂは、気流の流通路２６を間に挟んでスライダ
幅方向に配列される。各リアレール２５ａ、２５ｂは、
ベース面２３上にフロントレール２４と同一の厚みＨで
広がりつつ、スライダ本体２２の空気流出端に向かって
延びる。
細に示す。この浮上ヘッドスライダ１４は、媒体対向面
すなわち浮上面２１で磁気ディスク１３に対向するスラ
イダ本体２２を備える。浮上面２１には、磁気ディスク
１３が回転した際に磁気ディスク１３の表面に沿って生
成される気流の上流側すなわち空気流入側でベース面２
３から立ち上がる１筋のフロントレール２４が形成され
る。このフロントレール２４は、ベース面２３上に所定
の厚みＨ（＝１．５〜２．０μｍ程度）で広がりつつ、
スライダ本体２２の空気流入端に沿ってスライダ幅方向
に延びる。同様に、浮上面２１には、気流の下流側すな
わち空気流出側でベース面２３から立ち上がる１対のリ
アレール２５ａ、２５ｂが形成される。リアレール２５
ａ、２５ｂは、気流の流通路２６を間に挟んでスライダ
幅方向に配列される。各リアレール２５ａ、２５ｂは、
ベース面２３上にフロントレール２４と同一の厚みＨで
広がりつつ、スライダ本体２２の空気流出端に向かって
延びる。
【００２６】フロントレール２４の頂上面には、スライ
ダ幅方向に延びる１筋の前方空気軸受け面２７が規定さ
れる。前方空気軸受け面２７の空気流入端ではフロント
レール２４の頂上面に段差２８が形成される。この段差
２８は、例えば図２から明らかなように、空気流出端を
除く前方空気軸受け面２７の周囲に満遍なく形成されて
もよい。こうして段差２８が形成されると、フロントレ
ール２４の頂上面には、前方空気軸受け面２７よりも低
いレベルで広がる低レベル面２９が規定される。磁気デ
ィスク１３の回転時、磁気ディスク１３の表面に沿って
生成される気流は低レベル面２９から段差２８を伝って
前方空気軸受け面２７に導かれる。段差２８の働きを通
じて前方空気軸受け面２７では大きな正圧すなわち浮力
が生成される。
ダ幅方向に延びる１筋の前方空気軸受け面２７が規定さ
れる。前方空気軸受け面２７の空気流入端ではフロント
レール２４の頂上面に段差２８が形成される。この段差
２８は、例えば図２から明らかなように、空気流出端を
除く前方空気軸受け面２７の周囲に満遍なく形成されて
もよい。こうして段差２８が形成されると、フロントレ
ール２４の頂上面には、前方空気軸受け面２７よりも低
いレベルで広がる低レベル面２９が規定される。磁気デ
ィスク１３の回転時、磁気ディスク１３の表面に沿って
生成される気流は低レベル面２９から段差２８を伝って
前方空気軸受け面２７に導かれる。段差２８の働きを通
じて前方空気軸受け面２７では大きな正圧すなわち浮力
が生成される。
【００２７】２つのリアレール２５ａ、２５ｂの頂上面
には、気流の流通路２６を間に挟んでスライダ幅方向に
配列される第１および第２後方空気軸受け面３１ａ、３
１ｂがそれぞれ規定される。第１後方空気軸受け面３１
ａの空気流入端ではリアレール２５ａの頂上面に段差３
２が形成される。同様に、第２後方空気軸受け面３１ｂ
の空気流入ではリアレール２５ｂの頂上面に段差３３が
形成される。段差３３は、例えば図２に示されるよう
に、第２後方空気軸受け面３１ｂの周囲に沿って空気流
出端に向かって延びてもよい。こうして段差３２、３３
が形成されると、２つのリアレール２５ａ、２５ｂの頂
上面には、第１および第２後方空気軸受け面３１ａ、３
１ｂよりも低いレベルでそれぞれ広がる低レベル面３
４、３５が規定される。磁気ディスク１３の回転時、磁
気ディスク１３の表面に沿って生成される気流は低レベ
ル面３４、３５から段差３２、３３を伝って第１および
第２後方空気軸受け面３１ａ、３１ｂに導かれる。段差
３２、３３の働きを通じて第１および第２後方空気軸受
け面３１ａ、３１ｂでは大きな正圧すなわち浮力が生成
される。第１および第２空気軸受け面３１ａ、３１ｂに
は、スライダ幅方向に延びる１筋の溝３６、３７がそれ
ぞれ形成される。
には、気流の流通路２６を間に挟んでスライダ幅方向に
配列される第１および第２後方空気軸受け面３１ａ、３
１ｂがそれぞれ規定される。第１後方空気軸受け面３１
ａの空気流入端ではリアレール２５ａの頂上面に段差３
２が形成される。同様に、第２後方空気軸受け面３１ｂ
の空気流入ではリアレール２５ｂの頂上面に段差３３が
形成される。段差３３は、例えば図２に示されるよう
に、第２後方空気軸受け面３１ｂの周囲に沿って空気流
出端に向かって延びてもよい。こうして段差３２、３３
が形成されると、２つのリアレール２５ａ、２５ｂの頂
上面には、第１および第２後方空気軸受け面３１ａ、３
１ｂよりも低いレベルでそれぞれ広がる低レベル面３
４、３５が規定される。磁気ディスク１３の回転時、磁
気ディスク１３の表面に沿って生成される気流は低レベ
ル面３４、３５から段差３２、３３を伝って第１および
第２後方空気軸受け面３１ａ、３１ｂに導かれる。段差
３２、３３の働きを通じて第１および第２後方空気軸受
け面３１ａ、３１ｂでは大きな正圧すなわち浮力が生成
される。第１および第２空気軸受け面３１ａ、３１ｂに
は、スライダ幅方向に延びる１筋の溝３６、３７がそれ
ぞれ形成される。
【００２８】この浮上ヘッドスライダ１４では、２つの
後方空気軸受け面３１ａ、３１ｂに比べて前方空気軸受
け面２７で大きな正圧すなわち浮力が生成される。した
がって、スライダ本体２２が磁気ディスク１３の表面か
ら浮上すると、スライダ本体２２はピッチ角αの傾斜姿
勢で維持されることができる。ここで、ピッチ角αと
は、気流の流れ方向に沿ったスライダ本体前後方向の傾
斜角をいう。しかも、第１後方空気軸受け面３１ａは第
２後方空気軸受け面３１ｂに比べて小さく形成される。
したがって、スライダ本体２２の浮上面２１に気流が作
用すると、第１後方空気軸受け面３１ａに比べて第２後
方空気軸受け面３１ｂに大きな浮力が生成される。スラ
イダ本体２２が磁気ディスク１３の表面から浮上する
と、スライダ本体２２はロール角βの傾斜姿勢で維持さ
れることができる。ここで、ロール角βとは、気流の流
れ方向に直交するスライダ幅方向の傾斜角をいう。
後方空気軸受け面３１ａ、３１ｂに比べて前方空気軸受
け面２７で大きな正圧すなわち浮力が生成される。した
がって、スライダ本体２２が磁気ディスク１３の表面か
ら浮上すると、スライダ本体２２はピッチ角αの傾斜姿
勢で維持されることができる。ここで、ピッチ角αと
は、気流の流れ方向に沿ったスライダ本体前後方向の傾
斜角をいう。しかも、第１後方空気軸受け面３１ａは第
２後方空気軸受け面３１ｂに比べて小さく形成される。
したがって、スライダ本体２２の浮上面２１に気流が作
用すると、第１後方空気軸受け面３１ａに比べて第２後
方空気軸受け面３１ｂに大きな浮力が生成される。スラ
イダ本体２２が磁気ディスク１３の表面から浮上する
と、スライダ本体２２はロール角βの傾斜姿勢で維持さ
れることができる。ここで、ロール角βとは、気流の流
れ方向に直交するスライダ幅方向の傾斜角をいう。
【００２９】こうして小さく形成された第１後方気軸受
け面３１ａでは、スライダ本体２２に埋め込まれた磁気
ヘッド素子の書き込みおよび読み出しギャップ３８が露
出する。前述のピッチ角αおよびロール角βの働きによ
って、磁気ヘッド素子のギャップ３８付近でスライダ本
体２２と磁気ディスク１３の表面との距離は最も小さく
なる。したがって、磁気ヘッド素子は、効率的に磁気情
報を磁気ディスク１３に書き込んだり、効率的に磁気情
報を磁気ディスク１３から読み出したりすることができ
る。磁気ヘッド素子には、例えば、導体コイルパターン
を利用した薄膜磁気ヘッドといった書き込み素子や、磁
気抵抗効果（ＭＲ）素子や巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）
素子といった読み取り素子が採用されればよい。
け面３１ａでは、スライダ本体２２に埋め込まれた磁気
ヘッド素子の書き込みおよび読み出しギャップ３８が露
出する。前述のピッチ角αおよびロール角βの働きによ
って、磁気ヘッド素子のギャップ３８付近でスライダ本
体２２と磁気ディスク１３の表面との距離は最も小さく
なる。したがって、磁気ヘッド素子は、効率的に磁気情
報を磁気ディスク１３に書き込んだり、効率的に磁気情
報を磁気ディスク１３から読み出したりすることができ
る。磁気ヘッド素子には、例えば、導体コイルパターン
を利用した薄膜磁気ヘッドといった書き込み素子や、磁
気抵抗効果（ＭＲ）素子や巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）
素子といった読み取り素子が採用されればよい。
【００３０】フロントレール２４のスライダ幅方向両端
には、スライダ本体２２のベース面２３から立ち上がっ
て、空気流出端に向かって延びる１対のサイドレール４
１が接続される。こうしたサイドレール４１によれば、
磁気ディスク１３の回転時にフロントレール２４に正面
から衝突する気流はフロントレール２４のスライダ幅方
向両端を回り込んでフロントレール２４の背後に入り込
むことはできない。したがって、第１空気軸受け面２７
に沿ってフロントレール２４を通過する気流は容易にデ
ィスク面鉛直方向に広がることができる。こうした気流
の急激な広がりに基づき負圧は生成される。この負圧が
前述の浮力にバランスすると、スライダ本体２２の浮上
量は規定される。１対のサイドレール４１と１対のリア
レール２５ａ、２５ｂとの間には、フロントレール２４
をスライダ幅方向両側から迂回する気流を流通路２６に
導く間隙４２が形成される。サイドレール４１は、フロ
ントレール２４の低レベル面２９と同一なレベルで広が
る頂上面を規定する。
には、スライダ本体２２のベース面２３から立ち上がっ
て、空気流出端に向かって延びる１対のサイドレール４
１が接続される。こうしたサイドレール４１によれば、
磁気ディスク１３の回転時にフロントレール２４に正面
から衝突する気流はフロントレール２４のスライダ幅方
向両端を回り込んでフロントレール２４の背後に入り込
むことはできない。したがって、第１空気軸受け面２７
に沿ってフロントレール２４を通過する気流は容易にデ
ィスク面鉛直方向に広がることができる。こうした気流
の急激な広がりに基づき負圧は生成される。この負圧が
前述の浮力にバランスすると、スライダ本体２２の浮上
量は規定される。１対のサイドレール４１と１対のリア
レール２５ａ、２５ｂとの間には、フロントレール２４
をスライダ幅方向両側から迂回する気流を流通路２６に
導く間隙４２が形成される。サイドレール４１は、フロ
ントレール２４の低レベル面２９と同一なレベルで広が
る頂上面を規定する。
【００３１】図２から明らかなように、フロントレール
２４やサイドレール４１には、低レベル面２９やサイド
レール４１の頂上面から立ち上がる前後１対ずつの吸着
防止突起（パッド）４３、４４が形成される。各吸着防
止突起４３、４４は、前方空気軸受け面２７や第１およ
び第２後方空気軸受け面３１ａ、３１ｂよりも高い頂上
面を規定する。
２４やサイドレール４１には、低レベル面２９やサイド
レール４１の頂上面から立ち上がる前後１対ずつの吸着
防止突起（パッド）４３、４４が形成される。各吸着防
止突起４３、４４は、前方空気軸受け面２７や第１およ
び第２後方空気軸受け面３１ａ、３１ｂよりも高い頂上
面を規定する。
【００３２】前方の吸着防止突起４３は、スライダ本体
２２の空気流入端にできる限り近接した位置に配置され
る。その一方で、後方の吸着防止突起４４は、スライダ
本体２２の空気流出端から空気流入側に偏倚した位置に
配置される。こうした配置によれば、前述のようにスラ
イダ本体２２が浮上中にピッチ角αの傾斜姿勢に維持さ
れても、後方の吸着防止突起４４と磁気ディスク１３と
の衝突を確実に回避しつつ最大限に磁気ヘッド素子の書
き込みおよび読み出しギャップ３８を磁気ディスク１３
に近づけることが可能となる。
２２の空気流入端にできる限り近接した位置に配置され
る。その一方で、後方の吸着防止突起４４は、スライダ
本体２２の空気流出端から空気流入側に偏倚した位置に
配置される。こうした配置によれば、前述のようにスラ
イダ本体２２が浮上中にピッチ角αの傾斜姿勢に維持さ
れても、後方の吸着防止突起４４と磁気ディスク１３と
の衝突を確実に回避しつつ最大限に磁気ヘッド素子の書
き込みおよび読み出しギャップ３８を磁気ディスク１３
に近づけることが可能となる。
【００３３】図３から明らかなように、リアレール２５
ａは空気流出端に向かって先細る。すなわち、リアレー
ル２５ａは、スライダ本体２２の空気流出側でベース面
２３上に所定の厚みＨで広がるレール本体４６と、レー
ル本体４６の空気流出端に一体に形成されて、レール本
体４６の厚みＨに等しい高さでベース面２３から立ち上
がる細柱体４７とを備える。細柱体４７は、スライダ幅
方向に規定されるレール本体４６の基準幅Ｗ１よりも小
さい狭小幅Ｗ２で形成される。第１後方空気軸受け面３
１ａは、レール本体４６の頂上面と、この頂上面に連続
する細柱体４７の頂上面とにわたって規定される。
ａは空気流出端に向かって先細る。すなわち、リアレー
ル２５ａは、スライダ本体２２の空気流出側でベース面
２３上に所定の厚みＨで広がるレール本体４６と、レー
ル本体４６の空気流出端に一体に形成されて、レール本
体４６の厚みＨに等しい高さでベース面２３から立ち上
がる細柱体４７とを備える。細柱体４７は、スライダ幅
方向に規定されるレール本体４６の基準幅Ｗ１よりも小
さい狭小幅Ｗ２で形成される。第１後方空気軸受け面３
１ａは、レール本体４６の頂上面と、この頂上面に連続
する細柱体４７の頂上面とにわたって規定される。
【００３４】磁気ディスク１３の静止中、例えば図４に
示されるように、浮上ヘッドスライダ１４のスライダ本
体２２は磁気ディスク１３の表面に支持される。このと
き、スライダ本体２２は４つの吸着防止突起４３、４４
で磁気ディスク１３の表面に接触する。前方空気軸受け
面２７並びに第１および第２後方空気軸受け面３１ａ、
３１ｂと磁気ディスク１３との接触は回避される。した
がって、空気軸受け面２７、３１ａ、３１ｂで磁気ディ
スク１３の表面に接触する場合に比べて、スライダ本体
２２と磁気ディスク１３との接触面積は著しく減少す
る。その結果、磁気ディスク１３の表面に広がる潤滑剤
すなわち潤滑油膜からスライダ本体２２に作用する吸着
力（メニスカス効果）は著しく弱められる。
示されるように、浮上ヘッドスライダ１４のスライダ本
体２２は磁気ディスク１３の表面に支持される。このと
き、スライダ本体２２は４つの吸着防止突起４３、４４
で磁気ディスク１３の表面に接触する。前方空気軸受け
面２７並びに第１および第２後方空気軸受け面３１ａ、
３１ｂと磁気ディスク１３との接触は回避される。した
がって、空気軸受け面２７、３１ａ、３１ｂで磁気ディ
スク１３の表面に接触する場合に比べて、スライダ本体
２２と磁気ディスク１３との接触面積は著しく減少す
る。その結果、磁気ディスク１３の表面に広がる潤滑剤
すなわち潤滑油膜からスライダ本体２２に作用する吸着
力（メニスカス効果）は著しく弱められる。
【００３５】しかも、この浮上ヘッドスライダ１４で
は、前方空気軸受け面２７や第１および第２後方空気軸
受け面３１ａ、３１ｂから落差ｈ（＝２５０ｎｍ程度）
で落ち込んだ低レベル面２９やサイドレール４１の頂上
面から吸着防止突起４３、４４は立ち上がる。したがっ
て、吸着防止突起４３、４４には十分な高さＤ（＝２０
０ｎｍ〜３００ｎｍ程度）が確保されることができる。
例えば空気軸受け面上に吸着防止突起が形成される場合
には、３０ｎｍ程度までしか吸着防止突起の高さを確保
することはできない。このように吸着防止突起が低い
と、優れた潤滑作用を発揮する膜厚１０ｎｍ〜２０ｎｍ
程度の潤滑油膜に対してメニスカス効果は十分に抑制さ
れることはできない。
は、前方空気軸受け面２７や第１および第２後方空気軸
受け面３１ａ、３１ｂから落差ｈ（＝２５０ｎｍ程度）
で落ち込んだ低レベル面２９やサイドレール４１の頂上
面から吸着防止突起４３、４４は立ち上がる。したがっ
て、吸着防止突起４３、４４には十分な高さＤ（＝２０
０ｎｍ〜３００ｎｍ程度）が確保されることができる。
例えば空気軸受け面上に吸着防止突起が形成される場合
には、３０ｎｍ程度までしか吸着防止突起の高さを確保
することはできない。このように吸着防止突起が低い
と、優れた潤滑作用を発揮する膜厚１０ｎｍ〜２０ｎｍ
程度の潤滑油膜に対してメニスカス効果は十分に抑制さ
れることはできない。
【００３６】ＨＤＤ１０が情報の書き込み指令や読み出
し指令を受け取ると、スピンドルモータ１２は磁気ディ
スク１３を回転させる。磁気ディスク１３の回転に応じ
て磁気ディスク１３の表面に沿って気流が生じると、こ
の気流が前方空気軸受け面２７並びに第１および第２後
方空気軸受け面３１ａ、３１ｂに作用し、スライダ本体
２２は磁気ディスク１３の表面から浮上することができ
る。スライダ本体２２の浮上中、磁気ディスク１３の表
面に対向するヘッド素子は、読み出しおよび書き込みギ
ャップ３８を通じて情報の書き込みや読み出しを実現す
る。
し指令を受け取ると、スピンドルモータ１２は磁気ディ
スク１３を回転させる。磁気ディスク１３の回転に応じ
て磁気ディスク１３の表面に沿って気流が生じると、こ
の気流が前方空気軸受け面２７並びに第１および第２後
方空気軸受け面３１ａ、３１ｂに作用し、スライダ本体
２２は磁気ディスク１３の表面から浮上することができ
る。スライダ本体２２の浮上中、磁気ディスク１３の表
面に対向するヘッド素子は、読み出しおよび書き込みギ
ャップ３８を通じて情報の書き込みや読み出しを実現す
る。
【００３７】一般に、スライダ本体２２は、キャリッジ
アーム１６の先端にサスペンションすなわち支持ばね５
１を介して支持される。キャリッジアーム１６の働きに
よってスライダ本体２２の動きは規制される一方で、支
持ばね５１の働きによってわずかな動きは許容される。
いま、磁気ディスク１３が回転し始めると、磁気ディス
ク１３の表面は順方向ＮＯＲに移動する。このとき、ス
ライダ本体２２には、前方の吸着防止突起４３を支点に
モーメントＭ１が働く。こうしたモーメントＭ１は、前
方の吸着防止突起４３を支点にスライダ本体２２を前の
めりに傾かせようとする。しかしながら、前方の吸着防
止突起４３はスライダ本体２２の空気流入端に配置され
ることから、モーメントＭ１の働きに拘わらずスライダ
本体２２の傾きは阻止される。
アーム１６の先端にサスペンションすなわち支持ばね５
１を介して支持される。キャリッジアーム１６の働きに
よってスライダ本体２２の動きは規制される一方で、支
持ばね５１の働きによってわずかな動きは許容される。
いま、磁気ディスク１３が回転し始めると、磁気ディス
ク１３の表面は順方向ＮＯＲに移動する。このとき、ス
ライダ本体２２には、前方の吸着防止突起４３を支点に
モーメントＭ１が働く。こうしたモーメントＭ１は、前
方の吸着防止突起４３を支点にスライダ本体２２を前の
めりに傾かせようとする。しかしながら、前方の吸着防
止突起４３はスライダ本体２２の空気流入端に配置され
ることから、モーメントＭ１の働きに拘わらずスライダ
本体２２の傾きは阻止される。
【００３８】これまで、スピンドルモータ１２の起動時
に回転軸すなわち磁気ディスク１３は逆回転することは
なかった。なぜなら、これまで主流であったスピンドル
モータでは、ホール素子を用いて回転軸すなわちロータ
の回転位置が検出され、検出された回転位置に応じてき
め細かくロータの回転が制御されたからである。磁気デ
ィスク１３の回転開始時に、ロータ側の磁石とステータ
側のコイルとの間で相対位置関係が検知され、検知され
た結果に応じてコイルが通電されることから、ロータの
逆回転を阻止する制御が実現されることができた。
に回転軸すなわち磁気ディスク１３は逆回転することは
なかった。なぜなら、これまで主流であったスピンドル
モータでは、ホール素子を用いて回転軸すなわちロータ
の回転位置が検出され、検出された回転位置に応じてき
め細かくロータの回転が制御されたからである。磁気デ
ィスク１３の回転開始時に、ロータ側の磁石とステータ
側のコイルとの間で相対位置関係が検知され、検知され
た結果に応じてコイルが通電されることから、ロータの
逆回転を阻止する制御が実現されることができた。
【００３９】いわゆるホールレスモータでは、ホース素
子を省略することによってモータの小型化が図られてい
る。こうしたホールレスモータでは、起動時にロータ側
の磁石とステータ側のコイルとの間で相対位置関係が検
出されることなくコイルは通電されることから、ロータ
とステータとの相対位置関係によってはロータすなわち
回転軸が逆回転してしまうことがある。
子を省略することによってモータの小型化が図られてい
る。こうしたホールレスモータでは、起動時にロータ側
の磁石とステータ側のコイルとの間で相対位置関係が検
出されることなくコイルは通電されることから、ロータ
とステータとの相対位置関係によってはロータすなわち
回転軸が逆回転してしまうことがある。
【００４０】こうして回転開始時に磁気ディスク１３が
逆回転すると、図４から明らかなように、磁気ディスク
１３の表面は逆方向ＲＥＶに移動する。スライダ本体２
２には、後方の吸着防止突起４４を支点に逆向きにモー
メントＭ２が働く。こうしたモーメントＭ２が作用する
と、スライダ本体２２は後方の吸着防止突起４４を支点
に傾きやすい。なぜなら、前述したように、後方の吸着
防止突起４４は、空気流出端から空気流入側に大きく偏
倚して配置されるからである。こうしてスライダ本体２
２が磁気ディスク１３上で傾くと、スライダ本体２２の
空気流出端が磁気ディスク１３の表面に接触してしま
う。
逆回転すると、図４から明らかなように、磁気ディスク
１３の表面は逆方向ＲＥＶに移動する。スライダ本体２
２には、後方の吸着防止突起４４を支点に逆向きにモー
メントＭ２が働く。こうしたモーメントＭ２が作用する
と、スライダ本体２２は後方の吸着防止突起４４を支点
に傾きやすい。なぜなら、前述したように、後方の吸着
防止突起４４は、空気流出端から空気流入側に大きく偏
倚して配置されるからである。こうしてスライダ本体２
２が磁気ディスク１３上で傾くと、スライダ本体２２の
空気流出端が磁気ディスク１３の表面に接触してしま
う。
【００４１】本発明に係る浮上ヘッドスライダ１４で
は、磁気ディスク１３の逆回転時に空気流出端が磁気デ
ィスク１３の表面に接触しても、細柱体４７の頂上面の
働きによってスライダ本体２２と磁気ディスク１３の表
面との間では接触面積の増大は抑制される。しかも、第
１および第２後方空気軸受け面３１ａ、３１ｂに形成さ
れる溝３６、３７は、スライダ本体２２と磁気ディスク
１３の表面との間で接触面積の一層の減少を実現する。
したがって、磁気ディスク１３の表面に広がる潤滑油膜
や水分から大きな吸着力がスライダ本体２２に伝わるこ
とは阻止される。スライダ本体２２と磁気ディスク１３
の表面との間に大きな吸着力や摩擦力は生じることはな
く、吸着力や摩擦力の増大に起因する磁気ディスク１３
の回転不良は回避されることができる。スピンドルモー
タ１２のトルクが小さくても、磁気ディスク１３は正常
どおりに回転し始めることができる。
は、磁気ディスク１３の逆回転時に空気流出端が磁気デ
ィスク１３の表面に接触しても、細柱体４７の頂上面の
働きによってスライダ本体２２と磁気ディスク１３の表
面との間では接触面積の増大は抑制される。しかも、第
１および第２後方空気軸受け面３１ａ、３１ｂに形成さ
れる溝３６、３７は、スライダ本体２２と磁気ディスク
１３の表面との間で接触面積の一層の減少を実現する。
したがって、磁気ディスク１３の表面に広がる潤滑油膜
や水分から大きな吸着力がスライダ本体２２に伝わるこ
とは阻止される。スライダ本体２２と磁気ディスク１３
の表面との間に大きな吸着力や摩擦力は生じることはな
く、吸着力や摩擦力の増大に起因する磁気ディスク１３
の回転不良は回避されることができる。スピンドルモー
タ１２のトルクが小さくても、磁気ディスク１３は正常
どおりに回転し始めることができる。
【００４２】本発明者は、磁気ディスク１３の表面でス
ライダ本体２２を動かし始める際に必要とされる力を実
測してみた。この力は、磁気ディスク１３の表面に広が
る潤滑油膜からスライダ本体２２に作用する摩擦力すな
わち吸着力に相当する。この摩擦力の実測にあたって３
通りのスライダ本体２２が用意された。各スライダ本体
２２では、リアレール２５ａの狭小幅はＷ２＝２００μ
ｍ、１５０μｍ、１００μｍに各々設定された。ただ
し、リアレール２５ａの基準幅はいずれのスライダ本体
２２でもＷ１＝２００μｍに設定された。各スライダ本
体２２ごとに、膜厚ｔ＝１５ｎｍおよびｔ＝２０ｎｍの
潤滑油膜に対して摩擦力は測定された。図５から明らか
なように、潤滑油膜の膜厚の大きさに拘わらずリアレー
ル２５ａすなわち細柱体４７の狭小幅Ｗ２が小さくなる
ほど摩擦力は小さくなることが確認された。
ライダ本体２２を動かし始める際に必要とされる力を実
測してみた。この力は、磁気ディスク１３の表面に広が
る潤滑油膜からスライダ本体２２に作用する摩擦力すな
わち吸着力に相当する。この摩擦力の実測にあたって３
通りのスライダ本体２２が用意された。各スライダ本体
２２では、リアレール２５ａの狭小幅はＷ２＝２００μ
ｍ、１５０μｍ、１００μｍに各々設定された。ただ
し、リアレール２５ａの基準幅はいずれのスライダ本体
２２でもＷ１＝２００μｍに設定された。各スライダ本
体２２ごとに、膜厚ｔ＝１５ｎｍおよびｔ＝２０ｎｍの
潤滑油膜に対して摩擦力は測定された。図５から明らか
なように、潤滑油膜の膜厚の大きさに拘わらずリアレー
ル２５ａすなわち細柱体４７の狭小幅Ｗ２が小さくなる
ほど摩擦力は小さくなることが確認された。
【００４３】ここで、以上のような浮上ヘッドスライダ
１４の製造方法を簡単に説明する。まず、周知のとお
り、表面にアルミナ膜が積層されたアルチック製のウェ
ハー表面に多数の磁気ヘッド素子を形成する。磁気ヘッ
ド素子は、１スライダ本体２２に切り出される１ブロッ
クごとに形成される。直径５インチのウェハーでは、例
えば１００ｘ１００＝１００００個のスライダ本体２２
が切り出されることができる。形成された磁気ヘッド素
子はアルミナ膜によって覆われる。こうしてウェハー上
では、厚み５０μｍ程度のアルミナ保護膜に埋め込まれ
た磁気ヘッド素子が形成される。
１４の製造方法を簡単に説明する。まず、周知のとお
り、表面にアルミナ膜が積層されたアルチック製のウェ
ハー表面に多数の磁気ヘッド素子を形成する。磁気ヘッ
ド素子は、１スライダ本体２２に切り出される１ブロッ
クごとに形成される。直径５インチのウェハーでは、例
えば１００ｘ１００＝１００００個のスライダ本体２２
が切り出されることができる。形成された磁気ヘッド素
子はアルミナ膜によって覆われる。こうしてウェハー上
では、厚み５０μｍ程度のアルミナ保護膜に埋め込まれ
た磁気ヘッド素子が形成される。
【００４４】こうして磁気ヘッド素子が形成されると、
前述のブロックが一列に並んだウェハーバーがウェハー
から切り出される。切り出されたウェハーバーの切断面
にはスライダ本体２２の浮上面２１が形作られる。その
後、ウェハーバーから各ブロックごとにスライダ本体２
２は切り出される。
前述のブロックが一列に並んだウェハーバーがウェハー
から切り出される。切り出されたウェハーバーの切断面
にはスライダ本体２２の浮上面２１が形作られる。その
後、ウェハーバーから各ブロックごとにスライダ本体２
２は切り出される。
【００４５】浮上面２１を形成するにあたって、図６
（ａ）に示されるように、ウェハーバーの切断面５２
に、膜厚５ｎｍ程度の第１ＤＬＣ（ダイヤモンドライク
カーボン）層５３がスパッタリングなどによって形成さ
れる。この第１ＤＬＣ層５３は、膜厚２ｎｍ程度のＳｉ
密着層またはＳｉＣ密着層を介して切断面５２に積層さ
れる。こうした密着層は例えばスパッタリングなどによ
って形成されればよい。第１ＤＬＣ層５３は切断面５２
すなわちスライダ本体２２の浮上面２１を保護する保護
膜として機能する。この第１ＤＬＣ層５３に、再びＳｉ
密着層またはＳｉＣ密着層を介して第２ＤＬＣ層５４が
積層される。第２ＤＬＣ層５４の膜厚は例えば３０〜４
０ｎｍ程度に設定される。
（ａ）に示されるように、ウェハーバーの切断面５２
に、膜厚５ｎｍ程度の第１ＤＬＣ（ダイヤモンドライク
カーボン）層５３がスパッタリングなどによって形成さ
れる。この第１ＤＬＣ層５３は、膜厚２ｎｍ程度のＳｉ
密着層またはＳｉＣ密着層を介して切断面５２に積層さ
れる。こうした密着層は例えばスパッタリングなどによ
って形成されればよい。第１ＤＬＣ層５３は切断面５２
すなわちスライダ本体２２の浮上面２１を保護する保護
膜として機能する。この第１ＤＬＣ層５３に、再びＳｉ
密着層またはＳｉＣ密着層を介して第２ＤＬＣ層５４が
積層される。第２ＤＬＣ層５４の膜厚は例えば３０〜４
０ｎｍ程度に設定される。
【００４６】図６（ｂ）に示されるように、第２ＤＬＣ
層５４の表面には、吸着防止突起４３、４４の輪郭を象
ったフォトレジスト５５が形成される。反応性イオンエ
ッチング（ＲＩＥ）が実施されると、フォトレジスト５
５の周囲で第２ＤＬＣ層５４および密着層は削り取られ
ていく。その結果、フォトレジスト５５の下方では、図
６（ｃ）に示されるように、第２ＤＬＣ層５４から吸着
防止突起４３、４４の先端部分は削り出される。
層５４の表面には、吸着防止突起４３、４４の輪郭を象
ったフォトレジスト５５が形成される。反応性イオンエ
ッチング（ＲＩＥ）が実施されると、フォトレジスト５
５の周囲で第２ＤＬＣ層５４および密着層は削り取られ
ていく。その結果、フォトレジスト５５の下方では、図
６（ｃ）に示されるように、第２ＤＬＣ層５４から吸着
防止突起４３、４４の先端部分は削り出される。
【００４７】次に図７（ａ）に示されるように、露出し
た第１ＤＬＣ層５３の表面には、前方空気軸受け面２７
や第１および第２後方空気軸受け面３１ａ、３１ｂの輪
郭を象ったフォトレジスト５６が形成される。イオンミ
ルが実施されると、フォトレジスト５６の周囲で第１Ｄ
ＬＣ層５３および密着層やウェハーバーの本体すなわち
アルチックは削り取られていく。その結果、フォトレジ
スト５６の下方では、図７（ｂ）に示されるように、前
方空気軸受け面２７や第１および第２後方空気軸受け面
３１ａ、３１ｂの輪郭は削り出されていく。第１および
第２後方空気軸受け面３１ａ、３１ｂの輪郭を削り出す
にあたって、溝３６、３７が同時に形成されてもよい。
た第１ＤＬＣ層５３の表面には、前方空気軸受け面２７
や第１および第２後方空気軸受け面３１ａ、３１ｂの輪
郭を象ったフォトレジスト５６が形成される。イオンミ
ルが実施されると、フォトレジスト５６の周囲で第１Ｄ
ＬＣ層５３および密着層やウェハーバーの本体すなわち
アルチックは削り取られていく。その結果、フォトレジ
スト５６の下方では、図７（ｂ）に示されるように、前
方空気軸受け面２７や第１および第２後方空気軸受け面
３１ａ、３１ｂの輪郭は削り出されていく。第１および
第２後方空気軸受け面３１ａ、３１ｂの輪郭を削り出す
にあたって、溝３６、３７が同時に形成されてもよい。
【００４８】こうして空気軸受け面２７、３１ａ、３１
ｂが削り出されると、吸着防止突起４３、４４は同時に
完成する。イオンミルにあたって、第２ＤＬＣ層５４か
ら削り出された吸着防止突起４３、４４の先端部分がフ
ォトレジスト５５、５６によって覆われれば、吸着防止
突起４３、４４の先端は削り取られることはない。した
がって、吸着防止突起４３、４４では、規定とおりにＤ
＝２００ｎｍ〜３００ｎｍ程度の高さは確保される。
ｂが削り出されると、吸着防止突起４３、４４は同時に
完成する。イオンミルにあたって、第２ＤＬＣ層５４か
ら削り出された吸着防止突起４３、４４の先端部分がフ
ォトレジスト５５、５６によって覆われれば、吸着防止
突起４３、４４の先端は削り取られることはない。した
がって、吸着防止突起４３、４４では、規定とおりにＤ
＝２００ｎｍ〜３００ｎｍ程度の高さは確保される。
【００４９】次に図８（ａ）に示されるように、ウェハ
ーバーの切断面５２には、フロントレール２４、サイド
レール４１およびリアレール２５ａ、２５ｂの輪郭を象
ったフォトレジスト５８が形成される。フォトレジスト
５８は、削り出された空気軸受け面２７、３１ａ、３１
ｂや吸着防止突起４３、４４を覆う。続いてイオンミル
が実施されると、フォトレジスト５８の周囲でウェハー
バーの本体すなわちアルチックはさらに深く削り取られ
ていく。その結果、フォトレジスト５８の下方では、図
８（ｂ）に示されるように、フロントレール２４、サイ
ドレール４１およびリアレール２５ａ、２５ｂは削り出
される。
ーバーの切断面５２には、フロントレール２４、サイド
レール４１およびリアレール２５ａ、２５ｂの輪郭を象
ったフォトレジスト５８が形成される。フォトレジスト
５８は、削り出された空気軸受け面２７、３１ａ、３１
ｂや吸着防止突起４３、４４を覆う。続いてイオンミル
が実施されると、フォトレジスト５８の周囲でウェハー
バーの本体すなわちアルチックはさらに深く削り取られ
ていく。その結果、フォトレジスト５８の下方では、図
８（ｂ）に示されるように、フロントレール２４、サイ
ドレール４１およびリアレール２５ａ、２５ｂは削り出
される。
【００５０】このとき、リアレール２５ａでは、レール
本体４６および細柱体４７は同時に削り出される。第１
後方空気軸受け面３１ａの空気流出端を小さく形成する
にあたって、新たな加工工程が加えられる必要はない。
したがって、製造工程の増大や複雑化を招くことなく、
比較的に簡単に第１後方空気軸受け面３１ａの縮小化は
実現されることができる。
本体４６および細柱体４７は同時に削り出される。第１
後方空気軸受け面３１ａの空気流出端を小さく形成する
にあたって、新たな加工工程が加えられる必要はない。
したがって、製造工程の増大や複雑化を招くことなく、
比較的に簡単に第１後方空気軸受け面３１ａの縮小化は
実現されることができる。
【００５１】フォトレジスト５８が除去されると、フロ
ントレール２４やサイドレール４１、リアレール２５
ａ、２５ｂの頂上面には、頂上面で第１ＤＬＣ層５３を
露出させる前方空気軸受け面２７や第１および第２後方
空気軸受け面３１ａ、３１ｂに加えて、頂上面で第２Ｄ
ＬＣ層５４を露出させる吸着防止突起４３、４４が現れ
る。各空気軸受け面２７、３１ａ、３１ｂの空気流入端
には段差２８、３２、３３が規定される。こうして浮上
面２１は完成する。
ントレール２４やサイドレール４１、リアレール２５
ａ、２５ｂの頂上面には、頂上面で第１ＤＬＣ層５３を
露出させる前方空気軸受け面２７や第１および第２後方
空気軸受け面３１ａ、３１ｂに加えて、頂上面で第２Ｄ
ＬＣ層５４を露出させる吸着防止突起４３、４４が現れ
る。各空気軸受け面２７、３１ａ、３１ｂの空気流入端
には段差２８、３２、３３が規定される。こうして浮上
面２１は完成する。
【００５２】なお、以上のような浮上ヘッドスライダ１
４では、前述のようにリアレール２５ａが空気流出端に
向かって先細るだけでなく、同時にリアレール２５ｂが
空気流出端に向かって先細ってもよい。また、例えば図
９に示されるように、前述のような２つのリアレール２
５ａ、２５ｂに代えて単一のリアレール６１が用いられ
てもよい。こうした単一のリアレール６１は例えばスラ
イダ本体２２のスライダ幅方向中央に配置されればよ
い。さらに、以上のような浮上ヘッドスライダ１４は、
前述のようなハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）を始め
とする磁気ディスク駆動装置のほか、光磁気ディスク駆
動装置やその他の様々な記録ディスク駆動装置や記録媒
体駆動装置に組み込まれて使用されてもよい。
４では、前述のようにリアレール２５ａが空気流出端に
向かって先細るだけでなく、同時にリアレール２５ｂが
空気流出端に向かって先細ってもよい。また、例えば図
９に示されるように、前述のような２つのリアレール２
５ａ、２５ｂに代えて単一のリアレール６１が用いられ
てもよい。こうした単一のリアレール６１は例えばスラ
イダ本体２２のスライダ幅方向中央に配置されればよ
い。さらに、以上のような浮上ヘッドスライダ１４は、
前述のようなハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）を始め
とする磁気ディスク駆動装置のほか、光磁気ディスク駆
動装置やその他の様々な記録ディスク駆動装置や記録媒
体駆動装置に組み込まれて使用されてもよい。
【００５３】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、製造工程
の簡略化を実現しつつも、磁気ディスクといった記録媒
体の静止時に記録媒体から作用する吸着力を十分に抑制
することが可能な浮上ヘッドスライダを提供することが
できる。
の簡略化を実現しつつも、磁気ディスクといった記録媒
体の静止時に記録媒体から作用する吸着力を十分に抑制
することが可能な浮上ヘッドスライダを提供することが
できる。
【図１】 ハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）の構造を
概略的に示す平面図である。
概略的に示す平面図である。
【図２】 本発明に係る浮上ヘッドスライダの構造を概
略的に示す拡大斜視図である。
略的に示す拡大斜視図である。
【図３】 スライダ本体の浮上面の様子を示す平面図で
ある。
ある。
【図４】 磁気ディスクの静止時に磁気ディスクの表面
に接触するスライダ本体の様子を概略的に示す側面図で
ある。
に接触するスライダ本体の様子を概略的に示す側面図で
ある。
【図５】 スライダ幅方向に規定されるリアレールの大
きさＷ２と摩擦力との相関関係を示すグラフである。
きさＷ２と摩擦力との相関関係を示すグラフである。
【図６】 浮上面の形成工程を概略的に示すウェハーバ
ーの一部拡大断面図である。
ーの一部拡大断面図である。
【図７】 浮上面の形成工程を概略的に示すウェハーバ
ーの一部拡大断面図である。
ーの一部拡大断面図である。
【図８】 浮上面の形成工程を概略的に示すウェハーバ
ーの一部拡大断面図である。
ーの一部拡大断面図である。
【図９】 他の実施形態に係る浮上ヘッドスライダの構
造を概略的に示す平面図である。
造を概略的に示す平面図である。
１０ 記録ディスク駆動装置としてのハードディスク駆
動装置（ＨＤＤ）、１４，１４ａ 浮上ヘッドスライ
ダ、２１ 媒体対向面としての浮上面、２２ スライダ
本体、２３ 媒体対向面のベース面、２５ａ，２５ｂ
リアレール、２７前方空気軸受け面、３１ａ 後方空気
軸受け面、３２ 段差、４３，４４ 吸着防止突起、４
６ レール本体、４７ 細柱体、６１ リアレール。
動装置（ＨＤＤ）、１４，１４ａ 浮上ヘッドスライ
ダ、２１ 媒体対向面としての浮上面、２２ スライダ
本体、２３ 媒体対向面のベース面、２５ａ，２５ｂ
リアレール、２７前方空気軸受け面、３１ａ 後方空気
軸受け面、３２ 段差、４３，４４ 吸着防止突起、４
６ レール本体、４７ 細柱体、６１ リアレール。
Claims (6)
- 【請求項１】 スライダ本体の空気流入側で媒体対向面
に規定される前方空気軸受け面と、スライダ本体の空気
流出側で媒体対向面に規定される後方空気軸受け面と、
後方空気軸受け面の空気流入側で少なくとも後方空気軸
受け面よりも高い頂上を規定する吸着防止突起と、頂上
面で後方空気軸受け面を規定し、媒体対向面のベース面
上に所定の厚みで広がるレールと、後方空気軸受け面の
空気流入端でレールの頂上面に形成される段差とを備
え、前記レールはスライダ本体の空気流出端に向かって
スライダ幅方向に先細ることを特徴とする浮上ヘッドス
ライダ。 - 【請求項２】 請求項１に記載の浮上ヘッドスライダに
おいて、前記吸着防止突起は、少なくとも前記後方空気
軸受け面よりも低い位置から立ち上がることを特徴とす
る浮上ヘッドスライダ。 - 【請求項３】 スライダ本体の媒体対向面に規定される
空気軸受け面と、空気軸受け面の空気流入側で空気軸受
け面よりも高い頂上を規定する吸着防止突起と、頂上面
で空気軸受け面を規定し、媒体対向面のベース面上に所
定の厚みで広がるレールと、空気軸受け面の空気流入端
でレールの頂上面に形成される段差とを備え、前記レー
ルはスライダ本体の空気流出端に向かってスライダ幅方
向に先細ることを特徴とする浮上ヘッドスライダ。 - 【請求項４】 スライダ本体の空気流入側で媒体対向面
のベース面から立ち上がるフロントレールと、フロント
レールの頂上面で規定される前方空気軸受け面と、スラ
イダ本体の空気流出側で媒体対向面のベース面上に所定
の厚みで広がるレール本体と、レール本体の空気流出端
に一体に形成され、レール本体の頂上面よりもスライダ
幅方向に狭い頂上面を規定しつつレール本体の厚みに等
しい高さでベース面から立ち上がる細柱体と、連続する
レール本体および細柱体の頂上面で規定される後方空気
軸受け面と、後方空気軸受け面の空気流入端でレール本
体の頂上面に形成される段差と、後方空気軸受け面の空
気流入側で少なくとも後方空気軸受け面よりも高い頂上
を規定する吸着防止突起とを備えることを特徴とする浮
上ヘッドスライダ。 - 【請求項５】 請求項４に記載の浮上ヘッドスライダに
おいて、前記吸着防止突起は、少なくとも前記後方空気
軸受け面よりも低い位置から立ち上がることを特徴とす
る浮上ヘッドスライダ。 - 【請求項６】 スライダ本体の媒体対向面でベース面か
ら立ち上がり、所定の厚みでスライダ本体の空気流出端
に向かって延びるレール本体と、レール本体の空気流出
端に一体に形成され、レール本体の頂上面よりもスライ
ダ幅方向に狭い頂上面を規定しつつレール本体の厚みに
等しい高さでベース面から立ち上がる細柱体と、連続す
るレール本体および細柱体の頂上面で規定される空気軸
受け面と、空気軸受け面の空気流入端でレール本体の頂
上面に形成される段差と、空気軸受け面の空気流入側で
少なくとも空気軸受け面よりも高い頂上を規定する吸着
防止突起とを備えることを特徴とする浮上ヘッドスライ
ダ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33260699A JP3825214B2 (ja) | 1999-11-24 | 1999-11-24 | 浮上ヘッドスライダ |
| US09/606,424 US6424494B1 (en) | 1999-11-24 | 2000-06-29 | Flying head slider having rail narrowed near trailing end |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33260699A JP3825214B2 (ja) | 1999-11-24 | 1999-11-24 | 浮上ヘッドスライダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001148174A true JP2001148174A (ja) | 2001-05-29 |
| JP3825214B2 JP3825214B2 (ja) | 2006-09-27 |
Family
ID=18256837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33260699A Expired - Fee Related JP3825214B2 (ja) | 1999-11-24 | 1999-11-24 | 浮上ヘッドスライダ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6424494B1 (ja) |
| JP (1) | JP3825214B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1349153A1 (en) * | 2002-03-28 | 2003-10-01 | Fujitsu Limited | Recording medium drive and head slider |
| CN1307615C (zh) * | 2002-01-30 | 2007-03-28 | 松下电器产业株式会社 | 磁头滑块及盘片记录再生装置 |
| WO2009013824A1 (ja) * | 2007-07-25 | 2009-01-29 | Fujitsu Limited | 磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置 |
| JP2010152991A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気ヘッドスライダ、磁気ヘッドスライダを搭載した磁気ディスク装置、および磁気ヘッドスライダの製造方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6373661B1 (en) | 1998-04-28 | 2002-04-16 | Hitachi, Ltd. | Magnetic head slider and a magnetic disk device in which the slider is mounted |
| JP3366609B2 (ja) * | 1999-12-27 | 2003-01-14 | アルプス電気株式会社 | 磁気ヘッドおよび磁気記録装置 |
| JP3444256B2 (ja) * | 2000-01-18 | 2003-09-08 | 株式会社日立製作所 | 磁気ディスク装置 |
| US7193805B1 (en) | 2000-03-20 | 2007-03-20 | Maxtor Corporation | Flying-type disk drive slider with micropad |
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