JP2002237007A - 磁気機能装置および前記磁気機能装置を用いた磁気ヘッド装置 - Google Patents

磁気機能装置および前記磁気機能装置を用いた磁気ヘッド装置

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JP2002237007A
JP2002237007A JP2001036499A JP2001036499A JP2002237007A JP 2002237007 A JP2002237007 A JP 2002237007A JP 2001036499 A JP2001036499 A JP 2001036499A JP 2001036499 A JP2001036499 A JP 2001036499A JP 2002237007 A JP2002237007 A JP 2002237007A
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JP2001036499A
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Tomoo Otsuka
智雄 大塚
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Alps Alpine Co Ltd
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Alps Electric Co Ltd
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    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion

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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の磁気機能装置では、支持体の設計の自
由度が低く、耐食性を向上させることができなかった。 【解決手段】 磁気素子２２は、トレーリング側ＡＢＳ
面２５の両側端部２５ｂよりもスライダの両側端部側に
はみ出した下部シールド層３０及び上部シールド層３１
の外側部分３０ａ、３１ａは保護層２３から露出しない
ように、前記外側部分３０ａ、３１ａが磁気機能部Ｇよ
りも後退する形状である。これにより磁気機能部Ｇとデ
ィスク間の浮上量の狭小化を図ると共にスライダの設計
の自由度を挙げることができ、耐食性に優れた高記録密
度化に対応可能な磁気ヘッドＭ２を製造できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスク装
置や磁気センサなどに搭載される磁気機能装置および前
記磁気機能装置を用いた磁気ヘッド装置に係わり、特に
支持体の形状の自由度を増すことができると共に、耐食
性を向上させることが可能な磁気機能装置および前記磁
気機能装置を用いた磁気ヘッド装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１１は従来のハードディスク装置など
に用いられる磁気ヘッド（磁気気機能装置）Ｍ１を、デ
ィスクとの対向面を上向きにして示した斜視図である。
【０００３】図１１に示すように、磁気ヘッドＭ１を構
成するスライダＳ１のトレーリング側端面には、磁気抵
抗効果を利用した磁気再生素子及びインダクティブ型の
薄膜記録素子を有する磁気素子１が設けられており、前
記磁気素子１の磁気機能部Ｇがスライダ表面に現れてい
る。前記磁気機能部Ｇは、磁気再生素子の場合、スピン
バルブ型薄膜素子などの磁気検出素子であり、薄膜記録
素子の場合、上部コア層と下部コア層間の対向部分であ
る。
【０００４】前記スライダＳ１のスライダ表面には、デ
ィスクとスライダＳ１との間の空気流により浮上力（正
圧）を受ける、リーディング側ＡＢＳ面４及びトレーリ
ング側ＡＢＳ面５が記録媒体対向面２から隆起形成され
ている。
【０００５】また前記記録媒体対向面２には、前記リー
ディング側ＡＢＳ面４とトレーリング側ＡＢＳ面５に囲
まれたスライダＳ１に対して負圧を与える溝（エアーグ
ルーブ）６が設けられている。
【０００６】図１５に示すように、前記磁気ヘッドＭ１
を支持する支持部材は、剛性を有し且つ基端部で所定の
ばね圧を発揮するロードビーム１１と、その先部に設け
られた薄い板ばねのフレキシャ７とを有し、このフレキ
シャ７に、スライダＳ１の上面が接着されている。そし
て前記磁気ヘッドＭ１は、フレキシャ７の支持端７ａを
揺動支点として、ピッチ方向に動くことが可能になって
いる。
【０００７】ディスクＤが回転したときのディスク表面
の空気流は、リーディング側からディスクＤと磁気ヘッ
ドＭ１との間に流入する。この空気流により、ＡＢＳ面
４、５に対しては磁気ヘッドＭ１を浮上させる方向への
正圧が作用する。
【０００８】そして磁気ヘッドＭ１はリーディング側が
ディスクから持ち上げられた傾斜姿勢で浮上し、前記磁
気ヘッドＭ１のトレーリング側がディスクＤからわずか
に浮上した姿勢でディスク表面を走査する。図１５では
磁気素子１の磁気機能部Ｇの部分から、ディスクＤまで
の浮上量がＸ１となっている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】図１２は、図１１に示
すトレーリング側ＡＢＳ面５の周囲部分のみを拡大した
部分平面図である。
【００１０】図１２に示すように、前記トレーリング側
ＡＢＳ面５には、磁気素子１を構成する上部コア層８や
上部シールド層（下部コア層）９、下部シールド層１０
の磁性材料製の層が現れている。また前記上部シールド
層９と下部シールド層１０間には、図示されていないが
巨大磁気抵抗効果素子（ＧＭＲ素子）などの磁気抵抗効
果素子が現れている。前記磁気素子１の磁気機能部Ｇ
は、前記上部コア層８と上部シールド層９間の間隔、さ
らには前記上部シールド層９と磁気抵抗効果素子間、前
記下部シールド層１０と磁気抵抗効果素子間の間隔で決
定される。
【００１１】図１２に示すように、前記上部シールド層
９や下部シールド層１０は、前記磁気機能部Ｇよりもス
ライダＳ１の幅方向（図示Ｘ方向）に延びて形成されて
おり、前記下部コア層９及び下部シールド層１０の幅寸
法はＴ１である。
【００１２】従来では、トレーリング側ＡＢＳ面５に露
出した前記下部コア層９及び下部シールド層１０の両側
端部が前記トレーリング側ＡＢＳ面５からはみ出さない
ように、前記トレーリング側ＡＢＳ面５のスライダＳ１
幅方向の幅寸法Ｔ２は、前記下部コア層９や下部シール
ド層１０の幅寸法Ｔ１よりも長く形成されていた。
【００１３】しかしながら図１２に示す形態であると次
のような問題が発生した。すなわち今後の高記録密度化
に伴い、前記磁気機能部ＧとディスクＤ間の浮上量Ｘ１
（図１５を参照のこと）がさらに狭小化されると、前記
トレーリング側ＡＢＳ面５のトレーリング側角部ＡやＢ
が、ディスクＤに衝突しやすくなる。特に磁気ヘッドＭ
１がディスクＤ上を走査中にロール方向（図１１を参照
のこと）に大きく傾くと、なおさら前記角部Ａ、Ｂは前
記ディスクＤに衝突しやすくなる。
【００１４】上記問題を解決するため、図１３に示すよ
うに、前記トレーリング側ＡＢＳ面５のスライダＳ１幅
方向の幅寸法をＴ２からＴ３に小さくする必要があっ
た。
【００１５】これによって前記トレーリング側ＡＢＳ面
５の角部Ａ、Ｂは前記磁気機能部Ｇに近づくため、高記
録密度化において、前記磁気機能部ＧとディスクＤ間の
浮上量を小さくしても、前記角部Ａ、Ｂが前記ディスク
Ｄに衝突するのを適切に防止することが可能になる。
【００１６】また前記トレーリング側ＡＢＳ面５の表面
の面積が小さくなることから、ＣＳＳ駆動時における吸
着トルクを減少させることもできる。
【００１７】しかしながら、図１３に示すトレーリング
側ＡＢＳ面５の形状では、前記磁気機能部Ｇよりもスラ
イダＳ２幅方向に延ばされた下部コア層９や下部シール
ド層１０の両側端部９ａ、１０ａが、前記トレーリング
側ＡＢＳ面５からはみ出し、この部分が記録媒体対向面
２から露出してしまう。
【００１８】図１４は、図１３に示す１３−１３線から
スライダＳ１を切断し矢印方向から見たスライダＳ１の
部分断面図である。
【００１９】図１４に示すように、前記トレーリング側
ＡＢＳ面５上には保護層１２が形成されているが、前記
保護層１２は記録媒体対向面２上には形成されていな
い。これは、まずスライダＳ１上全体に保護層１２を形
成した後、トレーリング側ＡＢＳ面５やリーディング側
ＡＢＳ面４となる部分の前記保護層１２上をレジストな
どで保護し、次に前記レジストで覆われていない部分の
保護層１２を除去し、さらに前記保護層１２の除去によ
って露出したスライダ表面の一部を除去して記録媒体対
向面２を形成しているからである。
【００２０】このため前記記録媒体対向面２上に露出し
た下部コア層９や下部シールド層１０の両側端部９ａ，
１０ａは、完全に外気に曝されることになり、さらには
前記磁気ヘッドＭ１を製造する過程で使用される溶剤な
どに触れることになり、これにより前記下部コア層９や
下部シールド層１０が腐食されるといった問題が生じた
のである。このように前記下部コア層９や下部シールド
層１０が腐食されると前記磁気素子１の記録特性や再生
特性が劣化してしまうため、今後の高記録密度化に適切
に対応可能な磁気ヘッドＭ１を製造することができなっ
た。
【００２１】また上記した、記録・再生に寄与しない部
分の磁気素子１が露出し耐食性が低下する問題は、ハー
ドディスク装置に搭載される磁気ヘッドに限った問題で
はなく、その他の磁気機能装置、例えば磁気センサや磁
気テープの記録再生装置にも同様に起こる問題である。
【００２２】また磁気機能装置の支持体（磁気ヘッドで
言えばスライダ）の形状は、磁気素子１の形状に大きく
左右される。すなわち例えば磁気ヘッドの場合、上記し
たように記録媒体対向面２に余分な下部シールド層１０
や上部シールド層９の露出を防ぐため、前記記録媒体対
向面２から隆起形成されるトレーリング側ＡＢＳ面５の
形状は、前記磁気素子１の形状に左右され、またトレー
リング側ＡＢＳ面５の形状が決まると、それ以外のＡＢ
Ｓ面４の形状も負圧、正圧を考慮して浮上安定性を確保
するために、ある形に形成される。
【００２３】しかし前記支持体の形状が、磁気素子１の
形状に左右され、前記支持体の形状の設計自由度が低く
なると、前記支持体の小型化をより適切に促進させるこ
とができないといった問題もある。
【００２４】そこで本発明は上記従来の課題を解決する
ためのものであり、特に、耐食性の向上とともに、支持
体の形状に自由度を持たせることができる磁気機能装置
および前記磁気機能装置を用いた磁気ヘッド装置を提供
することを目的とする。
【００２５】
【課題を解決するための手段】本発明は、記録媒体と対
向する支持体に、記録媒体に対する磁気検出と磁気記録
の少なくとも一方を行う磁気機能部を有する磁気素子が
支持されている磁気機能装置において、前記磁気素子
は、複数の膜が積層されて形成され、この磁気素子のト
ラック幅方向の中間部分に前記磁気機能部が位置してお
り、前記磁気素子は、前記磁気機能部よりも外側部分
が、前記磁気機能部よりも記録媒体から後退する形状で
あり、前記磁気機能部が、前記外側部分よりも記録媒体
に接近するように、前記磁気素子が前記支持体に支持さ
れていることを特徴とするものである。
【００２６】本発明では、スライダなどの支持体におい
て、磁気機能部のみを記録媒体対向面側に位置させ、他
を後退させておくことで、スライダなどの支持体を小型
化したときに、この支持体形状に自由度を持たせること
ができる。例えば記録媒体対向側が幅細となった先細り
形状などを提示できる。
【００２７】また記録・再生に寄与しない部分を露出さ
せないことで、余分な腐食や、記録媒体と摺動するもの
ではシールド層などで媒体を傷つけるのを防止できる。
【００２８】また本発明では、前記磁気素子は、前記磁
気機能部よりも外側部分が、段差を介して前記磁気機能
部よりも後退する形状であることが好ましい。
【００２９】また本発明では、前記磁気素子は、前記磁
気機能部よりも外側部分の前縁が、前記磁気機能部から
徐々に後退する、傾斜直線または曲線形状であることが
好ましい。
【００３０】また本発明では、前記磁気素子は、磁性材
料で形成された所定幅寸法の上部シールド層および下部
シールド層、ならびに前記両シールド層の間に位置する
前記磁気機能部となる磁気検出部が設けられており、前
記両シールド層の前記磁気機能部よりも外側部分が、前
記磁気機能部よりも後退していることが好ましい。
【００３１】また本発明では、前記磁気素子は、磁性材
料で形成された所定幅寸法の下部コア層と、前記下部コ
ア層にギャップを介して対向した前記下部コア層よりも
幅寸法の小さい上部コア層を有して、前記下部コア層と
前記上部コア層との対向部分が前記磁気機能部とされて
おり、前記下部コア層の前記磁気機能部よりも外側部分
が、前記磁気機能部よりも後退していることが好まし
い。
【００３２】また本発明では、前記支持体は、記録媒体
に対向するスライダであり、前記磁気素子は前記スライ
ダのトレーリング側端面に設けられるとともに、前記ト
レーリング側端面には、前記磁気素子を覆う非磁性材料
の保護層が設けられていることが好ましい。
【００３３】また本発明では、前記スライダの記録媒体
との対向面には、記録媒体側に隆起するＡＢＳ面が、前
記スライダから前記保護層にかけて形成されており、前
記磁気素子の前記磁気機能部が、前記ＡＢＳ面の表面に
露出しあるいは表面に近い位置にあり、前記磁気素子の
前記磁気機能部よりも外側部分は、少なくともその一部
が、前記ＡＢＳ面から側方へ外れる位置に延びており、
前記外側部分の前縁が、前記保護層の表面に現れること
なく前記保護層内に埋設されていることが好ましい。
【００３４】上記発明では、前記ＡＢＳ面を、磁気機能
部よりも外側部分の、少なくともその一方が、前記ＡＢ
Ｓ面から側方で外れる程度に小さく形成することで、前
記磁気機能部とディスク間の浮上量の狭小化において
も、前記ＡＢＳ面のトレーリング側角部が前記ディスク
に衝突することを避けることができ、しかもＣＳＳ駆動
時における吸着トルクを低減させることができる。
【００３５】また本発明では、前記磁気素子は保護層で
覆われており、また前記ＡＢＳ面から側方へ外れた位置
に延びる外側部分が、前記保護層の表面に現れることな
く前記保護層内に埋設されている。このため従来のよう
に前記ＡＢＳ面からはみ出した磁気素子の外側部分は外
気に曝されることなく、また磁気ヘッドの製造過程で使
用される溶剤などに触れることが無く、耐食性に優れた
磁気機能装置（磁気ヘッド）を製造できる。
【００３６】また本発明における磁気ヘッド装置は、上
記の支持体がスライダである磁気機能装置と、前記磁気
機能装置の前記スライダを、記録媒体対向面の逆面側か
ら弾性支持する支持部材とが設けられてなることを特徴
とするものである。
【００３７】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の形態の磁
気ヘッド装置の磁気ヘッド（磁気機能装置）Ｍ２を、記
録媒体対向面２０を上向きにして示した斜視図である。
【００３８】スライダ（支持体）Ｓ２は例えばアルミナ
チタンカーバイト（Ａｌ2Ｏ3−ＴｉＣ）などのセラミッ
ク材料で形成されている。前記スライダＳ２の幅方向
（図示Ｘ方向）の幅寸法Ｔ４は例えば１ｍｍ前後であ
る。
【００３９】図１に示すように前記スライダＳ２のトレ
ーリング側端部２１には、例えば再生磁気機能部である
磁気抵抗効果を利用した薄膜再生素子、及び記録磁気機
能部であるインダクティブ型の薄膜記録素子を有する磁
気素子２２が設けられている。なお前記磁気素子２２
は、薄膜再生素子のみ、あるいは薄膜記録素子のみで構
成されていてもよい。
【００４０】前記トレーリング側端部２１のトレーリン
グ側Ｓｔの前端面には、例えばＡｌ 2Ｏ3などの保護層２
３が形成されており、前記磁気素子２２は前記保護層２
３によって覆われている。
【００４１】また図１に示すように、前記保護層２３の
トレーリング側Ｓｔの前端面には、前記磁気素子２２を
構成する薄膜再生素子及び薄膜記録素子のそれぞれに導
通接続された端子部２４が設けられている。
【００４２】図１に示すように、前記スライダＳ２のト
レーリング側Ｓｔには、前記記録媒体対向面２０から記
録媒体方向（図示上方向）にトレーリング側ＡＢＳ面２
５が隆起形成されている。前記トレーリング側ＡＢＳ面
２５は、スライダＳ２から前記保護層２３にかけて形成
されている。前記ＡＢＳ面２５は、前記記録媒体対向面
２０から最も突出した面を指し、ＣＳＳ駆動時では、前
記ＡＢＳ面２５が記録媒体上で摺動し、磁気ヘッドが浮
上すると、前記ＡＢＳ面２５には正圧が発生する。
【００４３】前記トレーリング側ＡＢＳ面２５からは、
前記磁気素子２２の薄膜再生素子及び薄膜記録素子のそ
れぞれの磁気機能部Ｇが現れている。
【００４４】また本発明では図１に示すように前記トレ
ーリング側ＡＢＳ面２５のリーディング側端面２５ａと
前記記録媒体対向面２０との間に、前記トレーリング側
ＡＢＳ面２５よりも一段低いトレーリング側ステップ面
２８が前記記録媒体対向面２０から隆起形成されてい
る。
【００４５】また図１に示す前記スライダＳ２には、リ
ーディング側Ｓｒに前記トレーリング側ステップ面２８
と同じ高さ寸法のリーディング側ステップ面２９が前記
記録媒体対向面２０から隆起形成されている。さらに前
記リーディング側ステップ面２９の幅方向（図示Ｘ方
向）の両側から前記ステップ面２９と同じ高さで形成さ
れる２本のレール面２７，２７がトレーリング側Ｓｔ方
向に向けて前記記録媒体対向面２０から隆起形成されて
いる。
【００４６】図１に示すように前記レール面２７，２７
のそれぞれのトレーリング側端面からは前記記録媒体対
向面２０から記録媒体方向（図示上方向）に向けてサイ
ドＡＢＳ面５０，５０が隆起形成されている。
【００４７】さらに前記リーディング側ステップ面２９
の中央からは前記記録媒体方向に向けてリーディング側
ＡＢＳ面５１が隆起形成されている。
【００４８】なお前記のサイドＡＢＳ面５０，５０と前
記リーディング側ＡＢＳ面５１の記録媒体対向面２０か
らの高さ寸法は、トレーリング側ＡＢＳ面２５と同じ高
さ寸法である。
【００４９】図８は、図１に示す磁気ヘッドＭ２を搭載
した磁気ヘッド装置Ｈの斜視図、図９は、前記磁気ヘッ
ドＭ２がディスクＤ上で浮上姿勢となった状態を示す部
分側面図である。
【００５０】図８に示すように、この磁気ヘッドＭ２を
支持する支持部材７１は、板ばねのロードビーム７０
と、その先部に設けられた薄い板ばねのフレキシャ（弾
性支持部材）Ｆとを有して構成される。
【００５１】図８に示すように前記ロードビーム７０の
両側には、折曲部７０ａ，７０ａが形成され、この部分
が剛性を有する構造となっており、折曲部７０ａが形成
されていないロードビーム７０の基端部７０ｂにて所定
の弾性押圧力を発揮できるものとなっている。また前記
ロードビーム７０の基端部７０ｂからはマウント部７０
ｃが設けられており、前記マウント部７０ｃが所定のデ
ィスク装置側の取付面に取り付けられることによって、
前記磁気ヘッド装置Ｈが前記ディスク装置内に搭載され
る。
【００５２】図８及び図９に示すように前記フレキシャ
Ｆの下面には磁気ヘッドＭ２が記録媒体対向面２０の逆
面側から接着固定されている。図９に示すように前記フ
レキシャＦには、図示上方向に突き出した球面状のピボ
ットＰが形成されており、このピボットＰの先端がロー
ドビーム７０に当接している。
【００５３】前記磁気ヘッドＭ２は、支持部材７１によ
りディスクＤの記録面に対して弱い弾性力で付勢されて
いる。ＣＳＳ方式では、スタート時に磁気ヘッドＭ２が
ディスクＤに接触しており、ディスクＤの始動と同時に
ディスクＤ表面に生じる空気流により磁気ヘッドＭ２に
浮上力が作用し、磁気ヘッドＭ２はリーディング側Ｓｒ
がディスクから持ち上げられた傾斜姿勢で浮上し、磁気
ヘッドＭ２のトレーリング側ＳｔがディスクＤからわず
かに浮上した姿勢でディスクＤ表面を走査する。
【００５４】なお前記ディスクＤが回転し、前記磁気ヘ
ッドＭ２のリーディング側Ｓｒからトレーリング側Ｓｔ
に向けて空気流が導かれたとき、各ＡＢＳ面２５，３
０，３１には正圧が発生し、レール面２７及びリーディ
ング側ステップ面２９に囲まれた記録媒体対向面２０に
は負圧が発生する。
【００５５】図９に示すように前記磁気ヘッドＭ２がデ
ィスクＤから浮上したときの、磁気素子２２の磁気機能
部Ｇからディスク面までの浮上量はＸ２である。
【００５６】図２は、図１に示すトレーリング側ＡＢＳ
面２５の部分のみを拡大して示した部分平面図である。
【００５７】図２に示すように、前記トレーリング側Ａ
ＢＳ面２５の表面には、磁気素子２２を構成する複数の
磁性材料製の層が現れている。
【００５８】磁気素子２２の薄膜再生素子は、ＮｉＦｅ
合金などの磁性材料で形成された所定幅の下部シールド
層３０と、上部シールド層３１と、前記下部シールド層
３０と上部シールド層３１間に形成された、異方性磁気
抵抗効果素子（ＡＭＲ素子）、巨大磁気抵抗効果素子
（ＧＭＲ素子）あるいはトンネル型磁気抵抗効果型素子
（ＴＭＲ素子）などの磁気抵抗効果素子３２を有して構
成される。前記磁気抵抗効果素子３２が磁気機能部Ｇで
ある。
【００５９】前記下部シールド層３０と磁気抵抗効果素
子３２間、および上部シールド層３１と磁気抵抗効果素
子３２間の間隔でギャップが決定される。
【００６０】一方、薄膜記録素子としては前記上部シー
ルド層３１が下部コア層として兼用され、さらに前記下
部コア層よりも幅が小さい上部コア層３３が前記トレー
リング側ＡＢＳ面２５に現れている。また前記上部シー
ルド層と下部コア層が兼用されておらず別々に形成され
ていても良い。また前記トレーリング側ＡＢＳ面２５に
は現れないが、前記各コア層に記録磁界を誘導するため
のコイル層が形成されている。前記下部コア層３１と上
部コア層３３との対向部分が磁気機能部Ｇ１となってい
る。
【００６１】本発明では、磁性材料製の層である下部シ
ールド層３０及び上部シールド層（下部コア層）３１が
前記磁気機能部Ｇ１、Ｇ２よりもスライダＳ２の幅方向
（図示Ｘ方向）に延びて形成されている。そして前記下
部シールド層３０及び上部シールド層（下部コア層）３
１の外側部分３０ａ、３１ａは、前記トレーリング側Ａ
ＢＳ面２５の両側端部２５ｂよりも、さらにスライダＳ
２の両側端部方向（図示Ｘ方向）に外れる位置まで延び
ている。なお、ここで言う「外側部分３０ａ」とは、磁
気機能部Ｇ１、Ｇ２よりもスライダの幅方向に延びた、
少なくとも一部分であり、後述のように、前記外側部分
３０ａとは、その前縁が保護層２３の表面から現れてい
ない部分を指す。
【００６２】図２に示すように、前記下部シールド層３
０及び上部シールド層（下部コア層）３１の前縁は、前
記磁気機能部Ｇ１、Ｇ２と対向する位置では前記トレー
リング側ＡＢＳ面２５に露出している。なお露出しなく
ても前記トレーリング側ＡＢＳ面２５に近い位置に前記
磁気機能部Ｇ１、Ｇ２が位置してても良い。
【００６３】前記外側部分３０ａ、３１ａは、図２で点
線で示すように、保護層２３内部に潜り込んでおり、前
記外側部分３０ａ、３１ａは前記保護層２３の表面から
現れていないことがわかる。
【００６４】前記下部シールド層３０及び上部シールド
層（下部コア層）３１をスライダＳ２の幅方向（図示Ｘ
方向）と平行な方向から前記スライダＳ２の膜厚方向
（図示Ｚ方向）に切断したとき、前記下部シールド層３
０及び上部シールド層（下部コア層）３１の形状は、例
えば図３のようになっている。
【００６５】図３は、図２に示す３−３線からスライダ
Ｓ２を切断し矢印方向から見た前記スライダＳ２の部分
断面図である。
【００６６】図３に示すように、前記下部シールド層３
０及び上部シールド層（下部コア層）３１の、前記磁気
機能部Ｇよりも外側部分３０ａ、３１ａが、前記磁気機
能部Ｇの前縁よりも、スライダの支持部材７１の取付面
方向（図示Ｚ方向の下方向）に後退する形状で形成され
ており、前記磁気機能部Ｇが前記外側部分３０ａ、３１
ａよりもディスクＤに接近している。
【００６７】例えば図３では、前記下部シールド層３０
及び上部シールド層３１の外側部分３０ａ、３１ａの前
縁が、前記磁気機能部Ｇの前縁から徐々にスライダの支
持部材７１の取付面方向（図示Ｚ方向の下方向）に後退
する、傾斜直線で形成されている。
【００６８】あるいは図４のように、前記下部シールド
層３０及び上部シールド層３１の外側部分３０ａ、３１
ａの前縁が、前記磁気機能部Ｇの前縁から徐々にスライ
ダの支持部材７１の取付面方向（図示Ｚ方向の下方向）
に後退する、曲線形状で形成されている。
【００６９】さらには図５に示すように、前記下部シー
ルド層３０及び上部シールド層３１の外側部分３０ａ、
３１ａの前縁が、段差を介して前記磁気機能部Ｇの前縁
よりもスライダの支持部材７１の取付面方向（図示Ｚ方
向の下方向）に後退する形状である。
【００７０】また図３ないし図５のいずれの形態におい
ても、前記下部シールド層３０及び上部シールド層３１
には、幅寸法が広い後端領域Ｃが設けられ、この後端領
域Ｃよりも前記トレーリング側ＡＢＳ面２５側に、前記
後端領域Ｃよりも幅寸法が小さい先端領域Ｄが設けられ
ている。そして前記磁気機能部Ｇよりも後退した位置に
ある前記先端領域Ｄの外側部分３０ａ、３１ａの前縁が
上記形状で形成されている。
【００７１】なお図３のように後端領域Ｃの幅寸法を広
くすることは、下部シールド層３０及び上部シールド層
３１の磁気飽和を抑制し、シールド機能を向上させる点
で好ましい。
【００７２】また図３に示すように前記トレーリング側
ＡＢＳ面２５上には、ダイヤモンドライクカーボン（Ｄ
ＬＣ）などで形成された保護層３４が形成されているこ
とが好ましい。これにより前記トレーリング側ＡＢＳ面
２５に露出した下部シールド層３０、上部シールド層
（下部コア層）３１、磁気抵抗効果素子３２、および上
部コア層３３がＣＳＳ駆動時において直接、ディスク面
上に触れることがなくなり、前記ディスク面との摩擦な
どによる前記各層の損傷を防ぐことができると共に、前
記各層が直接、外気に曝されず、また磁気ヘッド製造工
程での溶剤にも触れることが無いので、前記各層の腐食
を適切に防止できる。
【００７３】また本発明では図６のように前記上部シー
ルド層３１及び下部シールド層３０の外側部分３０ａ、
３１ａの前縁が、磁気機能部Ｇの前縁よりも、スライダ
の支持部材７１の取付面（図示Ｚ方向の下方向）後退す
るほど、徐々に幅寸法が大きくなるように、前記上部シ
ールド層３１及び下部シールド層３０の外側部分３０
ａ、３１ａ全体が傾斜面あるいは湾曲面で形成されてい
ても良い。
【００７４】なお上部シールド層３１と下部シールド層
３０は共に同じ形状である必要はない。
【００７５】このように本発明では、前記下部シールド
層３０及び上部シールド層（下部コア層）３１の外側部
分３０ａ、３１ａが、前記磁気機能部Ｇよりもディスク
から後退した形状であり、前記外側部分３０ａ、３１ａ
の前縁が、前記保護層２３の表面に現れることなく前記
保護層２３内に埋設されていることで、従来のように前
記トレーリング側ＡＢＳ面２５から側方へ外れた下部シ
ールド層３０や上部シールド層３１が外気に曝されるこ
となく、また磁気ヘッドＭ２の製造過程で使用される溶
剤などに触れることが無く、耐食性に優れた磁気ヘッド
Ｍ２を製造できる。
【００７６】また本発明では、前記トレーリング側ＡＢ
Ｓ面２５を、磁気素子２２を構成する下部シールド層３
０や上部シールド層３１が前記トレーリング側ＡＢＳ面
２５の側方から外れる程度に小さく形成できるため、前
記スライダＳ２の形状の自由度が増す。従って本発明で
は、前記スライダＳ２の小型化においても、客先からの
要望や使用環境などに合わせたスライダＳ２を形成しや
すくなる。
【００７７】さらに加えて、前記トレーリング側ＡＢＳ
面が小さく形成されると、前記磁気機能部Ｇとディスク
Ｄ間の浮上量Ｘ２の狭小化においても、前記トレーリン
グ側ＡＢＳ面２５のトレーリング側角部Ｅ、Ｉ（図２を
参照のこと）が前記ディスクＤに衝突することを避ける
ことができ、しかもＣＳＳ駆動時における吸着トルクを
低減させることができる。
【００７８】また図２に示すように、前記トレーリング
側角部Ｅ、Ｉが、面取り加工されて、前記角部Ｅ，Ｉが
曲面状で形成されていた方が、より前記ディスクＤとの
衝突を避けることができて好ましい。
【００７９】また図３の一点鎖線や図４に示すように、
トレーリング側ＡＢＳ面２５の両側端部２５ｄは、記録
媒体対向面２０上から前記トレーリング側ＡＢＳ面２５
にかけて徐々に幅寸法が小さくなる傾斜面、あるいは湾
曲面で形成されている方が、前記トレーリング側角部
Ｅ、Ｉとディスクとの衝突をさらに避けることができて
好ましい。
【００８０】なお本発明では、前記下部シールド層３０
及び上部シールド層３１が前記トレーリング側ＡＢＳ面
２５上で露出する幅寸法は、上部コア層３３や磁気抵抗
効果素子３２の幅寸法より長くなければならない。前記
上部コア層３３や磁気抵抗効果素子３２の幅寸法は磁気
機能部Ｇ１、Ｇ２の幅を規定する寸法だからである。
【００８１】なお本発明では、前記上部シールド層３１
や下部シールド層３０が、前記トレーリング側ＡＢＳ面
２５上で露出する分には、前記トレーリング側ＡＢＳ面
２５上に保護層３４が形成されることから、耐食性など
に何ら問題は発生せず、したがって本発明では、前記ト
レーリング側ＡＢＳ面２５上で露出する上部シールド層
３１及び下部シールド層３０の幅寸法は少なくとも磁気
機能部Ｇの幅寸法以上であれば良い。
【００８２】また図１に示す磁気ヘッドＭ２では、前記
磁気素子２２の磁気機能部Ｇは、スライダＳ２の幅方向
（図示Ｘ方向）の中心に形成されているが、前記磁気機
能部Ｇが、前記スライダＳ２のどちらか一方の側端部側
に寄って形成されていても良い。
【００８３】例えば図７の磁気ヘッドＭ３では、磁気素
子２２の磁気機能部Ｇが、スライダＳ３の一方の側端部
２０ａ側に寄って形成され、前記磁気機能部Ｇは記録媒
体対向面２０から隆起形成されたトレーリング側ＡＢＳ
面２５に現れていることがわかる。なお符号４０、４
１、４２はいずれも前記記録媒体対向面２０から隆起形
成されたＡＢＳ面である。
【００８４】このように前記磁気機能部ＧがスライダＳ
３の幅方向の中心になく、一方の側端部２０ａに寄って
形成されたサイドギャップ型の磁気ヘッドＭ３の場合、
前記磁気ヘッドＭ３がディスクＤ上で浮上したときの姿
勢は図１０のようになる。
【００８５】図１０は前記磁気ヘッドＭ３をトレーリン
グ側から見た部分正面図である。図１０に示すように、
前記スライダＳ３はロール方向に傾いて、前記磁気機能
部Ｇが寄って形成されている側の側端部２０ａが他方の
側端部２０ｂよりもディスクＤに接近して浮上してい
る。
【００８６】このようにロール角を有して浮上したサイ
ドギャップ型の磁気ヘッドＭ３では、前記磁気機能部Ｇ
とディスクＤ間の浮上量Ｘ３をより適切に狭小化しやす
くできる。
【００８７】ただしロール角を有して磁気ヘッドＭ３が
浮上した場合、前記ディスクＤとの間で浮上量が最も小
さくなるのは前記磁気機能部Ｇの部分ではなく、前記磁
気機能部Ｇよりも前記スライダＳ３の側端部２０ａ側に
形成されたトレーリング側ＡＢＳ面２５のトレーリング
側角部Ｊである。
【００８８】そこで本発明では、上記したように前記磁
気機能部Ｇが現れるトレーリング側ＡＢＳ面２５を、磁
気素子２２を構成する下部シールド層３０や上部シール
ド層３１が前記トレーリング側ＡＢＳ面２５からはみ出
す程度に小さく形成できるため、前記角部Ｊと磁気機能
部Ｇ間の距離は小さくなり、前記角部ＪとディスクＤ間
の浮上量が、前記磁気機能部Ｇと前記ディスクＤ間の浮
上量Ｘ３に比べて極端に小さくなることはなくほぼ同じ
となり、従って前記磁気機能部Ｇと前記ディスク間の浮
上量Ｘ３の狭小化においても、前記角部Ｊとディスク間
で衝突のおき難い、高記録密度化に優れた磁気ヘッドＭ
３を製造することができる。
【００８９】なお図３ないし図６に示す形態では、上部
シールド層３１及び下部シールド層３０の端部が、トレ
ーリング側ＡＢＳ面２５からはみ出し、そのはみ出した
部分は、前記トレーリング側ＡＢＳ面２５よりも一段下
がった記録媒体対向面２０と同じ高さの保護層２３内に
形成されているが、前記はみ出した部分に、前記記録媒
体対向面２０から隆起する符号２８と同じ高さのステッ
プ面が形成され、このステップ面と同じ高さの保護層２
３内に前記上部シールド層３１及び下部シールド層３０
の外側部分３０ａ、３１ａが延びて形成されていても良
い。
【００９０】また図２では、前記下部シールド層３０及
び上部シールド層３１の外側部分の３０ａ、３１ａの両
側が、トレーリング側ＡＢＳ面２５から外れた位置まで
延びているが、前記外側部分の一方側のみ、前記トレー
リング側ＡＢＳ面２５から外れていても良い。
【００９１】なお本発明の図８に示した磁気ヘッド装置
はＣＳＳ方式以外にランプロード方式にも適用可能であ
る。
【００９２】また本発明では、ハードディスク装置に搭
載される磁気ヘッドのみに限らず、他の磁気機能装置、
例えば磁気テープへの記録再生装置や、磁気センサなど
に適用可能である。
【００９３】いずれの磁気機能装置においても本発明に
よれば、支持体を小型化したときに、この支持体に自由
度を持たせることができる。例えば一例として、記録媒
体対向面側が幅細となる先細り形状を提示できる。さら
には耐食性を向上させることができ、また記録媒体と摺
動するものでは、磁気素子の部分で媒体を傷つけるのを
防止できる。
【００９４】なお前記支持体には、図１に示すような記
録媒体対向面２０から隆起するＡＢＳ面は形成されてい
なくても良く、前記支持体の形状は図１のものに限られ
ない。
【００９５】また磁気素子２２は薄膜形成されておらず
バルクタイプのものであってもよい。
【００９６】
【発明の効果】以上詳述した本発明によれば、磁気素子
は、複数の膜が積層されて形成され、この磁気素子のト
ラック幅方向の中間部分に前記磁気機能部が位置してお
り、前記磁気素子は、前記磁気機能部よりも外側部分
が、前記磁気機能部よりも記録媒体から後退する形状で
あり、前記磁気機能部が、前記外側部分よりも記録媒体
に接近するように、前記磁気素子が前記支持体に支持さ
れている。
【００９７】本発明では、スライダなどの支持体におい
て、磁気機能部のみを記録媒体対向面側に位置させ、他
を後退させておくことで、スライダなどの支持体を小型
化したときに、この支持体形状に自由度を持たせること
ができる。
【００９８】また記録・再生に寄与しない部分を露出さ
せないことで、余分な腐食や、記録媒体と摺動するもの
ではシールド層などで媒体を傷つけるのを防止できる。
【００９９】また本発明では、前記支持体は、記録媒体
に対向するスライダであり、前記スライダの記録媒体と
の対向面には、記録媒体側に隆起するＡＢＳ面が、前記
スライダから前記保護層にかけて形成されており、前記
磁気素子の前記磁気機能部が、前記ＡＢＳ面の表面に露
出しあるいは表面に近い位置にあり、前記磁気素子の前
記磁気機能部よりも外側部分は、少なくともその一部
が、前記ＡＢＳ面から側方へ外れる位置に延びており、
前記外側部分の前縁が、前記保護層の表面に現れること
なく前記保護層内に埋設されていることが好ましい。
【０１００】上記発明では、前記ＡＢＳ面を、磁気機能
部よりも外側部分の、少なくともその一方が、前記ＡＢ
Ｓ面から側方で外れる程度に小さく形成することで、前
記磁気機能部とディスク間の浮上量の狭小化において
も、前記ＡＢＳ面のトレーリング側角部が前記ディスク
に衝突することを避けることができ、しかもＣＳＳ駆動
時における吸着トルクを低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態の磁気ヘッドの記録媒体
対向面を上向きにした斜視図、
【図２】図１のトレーリング側ＡＢＳ面の周囲部分のみ
を拡大した部分平面図、
【図３】図２の３−３線から切断したスライダの部分断
面図、
【図４】別の形態を示すスライダの部分断面図、
【図５】別の形態を示すスライダの部分断面図、
【図６】別の形態を示すスライダの部分断面図、
【図７】本発明における第２の実施形態の磁気ヘッドの
斜視図、
【図８】本発明における実施形態の磁気ヘッド装置の斜
視図、
【図９】図８に示す磁気ヘッドがディスクＤ上で浮上し
たときの姿勢を示す部分側面図、
【図１０】図８に示す磁気ヘッドがディスクＤ上で浮上
したときの姿勢を示す部分正面図、
【図１１】従来の磁気ヘッドの斜視図、
【図１２】図１１に示すトレーリング側ＡＢＳ面の周囲
部分のみを拡大した部分平面図、
【図１３】従来における別の形態を示すトレーリング側
ＡＢＳ面の周囲部分のみを拡大した部分平面図、
【図１４】図１３の１３−１３線から切断したスライダ
の部分断面図、
【図１５】図１１示す磁気ヘッドがディスクＤ上で浮上
したときの姿勢を示す部分側面図、
【符号の説明】
２０ 記録媒体対向面 ２２ 磁気素子 ２５ トレーリング側ＡＢＳ面 ２８、２９ ステップ面 ３０ 下部シールド層 ３０ａ、３１ａ （下部シールド層及び上部シールド層
の）両側端部 ３１ 上部シールド層（下部コア層） ３２ 磁気抵抗効果素子 ３３ 上部コア層 ３４ 保護層 Ｇ 磁気機能部 Ｍ２、Ｍ３ 磁気ヘッド Ｓ２、Ｓ３ スライダ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 5/187 Ｇ１１Ｂ 5/187 Ｗ 5/39 5/39 5/60 5/60 Ｚ

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 記録媒体と対向する支持体に、記録媒体
    に対する磁気検出と磁気記録の少なくとも一方を行う磁
    気機能部を有する磁気素子が支持されている磁気機能装
    置において、 前記磁気素子は、複数の膜が積層されて形成され、この
    磁気素子のトラック幅方向の中間部分に前記磁気機能部
    が位置しており、前記磁気素子は、前記磁気機能部より
    も外側部分が、前記磁気機能部よりも記録媒体から後退
    する形状であり、前記磁気機能部が、前記外側部分より
    も記録媒体に接近するように、前記磁気素子が前記支持
    体に支持されていることを特徴とする磁気機能装置。
  2. 【請求項２】 前記磁気素子は、前記磁気機能部よりも
    外側部分が、段差を介して前記磁気機能部よりも後退す
    る形状である請求項１記載の磁気機能装置。
  3. 【請求項３】 前記磁気素子は、前記磁気機能部よりも
    外側部分の前縁が、前記磁気機能部から徐々に後退す
    る、傾斜直線または曲線形状である請求項１記載の磁気
    機能装置。
  4. 【請求項４】 前記磁気素子は、磁性材料で形成された
    所定幅寸法の上部シールド層および下部シールド層、な
    らびに前記両シールド層の間に位置する前記磁気機能部
    となる磁気検出部が設けられており、前記両シールド層
    の前記磁気機能部よりも外側部分が、前記磁気機能部よ
    りも後退している請求項１ないし３のいずれかに記載の
    磁気機能装置。
  5. 【請求項５】 前記磁気素子は、磁性材料で形成された
    所定幅寸法の下部コア層と、前記下部コア層にギャップ
    を介して対向した前記下部コア層よりも幅寸法の小さい
    上部コア層を有して、前記下部コア層と前記上部コア層
    との対向部分が前記磁気機能部とされており、前記下部
    コア層の前記磁気機能部よりも外側部分が、前記磁気機
    能部よりも後退している請求項１ないし３のいずれかに
    記載の磁気機能装置。
  6. 【請求項６】 前記支持体は、記録媒体に対向するスラ
    イダであり、前記磁気素子は前記スライダのトレーリン
    グ側端面に設けられるとともに、前記トレーリング側端
    面には、前記磁気素子を覆う非磁性材料の保護層が設け
    られている請求項１ないし５のいずれかに記載の磁気機
    能装置。
  7. 【請求項７】 前記スライダの記録媒体との対向面に
    は、記録媒体側に隆起するＡＢＳ面が、前記スライダか
    ら前記保護層にかけて形成されており、前記磁気素子の
    前記磁気機能部が、前記ＡＢＳ面の表面に露出しあるい
    は表面に近い位置にあり、前記磁気素子の前記磁気機能
    部よりも外側部分は、少なくともその一部が、前記ＡＢ
    Ｓ面から側方へ外れる位置に延びており、前記外側部分
    の前縁が、前記保護層の表面に現れることなく前記保護
    層内に埋設されている請求項６記載の磁気機能装置。
  8. 【請求項８】 請求項６または７に記載された磁気機能
    装置と、前記磁気機能装置の前記スライダを、記録媒体
    対向面の逆面側から弾性支持する支持部材とが設けられ
    てなることを特徴とする磁気ヘッド装置。
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