JP2001147096A - 高効率気体温湿度調整用装置及び調整方法 - Google Patents
高効率気体温湿度調整用装置及び調整方法Info
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- JP2001147096A JP2001147096A JP2000275584A JP2000275584A JP2001147096A JP 2001147096 A JP2001147096 A JP 2001147096A JP 2000275584 A JP2000275584 A JP 2000275584A JP 2000275584 A JP2000275584 A JP 2000275584A JP 2001147096 A JP2001147096 A JP 2001147096A
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Abstract
し、冷却水量が低減でき、配管径、送水ポンプ動力も小
さくすることができ、空調系のイニシャルコストおよび
ランニングコストの低減が可能となる高効率気体温湿度
調整用装置及び調整方法を提供すること。 【解決手段】 本発明の高効率気体温湿度調整用装置
は、冷却コイルに付着した凝縮水を除去するための手段
を設けたこと。
Description
体に加湿、除湿、昇温、冷却などの空調プロセスを行う
高効率気体温湿度調整用装置及び調整方法に係る。
エネルギーの設備が強く求められている。特に、クリー
ンルームのランニングコストに関しては電気料金の占め
る割合は全体の3分の1程度にもなり、その大半が空調
ならびにプロセス装置に費やされる電力である。よって
この空調および装置電力量の低減をはかることが低コス
ト生産には必要不可欠となる。
所が大きい。その為、空調機の効率を上げる事は、その
まま省エネに繋がる。
冷却コイルの効率をあげる事は、空調機の効率アップに
繋がる。
凝縮水が付着している。その凝縮水が被空調気体の冷却
効率を下げている事になる。冷却コイルに付着した凝縮
水を除去する事により、凝縮水の伝熱係数が銅の伝熱係
数より低い事による効率の低下を防ぐ。
の熱交換効率が上昇し、冷却水量が低減でき、配管径、
送水ポンプ動力も小さくすることができ、空調系のイニ
シャルコストおよびランニングコストの低減が可能とな
る高効率気体温湿度調整用装置及び調整方法を提供する
ことを目的とする。
度調整用装置は、冷却コイルに付着した凝縮水を除去す
るための手段を設けたことを特徴とする。
却コイルの冷却水チューブ内に冷却水を流すとともに、
冷却フィン間に被冷却気体を流すことにより被冷却気体
の冷却を行う気体温湿度調整方法において、該冷却水と
して脱気水を用いることを特徴とする。
却コイルの冷却水チューブ内に冷却水を流すとともに、
冷却フィン間に被冷却気体を流すことにより被冷却気体
の冷却を行う気体温湿度調整方法において、該冷却水と
して水素水を用いることを特徴とする。
却コイルの冷却水チューブ内に冷却水を流すとともに、
冷却フィン間に被冷却気体を流すことにより被冷却気体
の冷却を行う気体温湿度調整方法において、冷却コイル
から凝縮水を除去した後ないし除去しながら前記冷却を
行うことを特徴とする。
ましい。かかる冷却気体を用いる場合には、本来冷却処
理しなければならない熱量以外の熱量を必要としないと
いう利点がある。冷却気体の温度としては、処理前温度
と処理後温度に差異を有するという理由から23〜15
℃が好ましい。
表面とすることが好ましい。撥水性を有する表面とする
ためには、冷却コイルの表面に例えば、PFA被膜を施
せばよい。PFAのほかには、例えば、撥水材塗布、撥
水性を有する酸化膜を形成することが好ましい。
を設けることが好ましい。このような構成とした場合、
凝縮した液体温度と熱交換器温度が等しいため、不要な
熱交換を行わないという利点がある。凝縮した液体を、
再撒布し得る手段としては、例えば、空調機内の凝縮水
受け皿より小型のポンプで凝縮水を汲み上げ熱交換器上
部より再撒布を行うのように構成すればよい。
理などを施しておくことが好ましい。かかる構成とする
とその表面から気体への熱放射による伝熱効率が向上し
て冷却効率が向上する。
〜6に基づいて説明する。
置において、被調整気体を冷却し、温度湿度を調整する
為に使用する。通常7℃前後の冷却水をコイルに供給
し、その熱源を利用し、それに接する被調整気体温度を
下げる為に使用する。
する熱交換効率を下記の例で示す。冷却熱量をq、エン
タルピ基準の熱貫流率をKw、コイルの表面積をS、対
数平均温度差をMED、内外表面積比をR、管内表面の
熱伝導率をαw、管内表面の汚れ係数をr1、銅管とア
ルミフィンと管との接触熱抵抗をr2、比例常数をb
w、フィン表面の物質移動係数をkf、フィン効率をφ
wとすると、 q=Kw・S・MED 1/Kw=R/αw+R(r1+r2)bw+1/[kf
{φw+(1/R)}] の関係式が成り立つ。
熱量は、約642cal/hとなる。
却熱量q’は、以下のようになる。内外表面積比Rの補
正値をR’、厚みdの水の層がコイルに付着した場合の
熱貫流率をKw’とすると、 1/Kw’=R・αw/zw+R(r1+r2)bw+R’・bw・d/λ+ 1/[kf{φw+(1/R)}] =1/Kw+d/λ 水膜の厚みdを1.0mmとすると、冷却熱量q’は約
430kcal/hとなる。
コイルに付着したとすると、コイルによる熱交換効率は
約33%落ちている事になる。
去用装置を示すものである。
を圧縮気体またはブラシ(回転ブラシ、または平ブラ
シ)で強制的に吹き飛ばすよう構成されている。101
は空調機本体であり、気体を移送するファン105によ
り、気体入口103から気体を空調機本体101に取り
込み、気体出口102から温湿度調整済気体を排出す
る。空調機本体101を気体が通過する途中に冷却コイ
ル106が設置されている。冷却コイル106の上流側
に凝縮水除去装置104を設置する。圧縮気体を使用す
る場合には、ファンコイルにより取込んだ気体の一部を
気体抜取り配管107によりコンプレッサー108に取
込み圧縮気体が製造される。製造された圧縮気体は圧縮
空気供給配管109により圧縮気体供給ヘッダ104に
供給される。
圧力は、2〜10kgf/cm2が好ましく、3〜5k
gf/cm2がより好ましい。圧力が2kgf/cm2よ
り低いと凝縮水の十分な除去が行い得ない場合がある。
逆に10kgf/cm2より高すぎると、気体温湿度調
整の性能に影響を及ぼす場合がある。
ル106により温湿度が調整された冷却済被冷却気体を
用いる場合につき説明したが、外部から圧縮気体を導入
してもよいその場合、圧縮気体は外部において温湿度を
調整しておくことが好ましい。
る。
複数の冷却フィン206と冷却水チューブ202,20
3を配置してなる。冷却水チューブの一端は冷却水入口
205に連通し、他端は冷却水出口204に連通してい
る。
内の冷却フィン206同士の間を通過し、冷却済被冷却
気体208が出てくる。冷却水を冷却水入口205から
供給し、冷却水出口204から排出する。冷却水は冷却
水チューブ202、203を通過する。冷却効率を高め
る為に冷却フィン206を冷却水チューブ202,20
3に対し垂直方向に設置してある。
面図、正面図を示している。被冷却気体は図面右側30
9から入り、図面左側305の方向に流れる。圧縮気体
供給システムによって304または407の冷却コイル
に付着した凝縮水を除去するために必要な圧縮気体を供
給し、308または402の圧縮気体ヘッダ移動用ガイ
ドに沿って、上下移動用モーター306または405を
用いて、圧縮気体供給ノズル311または408を上下
させ、凝縮水をコイル及びフィン表面から強制除去す
る。本例では、圧縮気体ヘッダ308,402は、連続
的に上下往復をし、また停止位置は冷却コイル上流側正
面とする。例えば約5.0kg/cm2程度の圧力の気
体を冷却コイルに垂直に吹き付ける事により、除去した
凝縮水をドレンパンに落とす。303または403は圧
縮気体ヘッダであり、ステンレス配管等からなり、等間
隔に圧縮気体の吐出ノズル311または408が付いて
いる。308または402はノズルの上下ガイド移動ガ
イドであり、そのガイドは空調機本体302または40
1に固定されている。また、ガイド308または402
は冷却コイルの左右に設置されていて、気体の流れを邪
魔しない位置に設置されている。圧縮気体は、圧縮気体
配管ノズル301または404から供給し、フレキシブ
ルチューブ307または406を通り圧縮気体ノズルに
供給される。
すものである。
した圧縮気体ノズル503から噴出する。各ノズルの位
置は水平面より角度がついており、落とした凝縮水が強
制的に下方に飛ぶようになっている。ノズルの傾斜角5
05及び冷却チューブ504配列角度506を等しく設
置し、ノズル設置位置を冷却フィン501を避けて設置
する事により、圧縮気体がチューブ、冷却フィン間を有
効に通過する様になり、ノズルのない側まで凝縮水を高
率良く除去出来る様にする。冷却チューブは配列角度は
通常30度から40度の範囲である為、ノズル角度も3
0度から40度の間とすることが好ましい。
(例えば回転ブラシ、平ブラシ)を使用した場合の概略
図を示す。回転ブラシは601の範囲を回転し、回転軸
603に固定された樹脂製ブラシ602が冷却チューブ
及びフィンに付着した凝縮水を除去する。
たは2列に分割された熱交換器604の間を移動し得る
ようにすることが好ましい。
の形状は片端605もしくは両端606の形状とし1列
または2列に分割された熱交換器の間を移動するか、連
続した列数の熱交換器607の1列また2列毎に設けら
れた複数段のスリット内部を移動し得るように構成する
ことが好ましい。
す冷却水として、脱気水を用いることが変換効率を高め
るために有効である。ここで、脱気水とは、水道水から
ガス(特に酸素)を除去した水である。脱気後における
酸素濃度としては10ppm以下が好ましく、5ppm
以下がより好ましく、3ppm以下がさらに好ましい。
ただ、1ppm未満では効果が飽和するため1〜10p
pmが好ましい範囲である。
す冷却水として、水素水を用いることが好ましい。水素
水は水に水素を添加した水であるが、前記脱気水に水素
を添加したものを用いることがより一層好ましい。水素
水における水素濃度としては0.5〜1.5ppmが好
ましい。
コイル304または407に付着した凝縮水を除去した
結果について説明する。
供給し、冷却水出口で冷却水温度を測定した。
イルに付着した場合、図1に示す装置を用いて圧縮気体
で凝縮水を除去した場合、コイル表面処理を施した場合
及び冷却水として脱気水、水素水を使用した場合につい
て実験を行い、それぞれの比較を行った。
に保ち、気体出口温度および冷却水出口温度を測定す
る。凝縮水除去装置を稼動した場合としない場合および
処理しない場合の気体出口温度を比較した。
る為に、同時に行なう事を条件とする。図7は気体出口
温度の測定結果を示している。
■が比較例の結果を示している。
度が、凝縮水を除去しない場合(■)と比べて低いこと
から、コイルでの除去熱量は凝縮水を除去した場合の方
が、除去しない場合と比べ効果が高いことが確認され
た。
のあるフッ素系樹脂のPFA被覆を施したものと被覆し
ない場合の比較を行った
により行った。
0mmが好ましい。かかる厚みとすることにより、被膜
による熱効率低下を最小限に抑えるとともに凝縮水の付
着を防止するとともに、付着した凝縮水の除去を容易た
らしめることができる。
させた。撥水性樹脂の被覆により表面処理を施した場合
(図7▲)の気体出口温度が、施さない場合(図7■)
と比べて低いことから、表面処理を施した方が、しない
場合と比べ効果が高いことが確認された。
にアルマイト処理を施したものと処理しない場合の比較
を行った。
により行った。
している。アルマイトによる表面処理を施した場合(図
7○)の気体出口温度が、施さない場合(図7■)と比
べて低いことから、アルマイト処理などの表面処理を施
した方が、しない場合と比べ効果が高いことが確認され
た。
場合と当てない場合の比較を行った。
している。超音波素子を冷却コイルプレート部分206
に固定し、更に超音波素子と気体温湿度調整用装置本体
のフレーム部を連結固定する。超音波素子の振動によ
り、冷却コイル本体を振動させる事により、冷却コイル
に付着した凝縮水を除去させる。使用する超音波の周波
数は20〜50kHzとした。20kHz未満では除去
に供する音波のエネルギーが不十分であり、50kHz
を超えると、超音波素子の寿命を著しく短くする可能性
があるためである。
合(図7□)の気体出口温度が、施さない場合(図7
■)と比べて低いことから、超音波を施した方が、しな
い場合と比べ効果が高いことが確認された。
却水チューブ内におけるスケールの発生を防止すること
ができ、スケール発生による変換効率の低下を防止する
ことができる。
いた場合と脱気水を使用した場合の比較を行った。
たものを用いた。脱気後における酸素濃度は3ppmで
ある。
している。測定は冷却コイルに冷却水を2000時間連
続で流し続けた後に行った。
温度が、水道水の場合(図8■)と比べて低いことか
ら、脱気水を用いた方が、水道水を用いた場合と比べ効
果が高いことが確認された。
脱気水を用いた場合が水道水を用いた場合よりも出口温
度は低いという結果が得られた。
囲で変化させて実験を行ったところ10ppm以下にお
いて特に良好な結果が得られた。
却水チューブ内におけるスケールの発生を防止すること
ができ、スケール発生による変換効率の低下を防止する
ことができる。
いた場合と水素水を使用した場合の比較を行った。
後、水素を添加したものを用いた。水素添加後における
水素濃度は0.6ppmである。
している。測定は冷却コイルに冷却水を2000時間連
続で流し続けた後に行った。
温度が、水道水の場合(図8■)と比べて低いことか
ら、水素水を用いた方が、水道水を用いた場合と比べ効
果が高いことが確認された。
様の傾向が得られた。
率が上昇し、冷却水量が低減でき、配管径、送水ポンプ
動力も小さくすることができ、空調系のイニシャルコス
トおよびランニングコストの低減が可能となる。
示す模式的な図である。
視図である。
す模式的な図である。
す模式的な図である。
部を示す模式的な図である。
部を示す模式的な図である。
Claims (16)
- 【請求項1】 冷却コイルに付着した凝縮水を除去する
ための凝縮水除去手段を設けたことを特徴とする高効率
気体温湿度調整用装置。 - 【請求項2】 冷却コイルに脱気水ないし水素水を冷却
水として供給するための手段を設けたことを特徴とする
高効率気体温湿度調整装置。 - 【請求項3】 前記凝縮水除去手段は、冷却コイルに圧
縮気体を吹き付けるための手段であることを特徴とする
請求項1記載の高効率気体温湿度調整用装置。 - 【請求項4】 前記圧縮気体の圧力は2〜10kgf/
cm2であることを特徴とする請求項3記載の高効率気
体温湿度調整用装置。 - 【請求項5】 前記圧縮気体は、冷却気体であることを
特徴とする請求項3または4記載の高効率気体温湿度調
整用装置。 - 【請求項6】 前記凝縮水除去手段は、凝縮水に物理的
に接し、前記凝縮水を除去する機能を有する請求項1記
載の高効率気体温湿度調整用装置。 - 【請求項7】 前記凝縮水除去手段がブラシであること
を特徴とする請求項6記載の高効率気体温湿度調整用装
置。 - 【請求項8】 前記ブラシは、回転その他の移動により
前記凝縮水の除去を行い得るよう構成されたことを特徴
とする請求項7記載の高効率気体温湿度調整用装置。 - 【請求項9】 前記冷却コイルの冷却フィンは、1列ま
たは2列毎に分割されるか、熱交換フィン1列または2
列毎に設けられた移動ガイド用スリット有することを特
徴とする請求項1ないし8のいずれか1項に記載の高効
率気体温湿度調整装置。 - 【請求項10】 前記冷却コイルの表面を撥水性を有す
る表面としたことを特徴とする請求項1ないし9のいず
れか1項記載の高効率気体温湿度調整用装置。 - 【請求項11】 凝縮した液体を、再撒布し得る手段を
設けたことを特徴とする請求項1ないし10のいずれか
1項に記載の高効率気体温湿度調整装置。 - 【請求項12】 前記冷却コイルの表面に、その表面か
ら気体への熱放射による伝熱効率が向上する様にアルマ
イト等を使用した表面処理が施してあることを特徴とす
る請求項1ないし9のいずれか1項記載の高効率気体温
湿度調整用装置。 - 【請求項13】 前記冷却コイルの表面に超音波による
振動を与えるための超音波付与装置が装備されているこ
とを特徴とする請求項1ないし12のいずれか1項に記
載の高効率気体温度湿度調整用装置。 - 【請求項14】 前記冷却コイルの冷却水チューブへ脱
気水を供給するための手段を設けたことを特徴とする請
求項1、3ないし13のいずれか1項記載の高効率気体
温湿度調整用装置。 - 【請求項15】 前記冷却水コイルの冷却水チューブへ
水素水を供給するための手段を設けたことを特徴とする
請求項1、3ないし13のいずれか1項記載の高効率気
体温湿度調整用装置。 - 【請求項16】 冷却コイルの冷却水チューブ内に冷却
水を流すとともに、冷却フィン間に被冷却気体を流すこ
とにより被冷却気体の冷却を行う気体温湿度調整方法に
おいて、該冷却水として脱気水を用いることを特徴とす
る高効率気体温湿度調整方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000275584A JP4521847B2 (ja) | 1999-09-09 | 2000-09-11 | 気体温湿度調整用装置及び調整方法 |
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JP11-255964 | 1999-09-09 | ||
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