JP2001137790A - 円板形ワークの洗浄装置 - Google Patents
円板形ワークの洗浄装置Info
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Abstract
きる効率的で生産性に勝れたローラー式の洗浄装置を得
る。 【解決手段】 キャリヤ10に縦向きかつ一定間隔に並
べた状態に保持されたワーク列の中から、洗浄すべき複
数のワークWを、複数の持上アーム21a,21bによ
り複数枚おきに抽出して高さが高低交互に異なる各々の
洗浄位置まで持ち上げ、持ち上げられた各ワークWを、
回転する一対の洗浄ローラー3a,3bによりそれぞれ
両側から挟持し、該洗浄ローラー3a,3bの回転力に
より駆動ベルト34に押し付けてこの駆動ベルト34で
強制回転させながら、上記洗浄ローラー3a,3bによ
り洗浄液2中でスクラブ洗浄し、同様の工程を複数回繰
り返すことによりキャリヤ10中のワークを洗浄する。
Description
や光ディスク基板、シリコンウエハ、ガラスウエハなど
のような、実質的に円板形をしたワークを洗浄するため
の装置に関するものである。
の洗浄部材で洗浄するスクラブ式の洗浄装置は、例えば
特開平9−206705号公報や特開平10−8066
8号公報等に記載されているように公知である。これら
の洗浄装置は、ワークの外周を複数の駆動用ローラーで
支持して強制的に回転させると共に、噴射ノズルからワ
ークに洗浄液を吹き付けながらながら、該ワークの両面
に回転する洗浄ローラーを接触させて洗浄するものであ
る。
洗浄装置は、通常、ワークを1枚ずつ洗浄部に供給しな
がら洗浄する枚葉方式の洗浄装置であるため、スループ
ットが悪いという欠点がある。例えば50枚のワークを
洗浄するような場合には、第1枚目のワークの洗浄が始
まってから50枚目のワークの洗浄が終了するまでの時
間差が非常に大きく、前工程が大量のワークを一時に処
理するバッチ処理工程である場合に、洗浄待機中にワー
クの加工面が変化するなどの品質低下を来し易い。
課題は、複数のワークを同時に洗浄処理することができ
る効率的で生産性に勝れたローラー式の洗浄装置を提供
することにある。
め、本発明の洗浄装置は、円板形をした複数のワークを
縦向きかつ一定間隔に並べた状態で1列以上保持するキ
ャリヤと、該キャリヤに保持されたワークを順次複数枚
ずつ抽出してスクラブ洗浄する洗浄部と、上記キャリヤ
をワークの並列方向に一定間隔ずつ間欠的に移動させる
間欠送り機構とを有し、上記洗浄部が、キャリヤに保持
されたワーク列の中から洗浄すべき複数のワークを複数
枚おきに抽出して各々の洗浄位置まで持ち上げる持上機
構と、上記各洗浄位置にそれぞれ設けられ、持ち上げら
れたワークの上部外周に接触して該ワークを軸線の回り
に強制的に回転させる駆動手段と、上記各洗浄位置にそ
れぞれ一対ずつ設けられ、回転する各ワークを両面から
挟持して洗浄する駆動回転自在の洗浄ローラーとを有す
ることを特徴とするものである。
て、キャリヤに並列状態に保持された複数のワークは、
持上機構で複数枚おきに洗浄位置まで持ち上げられ、そ
れぞれが一対の洗浄ローラーによりスクラブ洗浄され
る。第1群のワークの洗浄が終わると、間欠送り機構に
よりキャリヤがワークの1並列間隔分だけ移動し、第2
群のワークの洗浄が同様にして行われる。同様の動作を
所要回数繰り返すことにより、キャリヤに保持された全
てのワークの洗浄が完了する。
間隔で並べて保持された複数のワークを複数枚おきに抽
出して洗浄することにより、ワークの並列間隔より径の
大きい洗浄ローラーを使用して複数のワークを順次洗浄
することができ、1枚ずつ移送しながら洗浄する従来の
ものに比べてスループットが良く、非常に効率的で生産
性に勝れるという利点がある。
複数のワーク洗浄位置が交互に高低異なる高さに設けら
れると共に、各々の洗浄位置における駆動手段及び洗浄
ローラーも交互に高低異なる高さに配設され、かつ隣接
する洗浄位置における隣接する洗浄ローラー同士が上下
に重複して配設されている。
狭くすることができるため、同時に洗浄できるワークの
枚数をより多くすることができる。
各洗浄位置に設けられた一対の洗浄ローラーが、ワーク
の中央部を直径方向に横断する位置に水平に配設される
と共に、洗浄時の回転力により該ワークを押し上げて上
記駆動手段に押し付けるための押付手段を兼ねている。
これにより、洗浄中にワークを回転自在に支持する専用
の支持ローラー等を設ける必要がないため、洗浄装置の
構成が簡単になる。
装置が、洗浄液が充填された洗浄槽を有していて、該洗
浄槽内の洗浄液に浸漬した状態に上記キャリヤ及び洗浄
ローラーが設置され、該洗浄液中で上記ワークの洗浄が
行われるように構成されている。
ば、上記駆動手段が、持ち上げられたワークの上端部外
周にその円周に沿って線接触するように配設された無端
の駆動ベルトからなっている。
よれば、上記持上機構が、洗浄部におけるキャリヤ設置
場所の下部に配設されて同期的に上下動する複数の持上
アームを備えていて、これらの各持上アームが、キャリ
ヤに縦向きに保持されたワークの下端部外周に嵌合する
支持溝を上端に備えている。
を図面を参照しながら詳細に説明する。図示した実施例
の洗浄装置は、円板形のワークWを、洗浄槽1内を一側
から他側に向けて横向きに流れる洗浄液2の流れの中
で、洗浄ローラー3a,3bによりスクラブ式に洗浄す
るものである。
洗浄槽1を備えている。この洗浄槽1は流液式のもの
で、実質的に溝形をしており、その一端に洗浄液2を供
給するための給液部5を有すると共に、他端に洗浄液2
を排出するための排液部6を有し、上記給液部5から排
液部6に向けて、純水や洗剤溶液又は化学薬液等からな
る洗浄液2が連続的に流されるようになっている。ま
た、該洗浄槽1の底部は、給液部5側より排液部6側が
低くなる方向に若干傾斜している。
の流れを全液深についてほぼ一様なものにするため、多
孔質プレートからなる整流機構7,8がそれぞれ設けら
れている。給液部5側の整流機構7は、空隙率の異なる
複数の穿孔プレートや繊維プレート等を順次並べること
により形成されていて、密閉構造の給液部5からこれら
の繊維プレートを通じて洗浄液を加圧状態で供給するこ
とにより、全液深についてほぼ一様な流速が得られるよ
うになっている。
通水孔を開けた金属製の穿孔プレートで形成され、この
穿孔プレートが、その上端を洗浄液2の一部がオーバー
フローし、残りが上記通水孔を通じて排液部6に流出す
るように配設されている。
洗浄液を供給しても良いが、該給液部5と排液部6との
間に洗浄液2の浄化機能を備えた給液機構を接続し、排
液部6から使用済みの洗浄液2を回収、浄化して給液部
5に供給することによって循環的に再使用することもで
きる。
て下流側から順次、キャリヤ10に保持された複数の未
洗浄ワークWを該キャリヤ10ごと槽内に供給するため
のローディング部11と、上記キャリヤ10内のワーク
Wを順次複数枚ずつ抽出して洗浄する洗浄部12と、洗
浄が終了したワークWをキャリヤ10と共に取り出すア
ンローディング部13と、これらの各部間にキャリヤ1
0を搬送する搬送機構14とが設置されている。
かるように、ワークWの外周が嵌合する複数の溝16a
を備えた3本一組の支持棒16を、中央の支持棒16が
他の支持棒16より低い位置にあるように左右の側板1
7,17間に取り付けることにより、複数のワークWを
縦向きかつ液流と平行に向けた状態で一定間隔に並べて
搭載できるように構成したもので、上述したような支持
棒16をキャリヤの搬送方向前後に二組設けることによ
り、ワークWを前後2列に搭載できるようになってい
る。図示の例では、25枚を1列として2列で合計50
枚のワークWを搭載できるように構成されている。
された前後2つのワーク列の中からそれぞれ洗浄すべき
ワークWを複数枚おきに抽出して各々の洗浄位置まで持
ち上げる持上機構20が設けられている。この持上機構
20は、各ワーク列に沿ってそれぞれ一定間隔で配設さ
れた複数の持上アーム21を有し、これらの持上アーム
21がアーム基板22上に前後2列に取り付けられてい
る。上記各持上アーム21は、ワークWを支持する上記
3本の支持棒16のうちの中央の支持棒16を避けるた
めに二股状に分岐していて、各分枝の上端に、キャリヤ
10に縦向きに保持された上記ワークWの下端部外周に
嵌合する支持溝21c(図3を参照)を有し、該支持溝
21c内にワークWを嵌合させた状態でキャリヤ10か
ら押し上げるようになっている。また、各持上アーム2
1の高さは同じではなく、高さの低い持上アーム21a
と高さの高い持上アーム21bとが交互に配設され、こ
れによりワークWを、交互に高低異なる高さに設定され
た洗浄位置まで押し上げるように構成されている。な
お、低尺の持上アーム21aと高尺の持上アーム21b
とを区別する必要がある時以外は、それらを共通符号
「21」で表すものとする。
れぞれ5つの持上アーム21が、各アーム間にワーク5
枚分の間隔をおいて設置されていて、列の一端側(図2
及び図3の右側)から順次、第1、第3、第5番目の持
上アーム21aが低尺に形成されると共に、第2、第4
番目の持上アーム21bが高尺に形成されている。
設けられた窪み1a内に昇降自在に配設されていて、ア
ーム昇降機構24により昇降自在となっており、これに
より全ての持上アーム21が同期して昇降するようにな
っている。上記アーム昇降機構24は、アーム基板22
から洗浄槽1の底部を液密に貫通して延びる昇降ロッド
25と、該昇降ロッド25の下端に取り付けられた昇降
台26と、該昇降台26を昇降させるモーターやエアシ
リンダー等の駆動源(図示せず)と、上記昇降台26の
昇降をガイドするレール28とで構成されている。
上げられたワークWを個別に洗浄するための洗浄機構3
0が設けられている。該洗浄機構30は、押し上げられ
たワークWの上部外周に個別に接触して該ワークWを洗
浄液2中で軸線の回りに強制的に回転させる駆動手段3
1と、回転するワークWを両面から挟持して洗浄液2中
で洗浄する一対の駆動回転自在の洗浄ローラー3a,3
bとを有していて、これらの駆動手段31と洗浄ローラ
ー3a,3bとが、上記各洗浄位置に該洗浄位置の高低
に合わせて交互に異なる高さに設置されている。図示の
例では、図3の右側から順次第1、第3、第5番目の洗
浄位置にある駆動手段31と洗浄ローラー3a,3bと
が低位置に設けられ、第2、第4番目の洗浄位置にある
駆動手段31と洗浄ローラー3a,3bとが高位置に設
けられている。そして、隣接する洗浄位置における隣接
する洗浄ローラー3bと3aとが、上下に重複した状態
に配設されている。洗浄ローラー3a,3bをこのよう
な位置関係に配設することにより、隣接する洗浄機構3
0,30間の間隔を狭くすることができるため、同時に
洗浄できるワークWの枚数を多くすることができる。
4で構成されている。この駆動ベルト34は、図4及び
図5から分かるように、複数(3つ)の溝付きプーリ3
5に巻き掛けられて周回方向に駆動されるようになって
いて、持ち上げられたワークWの上端部外周に、その円
周に沿って湾曲した形で線接触するように構成されてい
る。この駆動ベルト34は、ゴムや合成ゴムあるいは合
成樹脂のような、ワークWを傷付けない程度に柔軟で摩
擦の大きい素材からなるもので、その外周面に周方向の
窪み34aが設けられ、該窪み34aの部分でワークW
の外周に当接するものである。
ベルト34を使用し、この駆動ベルト34をワークWの
外周に線接触させることにより、小径の駆動ローラーを
ワークに点接触させる従来の駆動方式に比べ、駆動ベル
ト34の駆動力をワークWに確実に伝えることが可能に
なり、該ワークWを大きな駆動力で確実に回転させるこ
とができる。また、駆動ベルト34が軟質でワークWに
線接触しているため、該ワークWを傷付けることがな
い。
のプーリ35のうち頂点に位置する1つのプーリは駆動
プーリ35aとなっていて、同じ列内に位置する各駆動
ベルト34の駆動プーリ35aが同じ高さに設置されて
共通の駆動軸36上に取り付けられ、この駆動軸36に
より図示しない伝動機構を介して1つの駆動モーター3
7で駆動されるようになっている。そして、各駆動ベル
ト34におけるその他の従動プーリ35ーは洗浄位置の
高低に合わせて交互に異なる高さに設置され、それによ
って各駆動ベルト34のワークWに当接する部分が、交
互に高低異なる高さを占めるようになっている。
記各駆動ベルト34の真下のワークWを挟んで相対する
位置に、該ワークWの中央部を直径方向に横断するよう
に水平に配設されている。この洗浄ローラー3a,3b
は、金属や合成樹脂等からなる硬質の芯材の周囲に、ス
ポンジ質や繊維質の素材か、又はその他の柔軟で洗浄能
力のある素材からなる洗浄部材を必要な厚さに取り付け
たもので、ワークWを両側から挟持した状態で回転する
ことによって該ワークWの両面を洗浄するものである。
じ高さに持ち上げられた前列側のワークWと後列側のワ
ークWとを同時に挟持して洗浄できるように、これらの
ワークWを両方とも横断する長さに形成されていて、両
端がそれぞれ軸受部材40に回転自在に支持され、伝動
機構42a,42bを介して互いに別の駆動モーター4
1a,41bで駆動されるようになっている。具体的に
は、各ワークWの第1面側を洗浄する各洗浄ローラー3
aが、歯車等の伝動機構42aを介して第1の駆動モー
ター41aで駆動され、各ワークWの第2面側を洗浄す
る各洗浄ローラー3bが、同様の伝動機構42bを介し
て第2の駆動モーター41bで駆動されるように構成さ
れている。
は、図の右半部に低位置にある洗浄機構31が示され、
左半部に高位置にある洗浄機構31が示されているが、
実際には前後の相対する洗浄機構31,31は互いに同
じ高さに位置している。
は、それらの回転力でワークWを上方に持ち上げる方向
であり、これによって該ワークWが、一対の洗浄ローラ
ー3a,3bの回転力で持上アーム21から押し上げら
れて上記駆動ベルト34に下から押し付けられるように
なっている。即ち、上記洗浄ローラー3a,3bは、ワ
ークWを駆動ベルト34に押し付けるための押付手段を
兼ねるものである。
手段を兼ねさせることにより、洗浄中のワークWを回転
自在に支持させるために専用の支持ローラーを特別に設
ける必要がないため、洗浄装置の構成が簡単になる。し
かも、洗浄ローラー3a,3bのワークWに対する面圧
(押付力)を大きくすると、それだけ該ワークWを駆動
ベルト34に強く押し付けることができて該駆動ベルト
34による駆動がより確実になると同時に、洗浄ローラ
ー3a,3bによる洗浄効果も向上するといった相乗効
果が得られる。
上記軸受部材をエアシリンダやモーター等の駆動手段で
変移させることにより相互に接近したり離れたりできる
ようになっていて、洗浄圧を適宜変えられるようになっ
ている。
は、洗浄槽1内に位置するキャリヤ用の載置台45と、
この載置台45から洗浄槽1外に延出する載置台アーム
46と、該載置台アーム46を介して上記載置台45を
昇降させる載置台昇降機構47と、上記載置台45を洗
浄槽1に沿って移動させる載置台移動機構48と、上記
載置台45を洗浄部12の位置でワークWの洗浄時に、
洗浄槽1の幅方向すなわちキャリヤ10上のワーク列に
沿う方向に一定間隔ずつ間欠的に変移させる間欠送り機
構49とを有している。
ブル51上に立設された支持フレーム52に取り付けら
れて上下方向に延びるガイドレール53と、上記載置台
アーム46に取り付けられて該ガイドレール53に摺動
自在に係合するスライダー54と、上記支持フレーム5
2に取り付けられたエアシリンダー55とを有してい
て、該エアシリンダー55のロッド55aが上記載置台
アーム46に連結され、このエアシリンダー55を駆動
源として上記載置台アーム46をガイドレール53に沿
って昇降させるように構成されている。
に取り付けられて洗浄槽1と平行に延びるガイドレール
58と、このガイドレール58上を洗浄槽1に沿って移
動自在の第2可動テーブル59と、この第2可動テーブ
ル59を移動させる駆動手段60とを有し、上記第2可
動テーブル59上に、載置台アーム46を支持する上記
第1可動テーブル51が間欠送り機構49を介して搭載
されている。そして上記駆動手段60は、機体4上に上
記ガイドレール58と平行に設けられたボール螺子61
と、このボール螺子61を駆動回転させるモーター62
と、上記第2可動テーブル59に取り付けられてこのボ
ール螺子61に螺合するナット部材63とからなってい
て、上記モーター62でボール螺子61を回転させると
ナット部材63がこのボール螺子61に沿って変移し、
それによって第2可動テーブル59がガイドレール58
上を洗浄槽1に沿って移動するように構成されている。
可動テーブル59上に取り付けられて洗浄槽1の横幅方
向に延びるガイドレール66と、上記第1可動テーブル
51の下面に取り付けられて該ガイドレール66に摺動
自在に係合するスライダー67と、上記第1可動テーブ
ル51をガイドレール66に沿って変移させる駆動手段
68とで構成されている。この駆動手段68は、上記駆
動手段60と同様に、第2可動テーブル59上に取り付
けられてモーターにより駆動されるボール螺子と、第1
可動テーブル51に取り付けられてこのボール螺子に螺
合するナット部材とからなっているがそれらの図示は省
略されている。そして、上記載置台45が洗浄部12に
移動してキャリヤ10上のワークWが順次抽出洗浄され
る時に、上記駆動手段68で載置台45すなわちキャリ
ヤ10をワーク列に沿ってワークWの1並列間隔分ずつ
間欠的に変移させるものである。
クWが搭載されたキャリヤ10を供給コンベア上から洗
浄槽1の下流端に位置する上記載置台45上に供給する
ための搬入機構74が設けられ、アンローディング部1
3には、洗浄済ワークWが搭載されたキャリヤ10を洗
浄槽1の上流端において上記載置台45から搬出コンベ
ア上に取り出すための搬出機構75が設けられている。
これらの搬入機構74及び搬出機構75は、同じ構造の
スイングアーム76を有している。図1、図2及び図6
から分かるようにこのスイングアーム76は、洗浄槽1
の一側面側において基端部を支軸78で180度揺動回
転自在に支持されると共に、洗浄槽1に沿う方向と上下
方向とに移動自在なるように支持されている。更に具体
的には、上記支軸78は、第1可動テーブル85上の軸
受部材86に回転自在に支持されていて、該第1可動テ
ーブル85上に載置されたモーター87によって揺動回
転されるようになっている。また、上記第1可動テーブ
ル85は、第2可動テーブル88上に洗浄槽1に沿う方
向に設置されているガイドレール89に沿って移動自在
であり、モーター等の駆動手段90により横移動され
る。更に、上記第2可動テーブル88は、機体4に上下
方向に取り付けられたガイドレール91に沿って昇降自
在となっていて、エアシリンダ等の駆動手段92により
上下に駆動される。
槽1側に向けて水平に延びる吊支軸79が取り付けら
れ、この吊支軸79には、キャリヤ10の両外側面のフ
ック80に係止する一対の吊支部材81,81が、キャ
リヤ10の長さより若干広い間隔を保って鉛直に取り付
けられている。これらの吊支部材81,81は逆T字形
をしていて、下端の水平部分81aの両端寄りの位置に
係止部81bを有し、これらの係止部81bに上記フッ
ク80を下方から引っ掛けてキャリヤ10を吊り上げる
ようになっている。そして、上記支軸79と吊支軸79
とはタイミングベルトで相互に連結され、スイングアー
ム76がどのような揺動位置にあっても吊支部材81,
81が必ず鉛直を保つようになっており、これによって
キャリヤ10を常に水平に向けたまま搬送できるように
なっている。図中84は、洗浄槽1の上流端と下流端と
における槽底に設置された超音波照射手段である。
ワークWが搭載されたキャリヤ10が、ローディング部
11の供給コンベア上から上記スイングアーム76によ
り吊り上げられ、洗浄槽1の下流端に位置する載置台4
5上に供給されると、該載置台45が載置台移動機構4
8により洗浄部12に移動する。このとき、上記載置台
45は中間の高さまで上昇した状態でキャリヤ10を受
け取り、そのあと槽底近くまで下降して洗浄部12に移
動する。
と、アーム昇降機構24により持上アーム21が上昇
し、キャリヤ10に搭載されている前後2つのワーク列
の中からそれぞれ複数枚おきに複数のワークWが抽出さ
れて各々の洗浄位置まで押し上げられる。図示した具体
例では、各ワーク列の中からそれぞれ4枚おきに5枚の
ワークW、すなわち第1、第6、第11、第16、第2
1番目のワークWが第1群の被洗浄用ワークとして抽出
され、洗浄位置まで持ち上げられる。持ち上げられた各
ワークWは、回転する一対の洗浄ローラー3a,3bで
それぞれ両側から挟持され、これらの洗浄ローラー3
a,3bの回転力により上端部が駆動ベルト34に押し
付けられる位置まで更に押し上げられ、該駆動ベルト3
4で強制的に回転させられながら洗浄液2中において上
記洗浄ローラー3a,3bで両面がスクラブ洗浄され
る。このとき、前後列の互いに同じ位置にある2つのワ
ークWは、共通の洗浄ローラー3a,3bで挟持されて
洗浄される。
の洗浄が終了すると、上記駆動ベルト34及び洗浄ロー
ラー3a,3bの回転が停止する。そして、一対の洗浄
ローラー3a,3bが若干離間して挟持したワークを解
放することにより、上昇した位置で待機している持上ア
ーム21上の支持溝21c内に嵌合させると、該持上ア
ーム21が下降して各ワークWがキャリヤ10の元の位
置に収納される。
示すように、間欠送り機構49によりワーク列に沿って
ワークWの1並列間隔分だけ前進する。そしてその位置
で持上アーム21が上昇することにより、各ワーク列の
中から第2群の被洗浄用ワークとして、第2、第7、第
12、第17、第22番目のワークWが抽出され、洗浄
位置まで持ち上げられて同様のスクラブ洗浄が行われ
る。
50枚のワークWが全て洗浄されると、載置台45が、
間欠送り機構49によりワーク列に沿って元の位置に後
退、復帰したあと、アンローディング部に移動し、ここ
でスイングアーム76に吊り上げられて排出コンベア上
に排出され、次工程に送られる。キャリヤ10を取り出
された載置台45は洗浄槽1内を下流端のローデング部
に移動し、未洗浄ワークWを搭載したキャリヤ10が供
給されることにより上述した工程が繰り返される。
を前後2列に搭載したものが示されているが、ワークW
の搭載列数は1列であっても3列以上であっても良い。
あるいは、ワークWを1列又は複数列搭載した複数のキ
ャリヤを、載置台45上に前後方向(洗浄槽に沿う方
向)と左右方向(洗浄槽の幅方向)の少なくとも何れか
一方向に並べて載置し、各キャリヤに搭載されたワーク
を上述した方法で複数枚ずつ同時にスクラブ洗浄するよ
うに構成することもできる。それぞれの場合、ワークの
列数や枚数等に応じて駆動ベルト34及び洗浄ローラー
3a,3bがそれらに適合する数及び態様に設けられる
ことは勿論である。
されているが、洗浄中は洗浄液が流れない液溜式のもの
であっても良く、あるいは、洗浄部12に設けたノズル
からワークWと洗浄ローラー3a,3bとに向けて洗浄
液2を噴射するシャワー式のものであっても良い。
クWを洗浄ローラーで同時にスクラブ洗浄処理すること
ができる効率的で生産性に勝れたローラー式の洗浄装置
を得ることができる。
ある。
右側面図である。
26)
のプーリ35のうち頂点に位置する1つのプーリは駆動
プーリ35aとなっていて、同じ列内に位置する各駆動
ベルト34の駆動プーリ35aが同じ高さに設置されて
共通の駆動軸36上に取り付けられ、この駆動軸36に
より図示しない伝導機構を介して1つの駆動モーター3
7で駆動されるようになっている。そして、各駆動ベル
ト34におけるその他の従動プーリ35は洗浄位置の高
低に合わせて交互に異なる高さに設置され、それによっ
て各駆動ベルト34のワークWに当接する部分が、交互
に高低異なる高さを占めるようになっている。
Claims (6)
- 【請求項1】円板形をした複数のワークを縦向きかつ一
定間隔に並べた状態に保持するキャリヤと、該キャリヤ
に保持されたワークを順次複数枚ずつ抽出してスクラブ
洗浄する洗浄部と、上記キャリヤをワークの列方向に一
定間隔ずつ間欠的に変移させる間欠送り機構とを有し、 上記洗浄部が、キャリヤに保持されたワーク列の中から
洗浄すべき複数のワークを複数枚おきに抽出して各々の
洗浄位置まで持ち上げる持上機構と、上記各洗浄位置に
それぞれ設けられ、持ち上げられたワークの上部外周に
接触して該ワークを軸線の回りに強制的に回転させる駆
動手段と、上記各洗浄位置にそれぞれ一対ずつ設けら
れ、回転する各ワークを両面から挟持して洗浄する駆動
回転自在の洗浄ローラーとを有する、ことを特徴とする
円板形ワークの洗浄装置。 - 【請求項2】請求項1に記載の洗浄装置において、上記
複数のワーク洗浄位置が交互に高低異なる高さに設けら
れると共に、各々の洗浄位置における駆動手段及び洗浄
ローラーも交互に高低異なる高さに配設され、かつ隣接
する洗浄位置における隣接する洗浄ローラー同士が上下
に重複して配設されていることを特徴とするもの。 - 【請求項3】請求項1又は2に記載の洗浄装置におい
て、上記各洗浄位置に設けられた一対の洗浄ローラー
が、ワークの中央部を直径方向に横断する位置に水平に
配設されると共に、洗浄時の回転力により該ワークを押
し上げて上記駆動手段に押し付けるための押付手段を兼
ねていることを特徴とするもの。 - 【請求項4】請求項1から3までの何れかに記載の洗浄
装置において、該洗浄装置が、洗浄液が充填された洗浄
槽を有していて、該洗浄槽内の洗浄液に浸漬した状態に
上記キャリヤ及び洗浄ローラーが設置され、該洗浄液中
で上記ワークの洗浄が行われるように構成されているこ
とを特徴とするもの。 - 【請求項5】請求項1から4までの何れかに記載の洗浄
装置において、上記駆動手段が無端の駆動ベルトからな
っていて、該駆動ベルトのワークに接触する部分が、該
ワークの円周方向に湾曲することによりワーク外周に線
接触するように構成されていることを特徴とするもの。 - 【請求項6】請求項1から5までの何れかに記載の洗浄
装置において、上記持上機構が、洗浄部におけるキャリ
ヤ設置場所の下部に一定間隔で配設されて同時に上下動
する複数の持上アームを備えていて、これらの各持上ア
ームの上端に、キャリヤに縦向きに保持された上記ワー
クの下端部外周に嵌合する支持溝が設けられていること
を特徴とするもの。
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