JPH09300163A - ワーク搬送用キャリヤ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数のワークを処理装置に一括して搬入及び
搬出することができ、且つ、搬入及び搬出時と処理中と
でワークの支持方法を変えることができるキャリヤ装置
を得る。 【解決手段】 相互に嵌合及び分離可能な第１キャリヤ
部材２及び第２キャリヤ部材３でキャリヤ装置を構成す
る。上記両キャリヤ部材２及び３は、一対のフレーム１
０，１０及び１３，１３間に、板状ワーク４を載置状態
に支持する複数の平行に配設された支持棒１１及び１４
を有していて、これらの各支持棒の前後方向の位置及び
高さが両キャリヤ部材２，３間において相互に異なって
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク基板
やガラス基板、その他のセラミック基板、各種の電子部
品や光学部品又は機械部品のような、実質的に平板形を
したワークの搬送に好適なキャリヤ装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】例えば、磁気ディスク基板のような平板
状をしたワークの処理装置として、例えば実公平４−２
２４１１号公報に記載されているように、洗浄や乾燥等
の工程をライン化し、複数のワークをキャリヤに収容し
たままラインに沿って順次搬送することにより、必要な
処理を施すようにしたものが知られている。このような
処理装置においては、複数のワークをキャリヤごと一括
して搬送することにより、非常に能率良く処理すること
ができるが、ワークの搬入及び搬出と処理中のワークの
支持とを１つのキャリヤで行っていたため、例えば、搬
入及び搬出時のワークは安定性を良くするために非回転
状態に支持して、処理中のワークは回転自在に支持しな
ければならない場合や、搬入及び搬出時と処理中とでワ
ークの支持位置を変えなければならない場合、工程によ
って異なる支持方法を用いなければならない場合などに
は、対応することができなかった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、複数のワークを処理装置に一括して搬入及び搬出す
ることができると同時に、搬入及び搬出時と処理中とで
ワークの支持方法を変えることができる、使用性に勝れ
たキャリヤ装置を提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、相互に嵌合及び分離可能な第１キ
ャリヤ部材及び第２キャリヤ部材からなり、両キャリヤ
部材がそれぞれ、板状ワークを載置状態に支持する複数
の平行に配設された支持棒を有していて、これらの各支
持棒の前後方向の位置及び高さが両キャリヤ部材間にお
いて相互に異なっていることを特徴とするワーク搬送用
キャリヤ装置が提供される。

【０００５】また、本発明によれば、ワーク処理装置に
取り付けられて処理中のワークを支持する第１キャリヤ
部材と、該第１キャリヤ部材に対する未処理ワークの搬
入と処理済ワークの搬出とを行うための、該第１キャリ
ヤ部材に嵌装可能に構成された第２キャリヤ部材とから
なり、上記両キャリヤ部材がそれぞれ、左右一対のフレ
ーム間に、板状ワークの外周部分が嵌合する複数の周溝
を一定間隔で備えた複数の支持棒を相互に平行に取り付
けて、各周溝の位置でこれらの支持棒上にワークを縦向
きに支持するものとして構成されると共に、両キャリヤ
部材間で各支持棒の前後方向の位置が相互に違えられ、
且つ第２キャリヤ部材の支持棒が第１キャリヤ部材の支
持棒より低い位置に設けられていることを特徴とするワ
ーク搬送用キャリヤ装置が提供される。

【０００６】上記構成のキャリヤ装置において、支持棒
上にワークが載置された第２キャリヤ部材を第１キャリ
ヤ部材に上方から嵌合させると、第２キャリヤ部材の支
持棒が第１キャリヤ部材の支持棒より低い位置まで下降
するため、その過程で、第２キャリヤ部材の支持棒上に
あったワークは第１キャリヤ部材の支持棒上に自動的に
転移し、該第１キャリヤ部材に支持される。上記第１キ
ャリヤ部材に支持されたワークの処理が終了して第２キ
ャリヤ部材を該第１キャリヤ部材から取り外すと、その
過程で、第１キャリヤ部材の支持棒上にあったワークは
第２キャリヤ部材の支持棒上に自動的に転移し、該第２
キャリヤ部材により取り出される。

【０００７】かくして本発明のキャリヤ装置は、２種類
のキャリヤ部材を、第１キャリヤ部材で処理中のワーク
を支持し、該第１キャリヤ部材に対するワークの搬入及
び搬出を第２キャリヤ部材で行うといった具合に使い分
けることにより、第１キャリヤ部材をその処理工程での
ワークの支持に適した構造とし、第２キャリヤ部材を搬
入及び搬出に適した構造とすることができ、これによ
り、複数のワークを第２キャリヤ部材により一括して搬
送することができると同時に、処理中のワークを第１キ
ャリヤ部材でその処理に適した方法で支持することがで
きる。

【０００８】本発明の一つの具体的な構成態様によれ
ば、上記両キャリヤ部材における複数の支持棒が、円板
状のワークを支持可能なるように、被支持位置にあるワ
ークと同心の円周に沿って凹段状に配設されている。本
発明の他の具体例によれば、上記第１キャリヤ部材の各
支持棒が回転自在に配設され、第２キャリヤ部材の各支
持棒が固定的に配設されている。本発明のキャリヤ装置
においては、上記第２キャリヤ部材に吊り下げ用のフッ
クが設けられていることが望ましい。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１及び図２は本発明に係るキャ
リヤ装置の好ましい一実施例を示すもので、このキャリ
ヤ装置１は、相互に嵌合及び分離可能な第１キャリヤ部
材２と第２キャリヤ部材３とからなっている。

【００１０】上記第１キャリヤ部材２は、ワーク処理装
置におけるテーブル等に取り付けられて処理中のワーク
を支持するもので、図３及び図４に示すように構成され
ている。即ち、この第１キャリヤ部材２は、相対する一
対のフレーム１０，１０を有し、これらのフレーム１
０，１０間に、円板形ワーク４を支持する複数（図では
３本が１組）の支持棒１１を、支持されたワーク４と同
心の円周に沿って凹段状に且つ回転自在に取り付けたも
ので、これらの各支持棒１１には、ワーク４の外周部分
が嵌合する複数の周溝１１ａが軸方向に一定間隔で形成
され、これらの各周溝１１ａの位置でワーク４が縦向き
に支持されるようになっている。

【００１１】上記第１キャリヤ部材２をワーク処理装置
のテーブル等に取り付ける手段は任意であって、フレー
ム１０，１０を螺子止めしたり、フレーム１０，１０の
下端をテーブル上の窪みや突起に係止させるなど、その
処理装置に合った適宜の手段が用いられる。なお、図示
の例では、３本１組の上記支持棒１１を前後に２組設け
ることにより、ワーク４を前後２列に載置できるように
しているが、上記支持棒１１は１組だけ設けても、３組
以上設けても良い。

【００１２】一方、上記第２キャリヤ部材３は、上記第
１キャリヤ部材２に対する未処理ワークの搬入と処理済
ワークの搬出とを行うためのもので、図５及び図６に示
すように構成されている。即ち、この第２キャリヤ部材
３は、上記第１キャリヤ部材２が内側へ嵌合し得る程度
の間隔で相対する一対のフレーム１３，１３を有し、こ
れらのフレーム１３，１３間に、ワーク４を支持する複
数（図では３本が１組）の支持棒１４を、支持されたワ
ーク４と同心の円周に沿って凹段状に配置して固定的に
取り付けたもので、各支持棒１４には、ワーク４の外周
部分が嵌合する複数の周溝１４ａが軸方向に一定間隔で
設けられ、これらの各周溝１４ａの位置でワーク４が縦
向きに支持されるようになっている。上記周溝１４ａの
配設位置及び間隔は、第１キャリヤ部材２における周溝
１１ａの配設位置及び間隔と同じである。

【００１３】上記支持棒１４は前後に２組設けられてい
るが、これは、常に第１キャリヤ部材２の支持棒１１と
同じ組数だけ設けられる。そして、この第２キャリヤ部
材３における各支持棒１４は、第１キャリヤ部材２の支
持棒１１との位置競合を避けるため、その取付位置が第
１キャリヤ部材２のものとは円周に沿って前後方向に若
干異なっており、しかも、第１キャリヤ部材２の支持棒
１１より若干低い位置に取り付けられている。

【００１４】従って、図１及び図２に示すように、支持
棒１４上にワーク４を載置した上記第２キャリヤ部材３
を、第１キャリヤ部材２に上方から嵌装すると、該第２
キャリヤ部材３の支持棒１４が第１キャリヤ部材２の支
持棒１１よりも低い位置まで下降するため、その過程
で、該第２キャリヤ部材３の支持棒１４上にあったワー
ク４が第１キャリヤ部材２の支持棒１１上に自動的に転
移し、この第１キャリヤ部材２によって支持される。こ
のとき、第１キャリヤ部材２の支持棒１１によるワーク
の支持位置は、第２キャリヤ部材３の支持棒１４による
支持位置とは若干異なっている。

【００１５】また、その逆に、上記第２キャリヤ部材３
を第１キャリヤ部材２から分離させて取り出すと、それ
まで第１キャリヤ部材２の支持棒１１上にあったワーク
４が該第２キャリヤ部材３の支持棒１４上に自動的に転
移し、該第２キャリヤ部材３によって取り出されること
になる。

【００１６】上記第１キャリヤ部材２のフレーム１０，
１０には、両キャリヤ部材２，３を嵌合したとき第２キ
ャリヤ部材３の各支持棒１４を逃げるため、適宜形状の
切欠き１０ａが形成され、第２キャリヤ部材３のフレー
ム１３，１３には、該キャリヤ部材３をローダー又はア
ンローダーで出し入れする際に吊り掛けるためのフック
１６が形成されている。なお、図中１７は、第２キャリ
ヤ部材３のフレーム１３，１３間に架設した軸棒、１８
は両キャリヤ部材２，３の嵌合位置を規定するため第１
キャリヤ部材２のフレーム１０，１０の外面に設けたス
ぺーサである。

【００１７】図７は上記キャリヤ装置１を適用したスク
ラバ洗浄装置を例示するもので、この洗浄装置は、洗浄
槽２０内に水や洗剤又は化学薬液等からなる洗浄液２１
を一方向に向けて連続的に流しながら、上記キャリヤ装
置１の第１キャリヤ部材２に支持された複数のワーク４
の両面を、洗浄液２１中において、モータ２２ｂで駆動
されるブラシ軸２２ａにワーク４と同じ配列で取り付け
た複数の回転ブラシ２２により洗浄するものである。上
記第１キャリヤ部材２は、洗浄槽２０に沿って移動自在
のテーブル２３上に取り付けられ、このテーブル２３に
よって下流端のローディング部２４から上流端のアンロ
ーディング部２５まで搬送されるようになっており、上
記テーブル２３は、ナット部材２６を介して螺子棒２７
にねじ結合され、モーター２８による該螺子棒２７の正
逆回転によって上記ローディング部２４とアンローディ
ング部２５との間を往復動するようになっている。

【００１８】図中３０は上記洗浄液２１を供給するため
の供給機構で、洗浄液の浄化機能を備えた給液タンク３
１と、該給液タンク３１内の洗浄液をパイプ３２を通じ
て給液口３３に圧送するポンプ３４と、該ポンプ３４か
らの洗浄液を濾過するフィルタ３５とを備え、排液口３
６から排出された洗浄液をパイプ３７を通じて上記給液
タンク３１に回収し、それを浄化して循環的に再使用す
るように構成されたものである。

【００１９】上記構成の洗浄装置において、未洗浄ワー
ク４を保持した第２キャリヤ部材３が、図示しないロー
ダーにより吊支されて、ローディング部２４にある上記
第１キャリヤ部材２に上方から嵌合されると、前述した
ようにして、該第２キャリヤ部材３内のワーク４は第１
キャリヤ部材２の支持棒１１上に自動的に転移し、該第
１キャリヤ部材２により支持される。

【００２０】その状態で上記両キャリヤ部材２，３は、
テーブル２３により洗浄液２１中を上流側に向けて所要
の速度で搬送され、前列のワーク４が洗浄位置に達する
とその位置に停止し、先ず前列のワーク４が回転ブラシ
２２で洗浄される。このとき各ワーク４は、回転ブラシ
２２との摩擦により従動回転しながら洗浄される。前列
のワーク４の洗浄が終わるとテーブル２３により両キャ
リヤ部材２，３が一定距離前進し、後列のワーク４が同
様にして洗浄される。

【００２１】ワーク４の洗浄が終わり、テーブル２３が
前進して両キャリヤ部材２，３がアンローディング部２
５まで送られると、図示しないアンローダーにより第２
キャリヤ部材３が持ち上げられ、第１キャリヤ部材２か
ら分離されて洗浄槽２０から取り出される。このとき、
第１キャリヤ部材２の支持棒１１上にあったワーク４は
第２キャリヤ部材３の支持棒１４上に自動的に転移し、
該第２キャリヤ部材３によって搬出される。

【００２２】取り出された上記第２キャリヤ部材３は、
処理済ワーク４と共に次工程の第１キャリヤ部材に嵌合
され、該ワークに次の処理が施される。第２キャリヤ部
材３と洗浄済ワーク４とが取り出された上記第１キャリ
ヤ部材２は、テーブル２３と共にローディング部２４に
復帰し、次の未洗浄ワークを保持した別の第２キャリヤ
部材が搬入されて、同様の工程が繰り返される。

【００２３】かくして上記キャリヤ装置１においては、
２種類のキャリヤ部材２，３を、第１キャリヤ部材２で
処理中のワーク４を支持し、該第１キャリヤ部材２に対
するワーク４の搬入及び搬出を第２キャリヤ部材３で行
うといった具合に使い分けることにより、第１キャリヤ
部材２をその処理工程でのワークの支持に適した構造と
し、第２キャリヤ部材３をワーク４の搬入及び搬出に適
した構造とすることができ、これにより、複数のワーク
４を第２キャリヤ部材３により一括して搬送することが
できると同時に、処理中のワークを第１キャリヤ部材２
でその処理に適した方法で支持することができる。

【００２４】上記実施例では、第２キャリヤ部材３の支
持棒１４を固定的に取り付けて、第１キャリヤ部材２の
支持棒１１を回転自在に取り付けているが、その逆に、
第２キャリヤ部材３の支持棒１４を回転自在として、第
１キャリヤ部材２の支持棒１１を固定としても良く、あ
るいは、両方の支持棒を固定又は回転自在としても良
い。また、上記実施例のキャリヤ装置１は、円板形のワ
ーク４の支持に適した構成であるが、支持棒１１，１４
の配置を必要に応じて若干変更することにより、角形の
ワークを支持させるように構成することもできる。な
お、上記第１キャリヤ部材２及び第２キャリヤ部材３
は、いずれも耐熱性及び耐薬品性を有する素材を使用し
て構成することが望ましい。

【００２５】

【発明の効果】このように本発明によれば、２種類のキ
ャリヤ部材を、第１キャリヤ部材で処理中のワークを支
持し、該第１キャリヤ部材に対するワークの搬入及び搬
出を第２キャリヤ部材で行うといった具合に使い分ける
ことにより、第１キャリヤ部材をその処理工程でのワー
クの支持に適した構造とし、第２キャリヤ部材を搬入及
び搬出に適した構造とすることができ、これにより、複
数のワークを第２キャリヤ部材により一括して搬送する
ことができると同時に、処理中のワークを第１キャリヤ
部材でその処理に適した方法で支持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るキャリヤ装置の一実施例を一部を
破断して示す側面図である。

【図２】図１のキャリヤ装置の正面図である。

【図３】支持用キャリヤ装置の側断面図である。

【図４】図３の正面図である。

【図５】搬送用キャリヤ装置の側断面図である。

【図６】図５の正面図である。

【図７】本発明のキャリヤ装置を適用した洗浄装置の側
断面図である。

【符号の説明】

１ キャリヤ装置 ２ 第１キャリヤ部
材 ３ 第２キャリヤ部材 ４ ワーク １０，１３ フレーム １１，１４ 支持棒 １１ａ，１４ａ 周溝 １６ フック

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】相互に嵌合及び分離可能な第１キャリヤ部
   材及び第２キャリヤ部材からなり、両キャリヤ部材がそ
   れぞれ、板状ワークを載置状態に支持する複数の平行に
   配設された支持棒を有していて、これらの各支持棒の前
   後方向の位置及び高さが両キャリヤ部材間において相互
   に異なっていることを特徴とするワーク搬送用キャリヤ
   装置。
2. 【請求項２】ワーク処理装置に取り付けられて処理中の
   ワークを支持する第１キャリヤ部材と、該第１キャリヤ
   部材に対する未処理ワークの搬入と処理済ワークの搬出
   とを行うための、該第１キャリヤ部材に嵌装可能に構成
   された第２キャリヤ部材とからなり、 上記両キャリヤ部材がそれぞれ、左右一対のフレーム間
   に、板状ワークの外周部分が嵌合する複数の周溝を一定
   間隔で備えた複数の支持棒を相互に平行に取り付けて、
   各周溝の位置でこれらの支持棒上にワークを縦向きに支
   持するものとして構成されると共に、両キャリヤ部材間
   で各支持棒の前後方向の位置が相互に違えられ、且つ第
   ２キャリヤ部材の支持棒が第１キャリヤ部材の支持棒よ
   り低い位置に設けられている、ことを特徴とするワーク
   搬送用キャリヤ装置。
3. 【請求項３】請求項１又は２に記載のキャリヤ装置にお
   いて、上記両キャリヤ部材における複数の支持棒が、円
   板状のワークを支持可能なるように、被支持位置にある
   ワークと同心の円周に沿って凹段状に配設されているも
   の。
4. 【請求項４】請求項３に記載のキャリヤ装置において、
   上記第１キャリヤ部材の各支持棒が回転自在に配設さ
   れ、第２キャリヤ部材の各支持棒が固定的に配設されて
   いるもの。
5. 【請求項５】請求項１乃至４のいずれかに記載のキャリ
   ヤ装置において、上記第２キャリヤ部材に吊り下げ用の
   フックが設けられているもの。