JP2001130976A - セラミックスと金属の接合方法及びその方法により接合されたセラミックスと金属の接合体 - Google Patents
セラミックスと金属の接合方法及びその方法により接合されたセラミックスと金属の接合体Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 中間材を用いないセラミックスと金属の接合
方法及びその方法によるセラミックスと金属の接合体の
提供。 【解決手段】 金属側の接合面面積をセラミックス側の
接合面面積の90%を超えない面積として接合すること
を特徴とする。
方法及びその方法によるセラミックスと金属の接合体の
提供。 【解決手段】 金属側の接合面面積をセラミックス側の
接合面面積の90%を超えない面積として接合すること
を特徴とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックスと金
属とをろう付にて接合する方法及びその方法により接合
されたセラミックスと金属の接合体に関するもので、例
えば、電気を入り切りする開閉器において、接触子を開
閉するため電気的に絶縁された操作ロッドにおける絶縁
物(セラミックス)と金属との接合に関する。
属とをろう付にて接合する方法及びその方法により接合
されたセラミックスと金属の接合体に関するもので、例
えば、電気を入り切りする開閉器において、接触子を開
閉するため電気的に絶縁された操作ロッドにおける絶縁
物(セラミックス)と金属との接合に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の方法及び接合体を図7に基づいて
説明する。図7は、特開平1−299790号公報に開
示された接合体を示すものであり、セラミックスとして
のアルミナ1と金属としてのニッケル棒2との間に、ニ
ッケル板4や4タングステン板5等を中間材として介在
させている。図中の3はろう材である。
説明する。図7は、特開平1−299790号公報に開
示された接合体を示すものであり、セラミックスとして
のアルミナ1と金属としてのニッケル棒2との間に、ニ
ッケル板4や4タングステン板5等を中間材として介在
させている。図中の3はろう材である。
【0003】尚、その他の中間材としては、1990
年、日刊工業新聞社発行の「セラミックス接合工学」
(岸本信也・須賀唯和 共著、)に記載されているよう
に、ニオブ(Nb)、モリブデン(Mo)、アルミニウ
ム(Al)、銅(Cu)、鉄・ニッケル・クロム合金
(Fe−Ni−Cr)、銅・炭素(Cu−C)、アルミ
ニウム・炭化珪素(Al−SiC)、発泡金属、多孔質
材料等がある。
年、日刊工業新聞社発行の「セラミックス接合工学」
(岸本信也・須賀唯和 共著、)に記載されているよう
に、ニオブ(Nb)、モリブデン(Mo)、アルミニウ
ム(Al)、銅(Cu)、鉄・ニッケル・クロム合金
(Fe−Ni−Cr)、銅・炭素(Cu−C)、アルミ
ニウム・炭化珪素(Al−SiC)、発泡金属、多孔質
材料等がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の接合方法やその
方法による接合体は、上記のような中間材を必要とする
ものであった。このため、接合作業に当り、部品点数が
多くなり、組立に手間がかかり、製作コストが高価とな
る等の問題がある。又、介在させる中間材の表面状態が
悪いと、十分な接合強度が得られなくなるため、その管
理を十分に行わなければならなかった。
方法による接合体は、上記のような中間材を必要とする
ものであった。このため、接合作業に当り、部品点数が
多くなり、組立に手間がかかり、製作コストが高価とな
る等の問題がある。又、介在させる中間材の表面状態が
悪いと、十分な接合強度が得られなくなるため、その管
理を十分に行わなければならなかった。
【0005】本発明は、上記のような課題を解消すると
共に、接合強度に高い信頼性を与える接合方法及び接合
体の提供を目的とする。
共に、接合強度に高い信頼性を与える接合方法及び接合
体の提供を目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、セラ
ミックスと金属とをろう付にて接合する方法において、
金属側の接合面面積はセラミックス側の接合面面積の9
0%を超えない面積とすることを特徴とする。
ミックスと金属とをろう付にて接合する方法において、
金属側の接合面面積はセラミックス側の接合面面積の9
0%を超えない面積とすることを特徴とする。
【0007】請求項2の発明は、セラミックスと金属と
をろう付にて接合する方法において、金属側の接合面面
積はセラミックス側の接合面面積の90%を超えない面
積とすることを特徴とする。
をろう付にて接合する方法において、金属側の接合面面
積はセラミックス側の接合面面積の90%を超えない面
積とすることを特徴とする。
【0008】請求項3の発明は、請求項1乃至請求項2
の何れかに記載のセラミックスと金属の接合方法におい
て、接合面は平面であることを特徴とする。
の何れかに記載のセラミックスと金属の接合方法におい
て、接合面は平面であることを特徴とする。
【0009】請求項4の発明は、請求項1乃至請求項5
に記載のセラミックスと金属の接合方法において、セラ
ミックスはアルミナ、金属は銅、ニッケル、鉄の何れか
一つであることを特徴とする。
に記載のセラミックスと金属の接合方法において、セラ
ミックスはアルミナ、金属は銅、ニッケル、鉄の何れか
一つであることを特徴とする。
【0010】請求項5の発明は、請求項1乃至請求項4
記載のセラミックスと金属の接合方法において、セラミ
ックスはアルミナ、金属は銅、ニッケル、鉄の何れか一
つを主成分とする合金であることを特徴とする。
記載のセラミックスと金属の接合方法において、セラミ
ックスはアルミナ、金属は銅、ニッケル、鉄の何れか一
つを主成分とする合金であることを特徴とする。
【0011】請求項6発明は、請求項1乃至請求項6の
何れかに記載のセラミックスと金属の接合方法におい
て、セラミックスの接合面にメタライズが施されていな
い場合には、活性金属入りのろう材を使用することを特
徴とする。
何れかに記載のセラミックスと金属の接合方法におい
て、セラミックスの接合面にメタライズが施されていな
い場合には、活性金属入りのろう材を使用することを特
徴とする。
【0012】請求項7の発明は、請求項6に記載のセラ
ミックスと金属の接合方法において、活性金属はチタン
(Ti)又はジルコニウム(Zr)であることを特徴と
する。
ミックスと金属の接合方法において、活性金属はチタン
(Ti)又はジルコニウム(Zr)であることを特徴と
する。
【0013】請求項8のセラミックスと金属の接合体の
発明は、請求項1乃至請求項7の何れかに記載のセラミ
ックスと金属の接合方法により接合されたことを特徴と
する。
発明は、請求項1乃至請求項7の何れかに記載のセラミ
ックスと金属の接合方法により接合されたことを特徴と
する。
【0014】本発明の特徴は、図1のセラミックス10
と金属20との接合体の断面図で示すように、セラミッ
クス10と金属20のろう付け接合面(以下、単に接合
面という)において、金属20の接合面面積をセラミッ
クス10の接合面面積より小さく、例えば、セラミック
ス10の接合面面積の90%を超えない面積とすること
にある。この場合、セラミックス10と金属20との双
方の接合面を平面とすると更によい。この接合方法によ
り、十分なろう付け強度を有する接合体を得ることがで
きる。尚、本明細書において、金属20の接合面とは、
文字通り、セラミックス10側と実質的に接触して接合
される面の全てをいう。他方、セラミックス10の接合
面とは、金属20側と実質的に接触して接合される面及
び当該面が延在する面であって、金属20側と接触しな
い面部分を含むものとする。
と金属20との接合体の断面図で示すように、セラミッ
クス10と金属20のろう付け接合面(以下、単に接合
面という)において、金属20の接合面面積をセラミッ
クス10の接合面面積より小さく、例えば、セラミック
ス10の接合面面積の90%を超えない面積とすること
にある。この場合、セラミックス10と金属20との双
方の接合面を平面とすると更によい。この接合方法によ
り、十分なろう付け強度を有する接合体を得ることがで
きる。尚、本明細書において、金属20の接合面とは、
文字通り、セラミックス10側と実質的に接触して接合
される面の全てをいう。他方、セラミックス10の接合
面とは、金属20側と実質的に接触して接合される面及
び当該面が延在する面であって、金属20側と接触しな
い面部分を含むものとする。
【0015】上記のセラミックスとしては、例えばアル
ミナ(アルミナセラミックス)が開閉器の絶縁ロッドの
場合に好適である。又、上記の金属としては、例えば、
銅を始めとして、銅を主成分とする銅・亜鉛(Cu−Z
n)、銅・錫(Cu−Sn)、銅・クロム(Cu−C
r)、銅・ジルコニウム(Cu−Zr)、銅・ベリリウ
ム(Cu−Be)、銅・チタン(Cu−Ti)等の合
金、又、ニッケル(Ni)を始めとして、ニッケルを主
成分とするニッケル・銅(Ni−Cu)、モネル、イン
コネル等の合金、更には、鉄(Fe)を始めとして、鉄
を主成分とする鉄・ニッケル(Fe−Ni)、コバ−
ル、インコロイ等の合金が好適である。
ミナ(アルミナセラミックス)が開閉器の絶縁ロッドの
場合に好適である。又、上記の金属としては、例えば、
銅を始めとして、銅を主成分とする銅・亜鉛(Cu−Z
n)、銅・錫(Cu−Sn)、銅・クロム(Cu−C
r)、銅・ジルコニウム(Cu−Zr)、銅・ベリリウ
ム(Cu−Be)、銅・チタン(Cu−Ti)等の合
金、又、ニッケル(Ni)を始めとして、ニッケルを主
成分とするニッケル・銅(Ni−Cu)、モネル、イン
コネル等の合金、更には、鉄(Fe)を始めとして、鉄
を主成分とする鉄・ニッケル(Fe−Ni)、コバ−
ル、インコロイ等の合金が好適である。
【0016】実験によれば、金属20の接合面面積が9
0%を超えると、セラミックスに残留する熱応力が大き
くなって、低いろう付け強度となってしまうばかりか、
ろう付け完了時点でセラミックスに破壊が生じたりし
た。
0%を超えると、セラミックスに残留する熱応力が大き
くなって、低いろう付け強度となってしまうばかりか、
ろう付け完了時点でセラミックスに破壊が生じたりし
た。
【0017】又、例えばチタン(Ti)やジルコニウム
(Zr)等を適当に含有した活性金属ろう材を用いる場
合には、接合面にメタライズを施したり、ニッケルメッ
キしたりする工程を省いても十分な接合強度を有する接
合体が得られる。従って、本発明によれば、接合体の接
合面にメタライズを施したり、ニッケルメッキしたりす
る工程が不要となる。
(Zr)等を適当に含有した活性金属ろう材を用いる場
合には、接合面にメタライズを施したり、ニッケルメッ
キしたりする工程を省いても十分な接合強度を有する接
合体が得られる。従って、本発明によれば、接合体の接
合面にメタライズを施したり、ニッケルメッキしたりす
る工程が不要となる。
【0018】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、開閉器の
絶縁ロッドとして用いられるセラミックスと金属との接
合体を例にして説明する。尚、この例に示す接合体は、
絶縁物としてのセラミックスを中央にして、その上下に
同種の金属が接合された形態のもので、接合部分が2個
所あるが、両接合部分における接合方法は同様であるの
で、以下、一方の接合部分について説明する。
絶縁ロッドとして用いられるセラミックスと金属との接
合体を例にして説明する。尚、この例に示す接合体は、
絶縁物としてのセラミックスを中央にして、その上下に
同種の金属が接合された形態のもので、接合部分が2個
所あるが、両接合部分における接合方法は同様であるの
で、以下、一方の接合部分について説明する。
【0019】実施の形態1.図2に示す形態において、
この実施の形態1では、ろう付け面にメタライズとニッ
ケルメッキを施したφ20×L20mmのアルミナセラ
ミックス11と、外径をφ30、20、19、18、1
5、10mmと変化させたL50mmの銅棒(Cu)2
1とを、厚さ0.1mmのろう材(BAg−8)31を
間に挟んで直立させ1×10-5Torrの真空度で80
0℃×5分の加熱でろう付けを行った。ろう付け後に、
セラミックス11の両端にろう付けされた銅棒(Cu)
21を引張り試験機で引張りろう付け強度を測定したと
ころ、図6の表に示すような結果が得られた。
この実施の形態1では、ろう付け面にメタライズとニッ
ケルメッキを施したφ20×L20mmのアルミナセラ
ミックス11と、外径をφ30、20、19、18、1
5、10mmと変化させたL50mmの銅棒(Cu)2
1とを、厚さ0.1mmのろう材(BAg−8)31を
間に挟んで直立させ1×10-5Torrの真空度で80
0℃×5分の加熱でろう付けを行った。ろう付け後に、
セラミックス11の両端にろう付けされた銅棒(Cu)
21を引張り試験機で引張りろう付け強度を測定したと
ころ、図6の表に示すような結果が得られた。
【0020】表によれば、銅棒(Cu)21の径が小さ
い場合には銅棒(Cu)21で破断するが、銅棒(C
u)21の径が大きくなるにつれてセラミックス11で
破断するようになり、銅棒(Cu)21の径がセラミッ
クス11の径より大きくなると、ろう付け完了時点でセ
ラミックス11にクラックが入り引張り試験ができない
サンプルが生じた。
い場合には銅棒(Cu)21で破断するが、銅棒(C
u)21の径が大きくなるにつれてセラミックス11で
破断するようになり、銅棒(Cu)21の径がセラミッ
クス11の径より大きくなると、ろう付け完了時点でセ
ラミックス11にクラックが入り引張り試験ができない
サンプルが生じた。
【0021】このセラミックス11の破断は、熱応力の
残留によるものであり、銅棒(Cu)21の接合面面積
がセラミックス11の接合面面積のおおよそ90%を超
えるあたりからセラミックス11の破壊が始まり強度低
下が著しくなる。
残留によるものであり、銅棒(Cu)21の接合面面積
がセラミックス11の接合面面積のおおよそ90%を超
えるあたりからセラミックス11の破壊が始まり強度低
下が著しくなる。
【0022】これによって、安定した強度を確保するた
めには、銅棒(Cu)21の接合面面積がセラミックス
11の接合面面積の約90%以下の必要があることがわ
かる。
めには、銅棒(Cu)21の接合面面積がセラミックス
11の接合面面積の約90%以下の必要があることがわ
かる。
【0023】実施の形態2.図2に示す形態において、
ろう付け面にメタライズが施されていないφ20×L2
0mmのアルミナセラミックス11と、外径をφ20、
19、18mmと変化させたL50mmの銅棒(Cu)
21を、厚さ0.1mmのチタン(Ti)入り活性ろう
材、例えば、銀・銅・チタン(Ag−Cu−Ti)の市
販のろう材31を間に挟んで直立させ1×10-5の真空
度で900℃×5分の加熱でろう付けを行った。
ろう付け面にメタライズが施されていないφ20×L2
0mmのアルミナセラミックス11と、外径をφ20、
19、18mmと変化させたL50mmの銅棒(Cu)
21を、厚さ0.1mmのチタン(Ti)入り活性ろう
材、例えば、銀・銅・チタン(Ag−Cu−Ti)の市
販のろう材31を間に挟んで直立させ1×10-5の真空
度で900℃×5分の加熱でろう付けを行った。
【0024】ろう付け完了品は、上記実施の形態1と同
様にろう付け強度を引張り試験機で測定したところ、図
6の表に示すような結果が得られた。
様にろう付け強度を引張り試験機で測定したところ、図
6の表に示すような結果が得られた。
【0025】表によれば、ろう付け強度はメタライズを
施して、例えば、市販のろう材(BAg−8)でろう付
けした場合と大差のない結果になった。
施して、例えば、市販のろう材(BAg−8)でろう付
けした場合と大差のない結果になった。
【0026】実施の形態3.図2に示す形態において、
ろう付け面にメタライズとニッケルメッキを施したφ2
0×L20mmのアルミナセラミックス11と、外径を
φ19、18と変化させたL50mmのモネル、Ni、
Fe、Fe−42Ni棒21を、厚さ0.1mmの市販
のろう材(BAg−8)31を間に挟んで直立させ、1
×10-5の真空度で800℃×5分の加熱でろう付けを
行った。
ろう付け面にメタライズとニッケルメッキを施したφ2
0×L20mmのアルミナセラミックス11と、外径を
φ19、18と変化させたL50mmのモネル、Ni、
Fe、Fe−42Ni棒21を、厚さ0.1mmの市販
のろう材(BAg−8)31を間に挟んで直立させ、1
×10-5の真空度で800℃×5分の加熱でろう付けを
行った。
【0027】ろう付け後は、上記実施の形態1、2と同
様に、引張り試験機でろう付け強度を測定したところ、
図6の表に示すような結果が得られた。
様に、引張り試験機でろう付け強度を測定したところ、
図6の表に示すような結果が得られた。
【0028】表によれば、破断強度に差があるものの、
金属棒21の接合面面積がアルミナセラミックス11の
接合面面積の90%を超えるあたりからセラミックス1
1での破壊が始まり、それ以上の径では強度低下が著し
くなった。この傾向は、銅(Cu)の場合と同じであ
り、安定した強度を確保するためには接合面面積がアル
ミナセラミックスの接合面面積の90%以下の必要があ
る。
金属棒21の接合面面積がアルミナセラミックス11の
接合面面積の90%を超えるあたりからセラミックス1
1での破壊が始まり、それ以上の径では強度低下が著し
くなった。この傾向は、銅(Cu)の場合と同じであ
り、安定した強度を確保するためには接合面面積がアル
ミナセラミックスの接合面面積の90%以下の必要があ
る。
【0029】実施の形態4.上記実施の形態1乃至3で
は、円柱のアルミナセラミックス12と円柱の金属棒2
1の場合にて説明したが、セラミックス11と金属21
のろう付け接合部が、例えば、図3の(a)〜(e)の
各々に示すような縦断面の形態や、図4の(a)〜
(i)に示すような横断面図の形態であってもよい。
尚、図3の(c)や(d)に示すように、セラミックス
11側の接合面は、必ずしも、全面にわたって平面であ
る必要はなく、少なくとも、金属21側の接合面と実質
的に接触する接合面が平坦であれば足り、接触しない接
合面の領域は平面でなく、適当にカットされた面であっ
てもよい。
は、円柱のアルミナセラミックス12と円柱の金属棒2
1の場合にて説明したが、セラミックス11と金属21
のろう付け接合部が、例えば、図3の(a)〜(e)の
各々に示すような縦断面の形態や、図4の(a)〜
(i)に示すような横断面図の形態であってもよい。
尚、図3の(c)や(d)に示すように、セラミックス
11側の接合面は、必ずしも、全面にわたって平面であ
る必要はなく、少なくとも、金属21側の接合面と実質
的に接触する接合面が平坦であれば足り、接触しない接
合面の領域は平面でなく、適当にカットされた面であっ
てもよい。
【0030】実施の形態5.図5に示す実施の形態5に
おいて、金属21が中実の形状でなく、ろう付け接合面
の横断面が図5の(a)に示すように中空であったり、
又、図5の(b)に示すようにスリットが入っていても
よい。
おいて、金属21が中実の形状でなく、ろう付け接合面
の横断面が図5の(a)に示すように中空であったり、
又、図5の(b)に示すようにスリットが入っていても
よい。
【0031】
【発明の効果】請求項1乃至請求項7の各発明によれ
ば、中間材が不要となって部品点数が少なく、組立が容
易で、製作コストが低く、接合強度が高い信頼性のある
セラミックスと金属の接合方法を提供することができ
る。
ば、中間材が不要となって部品点数が少なく、組立が容
易で、製作コストが低く、接合強度が高い信頼性のある
セラミックスと金属の接合方法を提供することができ
る。
【0032】請求項8の発明によれば、従来のような中
間材を必要とせず、セラミックスと金属とが十分なろう
付け強度を有して接合された、製作容易で製作コストの
低い廉価な接合体を提供することができる。
間材を必要とせず、セラミックスと金属とが十分なろう
付け強度を有して接合された、製作容易で製作コストの
低い廉価な接合体を提供することができる。
【図1】 本発明の形態を示す摸式的垂直断面図であ
る。
る。
【図2】 実施の形態1の開閉器の操作ロッドの要部を
示す摸式的垂直断面図である。
示す摸式的垂直断面図である。
【図3】 実施の形態2を示す摸式的垂直断面図であ
り、(a)〜(e)はその変形例を示す図である。
り、(a)〜(e)はその変形例を示す図である。
【図4】 実施の形態3を示す摸式的水平断面図であ
り、(a)〜(i)はその変形例を示す図である。
り、(a)〜(i)はその変形例を示す図である。
【図5】 実施の形態4を示す摸式的水平断面図であ
り、(a)〜(b)はその変形例を示す図である。
り、(a)〜(b)はその変形例を示す図である。
【図6】 本発明の実験結果を示す表である。
【図7】 従来の技術を示す摸式的垂直断面図である。
10、11 アルミナセラミックス(セラミックス)、
20、21 金属棒(金属)、30、31 ろう材、4
ニッケル板(中間材)、5 タングステン板(中間
材)。
20、21 金属棒(金属)、30、31 ろう材、4
ニッケル板(中間材)、5 タングステン板(中間
材)。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) // B23K 103:04 B23K 103:04 103:08 103:08 103:12 103:12 (72)発明者 佐藤 俊文 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 糸谷 孝行 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 小林 稔 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 Fターム(参考) 4G026 BA03 BB22 BB24 BB28 BE01 BE04 BF16 BF17 BF24 BG02 BG23 BH06
Claims (8)
- 【請求項1】 セラミックスと金属とをろう付にて接合
する方法において、金属側の接合面面積はセラミックス
側の接合面面積の90%を超えない面積とすることを特
徴とするセラミックスと金属の接合方法。 - 【請求項2】 セラミックスと金属とをろう付にて接合
する方法において、残留する熱応力によりセラミックス
が損傷を受けないよう金属側の接合面面積はセラミック
ス側の接合面面積の90%を超えない面積とすることを
特徴とするセラミックスと金属の接合方法。 - 【請求項3】 接合面は平面であることを特徴とする請
求項1乃至請求項2の何れかに記載のセラミックスと金
属の接合方法。 - 【請求項4】 セラミックスはアルミナ、金属は銅、ニ
ッケル、鉄の何れか一つであることを特徴とする請求項
1乃至請求項3に記載のセラミックスと金属の接合方
法。 - 【請求項5】 セラミックスはアルミナ、金属は銅、ニ
ッケル、鉄の何れか一つを主成分とする合金であること
を特徴とする請求項1乃至請求項4に記載のセラミック
スと金属の接合方法。 - 【請求項6】 セラミックスの接合面にメタライズが施
されていない場合には、活性金属入りのろう材を使用す
ることを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れかに記
載のセラミックスと金属の接合方法。 - 【請求項7】 活性金属はチタン又はジルコニウムであ
ることを特徴とする請求項6に記載のセラミックスと金
属の接合方法。 - 【請求項8】 請求項1乃至請求項7の何れかに記載の
セラミックスと金属の接合方法により接合されたことを
特徴とするセラミックスと金属の接合体。
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EP00937304A EP1146026B1 (en) | 1999-11-01 | 2000-06-19 | Joining method for ceramics and metal and joined body of ceramics and metal joined by the method |
TW089112144A TW457163B (en) | 1999-11-01 | 2000-06-21 | A method for bonding ceramic and metal and a ceramic-metal bonding article prepared by the method |
HK02101624.0A HK1040234B (zh) | 1999-11-01 | 2002-03-04 | 陶瓷與金屬的接合方法及用該方法接合的陶瓷與金屬的接合體 |
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US20120214016A1 (en) * | 2011-02-22 | 2012-08-23 | General Electric Company | Constrained metal flanges and methods for making the same |
TWI572582B (zh) * | 2013-09-30 | 2017-03-01 | 三菱綜合材料股份有限公司 | 銅/陶瓷接合體,銅/陶瓷接合體之製造方法及電力模組用基板 |
US9735085B2 (en) * | 2014-03-20 | 2017-08-15 | Mitsubishi Materials Corporation | Bonded body, power module substrate, power module and method for producing bonded body |
JP6621402B2 (ja) * | 2014-04-30 | 2019-12-18 | 日本碍子株式会社 | セラミックス部材と金属部材との接合体及びその製法 |
CN105384457B (zh) * | 2015-12-15 | 2018-09-07 | 深圳市日联科技有限公司 | 一种氧化铝陶瓷与金属钼的焊接方法 |
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---|---|---|---|---|
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FR1217865A (fr) * | 1958-12-11 | 1960-05-06 | Applic De La Ceramique Aux Tub | Perfectionnements aux méthodes de scellement céramique-métal |
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JPH04198068A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-17 | Shinko Electric Ind Co Ltd | セラミックと金属体の接合体 |
JPH05319946A (ja) * | 1992-05-22 | 1993-12-03 | Ibiden Co Ltd | 金属板接合セラミック基板 |
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JP3892965B2 (ja) * | 1998-03-27 | 2007-03-14 | 日本碍子株式会社 | 接合体の製造方法および接合体 |
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- 1999-11-01 JP JP31093199A patent/JP2001130976A/ja active Pending
-
2000
- 2000-06-19 CN CNB008023824A patent/CN1174934C/zh not_active Expired - Fee Related
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- 2002-03-04 HK HK02101624.0A patent/HK1040234B/zh not_active IP Right Cessation
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