JP2001130976A - セラミックスと金属の接合方法及びその方法により接合されたセラミックスと金属の接合体 - Google Patents

セラミックスと金属の接合方法及びその方法により接合されたセラミックスと金属の接合体

Info

Publication number
JP2001130976A
JP2001130976A JP31093199A JP31093199A JP2001130976A JP 2001130976 A JP2001130976 A JP 2001130976A JP 31093199 A JP31093199 A JP 31093199A JP 31093199 A JP31093199 A JP 31093199A JP 2001130976 A JP2001130976 A JP 2001130976A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metal
ceramic
joining
brazing
area
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP31093199A
Other languages
English (en)
Inventor
Seiichi Miyamoto
聖一 宮本
Toshimasa Maruyama
稔正 丸山
Toshibumi Sato
俊文 佐藤
Takayuki Itotani
孝行 糸谷
Minoru Kobayashi
稔 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP31093199A priority Critical patent/JP2001130976A/ja
Priority to PCT/JP2000/003996 priority patent/WO2001032584A1/ja
Priority to CNB008023824A priority patent/CN1174934C/zh
Priority to KR10-2001-7008385A priority patent/KR100435623B1/ko
Priority to EP00937304A priority patent/EP1146026B1/en
Priority to TW089112144A priority patent/TW457163B/zh
Publication of JP2001130976A publication Critical patent/JP2001130976A/ja
Priority to HK02101624.0A priority patent/HK1040234B/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • B23K1/19Soldering, e.g. brazing, or unsoldering taking account of the properties of the materials to be soldered
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B37/00Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating
    • C04B37/02Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles
    • C04B37/023Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles characterised by the interlayer used
    • C04B37/026Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles characterised by the interlayer used consisting of metals or metal salts
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B37/00Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating
    • C04B37/02Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles
    • C04B37/021Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles in a direct manner, e.g. direct copper bonding [DCB]
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/02Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/12Metallic interlayers
    • C04B2237/123Metallic interlayers based on iron group metals, e.g. steel
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/02Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/12Metallic interlayers
    • C04B2237/125Metallic interlayers based on noble metals, e.g. silver
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/02Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/12Metallic interlayers
    • C04B2237/126Metallic interlayers wherein the active component for bonding is not the largest fraction of the interlayer
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/02Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/12Metallic interlayers
    • C04B2237/126Metallic interlayers wherein the active component for bonding is not the largest fraction of the interlayer
    • C04B2237/127The active component for bonding being a refractory metal
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/30Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
    • C04B2237/32Ceramic
    • C04B2237/34Oxidic
    • C04B2237/343Alumina or aluminates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/30Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
    • C04B2237/40Metallic
    • C04B2237/405Iron metal group, e.g. Co or Ni
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/30Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
    • C04B2237/40Metallic
    • C04B2237/405Iron metal group, e.g. Co or Ni
    • C04B2237/406Iron, e.g. steel
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/30Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
    • C04B2237/40Metallic
    • C04B2237/407Copper
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/70Forming laminates or joined articles comprising layers of a specific, unusual thickness
    • C04B2237/708Forming laminates or joined articles comprising layers of a specific, unusual thickness of one or more of the interlayers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/72Forming laminates or joined articles comprising at least two interlayers directly next to each other
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/78Side-way connecting, e.g. connecting two plates through their sides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/86Joining of two substrates at their largest surfaces, one surface being complete joined and covered, the other surface not, e.g. a small plate joined at it's largest surface on top of a larger plate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H3/00Mechanisms for operating contacts
    • H01H3/32Driving mechanisms, i.e. for transmitting driving force to the contacts

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 中間材を用いないセラミックスと金属の接合
方法及びその方法によるセラミックスと金属の接合体の
提供。 【解決手段】 金属側の接合面面積をセラミックス側の
接合面面積の90%を超えない面積として接合すること
を特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックスと金
属とをろう付にて接合する方法及びその方法により接合
されたセラミックスと金属の接合体に関するもので、例
えば、電気を入り切りする開閉器において、接触子を開
閉するため電気的に絶縁された操作ロッドにおける絶縁
物(セラミックス)と金属との接合に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の方法及び接合体を図7に基づいて
説明する。図7は、特開平1−299790号公報に開
示された接合体を示すものであり、セラミックスとして
のアルミナ1と金属としてのニッケル棒2との間に、ニ
ッケル板4や4タングステン板5等を中間材として介在
させている。図中の3はろう材である。
【0003】尚、その他の中間材としては、1990
年、日刊工業新聞社発行の「セラミックス接合工学」
(岸本信也・須賀唯和 共著、)に記載されているよう
に、ニオブ(Nb)、モリブデン(Mo)、アルミニウ
ム(Al)、銅(Cu)、鉄・ニッケル・クロム合金
(Fe−Ni−Cr)、銅・炭素(Cu−C)、アルミ
ニウム・炭化珪素(Al−SiC)、発泡金属、多孔質
材料等がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の接合方法やその
方法による接合体は、上記のような中間材を必要とする
ものであった。このため、接合作業に当り、部品点数が
多くなり、組立に手間がかかり、製作コストが高価とな
る等の問題がある。又、介在させる中間材の表面状態が
悪いと、十分な接合強度が得られなくなるため、その管
理を十分に行わなければならなかった。
【0005】本発明は、上記のような課題を解消すると
共に、接合強度に高い信頼性を与える接合方法及び接合
体の提供を目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、セラ
ミックスと金属とをろう付にて接合する方法において、
金属側の接合面面積はセラミックス側の接合面面積の9
0%を超えない面積とすることを特徴とする。
【0007】請求項2の発明は、セラミックスと金属と
をろう付にて接合する方法において、金属側の接合面面
積はセラミックス側の接合面面積の90%を超えない面
積とすることを特徴とする。
【0008】請求項3の発明は、請求項1乃至請求項2
の何れかに記載のセラミックスと金属の接合方法におい
て、接合面は平面であることを特徴とする。
【0009】請求項4の発明は、請求項1乃至請求項5
に記載のセラミックスと金属の接合方法において、セラ
ミックスはアルミナ、金属は銅、ニッケル、鉄の何れか
一つであることを特徴とする。
【0010】請求項5の発明は、請求項1乃至請求項4
記載のセラミックスと金属の接合方法において、セラミ
ックスはアルミナ、金属は銅、ニッケル、鉄の何れか一
つを主成分とする合金であることを特徴とする。
【0011】請求項6発明は、請求項1乃至請求項6の
何れかに記載のセラミックスと金属の接合方法におい
て、セラミックスの接合面にメタライズが施されていな
い場合には、活性金属入りのろう材を使用することを特
徴とする。
【0012】請求項7の発明は、請求項6に記載のセラ
ミックスと金属の接合方法において、活性金属はチタン
(Ti)又はジルコニウム(Zr)であることを特徴と
する。
【0013】請求項8のセラミックスと金属の接合体の
発明は、請求項1乃至請求項7の何れかに記載のセラミ
ックスと金属の接合方法により接合されたことを特徴と
する。
【0014】本発明の特徴は、図1のセラミックス10
と金属20との接合体の断面図で示すように、セラミッ
クス10と金属20のろう付け接合面(以下、単に接合
面という)において、金属20の接合面面積をセラミッ
クス10の接合面面積より小さく、例えば、セラミック
ス10の接合面面積の90%を超えない面積とすること
にある。この場合、セラミックス10と金属20との双
方の接合面を平面とすると更によい。この接合方法によ
り、十分なろう付け強度を有する接合体を得ることがで
きる。尚、本明細書において、金属20の接合面とは、
文字通り、セラミックス10側と実質的に接触して接合
される面の全てをいう。他方、セラミックス10の接合
面とは、金属20側と実質的に接触して接合される面及
び当該面が延在する面であって、金属20側と接触しな
い面部分を含むものとする。
【0015】上記のセラミックスとしては、例えばアル
ミナ(アルミナセラミックス)が開閉器の絶縁ロッドの
場合に好適である。又、上記の金属としては、例えば、
銅を始めとして、銅を主成分とする銅・亜鉛(Cu−Z
n)、銅・錫(Cu−Sn)、銅・クロム(Cu−C
r)、銅・ジルコニウム(Cu−Zr)、銅・ベリリウ
ム(Cu−Be)、銅・チタン(Cu−Ti)等の合
金、又、ニッケル(Ni)を始めとして、ニッケルを主
成分とするニッケル・銅(Ni−Cu)、モネル、イン
コネル等の合金、更には、鉄(Fe)を始めとして、鉄
を主成分とする鉄・ニッケル(Fe−Ni)、コバ−
ル、インコロイ等の合金が好適である。
【0016】実験によれば、金属20の接合面面積が9
0%を超えると、セラミックスに残留する熱応力が大き
くなって、低いろう付け強度となってしまうばかりか、
ろう付け完了時点でセラミックスに破壊が生じたりし
た。
【0017】又、例えばチタン(Ti)やジルコニウム
(Zr)等を適当に含有した活性金属ろう材を用いる場
合には、接合面にメタライズを施したり、ニッケルメッ
キしたりする工程を省いても十分な接合強度を有する接
合体が得られる。従って、本発明によれば、接合体の接
合面にメタライズを施したり、ニッケルメッキしたりす
る工程が不要となる。
【0018】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、開閉器の
絶縁ロッドとして用いられるセラミックスと金属との接
合体を例にして説明する。尚、この例に示す接合体は、
絶縁物としてのセラミックスを中央にして、その上下に
同種の金属が接合された形態のもので、接合部分が2個
所あるが、両接合部分における接合方法は同様であるの
で、以下、一方の接合部分について説明する。
【0019】実施の形態1.図2に示す形態において、
この実施の形態1では、ろう付け面にメタライズとニッ
ケルメッキを施したφ20×L20mmのアルミナセラ
ミックス11と、外径をφ30、20、19、18、1
5、10mmと変化させたL50mmの銅棒(Cu)2
1とを、厚さ0.1mmのろう材(BAg−8)31を
間に挟んで直立させ1×10-5Torrの真空度で80
0℃×5分の加熱でろう付けを行った。ろう付け後に、
セラミックス11の両端にろう付けされた銅棒(Cu)
21を引張り試験機で引張りろう付け強度を測定したと
ころ、図6の表に示すような結果が得られた。
【0020】表によれば、銅棒(Cu)21の径が小さ
い場合には銅棒(Cu)21で破断するが、銅棒(C
u)21の径が大きくなるにつれてセラミックス11で
破断するようになり、銅棒(Cu)21の径がセラミッ
クス11の径より大きくなると、ろう付け完了時点でセ
ラミックス11にクラックが入り引張り試験ができない
サンプルが生じた。
【0021】このセラミックス11の破断は、熱応力の
残留によるものであり、銅棒(Cu)21の接合面面積
がセラミックス11の接合面面積のおおよそ90%を超
えるあたりからセラミックス11の破壊が始まり強度低
下が著しくなる。
【0022】これによって、安定した強度を確保するた
めには、銅棒(Cu)21の接合面面積がセラミックス
11の接合面面積の約90%以下の必要があることがわ
かる。
【0023】実施の形態2.図2に示す形態において、
ろう付け面にメタライズが施されていないφ20×L2
0mmのアルミナセラミックス11と、外径をφ20、
19、18mmと変化させたL50mmの銅棒(Cu)
21を、厚さ0.1mmのチタン(Ti)入り活性ろう
材、例えば、銀・銅・チタン(Ag−Cu−Ti)の市
販のろう材31を間に挟んで直立させ1×10-5の真空
度で900℃×5分の加熱でろう付けを行った。
【0024】ろう付け完了品は、上記実施の形態1と同
様にろう付け強度を引張り試験機で測定したところ、図
6の表に示すような結果が得られた。
【0025】表によれば、ろう付け強度はメタライズを
施して、例えば、市販のろう材(BAg−8)でろう付
けした場合と大差のない結果になった。
【0026】実施の形態3.図2に示す形態において、
ろう付け面にメタライズとニッケルメッキを施したφ2
0×L20mmのアルミナセラミックス11と、外径を
φ19、18と変化させたL50mmのモネル、Ni、
Fe、Fe−42Ni棒21を、厚さ0.1mmの市販
のろう材(BAg−8)31を間に挟んで直立させ、1
×10-5の真空度で800℃×5分の加熱でろう付けを
行った。
【0027】ろう付け後は、上記実施の形態1、2と同
様に、引張り試験機でろう付け強度を測定したところ、
図6の表に示すような結果が得られた。
【0028】表によれば、破断強度に差があるものの、
金属棒21の接合面面積がアルミナセラミックス11の
接合面面積の90%を超えるあたりからセラミックス1
1での破壊が始まり、それ以上の径では強度低下が著し
くなった。この傾向は、銅(Cu)の場合と同じであ
り、安定した強度を確保するためには接合面面積がアル
ミナセラミックスの接合面面積の90%以下の必要があ
る。
【0029】実施の形態4.上記実施の形態1乃至3で
は、円柱のアルミナセラミックス12と円柱の金属棒2
1の場合にて説明したが、セラミックス11と金属21
のろう付け接合部が、例えば、図3の(a)〜(e)の
各々に示すような縦断面の形態や、図4の(a)〜
(i)に示すような横断面図の形態であってもよい。
尚、図3の(c)や(d)に示すように、セラミックス
11側の接合面は、必ずしも、全面にわたって平面であ
る必要はなく、少なくとも、金属21側の接合面と実質
的に接触する接合面が平坦であれば足り、接触しない接
合面の領域は平面でなく、適当にカットされた面であっ
てもよい。
【0030】実施の形態5.図5に示す実施の形態5に
おいて、金属21が中実の形状でなく、ろう付け接合面
の横断面が図5の(a)に示すように中空であったり、
又、図5の(b)に示すようにスリットが入っていても
よい。
【0031】
【発明の効果】請求項1乃至請求項7の各発明によれ
ば、中間材が不要となって部品点数が少なく、組立が容
易で、製作コストが低く、接合強度が高い信頼性のある
セラミックスと金属の接合方法を提供することができ
る。
【0032】請求項8の発明によれば、従来のような中
間材を必要とせず、セラミックスと金属とが十分なろう
付け強度を有して接合された、製作容易で製作コストの
低い廉価な接合体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の形態を示す摸式的垂直断面図であ
る。
【図2】 実施の形態1の開閉器の操作ロッドの要部を
示す摸式的垂直断面図である。
【図3】 実施の形態2を示す摸式的垂直断面図であ
り、(a)〜(e)はその変形例を示す図である。
【図4】 実施の形態3を示す摸式的水平断面図であ
り、(a)〜(i)はその変形例を示す図である。
【図5】 実施の形態4を示す摸式的水平断面図であ
り、(a)〜(b)はその変形例を示す図である。
【図6】 本発明の実験結果を示す表である。
【図7】 従来の技術を示す摸式的垂直断面図である。
【符号の説明】
10、11 アルミナセラミックス(セラミックス)、
20、21 金属棒(金属)、30、31 ろう材、4
ニッケル板(中間材)、5 タングステン板(中間
材)。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) // B23K 103:04 B23K 103:04 103:08 103:08 103:12 103:12 (72)発明者 佐藤 俊文 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 糸谷 孝行 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 小林 稔 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 Fターム(参考) 4G026 BA03 BB22 BB24 BB28 BE01 BE04 BF16 BF17 BF24 BG02 BG23 BH06

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 セラミックスと金属とをろう付にて接合
    する方法において、金属側の接合面面積はセラミックス
    側の接合面面積の90%を超えない面積とすることを特
    徴とするセラミックスと金属の接合方法。
  2. 【請求項2】 セラミックスと金属とをろう付にて接合
    する方法において、残留する熱応力によりセラミックス
    が損傷を受けないよう金属側の接合面面積はセラミック
    ス側の接合面面積の90%を超えない面積とすることを
    特徴とするセラミックスと金属の接合方法。
  3. 【請求項3】 接合面は平面であることを特徴とする請
    求項1乃至請求項2の何れかに記載のセラミックスと金
    属の接合方法。
  4. 【請求項4】 セラミックスはアルミナ、金属は銅、ニ
    ッケル、鉄の何れか一つであることを特徴とする請求項
    1乃至請求項3に記載のセラミックスと金属の接合方
    法。
  5. 【請求項5】 セラミックスはアルミナ、金属は銅、ニ
    ッケル、鉄の何れか一つを主成分とする合金であること
    を特徴とする請求項1乃至請求項4に記載のセラミック
    スと金属の接合方法。
  6. 【請求項6】 セラミックスの接合面にメタライズが施
    されていない場合には、活性金属入りのろう材を使用す
    ることを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れかに記
    載のセラミックスと金属の接合方法。
  7. 【請求項7】 活性金属はチタン又はジルコニウムであ
    ることを特徴とする請求項6に記載のセラミックスと金
    属の接合方法。
  8. 【請求項8】 請求項1乃至請求項7の何れかに記載の
    セラミックスと金属の接合方法により接合されたことを
    特徴とするセラミックスと金属の接合体。
JP31093199A 1999-11-01 1999-11-01 セラミックスと金属の接合方法及びその方法により接合されたセラミックスと金属の接合体 Pending JP2001130976A (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31093199A JP2001130976A (ja) 1999-11-01 1999-11-01 セラミックスと金属の接合方法及びその方法により接合されたセラミックスと金属の接合体
PCT/JP2000/003996 WO2001032584A1 (fr) 1999-11-01 2000-06-19 Procede d'assemblage pour ceramique et metal et corps de ceramique et metal assemble par ce procede
CNB008023824A CN1174934C (zh) 1999-11-01 2000-06-19 陶瓷与金属的接合方法及用该方法接合的陶瓷与金属的接合体
KR10-2001-7008385A KR100435623B1 (ko) 1999-11-01 2000-06-19 세라믹스와 금속의 접합방법 및 그 방법에 의해 접합된세라믹스와 금속의 접합체
EP00937304A EP1146026B1 (en) 1999-11-01 2000-06-19 Joining method for ceramics and metal and joined body of ceramics and metal joined by the method
TW089112144A TW457163B (en) 1999-11-01 2000-06-21 A method for bonding ceramic and metal and a ceramic-metal bonding article prepared by the method
HK02101624.0A HK1040234B (zh) 1999-11-01 2002-03-04 陶瓷與金屬的接合方法及用該方法接合的陶瓷與金屬的接合體

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31093199A JP2001130976A (ja) 1999-11-01 1999-11-01 セラミックスと金属の接合方法及びその方法により接合されたセラミックスと金属の接合体

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001130976A true JP2001130976A (ja) 2001-05-15

Family

ID=18011119

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP31093199A Pending JP2001130976A (ja) 1999-11-01 1999-11-01 セラミックスと金属の接合方法及びその方法により接合されたセラミックスと金属の接合体

Country Status (7)

Country Link
EP (1) EP1146026B1 (ja)
JP (1) JP2001130976A (ja)
KR (1) KR100435623B1 (ja)
CN (1) CN1174934C (ja)
HK (1) HK1040234B (ja)
TW (1) TW457163B (ja)
WO (1) WO2001032584A1 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5019545B2 (ja) * 2008-10-24 2012-09-05 日本特殊陶業株式会社 セラミック接合体、セラミックヒータおよびガスセンサ
US20120214016A1 (en) * 2011-02-22 2012-08-23 General Electric Company Constrained metal flanges and methods for making the same
TWI572582B (zh) * 2013-09-30 2017-03-01 三菱綜合材料股份有限公司 銅/陶瓷接合體,銅/陶瓷接合體之製造方法及電力模組用基板
US9735085B2 (en) * 2014-03-20 2017-08-15 Mitsubishi Materials Corporation Bonded body, power module substrate, power module and method for producing bonded body
JP6621402B2 (ja) * 2014-04-30 2019-12-18 日本碍子株式会社 セラミックス部材と金属部材との接合体及びその製法
CN105384457B (zh) * 2015-12-15 2018-09-07 深圳市日联科技有限公司 一种氧化铝陶瓷与金属钼的焊接方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB844171A (en) * 1957-06-27 1960-08-10 Eitel Mccullough Inc Ceramic structures for electron tubes and method of making the same
FR1217865A (fr) * 1958-12-11 1960-05-06 Applic De La Ceramique Aux Tub Perfectionnements aux méthodes de scellement céramique-métal
JPS61117169A (ja) * 1984-11-09 1986-06-04 株式会社小松製作所 セラミツクスと金属との接合構造
JPS6256381A (ja) * 1985-09-05 1987-03-12 トヨタ自動車株式会社 セラミツク部材への金属部材の接合方法
JPS63139077A (ja) * 1986-12-02 1988-06-10 工業技術院長 熱膨張係数の異なる異種材料の接合法
DE3888380T2 (de) * 1987-04-02 1994-10-13 Toshiba Kawasaki Kk Luftdichter Keramikbehälter.
JPH02196075A (ja) * 1989-01-25 1990-08-02 Sumitomo Cement Co Ltd 接合構造体
JPH03261670A (ja) * 1990-03-12 1991-11-21 Eagle Ind Co Ltd 金属・セラミックスの接合体およびその接合方法
JPH04198068A (ja) * 1990-11-29 1992-07-17 Shinko Electric Ind Co Ltd セラミックと金属体の接合体
JPH05319946A (ja) * 1992-05-22 1993-12-03 Ibiden Co Ltd 金属板接合セラミック基板
JP3522295B2 (ja) * 1992-09-01 2004-04-26 イビデン株式会社 金属板接合セラミック基板とその製造方法
JP3866320B2 (ja) * 1995-02-09 2007-01-10 日本碍子株式会社 接合体、および接合体の製造方法
JP3892965B2 (ja) * 1998-03-27 2007-03-14 日本碍子株式会社 接合体の製造方法および接合体

Also Published As

Publication number Publication date
EP1146026A1 (en) 2001-10-17
HK1040234A1 (en) 2002-05-31
HK1040234B (zh) 2005-04-22
CN1174934C (zh) 2004-11-10
CN1327438A (zh) 2001-12-19
EP1146026A4 (en) 2005-06-01
WO2001032584A1 (fr) 2001-05-10
KR100435623B1 (ko) 2004-06-12
KR20010089748A (ko) 2001-10-08
TW457163B (en) 2001-10-01
EP1146026B1 (en) 2013-01-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4562121A (en) Soldering foil for stress-free joining of ceramic bodies to metal
JP3670008B2 (ja) 気密ろう接合部の作成方法
JP2001130976A (ja) セラミックスと金属の接合方法及びその方法により接合されたセラミックスと金属の接合体
US3395443A (en) Method of forming a high temperatureresistant bond between aluminum and a dissimilarmetal
JPH0777989B2 (ja) セラミックスと金属の接合体の製造法
JP4012764B2 (ja) 貫通端子およびx線管
JP3504716B2 (ja) 応力緩衝金属層を有するセラミックス接合体
US3522487A (en) Electronic device with metal pin united to metallized ceramic surface
JP4080588B2 (ja) 絶縁操作ロッドおよびその製造方法
JPH11176268A (ja) 異種金属材料の接合構造
JPS62296959A (ja) 整流素子の外囲器の製造方法
JP3388617B2 (ja) サイリスタ容器の製造方法
JP3501834B2 (ja) セラミック材と金属材との接合体の製造方法
JP4331370B2 (ja) ベリリウムと銅合金のhip接合体の製造方法およびhip接合体
JP2000246549A (ja) 異種金属材料の接合構造及び接合方法
JPS5935320A (ja) 耐弧金属付接触子
JPH0460947B2 (ja)
JPH0132607B2 (ja)
JP2003238268A (ja) 金属と絶縁物の接合方法及びそれを用いた真空遮断器
JPH0785950A (ja) セラミックヒータのリード端子接続装置
KR0120956B1 (ko) 세라믹 접합용 용가재 조성물
KR100355119B1 (ko) 절연조작로드 및 그의 제조방법
JPH10233135A (ja) 電極とその製造方法
JPH06291227A (ja) 金属スタッド付半導体放熱基板の製造方法
JPS6380424A (ja) 真空バルブ

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070227

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070427

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20071002