JP2001124435A

JP2001124435A - 吸着式冷凍機用吸着器

Info

Publication number: JP2001124435A
Application number: JP30581699A
Authority: JP
Inventors: Hisao Nagashima; 久夫永島; Satoru Inoue; 哲井上; Yoshiaki Tanaka; 攻明田中; Hideaki Sato; 英明佐藤; Katsuya Ishii; 勝也石井; Yoshihiko Sumiya; 賀彦角谷
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 1999-10-27
Filing date: 1999-10-27
Publication date: 2001-05-11
Anticipated expiration: 2019-10-27
Also published as: JP4258917B2

Abstract

(57)【要約】【課題】アルミニウム製の熱交換器が収納されたケー
シング内で水素ガスが発生することを防止する。【解決手段】ケーシングをステンレス製とし、かつ、
第１、２熱交換器１２０、１３０の表面にＳｉＯ₂皮膜
を形成する。これにより、アルミニウムと水（冷媒）と
の化学反応を防止できるので、水素ガスの発生を防止で
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、吸着式冷凍機に適
用される吸着器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】吸着式冷凍機は、例えば特開平１−２７
３９６８号公報に記載のごとく、シリカゲル等の吸着剤
が水蒸気を吸着する作用を利用したものあり、略真空状
態に保たれたケーシング内に封入された水等の液相冷媒
が吸着される際の気化熱（蒸発潜熱）により液が冷却さ
れて冷凍能力を得るものである。以下、液相冷媒の蒸発
及び気相冷媒の吸着が行われている吸着器を吸着工程に
ある吸着器と呼ぶ。

【０００３】その後、ケーシング内の液相冷媒が全て蒸
発したとき、又は吸着剤の吸着能力が飽和して（吸着剤
の吸着量が限界に達して）ケーシング内の圧力が上昇
し、液相冷媒の蒸発が停止したとき等には、吸着剤を加
熱して吸着した気相冷媒（水蒸気）を吸着剤から脱離す
る（以下、この行為を吸着剤の再生と呼ぶ。）ととも
に、脱離した気相冷媒を冷却して凝縮（液化）させる。
以下、吸着剤の再生及び気相冷媒の凝縮が行われている
吸着器を脱離工程にある吸着器と呼ぶ。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、吸着器内で
は、前述のごとく、吸着作用による液相冷媒の冷却、吸
着剤の加熱及び発生した冷凍能力の回収等の行為が行わ
れるので、これらの行為を行うための熱交換器がケーシ
ング内に収納されている。そして、熱交換器の材質とし
ては、一般的にアルミニウム等の熱伝導率の大きく、加
工性に優れた金属が採用されている。

【０００５】このとき、例えば冷媒を水（Ｈ₂Ｏ）と
し、熱交換器をアルミニウムとした場合には、アルミニ
ウム（Ａｌ）が冷媒中の水素（Ｈ）よりイオン化傾向が
大きいため、アルミニウムと水とが化学反応して水素ガ
ス（Ｈ₂）が発生してしまう。

【０００６】そして、水素ガスが発生すると、吸着剤の
細孔内に凝縮しない水素ガスが溜まるので、水蒸気の吸
着が阻害され、吸着剤の吸着能力が低下してしまうの
で、冷媒の蒸発量が減少し、冷凍能力が低下する。

【０００７】このため通常、定期的に、真空ポンプによ
りケーシング内の水素ガス等の凝縮しないガス（不凝縮
ガス）を吸引し、ケーシング内の真空度を維持してい
た。

【０００８】本発明は、上記点に鑑み、ケーシング内で
水素ガス等の不凝縮ガスが発生することを防止すること
を目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、請求項１に記載の発明では、冷媒が封入
されたケーシング（１１０）と、ケーシング（１１０）
内に配設されたアルミニウム製の熱交換器（１２０、１
３０）とを有し、熱交換器（１２０、１３０）の表面に
は、電気絶縁性を有する被膜が形成されていることを特
徴とする。

【００１０】これにより、アルミニウムと冷媒とが化学
反応して不凝縮ガスが発生することを防止できるので、
吸着能力が低下することを防止でき、吸着式冷凍機の冷
凍能力が低下することを防止できる。

【００１１】延いては、定期的に、真空ポンプによりケ
ーシング（１１０）内の不凝縮ガスを吸引する必要がな
いので、吸着器のメインテナンスフリー化を図ることが
できる。

【００１２】請求項２に記載の発明では、冷媒が封入さ
れたステンレス製のケーシング（１１０）と、ケーシン
グ（１１０）内に配設されたアルミニウム製の熱交換器
（１２０、１３０）とを有し、熱交換器（１２０、１３
０）の表面のに電気絶縁性を有する被膜が形成されてい
ることを特徴とする。

【００１３】これにより、アルミニウムと冷媒とが化学
反応して不凝縮ガスが発生することを防止できるので、
請求項１に記載の発明と同様に、吸着式冷凍機の冷凍能
力が低下することを防止しつつ、吸着器のメインテナン
スフリー化を図ることができる。

【００１４】また、ケーシング（１１０）を熱伝導率の
小さいステンレスとしているので、ケーシング（１１
０）外の熱がケーシング（１１０）内に伝導することを
抑制できる（伝熱ロスを低下できる）、吸着式冷凍機の
冷凍能力が低下することを防止できる。

【００１５】請求項３に記載の発明では、熱交換器（１
２０、１３０）には、ケーシング（１１０）内外を貫通
するアルミニウム製の配管（１２３、１３３）が接続さ
れており、配管（１２３、１３３）とケーシング（１１
０）とは、ステンレス材の表面にアルミニウムが被覆さ
れた取付部材（１１４）を介して溶接されていることを
特徴とする。

【００１６】これにより、アルミニウム製の配管（１２
３、１３３）とステンレス製のケーシング（１１０）と
いった異種金属間で接合することが可能となる。

【００１７】なお、被膜は、請求項４に記載の発明のご
とく、ケイ酸皮膜（ＳｉＯ₂）にて形成することが望ま
しい。

【００１８】また、請求項５位記載のごとく、４５０℃
以上で加熱・乾燥させたときにセラミック化して無機被
膜となるＳｉＯ₂処理溶液により皮膜を形成したとき
は、その厚みを５μｍ以下とすることにより、皮膜のク
ラック欠陥を未然に防止できる。

【００１９】さらに、請求項６に記載のごとく、触媒反
応により常温〜２００℃以下の温度でセラミック化して
無機被膜となるＳｉＯ₂処理溶液にて被膜を形成したと
きは、その厚みを１０μｍ以下とすることが望ましい。

【００２０】因みに、上記各手段の括弧内の符号は、後
述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す
一例である。

【００２１】

【発明の実施の形態】（第１実施形態）本実施形態は、
本発明に係る吸着式冷凍機用吸着器を吸着式空調装置に
適用したものであって、図１は吸着式空調装置の模式図
である。図１（ａ）中、１００は本実施形態に係る吸着
器であり、この吸着器１００は少なくとも２個設けられ
ており、以下、紙面上側の吸着器１００を第１吸着器１
００と表記し、紙面下側の吸着器１００を第２吸着器１
００と表記し、第１、２吸着器を総称するときは、単に
吸着器１００と表記する。なお、吸着器１００の詳細
は、後述する。

【００２２】２００は吸着器１００内を循環した熱媒体
（本実施形態では、水にエチレングリコール系の不凍液
をした流体でエンジン冷却水と同一なもの）と室外空気
とを熱交換する室外熱交換器（以下、室外器と略す。）
であり、３００は吸着器１００にて発生した冷凍能力に
より冷却された熱媒体と室内に吹き出す空気（以下、こ
の空気を空調風と呼ぶ。）とを熱交換し、空調風を冷却
する室内熱交換器（以下、室内器と略す。）である。

【００２３】因みに、室内器３００は、図１（ｂ）に示
すように、空調風の通路を形成する空調ケーシング３１
０内に配設されており、この空調ケーシング３１０の空
気流れ上流側には、例えば遠心式送風機３２０が配設さ
れている。

【００２４】なお、本実施形態では、水冷式エンジン
（水冷式内燃機関）の冷却水（熱媒体と同じ流体）を吸
着器１００（後述する第２熱交換器１３０）内に循環さ
せることにより吸着剤の再生を行っており、４１０〜４
４０は熱媒体の循環経路を切り換える切換弁（四方弁）
である。

【００２５】次に、吸着器１００について述べる。

【００２６】吸着器１００は、図２に示すように、内部
が略真空に保たれた状態で冷媒（本実施形態では、水）
が封入されたステンレス（本実施形態では、ＳＵＳ３０
４）製のケーシング１１０、熱交換媒体とケーシング１
１０内の冷媒（本実施形態では、水）との間で熱交換を
行う第１熱交換器（蒸発／凝縮コア）１２０、及び吸着
剤（本実施形態ではシリカゲル）１３５を冷却又は加熱
する第２熱交換器（吸着コア）１３０から等から構成さ
れている。

【００２７】ここで、両熱交換器１２０、１３０はケー
シング１１０内に収納されているとともに、図３（ａ）
（ｂ）に示すように、アルミニウム（本実施形態では、
例えばＡ３０００系のアルミニウム材にろう材が被覆さ
れたもの）製のチューブ１２１、１３１及びアルミニウ
ム（本実施形態では、例えばＡ１０００系又は３０００
系）製のフィン１２２、１３２からなるもので、第２熱
交換器（吸着コア）１３０のチューブ１３１及びフィン
１３２の表面には、図３（ｄ）に示すように、吸着剤１
３３が接着剤（本実施形態では、エポキシ樹脂）によっ
て接着固定されている。因みに、チューブ１２１、１３
１は、熱媒体が流通する扁平状の管であり、フィン１２
２、１３２は外表面積を増大させて熱交換効率を増大さ
せる波状に形成されたものである。

【００２８】１２３、１３３は第１、２熱交換器１２
０、１３０に接合されてケーシング１１０内外側を貫通
するアルミニウム（本実施形態では、例えばＡ１０００
系又は３０００系）製の配管であり、この配管１２３、
１３３により熱媒体が吸着器１００内（第１、２熱交換
器１２０、１３０）に導かれる。

【００２９】また、ケーシング１１０は、図４に示すよ
うに、箱状の第１、２ケーシング部材１１１、１１２を
上下方向と略９０度の割面で接合することにより形成さ
れたもので、第１、２ケーシング部材１１１、１１２の
上下両端側には、第１、２熱交換器１２０、１３０に接
続された配管１２３、１３３（図２、３参照）を取り出
すための半円状の切り欠き１１３が形成されている。

【００３０】また、配管１２３、１３３には、図５、６
に示すように、ケーシング１１０と同じ材質（ＳＵＳ３
０４）製の芯材の表裏両面にアルミニウム（本実施形態
では、Ａ３０００）を被覆（メッキ）した円盤状のフラ
ンジ（取付部材）１１４が接合されており、両熱交換器
１２０、１３０（配管１２３、１３３）は、フランジ１
１４介してケーシング１１０に接合（固定）されてい
る。

【００３１】具体的には、先ず、図５（ａ）〜（ｄ）に
示すように、フランジ１１４と配管１２３、１３３とを
ろう付け接合し、その後、フランジ１１４とケーシング
１１０とを溶接する。なお、フランジ１１４と配管１２
３、１３３とのろう付けは、チューブやフィンと共に炉
内で一体ろう付けしてもよい。

【００３２】フランジ１１４の表面に被覆されたアルミ
ニウムの多くは、ろう付け（又は炉内での一体ろう付
け）の際に溶けて流れ出し、フランジ１１４のステンレ
ス製の芯材とステンレス製のケーシング１１０とが溶接
される。

【００３３】なお、フランジ１１４と配管１２３、１３
３とのろう付け時に、フランジ１１４のアルミニウムが
十分に溶けて流れず、フランジ１１４に多く残留してい
る場合には、フランジ１１４のアルミニウムを削る等し
て削除した後、フランジ１１４とケーシング１１０とを
溶接することが望ましい。

【００３４】また、両熱交換器１２０、１３０を構成す
るチューブ１２１、１３１及びフィン１２２、１３２等
は、フランジ１１４と配管１２３、１３３とのろう付け
時にろう付け接合を行い、第１、２ケーシング部材１１
１、１１２は、フランジ１１４とケーシング１１０とを
溶接時に溶接を行う。

【００３５】そして、両熱交換器１２０、１３０の外表
面は、図３（ｂ）、（ｅ）に示すように、電気絶縁性を
有する皮膜（本実施形態では、ＳｉＯ₂皮膜）Ｔが形成
されている。

【００３６】ここで、皮膜Ｔを形成するＳｉＯ₂処理溶
液は、高温（４５０℃以上）で加熱・乾燥させたとき
にセラミック化（硬化）するもの、又は触媒反応によ
り常温（約２５℃）〜低温（２００℃）以下の温度でセ
ラミック化して無機被膜となるものを使用することが望
ましい。このとき、いずれのＳｉＯ₂処理溶液であって
も、アルコール系を溶媒としたＳｉＯ₂処理溶液とすれ
ば、熱交換器１２０、１３０表面の塗れ性が良いので、
ＳｉＯ₂処理溶液が一様にディップ又は塗布によりアル
ミニウム表面に付着できる。

【００３７】なお、のＳｉＯ₂処理溶液を使用して皮
膜Ｔを形成するときは、皮膜Ｔの厚みを０．５μｍ以下
とすれば、皮膜形成時にクラック欠陥が発生することを
防止できる。また、のＳｉＯ₂処理溶液では、処理温
度が低いので、クラック欠陥が発生し難く、皮膜Ｔの厚
みを厚くすることができるが、皮膜Ｔ過度に厚くする
と、第２熱交換器１３０（吸着コア）においては、吸着
剤１３３の充填効率が低下するので、１０を使用して皮
膜Ｔを形成するときは、皮膜Ｔの厚みを１０μｍ以下と
することが望ましい。

【００３８】次に、空調装置の概略作動を述べる。

【００３９】先ず、切換弁４１０〜４４０を図１の実線
に示すように作動させて、第１吸着器１００の第１熱交
換器１２０と室内器３００との間、第１吸着器１００の
第２熱交換器１３０と室外器２００との間、並びに第２
吸着器１００の第１熱交換器と室外器２００との間、第
２吸着器１００の第２熱交換器１３０とエンジンとの間
に熱媒体を循環させる。

【００４０】これにより、第１吸着器１００が吸着工程
となり、第２吸着器１００が脱離工程となるので、第１
吸着器１００で発生した冷凍能力により空調風が冷却さ
れ、第２吸着器１００にて吸着剤１３３の再生が行われ
る。

【００４１】つまり、この状態（以下、第１状態と呼
ぶ。）では、第１吸着器１００の第１熱交換器１２０は
液相冷媒を蒸発させて冷凍能力を発生させる蒸発器とし
て機能し、第１吸着器１００の第２熱交換器１３０は吸
着剤１３３を冷却する冷却器として機能し、第２吸着器
１００の第１熱交換器１２０は吸着剤１３３から脱離し
た水蒸気を冷却する凝縮器として機能し、第２吸着器１
００の第２熱交換器１３０は吸着剤１３３を加熱する加
熱器として機能する。

【００４２】そして、第１状態で所定時間（本実施形態
では、６０秒〜１００秒）が経過したときに、切換弁４
１０〜４４０を図１の破線に示すように作動させて、第
２吸着器１００の第１熱交換器１２０と室内器３００と
の間、第２吸着器１００の第２熱交換器１３０と室外器
２００との間、並びに第１吸着器１００の第１熱交換器
と室外器２００との間、第１吸着器１００の第２熱交換
器１３０とエンジンとの間に熱媒体を循環させる。

【００４３】これにより、第２吸着器１００が吸着工程
となり、第１吸着器１００が脱離工程となるので、第２
吸着器１００で発生した冷凍能力により空調風が冷却さ
れ、第１吸着器１００にて吸着剤１３３の再生が行われ
る。

【００４４】つまり、この状態（以下、第２状態と呼
ぶ。）では、第２吸着器１００の第１熱交換器１２０は
液相冷媒を蒸発させて冷凍能力を発生させる蒸発器とし
て機能し、第２吸着器１００の第２熱交換器１３０は吸
着剤１３３を冷却する冷却器として機能し、第１吸着器
１００の第１熱交換器１２０は吸着剤１３３から脱離し
た水蒸気を冷却する凝縮器として機能し、第１吸着器１
００の第２熱交換器１３０は吸着剤１３３を加熱する加
熱器として機能する。

【００４５】そして、第２状態で所定時間が経過したと
き、切換弁４１０〜４４０作動させて再び第１状態とす
る。このように、第１状態及び第２状態を所定時間毎に
交互に繰り返して、空調装置を連続的に稼働させる。

【００４６】なお、所定時間は、ケーシング１１０内に
存在する液相冷媒の残量や吸着剤１３３の吸着能力等に
基づいて適宜選定されるものである。

【００４７】次に、本実施形態の特徴を述べる。

【００４８】両熱交換器１２０、１３０の外表面に電気
絶縁性を有する皮膜Ｔが形成されているので、アルミニ
ウムと水とが化学反応して水素ガスが発生することを防
止できる。したがって、吸着剤１３３の吸着能力が低下
することを防止できるので、空調装置（吸着式冷凍機）
の冷凍能力が低下することを防止できる。

【００４９】延いては、定期的に、真空ポンプによりケ
ーシング１１０内の水素ガスを吸引する必要がないの
で、吸着器１００のメインテナンスフリー化を図ること
ができる。

【００５０】また、ケーシング１１０がアルミニウムよ
り熱伝導率の小さいステンレスにて形成されているの
で、ケーシング１１０外の熱がケーシング１１０内に伝
導することを抑制できる（伝熱ロスを低下できる）の
で、空調装置（吸着式冷凍機）の冷凍能力が低下するこ
とを防止できる。

【００５１】因みに、発明者等は、ケーシング１１０を
ステンレス製とすると、ケーシング１１０をアルミニウ
ム製とした場合に比べて、伝熱ロスを１／４０とするこ
とができることを確認している。

【００５２】また、ケーシング１１０はステンレス製で
あるので、ケーシング１１０の内壁に対しては、電気絶
縁性を有する皮膜Ｔを形成する必要がない。したがっ
て、被膜Ｔを形成するための製造工数（製造時間）を削
減することができるので、吸着器１００の製造原価低減
を図ることができる。

【００５３】また、配管１２３、１３３は、ケーシング
１１０と同じ材質（ＳＵＳ３０４）製の芯材の表裏両面
にアルミニウムが被覆された円盤状のフランジ１１４を
介してケーシング１１０に接合されているので、前述の
ごとく、アルミニウム製の配管１２３、１３３とステン
レス製のケーシング１１０といった異種金属間で接合す
ることが可能となる。

【００５４】（第２実施形態）第１実施形態では、ケー
シング１１０は、箱状の第１、２ケーシング１１１、１
１２を接合することにより形成されていたが、本実施形
態は、図７（ａ）〜（ｇ）に示すように、フランジ１１
４を矩形状とするとともに、フランジ１１４にてケーシ
ング１１０の天板（上方側の板）及び床板（下方側の
板）を兼ねさせ、かつ、このフランジ１１４により角パ
イプ状のケーシング１１０の上下端側の開口部１１０
ａ、１１０ｂを閉塞するように、フランジ１１４とケー
シング１１０を接合するものである。なお、製造手順
は、第１実施形態と同様である。

【００５５】（その他の実施形態）上述の実施形態で
は、ケーシング１１０をステンレスとしたが、アルミニ
ウムにてケーシング１１０を形成してもよい。

【００５６】これにより、吸着器１００を構成する金属
は、全て同種の金属となるので、配管１２３、１３３と
ケーシング１１０との接合性を向上させることができ
る。なお、この場合には、ケーシング１１０の内壁にも
皮膜Ｔを形成する必要がある。

【００５７】また、上述の実施形態では、ＳｉＯ₂によ
り電気絶縁性を有する皮膜を形成したが、その他のもの
により皮膜を形成してもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は吸着式冷凍機の模式図であり、（ｂ）
は空調ケーシングの模式図である。

【図２】本発明の第１実施形態に係る吸着器の説明図で
ある。

【図３】（ａ）は第１熱交換器の斜視図であり、（ｂ）
はＡ部拡大図であり、（ｃ）は第１熱交換器の斜視図で
あり、（ｄ）はＢ部拡大図であり、（ｅ）はＣ部拡大図
である。

【図４】本発明の第１実施形態に係る吸着器のケーシン
グの分解斜視図である。

【図５】（ａ）は本発明の第１実施形態に係る第２熱交
換器の上面図であり、（ｂ）は本発明の第１実施形態に
係る第２熱交換器の正面図であり、（ｃ）は本発明の第
１実施形態に係る第１熱交換器の正面図であり、（ｄ）
は本発明の第１実施形態に係る第２熱交換器の下面図で
あり、（ｅ）は本発明の第１実施形態に係るフランジの
側面図である。

【図６】本発明の第１実施形態に係る吸着器の三面図で
ある。

【図７】（ａ）は本発明の第２実施形態に係る吸着器の
正面図であり、（ｂ）は本発明の第２実施形態に係る第
２熱交換器の上面図であり、（ｃ）は本発明の第２実施
形態に係る第２熱交換器の正面図であり、（ｄ）は本発
明の第２実施形態に係る第１熱交換器の正面図であり、
（ｅ）は本発明の第２実施形態に係る第２熱交換器の下
面図であり、（ｆ）は本発明の第２実施形態に係るフラ
ンジの側面図であり、（ｇ）は本発明の第２実施形態に
係るケーシングの斜視図である。

【符号の説明】

１２０…第１熱交換器（蒸発器／凝縮コア）、１２１…
チューブ、１２２…フィン、１３０…第２熱交換器（吸
着コア）、１３１…チューブ、１３２…フィン、Ｔ…皮
膜。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者田中攻明愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地株式会社デンソー内 (72)発明者佐藤英明愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地株式会社デンソー内 (72)発明者石井勝也愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地株式会社デンソー内 (72)発明者角谷賀彦愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地株式会社デンソー内Ｆターム(参考） 3L093 NN04 PP03 PP15 PP20 QQ01 RR01 RR03

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】吸着剤が気相冷媒を吸着する作用を利用
して、冷媒を蒸発させて、その蒸発潜熱により冷凍能力
を発揮する吸着式冷凍機用吸着器であって、冷媒が封入されたケーシング（１１０）と、前記ケーシング（１１０）内に配設されたアルミニウム
製の熱交換器（１２０、１３０）とを有し、前記熱交換器（１２０、１３０）の表面には、電気絶縁
性を有する被膜が形成されていることを特徴とする吸着
式冷凍機用吸着器。
【請求項２】吸着剤が気相冷媒を吸着する作用を利用
して、冷媒を蒸発させて、その蒸発潜熱により冷凍能力
を発揮する吸着式冷凍機用吸着器であって、冷媒が封入されたステンレス製のケーシング（１１０）
と、前記ケーシング（１１０）内に配設されたアルミニウム
製の熱交換器（１２０、１３０）とを有し、前記熱交換器（１２０、１３０）の表面には、電気絶縁
性を有する被膜が形成されていることを特徴とする吸着
式冷凍機用吸着器。
【請求項３】前記熱交換器（１２０、１３０）には、
前記ケーシング（１１０）内外を貫通するアルミニウム
製の配管（１２３、１３３）が接続されており、前記配管（１２３、１３３）と前記ケーシング（１１
０）とは、ステンレス材の表面にアルミニウムが被覆さ
れた取付部材（１１４）を介して溶接されていることを
特徴とする請求項２に記載の吸着式冷凍機用吸着器。
【請求項４】前記被膜はケイ酸被膜（ＳｉＯ₂）にて
形成されていることを特徴とする請求項１ないし３のい
ずれか１つにに記載の吸着式冷凍機用吸着器。
【請求項５】前記被膜は、４５０℃以上で加熱・乾燥
させたときにセラミック化して無機被膜となるＳｉＯ₂
処理溶液にて形成されており、さらに、前記被膜の厚みは、０．５μｍ以下であること
を特徴とする請求項４に記載の吸着式冷凍機用吸着器。
【請求項６】前記被膜は、常温以上、２００℃以下の
温度でセラミック化して無機被膜となるＳｉＯ₂処理溶
液にて形成されており、さらに、前記被膜の厚みは、１０μｍ以下であることを
特徴とする請求項４に記載の吸着式冷凍機用吸着器。