JP2001110351A5 - - Google Patents
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Description
【0018】
検出器10a,10bにて検出された反射電子12aによる試料像は、試料8の凹凸に応じて明暗の陰影がついた像となる。その理由について簡単に説明する。いま、図1、図2に示すように、試料8の面に対して小さな角度をなす方向に反射した反射電子12aは、対物レンズ7の磁場中を通過するとき180゜の回転を受けて検出器10a,10bに入射するものとする。このとき、試料8の面に対して小さな角度で図1、図2の左方に飛び出した反射電子は対物レンズ7の磁場中で180゜回転されて図の右側に設置された検出器10aで検出され、試料8の面に対して小さな角度で図1、図2の右方に飛び出した反射電子は対物レンズ7の磁場中で180゜回転されて図の左側に設置された検出器10bで検出される。図3は、試料表面の傾斜部を照射する一次電子線と反射電子を示す略図である。試料表面に図3(a)に示すような右下がりの傾斜部と、図3(b)に示すような右上がりの傾斜部41があったとして、そこを一次電子線4が走査する場合を考える。一次電子線4が図3(a)に示すような右下がりの傾斜部41を照射するとき、その傾斜部41から放出される反射電子51は大部分が図の右方に向けて放出される。この右方に向けて放出された反射電子51は、対物レンズ7の磁場中を通過するとき180゜回転するため図1において左側に設置された検出器10bで多く検出され、右側の検出器10aではほとんど検出されない。従って、図3(a)に示すような右下がりの傾斜部41は、検出器10aの検出信号をもとにした試料像には暗い部分として現れ、検出器10bの検出信号をもとにした試料像には明るい部分として現れる。逆に、試料面に図3(b)に示すような右上がりの傾斜部42があった場合、そこから放出される反射電子52の多くは図の左方に向けて進む。この反射電子52は大部分が図1の右側に設置された検出器10aで検出され、左側に設置された検出器10bではほとんど検出されない。従って、図3(b)に示すような右上がりの傾斜部42は、検出器10aの検出信号をもとにした試料像には明るい部分として現れ、検出器10bの検出信号をもとにした試料像には暗い部分として現れる。
検出器10a,10bにて検出された反射電子12aによる試料像は、試料8の凹凸に応じて明暗の陰影がついた像となる。その理由について簡単に説明する。いま、図1、図2に示すように、試料8の面に対して小さな角度をなす方向に反射した反射電子12aは、対物レンズ7の磁場中を通過するとき180゜の回転を受けて検出器10a,10bに入射するものとする。このとき、試料8の面に対して小さな角度で図1、図2の左方に飛び出した反射電子は対物レンズ7の磁場中で180゜回転されて図の右側に設置された検出器10aで検出され、試料8の面に対して小さな角度で図1、図2の右方に飛び出した反射電子は対物レンズ7の磁場中で180゜回転されて図の左側に設置された検出器10bで検出される。図3は、試料表面の傾斜部を照射する一次電子線と反射電子を示す略図である。試料表面に図3(a)に示すような右下がりの傾斜部と、図3(b)に示すような右上がりの傾斜部41があったとして、そこを一次電子線4が走査する場合を考える。一次電子線4が図3(a)に示すような右下がりの傾斜部41を照射するとき、その傾斜部41から放出される反射電子51は大部分が図の右方に向けて放出される。この右方に向けて放出された反射電子51は、対物レンズ7の磁場中を通過するとき180゜回転するため図1において左側に設置された検出器10bで多く検出され、右側の検出器10aではほとんど検出されない。従って、図3(a)に示すような右下がりの傾斜部41は、検出器10aの検出信号をもとにした試料像には暗い部分として現れ、検出器10bの検出信号をもとにした試料像には明るい部分として現れる。逆に、試料面に図3(b)に示すような右上がりの傾斜部42があった場合、そこから放出される反射電子52の多くは図の左方に向けて進む。この反射電子52は大部分が図1の右側に設置された検出器10aで検出され、左側に設置された検出器10bではほとんど検出されない。従って、図3(b)に示すような右上がりの傾斜部42は、検出器10aの検出信号をもとにした試料像には明るい部分として現れ、検出器10bの検出信号をもとにした試料像には暗い部分として現れる。
【0022】
図6は、本発明による走査電子顕微鏡の他の例を示す要部概略図である。試料8面に対する反射電子12aの放出角度の範囲は、試料8に印加する電圧と、加速電極13に印加する電圧により変化する。それぞれの電圧が大きくなると、反射電子12aは反射電子12bの軌道に近づいていく。分解能との兼ね合いによりこれらの電圧を大きくせざるを得ない場合には、図6に示すように、対物レンズ17よりも電子源(陰極1)側に反射板14を配置し、試料8面に対して小さな角度をなす方向に放出した反射電子12aを反射板14に衝突させる。検出器10a,10bには、電子を蛍光体に衝突させて信号として検出する効率を向上させるため+10kV程度の電圧が印加されている。そのため、反射電子12aの衝突により発生した二次電子15を検出器10a,10bにて検出することができる。
図6は、本発明による走査電子顕微鏡の他の例を示す要部概略図である。試料8面に対する反射電子12aの放出角度の範囲は、試料8に印加する電圧と、加速電極13に印加する電圧により変化する。それぞれの電圧が大きくなると、反射電子12aは反射電子12bの軌道に近づいていく。分解能との兼ね合いによりこれらの電圧を大きくせざるを得ない場合には、図6に示すように、対物レンズ17よりも電子源(陰極1)側に反射板14を配置し、試料8面に対して小さな角度をなす方向に放出した反射電子12aを反射板14に衝突させる。検出器10a,10bには、電子を蛍光体に衝突させて信号として検出する効率を向上させるため+10kV程度の電圧が印加されている。そのため、反射電子12aの衝突により発生した二次電子15を検出器10a,10bにて検出することができる。
Claims (13)
- 電子線を発生する電子源と、前記電子線を集束するための集束レンズと、集束された電子線を細く絞って試料上に照射するための磁界形の対物レンズと、前記電子線を試料上で二次元的に走査するための偏向器と、電子線照射により試料から放出された信号を検出するために前記対物レンズよりも前記電子源側に配置された検出器と、前記検出器により検出された信号を試料像として表示するための表示手段と、試料に照射される電子線を減速するための電界を発生させる減速電界発生手段と、前記減速電界発生手段に印加する電圧を制御するための電圧制御手段とを具備し、
前記電圧制御手段は試料から発生した信号のうち試料面に対して小さな角度をなす方向に放出された反射電子が前記検出器で検出されるように前記減速電界発生手段に印加する電圧を制御し、試料表面の凹凸に対応して明暗のついた試料像を得ることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1記載の走査電子顕微鏡において、前記減速電界発生手段は試料に負の電圧を印加することで前記減速電界を発生することを特徴とする走査電子顕微鏡。
- 請求項1又は2記載の走査電子顕微鏡において、試料より発生した反射電子を前記電子源の方向に加速する電界を発生する加速電界発生手段と、前記加速電界発生手段に印加する電圧を制御する電圧制御手段とを備えることを特徴とする走査電子顕微鏡。
- 電子線を発生する電子源と、前記電子線を集束するための集束レンズと、集束された電子線を細く絞って試料上に照射するための磁界形の対物レンズと、前記電子線を試料上で二次元的に走査するための偏向器と、電子線照射により試料から放出された信号を検出するために前記対物レンズよりも前記電子源側に配置された検出器と、前記検出器により検出された信号を試料像として表示するための表示手段と、試料から発生した信号を加速するための電界を発生させる加速電界発生手段と、前記加速電界発生手段に印加する電圧を制御するための電圧制御手段とを具備し、
前記電圧制御手段は試料から発生した信号のうち試料面に対して小さな角度をなす方向に放出された反射電子が前記検出器で検出されるように前記加速電界発生手段に印加する電圧を制御し、試料表面の凹凸に対応して明暗のついた試料像を得ることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1〜4のいずれか1項記載の走査電子顕微鏡において、前記対物レンズは試料雰囲気中に漏洩磁場を発生することを特徴とする走査電子顕微鏡。
- 請求項1〜5のいずれか1項記載の走査電子顕微鏡において、前記検出器を前記電子線の光軸に対して軸対称な位置に複数個設け、各検出器の検出信号により試料表面の凹凸に対して異なった明暗のついた試料像を得ることを特徴とする走査電子顕微鏡。
- 請求項1〜6のいずれか1項記載の走査電子顕微鏡において、試料像の明暗を前記検出器で検出された反射電子の前記対物レンズの磁界による回転を考慮して試料表面の凹凸に対応付けることを特徴とする走査電子顕微鏡。
- 請求項1〜7のいずれか1項記載の走査電子顕微鏡において、前記対物レンズよりも前記電子源側に前記電子線が通過する開口を有する導体板を備え、試料から放出された二次電子は大部分が前記開口を通過し、試料面に対して小さな角度をなす方向に放出された反射電子が前記導体板に衝突するように、前記導体板の開口寸法、前記減速電界あるいは前記加速電界の強さが設定されていることを特徴とする走査電子顕微鏡。
- 請求項8記載の走査電子顕微鏡において、前記反射電子の衝突により前記導体板から放出された二次電子を検出方位として見込む位置に前記検出器を配置したことを特徴とする走査電子顕微鏡。
- 請求項1〜9のいずれか1項記載の走査電子顕微鏡において、前記検出器よりも前記電子源側に第2の検出器を備え、前記試料から発生する二次電子と試料面に対して大きな角度をなす方向に放出された反射電子のいずれか一方又は両方を前記第2の検出器で検出することを特徴とする走査電子顕微鏡。
- 請求項1〜10のいずれか1項記載の走査電子顕微鏡において、試料面に対して小さな角度をなす方向に放出された反射電子による試料像を前記表示手段に表示することを特徴とする走査電子顕微鏡。
- 請求項1〜10のいずれか1項記載の走査電子顕微鏡において、前記表示手段に試料表面の凹凸の情報を表示することを特徴とする走査電子顕微鏡。
- 電子線を発生する電子源と、前記電子線を収束するための集束レンズと、収束された電子線を試料上に照射するための磁界形の対物レンズと、前記電子線を試料上で二次元的に走査するための偏向器と、電子線照射により試料から放出された信号を検出するために前記対物レンズよりも前記電子線源側に配置された検出器と、前記検出器により検出された信号を試料像として表示するための表示手段と、試料に照射される電子線を減速するための電界を発生させる減速電界発生手段と、前記減速電界発生手段に印加する電圧を制御するための電圧制御手段とを備え、
前記試料上の傾斜部で反射した後、前記対物レンズの収束磁場によって軌道を変えられた前記反射電子が前記検出器で検出されるように、前記電圧制御手段により前記減速電界発生手段に印加する電圧を制御することを特徴とする走査電子顕微鏡。
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