JP6727024B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
試料を載置する試料台と、
対物レンズを含み、前記荷電粒子源から放出された荷電粒子を荷電粒子線として前記試料に照射する荷電粒子線光学系と、
前記荷電粒子線を照射することにより前記試料から放出される二次粒子を検出する複数の検出器と、
前記試料から放出された前記二次粒子の前記検出器における検出方位角を、磁気的、電気的或いは機械的に変更する回転手段と、
を有することを特徴とする荷電粒子線装置とする。
試料を載置する試料台と、
前記荷電粒子源から放出された荷電粒子を荷電粒子線として前記試料に照射する荷電粒子線光学系と、
前記荷電粒子線の光軸に対して対称な位置に配置され、前記荷電粒子線を照射することにより前記試料から放出される二次粒子を検出する複数の検出器と、
前記試料から放出された前記二次粒子の前記検出器における検出方位角を変更する回転手段と、
前記二次粒子の検出角度の指定を行う画面を表示するモニタに接続され、前記各構成要素を制御する制御部と、
を有することを特徴とする荷電粒子線装置とする。
Claims (8)
- 荷電粒子源と、
試料を載置する試料台と、
対物レンズを含み、前記荷電粒子源から放出された荷電粒子を荷電粒子線として前記試料
に照射する荷電粒子線光学系と、
前記荷電粒子線を照射することにより前記試料から放出される二次粒子のうち前記試料の面に対して小さな角度をなす方向に放出される二次粒子を前記荷電粒子線を前記試料に照射する光軸の周りに配置した磁性材で構成された反射電極に衝突させることにより前記反射電極から発生した二次電子を検出する複数の第1の検出器と、
前記荷電粒子線を照射することにより前記試料から放出される二次粒子のうち前記試料の面に対して大きな角度をなす方向に放出される二次粒子を反射板に衝突させることにより前記反射板から発生する二次電子を検出する第2の検出器と、
前記試料と前記複数の第1の検出器との間に配置されて前記試料から放出された前記二次粒子のうち前記試料の面に対して小さな角度をなす方向に放出される二次粒子の前記複数の第1の検出器における検出方位角を、磁気的に変更する回転手段と、
を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置において、
前記回転手段は、前記検出方位角を磁気的に変更する手段であり、前記対物レンズと前記
複数の第1の検出器との間に配置されたコイルを含むことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項2記載の荷電粒子線装置において、
前記回転手段はコイルを内包し、前記荷電粒子線の光軸の方向にギャップを有する磁極が更に配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置において、
前記複数の第1の検出器は、前記荷電粒子線の光軸に対して軸対称となるように配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置において、
前記対物レンズは、上側磁極と下側磁極とを有し、
前記上側磁極は、前記試料から放出された前記二次粒子を前記複数の第1の検出器の方向へ加速する電極を兼ねていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置において、
前記複数の第1の検出器は、複数に分割された環状検出器であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子源と、
試料を載置する試料台と、
前記荷電粒子源から放出された荷電粒子を荷電粒子線として前記試料に照射する荷電粒子
線光学系と、
前記荷電粒子線の光軸に対して対称な位置に配置され、前記荷電粒子線を照射することに
より前記試料から放出される二次粒子のうち前記試料の面に対して小さな角度をなす方向に放出される二次粒子を前記荷電粒子線を前記試料に照射する光軸の周りに配置した磁性材で構成された反射電極に衝突させることにより前記反射電極から発生した二次電子を検出する複数の第1の検出器と、
前記荷電粒子線を照射することにより前記試料から放出される二次粒子のうち前記試料の面に対して大きな角度をなす方向に放出される二次粒子を反射板に衝突させることにより前記反射板から発生する二次電子を検出する第2の検出器と、
前記試料と前記複数の第1の検出器との間に配置されて前記試料から放出された前記二次粒子の前記複数の第1の検出器における検出方位角を変更する回転手段と、
前記複数の第1の検出器で検出する前記二次粒子の方位角の回転角度の指定を行う画面を表示するモニタに接続され、前記各構成要素を制御する制御部と、
を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項7記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部に接続され、前記モニタから指定された前記回転角度に基づいて前記回転手段
を制御するためのデータが保存された制御テーブルが更に配置されていることを特徴とす
る荷電粒子線装置。
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