JP2001110325A - ガス放電表示パネル及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 放電空間の良好な排気を妨げず、かつ誤放電
の発生を抑制し易い隔壁の構造を有し、また高輝度であ
るガス放電表示パネルを提供する。 【解決手段】 背面基板１上には、一方向に平行に延在
する複数のアドレス電極２と、隣接するアドレス電極２
に挟まれて背面基板１から突出しつつアドレス電極２の
延在方向に平行に延在する複数の隔壁３と、背面基板１
及びアドレス電極２、並びに隔壁３の側面に形成された
蛍光体４と、隣接する隔壁３と離隔しつつ挟まれて隔壁
３が突出する方向に背面基板１から突出するスペーサ５
と、スペーサ５の側面に形成された蛍光体６とが設けら
れている。また、図示されない絶縁層を介して隔壁３の
延在方向とは直角かつ背面基板１に対して平行に延在
し、対を成して形成される透明電極７ａが、図示されな
い前面基板に設けられる。一対の透明電極７ａは、スペ
ーサ５の上方を避けた位置を挟んで配置される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ガス放電表示パ
ネル及びその製造方法に関し、特に本発明は隔壁の構造
及びその形成技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】図２７は従来から提案されているガス放
電表示パネルの構造の一部分の斜視図を示す。背面基板
１の上にアドレス電極２と、隔壁３とが、隔壁３の側面
と背面基板１及びアドレス電極２の上に蛍光体４が、そ
れぞれ形成される。そして、図示されない前面基板下に
形成される透明電極７ａと金属電極７ｂ（以下、双方を
総称して放電電極７と呼ぶこともある）が、図示されな
い絶縁層や保護層を介して、アドレス電極２や隔壁３が
延在する方向と直角の方向に延在して設けられている。
このような構造はガス放電表示パネルの代表的な構造で
あり、例えば特開平６−２６７４３１号公報でも提案さ
れている。

【０００３】かかる構造を表示ディスプレイとして機能
させるために、背面基板１、隔壁３及び前面基板で区画
される放電空間内に希ガスが封入される。そして透明電
極７ａに選択的に電圧を引加してプラズマ放電を起こ
し、これによって生じた紫外線が、蛍光体４に可視光を
発光させて表示が行われる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】かかる構造において、
隔壁３は帯状に平行に延在しているために、以下の問題
が生じる。第１には放電空間内で発生した紫外線を蛍光
体４の発光に変換して可視光にする際の効率が悪くなる
点である。蛍光体４は背面基板１上（アドレス電極２上
を含む）、及び隔壁３の二つの側面に形成されている
が、隔壁３が延在する方向に向かう紫外線を受ける蛍光
体が存在しないからである。

【０００５】第２には、同一の放電空間内に位置し、か
つ隣接する放電セルの間では隔壁３がなく、両者の間で
誤放電が発生する可能性がある。

【０００６】図２８は図２７に示された構造のＡＡ矢視
方向の断面図である。前面基板は省略されているが、放
電電極７と背面基板１との間に介在する絶縁層１２が示
されている。同図中央において対を成す放電電極７間の
電位差に基づいて、放電空間内の希ガスに放電９を生じ
させることにより紫外線を発光させたい場合、これに付
随して、同図左端及び右端に示された放電電極７との間
においても誤放電１０が生じる可能性がある。

【０００７】誤放電１０を防ぐためには、異なる対に属
する二つの放電電極７同士の間隔Ｄを長くすることが有
効である。しかしかかる間隔は表示に寄与しない空間で
あるので、表示面積が減少して実効的な輝度が低下し、
また解像度も低下してしまう。

【０００８】かかる問題を解決するため、例えば隔壁３
を格子状に形成する技術も提案されている。しかしかか
る構造では放電セルの周囲四方が隔壁３で、上下が前面
基板と背面基板１とでそれぞれ囲まれてしまう。放電パ
ネル内に放電ガスを封入する前には、大気ガス及び水分
などの不純ガスをベークアウトするとともに真空ポンプ
で排気する必要があるが、上記構造では前面基板と背面
基板１とを張り合わせた後では排気用のパスを十分得る
ことができず、放電空間の真空排気を良好に行うことが
できないという第３の問題点が生じてしまう。

【０００９】かかる真空排気を考慮して、例えば特開平
１０−３２６５７０号公報では、図２９に斜視図として
示されるように、放電電極の延在方向と直交して延在す
る隔壁３３が、放電電極の延在方向に突出した凸部３１
を有した構造が提案されている。かかる構造では凸部３
１間の空隙を介して排気が可能であるが、放電空間を良
好に排気するに足るだけ空隙を拡げれば、図２８で示さ
れた誤放電１０を阻む効果は弱くなる。

【００１０】同公報では図３０に斜視図として示される
ように、格子状の隔壁３が形成され、放電電極の延在方
向と直交する方向に連通する溝３２が、隔壁３の前面基
板側に設けられた構造も提案されている。しかし、図２
８に示されるように誤放電１０は前面基板側で生じ易い
ので、図３０に示された構成についても図２９に示され
た構成と同様に、第２の問題点と第３の問題点のトレー
ドオフを解決できない。

【００１１】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
で、放電空間の良好な排気を妨げず、かつ誤放電の発生
を抑制し易い隔壁の構造、及びこれを有するガス放電表
示パネルを提供する。また、高輝度のガス放電表示パネ
ルを提供する。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この発明のうち請求項１
にかかるものは、ガス放電に起因して得られる蛍光体か
らの光を用いて表示するガス放電表示パネルであって、
前記基板上に前記基板と平行な第１の方向に平行に延在
する複数のアドレス電極と、隣接する前記アドレス電極
に挟まれて前記基板から突出した頂面を有し、前記第１
の方向に延在する複数の第１の隔壁と、隣接する前記第
１の隔壁に挟まれ、前記隣接する前記第１の隔壁間の中
央近傍においてほぼ前記第１の隔壁の頂面まで前記基板
から突出し、前記隣接する前記第１の隔壁の少なくとも
一方の前記頂面とは離隔した頂面を有する第２の隔壁
と、前記基板上、前記アドレス電極上、及び前記第１の
隔壁の側面の少なくともいずれか一つに形成された前記
蛍光体と、前記基板に関して前記アドレス電極側であっ
て、前記基板から前記第１及び第２の隔壁よりも遠い側
において、前記基板と平行で前記第１の方向とは直交す
る第２の方向に延在し、前記第２の隔壁の頂面を避けた
位置を挟む放電電極の対の複数とを備える。

【００１３】この発明のうち請求項２にかかるものは、
ガス放電に起因して得られる蛍光体からの光を用いて表
示するガス放電表示パネルであって、基板と、前記基板
上に第１の方向に平行に延在する複数のアドレス電極
と、隣接する前記アドレス電極に挟まれて前記基板から
突出した頂面を有し、前記第１の方向に延在する複数の
第１の隔壁と、隣接する前記第１の隔壁に挟まれ、前記
隣接する前記第１の隔壁間においてほぼ前記第１の隔壁
の頂面まで前記基板から突出した頂面を有し、前記隣接
する前記第１の隔壁間において前記基板に選択的に接触
する第２の隔壁と、前記基板上、前記アドレス電極上、
及び前記第１の隔壁の側面の少なくともいずれか一つに
形成された前記蛍光体と、前記基板に関して前記アドレ
ス電極側であって、前記基板から前記第１及び第２の隔
壁よりも遠い側において、前記基板と平行で前記第１の
方向とは直交する第２の方向に延在し、前記第２の隔壁
の頂面を避けた位置を挟む放電電極の対の複数とを備え
る。

【００１４】この発明のうち請求項３にかかるものは、
請求項１又は２記載のガス放電表示パネルであって、前
記蛍光体は前記第２の隔壁の側壁にも形成される。

【００１５】この発明のうち請求項４にかかるものは、
請求項１又は２記載のガス放電表示パネルであって、前
記基板に対して前記第１の隔壁側から前記基板の法線方
向に平行に見て、前記第２の隔壁は異なる対に属する前
記放電電極に挟まれた位置で配置される。

【００１６】この発明のうち請求項５にかかるものは、
請求項１又は２記載のガス放電表示パネル、であって前
記第２の隔壁は前記放電電極の下方に配置される。

【００１７】この発明のうち請求項６にかかるものは、
請求項５記載のガス放電表示パネルであって、前記放電
電極は金属電極と、前記金属電極より幅が広い透明電極
とを有し、前記第２の隔壁は前記金属電極の下方に配置
される。

【００１８】この発明のうち請求項７にかかるものは、
請求項５記載のガス放電表示パネルであって、前記放電
電極は前記第２の方向に延在するバス電極と、前記バス
電極から分岐して前記第１の方向へに延在し、前記バス
電極よりも幅が細い枝電極とを有しており、前記第２の
隔壁は、一の対に属する前記放電電極の前記枝電極の先
端と、他の対に属する前記放電電極の前記バス電極との
間の下方にも存在する。

【００１９】この発明のうち請求項８にかかるものは、
請求項７記載のガス放電表示パネルであって、前記第２
の隔壁は前記枝電極の先端の下方にも存在する。

【００２０】この発明のうち請求項９にかかるものは、
請求項１記載のガス放電表示パネルであって、前記第２
の隔壁の頂面は前記隣接する前記第１の隔壁のいずれの
頂面とも離隔する。

【００２１】この発明のうち請求項１０にかかるもの
は、請求項９記載のガス放電表示パネルであって、前記
第２の隔壁は前記基板上で前記第１の隔壁と連結する。

【００２２】この発明のうち請求項１１にかかるもの
は、請求項１又は２記載のガス放電表示パネルであっ
て、第１及び第２の隔壁は前記蛍光体から得られる光を
反射する材質で形成される。

【００２３】この発明のうち請求項１２にかかるもの
は、請求項１記載のガス放電表示パネルであって、前記
第２の隔壁は前記蛍光体と同じ材料で形成される。

【００２４】この発明のうち請求項１３にかかるもの
は、請求項１記載のガス放電表示パネルであって、前記
第２の隔壁はポーラスな材料で形成される。

【００２５】この発明のうち請求項１４にかかるもの
は、（ａ）基板上に隔壁材を形成する工程と、（ｂ）前
記基板に平行な第１の方向に延在する複数の第１のパタ
ーンと、二つの隣接する前記第１のパターンの少なくと
も一方とは隔離しつつ前記隣接する前記第１のパターン
に挟まれる第２のパターンとを有するマスク材を、前記
隔壁材上に形成する工程と、（ｃ）前記マスク材で覆わ
れていない前記隔壁材及び前記マスク材を除去する工程
とを備える、ガス放電表示パネルの製造方法である。

【００２６】この発明のうち請求項１５にかかるもの
は、請求項１４記載のガス放電表示パネルの製造方法で
あって、前記マスク材は前記第１のパターンと、前記第
２のパターンとの間に前記第１のパターン及び前記第２
のパターンのいずれよりも細かい複数の第３のパターン
を更に有し、前記工程（ｃ）においては前記隔壁材にサ
ンドブラスト加工が施される。

【００２７】この発明のうち請求項１６にかかるもの
は、（ａ）基板上に、前記基板から突出しつつ、前記基
板に平行な第１の方向に延在する複数の第１の隔壁を形
成する工程と、（ｂ）前記第１の隔壁の側面及び前記第
１の隔壁で挟まれた前記基板上に第１の蛍光体を形成す
る工程と、（ｃ）前記工程（ｂ）の後に、前記第１の隔
壁及び前記基板が形成する凹部へと前記第１の蛍光体を
介して感光性樹脂を添加した第２の蛍光体を埋める工程
と、（ｄ）前記第２の蛍光体に露光・現像工程を施して
前記第１の隔壁に挟まれたパターニングを施す工程とを
備える、ガス放電表示パネルの製造方法である。

【００２８】この発明のうち請求項１７にかかるもの
は、（ａ）基板に平行な第１の方向に延在する複数の犠
牲層を前記基板上に形成する工程と、（ｂ）前記基板上
及び前記犠牲層上に隔壁材を形成する工程と、（ｃ）平
面視上、前記犠牲層を挟んで前記第１の方向に延在する
第１のパターンと、前記第１のパターンと直交する第２
のパターンとを有する有するマスク材を、前記隔壁材上
に形成する工程と（ｄ）前記マスク材で覆われていない
前記隔壁材及び前記マスク材を除去する工程と（ｅ）前
記犠牲材を除去する工程とを備える、ガス放電表示パネ
ルの製造方法である。

【００２９】

【発明の実施の形態】実施の形態１．図１は本発明の実
施の形態１に係るガス放電表示パネル１００の構造の一
部を示す斜視図である。背面基板１上には、一方向に平
行に延在する複数のアドレス電極２と、隣接するアドレ
ス電極２に挟まれて背面基板１から突出しつつアドレス
電極２の延在方向に平行に延在する複数の隔壁３と、背
面基板１及びアドレス電極２、並びに隔壁３の側面に形
成された蛍光体４と、隣接する隔壁３と離隔しつつ挟ま
れて隔壁３が突出する方向に背面基板１から突出する第
２の隔壁たるスペーサ５と、スペーサ５の側面に形成さ
れた蛍光体６とが設けられている。

【００３０】また、図示されない絶縁層を介して隔壁３
の延在方向とは直角かつ背面基板１に対して平行に延在
し、対を成して形成される透明電極７ａが、図示されな
い前面基板に設けられる。前面基板は背面基板１に関し
てアドレス電極２側であって隔壁３よりも背面面基板１
から遠くに設けられる。なお、透明電極７ａに電圧を供
給するため、透明電極７ａよりも抵抗値が低い金属電極
７ｂも透明電極７ａに重なって形成され、両者は放電電
極７を形成している。

【００３１】但し、一対の透明電極７ａは、スペーサ５
の上方を避けた位置を挟んで配置される。これは以下の
実施の形態においても同様である。ここで透明電極７
ａ、あるいは放電電極７の対とは、互いの間で表示のた
めの放電が行われる２本の透明電極７ａあるいは放電電
極７を指す。そして互いの間で表示のための放電が行わ
れない２本の透明電極７ａあるいは放電電極７は、それ
ぞれが互いに異なる対に属することになる。放電セルの
境界は、異なる対に属して隣接する２本の放電電極７の
間にあることになる。

【００３２】図２はガス放電表示パネル１００の構造の
一部を示す平面図であり、平面視において、即ち背面基
板１に対して隔壁３側から背面基板１の法線方向に平行
に見て、あるいは背面基板１の上方から見て、スペーサ
５は異なる対に属しつつ隣接する２本の放電電極７と、
隣接する隔壁３とで囲まれている。蛍光体６の放電電極
７との距離はｄ３，ｄ４であり、隔壁３の側壁上に設け
られた蛍光体４との距離はｄ１，ｄ２であり、距離ｄ
３，ｄ４は殆ど零となっている場合が例示されている。

【００３３】図３は図２に示されたＢＢ矢視方向の断面
図であり、スペーサ５の頂面は隔壁３と同様に絶縁層１
２にほぼ到達している場合が例示されている。対を成す
２本の放電電極７の下方（背面電極１側）の放電空間
は、隔壁３が延在する２方向から蛍光体６によって挟ま
れているので、隔壁３が延在する方向に向かう紫外線も
可視光の発生に寄与し、放電時の輝度が向上する。即ち
第１の問題点が解決される。

【００３４】一つの放電セル内で発光に寄与する蛍光体
４，６の表面積は、隔壁３に沿った放電セルの長さを
Ｌ、放電電極７に沿った放電セルの長さＷ、放電空間の
高さ方向の長さをＨとすると、従来の構造での蛍光体４
の表面積は底面積Ｌ×Ｗと隔壁３の側面の面積Ｌ×Ｈ×
２の和でＬ×（Ｗ＋Ｈ×２）となる。一方、本実施の形
態においては、更にはスペーサ側面での蛍光体６の表面
積（Ｗ−ｄ１−ｄ２）×Ｈ×２が加わるので発光時の輝
度が向上する。

【００３５】典型的な例として具体的な数値を、Ｈ＝
０．１ｍｍ、Ｗ＝０．３ｍｍ、Ｌ＝０．４ｍｍ、ｄ１＋
ｄ２＝Ｗ／２として採用すると、従来の構造では発光に
寄与する蛍光体の表面積が０．２０ｍｍ²であるのに対
し、本発明では０．２３ｍｍ²となって１５％広がる。
よって放電による紫外線の強度の位置依存性を無視すれ
ば、１５％の輝度の向上が期待できる。また高精細化に
より画素寸法が１／２になったと仮定すると１８％、画
素寸法が１／４になったと仮定すると２１％、それぞれ
従来の構造よりも輝度の向上が期待できる。

【００３６】また、図２９や図３０に示された構成より
も効果的に誤放電を発生して第２の問題点を解決でき
る。隔壁３の近傍では異なる対に属しつつ隣接する２本
の放電電極７の間では放電は生じにくい。しかし図２８
に示された従来の構造では、隣接する隔壁３の中央部で
前面基板に近い側（放電電極７に近い側：背面基板から
遠い側：隔壁３の頂面側）において誤放電１０が生じ易
かった。このような誤放電１０が生じ易かった位置にお
いて、図２９に示された構成では凸部３１が空隙を形成
し、図３０に示された構成では溝３２が設けられてい
た。しかし本実施の形態では、かかる位置（隣接する隔
壁３の中央部で背面基板から遠い側：隔壁３の頂面側）
においてスペーサ５が存在するので、隔壁３の近傍と同
様に誤放電が発生しにくいという利点がある。

【００３７】異なる対に属する二つの放電電極７同士の
間での誤放電を防止することができるので、これらの二
つの放電電極７の間隔は狭くできる。従って放電に寄与
する空間を拡げることができ、輝度を向上させることが
できる。

【００３８】もちろん、第３の問題点も解決できる。ス
ペーサ５は隣接する隔壁３から離れているので、排気に
必要な空隙は放電セル一つ当たり４カ所設けることがで
きる。よって図２９や図３０に示された構造のように、
排気に必要な空隙を放電セル一つ当たり２カ所設けた場
合と比較して、放電電極７の延在方向に沿った空隙の寸
法ｄ１，ｄ２は小さくすることができ、誤放電を抑制す
る効果を妨げることが少ない。換言すれば、距離ｄを持
続的な放電が生じる最小値とすると、図２９や図３０に
示された構造ではｄの幅で空隙を形成する必要があるの
に対し、本実施の形態においては放電セル一つ当たり２
ｄの幅で空隙を得ることができる。従って本実施の形態
は図２９や図３０に示された構造に比べて排気工程の時
間を短縮でき、また純度の高い放電ガスを得ることもで
きる。例えばスペーサ５及びその側壁に設けられた蛍光
体６の、放電電極７の延在方向の幅は、隔壁３の間隔の
ほぼ半分に設定される。

【００３９】更には、スペーサ５は隣接する隔壁３から
離れていることにより、即ち平面視においてスペーサ５
の頂面は隔壁３の頂面と離隔していることにより、付加
的な効果も得ることができる。図２９や図３０に示され
ていた構造では隔壁３は十字に交叉する箇所を有してい
る。このために、隔壁３を形成する際に行われる焼成工
程に際し、隔壁３の材料が収縮して当該箇所が平滑にな
らず、わずかに盛り上がってしまう。この盛り上がりは
前面基板と隔壁３との接触面積の減少を招来し、隔壁３
の機械的破壊の原因となるという第４の問題点も懸念さ
れる。仮に破壊された隔壁３が倒壊するほどの損傷を受
けなくとも、欠けた破片が放電空間内に移動してしまえ
ば、放電を妨害して表示欠陥の原因となり易い。しか
し、本実施の形態のようにスペーサ５を隔壁３と離して
設けていれば第４の問題点は解決できる。

【００４０】本実施の形態において、誤放電を抑制する
ためには隔壁３やスペーサ５の頂面はほぼ絶縁層１２に
達していることが望ましいが、必ずしも絶縁層１２と接
触しなくても誤放電が生じない程度に絶縁層１２まで到
達していれば良い。

【００４１】また寸法ｄ１，ｄ２についても必ずしも両
者が一致する必要はなく、また放電セル毎に異なる値を
採っても良い。あるいは距離ｄ１，ｄ２のいずれか一方
のみを零とし、スペーサ５と隔壁３が連結する箇所を形
成しても良い。図４は距離ｄ２を零とした、本実施の形
態の変形であるガス放電表示パネル１０１の構成を示す
平面図である。この場合、第２の問題点を解決するため
に距離ｄ１はＷ／２よりも小さいことが望ましい。かか
る構造においても第３の問題点はもちろん、第４の問題
点をも軽減できる。図２９、図３０に示された構造と比
較して、１カ所に集まる隔壁３の数が一つ少ないからで
ある。

【００４２】また、寸法ｄ３，ｄ４についても必ずしも
殆ど零にする必要はなく、誤放電が生じない程度に放電
電極７の下方に近接していれば良い。また寸法ｄ３，ｄ
４が一致する必要もなく、更には放電セル毎に異なる値
を採っても良い。あるいは図５に斜視図として示された
ガス放電表示パネル１０２のように、蛍光体６が放電電
極７の下方に入り込む程度に、隔壁３の延在する方向へ
スペーサ５が設けられても良い。この場合、図６に断面
図として示されるように、蛍光体６が透明電極７ａの下
方に入り込んでもよい。蛍光体４，６の発光特性などに
合わせてスペーサ５の寸法を設計することができる。ま
た更に断面図として図７に示されるように、異なる対に
属する２本の放電電極７が挟む位置の下方において、ス
ペーサ５を分離してもよい。

【００４３】図８及び図９は、スペーサ５の形成方法を
説明するそれぞれ断面図及び平面図であり、いずれも図
面左右方向を放電電極７が延在する方向に採っている。
ここではサンドブラスト法によって隔壁３及びスペーサ
５を同一材料を用いて、同時に形成する手法を示す。但
し、アドレス電極２を形成する工程は省略している。

【００４４】図８（ａ）、図９（ａ）は背面基板１上に
隔壁３及びスペーサ５の材料となる隔壁材２０を形成し
た段階を示す。隔壁材２０としては、無機ガラス系にセ
ルロース系の樹脂を添加した材料を使用できる。

【００４５】次に、耐サンドブラスト性を有するマスク
材として、例えばドライフィルムレジストを隔壁材２０
上に形成する。そして露光・現像工程により、図８
（ｂ）、図９（ｂ）に示されるようなマスクパターン２
１を得る。マスクパターン２１は背面基板１の上方から
見た隔壁３及びスペーサ５の形状に整合させる。即ち隔
壁３に対応して延在する第１のパターン２１ａと、第１
のパターン２１ａに挟まれてスペーサ５に対応する第２
のパターン２１ｂとが形成される。第２のパターン２１
ｂはこれを挟む二つの第１のパターン２１ａの少なくと
も一方とは離隔され、図８及び図９では第２のパターン
２１ｂがこれを挟む二つの第１のパターン２１ａの両方
と離隔された態様が例示されている。

【００４６】次に、サンドブラスト加工により、マスク
パターン２１で覆われていない隔壁材２０を切削し、マ
スクパターン２１を除去し、隔壁３、スペーサ５とほぼ
同型にパターニングされた隔壁材２０を残す。この後、
５５０℃前後の高温焼成によって隔壁材２０を焼結し、
隔壁３及びスペーサ５を得る（図８（ｃ）、図９
（ｃ））。

【００４７】このように隔壁３と同じ材料を用いてスペ
ーサ５を形成することにより、工程数を増やすことなく
パネル性能が向上する。また、別工程で材料を投入しな
いために材料の工程中のロスが最小限に留まり、効率的
に材料を使用できる。更には、隔壁３に通常要求される
可視光の反射という特性をスペーサ５も有することがで
きる。これにより、スペーサ５の頂面も、隔壁３の頂面
と同様に、発光に対する黒い抜けとして認識されること
が少ない。

【００４８】実施の形態２．図１０は本発明の実施の形
態２にかかるガス放電表示パネル２００の構成を示す斜
視図であり、図１１は図１０のＣＣ矢視方向の断面図で
ある。ガス放電表示パネル１０２に対し、異なる対に属
しつつ隣接する２本の放電電極７に挟まれた領域の下方
におけるスペーサ５を排除し、放電電極７の下方、とり
わけ金属電極７ｂの下方のみにスペーサ５を設けた構造
となっている。なお、図１１においては絶縁層１２の背
面基板１側の表面に保護層１３を付加した構造を有して
おり、また放電電極７が載置される前面基板１１も示さ
れている。このような構造でも、異なる対に属しつつ隣
接する放電電極７同士の間での誤放電を抑制する効果が
あり、両者の間隔Ｄを狭くして、放電空間を拡げ、輝度
を向上させることができる。

【００４９】また、金属電極７ｂの下方のみにスペーサ
５を設けた構造は、以下に説明するいわゆるライン結合
方式のパネルにおいて好適である。例えば特許公報第２
８０１８９３号に開示されているように、透明電極７ａ
と金属電極７ｂからなる放電電極７の構成を、隣り合う
２本について結合させることで、放電電極７の数を減ら
す構造が提案されている。

【００５０】図１２及び図１３はそのようないわゆるラ
イン結合方式の放電表示パネルの構造を示す断面図であ
る。図１２は金属電極７ｂが透明電極７ａの図中の左
端、中央近傍、右端に設けられた３つの態様を有する場
合を、図１３は金属電極７ｂが透明電極７ａの図中の中
央近傍に設けられた態様のみを有する場合を、それぞれ
示している。

【００５１】図１２に示された構造によれば、隣り合う
放電電極７の対を２本置きに結合させてることができ、
図１３に示された構造によれば、隣り合う放電電極７の
いずれの対をも結合させることができる。このようなラ
イン結合方式の放電表示パネルでは、ライン結合方式で
はない構造とは異なり、奇数番目のラインと偶数番目の
ラインとの駆動タイミングをずらすことにより駆動され
る。ライン結合方式の構造では放電電極７の本数を減ら
すことにより、駆動用回路の規模を縮小させることがで
きるため、表示装置全体のコストを引き下げる点で優れ
ている。

【００５２】しかし、ライン結合方式を採用する場合に
は、常時非放電となる位置はない。例えば図１３に示さ
れる態様では、実質的には放電表示パネルの全面にわた
って放電が生じることとなる。これは、大きな電力を投
入するには都合が良いのであるが、放電表示パネル全体
のサイズが大きい場合、更には放電電極７の延在する方
向の寸法が長い場合に、以下に述べる理由により、放電
電極７の１ライン当たりの電流値が不必要に増大する事
態を招く。

【００５３】通常、表示パネルの画素数、ライン数は一
般的にＶＧＡ（video graphics array）やＸＧＡ（exte
nded graphics array）などの呼称でおおむね規格化さ
れており、表示パネルの画面サイズには無関係に用途に
合わせて選択される。従って表示パネルの画面サイズが
決まると、図１３の構造では透明電極７ａの幅の設計マ
ージンは、透明電極７ａ間の放電ギャップのみとなって
しまう。また、放電ギャップについても、ガス放電表示
パネルでは一般的には大気圧より低い希ガスを放電ガス
とするため、おおむね５０〜２００μｍ程度を採らざる
を得ない。

【００５４】従って放電ガスについての条件、発光効
率、信頼性を考慮すると、透明電極７ａの幅は実際には
殆ど固定されたパラメータとなってしまう。つまりライ
ン結合方式の放電表示パネルでは透明電極７ａの幅を独
立のパラメータとして設定することができず、放電表示
パネルの画面サイズが大きくなると、透明電極７ａの幅
が増大する。よって透明電極７ａの１ライン当たりの電
流値も透明電極７ａの幅に比例して増大するのである。

【００５５】このように透明電極７ａの１ライン当たり
の電流が大きいことは、必要な駆動回路の電流容量が大
きくなるばかりでなく、金属電極７ｂや駆動回路の内部
インピーダンスによる電圧降下幅が大きくなる。従っ
て、放電表示パネル全体にわたる均一な駆動を一定電圧
で実現することが困難になるという問題がある。

【００５６】更には金属電極７ｂの抵抗による電圧低下
を緩和するため、金属電極７ｂの幅を広くすると、蛍光
体４からの発光を遮ることになる。かかる発光効率の低
下を補償して所定の輝度を得るためには、更には電力を
必要とする。以上のように、ライン結合方式では放電電
極７の本数が減るものの、駆動の困難さから放電表示パ
ネルの大型化が容易ではなかった。

【００５７】しかし、本実施の形態のようにスペーサ５
を金属電極７ｂの下方に配置すれば、かかる問題点を緩
和できる。図１４及び図１５はそれぞれ図１２及び図１
３に示された構造に対し、スペーサ５が金属電極７ｂの
下方に配置された態様を示す断面図である。

【００５８】金属電極７ｂの下方にスペーサ５が配置さ
れることにより、透明電極７ａ間の放電ギャップを介し
て放電が生じた際に金属電極７ｂの下方での放電は抑止
されるので、放電のための電気エネルギーは透明電極７
ａの下方における放電に費やされる。即ち金属電極７ｂ
を太くして電圧降下を抑制しても、発光効率の低下は生
じない。

【００５９】また透明電極７ａのうち、スペーサ５の上
方の（即ち金属電極７ｂ上の）部分は放電に寄与しない
ので、実質的に有効な透明電極７ａの幅は独立なパラメ
ータとして設定することができる。更には、金属電極７
ｂの前面基板１１側の色調を黒くすることにより、外光
の反射を抑制して画像のコントラストを改善するという
効果を得ることもできる。黒い金属電極７ｂを太く設け
ることができれば、放電表示パネルの反射率が低下し、
黒表示の外光による浮きを低減できるからである。

【００６０】なお、本実施の形態においても、図４にお
いて示されたガス放電表示パネル１０１のように、スペ
ーサ５が隔壁３と一部が連結していても良い。

【００６１】実施の形態３．カラー表示のガス放電表示
パネルにおいてはＮｅとＸｅの混合ガスなどＸｅを紫外
線源とする方式が一般的である。そして放電エネルギー
に対する放射紫外線エネルギーの割合、即ち紫外線放射
効率を高めるにはＸeの分圧を高めれば良い。ところ
が、Ｘｅ分圧が３０００Ｐａを越えると、次第に放電開
始電圧が上昇し、より高い電圧での駆動が必要となる。
駆動電圧が高くなると、駆動電流の波形も狭くなり、時
間的にみてきわめて鋭いスパイク状に変化する。これ
は、ピーク電流が増大することを意味し、パネル電極や
駆動回路のインピーダンスによる電圧降下が大きくなる
とともに、電力損失が増大するという第５の問題点を招
来する。即ち、Ｘｅ分圧を高めて高い紫外線放射効率を
達成するには、放電空間毎の放電電流を抑制するととも
に、パネル電極の抵抗を小さくする必要がある。

【００６２】図１６は第５の問題点を解決する一案であ
る、ガス放電表示パネルの構造を示す平面図であり、前
面基板や絶縁層は省略し、前面基板側から見た隔壁３
と、放電電極４０との関係を示している。放電電極４０
は、バス電極１５と枝電極１６とで構成されており、平
行に延在する複数の隔壁３に対して、図示されない前面
基板側（紙面手前側）で直交するバス電極１５が延在し
ている。そして平面視上、一対の隔壁３と共に放電セル
Ｑを囲む一対のバス電極１５のそれぞれから分岐して枝
電極１６が、隔壁３の延在方向と平行に延在している。
一方のバス電極１５から延びた枝電極１６は、その先端
が他方のバス電極１５には接触せず、かつ他方のバス電
極１５から延びた枝電極１６と平行な部分を有してい
る。

【００６３】幅が細い枝電極１６を採用し、放電に関与
している電極の面積を低減して放電電流を抑制する。一
方、各放電セルへ電流を輸送するバス電極１５の幅は太
くして抵抗を下げている。

【００６４】しかし、図１６に示された構造を採用して
ガス放電表示の駆動を行うと、プライミング放電におい
て問題が生じる可能性がある。即ち、強制的に高い電圧
パルスを用いて隣り合う放電電極４０間で放電を発生さ
せると、枝電極１６同士のみならず、一方のバス電極１
５から延びた枝電極１６と、他方のバス電極１５との間
でも放電が生じてしまう。そのため、放電電流が増大
し、印加電圧を高める必要があり、表示パネルの誘電体
が絶縁破壊を起こし易くなり、更には、駆動回路の負荷
も大きくなるという第６の問題点を招来する。

【００６５】本実施の形態は上記第５及び第６の問題点
のいずれをも解決するもので、図１７に本実施の形態に
かかるガス放電表示パネル３００の構造を平面図にて示
す。図１７においても前面基板や絶縁層は省略してい
る。ガス放電表示パネル３００は、図１６で示された構
成に対して、スペーサ５を追加した構成となっている。
本実施の形態では放電電極４０はスペーサ５の上方を避
けた位置のみならず、スペーサ５の上方をも挟む構造を
有している。

【００６６】スペーサ５はガス放電表示パネル２００に
おいて金属電極７ｂの直下に配置されたのと同様にし
て、バス電極１５の直下に配置されている。但し、本実
施の形態におけるスペーサ５はその上方のバス電極１５
から、平面視において隔壁３が延在する方向へとはみ出
している。別の観点から見れば、一方のバス電極１５か
ら延びた枝電極１６と、他方のバス電極１５との間の直
下には、スペーサ５が存在する領域５ａがある。よって
これらの間での放電は抑止され、強制放電によるプライ
ミング動作においても、放電は枝電極１６同士に限定さ
れることになり、プライミング電流が制限され、第５及
び第６の問題点が解決される。

【００６７】更には、図１７に示されるように、スペー
サ５が存在する領域５ａをバス電極１５から延在する枝
電極１６の先端の直下にも位置させることにより、枝電
極１６の先端部は放電に殆ど寄与せず、放電時に電界が
集中することも回避される。よって枝電極１６の先端部
におけるスパッタリングを抑止するという付加的な効果
をも得ることができる。

【００６８】実施の形態４．実施の形態１ではスペーサ
５を隔壁３と同様に隔壁材２０から形成する製造方法を
説明したが、本実施の形態ではスペーサ５を蛍光体と同
じ材料で形成する製造方法を説明する。但し、アドレス
電極２を形成する工程は省略する。

【００６９】図１８及び図１９は、スペーサ５の形成方
法を説明するそれぞれ断面図及び平面図であり、いずれ
も図面左右方向を放電電極７が延在する方向に採ってい
る。図１８（ａ）、図１９（ａ）は背面基板１上に隔壁
３を形成した段階を示す。次に隔壁３の側面及び隔壁３
で挟まれた背面基板１上に蛍光体４を形成し、図１８
（ｂ）、図１９（ｂ）に示された構造を得る。この蛍光
体４の形成は、蛍光体粉末に樹脂及び溶剤でペースト化
した材料を、例えばスクリーン印刷法により隔壁３及び
背面基板１で囲まれた凹部４１に埋め込み、溶剤を気化
し、樹脂を燃焼させることによって実現できる。ペース
ト化した材料を凹部４１内にてパターニングする方法と
しては、ペースト化する際に添加する樹脂を感光材とし
て紫外線照射により感光材料を架橋させ、パターニング
するフォト法を用いることができる。

【００７０】凹部４１の内面に蛍光体４を形成した後、
感光性樹脂を添加した蛍光体ペースト２６を採用し、蛍
光体４を介して凹部４１を埋め込む（図１８（ｃ）、図
１９（ｃ））。そして露光・現像工程により、図１８
（ｄ）、図１９（ｄ）に示されるようなスペーサパター
ン２７を得る。スペーサパターン２７を焼成処理すれば
実施の形態１で示されるスペーサ５を形成することがで
きる。

【００７１】上記の様に、スペーサパターン２７の形成
にスクリーン印刷法を採用するよりもフォト法を用いる
ことが望ましい。ペースト化した材料を用いるとパター
ン以外の領域にも蛍光体の材料が容易に流れ出すため
に、精度良いパターニングができないからである。

【００７２】以上のように、スペーサ５を蛍光体４と同
じ材料で形成すれば、スペーサ５を隔壁３と同じ材料で
形成した場合と比較して、実施の形態１で示した蛍光体
６を形成する必要がないので、大きな排気パスを確保す
ることができる。しかもスペーサ５がポーラスな蛍光体
粒子で形成されるので、スペーサ５内に無数の空隙がで
き、放電空間を良好に排気することができる。

【００７３】実施の形態５．スペーサ５を隔壁３と同じ
材料で形成しつつも、放電空間の良好な排気を得るた
め、隔壁材２０にポーラスな材料を採用することができ
る。隔壁材をポーラス化することは容易であり、具体的
な方法としてはセラミックスフィラーの添加がある。例
えば隔壁材２０として、主成分が５００〜６００℃で溶
融する無機ガラス系であり、１０００℃以上の高温でも
溶融しないセラミックスフィラーが添加された材料を採
用する。このような隔壁材２０は、５００〜６００℃の
焼成工程において無機ガラスとセラミックフィラーの間
に空隙が生じ、隔壁３の全体がポーラスとなる。

【００７４】その他、隔壁材２０に軟化度が異なる無機
ガラスの混合物を採用することもできる。例えば軟化点
が５５０〜６００℃と比較的高い無機ガラスを主成分と
し、これに軟化点が５００〜５５０℃と比較的低い別の
無機ガラスを添加する。このような隔壁材２０は、５５
０℃前後の焼成工程において完全に溶融するガラス材料
と溶融過程の途中の状態のガラス材料が混在し、隔壁３
の全体がポーラスとなる。また上記二つの方法を併用し
ても良い。

【００７５】実施の形態６．図２０は本実施の形態にか
かるガス放電表示パネル４０１の構成を示す斜視図であ
り、背面基板１、アドレス電極２、隔壁３及びスペーサ
１７の位置関係のみを示し、蛍光体や放電電極、前面基
板、絶縁層などは省略している。

【００７６】ガス放電表示パネル４０１においては、図
３０に示された構造と類似して、スペーサ１７が背面基
板１側において隔壁３と連結されている。しかし、スペ
ーサ１７は隣接する隔壁３の間の中央近傍で隔壁３とほ
ぼ同じ高さであり、隔壁３の頂面近傍において隔壁３と
は離れている。

【００７７】このように形成されたスペーサ１７は実施
の形態１で示されたスペーサ５と比較して、隔壁３や背
面基板１と連結する領域が広く、スペーサ５と比較して
安定度が向上し、隔壁３の強度も向上する。また、スペ
ーサ１７の表面に形成される蛍光体の表面積も増大して
輝度が更には向上する。

【００７８】しかも隔壁３の間の中央近傍という誤放電
が生じ易い位置において有効に誤放電を阻止し、かつ誤
放電が生じにくい隔壁３近傍において空隙を形成するの
で、放電空間からの排気を妨げにくい。更にはスペーサ
１７が隔壁３と連結するのは背面基板１側であるので、
その連結部分を形成する際に行われる焼成工程に際し、
当該箇所が平滑にならずに盛り上がってしまっても前面
基板と隔壁との接触面積の減少、隔壁３の機械的破壊の
原因という第４の問題点が生じることもない。

【００７９】図２１及び図２２は、スペーサ１７の形成
方法を説明するそれぞれ断面図及び平面図であり、いず
れも図面左右方向を放電電極７が延在する方向に採って
いる。ここではサンドブラスト法によって隔壁３及びス
ペーサ１７を同一材料を用いて、同時に形成する手法を
示す。但し、アドレス電極２を形成する工程は省略す
る。

【００８０】図２１（ａ）、図２２（ａ）は背面基板１
上に隔壁３及びスペーサ１７の材料となる隔壁材２０を
形成した段階を示す。隔壁材２０としては、無機ガラス
系にセルロース系の樹脂を添加した材料を使用できる。

【００８１】次に、耐サンドブラスト性を有するマスク
材として、例えばドライフィルムレジストを隔壁材２０
上に形成する。そして露光・現像工程により、図２１
（ｂ）、図２２（ｂ）に示されるようなマスクパターン
２２，２３，２４を得る。マスクパターン２２の形状
は、背面基板１の上方から見た隔壁３の形状に整合させ
る。またマスクパターン２３，２４の形状は、背面基板
１の上方から見たスペーサ１７の形状に整合して図中左
右に延在させる。但し、スペーサ１７は隣接する隔壁３
の中央部で隔壁３とほぼ同じ高さに、隔壁３の近傍では
隔壁３よりも低く、それぞれ形成する必要がある。これ
に対応して図２１（ｂ）及び図２２（ｂ）に示されるよ
うに、隣接する隔壁３の中央部では単連結の形態を採る
マスクパターン２３が、隔壁３の近傍では断線形状のマ
スクパターン２４が、それぞれ形成される。観点を変え
れば、実施の形態１で説明された第１のパターン２１
ａ、第２のパターン２１ｂのそれぞれに対応してマスク
パターン２２，２３が形成され、マスクパターン２２，
２３の間にはマスクパターン２２，２３よりも細かい複
数のマスクパターン２４が形成される。

【００８２】次に、サンドブラスト加工により、マスク
パターン２２，２３，２４で覆われていない隔壁材２０
を切削する。サンドブラスト加工の際、断線形状のマス
クパターン２４はマスクパターン２２，２３程にはサン
ドブラスト加工から隔壁材２０を保護できずに消失し、
隔壁材２０はその上方（背面基板１とは反対側）が部分
的に除去される。このため、隔壁３の近傍では隔壁材２
０の上面は隔壁３よりも低くなる。

【００８３】サンドブラスト加工後、マスクパターン２
２，２３を除去し、隔壁パターン及びスペーサパターン
を得る。この後、５５０℃前後の高温焼成により隔壁材
を焼結することで隔壁３及びスペーサ１７を得る（図２
１（ｃ）、図２２（ｃ））。

【００８４】実施の形態７．図２３及び図２４はそれぞ
れ本実施の形態にかかるガス放電表示パネル４０２，４
０３の構成を示す斜視図であり、背面基板１、アドレス
電極２、隔壁３及びスペーサ１８，１９の位置関係のみ
を示し、蛍光体や放電電極、前面基板、絶縁層などは省
略している。

【００８５】ガス放電表示パネル４０２，４０３におい
ては、スペーサ１８，１９を挟む隣接する隔壁３の間
で、隔壁３の頂面とほぼ同じ高さでスペーサ１８，１９
の頂面が存在している。即ち、スペーサ１８，１９が背
面基板１とは反対側（図示されない前面基板側）におい
て隔壁３と連結されている。しかし、ガス放電表示パネ
ル４０２では、隣接する隔壁３の間の中央近傍でスペー
サ１８が背面基板１とは接していない。またガス放電表
示パネル４０３では、隔壁３近傍でスペーサ１９が背面
基板１とは接していない。つまりスペーサ１８，１９は
いずれも選択的に背面基板１に接触しており、それぞれ
隔壁３の間、隔壁３の近傍で空隙が存在し、放電空間か
らの排気を妨げない構造が得られている。従ってガス放
電表示パネル４０１と同様にしてスペーサ１８，１９の
安定度が向上すると共に、隔壁３の強度も向上し、また
蛍光体の表面積も増大して輝度が更には向上する。更に
はガス放電表示パネル４０１と比較して前面基板近傍で
の誤放電を抑止する効果が高い。

【００８６】なお、スペーサとして、隔壁３、図示され
ない前面基板、背面基板１のいずれにも連結されつつ、
空隙をその中央に有する構造も、例えば特開平１１−２
１３８９６号公報において提案されている。しかしかか
る構造と比較すると、以下に説明する工程から理解され
るように、製造が容易であろうと考えられる。

【００８７】図２５及び図２６は、スペーサ１８の形成
方法を説明するそれぞれ断面図及び平面図であり、いず
れも図面左右方向を放電電極７が延在する方向に採って
いる。ここではサンドブラスト法によって隔壁３及びス
ペーサ１８を同一材料を用いて、同時に形成する手法を
示す。但し、アドレス電極２を形成する工程は省略す
る。

【００８８】図２５（ａ）、図２６（ａ）は背面基板１
上で選択的に、セルロース系の樹脂などで構成される犠
牲層２８を形成した段階を示す。犠牲層２８は後に隔壁
３が形成される領域に接触しない位置で、後に隔壁３が
延在する方向に延在している。次に犠牲層２８を覆うよ
うに背面基板１上に隔壁材２０を形成し、図２５
（ｂ）、図２６（ｂ）に示された構造を得る。隔壁材２
０としては、無機ガラス系にセルロース系の樹脂を添加
した材料を使用できる。

【００８９】次に、耐サンドブラスト性を有するマスク
材として、例えばドライフィルムレジスト２５を隔壁材
２０上に形成し、露光・現像工程によりマスクパターン
２５を得る（図２５（ｃ）、図２６（ｃ））。マスクパ
ターン２５は背面基板１の上方から見た隔壁３及びスペ
ーサ１８の形状に整合させる。このマスクパターン２５
の形状は、例えば平面視上で犠牲層を挟んで犠牲層と同
じ方向に延在する第１のパターン２５ａと、第１のパタ
ーンに交叉する第２のパターン２５ｂとに分けて把握す
ることができる。

【００９０】次に、サンドブラスト加工により、マスク
パターン２５で覆われていない隔壁材２０を切削し、マ
スクパターン２５を除去し、平面視上で互いに交叉する
隔壁パターン３ａ及びスペーサパターン１８ａを得る。
この後、５５０℃前後の高温焼成により隔壁材を焼結
し、更には犠牲層２８を焼失させることで、隔壁３及び
スペーサ１８を得ることができる。同様の手法によっ
て、スペーサ１９を得ることができる。

【００９１】もちろんスペーサ１８，１９は、実施の形
態１に示されるように平面視において、異なる対に属す
る二つの放電電極７の間に設けられても良く、実施の形
態２に示されるように放電電極７の下方、とりわけ金属
電極７ｂの下方に設けられても良く、実施の形態３に示
されるように枝電極１６とバス電極１５の下方に設けら
れても良い。

【００９２】

【発明の効果】この発明のうち請求項１にかかるガス放
電表示パネルによれば、第２の隔壁の頂面が、隣接する
第１の隔壁間の中央近傍であって第１の隔壁の頂面近傍
における誤放電を防止する。しかも第１の隔壁と第２の
隔壁とが交叉する箇所が少なく、両者の頂面を容易に平
滑に保ちつつ、第１の隔壁と基板とで囲まれる放電空間
の排気を良好に行うことができる。

【００９３】この発明のうち請求項２にかかるガス放電
表示パネルによれば、第１の隔壁の頂面近傍における誤
放電を防止する。しかも第２の隔壁と基板との間に空隙
が存在するので排気パスを確保しつつ、第１及び第２の
隔壁はその頂面同士が連結するので、安定度、強度を高
めることができる。

【００９４】この発明のうち請求項３にかかるガス放電
表示パネルによれば、蛍光体の表面積を広くして、ガス
放電に基づく発光の効率を高めることができる。

【００９５】この発明のうち請求項４にかかるガス放電
表示パネルによれば、異なる対に属する２本の放電電極
同士の間での誤放電が防止されるので、これらの間の距
離を狭めることができ、放電空間を広く採って輝度を向
上させることができる。

【００９６】この発明のうち請求項５にかかるガス放電
表示パネル、なかんづく請求項６にかかるガス放電表示
パネルによれば、透明電極間の放電ギャップを介して放
電が生じた際に、金属電極の下方での放電が抑止される
ので、放電のための電気エネルギーは透明電極７ａの下
方における放電に費やされる。よって金属電極を太くし
て電圧降下を抑制しても、発光効率の低下は生じない。
また透明電極の幅を独立したパラメータとして設定する
ことができる。

【００９７】この発明のうち請求項５にかかるガス放電
表示パネル、なかんづく請求項７にかかるガス放電表示
パネルによれば、幅が細い枝電極を採用して放電電流を
小さくしつつ、バス電極の幅は太くしてその抵抗を下げ
ることができ、印加電圧を高める必要をなくす。更には
一の対に属する放電電極の枝電極と、他の対に属する放
電電極との間での放電を回避することができる。

【００９８】この発明のうち請求項８にかかるガス放電
表示パネルによれば、枝電極の先端は放電に殆ど寄与せ
ず、放電時に電界が集中することが回避されるので、枝
電極の先端部におけるスパッタリングを抑止することが
できる。

【００９９】この発明のうち請求項９にかかるガス放電
表示パネルによれば、第１の隔壁と第２の隔壁とが交叉
する箇所がなく、両者の頂面を容易に平滑に保つことが
できる。

【０１００】この発明のうち請求項１０にかかるガス放
電表示パネルによれば、第２の隔壁の安定度が向上し、
第１の隔壁の強度も向上する。また第２の隔壁の側面に
形成される蛍光体の表面積が増大して、輝度を更には向
上させることができる。

【０１０１】この発明のうち請求項１１にかかるガス放
電表示パネルによれば、第１及び第２の隔壁のそれぞれ
の頂面が、表示のための発光に対する黒い抜けとして認
識されることが少ない。

【０１０２】この発明のうち請求項１２にかかるガス放
電表示パネルによれば、蛍光体を新たに第２の隔壁の側
面に形成する必要がなく、しかも第２の隔壁はポーラス
となるので、放電空間についての排気パスを大きくする
ことができる。

【０１０３】この発明のうち請求項１３にかかるガス放
電表示パネルによれば、放電空間についての排気パスを
大きくすることができる。

【０１０４】この発明のうち請求項１４にかかるガス放
電表示パネルの製造方法によれば、請求項１にかかるガ
ス放電表示パネルにおいて第１及び第２の隔壁をいずれ
も同じ隔壁材で製造するので、材料を効率よく使用で
き、しかも請求項１１にかかるガス放電表示パネルを製
造することができる。

【０１０５】この発明のうち請求項１５にかかるガス放
電表示パネルの製造方法によれば、第３のパターンは、
第２のパターン程には隔壁材をサンドブラスト処理から
保護しないので、第３のパターンの下方の隔壁材はその
上方が部分的に除去され、請求項１０記載のガス放電表
示パネルを製造することができる。

【０１０６】この発明のうち請求項１６にかかるガス放
電表示パネルの製造方法によれば、請求項１にかかるガ
ス放電表示パネルにおいて第２の隔壁を第２の蛍光体で
製造するので、請求項１２にかかるガス放電表示パネル
を製造することができる。

【０１０７】この発明のうち請求項１７にかかるガス放
電表示パネルの製造方法によれば、請求項２にかかるガ
ス放電表示パネルを製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態１に係る構造を示す斜視
図である。

【図２】 本発明の実施の形態１に係る構造を示す平面
図である。

【図３】 本発明の実施の形態１に係る構造を示す断面
図である。

【図４】 本発明の実施の形態１の変形に係る構造を示
す平面図である。

【図５】 本発明の実施の形態１の他の変形に係る構造
を示す斜視図である。

【図６】 本発明の実施の形態１の他の変形に係る構造
を示す断面図である。

【図７】 本発明の実施の形態１の更に他の変形に係る
構造を示す断面図である。

【図８】 本発明の実施の形態１に係る製造方法を説明
する断面図である。

【図９】 本発明の実施の形態１に係る製造方法を説明
する平面図である。

【図１０】 本発明の実施の形態２に係る構造を示す斜
視図である。

【図１１】 本発明の実施の形態２に係る構造を示す断
面図である。

【図１２】 ライン結合方式の放電表示パネルの構造を
示す断面図である。

【図１３】 ライン結合方式の放電表示パネルの構造を
示す断面図である。

【図１４】 本発明の実施の形態２の変形に係る構造を
示す断面図である。

【図１５】 本発明の実施の形態２の変形に係る構造を
示す断面図である。

【図１６】 第５の問題点を解決する一案の構造を示す
平面図である。

【図１７】 本発明の実施の形態３に係る構造を示す平
面図である。

【図１８】 本発明の実施の形態４に係る製造方法を説
明する断面図である。

【図１９】 本発明の実施の形態４に係る製造方法を説
明する平面図である。

【図２０】 本発明の実施の形態６に係る構造を示す斜
視図である。

【図２１】 本発明の実施の形態６に係る製造方法を説
明する断面図である。

【図２２】 本発明の実施の形態６に係る製造方法を説
明する平面図である。

【図２３】 本発明の実施の形態７に係る構造を示す斜
視図である。

【図２４】 本発明の実施の形態７に係る構造を示す斜
視図である。

【図２５】 本発明の実施の形態７に係る製造方法を説
明する断面図である。

【図２６】 本発明の実施の形態７に係る製造方法を説
明する平面図である。

【図２７】 従来の技術を示す斜視図である。

【図２８】 従来の技術を示す断面図である。

【図２９】 従来の技術を示す斜視図である。

【図３０】 従来の技術を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 背面基板、２ アドレス電極、３ 隔壁、４，６
蛍光体、５，１７〜１９ スペーサ、７，４０ 放電電
極、７ａ 透明電極、７ｂ 金属電極、１５バス電極、
１６ 枝電極、２０ 隔壁材、２１〜２４ マスクパタ
ーン、２６蛍光体ペースト、２８ 犠牲層。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 園 淳弘 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 佐野 耕 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 5C027 AA09 5C040 FA01 FA04 GC02 GC05 GF02 GF12 GF14 GF16 GF18 GF19 GG03 GG05 GG09 JA11 JA15 JA17 KA16 LA11 MA03 MA17 MA20

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板と、 前記基板上に前記基板と平行な第１の方向に平行に延在
   する複数のアドレス電極と、 隣接する前記アドレス電極に挟まれて前記基板から突出
   した頂面を有し、前記第１の方向に延在する複数の第１
   の隔壁と、 隣接する前記第１の隔壁に挟まれ、前記隣接する前記第
   １の隔壁間の中央近傍においてほぼ前記第１の隔壁の頂
   面まで前記基板から突出し、前記隣接する前記第１の隔
   壁の少なくとも一方の前記頂面とは離隔した頂面を有す
   る第２の隔壁と、 前記基板上、前記アドレス電極上、及び前記第１の隔壁
   の側面の少なくともいずれか一つに形成された蛍光体
   と、 前記基板に関して前記アドレス電極側であって、前記基
   板から前記第１及び第２の隔壁よりも遠い側において、
   前記基板と平行で前記第１の方向とは直交する第２の方
   向に延在し、前記第２の隔壁の頂面を避けた位置を挟む
   放電電極の対の複数とを備え、 ガス放電に起因して得られる前記蛍光体からの光を用い
   て表示するガス放電表示パネル。
2. 【請求項２】 基板と、 前記基板上に第１の方向に平行に延在する複数のアドレ
   ス電極と、 隣接する前記アドレス電極に挟まれて前記基板から突出
   した頂面を有し、前記第１の方向に延在する複数の第１
   の隔壁と、 隣接する前記第１の隔壁に挟まれ、前記隣接する前記第
   １の隔壁間においてほぼ前記第１の隔壁の頂面まで前記
   基板から突出した頂面を有し、前記隣接する前記第１の
   隔壁間において前記基板に選択的に接触する第２の隔壁
   と、 前記基板上、前記アドレス電極上、及び前記第１の隔壁
   の側面の少なくともいずれか一つに形成された蛍光体
   と、 前記基板に関して前記アドレス電極側であって、前記基
   板から前記第１及び第２の隔壁よりも遠い側において、
   前記基板と平行で前記第１の方向とは直交する第２の方
   向に延在し、前記第２の隔壁の頂面を避けた位置を挟む
   放電電極の対の複数とを備え、 ガス放電に起因して得られる前記蛍光体からの光を用い
   て表示するガス放電表示パネル。
3. 【請求項３】 前記蛍光体は前記第２の隔壁の側壁にも
   形成される、請求項１又は２記載のガス放電表示パネ
   ル。
4. 【請求項４】 前記基板に対して前記第１の隔壁側から
   前記基板の法線方向に平行に見て、前記第２の隔壁は異
   なる対に属する前記放電電極に挟まれた位置で配置され
   る、請求項１又は２記載のガス放電表示パネル。
5. 【請求項５】 前記第２の隔壁は前記放電電極の下方に
   配置される、請求項１又は２記載のガス放電表示パネ
   ル。
6. 【請求項６】 前記放電電極は金属電極と、前記金属電
   極より幅が広い透明電極とを有し、 前記第２の隔壁は前記金属電極の下方に配置される、請
   求項５記載のガス放電表示パネル。
7. 【請求項７】 前記放電電極は前記第２の方向に延在す
   るバス電極と、前記バス電極から分岐して前記第１の方
   向へに延在し、前記バス電極よりも幅が細い枝電極とを
   有しており、 前記第２の隔壁は、一の対に属する前記放電電極の前記
   枝電極の先端と、他の対に属する前記放電電極の前記バ
   ス電極との間の下方にも存在する、請求項５記載のガス
   放電表示パネル。
8. 【請求項８】 前記第２の隔壁は前記枝電極の先端の下
   方にも存在する、請求項７記載のガス放電表示パネル。
9. 【請求項９】 前記第２の隔壁の頂面は前記隣接する前
   記第１の隔壁のいずれの頂面とも離隔する、請求項１記
   載のガス放電表示パネル。
10. 【請求項１０】 前記第２の隔壁は前記基板上で前記第
    １の隔壁と連結する、請求項９記載のガス放電表示パネ
    ル。
11. 【請求項１１】 第１及び第２の隔壁は前記蛍光体から
    得られる光を反射する材質で形成された、請求項１又は
    ２記載のガス放電表示パネル。
12. 【請求項１２】 前記第２の隔壁は前記蛍光体と同じ材
    料で形成される、請求項１記載のガス放電表示パネル。
13. 【請求項１３】 前記第２の隔壁はポーラスな材料で形
    成される、請求項１記載のガス放電表示パネル。
14. 【請求項１４】 （ａ）基板上に隔壁材を形成する工程
    と、 （ｂ）前記基板に平行な第１の方向に延在する複数の第
    １のパターンと、二つの隣接する前記第１のパターンの
    少なくとも一方とは隔離しつつ前記隣接する前記第１の
    パターンに挟まれる第２のパターンとを有するマスク材
    を、前記隔壁材上に形成する工程と、 （ｃ）前記マスク材で覆われていない前記隔壁材及び前
    記マスク材を除去する工程とを備える、ガス放電表示パ
    ネルの製造方法。
15. 【請求項１５】 前記マスク材は前記第１のパターン
    と、前記第２のパターンとの間に前記第１のパターン及
    び前記第２のパターンのいずれよりも細かい複数の第３
    のパターンを更に有し、 前記工程（ｃ）においては前記隔壁材にサンドブラスト
    加工が施される、請求項１４記載のガス放電表示パネル
    の製造方法。
16. 【請求項１６】 （ａ）基板上に、前記基板から突出し
    つつ、前記基板に平行な第１の方向に延在する複数の第
    １の隔壁を形成する工程と、 （ｂ）前記第１の隔壁の側面及び前記第１の隔壁で挟ま
    れた前記基板上に第１の蛍光体を形成する工程と、 （ｃ）前記工程（ｂ）の後に、前記第１の隔壁及び前記
    基板が形成する凹部へと前記第１の蛍光体を介して感光
    性樹脂を添加した第２の蛍光体を埋める工程と、 （ｄ）前記第２の蛍光体に露光・現像工程を施して前記
    第１の隔壁に挟まれたパターニングを施す工程とを備え
    る、ガス放電表示パネルの製造方法。
17. 【請求項１７】 （ａ）基板に平行な第１の方向に延在
    する複数の犠牲層を前記基板上に形成する工程と、 （ｂ）前記基板上及び前記犠牲層上に隔壁材を形成する
    工程と、 （ｃ）平面視上、前記犠牲層を挟んで前記第１の方向に
    延在する第１のパターンと、前記第１のパターンと直交
    する第２のパターンとを有する有するマスク材を、前記
    隔壁材上に形成する工程と、 （ｄ）前記マスク材で覆われていない前記隔壁材及び前
    記マスク材を除去する工程と （ｅ）前記犠牲材を除去する工程とを備える、ガス放電
    表示パネルの製造方法。