JP2001107961A - 電磁石駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な構成で応答性の高い電磁石駆動装置を
得る。 【解決手段】 ａ系統の誤差値４７ａの導出において、
ｂ系統の低周波通過ろ波器４８ｂを経た誤差値４７ｂを
電流指令値４３ａの補正値として用い、ｂ系統の誤差値
４７ｂの導出において、ａ系統の低周波通過ろ波器４８
ａを経た誤差値４７ａを電流指令値４３ｂの補正値とし
て用いることによって、電磁石３２ａの磁気吸引力６２
ａまたは電磁石３２ｂの磁気吸引力６２ｂを瞬間的に零
にすることができ、応答性の高い電磁石駆動装置を得る
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、磁性体部分を有
する可動物体を電磁吸引力によって非接触に駆動する電
磁石駆動装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】磁性体部分を有する可動物体の位置を、
対向させた一対の電磁石で制御する場合に、それら電磁
石のインダクタンスの影響によって実際のコイル電流は
電流指令値に対して遅れてしまい、この遅れは電磁石に
高い応答性能を持たせるときに制御系の安定性を損う原
因になる。単一のパワートランジスタで電磁石一台を駆
動するときは、一般に電磁石に定常的に電流を流すため
に必要な電圧は電源の正の電圧よりも負の電圧に近いの
で、この遅れはコイル電流を増加させるときよりも、減
少させるときに現れやすい。従来では、電磁石駆動用電
源電圧を高くし、また、インバータブリッジ回路を電流
駆動手段に組み込むことでその遅れを抑えこんでいた。

【０００３】図７は例えば特開平８−１４５０５６号公
報に示された従来の電磁石駆動装置を示す構成図であ
り、図において、１は交流電源を整流するコンバータブ
リッジ、２は平滑コンデンサ、３は所定のパルス幅の電
源を発生するインバータブリッジ、４，５はＵ相および
Ｖ相の電流を検出する電流検出器、６，７は一対の電磁
石、８は電流検出器４による検出値と電流指令値ｉｕｒ
ｅｆとを比較増幅してＵ相の電圧指令値ｅｕを出力する
電流増幅器、９は電流検出器５による検出値と電流指令
値ｉｖｒｅｆとを比較増幅してＶ相の電圧指令値ｅｖを
出力する電流増幅器、１０はＵ相の電圧指令値ｅｕの符
号を反転した値とＶ相の電圧指令値ｅｖの符号を反転し
た値とを加算してＮ相の電圧指令値ｅｎを出力する加算
器、１１は所定の三角波のキャリア信号ｅｃを発生する
キャリア信号発生器、１２〜１４はそれぞれＮ相の電圧
指令値ｅｎ、Ｕ相の電圧指令値ｅｕ、およびＶ相の電圧
指令値ｅｖとキャリア信号ｅｃとの比較に応じてインバ
ータブリッジ３を制御するＰＷＭ制御器である。

【０００４】次に動作について説明する。３相のインバ
ータブリッジ３のＵ相の出力端子を磁気軸受けの電磁石
６の一端に接続し、Ｖ相の出力端子を電磁石６と回転軸
を挟んで相対して設置された電磁石７の一端に接続し、
Ｎ相の出力端子を両電磁石６，７の残りの端子に接続し
て、Ｕ相およびＶ相の電流を電流検出器４，５により検
出する。電流増幅器８は電流検出器４による検出値と電
流指令値ｉｕｒｅｆとを比較増幅してＵ相の電圧指令値
ｅｕを出力し、電流増幅器９は電流検出器５による検出
値と電流指令値ｉｖｒｅｆとを比較増幅してＶ相の電圧
指令値ｅｖを出力し、加算器１０はＵ相の電圧指令値ｅ
ｕの符号を反転した値とＶ相の電圧指令値ｅｖの符号を
反転した値とを加算してＮ相の電圧指令値ｅｎを出力す
る。ＰＷＭ制御器１２〜１４はそれぞれＮ相の電圧指令
値ｅｎ、Ｕ相の電圧指令値ｅｕ、およびＶ相の電圧指令
値ｅｖとキャリア信号発生器１１から発生されたキャリ
ア信号ｅｃとを比較し、それらの論理出力に応じてイン
バータブリッジ３の各相の主回路素子を駆動することに
より、２個の電磁石６，７を制御する。

【０００５】このように、図７に示された従来の技術で
は、一対の電磁石６，７を６つのトランジスタからなる
インバータブリッジ回路によって駆動している。そし
て、高い応答性能が要求される場合には、１つの電磁石
を４つのトランジスタからなるインバータブリッジ回路
によって駆動することが多いため、上記特開平８−１４
５０５６号公報には、トランジスタを２つ削減すること
により、小型化と低価格化を図りながら、電磁石の高い
応答性能を確保したものが開示されている。また、６つ
のトランジスタからなるインバータブリッジ回路は、三
相モータの駆動に広く使われており、これを一対の電磁
石の駆動に適用することにより駆動回路開発が容易にな
る利点もある。

【０００６】図８は例えば特開平１０−２９４２１５号
公報に示された従来の電磁石駆動装置を示す構成図であ
り、図において、２０は交流電源、２１はスイッチ、２
２は電源回路、２３は吸着コイル、２４は吸着コイル２
３とは逆向きに巻かれた消磁コイルである。また、電源
回路２２において、２５は全波整流回路、２６は吸着コ
イル２３に直列接続された吸着コイル用トランジスタ、
２７は消磁コイル２４に直列接続された消磁コイル用ト
ランジスタ、２８は制御回路部である。

【０００７】次に動作について説明する。スイッチ２１
をオンすると、吸着コイル用トランジスタ２６がオン
し、吸着コイル２３に励磁電流ｉ１が流れ、吸着コイル
２３の電磁石はワークを吸着する。このとき、消磁コイ
ル２４に励磁電流ｉ２は流れない。その後、電磁石から
ワークを離脱させたいときは、スイッチ２１をオフし、
吸着コイル用トランジスタ２６をオフさせ、吸着コイル
２３に流れる励磁電流ｉ１を徐々に減少させ零にする。
このとき、制御回路部２８の作用により消磁コイル用ト
ランジスタ２７がオンして、消磁コイル２４に励磁電流
ｉ２を流す。

【０００８】このように、図８に示された従来の技術で
は、磁気吸引力を発生するための吸着コイル２３の他に
消磁コイル２４を設けており、消磁コイル２４を励磁す
ることにより吸着コイル２３の残留磁気を打ち消して応
答性能を高めている。図８ではインバータブリッジ回路
を用いずに１つの電磁石を２つのパワートランジスタに
よって駆動するため、図７に示された従来の技術よりも
さらに低価格化と小型化が図れる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】従来の電磁石駆動装置
は以上のように構成されているので、図７に示された従
来の技術では、インバータブリッジ回路の採用が電磁石
駆動装置の低価格化を妨げ、また、部品点数が多くなる
ので電磁石駆動装置の大型化や信頼性が低下してしまう
課題があった。また、図８に示された従来の技術では、
消磁コイル２４を設けなくてはならず、電磁石自体が大
型かつ複雑となるなどの課題があった。

【００１０】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、簡単な構成で応答性の高い電磁石
駆動装置を得ることを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明に係る電磁石駆
動装置は、安定化補償手段による力指令値に応じた第1
の電流指令値に変換し、その第1の電流指令値に第１の
電流検出手段による検出値および第２の駆動手段による
第２の誤差値を減算した第１の誤差値に応じて第１の電
磁石に電源供給する第１の駆動手段と、安定化補償手段
による力指令値に応じた第２の電流指令値に変換し、そ
の第２の電流指令値に第２の電流検出手段による検出値
および第１の駆動手段による第１の誤差値を減算した第
２の誤差値に応じて第２の電磁石に電源供給する第２の
駆動手段とを備えたものである。

【００１２】この発明に係る電磁石駆動装置は、安定化
補償手段による力指令値に応じた第1の磁束指令値に変
換し、その第1の磁束指令値に第１の磁束検出手段によ
る検出値および第２の駆動手段による第２の誤差値を減
算した第１の誤差値に応じて第１の電磁石に電源供給す
る第１の駆動手段と、安定化補償手段による力指令値に
応じた第２の磁束指令値に変換し、その第２の磁束指令
値に第２の磁束検出手段による検出値および第１の駆動
手段による第１の誤差値を減算した第２の誤差値に応じ
て第２の電磁石に電源供給する第２の駆動手段とを備え
たものである。

【００１３】この発明に係る電磁石駆動装置は、安定化
補償手段による力指令値に応じた第1の電流指令値に変
換し、その第1の電流指令値にバイアス電流指令を加算
し、第１の電流検出手段による検出値および第２の駆動
手段による第２の誤差値を減算した第１の誤差値に応じ
て第１の電磁石に電源供給する第１の駆動手段と、安定
化補償手段による力指令値に応じた第２の電流指令値に
変換し、その第２の電流指令値にバイアス電流指令、第
２の電流検出手段による検出値および第１の駆動手段に
よる第１の誤差値を減算した第２の誤差値に応じて第２
の電磁石に電源供給する第２の駆動手段とを備えたもの
である。

【００１４】この発明に係る電磁石駆動装置は、安定化
補償手段による力指令値に応じた第1の磁束指令値に変
換し、その第1の磁束指令値にバイアス磁束指令を加算
し、第１の磁束検出手段による検出値および第２の駆動
手段による第２の誤差値を減算した第１の誤差値に応じ
て第１の電磁石に電源供給する第１の駆動手段と、安定
化補償手段による力指令値に応じた第２の磁束指令値に
変換し、その第２の磁束指令値にバイアス磁束指令、第
２の磁束検出手段による検出値および第１の駆動手段に
よる第１の誤差値を減算した第２の誤差値に応じて第２
の電磁石に電源供給する第２の駆動手段とを備えたもの
である。

【００１５】この発明に係る電磁石駆動装置は、安定化
補償手段による力指令値に応じた第1の電流指令値に変
換し、その第1の電流指令値に第１の電流検出手段によ
る検出値および第２の駆動手段による第２の誤差値を減
算した第１の誤差値を開平し、位置検出手段による検出
値を乗算した値に応じて第１の電磁石に電源供給する第
１の駆動手段と、安定化補償手段による力指令値に応じ
た第２の電流指令値に変換し、その第２の電流指令値に
第２の電流検出手段による検出値および第１の駆動手段
による第１の誤差値を減算した第２の誤差値を開平し、
位置検出手段による検出値を乗算した値に応じて第２の
電磁石に電源供給する第２の駆動手段とを備えたもので
ある。

【００１６】この発明に係る電磁石駆動装置は、安定化
補償手段による力指令値に応じた第1の磁束指令値に変
換し、その第1の磁束指令値に第１の磁束検出手段によ
る検出値および第２の駆動手段による第２の誤差値を減
算した第１の誤差値を開平し、位置検出手段による検出
値を乗算した値に応じて第１の電磁石に電源供給する第
１の駆動手段と、安定化補償手段による力指令値に応じ
た第２の磁束指令値に変換し、その第２の磁束指令値に
第２の磁束検出手段による検出値および第１の駆動手段
による第１の誤差値を減算した第２の誤差値を開平し、
位置検出手段による検出値を乗算した値に応じて第２の
電磁石に電源供給する第２の駆動手段とを備えたもので
ある。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
説明する。 実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１による電
磁石駆動装置を示す構成図であり、図において、３１は
磁性体部分を有する可動物体であり、この可動物体３１
は中心位置３２を中心に左右に位置決め制御されるもの
である。３２ａ，３２ｂは可動物体３１を両側から挟み
込むように対向して設けられた電磁石（第１、第２の電
磁石）、３３ａ，３３ｂは電磁石３２ａ，３２ｂにそれ
ぞれ巻かれたコイルである。３４ａ，３４ｂはうず電流
センサなどによって構成され、可動物体３１とのギャッ
プを検出するギャップセンサ、３５はギャップセンサ３
４ａ，３４ｂによる検出値に応じて可動物体３１の位置
を演算する位置検出器であり、ギャップセンサ３４ａ，
３４ｂおよび位置検出器３５により位置検出手段を構成
する。３８は位置指令値３６と位置検出器３５による検
出値３７との偏差に応じた力指令値３９を生成する安定
化補償回路、４０は安定化補償回路３８による力指令値
３９に応じて電磁石３２ａ，３２ｂにそれぞれ電源供給
する電流駆動回路である。６１ａ，６１ｂはコイル３３
ａ，３３ｂにそれぞれ供給されるコイル電流、６２ａ，
６２ｂは電磁石３２ａ，３２ｂによって可動物体３１に
それぞれ働く磁気吸引力である。

【００１８】図２はこの発明の実施の形態１による電磁
石駆動装置を示す制御ブロック図であり、図において、
図１と同一符号は同一構成を示す。４１は位置指令値３
６から位置検出器３５による検出値３７を減算する減算
器、また、安定化補償回路３８は比例演算器（Ｐ）、積
分演算器（Ｉ）、微分演算器（Ｄ）およびゲイン調整器
からなり、減算器４１の出力に対してＰＩＤ補償を行っ
て力指令値３９を生成するものであり、減算器４１と安
定化補償回路３８とにより安定化補償手段を構成する。
また、電流駆動回路４０において、４２ａは安定化補償
回路３８によって生成された力指令値３９が正の場合に
その力指令値３９に応じた電流指令値（第1の電流指令
値）４３ａを出力する入力制限回路、４２ｂは安定化補
償回路３８によって生成された力指令値３９が負の場合
に符号を反転した力指令値３９に応じた電流指令値（第
２の電流指令値）４３ｂを出力する入力制限回路であ
る。４４ａはコイル３３ａに供給されるコイル電流６１
ａを検出する電流検出器（第１の電流検出手段）、４４
ｂはコイル３３ｂに供給されるコイル電流６１ｂを検出
する電流検出器（第２の電流検出手段）である。４５ａ
は入力制限回路４２ａから出力された電流指令値４３ａ
から電流検出器４４ａによって検出された検出値４６ａ
を減算すると共に、後述するｂ系統の減算器４５ｂから
出力され低周波通過ろ波器４８ｂを通過した誤差値（第
２の誤差値）４７ｂを減算して誤差値（第１の誤差値）
４７ａを出力する減算器、４５ｂは入力制限回路４２ｂ
から出力された電流指令値４３ｂから電流検出器４４ｂ
によって検出された検出値４６ｂを減算すると共に、ａ
系統の減算器４５ａから出力され低周波通過ろ波器４８
ａを通過した誤差値４７ａを減算して誤差値４７ｂを出
力する減算器である。４９ａは誤差値４７ａに応じてＰ
Ｉ補償するＰＩ補償器、４９ｂは誤差値４７ｂに応じて
ＰＩ補償するＰＩ補償器、５０は電源、５１は三角波発
振器、５２ａは１つのパワートランジスタと、コイル３
３ａに逆方向に並列接続されたダイオードからなり、Ｐ
Ｉ補償器４９ａから出力された値を三角波発振器５１か
ら発振された三角波によって変調して、その変調された
パルス幅に応じてパワートランジスタをオンオフし、電
源５０による供給を制御するパルス幅変調回路（ＰＷ
Ｍ）、５２ｂは同じく１つのパワートランジスタと、コ
イル３３ｂに逆方向に並列接続されたダイオードからな
り、ＰＩ補償器４９ｂから出力された値を三角波発振器
５１から発振された三角波によって変調して、その変調
されたパルス幅に応じてパワートランジスタをオンオフ
し、電源５０による供給を制御するパルス幅変調回路
（ＰＷＭ）である。５３ａはコイル３３ａの電圧入力に
対する電流出力の伝達関数、５３ｂはコイル３３ｂの電
圧入力に対する電流出力の伝達関数、５４は電磁石３２
ａ，３２ｂによって可動物体３１にそれぞれ働く磁気吸
引力６２ａ，６２ｂの減算点、５５は可動物体３１に働
く外力５６に対する可動物体３１の変位の伝達関数であ
る。なお、入力制限回路４２ａ、減算器４５ａ、低周波
通過ろ波器４８ａ、ＰＩ補償器４９ａ、電源５０、三角
波発振器５１、およびパルス幅変調回路５２ａにより第
１の駆動手段を構成し、入力制限回路４２ｂ、減算器４
５ｂ、低周波通過ろ波器４８ｂ、ＰＩ補償器４９ｂ、電
源５０、三角波発振器５１、およびパルス幅変調回路５
２ｂにより第２の駆動手段を構成する。

【００１９】次に動作について説明する。 図１におい
て、磁性体部分を有する可動物体３１を左右から挟みこ
むように電磁石３２ａ，３２ｂおよびギャップセンサ３
４ａ，３４ｂが設けられている。ギャップセンサ３４
ａ，３４ｂは、可動物体３１とのギャップを検出し、位
置検出器３５は、それら検出されたギャップに応じて可
動物体３１の位置を演算する。位置検出器３５による検
出値３７と位置指令値３６との比較の後、安定化補償回
路３８は、力指令値３９を演算し、電流駆動回路４０
は、力指令値３９に応じて電磁石３２ａ，３２ｂのコイ
ル３３ａ，３３ｂにコイル電流６１ａ，６１ｂを供給す
る。その結果、磁性体部分を有する可動物体３１には、
電磁石３２ａ，３２ｂの方向に磁気吸引力６２ａ，６２
ｂが発生する。

【００２０】図２は図１を制御ブロック図で書き直した
ものであり、図において、位置検出器３５は、ギャップ
センサ３４ａ，３４ｂから検出されたギャップの差から
可動物体３１の位置を演算するものであり、これによっ
て温度変化や電源ノイズなどの環境変化があっても、セ
ンサのノイズを低減して良質な検出値３７を得ることが
できる。したがって、検出値３７に精度が要求されない
場合は、ギャップセンサを一台にしてもよい。減算器４
１は、外部から入力される位置指令値３６から位置検出
器３５による検出値３７を減算し、安定化補償回路３８
は、減算器４１の出力に対してＰＩＤ補償を行って力指
令値３９を生成する。電流駆動回路４０において、入力
制限回路４２ａは、安定化補償回路３８によって生成さ
れた力指令値３９が正の場合にその力指令値３９に応じ
た電流指令値４３ａを出力し、入力制限回路４２ｂは、
力指令値３９が負の場合に符号を反転した力指令値３９
に応じた電流指令値４３ｂを出力する。減算器４５ａ
は、入力制限回路４２ａから出力された電流指令値４３
ａから電流検出器４４ａによって検出された検出値４６
ａを減算すると共に、ｂ系統の減算器４５ｂから出力さ
れ低周波通過ろ波器４８ｂを通過した誤差値４７ｂを減
算して誤差値４７ａを出力する。同様に、減算器４５ｂ
は、入力制限回路４２ｂから出力された電流指令値４３
ｂから電流検出器４４ｂによって検出された検出値４６
ｂを減算すると共に、ａ系統の減算器４５ａから出力さ
れ低周波通過ろ波器４８ａを通過した誤差値４７ａを減
算して誤差値４７ｂを出力する。ＰＩ補償器４９ａは、
誤差値４７ａに応じてＰＩ補償し、ＰＩ補償器４９ｂ
は、誤差値４７ｂに応じてＰＩ補償する。パルス幅変調
回路５２ａは、ＰＩ補償器４９ａから出力された値を三
角波発振器５１から発振された三角波によって変調し
て、その変調されたパルス幅に応じてパワートランジス
タをオンオフし、電源５０による供給を制御する。その
結果、パワートランジスタが出力した電源電圧は、コイ
ル３３ａの入出力特性を示す伝達関数５３ａでコイル電
流６１ａに変換され、電磁石３２ａに所定の磁気吸引力
６２ａが発生する。この磁気吸引力６２ａは、コイル電
流６１ａの二乗に比例し、電磁石３２ａのギャップの二
乗に反比例する。電磁石３２ａのギャップは、磁性体部
分を有する可動物体３１の位置から一意に決まる変数で
あるので、図２では電磁石３２ａのブロックに位置を入
力として付加している。なお、コイル電流６１ａは、電
流検出器４４ａによって検出され、検出値４６ａとして
フィードバックされる。パルス幅変調回路５２ｂの方も
同様であり、ＰＩ補償器４９ｂから出力された値を三角
波発振器５１から発振された三角波によって変調して、
その変調されたパルス幅に応じてパワートランジスタを
オンオフし、電源５０による供給を制御する。その結
果、パワートランジスタが出力した電源電圧は、コイル
３３ｂの入出力特性を示す伝達関数５３ｂでコイル電流
６１ｂに変換され、電磁石３２ｂに所定の磁気吸引力６
２ｂが発生する。なお、コイル電流６１ｂは、電流検出
器４４ｂによって検出され、検出値４６ｂとしてフィー
ドバックされる。

【００２１】この実施の形態１の特徴は、ａ系統の誤差
値４７ａの導出において、ｂ系統の低周波通過ろ波器４
８ｂを経た誤差値４７ｂを電流指令値４３ａの補正値と
して用い、ｂ系統の誤差値４７ｂの導出において、ａ系
統の低周波通過ろ波器４８ａを経た誤差値４７ａを電流
指令値４３ｂの補正値として用いている点にある。低周
波通過ろ波器４８ａ，４８ｂは、電流制御を安定化する
ために用いており、そのカットオフ周波数は、パルス幅
変調回路５２ａ，５２ｂのＰＷＭ変調周波数よりも十分
低く、かつ、目標とする電流制御の帯域よりも十分高く
する。このように構成することで、例えば電磁石３２ａ
の磁気吸引力６２ａを瞬間的に零にするときは、電磁石
３２ｂに、本来力指令値３９で要求されるコイル電流６
１ｂと、そのときのコイル電流６１ａとの和の電流がコ
イル電流６１ｂとして流れる。そしてコイル電流６１ａ
が一定の時定数で減少していくと共に、コイル電流６１
ｂも自動的に補正されて等価的に電磁石３２ａの磁気吸
引力６２ａが相殺される。同様に、電磁石３２ｂの不要
な残留磁気吸引力は電磁石３２ａによって相殺される。

【００２２】以上のように、この実施の形態１によれ
ば、ａ系統の誤差値４７ａの導出において、ｂ系統の低
周波通過ろ波器４８ｂを経た誤差値４７ｂを電流指令値
４３ａの補正値として用い、ｂ系統の誤差値４７ｂの導
出において、ａ系統の低周波通過ろ波器４８ａを経た誤
差値４７ａを電流指令値４３ｂの補正値として用いてい
るので、電磁石３２ａの磁気吸引力６２ａまたは電磁石
３２ｂの磁気吸引力６２ｂを瞬間的に零にすることがで
き、応答性の高い電磁石駆動装置を得ることができる。
また、パルス幅変調回路５２ａ，５２ｂは、１つのパワ
ートランジスタと、そのパワートランジスタと対応する
コイルに逆方向に並列接続されたダイオードからなるも
ので十分に電磁石駆動装置としての応答性を高くするこ
とができるので、従来の技術のようにインバータブリッ
ジ回路を用いたり、消磁コイルを用いたりする必要がな
く、構成が簡単な電磁石駆動装置を得ることができる。
さらに、カットオフ周波数がパルス幅変調回路５２ａ，
５２ｂのＰＷＭ変調周波数よりも十分低く、かつ、目標
とする電流制御の帯域よりも十分高い低周波通過ろ波器
４８ａ，４８ｂを設けたので、電流制御を安定化するこ
とができる。さらに、位置検出器３５は、２つのギャッ
プセンサ３４ａ，３４ｂから検出されたギャップの差か
ら可動物体３１の位置を演算するので、温度変化や電源
ノイズなどの環境変化があっても、センサのノイズを低
減して良質な検出値３７を得ることができる。

【００２３】実施の形態２．図３はこの発明の実施の形
態２による電磁石駆動装置を示す構成図であり、図にお
いて、７１ａ，７１ｂはホール素子などによって構成さ
れ、電磁石３２ａ，３２ｂの鉄心のそれぞれの端部に設
けられ、電磁石３２ａ，３２ｂから発生される磁束をそ
れぞれ検出する磁束検出器（第１、第２の磁束検出手
段）、７２ａ，７２ｂはそれら磁束検出器７１ａ，７１
ｂによって検出された磁束の検出値である。その他の構
成は図１と同一であるので同一符号を付して重複する説
明を省略する。

【００２４】図４はこの発明の実施の形態２による電磁
石駆動装置を示す制御ブロック図であり、図において、
図３と同一符号は同一構成を示す。７４ａはコイル３３
ａの電流入力に対する磁束出力の伝達関数、７４ｂはコ
イル３３ｂの電流入力に対する磁束出力の伝達関数、７
５ａはコイル３３ａの磁束入力に対する可動物体３１に
働く磁気吸引力６２ａの伝達関数、７５ｂはコイル３３
ｂの磁束入力に対する可動物体３１に働く磁気吸引力６
２ｂの伝達関数である。７３ａ，７３ｂは電磁石３２
ａ，３２ｂからそれぞれ発生される磁束である。また、
７６ａは安定化補償回路３８によって生成された力指令
値３９が正の場合にその力指令値３９に応じた磁束指令
値（第1の磁束指令値）７７ａを出力する入力制限回
路、７６ｂは安定化補償回路３８によって生成された力
指令値３９が負の場合に符号を反転した力指令値３９に
応じた磁束指令値（第２の磁束指令値）７７ｂを出力す
る入力制限回路である。その他の構成は図２と同一であ
るので同一符号を付して重複する説明を省略する。

【００２５】次に動作について説明する。図３は図１に
示した電磁石駆動装置において、電磁石３２ａ，３２ｂ
の電流制御を磁束制御に置き換えたものである。図４は
図３を制御ブロック図で詳細に示したものであり、磁性
体部分を有する可動物体３１の位置は、先の実施の形態
１と同様に位置検出器３５により検出され、位置指令値
３６との比較の後に安定化補償回路３８に取り込まれ
る。安定化補償回路３８は、力指令値３９を出力して電
流駆動回路４０に送り込む。電流駆動回路４０におい
て、入力制限回路７６ａは、安定化補償回路３８によっ
て生成された力指令値３９が正の場合にその力指令値３
９に応じた磁束指令値７７ａを出力し、入力制限回路７
６ｂは、力指令値３９が負の場合に符号を反転した力指
令値３９に応じた磁束指令値７７ｂを出力する。電流駆
動回路４０の中のその他の動作は先の実施の形態１と全
く同じである。電流駆動回路４０のパワートランジスタ
が出力した電源電圧は、コイル３３ａ，３３ｂの入出力
特性を示す伝達関数５３ａ，５３ｂでコイル電流６１
ａ，６１ｂに変換され、コイル電流６１ａ，６１ｂはコ
イル３３ａ，３３ｂの磁気特性を示す伝達関数７４ａ，
７４ｂにより磁束７３ａ，７３ｂに変換される。コイル
３３ａ，３３ｂの磁気特性を示す伝達関数７４ａ，７４
ｂは、電磁石３２ａ，３２ｂの起磁力（＝コイル巻数×
コイル電流）を磁気抵抗（ほぼギャップに比例し、磁路
断面積に反比例する）で割ったものである。電磁石３２
ａ，３２ｂは磁束７３ａ，７３ｂの二乗に比例する磁気
吸引力６２ａ，６２ｂを発生する。磁束７３ａ，７３ｂ
は磁束検出器７１ａ，７１ｂで検出され、磁束の検出値
７２ａ，７２ｂに変換されて電流駆動回路４０にフィー
ドバックされる。

【００２６】この実施の形態２の特徴は、電流駆動回路
４０に磁束の検出値７２ａ，７２ｂをフィードバックし
ている点である。先の実施の形態１では、コイル電流６
１ａ，６１ｂの電流の検出値４６ａ，４６ｂをフィード
バックしているため、電磁石３２ａ，３２ｂの磁気吸引
力６２ａ，６２ｂのギャップ長による変動検出をするこ
とができず、制御特性が悪化するが、この実施の形態２
では、フィードバックされるのは磁束７３ａ，７３ｂで
あり，磁束の検出値７２ａ，７２ｂにはギャップによる
磁束７３ａ，７３ｂの変化が含まれているため、ギャッ
プ長の変動による制御特性の劣化をフィードバック制御
によって抑えこむことにより、先の実施の形態１に比較
して制御性能の向上が可能となる。

【００２７】以上のように、この実施の形態２によれ
ば、電流駆動回路４０に磁束の検出値７２ａ，７２ｂを
フィードバックするので、磁束の検出値７２ａ，７２ｂ
にはギャップ長による磁束７３ａ，７３ｂの変化が含ま
れているため、ギャップ長の変動による制御特性の劣化
をフィードバック制御によって抑えこむことにより、制
御性能の向上が可能となる。

【００２８】実施の形態３．図５はこの発明の実施の形
態３による電磁石駆動装置を示す制御ブロック図であ
り、図において、８１ａは安定化補償回路３８による力
指令値３９にバイアス電流指令値８２ａを加算する加算
器（第１の駆動手段）、８１ｂは安定化補償回路３８に
よる力指令値３９にバイアス電流指令値８２ｂを減算す
る減算器（第２の駆動手段）である。その他の構成は図
２と同一であるので同一符号を付して重複する説明を省
略する。

【００２９】次に動作について説明する。図５は実施の
形態１における入力制限回路４２ａ，４２ｂの入力を、
力指令値３９とバイアス電流指令値８２ａ，８２ｂの和
および差としたときの電磁石駆動装置の制御ブロック図
であり、バイアス電流指令値８２ａ，８２ｂを流すこと
で、電磁石３２ａ，３２ｂには定常的に同じ大きさで逆
向きの磁気吸引力６２ａ，６２ｂが発生する。一般に電
磁石の発生する吸引力はコイル電流の二乗に比例し、ギ
ャップの二乗に反比例する。したがって、コイル電流が
零の近傍では吸引力の電流に関する微係数が零となり、
制御の安定性が損なわれやすい。そこで、バイアス電流
指令値８２ａ，８２ｂを流すことにより、力指令値３９
の絶対値がバイアス電流指令値８２ａ，８２ｂよりも小
さいときは、電磁石３２ａ，３２ｂの磁気吸引力６２
ａ，６２ｂの和、すなわち、可動物体３１に働く外力５
６は電流に関して完全に線形になる。したがって、バイ
アス電流指令値８２ａ，８２ｂによって制御の安定性が
改善される。電流駆動回路４０以外の部分の構成および
動作は実施の形態１と同じである。なお、この実施の形
態３においては、電磁石３２ａ，３２ｂの磁気吸引力６
２ａ，６２ｂを制御するために、電流駆動回路４０にコ
イル電流６１ａ，６１ｂの電流の検出値４６ａ，４６ｂ
をフィードバックしたが、実施の形態２に示したよう
に、電流駆動回路４０に磁束の検出値７２ａ，７２ｂを
フィードバックしてもよい。

【００３０】以上のように、この実施の形態３によれ
ば、力指令値３９にバイアス電流指令値８２ａを加算し
て入力制限回路４２ａに供給すると共に、力指令値３９
にバイアス電流指令値８２ｂを減算して入力制限回路４
２ｂに供給したので、力指令値３９の絶対値がバイアス
電流指令値８２ａ，８２ｂよりも小さいときは、電磁石
３２ａ，３２ｂの磁気吸引力６２ａ，６２ｂによって可
動物体３１に働く外力５６は電流に関して完全に線形に
なり、制御の安定性が改善される。

【００３１】実施の形態４．図６はこの発明の実施の形
態４による電磁石駆動装置を示す制御ブロック図であ
り、図において、位置検出器３５は、位置の検出値３７
を出力すると共に、可動物体３１と各電磁石３２ａ，３
２ｂとのギャップ９２ａ，９２ｂを出力するものであ
る。また、９１ａはＰＩ補償器４９ａから出力された値
を開平すると共に、その開平された値に位置検出器３５
から出力された可動物体３１と電磁石３２ａとのギャッ
プ９２ａを乗算する演算器（第１の駆動手段）、９１ｂ
はＰＩ補償器４９ｂから出力された値を開平すると共
に、その開平された値に位置検出器３５から出力された
可動物体３１と電磁石３２ｂとのギャップ９２ｂを乗算
する演算器（第２の駆動手段）である。その他の構成は
図２と同一であるので同一符号を付して重複する説明を
省略する。

【００３２】次に動作について説明する。図６は実施の
形態１における電流駆動回路４０に線形化補償器として
演算器９１ａ，９１ｂを設けたときの制御ブロック図で
あり、先の実施の形態３ではバイアス電流指令値８２
ａ，８２ｂを設けることにより線形化を行ったが、線形
化の前提としてバイアス電流指令値８２ａ，８２ｂが力
指令値３９よりも十分大きくなければならず、定常的に
流れるバイアス電流指令値８２ａ，８２ｂによる消費電
力も増大する。この実施の形態４では、バイアス電流指
令値８２ａ，８２ｂを使わずに線形化を行うために、Ｐ
Ｉ補償器４９ａ，４９ｂから出力された値をそれぞれ開
平すると共に、その開平された値に位置検出器３５から
出力された可動物体３１と電磁石３２ａとのギャップ９
２ａ、可動物体３１と電磁石３２ｂとのギャップ９２ｂ
をそれぞれ乗算し、それぞれの結果をパルス幅変調回路
５２ａ，５２ｂに出力する。一般に電磁石の吸引力は電
流の二乗に比例しギャップ長の二乗に反比例するので、
平方根とギャップの乗算との演算によってＰＩ補償器４
９ａ，４９ｂの出力と電磁石３２ａ，３２ｂが発生する
磁気吸引力６２ａ，６２ｂは完全に線形化される。した
がって、磁性体部分を有する可動物体３１が二つの電磁
石３２ａ，３２ｂの間のどこに位置していても、常に磁
気吸引力６２ａ，６２ｂの利得が不変となり、制御の安
定性が大幅に向上する。さらにバイアス電流指令値８２
ａ，８２ｂが要らないので消費電力も必要最小限に抑え
られる。なお、この実施の形態４においては、電磁石３
２ａ，３２ｂの磁気吸引力６２ａ，６２ｂを制御するた
めに、電流駆動回路４０にコイル電流６１ａ，６１ｂの
電流の検出値４６ａ，４６ｂをフィードバックしたが、
実施の形態２に示したように、電流駆動回路４０に磁束
の検出値７２ａ，７２ｂをフィードバックしてもよい。
また、位置検出器３５の出力にドリフトが発生しても線
形性を劣化させないために、先の実施の形態３のように
バイアス電流指令値８２ａ，８２ｂを力指令値３９に加
えてもよい。

【００３３】以上のように、この実施の形態４によれ
ば、ＰＩ補償器４９ａ，４９ｂから出力された値をそれ
ぞれ開平すると共に、その開平された値に位置検出器３
５から出力された可動物体３１と電磁石３２ａとのギャ
ップ９２ａ、可動物体３１と電磁石３２ｂとのギャップ
９２ｂをそれぞれ乗算し、それぞれの結果をパルス幅変
調回路５２ａ，５２ｂに出力するようにしたので、ＰＩ
補償器４９ａ，４９ｂの出力と電磁石３２ａ，３２ｂが
発生する磁気吸引力６２ａ，６２ｂは完全に線形化さ
れ、可動物体３１が二つの電磁石３２ａ，３２ｂの間の
どこに位置していても、常に磁気吸引力６２ａ，６２ｂ
の利得が不変となり、制御の安定性が大幅に向上する。
さらにバイアス電流指令値８２ａ，８２ｂが要らないの
で消費電力も必要最小限に抑えられる。

【００３４】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、安定
化補償手段による力指令値に応じた第１の電流指令値に
変換し、その第１の電流指令値に第１の電流検出手段に
よる検出値および第２の駆動手段による第２の誤差値を
減算した第１の誤差値に応じて第１の電磁石に電源供給
する第１の駆動手段と、安定化補償手段による力指令値
に応じた第２の電流指令値に変換し、その第２の電流指
令値に第２の電流検出手段による検出値および第１の駆
動手段による第１の誤差値を減算した第２の誤差値に応
じて第２の電磁石に電源供給する第２の駆動手段とを備
えるように構成したので、一方の電磁石をオフとしたと
きに流れつづけようとするコイル電流が他方の電磁石の
磁気吸引力を増やすように働き、オフとなった電磁石が
発生する不必要な磁気吸引力が打ち消され、電磁石の磁
気吸引力を瞬間的に零にすることができ、応答性の高い
電磁石駆動装置を得ることができる。また、第１および
第２の駆動手段の構成は、１つのパワートランジスタ
と、そのパワートランジスタに逆方向に並列接続された
ダイオードからなるもので十分に電磁石駆動装置として
の応答性を高くすることができるので、従来の技術のよ
うにインバータブリッジ回路を用いたり、消磁コイルを
用いたりする必要がなく、構成が簡単な電磁石駆動装置
を得ることができる効果がある。

【００３５】この発明によれば、安定化補償手段による
力指令値に応じた第１の磁束指令値に変換し、その第１
の磁束指令値に第１の磁束検出手段による検出値および
第２の駆動手段による第２の誤差値を減算した第１の誤
差値に応じて第１の電磁石に電源供給する第１の駆動手
段と、安定化補償手段による力指令値に応じた第２の磁
束指令値に変換し、その第２の磁束指令値に第２の磁束
検出手段による検出値および第１の駆動手段による第１
の誤差値を減算した第２の誤差値に応じて第２の電磁石
に電源供給する第２の駆動手段とを備えるように構成し
たので、磁束の検出値をフィードバックすることによっ
て、磁束の検出値にはギャップ長による磁束の変化が含
まれているため、ギャップ長の変動による制御特性の劣
化をフィードバック制御によって抑えこむことにより、
制御性能を向上させることができる効果がある。

【００３６】この発明によれば、安定化補償手段による
力指令値に応じた第１の電流指令値に変換し、その第１
の電流指令値にバイアス電流指令値を加算し、第１の電
流検出手段による検出値および第２の駆動手段による第
２の誤差値を減算した第１の誤差値に応じて第１の電磁
石に電源供給する第１の駆動手段と、安定化補償手段に
よる力指令値に応じた第２の電流指令値に変換し、その
第２の電流指令値にバイアス電流指令値、第２の電流検
出手段による検出値および第１の駆動手段による第１の
誤差値を減算した第２の誤差値に応じて第２の電磁石に
電源供給する第２の駆動手段とを備えるように構成した
ので、力指令値の絶対値がバイアス電流指令値よりも小
さいときは、第１および第２の電磁石の磁気吸引力によ
って可動物体に働く外力は電流に関して完全に線形にな
り、制御の安定性が改善される効果がある。

【００３７】この発明によれば、安定化補償手段による
力指令値に応じた第１の磁束指令値に変換し、その第１
の磁束指令値にバイアス磁束指令値を加算し、第１の磁
束検出手段による検出値および第２の駆動手段による第
２の誤差値を減算した第１の誤差値に応じて第１の電磁
石に電源供給する第１の駆動手段と、安定化補償手段に
よる力指令値に応じた第２の磁束指令値に変換し、その
第２の磁束指令値にバイアス磁束指令値、第２の磁束検
出手段による検出値および第１の駆動手段による第１の
誤差値を減算した第２の誤差値に応じて第２の電磁石に
電源供給する第２の駆動手段とを備えるように構成した
ので、力指令値の絶対値がバイアス電流指令値よりも小
さいときは、第１および第２の電磁石の磁気吸引力によ
って可動物体に働く外力は電流に関して完全に線形にな
り、制御の安定性が改善される効果がある。

【００３８】この発明によれば、安定化補償手段による
力指令値に応じた第１の電流指令値に変換し、その第１
の電流指令値に第１の電流検出手段による検出値および
第２の駆動手段による第２の誤差値を減算した第１の誤
差値を開平し、位置検出手段による検出値を乗算した値
に応じて第１の電磁石に電源供給する第１の駆動手段
と、安定化補償手段による力指令値に応じた第２の電流
指令値に変換し、その第２の電流指令値に第２の電流検
出手段による検出値および第１の駆動手段による第１の
誤差値を減算した第２の誤差値を開平し、位置検出手段
による検出値を乗算した値に応じて第２の電磁石に電源
供給する第２の駆動手段とを備えるように構成したの
で、第１の誤差値と第１の電磁石が発生する磁気吸引
力、および第２の誤差値と第２の電磁石が発生する磁気
吸引力は完全に線形化され、可動物体が第１および第２
の電磁石の間のどこに位置していても、常に磁気吸引力
の利得が不変となり、制御の安定性が大幅に向上する。
さらにバイアス電流指令値が要らないので消費電力も必
要最小限に抑えられる効果がある。

【００３９】この発明によれば、安定化補償手段による
力指令値に応じた第１の磁束指令値に変換し、その第１
の磁束指令値に第１の磁束検出手段による検出値および
第２の駆動手段による第２の誤差値を減算した第１の誤
差値を開平し、位置検出手段による検出値を乗算した値
に応じて第１の電磁石に電源供給する第１の駆動手段
と、安定化補償手段による力指令値に応じた第２の磁束
指令値に変換し、その第２の磁束指令値に第２の磁束検
出手段による検出値および第１の駆動手段による第１の
誤差値を減算した第２の誤差値を開平し、位置検出手段
による検出値を乗算した値に応じて第２の電磁石に電源
供給する第２の駆動手段とを備えるように構成したの
で、第１の誤差値と第１の電磁石が発生する磁気吸引
力、および第２の誤差値と第２の電磁石が発生する磁気
吸引力は完全に線形化され、可動物体が第１および第２
の電磁石の間のどこに位置していても、常に磁気吸引力
の利得が不変となり、制御の安定性が大幅に向上する。
さらにバイアス電流指令値が要らないので消費電力も必
要最小限に抑えられる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１による電磁石駆動装
置を示す構成図である。

【図２】 この発明の実施の形態１による電磁石駆動装
置を示す制御ブロック図である。

【図３】 この発明の実施の形態２による電磁石駆動装
置を示す構成図である。

【図４】 この発明の実施の形態２による電磁石駆動装
置を示す制御ブロック図である。

【図５】 この発明の実施の形態３による電磁石駆動装
置を示す制御ブロック図である。

【図６】 この発明の実施の形態４による電磁石駆動装
置を示す制御ブロック図である。

【図７】 従来の電磁石駆動装置を示す構成図である。

【図８】 従来の電磁石駆動装置を示す構成図である。

【符号の説明】

３１ 可動物体、３２ａ，３２ｂ 電磁石（第１、第２
の電磁石）、３３ａ，３３ｂ コイル、３４ａ，３４ｂ
ギャップセンサ（位置検出手段）、３５ 位置検出器
（位置検出手段）、３６ 位置指令値、３７，４６ａ，
４６ｂ，７２ａ，７２ｂ 検出値、３８ 安定化補償回
路（安定化補償手段）、３９ 力指令値、４０ 電流駆
動回路、４１ 減算器（安定化補償手段）、４２ａ，４
２ｂ，７６ａ，７６ｂ 入力制限回路（第1、第２の駆
動手段）、４３ａ，４３ｂ 電流指令値（第1、第2の電
流指令値）、４４ａ，４４ｂ 電流検出器（第1、第２
の電流検出手段）、４５ａ，４５ｂ 減算器（第1、第
２の駆動手段）、４７ａ，４７ｂ 誤差値（第1、第２
の誤差値）、４８ａ，４８ｂ 低周波通過ろ波器（第
1、第２の駆動手段）、４９ａ，４９ｂ ＰＩ補償器
（第1、第２の駆動手段）、５０ 電源（第１、第２の
駆動手段）、５１ 三角波発振器（第１、第２の駆動手
段）、５２ａ，５２ｂ パルス幅変調回路（第1、第２
の駆動手段）、 ５３ａ，５３ｂ，５５，７４ａ，７４
ｂ，７５ａ，７５ｂ 伝達関数、５４ 減算点、６１
ａ，６１ｂ コイル電流、６２ａ，６２ｂ 磁気吸引
力、７１ａ，７１ｂ 磁束検出器（第1、第２の磁束検
出手段）、７３ａ，７３ｂ 磁束、７７ａ，７７ｂ 磁
束指令値（第1、第2の磁束指令値）、８１ａ 加算器
（第１の駆動手段）、８１ｂ 減算器（第２の駆動手
段）、８２ａ，８２ｂ バイアス電流指令値、９１ａ，
９１ｂ 演算器（第1、第２の駆動手段）、９２ａ，９
２ｂ ギャップ。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 位置決め制御される磁性体部分を有する
   可動物体と、上記可動物体を両側から挟み込むように対
   向して設けられた第１および第２の電磁石と、上記可動
   物体の位置を検出する位置検出手段と、位置指令値と上
   記位置検出手段による検出値との偏差に応じた力指令値
   を生成する安定化補償手段と、上記第１および第２の電
   磁石にそれぞれ電源供給する第１および第２の駆動手段
   と、上記第１および第２の駆動手段から上記第１および
   第２の電磁石に供給される電流をそれぞれ検出する第１
   および第２の電流検出手段とを備え、上記第１の駆動手
   段は、上記安定化補償手段による力指令値に応じた第1
   の電流指令値に変換し、その第1の電流指令値に上記第
   １の電流検出手段による検出値および上記第２の駆動手
   段による第２の誤差値を減算した第１の誤差値に応じて
   上記第１の電磁石に電源供給すると共に、上記第２の駆
   動手段は、上記安定化補償手段による力指令値に応じた
   第２の電流指令値に変換し、その第２の電流指令値に上
   記第２の電流検出手段による検出値および上記第１の駆
   動手段による第１の誤差値を減算した第２の誤差値に応
   じて上記第２の電磁石に電源供給することを特徴とする
   電磁石駆動装置。
2. 【請求項２】 位置決め制御される磁性体部分を有する
   可動物体と、上記可動物体を両側から挟み込むように対
   向して設けられた第１および第２の電磁石と、上記可動
   物体の位置を検出する位置検出手段と、位置指令値と上
   記位置検出手段による検出値との偏差に応じた力指令値
   を生成する安定化補償手段と、上記第１および第２の電
   磁石にそれぞれ電源供給する第１および第２の駆動手段
   と、上記第１および第２の電磁石から発生される磁束を
   それぞれ検出する第１および第２の磁束検出手段とを備
   え、上記第１の駆動手段は、上記安定化補償手段による
   力指令値に応じた第1の磁束指令値に変換し、その第1の
   磁束指令値に上記第１の磁束検出手段による検出値およ
   び上記第２の駆動手段による第２の誤差値を減算した第
   １の誤差値に応じて上記第１の電磁石に電源供給すると
   共に、上記第２の駆動手段は、上記安定化補償手段によ
   る力指令値に応じた第２の磁束指令値に変換し、その第
   ２の磁束指令値に上記第２の磁束検出手段による検出値
   および上記第１の駆動手段による第１の誤差値を減算し
   た第２の誤差値に応じて上記第２の電磁石に電源供給す
   ることを特徴とする電磁石駆動装置。
3. 【請求項３】 第１の駆動手段は、安定化補償手段によ
   る力指令値に応じた第1の電流指令値に変換し、その第1
   の電流指令値にバイアス電流指令値を加算し、第１の電
   流検出手段による検出値および第２の駆動手段による第
   ２の誤差値を減算した第１の誤差値に応じて第１の電磁
   石に電源供給すると共に、第２の駆動手段は、安定化補
   償手段による力指令値に応じた第２の電流指令値に変換
   し、その第２の電流指令値にそのバイアス電流指令値、
   第２の電流検出手段による検出値および上記第１の駆動
   手段による第１の誤差値を減算した第２の誤差値に応じ
   て第２の電磁石に電源供給することを特徴とする請求項
   １記載の電磁石駆動装置。
4. 【請求項４】 第１の駆動手段は、安定化補償手段によ
   る力指令値に応じた第1の磁束指令値に変換し、その第1
   の磁束指令値にバイアス磁束指令値を加算し、第１の磁
   束検出手段による検出値および第２の駆動手段による第
   ２の誤差値を減算した第１の誤差値に応じて第１の電磁
   石に電源供給すると共に、第２の駆動手段は、安定化補
   償手段による力指令値に応じた第２の磁束指令値に変換
   し、その第２の磁束指令値にそのバイアス磁束指令値、
   第２の磁束検出手段による検出値および上記第１の駆動
   手段による第１の誤差値を減算した第２の誤差値に応じ
   て第２の電磁石に電源供給することを特徴とする請求項
   ２記載の電磁石駆動装置。
5. 【請求項５】 第１の駆動手段は、安定化補償手段によ
   る力指令値に応じた第1の電流指令値に変換し、その第1
   の電流指令値に第１の電流検出手段による検出値および
   第２の駆動手段による第２の誤差値を減算した第１の誤
   差値を開平し、位置検出手段による検出値を乗算した値
   に応じて第１の電磁石に電源供給すると共に、第２の駆
   動手段は、安定化補償手段による力指令値に応じた第２
   の電流指令値に変換し、その第２の電流指令値に第２の
   電流検出手段による検出値および上記第１の駆動手段に
   よる第１の誤差値を減算した第２の誤差値を開平し、そ
   の位置検出手段による検出値を乗算した値に応じて第２
   の電磁石に電源供給することを特徴とする請求項１記載
   の電磁石駆動装置。
6. 【請求項６】 第１の駆動手段は、安定化補償手段によ
   る力指令値に応じた第1の磁束指令値に変換し、その第1
   の磁束指令値に第１の磁束検出手段による検出値および
   第２の駆動手段による第２の誤差値を減算した第１の誤
   差値を開平し、位置検出手段による検出値を乗算した値
   に応じて第１の電磁石に電源供給すると共に、第２の駆
   動手段は、安定化補償手段による力指令値に応じた第２
   の磁束指令値に変換し、その第２の磁束指令値に第２の
   磁束検出手段による検出値および上記第１の駆動手段に
   よる第１の誤差値を減算した第２の誤差値を開平し、、
   その位置検出手段による検出値を乗算した値に応じて第
   ２の電磁石に電源供給することを特徴とする請求項２記
   載の電磁石駆動装置。