JP2001091838A - 走査型レーザ顕微鏡 - Google Patents

走査型レーザ顕微鏡

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JP2001091838A
JP2001091838A JP26876099A JP26876099A JP2001091838A JP 2001091838 A JP2001091838 A JP 2001091838A JP 26876099 A JP26876099 A JP 26876099A JP 26876099 A JP26876099 A JP 26876099A JP 2001091838 A JP2001091838 A JP 2001091838A
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JP26876099A
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Yuko Yagi
優子 八木
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Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】標本に対するダメージを少なくしつつ、ノイズ
の発生を回避しながら、簡単な構成で複数の入力にも対
応し、明るい鮮明な画像を得る。 【解決手段】波長の異なる複数m本の励起光を同時に標
本に照射して得られる、標本のm個の画像データを処理
して標本画像を得る走査型レーザ顕微鏡において、チャ
ンネルCH1〜CHmよりm個の画像データを時分割で
直列のデータとして繰返し取込んで出力する取込み制御
部4と、取込み制御部4から出力される複数の画像デー
タを1つの加算器(10)で時分割処理して対応する画像デ
ータ毎に加算処理して出力する演算処理部5とを備え
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光で標本を
走査し、標本から得られる光から画像データを得て表示
する走査型レーザ顕微鏡に関する。
【0002】
【従来の技術】走査型レーザ顕微鏡において標本を観察
する場合、感覚的には、走査速度を遅くすると、走査領
域内にレーザ光を照射する時間が長くなるので、標本か
ら得られる光、例えば蛍光、反射光または透過光の光量
が増加し、表示画像が明るくなると考えられがちであ
る。
【0003】しかしながら、実際には、撮像素子である
光電子倍増管から得られる電気信号を周期的にサンプリ
ングしているため、たとえ走査速度を低速にしたからと
いっても、レーザ光の照射時間に比例する光量がサンプ
リングによって得られるわけではなく、表示される画像
の輝度は変化しない。
【0004】そこで、明るい画像を得るために、調光フ
ィルタを切換えてレーザ光の光強度を上げることでサン
プリング時における受光量を多くしたり、あるいは撮像
素子である光電子倍増管への印加電圧や入力信号の増幅
率を大きくして、得られる画像の輝度を上げている。
【0005】例えば特開平09−138353号公報に
おいては、光電変換によって得られた信号レベルを検
出、評価することで、予め用意したテーブルに基づいて
レーザ光の光強度やピンホール径、光電子倍増管の増幅
率などを調整し、画像の輝度を一定の範囲内に収めよう
とするものである。
【0006】以下その構成を図4を用いて説明する。
【0007】この走査型レーザ顕微鏡は、レーザ照射手
段31と、標本を走査するスキャナ36及び制御手段3
8、標本からの光を輝度信号に変換する光電変換手段4
4、上記光電変換手段44が出力する輝度信号により映
像信号を形成する画像処理装置45、及びレーザ強度、
ピンホール、光電変換を制御する自動調光装置47とか
らなる。
【0008】自動調光装置47は、コンピュータを使用
するもので、画像処理装置45から映像信号をサンプル
信号として読込み、このサンプル信号から輝度平均値を
求めて検出輝度とし、それが一定の範囲内となるように
レーザ照射手段31のフィルタ切換制御装置34及び光
電変換手段44の倍増管電源装置43、ピンホール径制
御装置40を自動制御するものである。
【0009】上記フィルタ切換制御装置34は、調光フ
ィルタ33を切換えることでレーザ出力装置32から出
射されるレーザ光の光軸上に択一的に上記調光フィルタ
33を配置し、レーザ光の透過率を決定する。
【0010】倍増管用電源装置43は、撮像素子である
光電子倍増管42に印加する電圧を制御し、また、ピン
ホール径制御装置40は光電子倍増管42に入射する光
が通過するピンホール41の径を調節する。
【0011】さらに自動調光装置47は、フレームメモ
リを有しており、1画面分の画像信号を記憶して平均値
を求めるなどの演算を行い、光電変換によって得られた
映像信号の輝度平均値を算出する。
【0012】また自動調光装置47は、一定の輝度が得
られるような条件設定を、レーザ出力装置32から出射
させるレーザ光の強度と光電子倍増管42への印加電圧
について各々求めておき、強度と印加電圧との関係を関
数テーブルとして予め登録しておく。
【0013】すなわち自動調光装置47は、得られた映
像信号の輝度平均値を算出し、上記関数テーブルを用い
て、輝度平均値から調整すべきレーザ光の光強度、印加
電圧の設定を割出し、各制御部に適した制御信号を送出
する。
【0014】そして、制御信号を受けた各制御部は、調
光フィルタ33を切換えてレーザ光の光強度を調整し、
ピンホール41でのピンホール径を調整し、光電子倍増
管42の印加電圧を変更して増幅率を調整することで、
結果として一定の明るさ(輝度)の画像を得るものであ
る。
【0015】また、調光せずに明るい画像を得るには、
図5に示すようなアナログ回路を用い、光電変換によっ
て得られた輝度信号を時間で積分して輝度レベルを上げ
るようにした方法がある。
【0016】同図は走査型レーザ顕微鏡の撮像系の部分
構成を示すもので、光電子倍増管54により電気信号に
変換された輝度信号を積分器50に入力し、一定時間積
分した結果をA/D変換器51でサンプリングするとい
うものである。積分器50は、スイッチ(SW)52が
開いた状態で且つスイッチ(SW)53が閉じた状態で
積分される。スイッチ52,53は、共にパターン信号
P1によって制御されるが、スイッチ52がパターン信
号P1を直接入力するのに対し、スイッチ53はパター
ン信号P1をインバータ55で反転して入力しているた
め、その論理出力は各々相反する状態になる。
【0017】しかして、積分器50で積分された出力は
A/D変換器51に入力され、サンプリングパターンP
2によりサンプリングされてデジタル化される。
【0018】上記A/D変換器51にてデジタル化され
た直後、パターン信号P1の制御によりスイッチ52を
閉じ、スイッチ53を開くことで、積分器50のコンデ
ンサCに充電された電荷が放電されて電圧がリセットさ
れ、その後スイッチ52を開き、スイッチ53を閉じて
再び入力信号を積分する。
【0019】このように以降この動作を繰返すことで、
積分時間さえ定めておけば、一定期間毎に光電変換され
た信号の和をA/D変換器51によってサンプリングす
ることができ、信号のレベルが全体的に上がり、より明
るい画像が得られるようになる。
【0020】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た各技術には、次のような問題がある。
【0021】まず、上記図4に示した技術では、画像の
輝度を上げるためにレーザ光の光強度や光電子倍増管4
2の増幅率を上げているが、レーザ光の光強度を上げる
と標本39の褪色を早め、試料によっては変質や劣化な
どを引き起こすことになる。
【0022】また、光電子倍増管42の増幅率を上げる
ことからノイズ発生の要因となり得る、平均輝度信号を
算出して求めているために非常に時間を要して処理が複
雑になる上に、関数テーブルを記憶することで大きな記
憶容量を必要とする、など、全体として顕微鏡の構成が
複雑で処理速度の遅いものとなってしまうという不具合
があった。
【0023】さらに、低速走査の場合には、走査領域に
長時間レーザ光を照射しているにも拘わらず、照射時間
に比例して光量を取得するわけではなく、電気的に調整
を行なっているだけなので、標本からの光、例えば蛍光
または反射光、透過光を忠実に画像化しているとは言い
難い。
【0024】一方、上記図5で示した技術では、アナロ
グ的な回路を設けているため、ノイズの影響を受け易
く、また、画像入力が複数系統ある場合にはその数に相
当する数だけ回路を設ける必要があり、入力数が増える
と回路規模が大きくなるという不具合がある。
【0025】さらに、積分器50をリセットするために
放電を行なうが、その間はスイッチ53が開いているた
めに入力信号を受付けることができず、信号を損失して
いることになる。
【0026】これに対し、過渡応答であるリセット期間
を極力短くしたり、リセット電圧を完全に0にするなど
の性能向上を行なうことも考えられるが、そのためには
上記図5で示した回路に様々な回路を追加することが必
要となり、構成が大規模で複雑になってしまうことにな
る。
【0027】本発明は上記のような実情に鑑みてなされ
たもので、その目的とするところは、標本に対するダメ
ージを少なくしつつ、ノイズの発生を回避し、簡単な構
成で複数の入力にも対応できる、明るい鮮明な画像を得
ることが可能な走査型レーザ顕微鏡を提供することにあ
る。
【0028】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
波長の異なる複数の励起光を同時に標本に照射して得ら
れる、標本の複数の画像データを処理して標本画像を得
る走査型レーザ顕微鏡において、上記複数の画像データ
を時分割で直列のデータとして繰返し取込んで出力する
取込み制御手段と、この取込み制御手段から出力される
複数の画像データを1つの加算器で時分割処理して対応
する画像データ毎に加算処理して出力する演算処理手段
とを備えたことを特徴とする。
【0029】このような構成とすれば、レーザ光を低速
走査させながら、A/D変換のサンプリング速度を従来
の数倍乃至十数倍とし、一度の走査で得られる複数の画
像データをそれぞれ繰返し加算して、結果として従来の
サンプリング速度と同等の速度で画像を得ながら、標本
に対するダメージを少なくしつつ、ノイズの影響を受け
ずに、充分に輝度の高い、明るい画像を得ることができ
る。
【0030】請求項2記載の発明は、上記請求項1記載
の発明において、上記演算処理手段は、1つの加算器、
複数の画像データの加算結果を一時的に保持してその保
持内容を上記加算器に帰還入力させる待避レジスタ、及
び演算結果を出力レジスタを有し、上記加算器の加算結
果を一旦待避レジスタに保持させておくことで、複数の
画像データを時分割演算し、出力すべき加算結果のみを
出力レジスタにて保持することを特徴とする。
【0031】このような構成とすれば、上記請求項1記
載の発明の作用に加えて、回路構成及び制御が容易であ
り、入力する画像が複数ある場合でも回路規模を小さく
抑えることが可能となる。
【0032】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態に係る走
査型レーザ顕微鏡について図面を参照して説明する。
【0033】まず、顕微鏡の特に撮像系の基本的な概念
構成について図1により説明する。
【0034】同図に示す光電子倍増管1は、標本からの
光が結像される位置に配置され、光電変換により輝度情
報を電気信号に変換するもので、その出力がアンプ(A
mp.)2により所定の増幅率で増幅された後にA/D
変換器3にてサンプリングされ、デジタル化される。
【0035】入力が複数ある場合、すなわち、同一の標
本に対して波長の異なる複数の励起光を同時に標本に照
射して、同時に複数の画像を得ようとする場合、上記光
電子倍増管1、アンプ2、及びA/D変換器3で構成さ
れる、破線で囲んだ撮像系回路が入力数分、例えばm必
要となるもので、ここでは、この破線で囲んだ撮像系回
路の単位をチャンネル(CH)と呼称することとする。
【0036】次いで、複数のチャンネルCH1〜CHm
の各A/D変換器3で得られるデジタル値の輝度信号が
取込み制御部4に入力される。
【0037】取込み制御部4は、クロック発生部6から
の基準クロックに基づき、各チャンネルのA/D変換器
3を制御して輝度信号をサンプリングすることにより画
像データとしてデジタル化させ、これを取込むものとす
る。
【0038】すなわち取込み制御部4は、入力チャンネ
ル数を設定するための、図示しないレジスタを備えてお
り、各チャンネルのA/D変換器3に対して並列にサン
プリングクロックを供給して同時に輝度信号のデジタル
化を実行させ、出力タイミングを制御することでチャン
ネル毎に時分割に直列配列した画像データとして取込む
もので、取込んだ画像データは演算処理部5に送出す
る。
【0039】取込み制御部4からの画像データを受ける
演算処理部5は、同じくクロック発生部6からの基準ク
ロックに基づいて動作するもので、受付けた画像データ
を各チャンネル毎に任意回数分加算し、その加算結果と
しての画像データを出力する。
【0040】この場合、画像データを加算する回数は、
演算処理部5内に、ここでは図示しない加算回数レジス
タを設けて設定するようにしているので、任意に変更が
可能である。
【0041】しかして、演算処理部5から出力された画
像データは、表示ドライバ7の駆動によりモニタ表示部
8で表示出力される。
【0042】次に図2により上記演算処理部5内の詳細
な回路構成について説明する。図示する如く、取込み制
御部4からの画像データは、加算器10に入力される。
この加算器10はまた、その和となる画像データを出力
レジスタ13に送出すると共に、待避レジスタ11を介
して帰還入力する。
【0043】待避レジスタ11は、上記チャンネルの数
であるm個分の画像データを保持する容量を有するもの
であり、上記クロック発生部6からの基準クロックに基
づいて動作する待避レジスタ制御部12の制御の下に、
加算器10の出力する画像データをそのチャンネル毎に
保持し、その保持内容を読出して加算器10に帰還入力
させる。
【0044】また、上記出力レジスタ13は、同様に上
記クロック発生部6からの基準クロックに基づいて動作
する出力レジスタ制御部14の制御の下に、加算器10
の出力した画像データを保持し、この演算処理部5の出
力として上記表示ドライバ7に出力する。
【0045】すなわち、各チャンネル毎の画像データに
あっては、待避レジスタ11に保持される画像データを
新たに入力された画像データと加算器10で加算し、そ
の加算結果を再度待避レジスタ11に保持させる、とい
う工程を何度繰返し行なうかにより、所望の輝度レベル
の明るい画像データを得ることができるようになるもの
で、その加算回数は上述したように、図示しない加算回
数レジスタに設定することで、任意に変更できる。
【0046】次いで、本実施の形態に係る顕微鏡の撮像
系の具体的な回路構成について図3により説明する。
【0047】ここでは、同一の標本から4つの画像を同
時に得るものとして入力チャンネルが4チャンネルあ
り、各チャンネルCH1〜CH4毎に、光電子倍増管
1、アンプ2、及びA/D変換器3が備えられるものと
する。
【0048】各チャンネルCH1〜CH4においては、
それぞれ光電子倍増管1が標本からの光をその輝度に応
じた電気信号に変換し、その電気信号がアンプ2で増幅
された後にA/D変換器3で取込み制御部4からのサン
プリングクロックに同期してデジタル化される。
【0049】取込み制御部4は、各チャンネルCH1〜
CH4のA/D変換器3に対して並列にサンプリングク
ロックを供給し、同じタイミングでの画像データのデジ
タル化を実施させながら、その出力タイミングを時分割
御することで、チャンネル単位で直列に配置した画像デ
ータを順次取込み、演算処理部5の加算器10へ出力す
る。
【0050】演算処理部5の加算器10では、一方の入
力に取込み制御部4からの画像データを受け、他方の入
力には待避レジスタ11に保持している、対応するチャ
ンネルの1つ前のタイミングで加算器10自身が出力し
た画像データを受けるもので、これら2つの同一チャン
ネルの画像データを加算し、その和を待避レジスタ11
の該当チャンネル位置に保持させる、という処理をチャ
ンネルを順次循環的に更新設定しながら繰返すことで、
新たに得られた画像データをそれまでの加算結果に追加
加算していく。
【0051】待避レジスタ11は、異なるチャンネルの
データが直列に配置して送られてくるため、その間待避
させておくためのものであり、ここでは上記チャンネル
CH1〜CH4に対応したシフトレジスタR1〜R4か
らなる。
【0052】一方、出力レジスタ13は、設定回数分だ
け加算した最終結果としての画像データを加算器10が
出力した時点で、これを保持し、次段の表示ドライバ7
に出力するためのものである。
【0053】次に上記図3に示す回路構成においての動
作について説明する。
【0054】低速走査の一走査期間内に数回乃至十数回
の繰返し速度で発振されるA/D変換器2へのサンプリ
ングクロックは、取込み制御部4により一括供給される
もので、すべてのチャンネルCH1〜CH4において共
通とし、同時にサンプリングを行なわせる。
【0055】この時、取込み制御部4からは、サンプリ
ング期間をチャンネル数で分割し、1チャンネルあたり
の期間に相当する出力イネーブル信号を各A/D変換器
2に対して順次出力する。
【0056】したがって、サンプリング期間の1サイク
ルを4分割し、まず最初の4分の1の期間だけ第1のチ
ャンネルCH1のA/D変換器3の出力をイネーブルに
する。
【0057】同様に、それぞれ次の4分の1の期間で第
2のチャンネルCH2のA/D変換器3の出力をイネー
ブルにし、3番目の4分の1の期間で第3のチャンネル
CH3のA/D変換器3の出力をイネーブルにし、最後
の4分の1の期間で第4のチャンネルCH4のA/D変
換器3の出力をイネーブルにする。
【0058】この動作を繰返すことで取込み制御部4
は、第1乃至第4のチャンネルでサンプリングさせた画
像データを、そのサンプリング期間内で分割して規則的
に直列配列した画像データとして得ることができる。
【0059】取込み制御部4の出力を受ける演算処理部
5では、加算器10に上述したような画像データが入力
され、待避レジスタ11に保持されるそれまでの画像デ
ータの加算結果と加算される。
【0060】待避レジスタ11は、シフトレジスタで構
成されるものとして説明したが、加算器10で得られる
加算結果を一時的に待避させておくためのものであるの
で、レジスト機能があれば、FIF0メモリでもフリッ
プフロップでも良く、これを制御する信号は待避レジス
タ制御部12から出力するようにすれば良い。
【0061】しかるに、待避レジスタ11は、4つのレ
ジスタを直列に接続することにより構成されており、画
像データが書込まれていない初期状態ではすべてのレジ
スタはリセットされている。
【0062】加算器10では、この待避レジスタ11の
初期状態でサンプリング期間に取込み制御部4から取得
したチャンネルCH1乃至CH4の各画像データに待避
レジスタ11の内容により単位元としての“0(ゼ
ロ)”を加算して出力する。
【0063】“0”を加算して出力された第1のチャン
ネルCH1の画像データは、待避レジスタ11のレジス
タR1に保持され、続いて第2のチャンネルCH2の画
像データが同様に“0”を加算して出力されると、第1
のチャンネルCH1の画像データはレジスタR2にシフ
トされ、代わって第2のチャンネルCH2の画像データ
がレジスタR1に保持される。
【0064】このようにして順次同様の処理を実行し、
第4のチャンネルCH4の画像データが加算器10から
出力されると、第4のチャンネルCH4の画像データが
レジスタR1に、第3のチャンネルCH3の画像データ
がレジスタR2に、第2のチャンネルCH2の画像デー
タがレジスタR3に、そして第1のチャンネルCH1の
画像データがレジスタR4にそれぞれ保持されることと
なる。
【0065】したがって、その次のタイミングで加算器
10には、レジスタR4に保持された第1のチャンネル
CH1の画像データと、次のサンプリング期間に取得さ
れた第1のチャンネルCH1の画像データとが入力され
ることとなり、ここでこれら第1のチャンネルCH1の
画像データが加算されて、再びレジスタR1に保持され
る。
【0066】その時、レジスタR4には第2のチャンネ
ルCH2の画像データがシフトされて保持されており、
同時に取込み制御部4からも新たな第2のチャンネルC
H2の画像データが出力されているため、加算器10は
これら第2のチャンネルCH2の画像データの加算を行
なう。
【0067】このように、加算器10で得られる加算結
果を順次シフトレジスタ11にシフトさせながら待避さ
せ、取込み制御部4からの入力タイミングに同期させて
出力することによって、チャンネルが複数あっても1つ
の加算器10でチャンネル毎の加算を実行することがで
きる。
【0068】また、加算器10による加算の最終結果
は、出力レジスタ制御部14により保持して次段の表示
ドライバ7へ出力されるため、必要なタイミングすなわ
ち上記加算器10での繰返し加算を行なう回数を出力レ
ジスタ制御部14にて生成すれば良い。
【0069】出力レジスタ13により加算器10の加算
結果が保持されたら、待避レジスタ制御部12は待避レ
ジスタ11に対してリセット信号を発生し、待避レジス
タ11内のレジスタR1〜R4をすべてリセットするも
ので、こうすることにより、次に入力される画像データ
に対して上記と同様の処理を新規に実行することができ
る。
【0070】なお、出力レジスタ13は、次の加算結果
を保持するという制御信号が出力されるまで、前の加算
結果を保持している。
【0071】上記のような構成及び動作とすれば、入力
チャンネル数が増えた場合は、取込み制御部4において
サンプリング期間の分割数を変え、入力チャンネルの数
に応じた出力イネーブル信号を生成すること、及び待避
レジスタ11のレジスタ数を入力チャンネルの数分だけ
用意することのみで対応できる。
【0072】さらに、加算器10における画像データの
繰返し加算回数の変更は、出力レジスタ制御部14の保
持タイミングと待避レジスタ11のリセットタイミング
を調整するのみで容易に実現でき、なんら構成の変更を
必要としない。
【0073】このように、回路構成及び制御が容易であ
り、しかも回路変更が小規模ですむということにより、
入力チャンネルが複数ある場合でも回路が煩雑になら
ず、しかも変更、特に入力チャンネル数の増加に際して
各種素子や配線が大量に増加することはないため、回路
の速度性能も維持できる。
【0074】また、各チャンネルCHでA/D変換器3
によりデジタル化した画像データを取込み制御部4以降
の回路で処理することにより、外部からのノイズの影響
を受け難く、リアルタイムで明るく鮮明な画像を得るこ
とができ、且つ、レーザ光の強度を上げる必要がないの
で、標本に対するダメージを少なくすることができる。
【0075】なお、本発明は上記実施の形態に限定され
るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々変
形して実施することが可能であるものとする。
【0076】
【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、レーザ光
を低速走査させながら、A/D変換のサンプリング速度
を従来の数倍乃至十数倍とし、一度の走査で得られる複
数の画像データをそれぞれ繰返し加算して、結果として
従来のサンプリング速度と同等の速度で画像を得なが
ら、標本に対するダメージを少なくしつつ、ノイズの影
響を受けずに、充分に輝度の高い、明るい画像を得るこ
とができる。
【0077】請求項2記載の発明によれば、上記請求項
1記載の発明の効果に加えて、回路構成及び制御が容易
であり、入力する画像が複数ある場合でも回路規模を小
さく抑えることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る撮像系の基本的な概
念構成を示すブロック図。
【図2】図1の演算処理部の詳細な回路構成を例示する
ブロック図。
【図3】同実施の形態に係る撮像系の具体的な回路構成
を例示するブロック図。
【図4】従来の走査型レーザ顕微鏡の構成を例示する
図。
【図5】従来の走査型レーザ顕微鏡の特に撮像系の部分
構成を例示する図。
【符号の説明】
1…光電子倍増管 2…アンプ 3…A/D変換器 4…取込み制御部 5…演算処理部 6…クロック発生部 7…表示ドライバ 8…モニタ表示部 10…加算器 11…待避レジスタ 12…待避レジスタ制御部 13…出力レジスタ 14…出力レジスタ制御部 31…レーザ照射手段 32…レーザ出力装置 33…調光フィルタ 34…フィルタ切換制御装置 35…ビームスプリッタ 36…スキャナ 37…対物レンズ 38…制御手段 39…標本 40…ピンホール径制御装置 41…ピンホール 42…光電子倍増管 43…倍増管電源装置 44…光電変換手段 45…画像処理装置 46…モニタ装置 47…自動調光装置 48…キーボード 51…A/D変換器 52,53…スイッチ(SW) 54…光電子倍増管 55…インバータ CH1〜CH4,CHm…撮像系回路

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】波長の異なる複数の励起光を同時に標本に
    照射して得られる、標本の複数の画像データを処理して
    標本画像を得る走査型レーザ顕微鏡において、 上記複数の画像データを時分割で直列のデータとして繰
    返し取込んで出力する取込み制御手段と、 この取込み制御手段から出力される複数の画像データを
    1つの加算器で時分割処理して対応する画像データ毎に
    加算処理して出力する演算処理手段とを備えたことを特
    徴とする走査型レーザ顕微鏡。
  2. 【請求項2】上記演算処理手段は、1つの加算器、複数
    の画像データの加算結果を一時的に保持してその保持内
    容を上記加算器に帰還入力させる待避レジスタ、及び演
    算結果を出力するレジスタを有し、 上記加算器の加算結果を一旦待避レジスタに保持させて
    おくことで、複数の画像データを時分割演算し、出力す
    べき加算結果のみを出力レジスタにて保持することを特
    徴とする走査型レーザ顕微鏡。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005215357A (ja) * 2004-01-29 2005-08-11 Olympus Corp 走査型レーザ顕微鏡
JP2016080895A (ja) * 2014-10-17 2016-05-16 オリンパス株式会社 レーザ顕微鏡

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