JP2001086772A - 振動アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 駆動中に摺動部が離脱することがなく、しか
も、摺動部の作製時に、振動子の振動特性を変化又は低
下させることがなく、また、取付時の位置決めも容易に
できる。 【解決手段】 放射方向に伸縮する径方向対称伸び振動
モードと、同一面内で非軸対称に屈曲する非軸対称面内
振動モードとを同時に発生する振動子を用いた振動アク
チュエータにおいて、振動子４０Ａは、円環状薄板の電
気機械変換素子４１ａ，４１ｂと弾性体４１ｃとを積層
した積層構造であり、その外周の一部に駆動力を取り出
す駆動力取出部が存在し、その駆動力取出部側、及び／
又は、その駆動力取出部に取り付けられる摺動部材６１
側に設けられ、弾性体４１ｃの一部を加工した突起部４
１ｃ−１を用いて、摺動部材６１を取り付ける構造を備
える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、径方向対称伸び振
動モードと非軸対称面内振動モードとを利用した振動ア
クチュエータに関し、特に、摺動部の取付構造又は摺動
部の形態を改良した振動アクチュエータに関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の振動アクチュエータは、
中心から外周方向に向かって伸びる（放射方向に伸縮す
る）径方向対称伸び振動モードと、同一面内で非軸対称
に屈曲する非軸対称面内振動モードとを同時に発生する
ドーナツ板状の振動子を用いた構造ものが、「（Ｒ，
１）−（（１，１））モード圧電円環利用超音波リニア
モータの特性改善（高野，富川；第１２回 強誘電体応
用会議 講演予稿集 Ｐ．７９−８０）」，「新版超音
波モータ（上羽，富川著；トリケップス，Ｐ．２２−２
３，Ｐ．６７−６８）」や特公平６−２６９９４号等に
開示されており、薄型構造に適し、高速，高推力等の特
徴を備えるものである。

【０００３】（振動子の構造）図１０は、径方向対称伸
び振動モードと非軸対称面内振動モードとを利用した振
動アクチュエータの振動子の従来例を示す図である。振
動子１０は、圧電素子１１と、電極１２等とを備えてい
る。圧電素子１１は、例えば、ＰＺＴなどの圧電材料を
ドーナツ板形状に形成し、全面を板厚方向に分極したも
のである。このドーナツ板形状は、径方向対称伸び振動
モード（Ｒ，１）と非軸対称面内振動モード（（１，
１））の共振周波数がほぼ等しくなるように設計、製造
されている。

【０００４】この圧電素子１１は、表面には、扇形の第
１，第２の電極１２ａ，１２ｂが形成されており［図１
０（Ａ）］、裏面には、ほぼ全面に第３の電極１２ｃが
形成されている［図１０（Ｂ）］。

【０００５】振動子１０は、発振器，移相器，増幅器等
を含む駆動電圧発生装置によって、第１の電極１２ａに
は、第１の交流電圧が印加される。また、第２の電極１
２ｂには、第１の交流電圧とは電気的に位相が（π／
２）だけ異なる第２の交流電圧が印加される。裏面の第
３の電極１２ｃは、ＧＮＤ電位に接続される。

【０００６】この振動子１０は、交流電圧の周波数を２
つの振動モードの共振周波数に近づけることによって、
２つのモードで共振し、径方向対称伸び振動と、非軸対
称面内振動とが同時に発生する。

【０００７】径方向対称伸び振動（Ｒ，１）は、図１０
（Ｃ）に示すように、Ａ点を節とした放射方向（径方
向）の対称な伸縮振動であり、Ｃ１，Ｃ２点では、径方
向の成分Ｕｒをもつ。また、非軸対称面内振動（（１，
１））は、図１０（Ｄ）に示すように、Ｂ１，Ｂ２点を
節として、破線で示すように、同一面内で潰れる（ひし
ゃげる）ような変形を、図１０（Ｄ）の左右に繰り返す
屈曲振動であり、円周上のＣ１，Ｃ２点では、矢印方向
の変位成分Ｕθをもつ。そして、振動子１０は、Ｃ１，
Ｃ２点（駆動力取出部）の位置に、２つの振動が合成さ
れた変位として、図１０（Ａ）に示すような楕円運動が
発生する。

【０００８】（振動アクチュエータの動作）前述のよう
に、駆動電圧発生装置によって、第１，第２の電極１２
ａ，１２ｂに、第１，第２の交流電圧が印加されると、
Ｃ１，Ｃ２点（駆動力取出部）の位置で楕円運動が発生
する。このとき、振動子４０の摺動面と相対運動部材３
０との間には、相対運動部材３０の移動方向に摩擦力が
発生し、相対運動部材３０の直進駆動力を得ることがで
きる。

【０００９】第１，第２の交流電圧の位相差を、π／２
から−π／２に変更すると、直進方向を反転させること
ができる。また、駆動周波数を振動子の共振周波数に近
づけたり、遠ざけたりすることによって、直進動作の速
度の増減をすることができる。この速度の増減は、交流
電圧の電圧を増減することによっても可能である。

【００１０】図１１は、従来例による径方向対称伸び振
動モードと非軸対称面内振動モードとを利用した振動ア
クチュエータの摺動部の取付構造を示す図である。従来
例による摺動部は、圧電素子１１の外周を削り落として
平面部１１ａを形成し、その平面部１１ａに樹脂等によ
るブロック状の摺動部材５１を、接着するなどして取り
付けていた。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した従来
の振動アクチュエータは、圧電素子１１と摺動部材５１
との接着面積が少なく、十分な接着強度が確保できない
ために、駆動中に摺動部材５１が剥がれ落ちてしまう可
能性があった。また、接着する場合に、摺動部材５１を
正確な位置に接着するために、位置決め治具が必要であ
った。

【００１２】一方、圧電素子１１の外周を削り落とすこ
と自体手間のかかることであった。その上、圧電素子１
１の外周を削り落とすことにより、径方向対称伸び振動
モードと非軸対称面内振動モードの共振周波数が設定し
た状態から変化してしまったり、削り落とし加工時にか
かるダメージのために、圧電素子１１にマイクロクラッ
ク等が発生して、振動特性が大きく低下してしまう可能
性もあった。

【００１３】本発明の課題は、駆動中に摺動部が離脱す
ることがなく、しかも、摺動部の作製時に、振動子の振
動特性を変化又は低下させることがなく、また、取付時
の位置決めも容易にできる振動アクチュエータを提供す
ることである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明は、以下の解決手
段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にす
るために、後述する実施形態に対応する符号を付して説
明するが、これに限定されるものではない。請求項１の
発明は、放射方向に伸縮する径方向対称伸び振動モード
と、同一面内で非軸対称に屈曲する非軸対称面内振動モ
ードとを同時に発生する振動子を用いた振動アクチュエ
ータにおいて、前記振動子は、円環状薄板をした電気機
械変換素子の単体（１０）、又は、円環状薄板の電気機
械変換素子と弾性体とを積層した積層構造（４０）であ
り、その外周の一部に駆動力を取り出す駆動力取出部が
存在し、前記駆動力取出部側、及び／又は、前記駆動力
取出部に取り付けられる摺動部側に設けられ、前記振動
子の双方又は一方の面内振動方向に延在する側面にある
接着部（１１ｃ，１１ｄ）を用いて、前記摺動部を取り
付ける取付構造（６０Ｄ，６０Ｅ）を備えること、を特
徴とする振動アクチュエータである。

【００１５】請求項２の発明は、放射方向に伸縮する径
方向対称伸び振動モードと、同一面内で非軸対称に屈曲
する非軸対称面内振動モードとを同時に発生する振動子
を用いた振動アクチュエータにおいて、前記振動子は、
円環状薄板をした電気機械変換素子の単体（１０）、又
は、円環状薄板の電気機械変換素子と弾性体とを積層し
た積層構造（４０）であり、その外周の一部に駆動力を
取り出す駆動力取出部が存在し、前記駆動力取出部側、
及び／又は、前記駆動力取出部に取り付けられる摺動部
側に設けられ、前記弾性体の一部を加工した加工部（４
１ｃ−１，４１ｃ−２，４１ｃ−３，４１ｃ−４）に係
合して、前記摺動部を取り付ける取付構造（６０Ａ，６
０Ｂ，６０Ｃ，６０Ｅ）を備えること、を特徴とする振
動アクチュエータ。

【００１６】請求項３の発明は、放射方向に伸縮する径
方向対称伸び振動モードと、同一面内で非軸対称に屈曲
する非軸対称面内振動モードとを同時に発生する振動子
を用いた振動アクチュエータにおいて、前記振動子は、
円環状薄板をした電気機械変換素子の単体、又は、円環
状薄板の電気機械変換素子と弾性体とを積層した積層構
造であり、その外周の一部に駆動力を取り出す駆動力取
出部が存在し、前記駆動力取出部側、及び／又は、前記
駆動力取出部に取り付けられる摺動部側に設けられ、前
記振動子を両側面からクランプして、前記摺動部を取り
付ける取付構造（６０Ｅ，６０Ｆ）を備えることを特徴
とする振動アクチュエータである。

【００１７】請求項４の発明は、請求項１から請求項３
までのいずれか１項に記載された振動アクチュエータに
おいて、前記取付構造は、突起部，溝部，段差部又は穴
部の（４１ｃ−１，４１ｃ−２，４１ｃ−３，４１ｃ−
４，６１ａ，６２ａ，６４ａ，６５ａ，６５ｂ）少なく
とも１つの構造を含むことを特徴とする振動アクチュエ
ータである。

【００１８】請求項５の発明は、請求項１から請求項４
までのいずれか１項に記載された振動アクチュエータに
おいて、前記取付構造は、前記摺動部の取付位置を位置
決めする構造（４１ｃ−１，４１ｃ−２，４１ｃ−３，
４１ｃ−４）を含むことを特徴とする振動アクチュエー
タである。

【００１９】請求項６の発明は、放射方向に伸縮する径
方向対称伸び振動モードと、同一面内で非軸対称に屈曲
する非軸対称面内振動モードとを同時に発生する振動子
を用いた振動アクチュエータにおいて、前記振動子は、
円環状薄板の電気機械変換素子と弾性体とを積層した積
層構造（４０）であり、その外周の一部に駆動力を取り
出す駆動力取出部が存在し、前記弾性体に突起形状（４
１ｃ−１）を設け、それ自体を摺動部（６０Ｇ）とする
ことを特徴とする振動アクチュエータである。

【００２０】請求項７の発明は、放射方向に伸縮する径
方向対称伸び振動モードと、同一面内で非軸対称に屈曲
する非軸対称面内振動モードとを同時に発生する振動子
を用いた振動アクチュエータにおいて、前記振動子は、
円環状薄板をした電気機械変換素子の単体（１０）、又
は、円環状薄板の電気機械変換素子と弾性体とを積層し
た積層構造（４０）であり、その外周の一部に駆動力を
取り出す駆動力取出部が存在し、前記駆動力取出部に樹
脂製塗料（７２）を塗布して、摺動部（６０Ｈ）とする
ことを特徴とする振動アクチュエータである。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、図面などを参照しながら、
本発明の実施の形態をあげて、さらに詳しく説明する。 （第１実施形態）図１は、本発明による振動アクチュエ
ータの第１実施形態を示す全体図、図２は、第１実施形
態による振動アクチュエータの振動子を示す平面図，側
面図及び裏面図、図３は、第１実施形態による振動アク
チュエータの摺動部を示す斜視図である。

【００２２】第１実施形態の振動アクチュエータ２０
は、図１に示すように、ベース部材２１と、ベース部材
２１の上下方向に平行に配置されたガイド部材２２，２
２と、ガイド部材２２，２２にガイドされて上下方向に
移動可能に支持され、振動アクチュエータの振動子４０
が取付固定されている支持フレーム２３と、支持フレー
ム２３を下方に付勢する加圧ばね２４，２４と、振動子
４０の摺動材４３と接触する位置で、相対運動部材３０
を走行可能にガイドする走行ガイド部材２５等を備えて
いる。

【００２３】振動子４０は、図２に示すように、電気機
械変換素子として、圧電セラミックス４１ａ，４１ｂを
使用し、その間に挟持する弾性部材として、金属板４１
ｃを使用したものである。これらの圧電セラミックス４
１ａ，４１ｂと金属板４１ｃとは、接着剤などで貼り合
わされている。

【００２４】２つの圧電セラミックス４１ａ，４１ｂ
は、金属板４１ａ側の電極（不図示）が共に全面電極と
なっており、その反対側の電極が直径方向で全体をほぼ
２分するような電極４２ａ，４２ｂとなっている。２つ
の電極４２ａ，４２ｂには、それぞれ位相の異なる交流
電圧が入力される。また、圧電セラミックス４１ａ，４
１ｂは、金属板４１ｃと対向する面と反対側の面におけ
る電極４２ａ，４２ｂの配置がそれぞれ一致している。
つまり、電極４２ａ，４２ｂは、金属板４１ｃに挟持さ
れている２つの圧電セラミックス４１ａ，４１ｂの積層
方向に重なる位置で、分割の向きがほぼ一致している。

【００２５】摺動部６０は、図３に示すように、弾性体
４１ｃに形成された突起部４１ｃ−１と、この突起部４
１ｃ−１に嵌合して、耐磨耗性のある有底角筒状の穴部
６１ａのある摺動部材６１とから構成されている。な
お、突起部４１ｃ−１と摺動部材６１とは、硬く嵌合す
るのみであってもよいが、接着剤によって接合されてい
てもよい。また、摺動部材６１の付け方として、摺動部
材６１の嵌合部に熱収縮性材料を用い、緩く嵌合した後
に、加熱により十分に硬い嵌合となるようにしてもよ
い。その場合に、摺動部材６１の穴部６１ａの形状は角
形でなくてもよい。

【００２６】このように、第１実施形態は、弾性体４１
ｃ側に突起部４１ｃ−１を設け、その突起部４１ｃ−１
と摺動部材６１の穴部６１ａとを嵌合して接合するの
で、弾性体４１ｃに、突起部４１ｃ−１を加工すればよ
く、加工が容易なうえ、圧電セラミックス４１ａ，４１
ｂを加工しないので、マイクロラック等が入ることはな
い。また、摺動部材６１は、突起部４１ｃ−１に嵌合さ
せるので、取付時に治具を用いる必要がなく、駆動時に
離脱することもない。

【００２７】（第２，第３実施形態）なお、以下に示す
各実施形態では、全体の構造は、前述した第１実施形態
と略同様であるので、摺動部のみを図示して説明し、重
複する図面や説明を適宜省略する。図４（Ａ）は、第２
実施形態による振動アクチュエータの摺動部６０Ｂを示
す斜視図である。第２実施形態では、振動子４０Ｂは、
弾性体４１ｃに溝部４１ｃ−２が形成されており、弾性
体４１ｃの両側に、圧電セラミックス４１ａ，４１ｂが
接合されている。また、摺動部６０Ｂは、耐磨耗性があ
り段部６２ａが形成された摺動部材６２を、弾性体４１
ｃの溝部４１ｃ−２に接着剤によって取り付けたもので
ある。

【００２８】図４（Ｂ）は、第３実施形態による振動ア
クチュエータの摺動部６０Ｃを示す斜視図である。第３
実施形態では、振動子４０Ｃは、弾性体４１ｃに穴部４
１ｃ−３が加工されており、弾性体４１ａの両側に、圧
電セラミックス４１ａ，４１ｂが接合されている。ま
た、摺動部６０Ｃは、耐磨耗性があり円柱状の摺動部材
６３を、弾性体４１ｃの穴部４１ｃ−３に嵌合して、接
着剤によって取り付けたものである。

【００２９】このように、第２，第３実施形態は、弾性
体４１ｃに、溝部４１ｃ−２や穴部４１ｃ−３を加工す
るだけであるので、加工が容易なうえ、圧電セラミック
ス４１ａ，４１ｂを加工しないので、マイクロラック等
が入る心配はない。また、摺動部材６２，６３は、溝部
４１ｃ−２や穴部４１ｃ−３に嵌合しているので、取付
時に、位置決め用の治具が不要であり、また、駆動時
に、不用意に離脱することもない。

【００３０】（第４実施形態）図５は、第４実施形態に
よる振動アクチュエータの摺動部６０Ｄを示す部分斜視
図及び側面図である。第４実施形態では、振動子１０
は、図１０に示した単体の圧電セラミックス１１からな
るものであり、特に、摺動部のための加工はしていな
い。摺動部６０Ｄは、耐磨耗性があり段部６４ａが形成
されたＬ字状の摺動部材６４を、圧電セラミックス１１
の外周面１１ａ及び側面１１ｂに、接着剤７１によっ
て、取り付けたものである。

【００３１】このように、第４実施形態は、Ｌ字状の摺
動部材６４を用いるので、弾性体を用いない圧電セラミ
ックス１１のみの薄い振動子１０であっても、面内振動
方向に延在する側面に接着面積を確保することができ
る。

【００３２】（第５実施形態）図６は、第５実施形態に
よる振動アクチュエータの摺動部６０Ｅを示す部分斜視
図及び側面図である。第５実施形態も、第４実施形態と
同様に、振動子１０は、単体の圧電セラミックス１１か
らなるものであり、特に、摺動部のための加工はしてい
ない。摺動部６０Ｅは、耐磨耗性があり、溝部６５ａを
有するコ字状の摺動部材６５を、圧電セラミックス１１
の外周面１１ｂ及び両側の側面１１ｃ，１１ｄに、接着
剤７１によって、取り付けたものである。このように、
第５実施形態は、コ字状の摺動部材６５を用いるので、
弾性体を用いない圧電セラミックス１１のみの薄い振動
子１０であっても、面内振動方向に延在する両側面１１
ｃ，１１ｄに、十分な接着面積を確保することができ
る。

【００３３】（第６実施形態）図７は、第６実施形態に
よる振動アクチュエータの摺動部６０Ｆを示す部分斜視
図である。第６実施形態では、振動子４０は、弾性体４
１ｃの両側に、圧電セラミックス４１ａ，４１ｂが接合
されているものであり、特に、摺動部のための加工はし
ていない。摺動部６０Ｆは、耐磨耗性があり、溝部６６
ａを有するコ字状の摺動部材６６を、振動子４０の外周
面及び両側の圧電セラミックスの側面に、接着剤によっ
て、取り付けたものである。このように、第６実施形態
は、コ字状の摺動部材６６を用いるので、圧電セラミッ
クス４１ａ，４１ｂの両側面に、十分な接着面積を確保
することができる。また、圧電セラミックス４１ａ，４
１ｂを両側面からクランプするので、圧電セラミックス
４１ａ，４１ｂと弾性体４１ｃが剥離することを防止す
ることができる。

【００３４】なお、中央の弾性体１１ｃに、図７（Ａ）
に２点鎖線で示すように、切り欠き部４１ｃ−４を形成
し、図７（Ｂ）に示すように、溝部６６ａの中央に突起
部６６ｂを有するＥ字型の摺動部材６６−１を用いるよ
うにしてもよい。このようにすれば、接着時の位置合わ
せが不要であり、接着面積の増加を図れ、しかも、クラ
ンプ効果を合わせもつという効果がある。

【００３５】（第７実施形態）図８は、第７実施形態に
よる振動アクチュエータの摺動部６０Ｇを示す部分斜視
図である。第７実施形態では、摺動部６０Ｇは、弾性体
４１ｃに設けられた突起部４１ｃ−１自身を用いたもの
である。この場合には、弾性体４１ｃは、相対運動部材
３０との相性を考えて、金属材料を選択することにな
る。このように、第７実施形態によれば、摺動部材が不
要なうえ、取り付けの手間が省けるので、大幅なコスト
ダウンを図ることができる。なお、相対運動部材が樹脂
の場合に、特に有効な構造である。

【００３６】（第８実施形態）図９は、第８実施形態に
よる振動アクチュエータの摺動部６０Ｈを示す部分斜視
図である。第８実施形態では、圧電セラミックス１４１
ａ，４１ｂ及び弾性体４１ｃの駆動力取出部に、樹脂塗
料７２を塗布することによって、摺動部６０Ｈとしたも
のである。この場合に、樹脂塗料７２は、摩擦性，耐久
性等のよい材料を選ぶことにより、摺動部材を取り付け
るのと同等の効果が得られる。しかも、塗布するのみで
あるから、大幅なコストダウンが図れる。

【００３７】（変形形態）以上説明した実施形態に限定
されることなく、種々の変形や変更が可能であって、そ
れらも本発明の均等の範囲内である。 （１） 突起，溝，段差，穴形状等の取付構造は、主
に、駆動力取付部側にある例で説明したが、逆に、摺動
材側に設けてもよい。 （２） また、電気機械変換素子を圧電セラミックスを
例に説明したが、電気エネルギーを機械的な変位に変換
するものであるならば、例えば、電歪素子，磁歪素子
等、その他のものでもよい。

【００３８】

【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、加工が容易であり、電気機械変換素子などに損傷
を与え、振動子の振動特性を変化又は低下させることは
ない。また、摺動部の取付位置の位置決めなどが不要で
あり、組立が容易である。さらに、取付構造が強固であ
り、駆動中に摺動部が離脱することもない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による振動アクチュエータの第１実施形
態を示す全体図である。

【図２】第１実施形態による振動アクチュエータの振動
子４０Ａを示す平面図，側面図及び裏面図

【図３】第１実施形態による振動アクチュエータの摺動
部６０を示す斜視図である。

【図４】図４（Ａ）は、第２実施形態による振動アクチ
ュエータの摺動部６０Ｂを示す斜視図、図４（Ｂ）は、
第３実施形態による振動アクチュエータの摺動部６０Ｃ
を示す斜視図である。

【図５】第４実施形態による振動アクチュエータの摺動
部６０Ｄを示す部分斜視図及び側面図である。

【図６】第５実施形態による振動アクチュエータの摺動
部６０Ｅを示す部分斜視図及び側面図である。

【図７】第６実施形態による振動アクチュエータの摺動
部６０Ｆを示す部分斜視図である。

【図８】第７実施形態による振動アクチュエータの摺動
部６０Ｇを示す部分斜視図である。

【図９】第８実施形態による振動アクチュエータの摺動
部６０Ｈを示す部分斜視図である。

【図１０】径方向対称伸び振動モードと非軸対称面内振
動モードとを利用した振動アクチュエータの振動子の従
来例を示す図である。

【図１１】従来例による径方向対称伸び振動モードと非
軸対称面内振動モードとを利用した振動アクチュエータ
の摺動部の取付構造を示す図である。

【符号の説明】

１０，４０ 振動子 ２０ 振動アクチュエータ ３０ 相対運動部材 ６０Ａ〜６０Ｈ 摺動部 ６１〜６６ 摺動部材 ７１ 接着剤 ７２ 樹脂塗料

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡崎 光宏 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 株 式会社ニコン内 (72)発明者 藤澤 晴彦 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 株 式会社ニコン内 Ｆターム(参考） 5H680 AA00 AA08 BB13 CC02 DD01 DD15 DD23 DD27 DD30 DD53 DD55 DD59 DD67 DD73 DD87 DD92 DD95 EE10 FF03 FF05 FF08 FF17 FF21 FF23 FF25 FF33 GG02

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 放射方向に伸縮する径方向対称伸び振動
   モードと、同一面内で非軸対称に屈曲する非軸対称面内
   振動モードとを同時に発生する振動子を用いた振動アク
   チュエータにおいて、 前記振動子は、円環状薄板をした電気機械変換素子の単
   体、又は、円環状薄板の電気機械変換素子と弾性体とを
   積層した積層構造であり、その外周の一部に駆動力を取
   り出す駆動力取出部が存在し、 前記駆動力取出部側、及び／又は、前記駆動力取出部に
   取り付けられる摺動部側に設けられ、前記振動子の双方
   又は一方の面内振動方向に延在する側面にある接着部を
   用いて、前記摺動部を取り付ける取付構造を備えるこ
   と、を特徴とする振動アクチュエータ。
2. 【請求項２】 放射方向に伸縮する径方向対称伸び振動
   モードと、同一面内で非軸対称に屈曲する非軸対称面内
   振動モードとを同時に発生する振動子を用いた振動アク
   チュエータにおいて、 前記振動子は、円環状薄板をした電気機械変換素子の単
   体、又は、円環状薄板の電気機械変換素子と弾性体とを
   積層した積層構造であり、その外周の一部に駆動力を取
   り出す駆動力取出部が存在し、 前記駆動力取出部側、及び／又は、前記駆動力取出部に
   取り付けられる摺動部側に設けられ、前記弾性体の一部
   を加工した加工部に係合して、前記摺動部を取り付ける
   取付構造を備えること、を特徴とする振動アクチュエー
   タ。
3. 【請求項３】 放射方向に伸縮する径方向対称伸び振動
   モードと、同一面内で非軸対称に屈曲する非軸対称面内
   振動モードとを同時に発生する振動子を用いた振動アク
   チュエータにおいて、 前記振動子は、円環状薄板をした電気機械変換素子の単
   体、又は、円環状薄板の電気機械変換素子と弾性体とを
   積層した積層構造であり、その外周の一部に駆動力を取
   り出す駆動力取出部が存在し、 前記駆動力取出部側、及び／又は、前記駆動力取出部に
   取り付けられる前記摺動部側に設けられ、前記振動子を
   両側面からクランプして、前記摺動部を取り付ける取付
   構造を備えることを特徴とする振動アクチュエータ。
4. 【請求項４】 請求項１から請求項３までのいずれか１
   項に記載された振動アクチュエータにおいて、 前記取付構造は、突起部，溝部，段差部又は穴部の少な
   くとも１つの構造を含むことを特徴とする振動アクチュ
   エータ。
5. 【請求項５】 請求項１から請求項４までのいずれか１
   項に記載された振動アクチュエータにおいて、 前記取付構造は、前記摺動部の取付位置を位置決めする
   構造を含むことを特徴とする振動アクチュエータ。
6. 【請求項６】 放射方向に伸縮する径方向対称伸び振動
   モードと、同一面内で非軸対称に屈曲する非軸対称面内
   振動モードとを同時に発生する振動子を用いた振動アク
   チュエータにおいて、 前記振動子は、円環状薄板の電気機械変換素子と弾性体
   とを積層した積層構造であり、その外周の一部に駆動力
   を取り出す駆動力取出部が存在し、 前記弾性体に突起形状を設け、それ自体を摺動部とする
   ことを特徴とする振動アクチュエータ。
7. 【請求項７】 放射方向に伸縮する径方向対称伸び振動
   モードと、同一面内で非軸対称に屈曲する非軸対称面内
   振動モードとを同時に発生する振動子を用いた振動アク
   チュエータにおいて、 前記振動子は、円環状薄板をした電気機械変換素子の単
   体、又は、円環状薄板の電気機械変換素子と弾性体とを
   積層した積層構造であり、その外周の一部に駆動力を取
   り出す駆動力取出部が存在し、 前記駆動力取出部に樹脂製塗料を塗布して、摺動部とす
   ることを特徴とする振動アクチュエータ。