JP4479030B2

JP4479030B2 - 振動アクチュエータ

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Publication number: JP4479030B2
Application number: JP34964199A
Authority: JP
Inventors: 光宏岡崎
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1999-12-09
Filing date: 1999-12-09
Publication date: 2010-06-09
Anticipated expiration: 2019-12-09
Also published as: JP2001169573A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一方の方向から見たときの振動子の外形形状が円形またはほぼ円形であり、その振動子の周縁で相対移動部材に運動エネルギーを伝達する振動アクチュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の振動アクチュエータは、中心から外周方向に向かって伸びる（放射方向に伸縮する）径方向対称伸び振動モードと、同一面内で非軸対称に屈曲する非軸対称面内振動モードとを同時に発生するドーナツ板状の振動子を用いた構造のものがある。この振動アクチュエータは例えば、「（Ｒ，１）−（（１，１））モード圧電円環利用超音波リニアモータの特性改善（高野、富川；第１２回強誘電体応用会議講演予稿集Ｐ．７９−８０）」、「新版超音波モータ（上羽、富川著；トリケップス、Ｐ．２２−２３，Ｐ．６７−６８）」や特公平６−２６９９４号等に開示されており、薄型構造に適し、高速、高推力等の特徴を備えるものである。
【０００３】
その一例を図７に示す。図７は、従来の振動アクチュエータの概略正面図である。そして、図７（ａ）は、振動アクチュエータが理想的に相対移動部材７３と接触している状態を振動アクチュエータの振動方向とは垂直な方向で見たときの図である。振動アクチュエータは、図７（ａ）に示すようにドーナツ板状の振動子７１の周縁の一部を多少削り落とし、振動子７１と相対的に移動する相対移動部材７３を圧接させて、相対移動部材７３と振動子７１との接触をスムーズにしている。なお、このとき振動子７１と相対移動部材７３との間には、摺動部材７２が設けられ、振動子７１の削り落とした部分に固定されている。
【０００４】
そして、振動子７１に設けられた電極７１２ａ、７１２ｂと図示されていない裏面側の電極との間に位相の異なる交流電圧を印加し、振動子７１の摺動部材７２が設けられた部分に楕円運動を有する振動を発生させることで、相対移動部材７３が振動子７１に対して相対的に移動する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、振動子の取付誤差又は移動子の取付誤差が生じるため、図７（ａ）に示したようには摺動部材の摺動面と移動子の接触面とが密着しない場合がある。この状態における一例を図７（ｂ）に示した。外形形状が円形状の振動子を固定するときに、取付誤差により図７（ｂ）に示すような姿勢で固定されてしまうことがある。
【０００６】
図７（ｂ）の様に摺動部材の全面が相対移動部材に密着しないと、その摺動部材のエッジ部分と相対移動部材が接触してしまう。このようなエッジ部分には摺動部材の成形時や振動子を削り落とした時に生じるバリなどが存在することがあり、そのバリにより振動子に生じる振動エネルギーを相対移動部材に確実に伝えられず、駆動性能が低くなってしまう。また、他にも摺動部材のエッジ部先端はその曲率が極めて小さいので、相対移動部材との接触点での接触圧が高くなり、相対移動部材の接触面を傷つけてしまうおそれもある。
【０００７】
したがって、本発明では、円環型の振動子と相対移動部材との取付誤差が生じても振動子に生じている振動エネルギーを効率よく相対移動部材に伝達できる振動アクチュエータを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するために、本発明では、一方の方向から見たときの外形形状が円形またはほぼ円形である立体形状の振動子と、前記振動子の振動エネルギーが前記振動子の周縁面で伝達され、前記振動子に対して相対的に移動する相対移動部材と、前記振動子と前記相対移動部材との間に設けられ、前記相対移動部材と接する側が凸曲面形状である摺動部材と、前記振動子の円形またはほぼ円形である前記外形形状を囲む面に沿って移動可能に設けられ、前記振動子の前記外形形状の中心部分を支持する可動部材と、前記可動部材と嵌合する面を有するガイド部材と、前記外形形状を囲む面に沿って設けられ、一端側が前記ガイド部材と接し他端側が前記可動部材と接して前記可動部材に付勢することにより、前記摺動部材を前記相対移動部材に付勢する付勢部材とを備えたこととした。この様に、摺動部材も凸曲面形状にすることで、振動子に取付誤差が生じたとしても、摺動部材と相対移動部材との接触状態はさほど変わらず、接触状態の変化を小さくすることができる。
【０００９】
また、更に本発明では、振動子が放射方向に伸縮する径方向対称伸び振動モードと、同一面内で非軸対称に屈曲する非軸対称面内振動モードとを同時に発生する振動子であることとした。この様に２つの異なる振動モードを同時に発生することで、摺動部材が取り付けられた部分に楕円運動が形成される。この楕円運動の一部を相対移動部材に摺動部材を介して伝達することで、振動子の厚さが薄くかつ推力の大きなアクチュエータを得ることができる。
【００１０】
また、更に本発明では、相対部材の移動方向から見たときの摺動部材の相対移動部材との接触面の輪郭が、凸の曲線で形成された輪郭であることとした。この様にすることで、図５（ｂ）に示した面内とは直交した面内における取付誤差が生じても、摺動部材と相対移動部材との接触状態がさほど変わらず、接触状態の変化を小さくすることができる。
【００１１】
また、更に本発明では、摺動部材をセラミックスからなることとした。この様にセラミックスを用いることで、摺動部材の耐摩耗性を向上させることができ、駆動時間により変化する摺動部材の形状変化を小さくすることができる。したがって、駆動後に何らかの影響で振動子と相対移動部材との取付角度に変化が生じたとしても、摺動部材はほぼ振動子の外形形状と同じ円形（円弧形状）を有しているので、接触状態の変化が小さく、取付角度の変化による駆動能力の低下を防ぐことができる。
【００１２】
また、更に本発明では、摺動部材を、金属又は樹脂材料から形成することとした。この様に金属や樹脂材料を摺動部材として用いれば、この様な摺動部材は変形しやすいので、振動子に取り付ける前に高い精度で摺動部材を振動子と同じ円弧形状にしなくてもよく、振動子の周縁面にならしながら、摺動部材を取り付けることで、摺動部材の摺動面を凸曲面形状にすることができる。この様に摺動部材の加工取付が非常に容易になる。
【００１３】
次に、本発明の実施の形態を用いて本発明を更に詳しく説明するものとする。しかしながら、本発明はこれに限られるものではない。
【００１４】
【発明の実施の形態】
（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態おける振動アクチュエータの概略構成図を図１に示す。本第１の実施の形態における振動アクチュエータは、振動子１の中心軸を支持体４に固定し、バネ４６によって、振動子１を摺動部材２を介して相対移動部材３に付勢した構成を有している。そして、振動子１の電極１２ａ、１２ｂと図１で示した面とは反対側の面にある図示されていない電極との間で、それぞれ交流電圧を印加して、振動子１を励振させることで、相対移動部材３と振動子１とを相対的に移動することができる。
【００１５】
ところで、振動子１は、図２に示す構成を有している。図２は、径方向対称伸び振動モードと非軸対称面内振動モードとを利用した振動アクチュエータの振動子１を示す図である。
振動子１は、圧電素子１１と、電極１２および摺動部材２とを備えている。圧電素子１１は、ＰＺＴなどの圧電材料を、一部を除いてほぼドーナツ形状に成形し、全面を板厚方向に分極したものである。そして、ドーナツ形状を有していない一部分については、摺動部材２を備えていて、圧電素子１１と摺動部材２とを組み合わせた時にドーナツ形状を有するようになっている。
【００１６】
この振動子１の形状は、径方向対称伸び振動モード（Ｒ、１）と非軸対称面内振動モード（（１，１））との共振周波数がほぼ等しくなるように設計、製造されている。
圧電素子１１は、表面には、図２（Ａ）に示すように扇形の第１、第２電極１２ａ、１２ｂが形成されており、裏面には、図２（Ｂ）に示すようにほぼ全面に第３の電極１２ｃが形成されている。
【００１７】
振動子１は、図示されていない発振器、移相器、増幅器等を含む駆動電圧発生回路によって、第１の電極１２ａには、第１の交流電圧が印加される。また、第２の電極１２ｂには、第１の交流電圧とは電気的に位相が（π／２）だけ異なる第２の交流電圧が印加される。裏面の第３の電極１２ｃは、ＧＮＤ電位に接続される。
【００１８】
この振動子１は、交流電圧の周波数を２つの振動モードの共振周波数に近づけることによって、２つのモードで共振し、径方向対称伸び振動と、非軸対称面内振動とが同時に発生する。
径方向対称伸び振動（Ｒ，１）は、図２（Ｃ）に示すように、Ａ点を節とした放射方向（径方向）に対称な伸縮振動であり、伸びた場合の振動子１の形状を点線で示している。Ｃ１，Ｃ２点では、径方向の成分Ｕｒの変位が現れる。
【００１９】
また、非軸対称面内振動（（１，１））は、図２（Ｄ）に示すように、Ｂ１，Ｂ２点を節として、破線で示すように、同一面内で潰れる（ひしゃげる）ような歪みを発生させて、左右に繰り返す屈曲振動であり、円周上のＣ１，Ｃ２点では、矢印方向の変位成分Ｕθをもつ。
そして、振動子１は、Ｃ１，Ｃ２点（駆動力取出部）の位置に、２つの振動が合成された変位として、図２（Ａ）に示すような楕円運動が発生する。この楕円運動のうちＵθの変位成分を利用して、相対移動部材３を振動子１に対して相対的に移動することができる。
【００２０】
ところで、振動子１の固定には、図１に示した支持体４を用いている。この支持体４の詳細な構成は、図３に示した。図３（Ａ）は振動アクチュエータの支持体４を表す上面図であり、図３（Ｂ）はその支持体４の前面図である。それぞれの図は、振動アクチュエータ１を取りはずした時の形状を示している。
ところで、図１に示すように振動子１はネジ５により、図３に示した支柱４１に軸支されている。そして、振動子１は、可動ブロック４２に設けられた台座４３の上に載置され、振動子１の厚さよりやや低い高さを有し、かつ振動子１の内径とほぼ同じ径とを有する支柱部４１にネジ５で固定されている。ネジ５はフランジ６を介して振動子１を内径上部円周部で固定しているため、ガタの発生がなく、かつ振動を阻害せずに振動子１を固定することができる。
【００２１】
図３（Ｂ）に図示されているように、可動ブロック４２はベース４４上に設置されている。そして、可動ブロック４２とベース４４は、振動子１の非軸対称面内振動モードの振動面と直交する方向に積層されている。
また、図３（Ａ）を参照して説明すると、可動ブロック４２は、嵌合面４５ａ，４５ｂおよび嵌合面４５ｃ，４５ｄの両面で決められる所定の方向に沿って移動可能に設けられている。そして、バネ４６は一端をガイド４５に固定し、他端を可動ブロック４２に押しつけているため、可動ブロック４２に固定された振動子１は、バネ４６の付勢力によって相対移動部材３へ付勢されている。このため、振動子１に設けられた摺動部材２と相対移動部材３が付勢力を与えられながら接触するため、振動子１を励振することによって発生する運動エネルギーを効率よく相対移動部材３に伝えることができる。
【００２２】
また、バネ４６の伸縮方向が、嵌合面４５ａ，４５ｂおよび嵌合面４５ｃ，４５ｄの両面とほぼ平行に設置されているため、片当たりせずに滑らかに付勢することができる。さらに、バネ４６は駆動点（摺動部材２と相対移動部材３の接点）に近い位置で付勢しているので、付勢方向がずれた場合も損失を低く押さえることができる。つまり、バネ４６の付勢力にバラツキがあっても影響を受け難くなっている。
【００２３】
ところで、相対移動部材３は、ベース４４から突起した形状を有するリニアガイド７によって、ベース４４の上面とリニアガイド７のガイド面に沿って移動自在に支持されている。
本第１の実施の形態では、バネ４６は振動子１の振動する面内とは異なる位置に設けたが振動する面と同一面内に設けることもできる。
【００２４】
この様に固定された振動子１と移動可能に支持された相対移動部材３は、振動子１に設けられた第１，第２の電極１２ａ，１２ｂに、位相の異なる第１，第２の交流電圧が印加されると、摺動部材２を設けた位置で楕円運動が発生する。このとき、相対移動部材３は、摺動部材２に加圧接触しているので、摺動部材２の摺動面と相対移動部材３との間には、相対移動部材３の移動方向に摩擦力が発生し、相対移動部材３の直進駆動力を得ることができる。
【００２５】
なお、振動子１に設けられた電極１２ａ、１２ｂに印加する第１，第２の交流電圧の位相差を、π／２から−π／２に変更すると、直進方向を反転させることができる。また、駆動周波数を振動子の共振周波数に近づけたり、遠ざけたりすることによって、直進動作の速度の増減をすることができる。この速度の増減は、交流電圧の電圧を増減することによっても可能である。
【００２６】
ところで、本発明の第１の実施の形態に用いた振動子１に取り付けられた摺動部材２は、その摺動面が相対移動部材３に対して凸曲面形状になるようにした。特に第１の実施の形態では図１に示すように、振動子１が振動する面に対して垂直な方向から見たときに、摺動部材２の形状の一部が円弧形状となるようにしている。
【００２７】
この様に摺動部材２を凸型の曲面形状にすることで、振動子１の取付角度に誤差が生じたとしても、理想的な取付角度で取り付けられている状態と同じ程度の摺動部材２と相対移動部材３との接触状態が得られる。
このことを図４を用いて説明する。図４は、振動子１と相対移動部材３のみを図示し、振動子１と相対移動部材３とが理想的な取付角度で取り付けられた場合の状態を図４（Ａ）に示し、振動子１と相対移動部材３との間における取り付け角度に誤差が生じた場合の状態を図４（Ｂ）に示した。図４（Ａ）と図４（Ｂ）とを見比べてみるとわかるように、相対移動部材３と摺動部材２との接触状態はほぼ変わらないことがわかる。
【００２８】
したがって、取付誤差による振動アクチュエータの駆動性能の低下は従来の形状の摺動部材を用いた場合よりも大きくならない。また、摺動部材２のエッジ部も相対移動部材３に接触することがないので、摺動部材２のエッジ部に存在するバリの影響も相対移動部材３に与えることはない。
ところで、摺動部材２に適用する材料としては、本第１の実施の形態では、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）、ジルコニア（ＺｒＯ₂）、窒化珪素（Ｓｉ₃Ｎ₄）、炭化珪素（ＳｉＣ）からなるセラミックスを使用した。また、相対移動部材３としては、直線の角棒の形状をしたアルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）、ジルコニア（ＺｒＯ₂）、窒化珪素（Ｓｉ₃Ｎ₄）、炭化珪素（ＳｉＣ）からなるセラミックスを使用した。この様に摺動部材２をセラミックスにすることで耐摩耗性が向上でき、長時間、本振動アクチュエータを使用しても、摺動部材２の摩耗量は小さい。そのため、長時間使用後、振動子１の相対移動部材３に対する取付角度が変化してしまっても、摺動部材２と相対移動部材３との接触状態の変化は小さいので、本振動アクチュエータの駆動性能の低下を極力抑えることができる。
【００２９】
なお、本第１の実施の形態では、圧電素子１１を構成する部分と摺動部材２を構成する部分とを一体的して、図１に示すドーナツ形状を有する振動子１を用いている。このような振動子１を形成する方法としては、次の様な行程で製造することができる。
まず、最初に、ＰＺＴなどの圧電材料の原料をドーナツ形状を有する金型に封入し、かつ摺動部材２を形成する部分に摺動部材２を構成するセラミック材料の原料を封入する。そして、金型に封入されたＰＺＴなどの圧電材料と、摺動部材２を構成するセラミックス材料を一緒に焼結することで、圧電素子１１を構成する部分と摺動部材２を構成する部分とを一括に製造したドーナツ形状を有する振動子１を得ることができる。
【００３０】
ところで、本第１の実施の形態である振動アクチュエータのように、摺動部材２の摺動面の形状が、振動子１が振動する面に対して垂直な方向から見て、円弧形状を有しているだけでもその効果が十分期待できるが、更に、相対移動部材の移動方向から見て、その摺動部材２の摺動面が凸曲面形状を有していても良い。特に、振動子１の取付角度が振動方向に対して垂直な方向に誤差が生じる場合、更にその特有の効果が期待できる。
【００３１】
このことを図５を用いて説明する。図５は、振動子１に設けられた摺動部材２と相対移動部材３とが接触する部分を、図１から眺めた方向に対して、垂直な方向から拡大して見たときの図であり、図５（ａ）は、上述の方向から眺めた場合に、摺動部材２の摺動面が直線的である摺動部材２を用いた場合を示した図であり、図５（ｂ）は、上述の方向から眺めた場合に、摺動部材２の摺動面が相対移動部材３に対して凸の曲面を有する摺動部材２を用いた場合を示した図である。
【００３２】
例えば、振動子１の振動方向に対して、垂直な方向に取付角度に誤差が生じてしまう場合、摺動部材２の摺動面が図５（ａ）に示すように直線的であると、摺動部材２の角が相対移動部材３に接触してしまう。そうなると、前述のように、摺動部材２のエッジ部先端では曲率半径が極めて小さいので、相対移動部材３との接触圧が高くなり、相対移動部材３を傷つけやすくなる。また、摺動部材２のエッジ部に存在するバリなどが介在して、相対移動部材３に十分な運動エネルギーが伝達できずに駆動性能が悪くなるおそれがある。
【００３３】
しかし、図５（ｂ）に示すように振動子１の振動方向に垂直な方向において、摺動部材２の面が凸の曲面を有する場合には、例えば、取付角度に誤差が生じたとしても、摺動部材２と相対移動部材３との接触状態の変化を小さくできる。したがって、取付誤差による振動アクチュエータの性能の低下を極力低減することができる。
【００３４】
（第２の実施の形態）
次に、図６を用いて第２の実施の形態における振動アクチュエータについて説明する。
なお、第１の実施の形態における振動アクチュエータと同じ構成を有する部分についてのその説明は省略する。
【００３５】
ところで、第２の実施の形態における振動アクチュエータは、圧電素子１１’の形状が完全なドーナツ形状を有している点と摺動部材が異なるだけである。第２の実施の形態に用いた摺動部材２１は、図６に示した。図６（ａ）は、圧電素子１１’の側面に摺動部材２１を接着する前の状態を示したものであり、図６（ｂ）は、圧電素子１１’の側面に摺動部材２１を接着した後の形態を示したものである。この摺動部材２１は、変形可能な金属板又は樹脂シートからなる。この金属板又は樹脂シートは均一な厚さを有し、圧電素子１１’に接着する際に、振動子１の側面形状と同じ曲率を有するように変形させる。なお、本第２の実施の形態で用いた摺動部材２１は、振動子１の外形を１０ｍｍとし、厚さ３０μｍから１００μｍのりん青銅板を用いた。また、他にも同形状の圧電素子１１’に厚さ２００μｍの炭素繊維を含有したＰＥＥＫ樹脂シートを用いた。どちらも優れた駆動性能が得られた。
【００３６】
また、本第２の実施の形態でも、摺動部材２１が曲面を有しているため、移動子に対して取り付け角度誤差が生じていても、振動アクチュエータの性能の低下を小さく抑えることができた。
ところで、本第１の実施の形態でも第２の実施の形態でも同様に言えることだが、多くの振動アクチュエータを用いる製品に対して、使用する振動アクチュエータの駆動性能を揃えなければならないような場合、それぞれの振動子１を支持体４に固定する際に、取付位置にバラツキが生じてしまう。しかし、本発明を用いれば、取付角度にバラツキが生じていても駆動性能のバラツキが小さくできる。希望通りの振動アクチュエータを用いた製品を提供することができる。更に、本発明を用いれば、取付誤差の許容範囲を大きくできるので、振動アクチュエータ製造における歩留まりを向上することができる。
【００３７】
ところで、本発明は、上述の各実施の形態に説明したものだけに限られない。例えば、相対移動部材として、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）、ジルコニア（ＺｒＯ₂）、窒化珪素（Ｓｉ₃Ｎ₄）、炭化珪素（ＳｉＣ）を用いたが、これだけに限られない。他にも、相対移動部材の摺動部材が接触する表面が、摺動部材に用いた材料よりも高い硬度を有していれば良い。その例としては、熱処理して硬度をあげたマルテンサイト系ステンレス、又はＳ４５ＣやＳＫ３等の鉄鋼材料に無電解ニッケルりんめっき処理を施したものを使用しても構わない。なお、無電解ニッケルりんめっき処理を施したものに更に熱処理をして硬度を上げると更に好ましい。また、摺動部材に樹脂を用いる場合は、更に相対移動部材の摺動面に使用可能な材料が増え、ＳＵＳ３０４等のオーステナイト系ステンレス又はアルマイト処理をしたアルミニウムやりん青銅でも良い。
【００３８】
また、振動子１においても、本発明の実施の形態で用いた径方向対称伸び振動モードと非軸対称面内振動モードとを利用した振動アクチュエータだけに限られず、振動子の側面形状が曲面を有し、その側面に相対移動部材を接触させて、推力を取り出す振動アクチュエータであれば良い。例えば、円柱状の振動子を有したものでも良い。また、更に同じモードでも構造の異なる振動アクチュエータにも適用できることは言うまでもない。たとえば、ドーナツ形状を有する中間電極の両面にドーナツ形状を有する圧電素子が固定され、更に圧電素子の中間電極が接触していない面に２分割の電極を設けた振動子であっても構わない。
【００３９】
【発明の効果】
上述の様に、本発明では、摺動部材を円弧形状にすることにより、振動子または相対移動部材との取付誤差による性能低下を低減でき、かつ相対移動部材に取付誤差が生じることによる悪影響を無くすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】：本発明の第１の実施の形態における振動アクチュエータの概略構成図である。
【図２】：本発明の第１の実施の形態における振動子１の概略構成と振動状態を示した図である。
【図３】：本発明の第１の実施の形態における支持部４の概略構成図である。
【図４】：本発明の第１の実施の形態における振動アクチュエータの特徴を示す図である。
【図５】：本発明の第１の実施の形態における振動アクチュエータの摺動部材２と相対移動部材３の接触部分を、相対移動部材３の移動方向から眺めたときの状態図である。
【図６】：本発明の第２の実施の形態における振動アクチュエータの振動子１の概略構成を示す図である。
【図７】：従来の振動アクチュエータの概略構成を示す図である。
【符号の説明】
１・・・振動子
１１、１１’・・・圧電素子
１２・・・電極
２、２１・・・摺動部材
３・・・相対移動部材
４・・・支持体
４１・・・支柱
４２・・・可動ブロック４２
４３・・・台座
４４・・・ベース
４５・・・ガイド
４６・・・バネ
５・・・ネジ
６・・・フランジ
７・・・リニアガイド

Claims

一方の方向から見たときの外形形状が円形またはほぼ円形である立体形状の振動子と、
前記振動子の振動エネルギーが前記振動子の周縁面で伝達され、前記振動子に対して相対的に移動する相対移動部材と、
前記振動子と前記相対移動部材との間に設けられ、前記相対移動部材と接する側が凸曲面形状である摺動部材と、
前記振動子の円形またはほぼ円形である前記外形形状を囲む面に沿って移動可能に設けられ、前記振動子の前記外形形状の中心部分を支持する可動部材と、
前記可動部材と嵌合する面を有するガイド部材と、
前記外形形状を囲む面に沿って設けられ、一端側が前記ガイド部材と接し他端側が前記可動部材と接して前記可動部材に付勢することにより、前記摺動部材を前記相対移動部材に付勢する付勢部材と
を備えたことを特徴とする振動アクチュエータ。
前記振動子は、放射方向に伸縮する径方向対称伸び振動モードと、同一面内で非軸対称に屈曲する非軸対称面内振動モードとを同時に発生する振動子であることを特徴とする請求項１に記載の振動アクチュエータ。
前記相対移動部材の移動方向から見たときの前記摺動部材の前記相対移動部材との接触面の輪郭は、凸の曲線であることを特徴とする請求項１又は２に記載の振動アクチュエータ。
前記摺動部材は、セラミックスからなることを特徴とする請求項１又は２又は３に記載の振動アクチュエータ。
前記摺動部材は、金属からなることを特徴とする請求項１又は２又は３に記載の振動アクチュエータ。
前記摺動部材は、樹脂材料からなることを特徴とする請求項１又は２又は３に記載の振動アクチュエータ。