JP2001068344A - 可変インダクタンス素子 - Google Patents
可変インダクタンス素子Info
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P3/00—Waveguides; Transmission lines of the waveguide type
- H01P3/02—Waveguides; Transmission lines of the waveguide type with two longitudinal conductors
- H01P3/08—Microstrips; Strip lines
- H01P3/088—Stacked transmission lines
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
-
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- H01F21/00—Variable inductances or transformers of the signal type
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- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/04—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
- H01F41/041—Printed circuit coils
- H01F41/045—Trimming
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/4902—Electromagnet, transformer or inductor
Abstract
(57)【要約】
【課題】 Q値が高く、かつ、インダクタンス値を効率
良く確実に微調整することができる可変インダクタンス
素子を提供する。 【解決手段】 絶縁性基板1の上面にインダクタパター
ン4が形成されている。インダクタパターン4は、V字
形枠部4aと、このV字形枠部4aの二つの腕部41,
42に橋渡されてインダクタンス値を調整するためにト
リミングされる複数本の横桟4bとで構成された梯子状
電極である。複数本の横桟4bは、略等しい間隔を有し
て配置されている。V字形枠部4aの二つの腕部41,
42は、横桟4bに対して略45度の角度を有してい
る。
良く確実に微調整することができる可変インダクタンス
素子を提供する。 【解決手段】 絶縁性基板1の上面にインダクタパター
ン4が形成されている。インダクタパターン4は、V字
形枠部4aと、このV字形枠部4aの二つの腕部41,
42に橋渡されてインダクタンス値を調整するためにト
リミングされる複数本の横桟4bとで構成された梯子状
電極である。複数本の横桟4bは、略等しい間隔を有し
て配置されている。V字形枠部4aの二つの腕部41,
42は、横桟4bに対して略45度の角度を有してい
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、可変インダクタン
ス素子、特に、携帯電話などの移動体通信機器等に使用
される可変インダクタンス素子に関する。
ス素子、特に、携帯電話などの移動体通信機器等に使用
される可変インダクタンス素子に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、小型化が著しい携帯電話などの移
動体通信機器にあっては、それに使用される電子部品に
対しても厳しい小型化が要求されている。また、これら
移動体通信機器は使用する周波数が高くなるにつれて回
路も複雑になり、実装される電子部品に対してもその定
数が狭偏差で精度の高いものが要求されている。
動体通信機器にあっては、それに使用される電子部品に
対しても厳しい小型化が要求されている。また、これら
移動体通信機器は使用する周波数が高くなるにつれて回
路も複雑になり、実装される電子部品に対してもその定
数が狭偏差で精度の高いものが要求されている。
【0003】しかしながら、個々の電子部品として定数
が狭偏差で精度の高いものを使用して回路を構成したと
しても、実装される電子部品個々の定数の偏差が集積さ
れ、所望の機能を発揮できないものも生じる。そこで、
回路を構成する電子部品のうちの必要なものの定数を可
変とし、その電子部品が有している定数を微調整するこ
とにより、回路が所望の機能を発揮できるようにしてい
る。
が狭偏差で精度の高いものを使用して回路を構成したと
しても、実装される電子部品個々の定数の偏差が集積さ
れ、所望の機能を発揮できないものも生じる。そこで、
回路を構成する電子部品のうちの必要なものの定数を可
変とし、その電子部品が有している定数を微調整するこ
とにより、回路が所望の機能を発揮できるようにしてい
る。
【0004】従来より、この種の電子部品のトリミング
方法としては、例えば図4に示すような可変インダクタ
ンス素子のトリミング方法が一般に周知である。可変イ
ンダクタンス素子55は、絶縁性基板50の表面に、外
部電極51,52にそれぞれ接続されてインダクタとし
て機能するトリミングエリア53を形成してなるもので
ある。図示しないレーザトリミング機から発射されるレ
ーザ光をトリミングエリア53に照射しつつ直線的に移
動させ、トリミングエリア53をレーザ光の移動軌跡に
応じて部分的に除去して直線状のトリミング溝54を形
成する。これにより、トリミングエリア53の面積が変
化し、トリミングエリア53のインダクタンス値が微調
整される。
方法としては、例えば図4に示すような可変インダクタ
ンス素子のトリミング方法が一般に周知である。可変イ
ンダクタンス素子55は、絶縁性基板50の表面に、外
部電極51,52にそれぞれ接続されてインダクタとし
て機能するトリミングエリア53を形成してなるもので
ある。図示しないレーザトリミング機から発射されるレ
ーザ光をトリミングエリア53に照射しつつ直線的に移
動させ、トリミングエリア53をレーザ光の移動軌跡に
応じて部分的に除去して直線状のトリミング溝54を形
成する。これにより、トリミングエリア53の面積が変
化し、トリミングエリア53のインダクタンス値が微調
整される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の可変
インダクタンス素子55は、トリミングエリア53の面
積が狭いと、インダクタンス値の可変範囲が狭くなって
回路の微調整ができなくなるので、トリミングエリア5
3の面積を大きくしている。しかしながら、高精度のレ
ーザトリミング機を使用した場合、一回のトリミングで
形成されるトリミング溝54の溝幅(トリミング幅)は
一般に細い。このため、トリミング幅を大きく取る必要
があるときには、照射位置を平行移動させながらレーザ
光の照射を繰り返さなければならず、微調整に時間がか
かるという問題があった。
インダクタンス素子55は、トリミングエリア53の面
積が狭いと、インダクタンス値の可変範囲が狭くなって
回路の微調整ができなくなるので、トリミングエリア5
3の面積を大きくしている。しかしながら、高精度のレ
ーザトリミング機を使用した場合、一回のトリミングで
形成されるトリミング溝54の溝幅(トリミング幅)は
一般に細い。このため、トリミング幅を大きく取る必要
があるときには、照射位置を平行移動させながらレーザ
光の照射を繰り返さなければならず、微調整に時間がか
かるという問題があった。
【0006】そこで、図5に示す可変インダクタンス素
子65が提案されている。該可変インダクタンス素子6
5は、絶縁性基板50の表面に、外部電極51,52に
それぞれ接続されているインダクタパターン61を形成
してなるものである。インダクタパターン61は、U字
形枠部61aと、このU字形枠部の二つの腕部に橋渡さ
れてインダクタンス値を調整するためにトリミングされ
る複数本の横桟61bとで構成された梯子状電極であ
る。そして、この可変インダクタンス素子65をプリン
ト基板等に実装した後、レーザ光を可変インダクタンス
素子65の上面側から照射してインダクタンス素子65
にトリミング溝54を形成するとともにインダクタパタ
ーン61の横桟61bを順に一本ずつ切断する。これに
より、外部電極51と52との間のインダクタンス値を
段階的に変化させることができる。
子65が提案されている。該可変インダクタンス素子6
5は、絶縁性基板50の表面に、外部電極51,52に
それぞれ接続されているインダクタパターン61を形成
してなるものである。インダクタパターン61は、U字
形枠部61aと、このU字形枠部の二つの腕部に橋渡さ
れてインダクタンス値を調整するためにトリミングされ
る複数本の横桟61bとで構成された梯子状電極であ
る。そして、この可変インダクタンス素子65をプリン
ト基板等に実装した後、レーザ光を可変インダクタンス
素子65の上面側から照射してインダクタンス素子65
にトリミング溝54を形成するとともにインダクタパタ
ーン61の横桟61bを順に一本ずつ切断する。これに
より、外部電極51と52との間のインダクタンス値を
段階的に変化させることができる。
【0007】このインダクタンス素子65は、横桟61
bが比較的広い間隔で等間隔に配置されているので、横
桟61bの切断加工性が良い。しかし、横桟61bの長
さが全て等しいため、横桟61bを1本切断する毎に変
化するインダクタンス値の変化量が大きくなる。このた
め、インダクタンス素子65は、インダクタンス値を等
間隔で変化させることができず、インダクタンス値の微
調整が困難であるという問題があった。
bが比較的広い間隔で等間隔に配置されているので、横
桟61bの切断加工性が良い。しかし、横桟61bの長
さが全て等しいため、横桟61bを1本切断する毎に変
化するインダクタンス値の変化量が大きくなる。このた
め、インダクタンス素子65は、インダクタンス値を等
間隔で変化させることができず、インダクタンス値の微
調整が困難であるという問題があった。
【0008】そこで、この問題を解消するために、図6
に示す可変インダクタンス素子75が提案されている。
該可変インダクタンス素子75は、U字形枠部71a
と、このU字形枠部の二つの腕部に橋渡された複数本の
横桟71bとで構成されたインダクタパターン71を有
している。横桟71b相互の間隔が除々に狭くなるよう
に配置されているため、横桟71bを1本切断する毎に
変化するインダクタンス値の変化量は略一定の値を確保
できる。しかし、このインダクタンス素子75は、切断
する横桟71bの数が増えるにつれて、横桟71bの間
隔が狭くなり、隣接する横桟71bを誤って切断してし
まう可能性が高くなり、インダクタンス値の調整が困難
になるという問題があった。
に示す可変インダクタンス素子75が提案されている。
該可変インダクタンス素子75は、U字形枠部71a
と、このU字形枠部の二つの腕部に橋渡された複数本の
横桟71bとで構成されたインダクタパターン71を有
している。横桟71b相互の間隔が除々に狭くなるよう
に配置されているため、横桟71bを1本切断する毎に
変化するインダクタンス値の変化量は略一定の値を確保
できる。しかし、このインダクタンス素子75は、切断
する横桟71bの数が増えるにつれて、横桟71bの間
隔が狭くなり、隣接する横桟71bを誤って切断してし
まう可能性が高くなり、インダクタンス値の調整が困難
になるという問題があった。
【0009】そこで、本発明の目的は、Q値が高く、か
つ、インダクタンス値を効率良く確実に微調整すること
ができる可変インダクタンス素子を提供することにあ
る。
つ、インダクタンス値を効率良く確実に微調整すること
ができる可変インダクタンス素子を提供することにあ
る。
【0010】
【課題を解決するための手段及び作用】前記目的を達成
するため、本発明に係るインダクタンス素子は、(a)
絶縁性基板と、(b)前記絶縁性基板の表面に設けられ
たインダクタパターンとを備え、(c)前記インダクタ
パターンが、略V字形枠部と、該略V字形枠部の二つの
腕部に橋渡されてインダクタンス値を調整するためにト
リミングされる複数本の横桟とで構成された梯子状電極
であり、前記複数本の横桟が略等しい間隔を有して配置
されていること、を特徴とする。
するため、本発明に係るインダクタンス素子は、(a)
絶縁性基板と、(b)前記絶縁性基板の表面に設けられ
たインダクタパターンとを備え、(c)前記インダクタ
パターンが、略V字形枠部と、該略V字形枠部の二つの
腕部に橋渡されてインダクタンス値を調整するためにト
リミングされる複数本の横桟とで構成された梯子状電極
であり、前記複数本の横桟が略等しい間隔を有して配置
されていること、を特徴とする。
【0011】以上の構成により、横桟の各々の長さは略
V字形枠部の二つの腕部間の距離が漸減するにつれて順
次短くなり、横桟の各々のインダクタンス値も順次減少
する。これにより、横桟が長い方から順次切断される
と、可変インダクタンス素子のインダクタンス値の急激
な増加が抑えられる。
V字形枠部の二つの腕部間の距離が漸減するにつれて順
次短くなり、横桟の各々のインダクタンス値も順次減少
する。これにより、横桟が長い方から順次切断される
と、可変インダクタンス素子のインダクタンス値の急激
な増加が抑えられる。
【0012】そして、略V字形枠部の二つの腕部を、横
桟に対して略45度の角度に設定することにより、二つ
の腕部にそれぞれ発生する磁界が直交して相互干渉が殆
ど起きない。
桟に対して略45度の角度に設定することにより、二つ
の腕部にそれぞれ発生する磁界が直交して相互干渉が殆
ど起きない。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る可変インダク
タンス素子の実施形態について、添付図面を参照して説
明する。
タンス素子の実施形態について、添付図面を参照して説
明する。
【0014】図1に示すように、絶縁性基板1の上面を
平滑な面になるように研磨した後、厚膜印刷法、あるい
はフォトリソグラフィ等の薄膜形成法によりインダクタ
パターン4を絶縁性基板1の上面に形成する。厚膜印刷
法は、例えば所望のパターン形状を有した開口を備えた
マスキング材を絶縁性基板1の上面に被せた後、導電性
ペーストをマスキング材の上から塗布し、マスキング材
の開口から露出した絶縁性基板1の上面に、比較的膜厚
の厚い所望のパターン形状の導電体(本実施形態の場
合、インダクタパターン4)を形成する方法である。
平滑な面になるように研磨した後、厚膜印刷法、あるい
はフォトリソグラフィ等の薄膜形成法によりインダクタ
パターン4を絶縁性基板1の上面に形成する。厚膜印刷
法は、例えば所望のパターン形状を有した開口を備えた
マスキング材を絶縁性基板1の上面に被せた後、導電性
ペーストをマスキング材の上から塗布し、マスキング材
の開口から露出した絶縁性基板1の上面に、比較的膜厚
の厚い所望のパターン形状の導電体(本実施形態の場
合、インダクタパターン4)を形成する方法である。
【0015】また、フォトリソグラフィ法は、例えば以
下に説明する方法である。絶縁性基板1の上面の略全面
に比較的膜厚の薄い導電性膜を形成した後、レジスト膜
(例えば感光性樹脂膜等)をスピンコート又は印刷によ
り導電性膜の略全体に形成する。次に、レジスト膜の上
面に所定の画像パターンが形成されたマスクフィルムを
被せ、紫外線等を照射する等の方法により、レジスト膜
の所望の部分を硬化させる。次に、硬化した部分を残し
てレジスト膜を剥した後、露出した部分の導電性膜を除
去し、所望のパターン形状の導電体を形成する。この
後、硬化したレジスト膜を除去する。
下に説明する方法である。絶縁性基板1の上面の略全面
に比較的膜厚の薄い導電性膜を形成した後、レジスト膜
(例えば感光性樹脂膜等)をスピンコート又は印刷によ
り導電性膜の略全体に形成する。次に、レジスト膜の上
面に所定の画像パターンが形成されたマスクフィルムを
被せ、紫外線等を照射する等の方法により、レジスト膜
の所望の部分を硬化させる。次に、硬化した部分を残し
てレジスト膜を剥した後、露出した部分の導電性膜を除
去し、所望のパターン形状の導電体を形成する。この
後、硬化したレジスト膜を除去する。
【0016】さらに、別のフォトリソグラフィ法とし
て、絶縁性基板1の上面に感光性導電ペーストを塗布
し、その後、所定の画像パターンが形成されたマスクフ
ィルムを被せて露光し、現像する方法でもよい。
て、絶縁性基板1の上面に感光性導電ペーストを塗布
し、その後、所定の画像パターンが形成されたマスクフ
ィルムを被せて露光し、現像する方法でもよい。
【0017】インダクタパターン4は、略V字形枠部4
aと、このV字形枠部4aの二つの腕部41,42に橋
渡された複数本の横桟4bとで構成された梯子状電極で
ある。横桟4bは比較的広い間隔で略等しい間隔を有し
て配置され、V字形枠部4aの二つの腕部41,42の
接続部側に向かって徐々にその長さが短くなっている。
インダクタパターン4の一方の端部5aは絶縁性基板1
の左辺の奥寄りに引き出され、他方の端部5bは絶縁性
基板1の右辺の奥寄りに引き出されている。絶縁性基板
1の材料としては、ガラス、ガラスセラミックス、アル
ミナ、フェライト等が使用される。インダクタパターン
4の材料としては、Ag,Ag−Pd,Cu,Au,N
i,Al等が使用される。
aと、このV字形枠部4aの二つの腕部41,42に橋
渡された複数本の横桟4bとで構成された梯子状電極で
ある。横桟4bは比較的広い間隔で略等しい間隔を有し
て配置され、V字形枠部4aの二つの腕部41,42の
接続部側に向かって徐々にその長さが短くなっている。
インダクタパターン4の一方の端部5aは絶縁性基板1
の左辺の奥寄りに引き出され、他方の端部5bは絶縁性
基板1の右辺の奥寄りに引き出されている。絶縁性基板
1の材料としては、ガラス、ガラスセラミックス、アル
ミナ、フェライト等が使用される。インダクタパターン
4の材料としては、Ag,Ag−Pd,Cu,Au,N
i,Al等が使用される。
【0018】さらに、必要に応じて、液状の絶縁性材料
(ポリイミド等)を絶縁性基板1の上面側全面にスピン
コート又は印刷等により塗布、乾燥して、インダクタパ
ターン4を被覆する絶縁保護膜を形成する。
(ポリイミド等)を絶縁性基板1の上面側全面にスピン
コート又は印刷等により塗布、乾燥して、インダクタパ
ターン4を被覆する絶縁保護膜を形成する。
【0019】次に、絶縁性基板1の長手方向の左右の端
部に入出力外部電極6,7を設ける。入出力外部電極6
はインダクタパターン4の端部5aに電気的に接続し、
入出力外部電極7はインダクタパターン4の端部5bに
電気的に接続している。入出力外部電極6,7は、A
g,Ag−Pd,Cu,Ni,NiCr,NiCu等の
導電性ペーストを塗布、焼付けたり、乾式めっきや湿式
めっきしたり、また、それらを組み合わせることによっ
て形成される。
部に入出力外部電極6,7を設ける。入出力外部電極6
はインダクタパターン4の端部5aに電気的に接続し、
入出力外部電極7はインダクタパターン4の端部5bに
電気的に接続している。入出力外部電極6,7は、A
g,Ag−Pd,Cu,Ni,NiCr,NiCu等の
導電性ペーストを塗布、焼付けたり、乾式めっきや湿式
めっきしたり、また、それらを組み合わせることによっ
て形成される。
【0020】こうして得られた可変インダクタンス素子
9を、プリント基板等に実装した後、インダクタパター
ン4をトリミングする。すなわち、図2に示すように、
レーザビームを移動させつつ可変インダクタンス素子9
の上面側から照射して、可変インダクタンス素子9にト
リミング溝10を形成するとともに、インダクタパター
ン4の横桟4bを長い方から順に一本ずつ切断する(図
2は3本の横桟4bが切断されている状態を示してい
る)。これにより、外部電極6と7との間のインダクタ
ンス値を僅かづつ段階的に変化させることができる。切
断する横桟4bの数が増えるにつれて、腕部41−横桟
4b−腕部42を流れる電流の経路が長くなるので、外
部電極6と7との間のインダクタンス値は増加する。他
方、横桟4bの長さは、二つの腕部41,42の接続部
側に向かって徐々に短くなっている。従って、レーザビ
ームにより横桟を順次切断して微調整する際、インダク
タンス素子9のインダクタンス値の急激な変化を抑える
ことができる。
9を、プリント基板等に実装した後、インダクタパター
ン4をトリミングする。すなわち、図2に示すように、
レーザビームを移動させつつ可変インダクタンス素子9
の上面側から照射して、可変インダクタンス素子9にト
リミング溝10を形成するとともに、インダクタパター
ン4の横桟4bを長い方から順に一本ずつ切断する(図
2は3本の横桟4bが切断されている状態を示してい
る)。これにより、外部電極6と7との間のインダクタ
ンス値を僅かづつ段階的に変化させることができる。切
断する横桟4bの数が増えるにつれて、腕部41−横桟
4b−腕部42を流れる電流の経路が長くなるので、外
部電極6と7との間のインダクタンス値は増加する。他
方、横桟4bの長さは、二つの腕部41,42の接続部
側に向かって徐々に短くなっている。従って、レーザビ
ームにより横桟を順次切断して微調整する際、インダク
タンス素子9のインダクタンス値の急激な変化を抑える
ことができる。
【0021】因みに、トリミング初期値からのトリミン
グ距離に対するインダクタンス値は、3.2mm×1.
6mmサイズの図5の従来の可変インダクタンス素子6
5では、図3において実線h1で示すようにトリミング
距離が大きくなる程、急激にインダクタンス値の変化が
大きくなる。これに対し、前記と同じ寸法の本実施形態
の可変インダクタンス素子9では、図3において実線h
2で示すように直線的に変化しており、インダクタンス
値の急激な変化が抑えられていることが分かる。
グ距離に対するインダクタンス値は、3.2mm×1.
6mmサイズの図5の従来の可変インダクタンス素子6
5では、図3において実線h1で示すようにトリミング
距離が大きくなる程、急激にインダクタンス値の変化が
大きくなる。これに対し、前記と同じ寸法の本実施形態
の可変インダクタンス素子9では、図3において実線h
2で示すように直線的に変化しており、インダクタンス
値の急激な変化が抑えられていることが分かる。
【0022】また、横桟4bは比較的広い間隔で等間隔
に形成されているので、トリミングをする際に隣接する
横桟4bを誤って切断する心配がなく、容易にトリミン
グを行なうことができる。
に形成されているので、トリミングをする際に隣接する
横桟4bを誤って切断する心配がなく、容易にトリミン
グを行なうことができる。
【0023】さらに、V字形枠部4aの二つの腕部4
1,42でそれぞれ発生する磁界は互いに干渉し難く、
Q値の高い可変インダクタンス素子9を得ることができ
る。本実施形態では、V字形枠部4aの二つの腕部4
1,42と横桟4bとのなす角θを略45度に設定して
いる。これにより、二つの腕部41,42が互いに直交
し、二つの腕部41,42にそれぞれ発生する磁界の干
渉が最小となり、さらに高いQ値を有する可変インダク
タンス素子9を得ることができる。例えば、3.2mm
×1.6mmサイズの可変インダクタンス素子9の場
合、Q値は100以上となった。
1,42でそれぞれ発生する磁界は互いに干渉し難く、
Q値の高い可変インダクタンス素子9を得ることができ
る。本実施形態では、V字形枠部4aの二つの腕部4
1,42と横桟4bとのなす角θを略45度に設定して
いる。これにより、二つの腕部41,42が互いに直交
し、二つの腕部41,42にそれぞれ発生する磁界の干
渉が最小となり、さらに高いQ値を有する可変インダク
タンス素子9を得ることができる。例えば、3.2mm
×1.6mmサイズの可変インダクタンス素子9の場
合、Q値は100以上となった。
【0024】また、V字形枠部4aの二つの腕部41,
42の拡がり角を大きくすることにより、インダクタン
ス値の可変範囲を大きくすることができる。例えば、
3.2mm×1.6mmサイズの可変インダクタンス素
子の場合、図4に示した従来のインダクタンス素子55
は、0.2nH程度の範囲でしか調整できない。これに
対して、図1に示したインダクタンス素子9は、調整範
囲が約1.5nH(約7.5倍)となった。
42の拡がり角を大きくすることにより、インダクタン
ス値の可変範囲を大きくすることができる。例えば、
3.2mm×1.6mmサイズの可変インダクタンス素
子の場合、図4に示した従来のインダクタンス素子55
は、0.2nH程度の範囲でしか調整できない。これに
対して、図1に示したインダクタンス素子9は、調整範
囲が約1.5nH(約7.5倍)となった。
【0025】さらに、インダクタパターン4のトリミン
グはレーザビームに限らず、サンドブラスト等いかなる
手段で行ってもよく、また、トリミング溝10は必ずし
も形成される必要はなく、インダクタパターン4が電気
的に切断されれば、トリミング溝10は物理的に存在し
ていなくともよい。
グはレーザビームに限らず、サンドブラスト等いかなる
手段で行ってもよく、また、トリミング溝10は必ずし
も形成される必要はなく、インダクタパターン4が電気
的に切断されれば、トリミング溝10は物理的に存在し
ていなくともよい。
【0026】なお、本発明に係る可変インダクタンス素
子は前記実施形態に限定するものではなく、その要旨の
範囲内で種々に変更することができる。特に、前記実施
形態は個産の場合を例にして説明しているが、量産する
場合には、複数の可変インダクタンス素子を備えたマザ
ー基板(ウエハ)の状態で製造し、最終工程でダイシン
グ、スクライブブレイク、レーザ等の工法により製品サ
イズ毎に切り出す方法が効果的である。
子は前記実施形態に限定するものではなく、その要旨の
範囲内で種々に変更することができる。特に、前記実施
形態は個産の場合を例にして説明しているが、量産する
場合には、複数の可変インダクタンス素子を備えたマザ
ー基板(ウエハ)の状態で製造し、最終工程でダイシン
グ、スクライブブレイク、レーザ等の工法により製品サ
イズ毎に切り出す方法が効果的である。
【0027】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明によれば、横桟の各々の長さは略V字形枠部の二つの
腕部間の距離が漸減するにつれて順次短くなり、横桟の
各々のインダクタンス値も順次減少する。これにより、
横桟が長い方から順次切断されると、可変インダクタン
ス素子のインダクタンス値の急激な増加を抑えることが
できる。さらに、略V字形枠部の二つの腕部でそれぞれ
発生する磁界が互いに干渉し難く、Q値の高い可変イン
ダクタンス素子を得ることができる。そして、略V字形
枠部の二つの腕部を、横桟に対して略45度の角度に設
定することにより、二つの腕部にそれぞれ発生する磁界
の干渉が最小となり、さらに高いQ値を有する可変イン
ダクタンス素子を得ることができる。また、横桟が比較
的広い間隔で等間隔に配置されているので、レーザトリ
ミング機で横桟をトリミングする際に、隣接する横桟を
誤って切断することがなく、簡単かつ確実にトリミング
作業を行うことができる。
明によれば、横桟の各々の長さは略V字形枠部の二つの
腕部間の距離が漸減するにつれて順次短くなり、横桟の
各々のインダクタンス値も順次減少する。これにより、
横桟が長い方から順次切断されると、可変インダクタン
ス素子のインダクタンス値の急激な増加を抑えることが
できる。さらに、略V字形枠部の二つの腕部でそれぞれ
発生する磁界が互いに干渉し難く、Q値の高い可変イン
ダクタンス素子を得ることができる。そして、略V字形
枠部の二つの腕部を、横桟に対して略45度の角度に設
定することにより、二つの腕部にそれぞれ発生する磁界
の干渉が最小となり、さらに高いQ値を有する可変イン
ダクタンス素子を得ることができる。また、横桟が比較
的広い間隔で等間隔に配置されているので、レーザトリ
ミング機で横桟をトリミングする際に、隣接する横桟を
誤って切断することがなく、簡単かつ確実にトリミング
作業を行うことができる。
【図1】本発明に係る可変インダクタンス素子の一実施
形態の外観を示す斜視図。
形態の外観を示す斜視図。
【図2】図1に示した可変インダクタンス素子のインダ
クタンス調整方法を説明するための平面図。
クタンス調整方法を説明するための平面図。
【図3】図1に示した可変インダクタンス素子のトリミ
ング距離に対するインダクタンス値の変化を示すグラ
フ。
ング距離に対するインダクタンス値の変化を示すグラ
フ。
【図4】従来の可変インダクタンス素子の斜視図。
【図5】従来のいま一つの可変インダクタンス素子の斜
視図。
視図。
【図6】従来のいま一つの可変インダクタンス素子の斜
視図。
視図。
1…絶縁性基板 4…インダクタパターン 4a…略V字形枠部 4b…横桟 9…可変インダクタンス素子 10…トリミング溝 41,42…腕部
Claims (2)
- 【請求項1】 絶縁性基板と、 前記絶縁性基板の表面に設けられたインダクタパターン
とを備え、 前記インダクタパターンが、略V字形枠部と、該略V字
形枠部の二つの腕部に橋渡されてインダクタンス値を調
整するためにトリミングされる複数本の横桟とで構成さ
れた梯子状電極であり、前記複数本の横桟が略等しい間
隔を有して配置されていること、 を特徴とする可変インダクタンス素子。 - 【請求項2】 前記略V字形枠部の二つの腕部が、前記
横桟に対して略45度の角度を有していることを特徴と
する請求項1に記載の可変インダクタンス素子。
Priority Applications (8)
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EP00402350A EP1079458B1 (en) | 1999-08-25 | 2000-08-24 | Variable inductance element |
DE60037780T DE60037780T2 (de) | 1999-08-25 | 2000-08-24 | Variables induktives Element |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100818266B1 (ko) * | 2002-09-13 | 2008-03-31 | 삼성전자주식회사 | 고주파 집적회로에 사용되는 인덕터 |
JP2011066076A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Alps Electric Co Ltd | プリントインダクタおよびその製造方法ならびに電圧制御発振器 |
JP2013503501A (ja) * | 2009-08-31 | 2013-01-31 | クゥアルコム・インコーポレイテッド | 切り替え可能インダクタネットワーク |
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JP2001291615A (ja) * | 2000-04-06 | 2001-10-19 | Murata Mfg Co Ltd | 3端子型可変インダクタンス素子 |
FR2823903A1 (fr) * | 2001-04-20 | 2002-10-25 | St Microelectronics Sa | Enroulement inductif integre haute frequence |
CA2408045A1 (en) * | 2001-10-16 | 2003-04-16 | Audio Products International Corp. | Loudspeaker with large displacement motional feedback |
US7355574B1 (en) * | 2007-01-24 | 2008-04-08 | Eastman Kodak Company | OLED display with aging and efficiency compensation |
US7808357B2 (en) * | 2008-09-10 | 2010-10-05 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Dual inductance structure |
DE102008043242A1 (de) * | 2008-10-28 | 2010-04-29 | Robert Bosch Gmbh | Planare Multiband-Antennenstruktur |
EP2256859A1 (en) * | 2009-05-12 | 2010-12-01 | ST-Ericsson SA | Antenna arrangement, method for tuning an antenna arrangement and apparatus with antenna arrangement |
US8638114B2 (en) | 2009-12-08 | 2014-01-28 | Qualcomm Incorporated | Transformer within wafer test probe |
US10763782B1 (en) * | 2020-01-29 | 2020-09-01 | Nxp Usa, Inc. | Tunable inductors |
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JP2725439B2 (ja) * | 1990-05-17 | 1998-03-11 | 株式会社 村田製作所 | 電子部品の周波数調整方法 |
JPH04352305A (ja) * | 1991-05-29 | 1992-12-07 | Murata Mfg Co Ltd | 三層構造スパイラルインダクタのインダクタンスの調整方法 |
JPH05267061A (ja) | 1992-03-19 | 1993-10-15 | Towa Electron Kk | チップインダクタ及び該チップインダクタを含む電子部品ユニット |
JPH0681124A (ja) | 1992-09-02 | 1994-03-22 | Mitsubishi Materials Corp | 表面被覆材 |
JP2590686B2 (ja) * | 1993-07-01 | 1997-03-12 | 日本電気株式会社 | 混成集積回路 |
US6329715B1 (en) * | 1996-09-20 | 2001-12-11 | Tdk Corporation | Passive electronic parts, IC parts, and wafer |
US6194248B1 (en) * | 1997-09-02 | 2001-02-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Chip electronic part |
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- 1999-08-25 JP JP23845299A patent/JP3267276B2/ja not_active Expired - Fee Related
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- 2000-08-23 MY MYPI20003887 patent/MY123703A/en unknown
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- 2000-08-25 US US09/648,161 patent/US6404319B1/en not_active Expired - Fee Related
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JP2013503501A (ja) * | 2009-08-31 | 2013-01-31 | クゥアルコム・インコーポレイテッド | 切り替え可能インダクタネットワーク |
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