JP2001060614A - 半導体製造装置及び半導体デバイス製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 緊急停止後のメンテナンスの容易性を向上さ
せ、更にはブレーキング手段のメンテナンス回数を低減
させることが可能な半導体製造装置及び半導体デバイス
製造方法を提供する。 【解決手段】 主電源から供給される電力により稼働す
る半導体製造装置において、緊急スイッチを入れた際
に、主電源の遮断の前に該主電源からの電力で駆動物の
制動を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置の
安全、主に装置の緊急停止（ＥＭＯ）を行なうための緊
急停止スイッチに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年生産効率のアップを目的として、半
導体製造装置の大型化、大工場化が進んできている。ま
た装置の稼働率アップを目指し、半導体製造装置の稼働
時間の割合も増えてきている。このような状況により、
半導体製造装置の運転速度も速くなり、これに付随する
安全機能も複雑になってきている。

【０００３】近年、各種安全規格、安全規則等により装
置の電源を装置給電入力部から切断する緊急停止スイッ
チ（エマージェンシーオフスイッチ（ＥＭＯスイッ
チ））を取りつけた装置が多くなってきた。

【０００４】しかし、装置の大型化、複雑化に伴い電源
を装置給電入力部から切断する方法においては、例えば
慣性の大きなステージを高速運転中、緊急停止スイッチ
により駆動用電源および制御系の電気を同時切断した場
合、ステージの慣性運動により、制御系が動作しない無
制御状態で動作し、構造物との干渉およびオペレーター
やサービスマンといった作業者への危険が増大するよう
な状態も想定される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】すなわち、 １）慣性の大きいステージの制御において、単純に駆動
電源を切断するだけでは、慣性により動きが停止するこ
となくステージが動作し続け、オペレーターおよびサー
ビスマンへの危険が発生する可能性がある。 ２）サービスマンおよびオペレータに危険がおよばない
までも、ウエハステージ等、慣性のある駆動物の電源お
よび制御部の電源を同時に切断することにより、無制御
状態に陥り、装置の破損あるいは故障が発生し、このた
め緊急停止スイッチを動作させた後に、装置修復に時間
がかかる。

【０００６】そこで、従来の装置では、例えば緊急停止
スイッチと機械的ブレーキを連動させて停止させる方法
等を使用し、その他の安全対策も施すことで充分な配慮
を行ってきた。しかしながら、スイッチとブレーキを連
動させる方法では、停止後危険解除のために人手で駆動
物を動かそうとしても、ブレーキがかかっているため動
かすことは不可能であり、といって動かすためにメンテ
ナンスが終了する前に再度電源を投入するわけにはいか
ず、メンテナンスに手間と時間がかかってしまう。

【０００７】本発明の目的は、上述の従来例に鑑み、緊
急停止後のメンテナンスの容易性を向上させ、更にはブ
レーキング手段のメンテナンス回数を低減させることが
可能な半導体製造装置及び半導体デバイス製造方法を提
供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
め、本発明の半導体製造装置は、主電源から供給される
電力により稼動し、電気駆動システムが含まれる装置本
体と、緊急停止スイッチと、前記緊急停止スイッチが入
れられた場合に前記主電源からの電力の遮断を行なう電
源遮断器と、前記緊急停止スイッチが入れられた場合
に、前記電源遮断器による電力の遮断前に前記電気駆動
システムの制動制御を行ない、前記主電源から供給され
る電力で制動を実行する制動機構とを有する。前記制動
機構は、前記電気駆動システムによる駆動の速度制御及
び／または駆動物の位置制御を行なうことが好ましい。
前記制動機構は、前記駆動物を駆動するモータを電気的
に制御して前記駆動物を停止させることが好ましい。前
記制動機構は、機械的ブレーキングにより前記電気駆動
システムを停止させることが好ましい。

【０００９】前記緊急停止スイッチは、前記制動機構を
作動するための第１段スイッチと、前記電源遮断機を作
動するための第２段スイッチと、該第１段スイッチ及び
第２段スイッチと連動するボタンとを有することが好ま
しい。

【００１０】前記ボタンが押された場合、前記第１段ス
イッチが前記制動機構を作動させた後、前記第２段スイ
ッチが前記電源遮断機を作動させることが好ましい。前
記第１段スイッチは接触検知センサを有し、前記第２段
スイッチは機械的接点を有するスイッチであることが好
ましい。

【００１１】前記電気駆動システムは、半導体デバイス
製造用の基板を搭載して移動するステージを含むことが
好ましい。また、上述の目的を達成するため、本発明の
半導体デバイスの製造方法は、半導体デバイス製造用の
基板を用意する工程と、以下〜 主電源から供給される電力により稼動し、電気駆動シ
ステムが含まれる装置本体、 緊急停止スイッチ、 前記緊急停止スイッチが入れられた場合に前記主電源
からの電力の遮断を行なう電源遮断器、 前記緊急停止スイッチが入れられた場合に、前記電源
遮断器による電力の遮断前に前記電気駆動システムの制
動制御を行ない、前記主電源から供給される電力で制動
を実行する制動機構、を有する露光装置を用いて前記基
板にパターン焼付露光処理する工程と、前記パターン焼
付露光が行なわれた基板を現像処理し、該現像処理され
た基板に回路パターンを形成する工程とからなる。

【００１２】また、上述の目的を達成するため、本発明
の半導体製造装置は、主電源から供給される電力により
稼動し、電気駆動システムが含まれる装置本体と、緊急
停止スイッチと、前記緊急停止スイッチが入れられた場
合に前記主電源からの電力の遮断を行なう電源遮断器
と、前記緊急停止スイッチが入れられた場合に、前記電
源遮断器による電力の遮断前に前記電気駆動システムの
制動制御を行ない、前記主電源からの電力が前記電源遮
断手段によって遮断された時点で制動を解除する制動機
構とを有する。前記制動機構は、前記駆動物を駆動する
モータを電気的に制御して前記駆動物を停止させること
が好ましい。前記制動機構は、機械的ブレーキングによ
り前記電気駆動システムを停止させることが好ましい。

【００１３】前記緊急停止スイッチは、前記制動機構を
作動するための第１段スイッチと、前記電源遮断機を作
動するための第２段スイッチと、該第１段スイッチ及び
第２段スイッチと連動するボタンとを有することが好ま
しい。

【００１４】前記ボタンが押された場合、前記第１段ス
イッチが前記制動機構を作動させた後、前記第２段スイ
ッチが前記電源遮断機を作動させることが好ましい。前
記第１段スイッチは接触検知センサを有し、前記第２段
スイッチは機械的接点を有するスイッチであることが好
ましい。

【００１５】前記電気駆動システムは、半導体デバイス
製造用の基板を搭載して移動するステージを含むことが
好ましい。また、上述の目的を達成するため、本発明の
半導体デバイスの製造方法は、半導体デバイス製造用の
基板を用意する工程と、以下〜 主電源から供給される電力により稼動し、電気駆動シ
ステムが含まれる装置本体、 緊急停止スイッチ、 前記緊急停止スイッチが入れられた場合に前記主電源
からの電力の遮断を行なう電源遮断器、 前記緊急停止スイッチが入れられた場合に、前記電源
遮断器による電力の遮断前に前記電気駆動システムの制
動制御を行ない、前記主電源からの電力が前記電源遮断
手段によって遮断された時点で制動を解除する制動機
構、を有する露光装置を用いて前記基板にパターン焼付
露光処理する工程と、前記パターン焼付露光が行なわれ
た基板を現像処理し、該現像処理された基板に回路パタ
ーンを形成する工程とからなる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面を用
いて説明する。 ＜実施例１＞図１は、本発明の一実施例に係る半導体製
造装置を示す斜視図であり、１は緊急停止（ＥＭＯ）ス
イッチを示す。本実施例では、半導体製造装置として投
影露光装置に適用している。なお、投影露光装置は周知
のものを用いることができるので、その基本構成の説明
は省略する。

【００１７】図１に示すように、緊急停止（ＥＭＯ）ス
イッチ１は半導体製造装置の装置正面、またはメンテナ
ンス作業を行なう部分に取りつけられている。

【００１８】図２は図１の半導体製造装置に設けた緊急
停止（ＥＭＯ）スイッチの一個に注目し、内部接続関係
を示す図である。図２に示すように、本半導体製造装置
は二段構造の緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ１を持ち、こ
の緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ１の一段目の接点２は、
駆動物を動かすステージモータ６の制御部５に接続され
ている。

【００１９】緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ１の二段目の
接点３は、通常の緊急停止（ＥＭＯ）機能のためＥＭＯ
制御回路のＥＭＯ制御部に接続されている。ＥＭＯ制御
部はＥＭＯ制御を行なうための電源部１４、給電源１３
から半導体製造装置の電源部１１の電源切断を行なうた
めの電源オン／オフ接点１０を制御する電磁リレー９、
ＥＭＯ作動時ＥＭＯ状態を保持するための接点２１およ
びこの接点２１を制御するためのリレー８、ならびにＥ
ＭＯ状態をリセットするためのモーメンタリィタイプの
リセットスイッチ７から構成される。

【００２０】図２に示すように、半導体製造装置の初期
状態として、緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ１は押されて
いない状態、つまり、緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ１の
ステージ制御部５に接続された接点２は開状態、ＥＭＯ
動作を行なうための接点３は閉状態となっている。この
状態の半導体製造装置においては半導体製造装置を構成
している各ユニット１２等の電源切断を行なうための電
源オン／オフ接点１０は開状態、ＥＭＯ制御回路のＥＭ
Ｏ状態を保持するための接点２１は開状態、ＥＭＯ状態
をリセットするためのリセットスイッチ７も開状態とな
っている。

【００２１】本状態から半導体製造装置に電力を供給す
る場合、最初ＥＭＯ状態をリセットするためのリセット
スイッチ７を押し、リセットスイッチ７の接点を閉状態
にする。リセットスイッチ７の接点が閉状態になると、
ＥＭＯ制御を行なうための電源部１４により半導体製造
装置の電源切断を行なうための電源オン／オフ接点１０
を制御する電磁リレー９と接点２１を制御するＥＭＯ状
態を保持するためのリレー８に電流が流れ、電源オン／
オフ接点１０、ＥＭＯ状態を保持するための接点２１が
閉状態となり、装置駆動用電力が工場設備から接続端子
台１３を通して装置電源部１１へ給電される。

【００２２】装置電源１１において、交流２００Ｖを直
流２４Ｖと直流５Ｖに変換し、この変換された電力はス
テージ制御部５、ステージモータ６の駆動アンプ部４、
また装置内の他の制御部１２に給電され、装置は稼働状
態となり通常運転を行なうこととなる。

【００２３】次に緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ部の動作
について説明する。本実施例で使用する緊急停止（ＥＭ
Ｏ）スイッチ１は二段構造であり、かつ、緊急停止（Ｅ
ＭＯ）スイッチ１を押した場合、駆動物を動かすステー
ジモータ６の制御部５に接続されている一段目の接点２
が開状態から閉状態になるためのストロークと、緊急停
止（ＥＭＯ）機能のためＥＭＯ制御部に接続されている
二段目の接点３が閉状態から開状態になるためのストロ
ークが異なっている。

【００２４】図２および図３を用いて緊急停止（ＥＭ
Ｏ）スイッチ１を押した時の、各接点の関係とＥＭＯ動
作について説明する。図３は、図２で示した緊急停止
（ＥＭＯ）スイッチ部の緊急停止（ＥＭＯ）スイッチス
トロークと接点との関係を示す。図３Ａは、図２と同
様、接点２が開状態で、接点３が閉状態となっている状
態を示す。半導体製造装置内にて、ウエハを搭載するＸ
Ｙステージ等の駆動物が駆動され、この時緊急停止（Ｅ
ＭＯ）スイッチ１を押した場合、緊急停止（ＥＭＯ）ス
イッチ１は図３Ａの状態から図３Ｂの状態に変化する。
図３Ｂの状態においては、駆動物を動かすモータ６の制
御部５に接続されている接点２が閉状態、緊急停止（Ｅ
ＭＯ）制御部に接続されている接点３も閉状態となる。

【００２５】駆動物を動かすモータ６の制御部５に接続
されている接点２が閉状態となると、このステージ制御
部５の内部で、制御的に速度＝０の指令を発生し、アン
プ部４を通してモータ６を停止させる。この時、緊急停
止（ＥＭＯ）制御部に接続されている接点３は閉状態の
ままであるため、装置全体の電源は切断されることな
く、ステージ制御部５およびアンプ部４には電力が給電
され、ステージ制御部５はアンプ部４を通してモータ６
を制御し駆動物を効果的に停止させることが可能とな
る。

【００２６】さらに、緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ１を
押すと緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ１は図３Ｂの状態か
ら図３Ｃの状態に変化する。図３Ｃの状態においては、
駆動物を動かすモータ６の制御部５に接続されている接
点２が閉状態、緊急停止（ＥＭＯ）制御部に接続されて
いる接点３は開状態となる。

【００２７】緊急停止（ＥＭＯ）制御回路の接点３が開
状態となると、半導体製造装置の電源切断を行なうため
の電源オン／オフ接点１０を制御する電磁リレー９と、
ＥＭＯ状態を保持するための接点２１を制御するリレー
８への給電が停止する。電源オン／オフ接点１０用電磁
リレー９と緊急停止（ＥＭＯ）状態を保持するためのリ
レー８とへの給電が停止すると、電磁リレー９およびリ
レー８が制御する各接点１０および２１が開状態とな
る。この接点１０が開状態となると、装置電源部１１へ
の給電が停止し、装置電源部１１から出力される直流電
源も停止し、ステージ制御部５、モータ６のアンプ部
４、他の装置ユニット１２への給電も停止する。

【００２８】通常、駆動物を停止させる場合、速度＝０
の指令を出した後１００ミリ秒程度で停止状態となるた
め、緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ１が図３のＢ状態から
Ｃ状態になるまで、数百ミリ秒のタイムラグに相当する
ストロークがあれば十分である。

【００２９】緊急停止（ＥＭＯ）動作時、緊急停止（Ｅ
ＭＯ）状態を保持するためのリレー８で制御する接点２
１が開状態となり、緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ１に取
りつけられたスプリング等の弾性部材により緊急停止
（ＥＭＯ）スイッチ１が図３Ａの状態に復帰し、接点３
が閉状態となっても、電源切断を行なうための電源オン
／オフ接点１０用電磁リレー９と、ＥＭＯ動作時ＥＭＯ
状態を保持するためのリレー８には給電されず、緊急停
止（ＥＭＯ）状態を保持するためのリレー８の制御する
接点２１は開状態のままで、緊急停止（ＥＭＯ）状態の
リセットスイッチ７が閉状態になるまで緊急停止（ＥＭ
Ｏ）状態を保持する。

【００３０】この状態は上述の初期状態と同じのため、
この状態から半導体製造装置を復帰する場合、前述のご
とくリセットスイッチ７を閉状態にする事により復帰が
可能となる。

【００３１】＜実施例２＞次に、図４を用いて実施例２
について説明する。実施例２と実施例１の違いは、緊急
停止（ＥＭＯ）スイッチが機械的二段の接点から接触検
知の電力素子と機械的接点の組み合わせに変わった点で
ある。

【００３２】本実施例おいて、緊急停止（ＥＭＯ）スイ
ッチ１７は電気的な接触検知の接点１５と機械的接点１
６から構成されている。電気的な接触検知の接点１５
は、駆動物を動かすモータ６の制御部５に接続されてい
る。また、機械的な接点１６は通常の緊急停止（ＥＭ
Ｏ）機能のため、ＥＭＯ制御部に接続されている。

【００３３】図４に示すように、半導体製造装置の初期
状態として、緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ１７は押され
ていない状態、つまり、緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ１
７の、モータ６の制御を行なうための接触検知の接点１
５は開状態、緊急停止（ＥＭＯ）動作を行なうための機
械的な接点１６は閉状態となっている。この状態の半導
体製造装置においては、半導体製造装置を構成している
各ユニット１２等への電源切断を行なうための電源オン
／オフ接点１０は開状態、ＥＭＯ制御回路の緊急停止
（ＥＭＯ）状態を保持するための接点２１は開状態、緊
急停止（ＥＭＯ）状態をリセットするためのリセットス
イッチ７も開状態となっている。

【００３４】この状態から半導体製造装置に電力を供給
する場合、最初緊急停止（ＥＭＯ）状態をリセットする
ためのリセットスイッチ７を押し、この接点を閉状態に
する。リセットスイッチ７の接点が閉状態になると、緊
急停止（ＥＭＯ）制御を行なうための電源部１４により
半導体製造装置の電源切断を行なうための電源オン／オ
フ接点１０を制御する電磁リレー９と、緊急停止（ＥＭ
Ｏ）状態を保持するための接点２１を制御するリレー８
に電流が流れ、電源オン／オフ接点１０、ＥＭＯを保持
するための接点２１が閉状態となり、装置駆動用電力が
工場設備から接続端子台１３を通して装置電源１１へ給
電される。

【００３５】装置電源１１において、交流２００Ｖを直
流２４Ｖと直流５Ｖに変換し、この変換された電力は、
ステージ制御部５、ステージモータ６の駆動アンプ部
４、また装置内の他の制御部１２に給電され、装置は稼
働状態となり通常運転を行なうこととなる。

【００３６】次に緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ部の動作
について説明する。本実施例で使用する緊急停止（ＥＭ
Ｏ）スイッチ１７は、電気的な接触検知の接点１５と機
械的接点１６の組み合わせであり、かつ、緊急停止（Ｅ
ＭＯ）スイッチ１７に触れた場合駆動物を動かすモータ
６の制御部５に接続されている電気的な接触検知の接点
１５が、開状態から閉状態になり、更に緊急停止（ＥＭ
Ｏ）スイッチ１７を押し込んでいくと、緊急停止（ＥＭ
Ｏ）機能のため緊急停止（ＥＭＯ）制御部に接続されて
いる接点１６が閉状態から開状態になる。

【００３７】以下、緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ１７を
押した時の各接点の関係と緊急停止（ＥＭＯ）の動作に
ついて説明する。半導体製造装置内にてＸＹステージ等
の駆動物が駆動され、この時緊急停止（ＥＭＯ）スイッ
チ１７を押そうとした場合、緊急停止（ＥＭＯ）スイッ
チ１７に触れると、駆動物を動かすモータ６の制御部５
に接続されている電気的な接触検知の接点１５が閉状態
となり、緊急停止（ＥＭＯ）制御部に接続されている接
点１６も閉状態となる。電気的な接触検知の接点１５が
閉状態となると、ステージ制御部５の内部で、制御的に
速度＝０の指令を発生させ、アンプ部４を通してモータ
６を停止させる。この時、緊急停止（ＥＭＯ）制御部に
接続されている機械的な接点１６は閉状態のままである
ため、装置全体の電源は切断されることなく、ステージ
制御部５、アンプ部４には電力が給電され、ステージ制
御部５はアンプ部４を通してモータ６を制御し駆動物を
効果的に停止させることが可能である。

【００３８】さらに緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ１７を
押すと、電気的な接触検知の接点１５が閉状態、ＥＭＯ
制御回路に接続されている機械的な接点１６は開状態と
なる。機械的な接点１６が開状態となると緊急停止（Ｅ
ＭＯ）制御回路が動作し、半導体製造装置の電源切断を
行なうための電源オン／オフ接点１０を制御する電磁リ
レー９と、緊急停止（ＥＭＯ）状態を保持するための接
点２１を制御するリレー８とへの給電が停止し、これら
電磁リレー９およびリレー８が制御する各接点各１０お
よび２１が開状態となる。この接点１０が開状態となる
と装置電源部１１への給電が停止し、装置電源部１１か
ら出力される直流電源も停止し、ステージ制御部５、モ
ータ６のアンプ部４および装置の他のユニット部１２へ
の給電も停止する。

【００３９】緊急停止（ＥＭＯ）動作時は、リレー８で
制御する接点２１が開状態となる。このため、緊急停止
（ＥＭＯ）スイッチ１７が復帰し、機械的な接点１６が
閉状態となっても、電源切断を行なうための電源オン／
オフ接点１０用電磁リレー９と、緊急停止（ＥＭＯ）動
作時緊急停止（ＥＭＯ）状態を保持するためのリレー８
には給電されず、緊急停止（ＥＭＯ）状態を保持するた
めのリレー８の制御する接点２１は開状態のままであ
り、緊急停止（ＥＭＯ）状態のリセットスイッチ７が閉
状態となるまで緊急停止（ＥＭＯ）状態を保持する。こ
の状態は、上述の初期状態と同じため、この状態から半
導体製造装置を復帰する場合、上述のごとくリセットス
イッチ７を閉状態にすることにより復帰が可能となる。

【００４０】＜実施例３＞図５は本発明の実施例３に係
る半導体製造装置の緊急停止（ＥＭＯ）機能を説明する
図である。実施例３と実施例１の違いは、ステージを停
止させる方法の違いで、実施例３においては機械的なブ
レーキを使用している。図５に示すように、本例の半導
体製造装置は二段構造の緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ１
を持ち、本緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ１の一段目の接
点２は、駆動物を動かすモータ６の軸と同軸に取りつけ
られたブレーキ２０を制御するためのブレーキ制御部１
９に接続されている。ブレーキ２０は電圧をかけた場合
にのみ、摩擦力を使用してブレーキ状態を保持するタイ
プである。なお図５において、図１と同じ符号を用いた
ものは同じものを示す。図５に示すように、半導体製造
装置の初期状態として、緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ１
は押されてない状態、つまり緊急停止（ＥＭＯ）スイッ
チ１のブレーキ制御を行なう接点２は開状態、緊急停止
（ＥＭＯ）動作を行なうための接点３は閉状態となって
いる。緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ部１の詳細は、実施
例１と同様図３に示され、本状態を図３Ａで示してい
る。半導体製造装置においては電源オン／オフ接点１０
は開状態、緊急停止（ＥＭＯ）制御回路の緊急停止（Ｅ
ＭＯ）状態を保持するための接点２１は開状態、緊急停
止（ＥＭＯ）状態をリセットするためのリセットスイッ
チ７も開状態となっている。

【００４１】この状態から半導体製造装置に電力を供給
する場合、最初にリセットスイッチ７を押し、この接点
を閉状態にする。リセットスイッチ７の接点が閉状態に
なると電源部１４により、電源オン／オフ接点１０を制
御する電磁リレー９と、緊急停止（ＥＭＯ）状態を保持
するための接点２１を制御するリレー８に電流が流れ、
接点１０および接点２１が閉状態となり、装置駆動用電
力が工場設備から接続端子台１３を通して装置電源１１
へ給電される。

【００４２】装置電源１１において交流２００Ｖを直流
２４Ｖと直流５Ｖに変換し、この変換された電力はステ
ージ制御部１８、ステージモータ６の駆動アンプ部４、
装置内の他の制御部１２およびブレーキ制御部１９に給
電され、装置は稼働状態となり通常運転を行なう。

【００４３】本実施例で使用する緊急停止（ＥＭＯ）ス
イッチ１は二段構造であり、かつ、緊急停止（ＥＭＯ）
スイッチ１を押した場合、駆動物を動作させるモータ６
の軸と同軸に取りつけられたブレーキ２０の制御部１９
に接続されている一段目の接点２が開状態から閉状態に
なるためのストロークと、緊急停止（ＥＭＯ）機能のた
めＥＭＯ制御部に接続されている二段目の接点３が閉状
態から開状態になるためのストロークが異なっている。

【００４４】図３および図５を用いて、緊急停止（ＥＭ
Ｏ）スイッチを押した時の各接点の関係とＥＭＯ動作に
ついて説明する。半導体製造装置内で、ウエハを搭載す
るＸＹステージ等の駆動物が駆動され、この時緊急停止
（ＥＭＯ）スイッチ１を押した場合、緊急停止（ＥＭ
Ｏ）スイッチ１は図３Ａの状態から図３Ｂの状態に変化
する。図３Ｂの状態においては、駆動物を動かすモータ
６の軸と同軸に取りつけられたブレーキ２０の制御部１
９に接続されている接点２が閉状態、緊急停止（ＥＭ
Ｏ）制御部に接続されている接点３も閉状態となる。

【００４５】このブレーキ制御部１９に接続されている
接点２が閉状態になると、ブレーキ制御部１９の内部
で、ブレーキ２０に電圧を発生させ、ステージモータ６
をブレーキのかかった状態にする。この時緊急停止（Ｅ
ＭＯ）制御回路の接点３は閉状態のままであるので、装
置全体の電源が切断されることなく、ブレーキ制御部１
９には電力が給電され、ブレーキ２０を使用してモータ
６を効果的に停止させることが可能となる。

【００４６】さらに緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ１を押
すと、緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ１は図３Ｂの状態か
ら図３Ｃの状態に変化する。図３Ｃの状態においては、
ブレーキ制御部１９に接続されている接点２が閉状態、
緊急停止（ＥＭＯ）制御部に接続されている接点３は開
状態となる。この接点３が開状態となると緊急停止（Ｅ
ＭＯ）制御回路が動作し、電源オン／オフ接点１０を制
御する電磁リレー９と接点２１を制御するためのリレー
８への給電が停止する。電源オン／オフ接点１０用電磁
リレー９と緊急停止（ＥＭＯ）状態を保持するためのリ
レー８への給電が停止すると、それぞれのリレーで制御
する接点１０および２１が開状態となる。電源オン／オ
フ接点１０が開状態となると、装置電源部１１への給電
が停止し、装置電源部１１からの直流電源も停止し、ス
テージ制御部１８、モータ６のアンプ部４、装置の他の
ユニット部１２およびブレーキ制御部１９への給電も停
止する。また、同時に、ブレーキ２０も解除された状態
となる。

【００４７】緊急停止（ＥＭＯ）動作時、緊急停止（Ｅ
ＭＯ）状態を保持するためのリレー８の接点２１は開状
態となり、緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ１が復帰し、接
点３が閉状態となっても、電源オン／オフ接点１０用電
磁リレー９と緊急停止（ＥＭＯ）状態を保持するための
リレー８には給電されず、リレー８の制御する接点２１
は開状態のままであり、リセットスイッチ７が押されて
閉状態になるまで緊急停止（ＥＭＯ）状態を保持する。

【００４８】この状態は、上述の初期状態と同じため、
この状態から半導体製造装置を復帰する場合、上述のよ
うにリセットスイッチ７を閉状態にすることにより復帰
が可能となる。

【００４９】＜実施例４＞実施例１から実施例３におい
て、実施例１の構成と実施例３の構成は装置内で共有で
きる。実施例４はこの共有した実施例である。この場合
緊急停止（ＥＭＯ）スイッチに、一段目の接点とほぼ同
時に動作する接点をもう一段追加するか、または、駆動
物の停止のための接点を、ステージ制御部、ブレーキ制
御部のどちらかに入力させ、かつ、ステージ制御部、ブ
レーキ制御部を連動させることにより、モータ停止とブ
レーキ作動をほぼ同時に行なうことにより、さらに確実
にステージを停止させることが可能となる。

【００５０】＜実施例５＞図６は、実施例５として緊急
停止（ＥＭＯ）スイッチの接点状態を示した図である。
図６に示すように、本実施例は緊急停止（ＥＭＯ）スイ
ッチ１００をもち、この緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ１
００の一段目の動作において、駆動物を動作させるモー
タの制御部に接続されている接点１０１と、通常の緊急
停止（ＥＭＯ）機能のため、緊急停止（ＥＭＯ）制御部
に接続されている接点１０２はほぼ同時に動作する。駆
動部を動作するモータの制御部に接続されている接点１
０１の接続先１０４と、通常の緊急停止（ＥＭＯ）機能
のためＥＭＯ制御部に接続されている接点１０２の接続
先１０３は、上記の各実施例に示したモータ制御部ある
いはブレーキ制御部または緊急停止（ＥＭＯ）制御部に
接続されている。

【００５１】ステージの速度によるが、速度が遅い場合
ステージを停止させるため速度＝０の指令を出すと同時
に停止状態となるため、各接点が図６Ａに示される１０
１および１０２の状態から同時に図６Ｂに示される１０
１’および１０２’の状態になっても十分機能する。

【００５２】［半導体デバイス生産方法の実施例］次に
上記説明した半導体製造装置を利用したデバイスの生産
方法の実施例を説明する。図７は微小デバイス（ＩＣや
ＬＳＩ等の半導体チップ、液晶パネル、ＣＣＤ、薄膜磁
気ヘッド、マイクロマシン等）の製造のフローを示す。
ステップ１（回路設計）ではデバイスのパターン設計を
行なう。ステップ２（マスク製作）では設計したパター
ンを形成したマスクを製作する。一方、ステップ３（ウ
エハ製造）ではシリコンやガラス等の材料を用いてウエ
ハを製造する。ステップ４（ウエハプロセス）は前工程
と呼ばれ、上記用意したマスクとウエハを用いて、リソ
グラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成す
る。次のステップ５（組み立て）は後工程と呼ばれ、ス
テップ４によって作製されたウエハを用いて半導体チッ
プ化する工程であり、アッセンブリ工程（ダイシング、
ボンディング）、パッケージング工程（チップ封入）等
の工程を含む。ステップ６（検査）ではステップ５で作
製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テス
ト等の検査を行なう。こうした工程を経て半導体デバイ
スが完成し、これが出荷（ステップ７）される。

【００５３】図８は上記ウエハプロセスの詳細なフロー
を示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸化
させる。ステップ１２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶縁
膜を形成する。ステップ１３（電極形成）ではウエハ上
に電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオン
打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１５
（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ステ
ップ１６（露光）では上記説明した半導体露光装置（投
影露光装置）によってマスクの回路パターンをウエハに
焼付露光する。ステップ１７（現像）では露光したウエ
ハを現像する。ステップ１８（エッチング）では現像し
たレジスト像以外の部分を削り取る。ステップ１９（レ
ジスト剥離）ではエッチングが済んで不要となったレジ
ストを取り除く。これらのステップを繰り返し行なうこ
とによって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成され
る。本実施例ではこの繰り返しの各プロセスにおいて、
上記述べたようにアライメント電子ビームの加速電圧を
最適に設定することで、プロセスに影響を受けず正確な
位置合わせを可能としている。

【００５４】本実施例の生産方法を用いれば、高集積度
のデバイスを効率的に製造することができる。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、電
力遮断前に主電源で制動制御を実行するようにできるの
で、電力遮断後はこの制動の制約なくメンテナンスが行
え、メンテナンスの容易性が向上し、さらに制動のため
のメンテナンス回数も低減させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施例１の半導体製造装置における緊急停止
（ＥＭＯ）スイッチの取り付け位置を示す図である。

【図２】 図１の半導体製造装置の緊急停止（ＥＭＯ）
スイッチ部の接続関係を示した図である。

【図３】 図２で示した緊急停止（ＥＭＯ）スイッチの
ストロークと接点の関係を示した図である。

【図４】 実施例２の半導体製造装置における緊急停止
（ＥＭＯ）スイッチ部の接続関係を示した図である。

【図５】 実施例３の半導体製造装置における緊急停止
（ＥＭＯ）スイッチ部の接続関係を示した図である。

【図６】 実施例５の半導体製造装置における緊急停止
（ＥＭＯ）スイッチのストロークと接点の関係を示した
図である。

【図７】 半導体デバイス生産方法を説明するフローチ
ャートである。

【図８】 ウエハプロセスの詳細なフローチャートであ
る。

【符号の説明】

１：緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ、２：緊急停止（ＥＭ
Ｏ）スイッチの一段目の接点、３：緊急停止（ＥＭＯ）
スイッチの二段目の接点、４：モータのアンプ部、５，
１８：ステージ制御部、６：モータ、７：リセットスイ
ッチ、８：緊急停止（ＥＭＯ）状態を保持するための接
点を制御するリレー、９：電源オン／オフを制御する電
磁リレー、１０：電源オン／オフ接点、１１：半導体製
造装置の電源部、１２：半導体製造装置を構成している
各ユニット、１３：半導体製造装置に電力を給電するた
めの接続端子台、１４：緊急停止（ＥＭＯ）制御を行な
うための電源部、１５：電気的な接触検知の接点、１
６：機械的な接点、１７：接触検知の接点と機械的な接
点を持つ緊急停止（ＥＭＯ）スイッチ、１９：ブレーキ
の制御部、２０：ブレーキ、２１：緊急停止（ＥＭＯ）
状態を保持する為の接点。

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 主電源から供給される電力により稼動
   し、電気駆動システムが含まれる装置本体と、 緊急停止スイッチと、 前記緊急停止スイッチが入れられた場合に前記主電源か
   らの電力の遮断を行なう電源遮断器と、 前記緊急停止スイッチが入れられた場合に、前記電源遮
   断器による電力の遮断前に前記電気駆動システムの制動
   制御を行ない、前記主電源から供給される電力で制動を
   実行する制動機構とを有する半導体製造装置。
2. 【請求項２】 前記制動機構は、前記電気駆動システム
   による駆動の速度制御及び／または駆動物の位置制御を
   行なうことを特徴とする請求項１に記載の半導体製造装
   置。
3. 【請求項３】 前記制動機構は、前記駆動物を駆動する
   モータを電気的に制御して前記駆動物を停止させること
   を特徴とする請求項２に記載の半導体製造装置。
4. 【請求項４】 前記制動機構は、機械的ブレーキングに
   より前記電気駆動システムを停止させることを特徴とす
   る請求項１乃至３のいずれかに記載の半導体製造装置。
5. 【請求項５】 前記緊急停止スイッチは、前記制動機構
   を作動するための第１段スイッチと、前記電源遮断機を
   作動するための第２段スイッチと、該第１段スイッチ及
   び第２段スイッチと連動するボタンとを有することを特
   徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の半導体製造
   装置。
6. 【請求項６】 前記ボタンが押された場合、前記第１段
   スイッチが前記制動機構を作動させた後、前記第２段ス
   イッチが前記電源遮断機を作動させることを特徴とする
   請求項５に記載の半導体製造装置。
7. 【請求項７】 前記第１段スイッチは接触検知センサを
   有し、前記第２段スイッチは機械的接点を有するスイッ
   チであることを特徴とする請求項５または６に記載の半
   導体製造装置。
8. 【請求項８】 前記電気駆動システムは、半導体デバイ
   ス製造用の基板を搭載して移動するステージを含むこと
   を特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の半導体
   製造装置。
9. 【請求項９】 半導体デバイス製造用の基板を用意する
   工程と、 以下〜 主電源から供給される電力により稼動し、電気駆動シ
   ステムが含まれる装置本体、 緊急停止スイッチ、 前記緊急停止スイッチが入れられた場合に前記主電源
   からの電力の遮断を行なう電源遮断器、 前記緊急停止スイッチが入れられた場合に、前記電源
   遮断器による電力の遮断前に前記電気駆動システムの制
   動制御を行ない、前記主電源から供給される電力で制動
   を実行する制動機構、を有する露光装置を用いて前記基
   板にパターン焼付露光処理する工程と、前記パターン焼
   付露光が行なわれた基板を現像処理し、該現像処理され
   た基板に回路パターンを形成する工程とからなる半導体
   デバイス製造方法。
10. 【請求項１０】 主電源から供給される電力により稼動
    し、電気駆動システムが含まれる装置本体と、 緊急停止スイッチと、 前記緊急停止スイッチが入れられた場合に前記主電源か
    らの電力の遮断を行なう電源遮断器と、 前記緊急停止スイッチが入れられた場合に、前記電源遮
    断器による電力の遮断前に前記電気駆動システムの制動
    制御を行ない、前記主電源からの電力が前記電源遮断手
    段によって遮断された時点で制動を解除する制動機構と
    を有する半導体製造装置。
11. 【請求項１１】 前記制動機構は、前記駆動物を駆動す
    るモータを電気的に制御して前記駆動物を停止させるこ
    とを特徴とする請求項１０に記載の半導体製造装置。
12. 【請求項１２】 前記制動機構は、機械的ブレーキング
    により前記電気駆動システムを停止させることを特徴と
    する請求項１０または１１に記載の半導体製造装置。
13. 【請求項１３】 前記緊急停止スイッチは、前記制動機
    構を作動するための第１段スイッチと、前記電源遮断機
    を作動するための第２段スイッチと、該第１段スイッチ
    及び第２段スイッチと連動するボタンとを有することを
    特徴とする請求項１０乃至１２のいずれかに記載の半導
    体製造装置。
14. 【請求項１４】 前記ボタンが押された場合、前記第１
    段スイッチが前記制動機構を作動させた後、前記第２段
    スイッチが前記電源遮断機を作動させることを特徴とす
    る請求項１３に記載の半導体製造装置。
15. 【請求項１５】 前記第１段スイッチは接触検知センサ
    を有し、前記第２段スイッチは機械的接点を有するスイ
    ッチであることを特徴とする請求項１４に記載の半導体
    製造装置。
16. 【請求項１６】 前記電気駆動システムは、半導体デバ
    イス製造用の基板を搭載して移動するステージを含むこ
    とを特徴とする請求項１０乃至１５のいずれかに記載の
    半導体製造装置。
17. 【請求項１７】 半導体デバイス製造用の基板を用意す
    る工程と、 以下〜 主電源から供給される電力により稼動し、電気駆動シ
    ステムが含まれる装置本体、 緊急停止スイッチ、 前記緊急停止スイッチが入れられた場合に前記主電源
    からの電力の遮断を行なう電源遮断器、 前記緊急停止スイッチが入れられた場合に、前記電源
    遮断器による電力の遮断前に前記電気駆動システムの制
    動制御を行ない、前記主電源からの電力が前記電源遮断
    手段によって遮断された時点で制動を解除する制動機
    構、を有する露光装置を用いて前記基板にパターン焼付
    露光処理する工程と、前記パターン焼付露光が行なわれ
    た基板を現像処理し、該現像処理された基板に回路パタ
    ーンを形成する工程とからなる半導体デバイス製造方
    法。